DE2207644A1

DE2207644A1 - ROTATING GAS FEED FOR OPTO-ELECTRONIC OBSERVATION DEVICES

Info

Publication number: DE2207644A1
Application number: DE19722207644
Authority: DE
Inventors: Willi Uhlendorff
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Current assignee: Carl Zeiss SMT GmbH
Priority date: 1972-02-18
Filing date: 1972-02-18
Publication date: 1973-08-30

Description

Durchdrehbare Gasdurchführung für opto-elektronische Beobachtungsgeräte Die Erfindung betrifft eine durchdrehbare Gasdurchführung wie sie beispielsweise zur Zufuhrung von unter hohem Druck stehendem Kühlgas zu einem Geräte-K2hler notwendig ist. Rotatable gas feedthrough for opto-electronic observation devices The invention relates to a rotatable gas feedthrough such as, for example necessary for supplying cooling gas under high pressure to a device cooler is.

Derartige Gasdurchführungen müssen möglichst raumsparend aufgebaut sein. Darüberhinaus ist es nötig, daß sie gut abgedichtet sind und daß die auftretenden Reibungskräfte und der auf das Drehteil wirkende Druck gering sind.Such gas feedthroughs must be constructed to be as space-saving as possible be. In addition, it is necessary that they are well sealed and that the occurring Frictional forces and the pressure acting on the rotating part are low.

Drehbare Gasdurchführungen für optische Beobachtungsinstrumente, welche mit einem Kühlmittel betrieben werden, sind im Prinzip bekannt. Bei diesen bekannten Vorrichtungen wird das Kühlmittel durch einen Schleppschlauch an die zu kütilenden Stelle gebracht, wobei Drucke bis zu 150 atü möglich sind. Nachteilig bei diesen drehbaren Gasdurchführungen ist, daß sie eine Drehung des Instrumentes von höchstens 3600 zulassen. Dann mauß das Instrument zurückgedreht werden, um den Schleppschlauch wieder zu entdrillen.Rotatable gas feedthroughs for optical observation instruments, which be operated with a coolant are known in principle. With these well-known The coolant is brought to the devices to be kütilenden through a drag hose Place brought, whereby prints up to 150 atmospheres are possible. Disadvantage with these rotatable gas feedthroughs is that they allow a rotation of the instrument of at most 3600 allow. Then the instrument has to be turned back to the drag hose to untwist again.

Die Entwicklung kleinbauender Beobaotungsinstrumente stellte die Aufgabe, kleiner dimensionierte Y3ihlvorrichtungen anzugeben. Um das lästige Rückdrehen zu vermeiden und eine schnellere Betriebsbereitschaft der Instrumente zu gewährleisten, soll außerdem eine Drehung von n x 3600 möglich. sein. Um die etwaige Stabilisierung des Beobachtungsinstrumentes nicht zu belasten, dürfen zur Betätigung der Drehbewegung nur kleine Drehmomente zugelassen werden.The development of small-scale observation instruments set the task of specify smaller dimensioned cooling devices. To stop the annoying turning back avoid and ensure a faster operational readiness of the instruments, a rotation of n x 3600 should also be possible. be. To any stabilization not to load the observation instrument, are allowed to actuate the rotary movement only small torques are permitted.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, dsp e;ke als Drehzapfen wirkende Hohlwelle mit geringem Außendurchmesser vorgesehen ist, der das Gas über eine Bohrung im feststehenden Gehäuseteil zugeführt wird, daß diese Hohlwelle von einer Dichtung umgeben ist, die mit ihrem Außenrand am Flansch des feststehenden Gehäuseteiles anliegt und mit Sackbohrungen versehen ist, daß weiterhin eine feste Verbindung der Hohlwelle mit einem drehsymmetrischen Teil des zur Weiterleitung des Gases dienenden drehbaren Gehäuseteiles vorgesehen ist, wobei sich dieses Teil über ein Axiallager gegen des feststehenden Gehäuseteil ab stützt.According to the invention, this object is achieved by using a pivot pin acting hollow shaft is provided with a small outer diameter, which the gas over a hole in the fixed housing part is fed that this hollow shaft of a seal is surrounded with its outer edge on the flange of the fixed Housing part rests and is provided with blind bores that continues to be a fixed Connection of the hollow shaft with a rotationally symmetrical part of the forwarding of the gas serving rotatable housing part is provided, this part is based on an axial bearing against the fixed housing part.

In einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung ist das zur Aufnahme des Axialdruckes dienende Gehäuse des Axiallagers mit dem feststehenden Gehäuseteil fest verschraubt.In an advantageous embodiment of the invention, this is for recording the axial pressure serving housing of the axial bearing with the fixed housing part firmly screwed.

Zur Zentrierung der Hohlwelle wird vorteilhafterweise ein Kugellager vorgesehen.A ball bearing is advantageously used to center the hollow shaft intended.

Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere in seiner platzsparenden Bauweise, die eine Vermeidung von hohen Reibungskräften und die Einleitung der Drehbewegung durch ein kleines Drehmoment ermöglicht. Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht darin, daß sie eine Drehung von n x 3600 ermöglicht und daß die Gasdurchführung für hohe Drucke bis ca.The advantages achieved by the invention consist in particular in its space-saving design, which avoids high frictional forces and allows the initiation of the rotary movement by a small torque. Another The advantage of the invention is that it allows a rotation of n x 3600 and that the gas feed-through for high pressures up to approx.

