DE2058882B2

DE2058882B2 - PROCESS FOR NITRATING THE SURFACES OF COMPONENTS OF A ROTARY PISTON MACHINE MADE OF IRON OR STEEL

Info

Publication number: DE2058882B2
Application number: DE19702058882
Authority: DE
Inventors: Auf Nichtnennung Antrag
Original assignee: Elektrophysikalische Anstalt Bernhard Berghaus, Vaduz
Priority date: 1969-12-12
Filing date: 1970-11-30
Publication date: 1976-03-18
Also published as: GB1308819A; BE760044A; LU62230A1; CA922269A; CH516730A; DE2058882A1; NL7018219A; FR2072637A5; JPS503746B1

Description

3030th

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Nitrierung der Oberfläche von Bauteilen aus Stahl oder Eisen in einer stickstoffhaltigen Gasatmosphäre unter Einwirkung einer elektrischen Glimmentladung, die ein Ionenbombardement auf die Oberflächen der Bauteile verursacht, das dieselben erhitzt, atomaren Stickstoff in der Gasatmosphäre erzeugt, der auf die Oberflächen der Bauteile einwirkt und einen Stoffaustausch an den Oberflächen der Bauteile bewirkt.The invention relates to a method for nitriding the surface of components made of steel or iron in a nitrogen-containing gas atmosphere under the action of an electric glow discharge, which a Ion bombardment on the surfaces of the components causes them to heat atomic nitrogen in the gas atmosphere, which acts on the surfaces of the components and a mass transfer to the Causes the surfaces of the components.

Ein derartiges Nitrierverfahren ist aus der US-PS 31 90 772 bekannt.Such a nitriding process is known from US Pat. No. 3,190,772.

Beim Betrieb der Kreiskolbenmaschinen ist die maximal erzielbare Betriebsdauer im wesentlichen durch die reibungsbeanspruchten Bauteile bestimmt. Diese Bauteile weisen ausgedehnte ebene Flächenbereiche auf, über die cW rotierende Kolben mit seinen Dichtleisten gleitet, so daß eine relativ hohe Reibungs beanspruchung auftritt. Da die auf diesen Flächenbereichen schleifenden Dichtleisten einen gasdichten Ab-Schluß darstellen müssen, ist nur geringster Verschleiß dieser Bereiche zulässig. Dementsprechend ist man seit längerer Zeit bestrebt, diese Bauteile, zumindest die reibungsbeanspruchten Oberflächenbereiche derselben, möglichst verschleißfest zu machen. Diese Aufgabe ist aber deshalb schwierig zu lösen, weil es sich um komplizierte Bauteile handelt; insbesondere die doppelwandigen Seitenteile bzw. Mittelteile sind mit einer großen Anzahl von Bohrungen und Anschlußstutzen versehen. Solche aus Eisen bestehenden doppelwand!· gen Bauteile mit ausgedehnten reibungsbeanspruchten Gleitbereichen können aber mit den bisher üblichen Verfahren zur Oberflächenhärtung nur unter großen Schwierigkeiten oder überhaupt nicht behandelt werden. When operating the rotary piston machines, the maximum achievable operating time is essentially determined by the components subject to friction. These components have extensive flat areas on, slides over the cW rotating piston with its sealing strips, so that a relatively high friction stress occurs. Because the sealing strips rubbing on these surface areas form a gas-tight seal must represent, only the slightest wear in these areas is permitted. Accordingly, one has been since endeavors for a longer period of time, these components, at least the frictionally stressed surface areas of the same, to make them as wear-resistant as possible. This task is difficult to solve because it is dealing with complicated components; in particular, the double-walled side parts or middle parts are with a provided a large number of holes and connecting pieces. Such double wall made of iron! However, components with extensive sliding areas subject to friction can be replaced with the previously usual Surface hardening processes can only be dealt with with great difficulty or not at all.

