DE2120881A1 - Multiple electron beam scanner - Google Patents

Multiple electron beam scanner

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DE2120881A1
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cathode
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control
openings
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Bobby L. Palos Verdes Calif. Landrum (V.StA.)
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Northrop Grumman Corp
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Northrop Grumman Corp
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    • G09G1/00Control arrangements or circuits, of interest only in connection with cathode-ray tube indicators; General aspects or details, e.g. selection emphasis on particular characters, dashed line or dotted line generation; Preprocessing of data
    • G09G1/20Control arrangements or circuits, of interest only in connection with cathode-ray tube indicators; General aspects or details, e.g. selection emphasis on particular characters, dashed line or dotted line generation; Preprocessing of data using multi-beam tubes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
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    • H01J29/00Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/46Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the ray or beam, e.g. electron-optical arrangement
    • H01J29/467Control electrodes for flat display tubes, e.g. of the type covered by group H01J31/123

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Elektronenstrahl-Abtaster und insbesondere einen Abtaster, der flache Dynodensteuerelemente und eine Modulationsdynode verwendet und sieb für iiiehrstrahlbetrieb eignet.The present invention relates to an electron beam scanner and in particular a scanner that uses flat dynode controls and a modulation dynode used and sie suitable for high-jet operation.

In dem ü. S. Patent Ho. 3»408,532 von D. E. Hultberg et al,. das der liorthrop Corporation, der Anmelderin der vorliegenden Anmeldung, erteilt wurde, wird ein Elektronenstrahl-Abtaster beschrieben, der eine Anzahl von in Streifenmustern codierten Dynodenelementen verwendet, die in Sandwich-Bauweise zwischen einer elektronenemittierendeh Kathode und einer Auffangelek-· trode vorgesehen sind und die zwei unabhängig voneinander leitende Abschnitte enthalten, die in einem Streifenmuster (fingerartiges Auster) angeordnet sind. Die Öffnungen in den Dynoden sind zueinander ausgerichtet, so daß sie: Elektronen-. strahlkanäle bilden,die vonder Kathode zur Auffangelektrode verlaufen. Die leitenden Abschnitte des Dynoden-StreifenmustersIn the ü. See Patent Ho. 3 »408,532 by D. E. Hultberg et al. that of liorthrop Corporation, the assignee of the present Registration, granted, is an electron beam scanner which a number of encoded in stripe patterns Dynode elements used in sandwich construction between an electron-emitting cathode and a collecting electrode trode are provided and the two are independent of each other contain conductive sections arranged in a striped pattern (finger-like oyster) are arranged. The openings in the Dynodes are aligned with each other so that they: Electron-. Form beam channels leading from the cathode to the collecting electrode get lost. The conductive sections of the dynode striped pattern

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Patentanwälte Dipl.-lng. Martin Licht, Dipl.-Wirtsdt.-Ing. Axel Hansmann, Dipl.-Phys. Sebastian HerrmannPatent attorneys Dipl.-lng. Martin Licht, Dipl.-Wirtsdt.-Ing. Axel Hansmann, Dipl.-Phys. Sebastian Herrmann

8 MDNCHEN 2, TH E R ES I EN STRASS E33 · Telefon; 281202 · Telegramm-Adrem: Upatli/München Bayer. Vereinsbank MBndien, ZweiO(t. Oskar-von-Miller-Ring, Klo,-Nr. 8B2495 · Poslicheck-Konto: MOndien Nr. 1633978 MDNCHEN 2, TH ER ES I EN STRASS E33 · Telephone; 281202 Telegram address: Upatli / Munich Bayer. Vereinsbank MBndien, Zwei O (t. Oskar-von-Miller-Ring, Klo, -Nr. 8B2495Poslicheck-Account: MOndien Nr. 163397

Oppenauer Büro: PATENTANWALT DR. REINHOLD SCHMIDTOppenau office: PATENT ADVOCATE DR. REINHOLD SCHMIDT

werden gemäß binären Steuersignalen erregt, so daß jeweils einer der Kanäle aktiviert wirdj dadurch läßt sich; der Strahl in.vorherbestimmter· Weise auf die Auffangelektrode ablenken.are energized according to binary control signals so that respectively one of the channels is activated j thereby can; the beam deflect it onto the collecting electrode in a predetermined manner.

