DE2120082A1

DE2120082A1 - Sealing washer for all-metal valves

Info

Publication number: DE2120082A1
Application number: DE19712120082
Authority: DE
Inventors: Hansen Dr.-Ing. 5030 Hürth. M Pfaff
Original assignee: Leybold Heraeus GmbH
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1971-04-24
Filing date: 1971-04-24
Publication date: 1972-11-09

Description

71.005 ·71,005

LEYBOLD-HERAEUS GMBH. & CO.KG. Köln-BayentalLEYBOLD-HERAEUS GMBH. & CO.KG. Cologne-Bayental

Dichtscheibe für Ganzmetall-VentileSealing washer for all-metal valves

Die Erfindung betrifft eine Dichtscheibe für Ganzmetall-Ventile mit einer zur Anlage an einen Ventilsitz dienenden Dichtkante, der auf der anderen Seite der Dichtscheibe eine Ausnehmung zugeordnet ist. Ganzmetall-Ventile finden dort Verwendung, wo entweder radioaktive Medien gefördert werden, oder wo die Möglichkeit eines Ausheizens der Ventile - insbesondere bei Ultra-Hochvakuum-Ventilen - bestehen muß.The invention relates to a sealing washer for all-metal valves with a sealing washer which is used to rest against a valve seat Sealing edge to which a recess is assigned on the other side of the sealing washer. All-metal valves can be found there Use where either radioactive media are conveyed or where there is a possibility of bakeout of the valves - in particular with ultra-high vacuum valves - must exist.

Bei derartigen Ventilen sind Dichtscheiben bekannt, wie sie in Figur 1 dargestellt sind. Die Dichtscheibe trägt auf der einen Seite eine Dichtkante, die von einem Stempel auf den Ventilsitz gepreßt wird. In dem der Dichtkante gegenüberliegenden Teil der Dichtscheibe ist eine rechteckförmige Ausnehmung vorgesehen, die dazu dient, daß die Dichtscheibe im Bereich der Dichtkante elastisch ist. Dadurch können Unebenheiten des Ventilsitzes ausgeglichen werden.Sealing disks such as those shown in FIG. 1 are known in such valves. The sealing washer carries on the one side has a sealing edge which is pressed onto the valve seat by a punch. In the one opposite the sealing edge Part of the sealing washer is provided with a rectangular recess which serves to keep the sealing washer in the area the sealing edge is elastic. In this way, unevenness in the valve seat can be compensated for.

Bei Dichtscheiben dieser Art besteht der Nachteil, daß im Bereich der Dichtkante bleibende Deformationen auftreten, wenn infolge starker Unebenheiten des Ventilsitzes das Material der Dichtscheibe über die Streckgrenze hinaus belastet wird. Auch der maxilmale Druck, mit dem die Dichtkante auf ihren Sitz gepreßt werden kann, ist dadurch begrenzt.Sealing washers of this type have the disadvantage that permanent deformations occur in the area of the sealing edge. if the material of the sealing washer is loaded beyond the yield point as a result of severe unevenness in the valve seat will. Also the maximum pressure with which the sealing edge can be pressed onto their seat is limited.

Eine Erhöhung des Anpreßdruckes ist bei derartigen Dichtscheiben nur dann möglich, wenn schlechtere Elastizitätseigenschaften in Kauf genommen werden können.An increase in the contact pressure is only possible with sealing washers of this type if the elasticity properties are poor can be accepted.

209846/0353209846/0353

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Dichtscheibe für Ganzmetall-Ventile zu schaffen, die hinsichtlich der" Elastizität im Bereich der Dichtkante wesentlich hessere Eigenschaften aufweist.The invention is based on the object of creating a sealing washer for all-metal valves which, with regard to the " Elasticity in the area of the sealing edge has significantly better properties having.

Diese Aufgabe wird bei einer Dichtscheibe für Ganzmetall-Ventile mit einer zur Anlage an einen Ventilsitz dienenden Dichtkante, der. auf der anderen Seite der Dichtscheibe eine Ausnehmung.zugeordnet ist, dadurch gelöst, daß die Materialstärke der Dichtscheibe im Bereich der Ausnehmung - von der Dichtkante ausgehend - abnimmt.In the case of a sealing washer for all-metal valves, this task is carried out with one used to rest against a valve seat Sealing edge, the. one on the other side of the sealing washer Recess.assigned is solved in that the material thickness the sealing washer in the area of the recess - starting from the sealing edge - decreases.