Man hat bisher mit wechselndem Ergebnis für die Härtung der Gleitbereiche solcher Bauteile bekannte Metall-AufsDritzverfahren angewendet, die aber eine sehr teure und außerdem wegen der möglichen Gesundheitsschädigung gefährliche Behandlung darstellen. Abgesehen davon, daß die verwendeten Rohmaterialien, wie z. B. Molybdän, iür die Behandlung von großen Stückzahlen solcher Bauteile oft nur schwierig in den benötigten Mengen zu beschaffen sind, müssen auch die mit einer solchen Schicht versehenen G'eitbereiche nachträglich überschliffen werden, was zu einer weiteren Verteuerung führt. Eine Überholung solcher beschichteten Bereiche nach einer gewissen Betriebszeit der Kreiskolbenmaschinen ist bisher noch nicht möglich.So far, one has known with varying results for the hardening of the sliding areas of such components Metal-AufsDritzverfahren used, but a very expensive and also because of the possible Harm to health constitute hazardous treatment. Apart from the fact that the ones used Raw materials such as B. molybdenum, for the treatment of large numbers of such components often only are difficult to obtain in the required quantities, so must those provided with such a layer Sliding areas are subsequently ground, which leads to a further increase in the cost. An overhaul such coated areas after a certain operating time of the rotary piston machines is still not possible.

Auch die sogenannte Induktionshärtung solcher Gleitbereiche ist zwar möglich, aber bei den im Betrieb der Kreiskolbenmaschinen auftretenden hohen Beanspruchungen sind derart gehärtete Gleitbereiche nicht verschleißfest genug, um eine genügende Betriebsdauer zu gewährleisten. Die Verziehungen bei einer solchen Behandlung sind darüber hinaus noch so stark, daß sie ein Nachschleifen erfordern und trotzdem kaum ausgeglichen werden können.The so-called induction hardening of such sliding areas is also possible, but in operation The high stresses that occur in rotary piston machines are not hardened sliding areas wear-resistant enough to guarantee a sufficient service life. The warping of one Treatments are so strong that they require regrinding and yet hardly can be compensated.

Versuche mit der Salzbadnitrierung und auch mit der thermischen Gasnitrierung brachten kein brauchbares Ergebnis, weil dabei der Härtungsvorgang nicht auf die eigentlichen Gleitbereiche beschränkt wird, sondern die betreffenden Bauteile als Ganzes einer Nitrierbehandiung unterzogen werden müssen.Dies führt aber bei den komplizierten doppelwandigen Bauteilen mit ihren unregelmäßigen Bohrungen erfahrungsgemäß zum Verziehen, so daß die geforderte hohe Präzision der ebenen Gleitbereiche nicht mehr gewährleistet ist. Außerdem bewirkt die Aufnahme gewisser Mengen von Stickstoff in das Grundmaterial eine Maßänderung, was zu erheblichen Schwierigkeiten bezüglich Einhaltung der erforderlichen Maßgenauigkeiten führt. Darüber hinaus ergeben sich insbesondere bei der Salzbadnitrierung in den komplizierten hohlen Bauteilen leic'ni Rückstände aus dem Nitrierbad, die praktisch nicht mehr zu beseitigen sind.Experiments with salt bath nitriding and also with thermal gas nitriding did not produce any useful results Result, because the hardening process is not limited to the actual sliding areas, but the components concerned must be subjected to a nitriding treatment as a whole experience has shown that complicated double-walled components with their irregular bores are used for Warping, so that the required high precision of the flat sliding areas is no longer guaranteed. In addition, the uptake of certain amounts of nitrogen in the base material causes a change in size, what leads to considerable difficulties with regard to maintaining the required dimensional accuracy. About that In addition, there are leic'ni in the complicated hollow components, especially with salt bath nitriding Residues from the nitriding bath that can practically no longer be removed.

Angesichts des Versagens der üblichen Nitrierverfahren einerseits und der Notwendigkeit zur Härtung der Gleitbereiche andererseits war die Aufgabe gestellt worden, durch Behandlung mit dem bekannten Ionitrierverfahren die geforderten Eigenschaften zu erzielen. Given the failure of conventional nitriding processes on the one hand and the need to harden the Sliding areas on the other hand, the task was set by treatment with the known ionitriding process to achieve the required properties.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das bekannte Verfahren auf die Gehäuseteile einer Kreiskolbenmaschine, insbesondere auf deren doppelwandige Seiten- bzw. trochoidalen Mittelteile angewendet wird, die vor der lonitrierung an den Oberflächen außerhalb der Gleitbereiche mit einer die elektrische Glimmentladung hemmenden Abdeckung versehen werden, dann nach dem Einbringen in das Behandlungsgefäß während mindestens fünf Stunden bei einem Gasdruck im Bereich von 0,1 bis 5 mm Hg und einer Betriebsspannung von über 500 V an den Oberflächen der Gleitbereiche ionitriert werden, und durch Abstäubung von Metallpartikeln von der Oberfläche der Gleitbereiche dit entstehende Nitrierschicht bis unterhalb von 10 Mikron abgebaut wird.This object is achieved in that the known method is applied to the housing parts of a Rotary piston machine, especially applied to its double-walled side or trochoidal middle parts before the ion nitriding on the surfaces outside the sliding areas with an electrical Glow discharge-inhibiting cover can be provided, then after introduction into the treatment vessel for at least five hours at a Gas pressure in the range of 0.1 to 5 mm Hg and an operating voltage of over 500 V on the surfaces of the sliding areas are ionitrided, and by dusting metal particles from the surface of the Sliding areas with the resulting nitrided layer down to below is degraded by 10 microns.

