DE2204533A1 - - Google Patents
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- G01P15/02—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
- G01P15/08—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
- G01P15/13—Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by measuring the force required to restore a proofmass subjected to inertial forces to a null position
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Description
220A533
Dipl.-lng. G. Sdlliebs 61 Darmstadt Claudiusweg 17A
Postscheckkonto: Frankfurt a. M. 111157
Bankverbindung: Deutsche Bank AG., Darmstadt Telegramme: inventron
An das
Deutsche Patentamt
Sooo München 2
Zweibrückenstr. 12
Zweibrückenstr. 12
Ihr Zeichen Ihr Schreiben Mein Zeichen M 2if 1 L Tag 31 · 1 ·
Betriff». Patentanmeldung
Anmelder: OFFICE NATIONAL D1ETUDES ET DE RECHERCHES
AEROSPATIALES, CHATUILLON (Frankreich)
Elektrostatischer Kugel-Beschleunigungsmesser für extrem kleine Beschleunigungen,
Die Erfindung bezieht sich auf eine dreidimensional arbeitende elektrostatische Meßeinrichtung für sehr kleine Beschleunigungen
und betrifft einen Kugel-Beschleunigungsmesser, der gegenüber einer früheren Ausführung (deutsche
Patentschrift 1 276 95o) wesentlich verbessert ist.
Box diesen Geräten wird eine Kugel, die sich in einem
Käfig anfangs in Ruhestellung befindet, durch eine sog. Vorponiti.onierung in Meßstellung gebracht, d.h. in den
freien Raum im Käfig, wo sie der Einwirkung eines Lageregelsystems
untersteht. Diese Vorpositionierung erfolgt mit Hilfe einer elektrostatischen Kraft, die von einem
elektrostatischen Posi tion1erungskreis aufgebracht wird,
dessen feststehende und vom Käfig getragene Positionierun;;:-:o
L-vktroden In den drei. Raumrichtungen mit der Kugel
ζ ur. am cn ο η ;v i r ko η.
8AD ORIGINAL
209833/0801
31.1.72 Blatt 2 Dipl.-Ing. G. Schlieb»
das Deutsche Patentamt, München Patentanwalt
Nun behält aber die Kugel nach erfolgter Vorpositionierung eine elektrostatische Ladung, deren Wert von der aufgebrachten
Energie abhängt. Diese Ladung macht sich hauptsächlich zwischen der Kugel und dem Käfig bemerkbar. Sie lokalisiert
sich in der Zone der Kugel, die dem Käfig am nächsten steht, und erzeugt eine Störkraft, welche die Bewegungen der Kugel
stört und für den elektronischen Lageregelungskreis eine zufällige Fehlerquelle darstellt, welche das Meßergebnis
beeinflußt und die Empfindlichkeit des Beschleunigungsmessers verringert.
Zur Behebung dieses Nachteiles wurde schon vorgeschlagen,' in allen drei Raumachsen jeweils die zwei gegenüberliegenden
Elektroden des elektrostatischen Positionierungskreises mit zwei Spannungen zu speisen, deren Summe unabhängig von
der Kugelstellung konstant bleibt. Wenn die Kapazitäten der Elektroden gegenüber der Kugel in allen drei Achsen untereinander
gleich sind und wenn man eine gleiche Summe der Spannungen benutzt, wenn die Kugel in Meßstellung ist,
dann bleiben in diesem Falle die Ladungen gegenüber den Elektroden lokalisiert.
Die Lösung arbeitet mit den in der deutschen Patentschrift angegebenen Elektroden korrekt, verlangt aber eine Speisung
der Elektroden auch bei nicht verlagerter Kugel und erfordert den Einsatz eines relativ schweren und großen Spannungsversorgungsgerätes.
Die Erfindung setzt sich einen Kugel-Beschleunigungsmesser der eingangs genannten Art zum Ziel, der Mittel besitzt, um
das Verbleiben einer elektrostatischen Ladung auf der Kugeloberfläche zu verhindern, so daß das Gerät eine höhere
Empfindlichkeit erhält und noch geringere Beschleunigungen messen kann. Gleichzeitig soll der Aufbau des Gerätes vereinfacht
werden.
