DE2130365A1 - Electrophotographic photosensitive element - Google Patents

Electrophotographic photosensitive element

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DE2130365A1
DE2130365A1 DE19712130365 DE2130365A DE2130365A1 DE 2130365 A1 DE2130365 A1 DE 2130365A1 DE 19712130365 DE19712130365 DE 19712130365 DE 2130365 A DE2130365 A DE 2130365A DE 2130365 A1 DE2130365 A1 DE 2130365A1
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photosensitive
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Description

Patentanwalt·Patent attorney 18, J(JMi 197118, J (JMi 1971

Dipl.-ff>g- A. QrünecketDipl.-ff> g- A. Qrünecket Dr.-Ing. H. KinkeldeyDr.-Ing. H. Kinkeldey

Dr -ing. W. StockmakDr -ing. W. Stockmak £. I O U O D O £. IOUODO

Dr.rer. not. W. FischerDr.rer. not. W. Fischer 8 München 22. Maximilians*. 498 Munich 22. Maximilians *. 49

CANON KABUSHIKI KAISHA 30-2, 3-chome Shimomaruko, Ohta-ku, Tokyo, JapanCANON KABUSHIKI KAISHA 30-2, 3-chome Shimomaruko, Ohta-ku, Tokyo , Japan

" Elektrophotographisches, lichtempfindliches Element ""Electrophotographic Photosensitive Element"

Die Erfindung betrifft ein elektrophotographisches, lichtempfindliches Element und insbesondere die Verbesserung eines lichtempfindlichen, elektrophotographischen Elements aus einer Basisschicht, einer Photowiderstandsschicht und einer Isolierschicht. The invention relates to an electrophotographic, photosensitive Element and in particular the improvement of an electrophotographic photosensitive element made from a Base layer, a photoresist layer and an insulating layer.

Es sind bereits verschiedene elektrophotographische, lichtempfindliche Elemente mit derartiger DreiSchichtenstruktur sowie Erfindungen, die eine Verbesserung derartiger lichtempfindlicher Elemente betreffen, bekannt geworden, wobei letztere meist auf eine Verbesserung der lichtempfindlichen Elemente bezüglich einer stabilen !Retention einer elektrischen Ladung bzw. Aufladung gerichtet sind.There are already various electrophotographic photosensitive ones Elements with such a three-layer structure as well as Inventions relating to an improvement in such photosensitive elements have become known, the latter mostly related to an improvement of the photosensitive elements a stable! retention of an electrical charge or charge.

Ein brauchbares Mittel, um genügend Photostromträger injizieren zu können, wurde dagegen bislang noch nicht bekannt, bzw. offenbart. A useful means of being able to inject sufficient photocurrent carriers, on the other hand, has not yet been known or disclosed.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein verbessertes lichtempfindliches Element mit drei Schichten der eingangs bezeichneten Art zu schaffen, das in der Lage ist, eine Ladung stabil zu erhalten bzw. zurückzuhalten, in das sich Photo stromträger in ausreichendem Mass injizieren lassen, und das ausgezeichnete elektrostatische Bilder bilden kann, sowie ein Verfahren zur Herstellung solcher lichtempfindlicher Elemente zur Verfügung zu stellen.The invention is therefore based on the object of providing an improved photosensitive element having three layers of the layers specified at the outset Art to create that is able to stably receive or hold back a charge, in which photo current carriers are sufficiently injected and capable of forming excellent electrostatic images, and a method for making such photosensitive elements available.

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BADpRlQfNAL . ......BADpRlQfNAL. ......

Gegenstand der Erfindung ist ein elektrophotogranhiseh.es, lichtempfindliches Element mit einer Basisschicht, einer Photoleiterschicht und einer auf der Photoleiterschicht liegenden Isolierschicht, sowie einer zwischen der Basisschicnt und der Photoleiterschicht liegenden Sperrschicht.The subject of the invention is an electrophotogranhiseh.es, Photosensitive element having a base layer, a photoconductor layer and one overlying the photoconductor layer Insulating layer, as well as a barrier layer lying between the base layer and the photoconductor layer.

In der beiliegenden Zeichnung zeigt:The attached drawing shows:

Figur 1 eine vergrösserte Querschnittsansicht eines erfindungsgemässen elektrophotographischen lichtempfindlichen Elements;Figure 1 is an enlarged cross-sectional view of an inventive electrophotographic photosensitive member;

Figur 2 ein Diagramm,das die Auf- bzw. üntladungscharakteriotiken einer erfindungsgeniässen Photoleiterschicht bzw. der Photoleiterschicht eines erfindungsgemässen lichtempfinndlichen Elements wiedergibt;Figure 2 is a diagram showing the charging and discharging characteristics a photoconductor layer according to the invention or the Photoconductor layer of a light-sensitive according to the invention Element reproduces;