Der Vorteil dieser Maßnahmen liegt insbesondere darin, daß eine Dichtscheibe.für Ganzmetall-Ventilederart ausgebildet werden kann, daß sie im Bereich der Dichtkante - im Vergleich zu 'einer vorbekannten Dichtscheibe - elastischer ist, d.h., daß der Federweg der Dichtkante vergrößert werden kann. Dadurch ist die Gefahr, daß bleibende Deformationen auftreten, weitgehend beseitigt; Durch entsprechende Wahl der Materialstärke im elastischen Bereich ist es weiterhin möglich, eine Dichtscheibe mit - im Vergleich zu einer Dichtscheibe vorbekannter Art - gleichen elastischen Eigenschaften herzustellen, die jedoch mit erhöhtem Druck auf ihren Sitz gepreßt werden kann, ohne daß die Streckgrenze erreicht wird. Dadurch kann die Dichtigkeit der Ventile verbessert werden, was insbesondere bei Hochvakuumanlagen, bei denen Gänzmetall-Ventile bevorzugt verwendet werden, vorteilhaft ist.The advantage of these measures is in particular that a Sealing washer for all-metal valves of this type can that it in the area of the sealing edge - compared to 'a previously known sealing washer - is more elastic, i.e. that the spring deflection of the sealing edge can be increased. As a result, the risk of permanent deformations occurring is largely eliminated; By selecting the material thickness in the elastic area accordingly, it is still possible to use a sealing washer with - compared to a previously known type of sealing washer - to produce the same elastic properties that but can be pressed with increased pressure on their seat without the yield point is reached. This allows the The tightness of the valves can be improved, which is particularly preferred in high-vacuum systems in which all-metal valves are preferred used is advantageous.

Vorteilhafte Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Dichtscheibe sind in den Figuren 2 bis 4 dargestellt.Advantageous embodiments of the sealing washer according to the invention are shown in Figures 2-4.

Bei der Dichtscheibe/nach Figur 2 nimmt die Materialstärke ausgehend von der Dichtkante 2 - kontinuierlich ab. Die AusnehmungjTerhält dadurch annähernd die Form eines W.In the case of the sealing washer / according to FIG. 2, the material thickness increases starting out from the sealing edge 2 - continuously. The recess jT receives thus almost the shape of a W.

209846/03-53-209846 / 03-53-

Vom Stempel 3 wird die Dichtkante 2 auf den mit 4 bezeichneten Ventilsitz gepreßt.·From the punch 3, the sealing edge 2 is on the designated 4 Pressed valve seat.

Beim Ausführungsbeispiel nach Figur 3 nimmt die Materialstärke stufenförmig ab. Diese Maßnahme kann fertigungstechnische Vorteile haben.In the exemplary embodiment according to FIG. 3, the material thickness decreases in steps. This measure can be manufacturing engineering Have advantages.

Bei der Dichtscheibe nach Figur 4 ist die Ausnehmung 5 rechteckförmig ausgebildet. Um eine Änderung der Materialstärke im Sinne der Erfindung zu erhalten, ist auf der Seite der Dichtkante eine weitere M-förmige Ausnehmung 6 vorgesehen, wobei die Dichtkante 2 auf der unteren Spitze angeordnet ist.In the case of the sealing disk according to FIG. 4, the recess 5 is rectangular educated. In order to obtain a change in the material thickness within the meaning of the invention, is on the side of the Sealing edge a further M-shaped recess 6 is provided, the sealing edge 2 being arranged on the lower tip.

209846/0353209846/0353

Claims

PATEHfAKSPRQCHEPATEHfAKSPRQCHE

1,) Dicht scheibe für Gansmetall-Ventile mit einer tür Anlage an «inen Ventittite dienenden Dichtkante, der auf der anderen Seite der Dichtscheibe eine Ausnehmung Eugeordnet let» dadurch gekennselehnet _t daß die Materialstärke der Dichtecheibe (Il im Bereich der Ausnehmung <5I - von der Dichtkante {ti mutgehend - abnimmt. 1) Sealing disc for transition metal-valves to a door system to "inen Ventittite serving sealing edge, which on the other side of the sealing disc a recess Eugeordnet let" gekennselehnet characterized _t that the material thickness of the Dichtecheibe (Il in the region of the recess <5I - by the sealing edge {ti courageously - decreases.

2. Dichtecheibe nach Anspruch 1» dadurch gekennzeichnet, daß die Materialetärke kontinuierlich abnimmt.2. sealing disk according to claim 1 »characterized in that the material thickness decreases continuously.

3. Dichtscheibe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Materialetärke stufenförmig abnimmt.3. Sealing washer according to claim 1, characterized in that the material thickness decreases gradually.

U. Dichtscheibe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß auf der der Dichtkante (2) gegenüberliegenden Seite der Dichtscheibe (1) eine annähernd W-förmige Ausnehmung(5) vorgesehen ist.U. sealing washer according to claim 1 or 2, characterized in that that on the side of the sealing washer (1) opposite the sealing edge (2) an approximately W-shaped recess (5) is provided.

5. Dichtscheibe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß auf der der Dichtkante (Z) abgewandten Seite eine rechteckförmige Ausnehmung (5) und auf der Seite der Dichtkante(2) eine annähernd M-förmige Ausnehmung (6) vorgesehen ist.5. Sealing washer according to claim 1, characterized in that on the side facing away from the sealing edge (Z) a rectangular recess (5) and on the side of the sealing edge (2) an approximately M-shaped recess (6) is provided.

209846/0353209846/0353