DE2062992A1

DE2062992A1 - Getter body made of a zirconium-carbon sintered part for operation at room temperatures

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Publication number: DE2062992A1
Application number: DE19702062992
Authority: DE
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1970-12-21
Filing date: 1970-12-21
Publication date: 1972-06-29
Also published as: JPS4713265A; ZA717523B; NL7117594A; IT944064B; GB1329628A; JPS523708B1; US3820919A; CA942372A; FR2119423A5

Description

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Getterkörper aus einem Zirkon-Kohle-Sinterteil zum Betrieb bei RaumtemperaturenGetter body made of a zirconium-carbon sintered part for operation at room temperatures

Die Erfindung betrifft einen Getterkörper zum Betrieb bei Raumtemperatur in elektrischen Entladungsgefäßen, bei dem die Gettersubstanz zum Befestigen an Systemteilen oder sonstigen Teilen des Entladungsgefäßes, z.B. in einem Blechbehälter untergebracht ist. "The invention relates to a getter body for operation at room temperature in electrical discharge vessels, in which the getter substance is to be attached to system parts or other parts of the discharge vessel, e.g. in a Sheet metal container is housed. "

Von verdampfenden Getteranordnungen her ist es bekannt, den Getterstoff in einem allseitig geschlossenen Getterbehälter unterzubringen und in einem elektrischen Entladungsgefäß so anzuordnen, daß nachträglich meist durch HF-Glühung ein Getterspiegel erzeugt wird, wobei jedoch unbedingt vermieden werden muß, daß störende Aufdampfungen auf irgendwelche maßgebliche Systemteile, insbesondere Isolierteile, erfolgen.It is known from evaporating getter arrangements to accommodate the getter material in a getter container that is closed on all sides and in an electrical discharge vessel to be arranged in such a way that a getter mirror is generated subsequently, usually by HF annealing, although it must be absolutely avoided that disturbing vapor deposition on any relevant system parts, in particular insulating parts.

Liese Schwierigkeiten werden bei nichtverdampfenden Gettern vermieden, allerdings mit dem Nachteil, daß dieser Typ von ( Getter innerhalb des betreffenden Entladungsgefäßes zeitweilig und beliebig wiederholbar oder auch dauernd durch eine besondere Heizvorrichtung geheizt werden muß, was für das betreffende elektrische Entladungsgefäß einen nicht unerheblichen Aufwand bedeutet.These difficulties arise with non-evaporating getters avoided, but with the disadvantage that this type of (getter temporarily and it must be heated repeatedly or continuously by a special heating device, what for the electrical discharge vessel in question means a not inconsiderable expense.

Diese Nachteile sollen gemäß der der Erfindung- zugrunde liegenden Aufgabe durch besondere Auswahl und Ausbildung der Gettersubstanz vermieden werden.These disadvantages are intended according to the invention lying task can be avoided by special selection and training of the getter substance.

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Erreicht wird dies bei einem Getterkörper zum Betrieb bei Raumtemperatur in elektrischen Entladungsgefäßen, bei dem die Gettersubstanz zum Befestigen an Systemteilen oder sonstigen Teilen des Entladungsgefäßes, z.B. in einem Blechbehälter untergebracht ist, nach der Erfindung dadurch, daß die Gettersubstanz aus einem Gemisch vom nichtverdampfenden Getterstoff Zirkon mit etwa 30 Gew.$ Graphit (Kohle) als hochporös gesintertes Getter-Sinterteil zum Anbringen an beliebiger Stelle im elektrischen Entladungsgefäß als Getterkörper ohne Heizvorrichtung in einem vorwiegend offenen Molybdän-Blech- oder Kohlebehälter untergebracht ist. Die Verzahnung z.B. zum Trägerblech und der Gettermasse in sich ist so ausge- Wu zeichnet, daß im Prinzip kein Schutz gegen Herauefallen angebracht werden muß. In besonders wertvollen Röhren ,jedoch ist eine zusätzliche Sicherung beruhigend. Deswegen wird bei einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung in einem Blech- bzw. Kohlebehälter zwecks Verankerung gegen Herausfallen das Gettersinterteil durch mittels Punktschweißbefestigung entweder eingesinterter oder nachträglich angebrachter Molybdändrähte, Blechkappen oder dergleichen am Behälter gesichert.This is achieved with a getter body for operation at room temperature in electrical discharge vessels, in which the getter substance is accommodated for fastening to system parts or other parts of the discharge vessel, e.g. in a sheet metal container, according to the invention in that the getter substance is made from a mixture of the non-evaporating getter substance zirconium with about 30 wt. $ graphite (carbon) as a highly porous sintered getter part for attachment at any point in the electrical discharge vessel as a getter body without heating device in a predominantly open molybdenum sheet metal or carbon container. The teeth eg the carrier sheet and the getter in itself is excluded Wu records that must be applied in principle no protection against Herauefallen. In particularly valuable tubes, however, an additional safeguard is reassuring. Therefore, in a further advantageous embodiment in a sheet metal or carbon container, the getter sintered part is secured to the container by means of spot welding either sintered or subsequently attached molybdenum wires, sheet metal caps or the like for the purpose of anchoring it against falling out.