Figur 3 ein Diagramm, das die Auf- bzw. Entladungscharakteristik einer erfindungsgemässen Sperrschicht bzw. einer die erfindungsgemässen lichtempfindlichen Elemente kennzeichnenden Sperrschicht wiedergibt;Figure 3 is a diagram showing the charging and discharging characteristics a barrier layer according to the invention or a barrier layer characterizing the photosensitive elements according to the invention reproduces;

Figur 4 ein Diagramm, das die Auf- bzw. Entladungscharakteristiken eines'erfindungsgemässen lichtempfindlichen Elements wiedergibt; Figure 4 is a graph showing the charging and discharging characteristics reproduces a photosensitive element according to the invention;

Figur 5 ein Diagramm, in dem der Ladungsabfall eines erfindungsgemässen lichtempfindlichen Elements und derjenige eines lichtempfindlichen Elements nach dem Stand der Technik jeweils für den Fall der Belichtung und den Fall der Dunkelentladung vergleichend dargestellt ist;
und
FIG. 5 shows a diagram in which the decrease in charge of a photosensitive element according to the invention and that of a photosensitive element according to the prior art are shown in a comparison in each case for the case of exposure and the case of dark discharge;
and

Figur 6 (A) und (B) den Ladungszustand eines lichtempfindlichen Elements nach dem Stand dör Technik bzw. eines erfindungsgemässen lichtempfindlichen Elements.FIG. 6 (A) and (B) the state of charge of a photosensitive element according to the prior art or one according to the invention photosensitive element.

Beispiele für elektrophotographisehe Verfahren, bei welchen ein lichtempfindliches Element aus einer als Basis bzw. Träger dienenden Basisschicht, einer Photoleiterschicht und einer Isolierschicht verwendet wird, sind beispielsweise Verfahren, die eine Primäraufladung, eine Sekundäraufladung unter gleichzeitiger bildmassiger Belichtung und eine Totalbelichtung umfassen, z.U. die in den USA.-Patentanmeldungen ITr. 563 899 vom b. Juli 1966 und Nr. 571 53ö vom 10, August 1966 beschriebenen elektrophoto-Examples of electrophotographic processes in which a photosensitive element composed of a base layer serving as a base, a photoconductor layer and an insulating layer is used are, for example, processes which include primary charging, secondary charging with simultaneous imagewise exposure and total exposure, for example in the USA.-patent applications ITr. 563 899 from b. July 1966 and No. 571 53ö of August 10, 1966 described electrophoto-

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BAI* ORiGJNALBAI * ORiGJNAL

graphischen Verfahren.graphic process.

.N&ch.... elektrophotcgraphischen Verfahren dieses Typs können elektrostatische Bildererzeugt werden, indem man eine Ladung bestimmter Polarität auf die Isolierschicht aufbringt, wobei man gleichzeitig eine Ladung entgegengesetzter Polarität von der Basisseite bzw. der Basisschicht her injiziert, um die Ladung in der liähe der Grenzfläche zwischen der Photoleiterschicht und der Isolierschicht und in der Photoleiterschicht zu binden, dann eine Gleichspannungskoronaentladung mit zur Primäraufladung umgekehrter Polarität oder eine Wechselstromkoronaentledung unter gleichzeitiger bildmässiger Belichtung auf das lichtempfindliche Element einwirken lässt, wobei die an Haftstellen festgesetzte Ladung an den hellen bzw. belichteten Stellen, jedoch nicht an den dunklen Stellen freigesetzt wird, und schliesglich eine iotalbelichtung anwendet, um den Kontrast zu erhöhen und ein elektrostatisches Bild zu erzeugen..N & ch .... electrophotographic processes of this type can Electrostatic images are created by holding a certain charge Applying polarity to the insulating layer, at the same time a charge of opposite polarity from the Base side or the base layer is injected in order to bring the charge close to the interface between the photoconductor layer and the insulating layer and in the photoconductor layer, then a DC corona discharge with the opposite of the primary charge Polarity or an alternating current corona discharge with simultaneous image-wise exposure to the photosensitive Allowing the element to act, whereby the charge attached to the points of adhesion does not appear in the bright or exposed areas the dark areas is released, and finally one Apply iotal exposure to increase contrast and create an electrostatic image.

Eine wesentliche Bedeutung kommt in bzw. bei den lichtempfindlichen Dreischichteneleaenten dem Ladungszustand der durch die Primäraufladung an Haftstellen festgesetzten Ladungen zu. Es ist ausserordentlich erwünscht, dass die Ladung stabil festgehalten, die Empfindlichkeit der Photoleiterschicht gesteigert und von der Basis- bzw. Leitschicht her leicht und in ausreichender Menge Photοstromträger in die lichtempfindliche Schicht injiziert werden.An essential meaning comes in or with the light-sensitive Three-layer elements correspond to the state of charge of the Primary charging at traps to fixed charges. It it is extremely desirable that the cargo is held securely, the sensitivity of the photoconductor layer is increased and injected from the base or conductive layer lightly and in sufficient quantity photocurrent carrier into the light-sensitive layer will.