η ?> R
31.1*72 Blatt 3 Dipl.-Ing. G. Schliebs
das Deutsche Patentamt, München Patentanwalt
Hierzu geht die Erfindung aus von einem elektrostatischen Kugel-Beschleunigungsmesser mit einer Kugel in einem Käfig
und je einem Lageregelsystem für die Kugel in jeder der
drei Raumachsen eines im Käfigmittelpunkt zentrierten Dreibeins, welches einen elektrostatischen Differential-Positionsgeberkreis
für die Kugellage und einen von diesem Kreis gesteuerten elektrostatischen Positionierungskreis
besitzt. Erfindungsgemäß besitzt der Positionierungskreis für jeden Pol jeder Raumachse zwei unterschiedliche Positionierungselektroden,
deren kugelseitige Innenflächen koaxial zur Raumachse angeordnet sind, einer gleichen sphärischen
Fläche angehören und gleiche Oberfläche aufweisen.
Gemäß weiterer Erfindung sind die beiden Positionierungselektroden eines Poles als Elektrode mit sphärischer Kreisfläche,
umgeben von einer Elektrode mit sphärischer Ringfläche, ausgebildet, und zwischen ihnen ist eine Positionsgeberelektrode
mit sphärischer Ringfläche koaxial angeordnet.
Bei einem elektrostatischen Kugel-Beschleunigungsmesser mit Mitteln zum Verstärken der Positionsgebersignale und
zur Aufbringung der verstärkten Signale auf die Positionierungskreise ist erfindungsgemäß in jedem Positionierungskreis ein Verzweigungskreis vorgesehen, welcher die paarweisen
Positionierungselektroden desjenigen Poles speist, der weiter von der Kugel entfernt ist als der gegenüber
liegende Pol.
Der Verzweigungskreis und .zwei nachgeschaltete Verstärker
liefern Spannungen gleichen Betrages in Gegenphase, die auf die eine und die andere Positionierungselektrode jedes
Paares aufgebracht werden, so daß die Resultierende der elektrostatischen Ladungen an der Kugeloberfläche Null ist.
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31.1.72 Blatt Zf Dipl.-Ing. G. Schliebs
das Deutsche Patentamt, München Patentanwalt
Nach einem speziellen Merkmal der Erfindung sind die Positionsgeberelektroden
und die Positionierungselektroden gegenüber der inneren Kugelfläche des die Kugel enthaltenden
Käfigs zurückgesetzt. Dabei können die Positionsgeberelektroden gegenüber den Positionierungselektroden weniger zurückgesetzt
sein.
Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung anhand der Zeichnung.
In dieser zeigen:
Fig. 1 schematisch im Schnitt einen Elektrodenhalter des Kugel-Beschleunigungsmessers;
Fig. 2 in einem Blockschaltbild einen Lageregelungskreis für die Positionierung der Kugel in senkrechter
Richtung.
Ein Elektrodenhalter (Fig. 1) besitzt einen metallischen Rohrkörper 1, der auf der einen Steinseite von einer ebenen
Fläche 2 begrenzt ist und auf der anderen Seite von einer sphärischen Fläche in Form eines Kugelringausschnittes 3,
welcher der Kugel angehört, die den Käfiginnenraum des Beschleunigungsmessers begrenzt. Der Elektrodenhalter ist
mit nicht dargestellten Mitteln am Käfig befestigt.
In dem Rohrkörper ist eine Isolierscheibe l± eingesetzt, die
in ihrem Mittelpunkt eine erste Positionierungselektrode 5 trägt. Diese Elektrode hat die Form eines Zylinders, der
zur Kugel hin von einer sphärischen Kreisfläche 6 begrenzt ist, die gegenüber der Innenfläche des Ringes 3 etwas zurückgesetzt
ist. Die andere Stirnfläche der Positionierungselektrode 5 verlängert sich in einem Steckkontaktstift 7.
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31 . 1 . 72 Blatt 5 Dipl.-Ing. G. Schliebs
das Deutsche Patentamt, München Patentanwalt
Die Isolierscheibe Jf trägt weiterhin eine zweite Positionierungselektrode
8, "die konzentrisch zur ersten angeordnet ist und die Form eines Kreisringes hat, der nach innen zu
durch eine sphärische Ringflache 9 begrenzt ist, die der
gleichen Kugel angehört wie die sphärische Kreisfläche 6 und deren Fläche die gleiche. Größe hat wie diese sphärische
Kreisfläche. Auf der Rückseite trägt die zweite Positionierungselektrode einen Steckkontaktstift 1o.