Die Benützung von Abdeckungen aus Metallplatten oder elektrisch leitenden Belagen /,ur Unterdrückung einer elektrischen Glimmentladung an Teilen der Oberfläche von Bauteilen ist an sich bereits bekannt. Jedoch war überraschend, daß bei der erfindungsgemäßen Behandlung jede Deformierung der Werkstücke und Maßänderungen der ionitrierten Gleitflächen vermieden werden kann, so daß sich jede NacharbeitThe use of covers made of metal plates or electrically conductive coverings /, for suppression an electrical glow discharge on parts of the surface of components is already known per se. However, it was surprising that with the treatment according to the invention, every deformation of the workpieces and dimensional changes of the ionitrided sliding surfaces can be avoided, so that any rework

erübrigt.unnecessary.

Die Erfindung wird im folgenden an Hand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigtThe invention is explained in more detail below with reference to the drawing. It shows

F i g. 1 ein doppelwandiges Seitenteil.F i g. 1 a double-walled side part.

Fig.2 ein trochoidales Mittelteil eines Kreiskolbeniiotors, 2 shows a trochoidal middle part of a rotary piston iiotors,

Fig.3 ein doppelwandiges Mittelteil, teilweise im Schnitt, und3 shows a double-walled middle part, partly in Cut, and

Fig.4 ein Diagramm über verschiedene Verschleißfestigkeiten von nitrierten Gleitflächen.4 shows a diagram of various wear resistances of nitrided sliding surfaces.

Bei den in den Fig. 1 bis 3 schematisch dargestellten Bauteilen für ein-, zwei- und mehrkammerige Kreiskolbenmotoren handelt es sich um doppelwandige Hohlkörper aus Eisen oder Stahl, vorzugsweise Gußeisen. Bei den dargestellten Bauteilen sind die Gleitbereiche durch die Bezugszahlen 5 und 6 dargestellt. Auf diesen Gieitbereichen streift beim Betrieb der rotierende Kolben mit seinen Dichtleisten, ίο daß der ganze Gleitbereich reibungsbeansprucht ist. An den Stellen 7, 8, 9 und 10 sind einige der vielen Durchbrüche und Anschlüsse angedeutet, die zur Zu- und Ableitung von Kühlwasser, Arbeitsmittel, Abgasen usw. erforderlich sind. Bei derartigen Bauteilen eines Kreiskolbenmotors müssen natürlich die Gleitflächen vollkommen eben und bei den Doppelseiten des Mittelteils gemäß Fig.3 auf der vorderen bzw. rückwärtigen Flachseite absolut planparallel sein; jedes Verziehen der komplizierten Hohlkörper bei dem Härtungsprozeß würde die Gleitbereiche b?w. das ganze Bauteil unbrauchbar machen.When in Figs. 1 to 3 shown schematically Components for single-, double- and multi-chamber rotary piston engines are double-walled Hollow body made of iron or steel, preferably cast iron. The components shown are Sliding areas represented by reference numerals 5 and 6. The glides on these sliding areas Operation of the rotating piston with its sealing strips, ίο that the entire sliding area is subject to friction. At points 7, 8, 9 and 10, some of the many openings and connections are indicated that are used to and discharge of cooling water, working media, exhaust gases, etc. are required. With such components a Rotary piston engine, of course, the sliding surfaces must be perfectly flat and on the double sides of the The middle part according to Figure 3 on the front or rear flat side be absolutely plane-parallel; each Warping of the complicated hollow bodies during the hardening process would b? W the sliding areas. the make entire component unusable.