400 atü zu verwenden ist. Bei derartig hohen Drucken wird auch schon bei kleinem Gasdurchsatz ein hoher Kühleffekt erreicht, so daß man für den Betrieb mit relativ kleinen Vorratsflaschen für das Kühlmittel auskommt.400 atm is to be used. At such high pressures it will be fine with a small gas throughput, a high cooling effect is achieved, so that one for the operation gets by with relatively small storage bottles for the coolant.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben. Im einzelnen zeigen: Fig. 1 einen Schnitt durch die erfindungsgemäße durchdrehbare Gasdurchführung in der Seitenansicht; Fig. 2 einen vergrößerten Ausschnitt, der in der Fig. 1 dargestellten Drehkupplung.An embodiment of the invention is shown in the drawing and is described in more detail below. In detail: Fig. 1 shows a section through the inventive rotatable gas feedthrough in the side view; Fig. 2 shows an enlarged section of the rotary coupling shown in FIG.

Im einzelnen ist in den Fig. 1 und 2 mit 1 ein Gewindeanschluß bezeichnet, durch den das Kühlgas, beispielsweise N2 unter 400 atü in der Pfeilrichtung 10 über die Bohrung 17 In die Drehkupplung einströmt. Der Drehzapfen 2 ist ertindungsgemäß als Hohlwelle kleinen Durchmessers ausgebildet und von der Dichtung 3 umgeben. Das Kühlgas strömt in der angegebenen Pfeilrichtung 20 durch die Achse 2 und in Richtung 30 in die Nut 4 der Dichtung 3. Durch die Bohrung 16 verläßt das Kühlgas den drehbaren Teil des Gerätes. Durch den hohen Druck des Kühlgases wird die Dichtung P an der Fl@@sch 5 des feststahenden Gehäuseteiles 12 und ta-fN @en Drehzapfen 2 angepreßt. Die Reibung der Dichtung 3 auf Gen @@hzapfer S sowie der Axialdruck sind infolge des kleinen Außendurchmessers der Hohlwelle 2 gering. Ober die Schraube 8 .st die Hohlwelle eine slem drefsymmetrischen Teil 6 und dem nebel 7 fest verbunden und durch den Rundschnurring 9 abgedichtet. Der Axialdruck wird von der Achse 2 über das Teil 6 und das Axiallager 10 von der Lager fassung 11 aufgefangen, die mit dem Flansch 5 und dem feststehenden Gehäuseteil 12 durch die Schraube 13 fest verbunden ist.In detail, 1 denotes a threaded connection in FIGS. 1 and 2, through which the cooling gas, for example N2 below 400 atm in the direction of arrow 10 over the bore 17 flows into the rotary coupling. The pivot 2 is according to the invention designed as a hollow shaft of small diameter and surrounded by the seal 3. That Cooling gas flows in the indicated arrow direction 20 through the axis 2 and in the direction 30 in the groove 4 of the seal 3. Through the bore 16, the cooling gas leaves the rotatable Part of the device. Due to the high pressure of the cooling gas, the seal P is attached to the Fl @@ sch 5 of the fixed housing part 12 and ta-fN @en pivot pin 2 pressed on. The friction of the seal 3 on Gen @@ hzapfer S as well as the axial pressure are a result the small outer diameter of the hollow shaft 2 is low. About the screw 8 .st the Hollow shaft a slem drefsymmetrischen part 6 and the fog 7 firmly connected and sealed by the O-ring 9. The axial pressure is from axis 2 via the part 6 and the thrust bearing 10 caught by the bearing version 11, which is with the The flange 5 and the stationary housing part 12 are firmly connected by the screw 13 is.

Der Deckel 12 und der Flansch 5 sind durch einen Rundschrurrlng 14 abgedichtet. Der Antrieb der Drehkupplung erfolgt über einen Mitnehmer, der am Hebel 7 angreift. Das Kugellager 15 dient zur Zentrierung der Achse 2.The cover 12 and the flange 5 are secured by a circular ring 14 sealed. The rotary coupling is driven by a driver on the lever 7 attacks. The ball bearing 15 is used to center the axis 2.

Claims

P a t e n t a n s p r ü c h e

0 Rotatable gas feed-through, characterized by one as a pivot pin Acting hollow shaft (2) with a small outer diameter that carries the gas through a bore (17) is fed in the stationary housing part (12), a hollow shaft surrounding this, with their outer edge resting on the flange (5) of the stationary housing part and with a groove (4) provided seal (3), as well as by a fixed connection of the Hollow shaft (2) with a rotationally symmetrical part (6) for forwarding the gas serving rotatable housing part (7), this part (6) via an axial bearing (10) is supported against the stationary housing part.

2. Rotatable gas feedthrough according to claim 1, characterized in that that the housing (11) of the axial bearing (10) serving to absorb the axial pressure is firmly screwed to the stationary housing part (12).

3. Rotatable gas feedthrough according to claim 1 and 2, characterized in that that a ball bearing is provided for centering the hollow shaft (2).