Diese Ergebnisse resultieren aus systematischen Untersuchungen an Zirkon-Kohle-Mischungen, wie sie bisher in Anordnungen verwendet wurden, die zeitweilig und beliebig ?>iederholbar αά* τ auch dauernd geheizt werden konnten, so z.B. auf eine mit " Aluminium-Oxid isolierte Heizwendel aufgebracht. Es ergab sich, daß sie zur Erzielung einer großen Getterkapazität auch in anderer Form angewendet werden können. Die Eigenschaften der Zirkon-Kohle-Mischungen, speziell in beoondero großporig pes inter tern Zustand, lassen auch ö.on Bau von G-ett^rKörtvrn zu. die nur beim Hevi-, 1-+,· 11 un^sprozeß nur befrei Γ«·-» ι den h^;')jre <·· i -■■■■■- ΐ '_;:: ausgeheizt und dabei vom eigenen Gas soweit befruj !/ weiöo.ii, daß sie später über Hansre Zeit noch, eine ausreichende Kanezität auch im kalten Zustand besitzen. Eine üieBer hervorragenden Eigenschaften ist die besonders gute Haftfestigkeit auf ent-These findings result from systematic studies of zirconium-coal mixtures as have been used in arrangements that temporarily and arbitrarily?> Iederholbar αά * τ could also be heated constantly, so applied, for example, on an isolated with "aluminum oxide heating coil. it turned out that they can be applied to achieve a large getter in a different form. the properties of the zirconium coal blends, especially in large pores beoondero pes inter tern condition can also ö.on construction of G-ett ^ rKörtvrn to . which only in the Hevi, 1 - +, · 11 un ^ process only liberated Γ «· -» ι den h ^; ') jre <·· i - ■■■■■ - ΐ'_; :: baked out and thereby from own gas to the extent that they will later have sufficient caecity even in the cold state for Hansre's time.

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sprechend geeignet gewählten Unterlagen sowie die innige Versahnung, die infolge der gewählten Zusammensetzung das Gettermaterial an sich ergibt, so daß keine lockeren Teilchen auftreten und vor allem die Gettermasse in großer Schichtstärke aufgebracht werden kann. Bei derart aufgebauten Getterkö'rpern ergeben sich auch im späteren kalten Zustand Gasaufnahmemöglichkeiten, die die bei bisher vorhandenen Gettern weit übertreffen.appropriately selected documents as well as the intimate intimacy, which due to the selected composition the Getter material itself results, so that no loose particles occur and especially the getter mass in great layer thickness can be applied. With getter bodies constructed in this way, there are also possibilities for gas absorption in the later cold state, which far surpass those of the getters that have been used up to now.

Anhand der in den Zeichnungen rein schematiach dargestellten Ausführungsbeispielen soll die Erfindung näher erläutert werden»Based on the purely schematiach shown in the drawings Exemplary embodiments of the invention are to be explained in more detail »

Während bei dem Aufbau gemäß den Figuren 1 bis 6 zur Unterbringung des Getter-Sinterteils Behälter aus dünnem Molybdän- ä blech vorgesehen sind, sind bei den Ausführungsbeispielen der . Figuren 7 bis 9 Kohle als Werkstoff für den Behälter verwendet.While, in the construction according to FIGS 1 to 6 for accommodating the getter sintered compact container made of thin sheet-like molybdenum provided, are in the embodiments of the. Figures 7 to 9 carbon used as the material for the container.