Bei dem in Figur 1 wiedergegebenen lichtempfindlichen Element ist zwischen einer hochempfindlichen Photoleiterschicht 2 und einer Basisschicht 4 eine Sperrschient 3 vorgesehen, um leicht Photostromträger injizieren und eine Ladung mit zu derjenigen der durch die Primäraufladung in einer Isolierschicht 1 an Haftstellen festgesetzten Ladung umgekehrter Polarität in der Hähe der Grenzfläche zwischen der Photoleiterschicht 2 und der Isolierschient 1 fest- bzw. zurückzuhalten.In the photosensitive element shown in Figure 1 is between a highly sensitive photoconductor layer 2 and a base layer 4 a locking rail 3 is provided to easily Inject photocurrent carriers and a charge with that of the primary charge in an insulating layer 1 at traps fixed charge of reverse polarity at the level of the interface between the photoconductor layer 2 and the insulating bar 1 hold or hold back.

Die Empfindlichkeit eines licht empfindlichen Elements mit einer auf einem Leiter (Basisscnicht 4) durch Aufdampfen oder flattieren aufgebrachten Schient aus einer Se-Te-Legierung (Photoleiterschicht 2) schwankt in Abhängigkeit vom Tellurgehalt. Je hö-The sensitivity of a light sensitive element with a on a conductor (base not 4) by vapor deposition or flattening applied rail made of a Se-Te alloy (photoconductor layer 2) varies depending on the tellurium content. The higher

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her der Tellurgehalt ist, desto höher ist die rjupfinalicukeit* Die Empfindlichkeit erreicht ein Maximum bei einem Tellurgehalt von e4wa 20 Gewichtsprozent, wobei der Widerstand abnimmt, während die Kristallisation beschleunigt und~die Lebensdauer des lichtempfindlichen Elements verkürzt wird.The higher the tellurium content, the higher the rjupfinalicukeit * The sensitivity reaches a maximum at a tellurium content of about 20 percent by weight, whereby the resistance decreases, while the crystallization is accelerated and ~ the life of the photosensitive member is shortened.

Erfindungsgemäss wurde festgestellt, dass die Kristallisation unterdrückt werden kann, ohne die Empfindlichkeit zu verringern, indem man der Photoleiterschicht 0,01 bis 8 Gewichtsprozent Germanium, Silicium oder Ge-Si einverleibt. Wenn das dabei erhaltene Material als Photoleiterschicht verwendet wird, so enthält das Selen 6 bis 45 Gewichtsprozent Tellur und gewünschtenfalls zusätzlich 0,01 bis 8 Gewichtsprozent Ge, Si oder Ge-Si. Das Photoleitermaterial kann auf eine Aluminiumplatte als Photoleiterschicht aufgedampft v/erden. Das dabei erhaltene lichtempfindliche Element wird mittels einer Kofonaentladungsvorriciitung im Dunklen während einer gewissen Zeitdauer "t" positiv oder negativ aufgeladen. Das dabei erzielte Ladungspotential, wie es mittels eines Elektrometers gemessen werden kann, ist in Figur 2 wiedergegeben, aus der zu ersehen ist, dass die im Aufladungszeitpunkt f aufgebrachte Ladung unabhängig von der Polarität der Aufladung durch Dunkelentladung allmählich abfällt bzw. absinkt. In Figur 2 bezeichnet "a" eine positive Ladungskurve (Auf- und Entladungskurve) und "b) eine negative Ladungskurve.According to the present invention, it has been found that crystallization can be suppressed without lowering sensitivity by adding 0.01 to 8 percent by weight of germanium, silicon or Ge-Si to the photoconductor layer. If the material obtained in this way is used as a photoconductor layer, the selenium contains 6 to 45 percent by weight tellurium and, if desired, additionally 0.01 to 8 percent by weight Ge, Si or Ge-Si. The photoconductor material can be vapor-deposited onto an aluminum plate as a photoconductor layer. The photosensitive element obtained in this way is positively or negatively charged by means of a Kofona discharge device in the dark for a certain period of time "t". The resulting charge potential, as can be measured by means of an electrometer, is shown in FIG. 2, from which it can be seen that the charge applied at the charging time f gradually falls or sinks regardless of the polarity of the charge due to dark discharge. In FIG. 2, "a" denotes a positive charge curve (charging and discharging curve) and "b) a negative charge curve.