Es bietet gewisse Vorteile, mit mehreren Strahlen zu arbeiten, die gleichzeitig verschiedene Abschnitte der Auffangelektrode eines Elektronenstarahlr-Abtasters nach; Art des in dem erwähnten Patent besohriebefien Geräts abtasten.:* Erstens lassen sich durch einen solchen He%rstrahlbetrieb gleichzeitig mehrere getrennte Anzeigen erzeugen. Auf diese Weise kann die Informa-" tionsverarbeitungs-Kapazität des Abtasters erhöht werden. Außerdem lassen sich die verschiedenen Strahlen dazu verwenden, gleichzeitig verschiedene Abschnitte der gleichen Anzeige darzustellen. Bei einem Fernsehbild kann man also beispielsweise verschiedene Abschnitte dieses Bildes gleichzeitig auf dem Bildschirm registrieren, wobei das Auge aus diesen verschiedenen Einzelabschnitten: das Gesamtbild zusammensetzt. Diese Art der gleichzeitigen Strahlabtastung hat den Vorteil, daß jeder der gleichzeitig abtastenden Strahlen für eine gegebene Gesamtabtastdauer langsamer abtasten kann, was dem Strahl eine größere Verweilzeit bei jedem Auflösungselement der Auffangelektrode erlaubt und dadurch die Bildhelligkeit erhöht.There are certain advantages to working with multiple beams, the simultaneously different sections of the collecting electrode an electron beam scanner according to; Kind of in that mentioned Patent besohriebefien device scan: * Firstly, can through such a blasting operation several at the same time generate separate advertisements. In this way, the information tion processing capacity of the scanner can be increased. In addition, the various beams can be used to display different sections of the same display at the same time. With a television picture, for example, you can different sections of this image at the same time on the Register the screen, with the eye assembling the overall picture from these various individual sections. These Type of simultaneous beam scanning has the advantage that each of the simultaneously scanning beams for a given one Total scan time can scan more slowly what the beam a longer dwell time with each dissolution element of the Catching electrode allowed and thereby the image brightness increased.

Das Gerät der vorliegenden Erfindung weist gegenüber dem oben angeführten Patent eine Änderung auf, die einen Betrieb ermöglicht, bei dem jeder der Strahlen gemäß getrennte*! Modulation s-Steueraignalen erregt werden kann. Ersichtlicherweise kann das erfindungsgemäße Gerät außer für-die Bildwiedergabe auch als Bild-Sensor oder als Speichergerät ausgelegt sein, um eine Anzahl getrennter Bilder oder Muster abzutasten oder zu speichern.The device of the present invention has compared to the the above patent made an amendment to an operation allows each of the rays to be separated according to *! modulation s-Steueraignalen can be excited. Obviously the device according to the invention can except for image reproduction also be designed as an image sensor or as a storage device, to scan a number of separate images or patterns, or save.

Das erfindungsgemäße Gerät hat große Ähnlichkeit mit dem Einzelstrahl^Abtas%erät, das in dem erwähnten Patent Ko*The device according to the invention is very similar to that Single beam ^ Abtas% erät that in the mentioned patent Ko *

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3,408,532 beschrieben wird. Ea enthält eine relativ einfache Abänderung der in dem Patent beschriebenen Anordnung. Dieses U. S. Patent ist daher durch Bezugsnahme In der vorliegenden Anmeldung enthalten, wobei, wie für Fachleute ersichtlich ist, nur'die über die Darlegung des Patents hinausgehende Informahier näher erläutert.wird·3,408,532. Ea contains a relatively simple one Modification of the arrangement described in the patent. This U.S. patent is therefore incorporated herein by reference Application included, whereby, as is apparent to those skilled in the art, only the information going beyond the presentation of the patent is here is explained in more detail.

Der Erfindung liegt d&Jier im wesentlichen die Aufgabenstellung zugrunde, einen verbesiserten Elektronenstrahl-Abtaster' nach Art d?es in dem TJ. S. Patent Uo. 3,408,532 beschriebenen Geräte zu.„schaffen, der für Mehrstrahlbetrieb verwendet werden kann.The invention is essentially based on the object based on 'an improved electron beam scanner' Kind of it in the TJ. S. Patent Uo. 3,408,532 devices described to. “that can be used for multi-beam operation.