Die Isolierscheibe 1+ trägt schließlich noch eine Positionsgeberelektrode
11, die konzentrisch zu den beiden Positionierungselektroden ist und die Form eines zylindrischen
Kreisringes hat, der nach innen zu von einer sphärischen Ringfläche \Z begrenzt ist, die gegenüber dem sphärischen
Ring 3 weniger zurückgesetzt ist als die sphärischen Flächen der Positionierungselektroden. Auf der Rückseite
trägt auch die Positionsgeberelektrode einen Steckkontaktstift 13.
Um eine Beeinflussung der Kugel durch die Ladungen auf der Isolierscheibe zu vermeiden, sind die metallischen Elemente
1, 5, 3 und 11 so ausgebildet und angeordnet, daß sie eine Abschirmung zwischen der Isolierscheibe und der Kugel bilden.
Alle Elektroden sind gegenüber dem Rohrkörper 1 des Elektrodenhalters
zurückgesetzt (Fig. 1), dessen sphärischer Ring 3 auf der Kugelfläche des Käfigs der Kugel liegt.
Durch diese Anordnung wird eine Berührung mit der Kugel vermieden, wenn diese sich nicht in Meßstellung befindet.
Ferner wird hierdurch der Aufbau des Beschleunigungsmessers vereinfacht, indem keine im Käfiginneren angebrachten Anschläge
benötigt werden, wie"sie in der deutschen Patentschri ft beschrieben sind.
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31.1.72 Blatt 6 Dipl.-tng. 6. Sdtliebs
das Deutsche Patentamt, München Patentanwalt
Bei einem nach der Erfindung ausgeführten Beschleunigungsmesser sind die Positionierungselektroden 1 mm zurückgesetzt
und die Positionsgeberelektrode 3o /um. Die größere Entfernung der Positionierungselektroden von der Kugel
erlaubt es, den Empfindlichkeitskoeffxzienten des Beschleunigungsmessers in einem größeren Temperaturbereich konstant
zu halten, da die Bewegungen der Kugel immer relativ klein gegenüber dem vorhandenen Luftspalt bleiben.
Ein Lageregelungskreis nach der Erfindung wird in Fig. 2
im Zusammenwirken mit den beiden Elektrodenhaltern 1 und 1'
der senkrechten Achse des Beschleunigungsmessers beschrieben.
Die von der Kugel und den Positionsgeberelektroden 12, 12·
gebildeten Kondensatoren liegen parallel zu Drehkondensatoren 1*f und 15 und bilden eine Brückenschaltung, welche
außerdem Induktivitäten 16 und 17 umfaßt, die von der Sekundärseite
eines Transformators gebildet werden, dessen Primärseite 18 von einem Oszillator 19 gespeist wird. Der Verbindungspunkt
der Kondensatoren 1if und 15 ist mit der Käfigmasse
verbunden.
Der Verbindungspunkt der Induktivitäten 16 und 17 ist einerseits mit dem Eingang eines Verstärkers 2o verbunden und
andererseits über einen Resonanzkreis mit der Käfigmasse. Der Resonanzkreis besitzt einen Drehkondensator 21 und
parallel dazu eine Induktivität 22.
Eine Verlagerung der Kugel unter der Einwirkung einer zu messenden Beschleunigung, z.B. in Richtung des Elektrodenhalters
11, erzeugt ein Verstimmungssignal an der Brücke,
welches im Verstärker 2o verstärkt und vom Synchrondetektor 23 gemessen wird.
209833/0801
3 1. 1.72 Blatt 7 Dipl.-Ing. G. Sdili.bi
das Deutsche Patentamt, München · Patentanwalt
Das Ausgangssignal dieses Detektors geht auf ein Korrekturnetzwerk
Zh und von da auf einen Verzweigungskreis 25. Das
Ausgangssignal dieses Kreises, dessen Pegel proportional zur Verlagerung der Kugel ist, wird auf den Eingang eines
Verstärkers 26 aufgebracht, der die beiden Positionierungselektroden 6 und 8 des Elektrodenhalters 1 mit zwei dem
Betrage nach gleichen und in Gegenphase befindlichen Spannungen speist. Der Elektrodenhalter 1 übt hierdurch eine Anziehungskraft
auf die Kugel aus.
Bei einer Verlagerung der Kugel in Richtung des Elektrodenhalters 1 steuert der Verzweigungskreis 25 den Eingang des
Verstärkers Z? an, der die Positionierungselektroden 6'
und 81 des Elektrodenhalters 1· mit dem Betrage nach gleichen
und in Gegenphase befindlichen Spannungen speist.
