DE20310388U1 - Carrying device holding work-piece during heat treatment, made of fiber compound material - Google Patents

Carrying device holding work-piece during heat treatment, made of fiber compound material Download PDF

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Abstract

The carrying device (1) is assembled of a basic sheet (2) and the carrying unit (3) provided with a specifically designed upper edge with a varying height in order to match the shape of the work-piece. Two metal support areas (6.1, 6.2) are integrated in the vertical unit (3) during the production process. An additional support area (7) is located at the basic sheet (2) within the limits of the hollow carrying unit (3). Both parts (2, 3) are individually made of fiber compound material using the pre-preg method and glued together in a second step.

Description

Werkstückträger werden für eine Vielzahl von Behandlungsmethoden von Werkstücken, insbesondere zur Montage, zur Durchführung mechanischer Bearbeitungen oder zur Wärmebehandlung benötigt.Become a workpiece carrier for one Numerous treatment methods for workpieces, especially for assembly, to carry out mechanical processing or heat treatment.

Wärmebehandlungen erfolgen in Öfen bzw. Ofenanlagen und werden sowohl kontinuierlich als auch diskontinuierlich geführt. Die dafür benötigten Werkstückträger müssen insbesondere hitzebeständig sein, aber auch resistent gegen weitere, häufig aggressive Behandlungen.heat treatments take place in ovens or furnace systems and are both continuous and discontinuous guided. The one for that required workpiece carriers must in particular heat-resistant be, but also resistant to other, often aggressive treatments.

Bekannt sind Werkstückträger, insbesondere zum Wärmebehandeln aus verschiedenen Materialien und je nach Einsatzgebiet in den verschiedensten Formen.Known are workpiece carriers, especially for heat treatment made of different materials and depending on the field of application in the most varied To form.

Nach DE 299 14 140 U1 sind Werkstückträger aus Kunststoff bekannt, die mittels Tiefziehen aus einem Verbundwerkstoff hergestellt werden, welcher aus einer harten Außenschicht aus Polystyrol und einer weichen Innenschicht, ebenfalls aus Polystyrol, bestehen.To DE 299 14 140 U1 Workpiece carriers made of plastic are known which are produced by deep drawing from a composite material which consists of a hard outer layer made of polystyrene and a soft inner layer, also made of polystyrene.

In DE 197 37 212 A1 wird ein Werkstückträger zum Wärmebehandeln von Werkstücken offenbart, der aus hitzebeständigem faserverbundkeramischen Material besteht. Er ist einstückig monolithisch ausgebildet oder besteht aus einstückig monolithisch ausgebildeten faserverbundkeramischen Elementen, wobei in die Bohrungen dieser Elemente Stützprofile eingesetzt sind.In DE 197 37 212 A1 discloses a workpiece carrier for heat treating workpieces, which consists of heat-resistant fiber composite ceramic material. It is formed in one piece monolithic or consists of one-piece monolithic fiber composite ceramic elements, with support profiles being inserted into the bores of these elements.

Die DE 199 48 147 A1 offenbart dagegen einen Werkstückträger, der aus einer Grundplatte besteht, auf der ein Werkstückhalter in Form eines Rahmens zur Aufnahme mehrerer Werkstücke angebracht ist.The DE 199 48 147 A1 on the other hand discloses a workpiece carrier which consists of a base plate on which a workpiece holder in the form of a frame for receiving several workpieces is attached.

In der DE 196 51 408 C2 wird ein Werkstückträger aus hitzebeständigem faserverbundkeramischen Material zum Wärmebehandeln von darauf angeordneten Werkstücken offenbart. Der Werkstückträger besteht dabei aus streifenförmigen rechteckig angeordneten Bauteilen, deren nach oben gewandte Schmalseite die Auflagefläche für das Werkstück bilden.In the DE 196 51 408 C2 discloses a workpiece carrier made of heat-resistant fiber composite ceramic material for the heat treatment of workpieces arranged thereon. The workpiece carrier consists of strip-shaped, rectangularly arranged components, the upward-facing narrow side of which forms the bearing surface for the workpiece.