Erfindung läßt siuh folgendermaßen zusammenfassens Eine „Anzahl flacher, codierter Dynodeneleiaente ist in Sandwich-Baujweise zwischen einer als flache Platte ausgebildeten, elektronenemittie.renden Kathode und einer, flachen Auffangelektrode vorgesehen. Die Dynodenelemente enthalten Öffnungen, die so zueinander ausgerichtet aindr daß sie durch sämtliche Synoden .hindurchlaufende Elektronenetrahlkanäle bilden. Jede der Dynoden enthält außerdem unabhängig voneinander leitende Streifenmuster, wobei daa feinste Streifenmuster einen Bildpunkt auf der Auffangelektrode definiert. Die Streifenmuster und die Anzahl der verwendeten Synoden werden so gewählt, daß sie eine bestimmte Anzahl gleichzeitig abtastender Strahlen bilden. Ein ilodulationsgitter mit Öffnungen, die den Dynoden-Öffnungen entsprechen, und.mit getrennten Abschnitten, die jene Flächenbereiche bedecken, die jeder der Abtaststrählen erfaßt, befindet eich «wischen Kathode und Auffangelektrode und steuert die Strahlerregung.The invention can be summarized as follows: A number of flat, coded dynode elements are provided in a sandwich construction between an electron-emitting cathode designed as a flat plate and a flat collecting electrode. The dynode elements include openings that aind so aligned r that they form through all SYNODS .hindurchlaufende Elektronenetrahlkanäle. Each of the dynodes also contains independently conductive stripe patterns, the finest stripe pattern defining a pixel on the collecting electrode. The stripe patterns and the number of synods used are chosen so that they form a certain number of simultaneously scanning beams. An ilodulation grid with openings which correspond to the dynode openings and with separate sections which cover the surface areas which each of the scanning beams covers is located between the cathode and the collecting electrode and controls the excitation of the beam.

Es folgt nun eine Beschreibung der Erfindung anhand der Zeichnung. Die schema tische Zeichnung erläutert ein - Ausführung s-beispiel des erfindungsgemäßen Geräts. Die vorliegende Erfindung umfaßt eine als flache Platte auegebildete Kathode unäThere now follows a description of the invention with reference to the drawing. The schematic drawing explains an - execution s example of the device according to the invention. The present invention comprises a cathode formed as a flat plate and the like

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212Q881- .212Q881-.

eine flache Aüffängelektröde, zwischen denen sich in Sändwiöh-Bäüweise eine Anzahl von Steuerplatten oder Dynoden Befindet^ die zur Steuerung mehrerer Eiektronenstrahlen dienen* Es sollte erwähnt werden , daß die Steuerplätten Keine Elektronenvervielfacher oder Dynoden- zu sein Brauchen* Die Dynoden enthalten Öffnungen, die miteinander fluchten und dadurch Elektronenstrählkanäle Bilden,- die von der Kathode zur Auffange!ektröde ver-' laufen. Die Dynoden enthalten in einem Bestimmten Streifenmuster angeordnete Steuerelektroden ^ woBei das feinste Streifenr muster einen Bildpunkt der Äuffangelektrode darstellt* Die Streifenmuster sind so gewählt und angeordnet, daß gleichzeitig P mehrere ABtaststrahlen geschaffen werden. Für die Dynoden sind Schaltervorrichtungen vorgesehen, um die Elektroden-Streifenmuster selektiv erregen zu können, so daß jeder Strahl jeweils ein Einzel^-ABtästelement aktiviert. Auf einem Modulationsgitter mit Öffnungen, die mit den DynodenÖffnungen fluchten, sind getrennte Steuerelektroden vorgesehen, wobei jede Elektrode jeweils einen Strahl steuert. a flat collecting electrode, between which a number of control plates or dynodes are located in Sändwiöh-Bäüweise, which serve to control several electron beams * It should be mentioned that the control plates do not need to be electron multipliers or dynodes align and thereby form electron beam channels - which run from the cathode to the collector. The dynodes contained in a particular stripe pattern arranged control electrodes ^ wherein the fine stripe pattern r represents a pixel of the Äuffangelektrode * The stripe patterns are selected and arranged so that simultaneously a plurality of scanning beams P to be created. Switch devices are provided for the dynodes in order to be able to selectively excite the electrode strip patterns, so that each beam activates a single ^ scanning element. Separate control electrodes are provided on a modulation grid with openings that are aligned with the dynode openings, with each electrode controlling one beam at a time.