Die Resultierende der von den beiden konzentrischen Positionierungselektroden
eines Elektrodenhalters erzeugten elektrostatischen Ladungen ist Null, da die Speisespannungen
dem Betrage nach gleich, aber in Gegenphase befindlich sind. Hieraus ergibt sich, daß jegliche Wechselwirkung zwischen
den von den Positionierungselektroden in den drei Raumachsen erzeugten Ladungen entfällt.
209833/0801
Claims (3)
- . 1 .72 Blatt 8 Dipl.-Ing. G. Schlichtdas Deutsche Patentamt, München PatentanwaltPatentansprücheElektrostatischer Kugel-Beschleunigungsmesser für extrem kleine Beschleunigungen mit einer Kugel in einem Käfig und je einem Lageregelsystem für die Kugel in jeder der drei Raumachsen eines im Käfigmittelpunkt zentrierten Dreibeins, welches einen elektrostatischen Differential-Positionsgeberkreis für die Kugellage und einen von diesem Kreis gesteuerten elektrostatischen Positionierungskreis für die Kugel besitzt, dadurch gekennzeichnet, daß der Positionierungskreis für jeden Pol jeder Raumachse zwei unterschiedliche Positionierungselektroden (5, 8) besitzt, deren kugelseitige Innenflächen koaxial zur Raumachse angeordnet sind, einer gleichen sphärischen Fläche angehören und gleiche Oberfläche aufweisen.
- 2. Elektrostatischer Kugel-Beschleunigungsmesser nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Positionierungselektroden eines Poles als Elektrode (5) mit sphärischer Kreisfläche, umgeben von einer Elektrode (8) mit sphärischer Ringfläche, ausgebildet sind und zwischen ihnen eine Positionsgeberelektrode (11) mit sphärischer Ringfläche koaxial angeordnet ist.
- 3. Elektrostatischer Kugel-Beschleunigungsmesser nach Anspruch 1 und 2 mit Mitteln zur Verstärkung der PositioRS-gebersignale und zur Aufbringung der Verstärkersignale auf die Positionierungskreise, dadurch gekennzeichnet, daß in jedem Positionierungskreis ein Verzweigungskreis (25) vorgesehen ist, welcher die paarweisen Positionierungselektroden (5, 8) desjenigen Poles speist, der weiter von der Kugel entfernt ist als der gegenüber liegende Pol.209833/08011 . 1 . 72 Blatt 9 Dipl.-Ing. G. Schliebsdas Deutsche Patentamt, München PatentanwaltElektrostatischer Kugel-Beschleunigungsmesser nach Anspruch 1 und 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Positionsgeberelektroden (11) und die Positionierungselektroden (5, S) gegenüber der inneren Kugelfläche des die Kugel enthaltenden Käfigs zurückgesetzt sind.Elektrostatischer Kugel-Beschleunigungsmesser nach Anspruch /f, dadurch gekennzeichnet, daß die Positionsgeberelektroden (11) gegenüber den Positionselektroden
(5, 3) weniger zurückgesetzt sind.Elektrostatischer Kugel-Beschleunigungsmesser nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5>> dadurch gekennzeichnet, daß die Positionierungselektroden (5> 8) und die Positionsgeberelektrode (]1) jedes Poles von einem Elektrodenhalter getragen sind, der fest mit dem Käfig verbunden ist.209833/0801Leerseite
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FR (1) | FR2124055B1 (de) |
GB (1) | GB1317868A (de) |
SU (1) | SU429598A3 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6679118B1 (en) | 1999-04-27 | 2004-01-20 | Tokimec Inc. | Accelerometer and spherical sensor type measuring instrument |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3877313A (en) * | 1973-07-23 | 1975-04-15 | Singer Co | Electrostatic accelerometer |
US3891285A (en) * | 1974-05-13 | 1975-06-24 | Rockwell International Corp | Electrostatic bearing sensing and control circuitry |
US3955426A (en) * | 1974-06-19 | 1976-05-11 | Rockwell International Corporation | Mass unbalance modulation pickoff attenuation and speed control in electrostatic gyroscope system |
US4312227A (en) * | 1977-04-22 | 1982-01-26 | Ozols Karlis V | Force-responsive device |
US4245869A (en) * | 1978-08-07 | 1981-01-20 | Padana Ag | Magnetic bearings |