Wenn der Tellurgehalt in einer zur Erzeugung eines lichtempfindlichen Elements auf eine Aluminiumplatte aufgedampften Selenschicht bzw. genauer gesagt Selen-Tellur-Schicht auf weniger als etwa 5 $> verringert ist, so ergibt eine negative bzw. positive Aufladung dieses lichtempfindlichen Elements die in Figur 3 wiedergegebenen Ladungskurven (Auf- und Entladungskurven). Im Vergleich zu den Ladungskurven bei hohem Tellurgehalt ist das Oberflächenpotential bei der in Figur 3 wiedergegebenen negativen Ladung bzw. Aufladung beträchtlich geringer. Anders gesagt, ist diese Kurve so zu deuten, dass das Injizieren positiver Löcher (Photostromträtier) aus der Basisschicht (Basis bzw. Träger) leicht wird.When the tellurium content reproduced in a to produce a photosensitive member on an aluminum plate vapor-deposited selenium layer and more specifically, selenium-tellurium layer is reduced to less than about $ 5>, so resulting in a negative or positive charge of this photosensitive member in FIG 3 Charge curves (charge and discharge curves). Compared to the charge curves with a high tellurium content, the surface potential in the case of the negative charge or charge shown in FIG. 3 is considerably lower. In other words, this curve is to be interpreted in such a way that it is easy to inject positive holes (photoconductor) from the base layer (base or carrier).

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Wenn das vorstehend erwähnte Selen oder unterschiedliche Mengen an Tellur .enthaltende Selenlegierungen in Kombination verwendet und eine positive· oder negative Aufladung wähl1 end einer Zeitspanne "f" angewandt wird, ao erhält man den in Figur 4 wiedergegebenen Ladungszustand.When the above-mentioned selenium or tellurium .enthaltende different amounts of selenium alloys used in combination, and a positive or negative charge · dial 1 end of a time interval "f" is applied, ao is obtained reproduced in Figure 4. charge state.

Die negative Ladungskurve (Auf- und Entladungskurve ist dabei nahezu dieselbe wie die in Figur 3 wiedergegebene der Sperrschicht mit einem lellurgehalt von weniger als 6 c,Ot während die positive Ladungskurve (Auf- und Entladungskurve) beinahe der in Figur 2 wiedergegebenen einer Photoleiterschicht mit verhältnismässig hohem bzw. starkem Abfall gleicht.The negative charge curve (charge and discharge curve) is almost the same as that shown in Figure 3 of the barrier layer with a lellurium content of less than 6 c , O t while the positive charge curve (charge and discharge curve) is almost that of a photoconductor layer shown in Figure 2 equates to a relatively high or heavy waste.

In Figur lj ist die Änderung des mittels eines Elektrometer gemessenen Oberflächenpotentials wiedergegeben, die man feststellt, wenn man eine negative Aufladung während einer Zeitdauer f einerseits auf ein lichtempfindliches Element mit einer Photoleiterschicht, die die in Figur 2 wiedergegebenen Aufladungsund Dunkelentladungscharakteristiken aufweist, und einer darüber liegenden Isolierschicht, und auf ein lichtempfindliches Element mit einer lichtempfindlichen Schicht mit Sperr- bzw. Gleichrichterwirkung und den in Figur 3 und 4 wiedergegebenen Auf- und Dunkelentladungscharakteristiken, sowie einer darüber liegenden Isolierschicht anwendet und die lichtempfindlichen Elemente der jeweils im Dunkeln oder unter Belichtung entlädt.In figure j l is the change in measured by means of an electrometer surface potential is reproduced, which one finds when f is a negative charge during a period of time on the one hand to a photosensitive member having a photoconductive layer having the shown in figure 2 Aufladungsund dark discharge characteristics, and also lying insulating layer, and on a photosensitive element with a photosensitive layer with blocking or rectifying effect and the charging and dark discharge characteristics shown in Figures 3 and 4, as well as an overlying insulating layer and discharging the photosensitive elements in the dark or under exposure.

Die Ladungsabfallkurven bzw. Entladungskurven für Se oder mehr als 6 aJo Tellur enthaltende Selenlegierung sind in Figur 5 mit (X- und «' bezeichnet, wobei die mit ÖC bezeichnete Kurve den Potentialabfall bei Belichtung wiedergibt, während die mit #' bezeichnete Kurve den Potentialabfall bei Dunkelentladung veran-The charge drop curves or discharge curves for selenium alloy containing Se or more than 6 a Jo tellurium are denoted in FIG caused by dark discharge

von
schaulicht. Die Abfallkurven/Se oder Selenlegierungen mit einem Tellur gehalt von weniger als 6 c/o sind mit ß und ß1 bezeichnet, wobei die mit ß bezeichnete Kurve den Potentialabfall bei Belichtung und die mit ß1 bezeichnete Kurve den Potentialabfall durch Dunkelentladung wiedergibt. Zwischen den mit ß und ß1 bezeichneten Kurven ist kaum ein Unterschied festzustellen.
from
vividly. The fall curves / Se or selenium alloys with a tellurium content of less than 6 c / o are denoted by ß and ß 1 , with the curve denoted by ß the potential drop during exposure and the curve denoted by ß 1 the potential drop due to dark discharge. There is hardly any difference between the curves marked β and β 1.