In der Zeichnung ist schematasch ein Bevorzugtes Ausführungs-Beispiel der Erfindung gezeigt. Dieses AusführungsBeispiel enthält Vier getrennte Strahlen, woBei jeder der Strahlen : jeweils einen Quadrant der Auffangelektrode aBtasten kann. ^ Ersichtlicherweise ist die Verwendung von vier Strahlen einA preferred embodiment example is schematically shown in the drawing of the invention shown. This execution example contains four separate rays, where each of the rays: can scan one quadrant of the collecting electrode at a time. ^ Obviously the use of four rays is one

. spezielles AnwendungsBeispiel des allgemeinen LiehrstrahlBetrieBs. Durch andere EomBinationen von Streifenmuster-Elektroden und Dynodenanzahl lassen sich verschiedene andere Strahlanordnungen schaffen. -,,.;. special application example of general Liehrstrahl operation. By other combinations of striped electrodes and Number of dynodes can be various other beam arrangements create. - ,,.;

Zwischen der Kathode 16 und der Auffangelektrode 11 liegt eine" Spannungsversorgung 33 zur Beschleunigung des Elektronenflusses. Zwischen Kathode und Auffangelektrode Befinden sich Dynoden-• elemente 22-26. Wie in dem Patent Uo. 3,408,532 BeschrieBen ist, Befinden sich die Kathode, die Auffangelektrode und die Dynoden-Between the cathode 16 and the collecting electrode 11 there is a " Power supply 33 to accelerate the flow of electrons. Between the cathode and the collecting electrode there are dynode • elements 22-26. As in the Uo patent. 3,408,532 is described, Are the cathode, the collecting electrode and the dynode

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elemente in einem Vakuum. Die Dynoden haben Öffnungen 47, die bei allen Dynoden in einem ähnlichen Matrix-Muster angeordnet sind. Die Dynoden sind zueinander ausgerichtet, so daß entsprechende Öffnungen Elektronenstrahlkanäle zwischen der Kathode und der Auffangelektrode bilden.elements in a vacuum. The dynodes have openings 47 which are arranged in a similar matrix pattern in all dynodes are. The dynodes are aligned with one another so that corresponding openings between the electron beam channels Cathode and the collecting electrode form.

Die Dynode 22 enthält leitende Abschnitte 22a und 22b auf zwei gegenüberliegenden Flächen. Diese leitenden Abschnitte sind voneinander isoliert und mit den entgegengesetzten Stufen eines Flipflops 50 verbunden. In entsprechender Weise enthalten die Dynoden 23-25 leitende Abschnitte 23a,23b-25a,25b, die mit entsprechenden Flipflops 51-53 verbunden sind. Die Modulationsdynode 26, die ein Steuergitter bildet, enthält vier getrennte Elektrodensegmente 26a-26d auf den gegenüberliegenden Plattenoberflächen. Jedes der Segmente26a-26d empfängt von einer zugehörigen Modulatoreinheit 60-63 ein eigenes Modulationssignal. The dynode 22 includes conductive portions 22a and 22b on two opposite faces. These conductive sections are insulated from each other and with the opposite steps a flip-flop 50 connected. Included in a corresponding manner the dynodes 23-25 conductive portions 23a, 23b-25a, 25b connected to respective flip-flops 51-53. The modulation dynode 26, which forms a control grid, includes four separate electrode segments 26a-26d on opposite ones Plate surfaces. Each of the segments 26a-26d receives its own modulation signal from an associated modulator unit 60-63.

Wie in dem erwähnten Patent ausführlich beschrieben wird, können die in einem Streifenmuster angeordneten Elektroden 22a,22b-25a,25b durch ihre zugehörigen Flipflops 50-53 selektiv erregt werden, um die Elektronenstrahlen zwischen Kathode 16 und Auffangelektrode 11 zu steuern. Bei dem in dem erwähnten Patent beschriebenen Gerät kann jeweils nur ein einziger elementarer Abschnitt der Auffangelektro-de erregt werden, während bei dem vorliegenden Gerät vier solcher elementarer Abschnitte gleichzeitig erregt werden. Ein solcher gleichzeitiger mehrstrahlbetrieb wird in dem in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiel dadurch ermöglicht, daß die in dem erwähnten Patent vorgesehenen Dynoden mit nur zwei Streifenelektroden fortgelassen werden und dafür zusätzlich eine kodulationsdynode 26 verwendet wird, die zur Steuerung jedes der Strahlen getrennte Elektrodenabschnitte 26a-26d hat.As detailed in the referenced patent, the electrodes 22a, 22b-25a, 25b arranged in a striped pattern can be selectively used by their associated flip-flops 50-53 are excited in order to control the electron beams between cathode 16 and collecting electrode 11. With the one mentioned in that The device described in the patent can only excite a single elementary section of the collecting electrode at a time. while in the case of the present device, four of these are more elementary Sections are excited at the same time. Such a simultaneous multi-beam operation is shown in the drawing Embodiment thereby enables the dynodes provided in the mentioned patent with only two Strip electrodes are omitted and a kodulationsdynode 26 is additionally used for the control each of the beams has separate electrode sections 26a-26d.

