DE220233T1 - Kalibrierpunkte fuer die ausrichtung eines wafer-pruefkopfes. - Google Patents

Kalibrierpunkte fuer die ausrichtung eines wafer-pruefkopfes.

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DE220233T1
DE220233T1 DE1986902664 DE86902664T DE220233T1 DE 220233 T1 DE220233 T1 DE 220233T1 DE 1986902664 DE1986902664 DE 1986902664 DE 86902664 T DE86902664 T DE 86902664T DE 220233 T1 DE220233 T1 DE 220233T1
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Germany
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aligning
test head
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wafer test
wafer
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DE1986902664
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Horst Phoenix Az 85023 Us Leuschner
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SGS SEMICONDUCTOR CORP PHOENIX ARIZ US
Original Assignee
SGS SEMICONDUCTOR CORP PHOENIX ARIZ US
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