Bei den komplizierten Körpern der in F i g. 1, 2 und 3 daigestellten Art ist eine Härtung der Gleitbereiche mittels Badnitrierung schon wegen der unvermeidlichen und kaum zu beseitigenden Rückstände im Innern des hohlen Körpers praktisch ausgeschlossen; zudem würde sich wegen der unsymmetrisch angeordneten öffnungen ein starkes Verziehen bei der Nitrierbehandlung nicht vermeiden lassen. Auch bei der thermischen Gasnitrierung wurden die öffnungen 7, 8, 9, 10 ein Verziehen des ganzen Bauteiles bewirken. Außerdem würden die beiden genannten Nitrierverfahren zur Folge haben, daß der Abstand zwischen den planparallelen Gleitbereichen durch Aufnahme von Stickstoff in das Grundmaterial eine Vergrößerung erfahren würde, so daß zusätzliche Nachbearbeitungen dieser Gleitflächen notwendig wären. Dagegen besteht bei der lonitrierung von Bauteilen der in den Fig. 1, 2 und 3 dargestellten Art die Möglichkeit, alle jene Oberflächen, die außerhalb der eigentlichen Gleilbereiche gelegen sind, mit geeigneten Abdeckungen zu versehen, welche das Entstehen einer elektrischen Glimmentladung an diesen Stellen und damit das Eindringen von Stickstoff in diese Teile der Oberflächen verhindern. Als Abdeckung können beispielsweise mechanische Beläge oder auch ein Belag aus einer aufstreichbaren Masse verwendet werden, die den genannten Zweck erfüllen. Die betreffenden Beläge können auch nur auf die unmittelbare Umgebung der öffnungen und Durchbrüche beschränkt werden, da nur diese beim Nitrieren ein Verziehen des Bauteiles verursachen würden; dies trifft besonders bei Einsatzscheiben zu, die möglicherweise im Bereich der Verschleißseiten in die Körper gemäß Fi g. 1 und 3 eingeigt -.verden können.With the complicated bodies of the in F i g. 1, 2 and 3 here is a hardening of the sliding areas by means of bath nitriding because of the inevitable and hardly removable residues inside the hollow body practically excluded; In addition, because of the asymmetrically arranged openings severe distortion during the nitriding treatment cannot be avoided. Even with the thermal Gas nitriding would cause the openings 7, 8, 9, 10 to warp the entire component. aside from that the two nitriding processes mentioned would have the consequence that the distance between the plane-parallel Sliding areas would experience an enlargement due to the absorption of nitrogen in the base material, so that additional post-processing of these sliding surfaces would be necessary. On the other hand, there is Ion nitriding of components of the type shown in Figs. 1, 2 and 3 the possibility of all those surfaces, which are located outside the actual sliding areas, to be provided with suitable covers, which the creation of an electric glow discharge at these points and thus the penetration of nitrogen in these parts of the surfaces. Mechanical coverings, for example, can be used as a cover or a covering made of a spreadable mass can be used, which fulfill the stated purpose. The coverings in question can also only affect the immediate vicinity of the openings and breakthroughs be limited, as only these would cause the component to warp during nitriding; this hits especially with insert disks, which may be in the area of the wear sides in the body according to Fi g. 1 and 3 agreed -.verden can.

Nach der Abdeckung der nicht zu ionitrierenden Bereiche der Oberfläche werden die genannten Bauteile eines Kreiskolbenmotors oder Teile davon einzeln oder auch mit anderen entsprechenden Bauteilen zusammen in das für eine lonitrierung übliche Behandlungsgefäß gebracht und derart angeordnet, daß sich an den zu ionitrierenden Gleitbereichen ungehindert eine elektrische Glimmentladung ausbilden kann.After the areas of the surface that are not to be ionitrided have been covered, the components mentioned are a rotary piston engine or parts thereof individually or together with other corresponding components brought into the usual treatment vessel for ion nitriding and arranged in such a way that the to ionitriding sliding areas can form an electrical glow discharge unhindered.