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Wie aus Figur 5 zu ersehen ist, sinkt das Gberfluchenpotei-vtial des Selen oder einer Selenlegierung mit einem Tellur^ehalt von mindestens G lß> (entsprechend der Kurvenforu von Fiour 2) nach der Aufladung ab. Das vorstehend erwähnte lichtempfindliche Element weist, wenn es aufgeladen ist, eine Ladun^sverteilun^ auf. Die Ladung wird von der Leitschicht 11 her injiziert, um in·} Verlauf der Zeit die auf der Isolierschient 13 befindliche Ladung zu neutralisieren, und fällt dann ab. Zum Vergleich wird ein erfindungsgemässes lichtempfindliches Element der in Figur 6b dargestellten Art mit einer Sperrschicht 14 mit einer gleichmassigen elektrostatischen Ladung auf der Isolierschicht'13 und in der liähe der Grenzfläche zwischen der Isolierschicht und der Phοtoiexterschicht 12 versehen, wobei kaum ein Ladungsab- ψ fall auftritt. Dies lässt erkennen, dass in ausreichendem I^ass positive Löcher injiziert werden.As can be seen from Figure 5, the Gberfluchenpotei-vtial drops of the selenium or a selenium alloy with a tellurium ^ ehalt of at least l G ß> (corresponding to the Kurvenforu of Fi o ur 2) after charging from. The above-mentioned photosensitive member, when charged, has a charge distribution. The charge is injected from the conductive layer 11 to neutralize the charge on the insulating bar 13 over time, and then drops. For comparison, an inventive electrophotographic photosensitive member of the type shown in Figure 6b is provided with a barrier layer 14 having a uniform moderate electrostatic charge on the Isolierschicht'13 and in the liähe the interface between the insulating layer and the Phοtoiexterschicht 12, wherein hardly any Ladungsab- ψ event occurs . This indicates that positive holes are injected in sufficient I ^ ass.

Bei dem vorstehend- erwähnten elektrophotographischen Verfahren trägt die im Bereich der Grenzfläche zwischen der Photoleiterschicht und der Isolierschicht an Haftstellen festgesetzte Ladung zu höher Snpfindlichkeit, hohem Auflösungsvermögen, hohem Kontrast und guter Bildqualität bei.In the above-mentioned electrophotographic process, the wear in the area of the interface between the photoconductor layer and the insulating layer attached to traps to higher sensitivity, high resolution, high Contrast and good image quality.

Gemäss einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung kann als Basisschicht ein Leiter,, wie Aluminium, Kupfer, Messing und dergleichen in beliebiger Stärke und in gewünschter Form, z.B. in Form von Blechen, Bahnen, Platten, Trommeln und Zylindern, ) verwendet werden. Auf die Basisschicht werden nach bekannten Schichtherstellungsmethoden, wie Sprühen, Cobedampfung oder Vakuumbedampfung eine Sperrschicht und eine Photoleiterschicht aufgebracht.According to a preferred embodiment of the invention, as Base layer a conductor, such as aluminum, copper, brass and the like in any thickness and in the desired shape, e.g. in the form of sheets, webs, plates, drums and cylinders,). On the base layer are known according to Layer production methods such as spraying, co-evaporation or Vacuum evaporation of a barrier layer and a photoconductor layer upset.

Die Sperrschicht kann durch Bedampfen der Basisschicht mit einer 0 bis 6 Gewichtsprozent Tellur enthaltenden Chalcogenmasse, z.B. Se, Se-Te, Se-Ge, Se-Si, Se-Ge-Si, Se-Te-Ge, Se-Te-Si, Se-Te-Ge-Si und dergleichen^,aufgebracht werden, wobei man mit einer Basisechicht- bzw. Subs trat temperatur von etwa 65 bis etv/a 8O0G arbeitet und eine etwa 1 bis 60 um starke Schicht aufbringt.The barrier layer can be formed by vapor deposition of the base layer with a chalcogen mass containing 0 to 6 percent by weight tellurium, e.g. Se, Se-Te, Se-Ge, Se-Si, Se-Ge-Si, Se-Te-Ge, Se-Te-Si, be applied Se-Te-Ge-Si, and the like ^, eluting with a stepped Basisechicht- or Subs temperature of about 65 to etv / a 8O 0 G works and an approximately 1 to 60 applied to thick layer.

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Die Photoleiterschicht kann erzeugt werden, indem man eJne mehr als 6 und vorzugsweise "bis zu etwa 45 Gewichtsprozent Tellur enthaltend"^ Chalcogeninasse, wie Se-Te, Se-Te-Ge, Se-Te-Si, Se-Te-Ge-Si und dergleichen.in einer Stärke von etwa 1 bis 80 ^im. aufträgt.The photoconductor layer can be created by adding one more as 6 and preferably "containing up to about 45 percent by weight of tellurium" ^ Chalcogenin mass, such as Se-Te, Se-Te-Ge, Se-Te-Si, Se-Te-Ge-Si and the like, in a thickness of about 1 to 80 µm. applies.