Die bekannten Werkstückträger haben die Nachteile, dass sie generell zu schwer sind und damit die Laufbänder und letztendlich die Motoren belasten, die dafür sorgen, dass die Werkstückträger mit den Werkstücken zu ihrer weiteren Behandlung an einen anderen Ort gefahren werden. Weiterhin haben sie häufig eine hohe Wärmeausdehnung sowie geringe Eigendämpfung, Festigkeit und Steifigkeit. Selten können die Werkstückträger mehrfach verwendet werden und verursachen somit hohe Kosten.The have known workpiece carriers the disadvantages that they are generally too heavy and therefore the treadmills and ultimately load the motors, which ensure that the workpiece carriers with the workpieces be taken to another location for further treatment. Furthermore, they often high thermal expansion as well as low internal damping, Strength and rigidity. Rarely can the workpiece pallet be repeated are used and thus cause high costs.

Es bestand nunmehr die Aufgabe, Werkstückträger zu finden, die eine geringe Wärmeausdehnung, geringes Gewicht, eine hohe Festigkeit und Steifigkeit sowie eine hohe Eigendämpfung besitzen und darüber hinaus kostengünstig herstellbar sind.It the task now was to find workpiece carriers that are low Thermal expansion, low weight, high strength and rigidity as well as a high internal damping own and about also inexpensive are producible.

Die Aufgabe wurde mittels der Merkmale des 1. Schitzanspruchs gelöst.The The problem was solved by means of the features of the first Schitz claim.

Dabei besteht der erfindungsgemäße Werkstückträger aus einer Grundplatte und einem Element zur Aufnahme des Werkstücks, wobei die Grundplatte und/oder das Element aus Faserverbundwerkstoff besteht. Grundplatte und Element können einstückig hergestellt sein, es besteht jedoch auch die Möglichkeit, beide Teile getrennt voneinander zu fertigen und anschließend miteinander zu verbinden.there consists of the workpiece carrier according to the invention a base plate and an element for receiving the workpiece, wherein the base plate and / or the element consists of fiber composite material. Base plate and element can one piece be made, but it is also possible to separate the two parts to manufacture from each other and then to connect with each other.

In einer besonderen Ausführungsform ist das Element mehrteilig ausgebildet, wobei ein erster Teil des Elementes aus einem Faserverbundwerkstoff besteht, vorzugsweise auf der Basis eines Epoxydharzes, und ein zweiter Teil aus einem metallischen Werkstoff. Der zweite Teil des Elementes ist in einer weiteren Ausführungsform ein aus Metall bestehender Aufsatz und auswechselbar und somit verschiedenen Werkstücken anpassbar. Insbesondere besteht das untere Element, welches auf der Grundplatte befestigt ist, aus dem Faserverbundwerkstoff.In a special embodiment the element is formed in several parts, a first part of the Element consists of a fiber composite material, preferably based on an epoxy resin, and a second part made of one metallic material. The second part of the element is in another embodiment an attachment made of metal and interchangeable and therefore different workpieces customizable. In particular, the lower element consists of the base plate is attached, made of the fiber composite material.

Der erfindungsgemäße Werkzeugträger mit mehreren Elementteilen hat neben der Grundplatte zum Beispiel 2 bis 5 Elementteile. Einzelne Elementteile können dabei auch aus dem Faserverbundwerkstoff oder aus einem Metall wie Stahl oder Aluminium bestehen.The Tool carrier according to the invention with several In addition to the base plate, element parts have, for example, 2 to 5 element parts. Individual element parts can thereby also from the fiber composite material or from a metal such as Steel or aluminum exist.

Bei einer anderen Ausführungsform besteht der ganze Werkstückträger aus dem Faserverbundwerkstoff, in den Metallelemente eingebettet sind, die zur Auflage der Werkstücke dienen und diese somit positionieren.at another embodiment the whole workpiece carrier consists of the fiber composite material in which metal elements are embedded, those for supporting the workpieces serve and thus position them.

Der verwendete Faserverbundwerkstoff wird bevorzugt nach. dem sogenannten Prepreg-Verfahren hergestellt.The The fiber composite material used is preferred after. the so-called Prepreg process manufactured.