Bei der lonitrierung der Gieitbereiche reibungsbeanspruchter Bauteile von Kreiskolbenmaschinen ist es aber, um die hohe Anforderung in bezug auf die Verschleißfestigkeit der Gieitbereiche zu erfüllen, von großer Bedeutung, daß die Behandlung während mindestens fünf Stunden bei einem Gasdruck imDuring the ion nitriding of the sliding areas exposed to friction Components of rotary piston machines, however, are to meet the high requirements with regard to the To meet wear resistance of the sliding areas, of great importance that the treatment during at least five hours at a gas pressure in

ίο Bereich von 0,1 bis 5 mm Hg und einer Betriebsspannung von über 500 V, vorzugsweise von 600 bis 1000 V, durchgeführt wird. Hierbei müssen die Betriebsspannung und der Gasdruck derartig eingeregelt werden, daß eine genügend starke Abstäubung von Metallpartikein von der Oberfläche der Gleitbereiche stattfindet und die dort durch die lonitrierung entstehende Nitrierschicht teilweise wieder abbaut. Trotz der relativ langen Behandlungszeit soll die Nitrierschicht durch die gleichzeitige Abstäubung an den Gleitbereichen geringer als 10 Mikron gehalten werden. Werden also Bauteile, wie sie in den F i g. 1, 2 und 3 angedeutet sind, auf die vorgenannte Weise ionitriert, so beschränkt sich die ionitriergehärtete Oberfläche im wesentlichen auf die Gleitbereiche, die eine Nitrierschicht von weniger als 10 Mikron aufweisen und eine Oberflächenrauhigkeit von höchstens Ra = 0,8 Mikron besitzen. Die Vickers-Härte HV 0,2 der ionitrierten Oberfiächenteile beträgt mehr als 450 kp/mm². Ferner besitzen die derart ionitrierten Gleitbereiche eine erhöhte Korrosionsbeständigkeit gegen die Verbrennungsrückstände der üblichen Brennstoffe. Die Warmfestigkeit der Gleitbereiche bzw. der Bauteile erstreckt sich langfristig bis auf etwa 500°C, aber kurzfristig bis zu 800⁰C und höher. Gegenüber dem Grundmaterial weisen die Gleitbereiehe trotz der großen Härte eine um nicht mehr als etwa 10% verringerte Duktiiität auf.ίο range from 0.1 to 5 mm Hg and an operating voltage of over 500 V, preferably from 600 to 1000 V, is carried out. In this case, the operating voltage and the gas pressure must be regulated in such a way that a sufficiently strong dusting of metal particles from the surface of the sliding areas takes place and the nitriding layer formed there by the ion nitriding partially breaks down again. Despite the relatively long treatment time, the nitriding layer should be kept less than 10 microns through the simultaneous dusting on the sliding areas. So if components as shown in FIGS. 1, 2 and 3, ionitrided in the aforementioned manner, the ionitrided-hardened surface is essentially limited to the sliding areas which have a nitrided layer of less than 10 microns and a surface roughness of at most Ra = 0.8 microns. The Vickers hardness HV 0.2 of the ionitrided surface parts is more than 450 kp / mm ² . Furthermore, the sliding areas ionitrided in this way have an increased corrosion resistance against the combustion residues of the usual fuels. The heat resistance of the sliding portions or the components extends in the long term to about 500 ° C, but the short term up to 800 ⁰ C and higher. Compared to the base material, despite the great hardness, the sliding areas have a ductility that is not reduced by more than about 10%.

Die vorbeschriebenen günstigen Eigenschaften der mittels lonitrierung gehärteten Gleitbereiche lassen im Vergleich mit anderen Oberflächenhärtungsverfahren bereits eine größere Verschleißfestigkeit erwarten als die mit anderen Oberflächenhärtungsverfahren behandelten. Um die Erhöhung der Verschleißfestigkeit zu beweisen, wurden auf Abnutzungsmaschinen eine große Anzahl von Abnutzungsversuchen durchgeführt. In Fig.4 sind die Ergebnisse in Form eines Diagramms wiedergegeben, wobei als Abszisse verschiedene Gußwerkstoffe A, B, C, D und als Ordinate der Gewichtsverlust V der Proben in mg aufgetragen ist. Hierbei bedeutet das gestreifte Feld gasnitriert, das freie Feld badnitriert und das schwarze r eld ionitriert.The above-described favorable properties of the sliding areas hardened by means of ion nitriding suggest that, in comparison with other surface hardening processes, greater wear resistance can be expected than those treated with other surface hardening processes. In order to prove the increase in wear resistance, a large number of wear tests were carried out on wear machines. 4 shows the results in the form of a diagram, with various cast materials A, B, C, D being plotted as the abscissa and the weight loss V of the samples in mg as the ordinate. The striped field here means gas nitrided, the free field bath nitrided and the black r eld ionitrided.