Als auf der Photoleiterschicht liegende Isolierschicht kann man jedes beliebige Isoliermaterial verwenden, das ein ausgezeichnetes Ladungsretentions- bzw. -haltevermögen besitzt und Strahlen durchlässt, gegen die das Material der Photoleiterschicht empfindlich ist. Repräsentative Beispiele geeigneter Isoliermaterialien sind organische Isolierschichten, wie Kunstharzfilme, z.B. Polypropylen- und Polyesterfilme, anorganische Isoliermaterialien, wie Aluminiumoxid, Glimmer und dergleichen, und Compositmaterialien aus anorganischen und organischen Iso-Iiermaterialien. As the insulating layer overlying the photoconductor layer, any insulating material which is excellent can be used Has the ability to retain or hold charges and rays to which the material of the photoconductor layer is sensitive. Representative examples of suitable insulation materials are organic insulating layers, such as synthetic resin films, e.g. polypropylene and polyester films, inorganic insulating materials, such as alumina, mica and the like, and composite materials of inorganic and organic insulating materials.

Die Beispiele erläutern die Erfindung, die jedoch nicht auf die Beispiele beschränkt ist.The examples illustrate the invention, which, however, is not restricted to the examples.

Beispiel 1example 1

Ein Gemisch aus Selen- und iellurpulver mit einer Reinheit' von jeweils mehr als 99t99 5» in einem Gewichts verhältnis von 9 ϊ 1 wird in eine auf etwa 10 Torr evakuierte Quar^zampulle eingefüllt, worauf die Ampulle zugeschmolzen und 7 Stunden auf etwa 550 C erhitzt wird, um den Inhalt zu schmelzen. "Vorzugsweise wird die Scnmelze durch Rütteln oder Rollen ausreichend gerührt. Dann wird die Ampulle in V/asser abgeschreckt. Man erhält" auf diese weise eine glasige bzw. amorphe Se-Te-Legierung. Die so erhaltene glasige Legierung wird unter einem Druck vonA mixture of selenium and iellur powder with a purity of more than 99 t 99 5 »in a weight ratio of 9 ϊ 1 is poured into a quartz ampoule evacuated to about 10 Torr, whereupon the ampoule is melted shut and lasted for about 7 hours 550 C is heated to melt the contents. "The melt is preferably sufficiently stirred by shaking or rolling. The ampoule is then quenched in water. In this way, a glassy or amorphous Se-Te alloy is obtained." The glassy alloy thus obtained is under a pressure of

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10 bis 10 mm Hg bei einer Basisschicht- bzw. Substrattemperatur von 65 bis 70°C und einer Dampfquellentemperatur von etwa 250 C auf eine Aluminiumbasisschicht unter Bildung einer etwa 40 um starken lichtempfindlichen Schicht bzw. Photoleiterschicht aufgedampft. Dann wird auf die Oberfläche der lichtempfindlichen Schicht unter Verwendung eines Epoxyharzes ein 25 ^im starker Polyäthylen-fcerephthalatfiln aufgeklebt, wobei man ein lichtempfindliches Element mit ^reischichtstruktur erhält. Dieses lichtempfindliche Element wird nachstellend als "lichtempfind-10 to 10 mm Hg at a base layer or substrate temperature of 65 to 70 ° C and a steam source temperature of about 250 C on an aluminum base layer to form an approx 40 µm thick light-sensitive layer or photoconductor layer vaporized. Then, a 25 ^ in thick layer is applied to the surface of the photosensitive layer using an epoxy resin Glued on polyethylene fcerephthalate film, whereby one is a light-sensitive Element with a layer structure is retained. This light-sensitive element is referred to as "light-sensitive

109882/1680 BAD ORIGINAL·"109882/1680 BATH ORIGINAL · "

liches Standardelement" bezeichnet, weiterhin wird in eine aufLiches standard element ", continues to be in a

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etwa 10 Torr evakuierte Quarzampulle Selenpulver eingefüllt, worauf die Ampulle, um ihren Inhalt zu schmelzen 6 Stunden auf etwa 5000C erhitzt und dann in Wasser abgeschreckt wird. Man erhält glasiges bzw. amorphes Selen. Diese glasige' Seieulegie-
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About 10 Torr evacuated quartz ampoule filled with selenium powder, whereupon the ampoule is heated to about 500 ° C. for 6 hours in order to melt its contents and then quenched in water. Glassy or amorphous selenium is obtained. This glassy 'Seieulegie-