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In der Zeichnung sind die Streifenelektroden 22a-25a nicht" * punktiert gezeichnet, was "bedeuten soll, daß diese Streifen durch ihre entsprechenden Flipflops in Durchlaßrichtung vorgespannt sind, um einen Elektronenfluß hervorzurufen. Die getüpfelten oder punktierten Elektroden 23b-25b sind in Sperrrichtung vorgespannt, um den Elektronenfluß zu verzögern. Wenn, jeder Quadrant 26a-26d der Modulationsdynode 26 in Durchlaßrichtung vorgespannt ist, erreichen ersiehtlicherweise vier Strahlen 6Oa-6Od die Auffängelektrode 11. Der Elektronenfluß durch sämtliche übrigen Kanäle, beispielsweise Strahl 61, wird an der einen oder anderen Dynode zurückgestoßen. Er— sichtlicherweise kann durch geeigneten Betrieb der I'lipflops 50-53 jedes Segment der Auffangeiektrodö durch den zugehörigen Strahl selektiv erregt werden, so daß entweder regelmäßig oder in beliebiger Weise abgetastet wird.In the drawing, the strip electrodes 22a-25a are not "* dotted, which means "that these stripes are forward biased by their respective flip-flops to cause electron flow. the Stippled or punctured electrodes 23b-25b are reverse-biased biased to retard the flow of electrons. If so, each quadrant 26a-26d of the modulation dynode 26 in the forward direction is biased, can be seen to achieve four beams 6Oa-6Od the collecting electrode 11. The electron flow through all other channels, for example beam 61, is repelled at one or the other dynode. He- obviously, proper operation of the I'lipflops 50-53 each segment of the collector through the associated one Beam are selectively excited so that it is scanned either regularly or in any manner.

Jeder Modulator 60-63 liefert an den zugehörigen Steuerelektrodenabschnltt 26a-26d modulierte Intensitätssignale, wodurch vier Bildwiedergaben auf der Auffangelektrode erzeugt werden, die jeweils einem getrennten Modulationssignal zugeordnet sind. Wie schon erwähnt wurde, lassen sich diese vier Bildwiedergaben zu ei»em einzigen Bild zusammensetzen; eskönnen jedoch auch vier getrennte Wiedergaben dargestellt werden.Each modulator 60-63 delivers to the associated control electrode section 26a-26d modulated intensity signals, whereby four image reproductions can be generated on the collecting electrode, each of which is assigned to a separate modulation signal. As already mentioned, these four image reproductions can be combined into a single image; however, it can also four separate representations are shown.

W Es ist ersichtlich, daß verschiedene Anzahlen von Strahlen und Strahlenmusteranordnungen mit Hilfe der Dynoden geschaffen werden können, so daß mit entsprechenden Streifenmustern in Verbindung mit einer geeigneten Modulationsdynode die erwünschten Ergebnisse erzielt werden können. Beispielsweise läßt sich ein 8-Strahl-Abtaster schaffen, indem Dynode 22 fortgelassen und eine Modulationsdynode mit acht Segmenten verwendet wird. W It can be seen that different numbers of beams and beam pattern arrangements with the aid of the dynodes may be created so that the desired results can be achieved with corresponding stripe patterns in conjunction with a suitable Modulationsdynode. For example, an eight-beam scanner can be created by eliminating dynode 22 and using an eight segment modulating dynode.