Es wurde festgestellt, daß bei ionitrierten Gleitflächen gemäß der Erfindung nicht nur der mechanische Gleitverschleiß geringer ist, sondern auch jene Abnutzungen, die durch sogenannte tribochemische Anwendüngen beim Reibvorgang entstehen. Hiermit hängt zusammen, daß derartig ionitrierte Gleitbereiche auch eine wesentlich höhere Korrosionsbeständigkeit gegenüber Rückständen bei der Verbrennung von Treibstoff besitzen. Wie bereits erwähnt, besitzen die nach dem vorliegenden Verfahren ionitrierten Gleitbereiche der Bauteile von Kreiskolbenmaschinen auch eine höhere Warmfestigkeit als Oberflächen, die mit anderen Verfahren gehärtet wurden. Beispielsweise liegt bei der Induktionshärtung die Warmfestigkeit immer tiefer alsIt was found that with ionitrided sliding surfaces according to the invention not only the mechanical Sliding wear is less, but also wear and tear caused by so-called tribochemical applications arise during the rubbing process. This is related to the fact that such ionitrided sliding areas also a much higher corrosion resistance to residues from the combustion of fuel own. As already mentioned, the sliding areas ionitrided by the present process have the Components of rotary piston machines also have a higher heat resistance than surfaces made with others Procedures were hardened. For example, with induction hardening, the heat resistance is always lower than

ds 400⁰C, und beim Einsatzhärten übersteigt die Warmfestigkeit kaum 150⁰C. Dagegen zeigen die erfindungsgemäß behandelten Gleitflächen bei langfristiger Beanspruchung eine Warmfestigkeit von 400⁰C und beids 400 ^° C., and during case hardening the high-temperature strength hardly exceeds 150 ^° C. In contrast, the sliding surfaces treated according to the invention show a high- ^{temperature strength of 400 °} C. and at under long-term exposure

kurzfristiger Beanspruchung eine solche von über 800⁰C und mehr.short-term stresses of over 800 ^° C. and more.

Mit den behandelten Bauteilen wurden schließlich Lebensdaueruntersuchungen an Kreiskolbenmotoren der Einkammer- und Zweikammer-Bauart durchgeführt. Es hat sich gezeigt, daß die in der beschriebenen Weise behandelten Bauteile eine Steigerung der Betriebsdauer solcher Maschinen bzw. Motoren um den 2- bis 3fachen Wert ergeben und daß eine Aufarbeitung verbrauchter Bauteile dieser Art möglich ist, was einen bedeutenden Vorteil gegenüber der Behandlung der Gleitflächen durch Molybdänaufspritzung darstellt.With the treated components, service life tests were finally carried out on rotary piston engines the one-chamber and two-chamber design carried out. It has been shown that in the described Way treated components an increase in the service life of such machines or engines by the 2 to 3 times the value and that a reconditioning of used components of this type is possible, which is a represents a significant advantage over the treatment of the sliding surfaces by molybdenum spraying.

Hierzu 2 Blatt ZeichnungenFor this purpose 2 sheets of drawings

Claims

Claim:

Process for nitriding the surface of components made of Siah'i or iron in a nitrogen-containing one Gas atmosphere under the action of an electric glow discharge that causes ion bombardment on the surfaces of the components, which heats them, causes atomic nitrogen in the Generates a gas atmosphere, which acts on the surfaces of the components and a mass transfer to the The surfaces of the components are characterized by their application to housing parts a rotary piston machine, in particular on its double-walled side or trochoidal Middle parts, which before the ionization on the surfaces outside of the sliding areas (5, 6) with a cover preventing the electric glow discharge, then after Introducing into the treatment vessel for at least five hours at a gas pressure im Range from 0.1 to 5 mm Hg and an operating voltage of over 500 V on the surfaces of the Sliding areas are ionitrided, and by dusting metal particles from the surface of the Sliding areas (5, 6) the resulting nitrided layer is broken down to below 10 microns.