—4. —5—4. -5

rung wird bei einem Druck von 10 bis 10 mm Hg, einer Basisschicht- bzw. Substrattemperatur'von 65 bis 75 C und einer Dampfquellentemperatur von etwa 250 C unter Bildung einer etwa 20 Jim starken Sperrschicht auf eine Aluminiumbasisschicht aufgedampft. Auf diese Sperrschicht wird dann bei einem Druck von 10 bis 10 mm Hg, einer Substrattemperatur von 85 bis 800C und einer Dampfquellentemperatur von etwa 250 C die vorstehend erwähnte glasige bzw. amorphe Se-Te-Legierung unter Bildung einer etwa 30"^um starken lichtempfindlichen Schicht bzw. Photoleiterschicht aufgedampft. Dann wird auf die Iiohtempfindliche Schicht mit einem Epoxyharz ein 25 lim starker Polyäthylenterephthalatfilm aufgeklebt, wodurch man ein lichtempfindliches Είδ-ment mit Vierschichtenstruktur erhält.tion is vapor-deposited onto an aluminum base layer at a pressure of 10 to 10 mm Hg, a base layer or substrate temperature of 65 to 75 ° C. and a steam source temperature of about 250 ° C. to form a barrier layer about 20 μm thick. On this barrier layer is then pressed at a pressure of 10 to 10 mm Hg, a substrate temperature of 85 to 80 0C and a vapor source temperature of about 250 C, the above-mentioned glassy or amorphous Se-Te alloy to form an about 30 "^ to Then a 25 μm thick polyethylene terephthalate film is stuck onto the light-sensitive layer with an epoxy resin, whereby a light-sensitive Είδ element with a four-layer structure is obtained.

Das lichtempfindliche Standardelement wird dem in der japanischen PatentVeröffentlichung Nr. 24 748/1968 beschriebenen elekfrophotographischen Verfahren unter Anwendung einer Belichtungslichtmenge von etwa 10 Lux . Sekunden unterworfen, wobei man ein Bild mit einem elektrostatischen Kontrast von etwa 400 V erhält.The standard photosensitive element will be that of Japanese Patent Publication No. 24748/1968 electrophotographic process using an amount of exposure light of about 10 lux. Seconds, taking an image with an electrostatic contrast of about 400 V receives.

Zum Vergleich wird das vorstehend beschriebene erfindungsgemässe lichtempfindliche Element unter Anwendung der gleichen Bedingungen dem gleichen elektrophotographischen Verfahren wie das lichtempfindliche Standardelement unterworfen, wobei bei einer Belichtungslichtmenge von 5 Lux . Sekunden ein elektrostatischer Kontrast von etwa 600 V erzielt wird und das erfindungsgemässe lichtempfindliche Element ausserdem ein ausgezeichnetes Auflösungsvermögen und Panchromasie zeigt.For comparison, the above-described according to the invention photosensitive element using the same conditions subjected to the same electrophotographic process as the standard photosensitive member, with one Exposure light amount of 5 lux. Seconds an electrostatic Contrast of about 600 V is achieved and the photosensitive member of the present invention is also excellent in resolving power and panchromasia shows.

Beispiel 2Example 2

Se-, Te- und Ge-Pulver mit einer Reinheit von jeweils mehr als 99,99 '/° werden in einem Atomverhältnis von 1:1:1 gemischt, etwa 20 Stunden in einer Kugelmühle vermählen und in eine aufSe, Te and Ge powders, each with a purity of more than 99.99 '/ °, are mixed in an atomic ratio of 1: 1: 1, ground in a ball mill for about 20 hours and then on

109882/1680
BAITORiGlNAi.
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BAITORiGlNAi.

etwa 10 Torr evakuierte Quarzampulle eingeschmolzen, worauf die Ampulle 50 Stunden auf etwa 8000C erhitzt wird, um ihren Inhalt zu schmelzen. Vorzugsweise wird die Schmelze in der Ampulle durch Rütteln oder Rollen gemischt. Dann wird die Ampulle in Wasser abgeschreckt, wodurch man eine glasige Se-Ie-Ge-Legierung erhält. Weiterhin wird analog der in Beispiel 1 "beschriebenen Arbeitsweise eine Se-Te-Legierung mit einem Gewichtsverhältnis von Selen zu Tellur von 100 : 7 hergestellt. Dann wird auf die Oberfläche einer gemäss Beispiel 1 auf eine Aluminiumplatte aufgebrachten Selensperrschicht unter Verwendung der Se-Te-Ge-Legierung oder der Se-Te-Legierung durch Gobedampfen eine etwa 30 pr. starke lichtempfindliche Schicht bzw. Photoleiterschicht aufgebracht. Die dabei erhaltene lichtempfindliche Schicht enthält Selen, Tellur und Germanium in einem Gewichtsverhältnis von etwa 90 :10 : 0,4.'Beim Aufdampfen der Photoleiterschicht werden folgende Bedingungen angewandt; Druck 10""* bis 1G~P mm Hg; Subetrattemperatur 65 bis 820C; und D^ampfquellentenperatur etwa 55O0C im Falle der Se-Te-Ge-Legierung sowie etwa 25O0C im Falle der Se-Te-Iegierung. Dann wird auf die Oberfläche der lichtempfindlichen Schicht mit einem Epoxyharz jeweils ein 25 p& starker Polyäthylenterephthalatfilm aufgeklebt, wodurch man ein lichtempfindliches Element mit Vierschichtstruktur erhält.about 10 Torr evacuated quartz ampoule melted, whereupon the ampoule is heated to about 800 ° C. for 50 hours in order to melt its contents. The melt is preferably mixed in the ampoule by shaking or rolling. The ampoule is then quenched in water to give a glassy Se-Ie-Ge alloy. Furthermore, a Se-Te alloy with a weight ratio of selenium to tellurium of 100: 7 is produced analogously to the procedure described in Example 1. Then, a selenium barrier layer applied to an aluminum plate according to Example 1 is applied using the Se-Te . Ge alloy or the Se-Te alloy is approximately 30 pr applied by Gobedampfen a strong light-sensitive layer or photoconductor layer the photosensitive layer thus obtained selenium, tellurium, and germanium in a weight ratio of about 90:. 10: 0,4 '. During the vapor deposition of the photoconductor layer, the following conditions are used: pressure 10 "" * to 1G ~ P mm Hg; substrate temperature 65 to 82 0 C; and steam source temperature about 55O 0 C in the case of the Se-Te-Ge alloy and about 250 0 C in the case of Se-Te Iegierung. Then, it is bonded to the surface of the photosensitive layer with an epoxy resin are each a 25 p thick polyethylene terephthalate film, to obtain a light-sensitive element with four-layer structure.