FR2495328B1 (fr) * | 1980-11-28 | 1986-04-11 | Onera (Off Nat Aerospatiale) | Perfectionnements aux accelerometres electrostatiques |
EP0118359B1 (de) * | 1983-02-28 | 1987-05-20 | Office National d'Etudes et de Recherches Aérospatiales (O.N.E.R.A.) | Elektrostatischer Beschleunigungsmesser |
FR2541775B1 (fr) * | 1983-02-28 | 1985-10-04 | Onera (Off Nat Aerospatiale) | Accelerometres a suspension electrostatique |
FR2544865B1 (fr) * | 1983-04-21 | 1985-10-04 | Onera (Off Nat Aerospatiale) | Accelerometres a suspension electrostatique |
FR2566599B1 (fr) * | 1984-06-25 | 1986-09-26 | Onera (Off Nat Aerospatiale) | Dispositif de suspension electrostatique d'un corps |
FR2608771B1 (fr) * | 1986-12-18 | 1989-04-28 | Onera (Off Nat Aerospatiale) | Dispositif d'etalonnage d'accelerometres ultrasensibles |
US5204568A (en) * | 1991-09-23 | 1993-04-20 | Gwr Instruments | Superconducting bearing for borehole and survey gravimeters |
US5357803A (en) * | 1992-04-08 | 1994-10-25 | Rochester Institute Of Technology | Micromachined microaccelerometer for measuring acceleration along three axes |
US5710376A (en) * | 1995-12-22 | 1998-01-20 | International Business Machines Corporation | Charged mass thin film condenser accelerometer |
FI100558B (fi) | 1996-06-20 | 1997-12-31 | Geores Engineering E Jalkanen | Sensorilaite asennon ja kiihtyvyyden 3-dimensionaaliseksi mittaamiseks i |
WO2002073673A1 (en) | 2001-03-13 | 2002-09-19 | Rochester Institute Of Technology | A micro-electro-mechanical switch and a method of using and making thereof |
AU2002303933A1 (en) | 2001-05-31 | 2002-12-09 | Rochester Institute Of Technology | Fluidic valves, agitators, and pumps and methods thereof |
US7211923B2 (en) | 2001-10-26 | 2007-05-01 | Nth Tech Corporation | Rotational motion based, electrostatic power source and methods thereof |
US7378775B2 (en) | 2001-10-26 | 2008-05-27 | Nth Tech Corporation | Motion based, electrostatic power source and methods thereof |
WO2003038448A1 (en) | 2001-10-26 | 2003-05-08 | Potter Michael D | An accelerometer and methods thereof |
US7287328B2 (en) | 2003-08-29 | 2007-10-30 | Rochester Institute Of Technology | Methods for distributed electrode injection |
US7217582B2 (en) | 2003-08-29 | 2007-05-15 | Rochester Institute Of Technology | Method for non-damaging charge injection and a system thereof |
US8581308B2 (en) | 2004-02-19 | 2013-11-12 | Rochester Institute Of Technology | High temperature embedded charge devices and methods thereof |
JP5407915B2 (ja) * | 2010-02-09 | 2014-02-05 | セイコーエプソン株式会社 | 運動状態検出方法及び運動状態検出装置 |
JP5338705B2 (ja) * | 2010-02-15 | 2013-11-13 | セイコーエプソン株式会社 | 運動状態検出方法及び運動状態検出装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3338644A (en) * | 1965-03-22 | 1967-08-29 | North American Aviation Inc | Electrostatic support circuit |
FR1462195A (fr) * | 1965-03-30 | 1966-04-15 | Onera (Off Nat Aerospatiale) | Micro-accéléromètre |
US3491600A (en) * | 1965-04-06 | 1970-01-27 | Malcolm Kasparian Jr | Three-axis acceleration measuring means |
-
1971
- 1971-02-02 FR FR7103346A patent/FR2124055B1/fr not_active Expired
-
1972
- 1972-01-31 US US00222255A patent/US3742767A/en not_active Expired - Lifetime
- 1972-02-01 GB GB474472A patent/GB1317868A/en not_active Expired
- 1972-02-01 DE DE19722204533 patent/DE2204533B2/de active Granted
- 1972-11-02 SU SU721744908A patent/SU429598A3/ru active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6679118B1 (en) | 1999-04-27 | 2004-01-20 | Tokimec Inc. | Accelerometer and spherical sensor type measuring instrument |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2124055B1 (de) | 1975-03-21 |
US3742767A (en) | 1973-07-03 |
FR2124055A1 (de) | 1972-09-22 |
SU429598A3 (ru) | 1974-05-25 |
GB1317868A (en) | 1973-05-23 |
DE2204533B2 (de) | 1973-02-01 |
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