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Ersichtlicherweise dient das in der Zeichnung gezeigte Gerät mit 8x8 Kanälen nur zur Erläuterung» da Geräte in der Praxis normalerweise erheblich mehr Kanäle enthalten würden. Weiterhin sei erwähnt, daß es in gewissen Fällen zweckmäßig sein kann, Elektronenvervielfacher-Dynoden, die immer in Durchlaßrichtung vorgespannt sind, zu verwenden, insbesondere dann, wenn nur wenige Steuerdynoden zum Erzeugen relativ vieler Strahlen verwendet werden.Obviously, the device shown in the drawing is used with 8x8 channels only for explanation »because devices in practice would normally contain significantly more channels. Farther it should be mentioned that in certain cases it may be useful Electron multiplier dynodes that are always in the forward direction are biased to use, especially when only a few control dynodes to generate a relatively large number of beams be used.

Das erfindungsgemäße Gerät schafft also eine einfache und doch hochempfindliche Vorrichtung für den Kehrstrahlbetrieb eines ■ Elektronenstrahl-Abtasters, wobei diese einzelnen Strahlen getrennt moduliert werden.The device according to the invention thus creates a simple and yet highly sensitive device for sweeping operation of a ■ Electron beam scanner, these individual beams being modulated separately.

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Claims (4)

PATENTANSPRÜCHEPATENT CLAIMS 1.) Elektronenstrahl-Abtaster mit mehreren Strahlen, gekennzeichnet durch eine flache Plattenkathode (16)} eine flache Platten-Auffangelektrode (11)} mehrere Steuerplatten (22-26), die sich in Sandwich-Bauweise zwischen der Kathode und der Auffangelektrode befinden und den Elektronenfluß steuern, wobei jede Steuerplatte öffnungen (47) enthält und wobei entsprechende Öffnungen der einzelnen Steuerplatten miteinander fluchten, um zwischen Kathode und Auffangelektrode Elektronenkanäle zu bilden} Elektroden (22a,22b-25a,25b), die auf den Steuerplatten in bestimmten, paarweisen Streifenmustern angeordnet sind} Schaltervorrichtungen (50-53)> um"das eine7 oder andere Streifenmusterpaar abwechselnd in Durchlaßrichtung vorzuspannen, um für jeden der Strahlen zu einem jeweiligen Zeitpunkt je einen einzigen getrennten Kanal zu aktivieren; und Modulationsvorrichtungen (26) zwischen der Kathode und der Auffangelektrode, um jeden der Strahlen einzeln zu modulieren. 1.) Electron beam scanner with multiple beams, characterized by a flat plate cathode (16)} a flat plate collecting electrode (11)} several control plates (22-26), which are sandwiched between the cathode and the collecting electrode and control the flow of electrons, each control plate contains openings (47) and wherein corresponding openings of the individual control plates are aligned with each other to form electron channels between the cathode and collecting electrode} electrodes (22a, 22b-25a, 25b), which are on the control plates in certain, paired fringe patterns are disposed} switch devices (50-53)> to "bias the a 7 or other strip pattern pair alternately in the forward direction, to activate for each of the beams at any given time depending on a single separate channel, and modulation means (26) between the cathode and the collecting electrode to modulate each of the beams individually. 1U9847/ 1 6621U9847 / 1 662 2. Abtaster nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Modulationsvorrichtung Öffnungen enthält, die den Öffnungen der Steuerplatten entsprechen, und wobei auf der Modulationsvorrichtung Elektrodenelemente vorgesehen sind, wobei jedes der Elektrodenelemente zur Steuerung eines der Strahlen dient.2. Scanner according to claim 1, characterized in that the Modulation device includes openings corresponding to the openings of the control plates, and wherein electrode elements are provided on the modulation device, each of which the electrode elements are used to control one of the beams. 3. Abtaster nach Anspruch 2, weiterhin gekennzeichnet durch Vorrichtungen (61—63)'» um Modulationssignale für jedes der Elektrodenelemente zu schaffen.3. The scanner of claim 2, further characterized by Devices (61-63) to modulate signals for each of the To create electrode elements. 4. Abtaster nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch vier Strahlen, wobei die Modulationsvorrichtung (26) vier Elektrodenelemente (26a-26d) enthält, die je einen Quadranten der Modulationsvorrichtung umfassen, wobei jedes Streifenmuster mindestens zwei Streifen enthält.4. Scanner according to claim 3, characterized by four beams, wherein the modulation device (26) has four electrode elements (26a-26d) each comprising a quadrant of the modulation device, each striped pattern contains at least two strips. 109847/16 62109847/16 62 LeerseiteBlank page
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