Dieses lichtempfindliche Element wird analog Beispiel 1 und unter den gleichen Bedingungen wie in Beispiel 1 einem elektrophotographischen Verfahren unterworfen. Man erzielt bei einer Belichtungslichtmenge von 5 IjUX . Sekunden einen elektrostatischen Kontrast von etwa 550* Volt, und auch das Auflösungsvermögen, die Panchroiaasie und die Dauerhaftigkeit der geprüften lichtempfindlichen Elemente erweisen sich als ausgezeichnet.This photosensitive element is analogous to Example 1 and under the same conditions as in Example 1 an electrophotographic Subject to proceedings. An exposure light amount of 5 IjUX is obtained. Seconds an electrostatic Contrast of about 550 * volts, and also the resolution, the panchroiaasia and the durability of the tested photosensitive elements prove to be excellent.

109882/1680 6AD1ORIGINAt,109882/1680 6AD 1 ORIGINAt,

Claims (1)

Patent ansprüchePatent claims fly Elektrophotographisches, lichtempfindliches Element mit einer BasisscMc:it (4), einer Photoleiterschicht (2) und einer auf der Photoleiterschicht (2) liegenden Isolierschicht (1), sowie einer zwischen der Basisschicht (4) und der Photoleiterschicht (2) liegenden Sperrschicht (3). fly electrophotographic, photosensitive element with a base cMc: it (4), a photoconductor layer (2) and an insulating layer (1) lying on the photoconductor layer (2), as well as a barrier layer lying between the base layer (4) and the photoconductor layer (2) ( 3). 2. Lichtempfindliches Element nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Photoleiter^schicnt (2) mehr als 6 ',S Te enthält.2. Photosensitive element according to claim 1, characterized in that that the photoconductor ^ sends (2) more than 6 ', p Contains te. 5. Lichtempfindliches Element nach Anspruch 1 oder 2, dadurcn gekennzeichnet, dass die Sperrschicht (3) weniger als 6 fi Te enthält.5. Photosensitive element according to claim 1 or 2, characterized in that the barrier layer (3) contains less than 6 fi Te . 4. Lichtempfindliches Element nach Anspruch 2 und 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Photoleiterschicht (2) bis zu 45 cß> Te enthält.4. Photosensitive element according to claim 2 and 3, characterized in that the photoconductor layer (2) contains up to 45 c ß> Te. 5. Lichtempfindliches Element nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Photoleiterschicht (2) 6 bis 45 # Te und 0,01 bis 8 56 Ge, Si und/oder Ge-Si enthält.5. Photosensitive element according to at least one of the claims 1 to 4, characterized in that the photoconductor layer (2) 6 to 45 # Te and 0.01 to 8 56 Ge, Si and / or Contains Ge-Si. 6. Verfahren zur Herstellung eines elektrophotographischen, lichtempfindlichen Elements, insbesondere nach mindestens einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass man auf einer Basisschicht eine weniger als 6 # Tellur enthaltende Selen- oder Selenlegierungsschicht (Sperrschicht), auf diese Sperrschicht eine nehr als 6 $έ und vorzugsweise weniger als 45 $> Tellur enthaltende Photoleiterschicht und auf die Photoleiterschicht eine Isolierschicht aufbringt.6. A method for producing an electrophotographic, photosensitive element, in particular according to at least one of claims 1 to 5, characterized in that a selenium or selenium alloy layer (barrier layer) containing less than 6 # tellurium is applied to this barrier layer on a base layer 6 $ έ and preferably less than 45 $> tellurium-containing photoconductor layer and applies an insulating layer to the photoconductor layer. 109 882/16 80 BAD ORIGINAL109 882/16 80 BATH ORIGINAL A4A4 LeerseiteBlank page
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