In den Figuren 1 bis 4 ist jeweils der betreffende Molybdänblechbehälter mit 1 und mit 2 das Getter-Sinterteil bzw. in den Figuren 5 und 6 diese mit 11 bzw. 12 bezeichnet. In der Figur 2 ist zusätzlich zur Sicherung gegen ein Herausfallen des Getter-Sinterteils 2 ein oder mehrere durch Punktschweißbefestigung angebrachte Molybdändrähte 3 vorgesehen. In Figur 3 ist ein miteingesinterter Molybdändraht 4 am Molybdänblechbehälter 1 zur Sicherung befestigt. In Figur 4 ist dagegen zur Sicherung ein Tantalblechstreifen 5 über der offenen Oberfläche des Getter-Sinterteils angebracht. Bei den zylindrischen Ausführungsformen i gemäß den Figuren 5 und 6 mit dem Blechbehälter 11 und dem Getter-Sinterteil 12 ist zur Sicherung entweder ein eingedrückter Blechlappen 14 oder ein eingesinterter und befestigter Draht 13 gegen das Herausfallen vorgesehen.In FIGS. 1 to 4, the respective molybdenum sheet container is denoted by 1 and the getter sintered part is denoted by 2, and in FIGS. 5 and 6 these are denoted by 11 and 12, respectively. In FIG. 2, one or more molybdenum wires 3 attached by spot welding is provided in addition to prevent the sintered getter part 2 from falling out. In Figure 3, a sintered molybdenum wire 4 is attached to the molybdenum sheet container 1 for security. In Figure 4, however, a tantalum sheet strip 5 is attached over the open surface of the getter sintered part for security. In the cylindrical embodiments i according to FIGS. 5 and 6 with the sheet metal container 11 and the sintered getter part 12, either a pressed-in sheet metal tab 14 or a sintered-in and fastened wire 13 is provided to prevent it from falling out.

Bei den Ausführungsbeispielen gemäß den Figuren 7, 8 und 9 besteht der Behälter 21 abweichend aus Kohle mit dem besonderen Vorteil, daß die Verankerung dee Getter-Sinterteils 22 rechtIn the exemplary embodiments according to FIGS. 7, 8 and 9 If the container 21 is made of carbon with the particular advantage that the anchoring of the getter sintered part 22 is right

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zuverlässig erfolgt. Aber auch bei diesem Beispiel können verschiedenartig geformte Molybdändrähte oder Drahtbügel 23 zur Sicherung angebracht sein.reliably takes place. But also in this example differently shaped molybdenum wires or wire brackets 23 be attached to secure.

Bei der Herstellung wird z.B. in einem dünnen Molybdänblech durch Ziehen oder Drücken eine Vertiefung angebracht und diese Vertiefung ganz mit der Zirkon-Kohle-Mischung in geeignet streichbarer Form eingestrichen. Nach dem Sintern liegt ein Getter vor, das leicht auch in kleinere Röhrchen eingebaut werden kann und das beim Herstellungsprozeß beispielsweise mit Hochfrequenz ausgeheist wird. Eine andere Form ergibt sich, wenn man im Bedarfsfalle beispielsweise von einem Molybdänröhrchen bestimmten Durchmessers ausgeht und dieses Röhrchen mit der Zirkon-Kohle-Masse füllt.und schließlich sintert. Bei besonders großen Dimensionen ist es unter Umständen zweckmäßig, wie bereits vorher beschrieben, zusätzlich noch eine innere Verankerung vorzunehmen, die-.aber mehr oder weniger nur eine reine Vorsichtsmaßnahme darstellt, um. beim eventuellen Ablösen des Getter-Sinterteils, z.B. in Form eineV-Zirkon-Kohle-Pfropfens, einen gewissen Halt zu gewährleisten. "^-^During production, for example, a recess is made in a thin molybdenum sheet by pulling or pressing and this Deepening completely with the zirconium-carbon mixture in suitable paintable form. After sintering, there is a getter that can easily be built into smaller tubes can be and that in the manufacturing process, for example, is finished with high frequency. Another form results, if you need a molybdenum tube, for example of a certain diameter and fills this tube with the zirconium-carbon mass. and finally sinters. In the case of particularly large dimensions, it may be expedient, as already described above, in addition to make an inner anchorage, which-.but more or less just a mere precautionary measure. if the getter sintered part is detached, e.g. in the form of a V-zirconium-carbon plug, to ensure a certain hold. "^ - ^

2 Patentansprüche
9 Figuren2 claims
9 figures

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Claims

f 1.jGetter body for operation at room temperature in electrical Discharge vessels, in which the getter substance is to be attached to system parts or other parts of the discharge vessel e.g. housed in a sheet metal container, thereby characterized in that the getter substance from a mixture of the non-evaporating getter substance zircon with about 30% by weight graphite (carbon) as a highly porous sintered getter part (2,12,22) for attachment at any point in the electrical discharge vessel as a getter body without a heating device in a predominantly open, high temperature tan e.g. molybdenum sheet metal or carbon container (1,11,21) is housed.

2. Getter body according to claim!, Characterized in that that in the sheet metal or carbon container (1,11,21), the getter-sweet part (2,12,22) for the purpose of anchoring against Falling out by means of spot welding either egg-sintered or subsequently attached molybdenum wires, odwr dergüeichen (3.1 ^ .13,23 ^ sieved

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