Die Grundplatte ist erfindungsgemäß mit dem Element und die Elementteile sind miteinander stoffschlüssig verbunden. Dabei ist die Grundplatte mit dem Element und/oder die Elementteile sind miteinander verklebt oder verschraubt.The Base plate is according to the invention Element and the element parts are cohesively connected to each other. The base plate with the element and / or the element parts are glued or screwed together.

In einer anderen Ausführungsform ist die Grundplatte mit dem Element und/oder die Elementteile sind miteinander mittels einer Steckverbindung verbunden.In another embodiment is the base plate with the element and / or the element parts are connected to each other by means of a plug connection.

Weiterhin sind an dem Werkstückträger für das Werkstück ein oder mehrere auswechselbare Auflagepunkte aus Metall angebracht, auf denen das Werkstück aufgelegt und lagepositioniert wird und ggf. mit Spannvorrichtungen am Werkstückträger befestigt, d.h. lagefixiert wird.Farther are on the workpiece carrier for the workpiece or several interchangeable support points made of metal attached which the workpiece is placed and positioned and if necessary with tensioning devices attached to the workpiece carrier, i.e. is fixed in position.

Der Werkstückträger ist innen hohl, so dass flüssige und gasförmige Behandlungsmedien hineingelangen können.The Workpiece carrier is hollow inside so that liquid and gaseous Treatment media can get into it.

Vorzugsweise wird das Element durch eine umfangsseitig geschlossene, nach oben offene Wand ausgebildet.Preferably the element is closed by a circumferentially, upward open wall.

Es ist jedoch auch möglich, das Element nach oben geschlossen auszubilden, z.B. durch den zweiten Teil des Elementes.It is also possible form the element closed at the top, e.g. through the second Part of the element.

Die Herstellung des Werkstückträger wird erfolgt auf Basis von Faserverbundwerkstoff.The Production of the workpiece carrier is is based on fiber composite material.

Dabei wirdthere becomes

  • a) ein kohlenstofffaserverstärkter Kunststoff (CFK), insbesondere auf der Basis eines Epoxydharzes, schichtweise in ein Formnegativ des Elementes oder Elementteiles laminiert und anschließenda) a carbon fiber reinforced plastic (CFRP), in particular based on an epoxy resin, layered in one Laminated form negative of the element or element part and then
  • b) der CFK in einem Formnegativ des Elementes oder Elementteiles in einem Autoklaven mittels Temperatur und Druck ausgehärtet.b) the CFRP in a negative form of the element or element part cured in an autoclave using temperature and pressure.

Der CFK wird während dem Laminieren und vor dem Aushärten im Autoklaven mit Auflagepunkten aus Metall zur späteren Aufnahme des Werkstücks versehen. Die Auflagepunkte können auch nach dem Aushärten des CFK angebracht werden. Insbesondere werden die an das Element angebrachten Auflagepunkte mechanisch behandelt, um eine exakte lagegerechte Positionierung des Werkstücks zu gewährleisten. Die mechanische Bearbeitung wird entweder vor oder nach dem Zusammenbau des Elementes bzw. der Elementteile mit der Grundplatte durchgeführt.The CFRP is used during laminating and before curing in an autoclave with metal support points for later recording of the workpiece Mistake. The support points can even after curing of the CFRP. In particular, those attached to the item attached support points mechanically treated to an exact to ensure the workpiece is positioned correctly. The mechanical Machining is done either before or after the element is assembled or the element parts carried out with the base plate.

Werden mehrere Elementteile hergestellt, so werden diese nach dem Aushärten des CFK stoffschlüssig mittels eines Klebers miteinander verklebt oder verschraubt oder mittels einer Steckverbindung verbunden.Become several element parts are produced, these are after the curing of the CFRP cohesive glued or screwed together using an adhesive or connected by means of a plug connection.

Der so hergestellte Werkstückträger wird zur weiteren Bearbeitung, Montage und/oder Wärmebehandlung von Werkstücken verwendet.The workpiece carrier produced in this way used for further processing, assembly and / or heat treatment of workpieces.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen und zugehörigen Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:The In the following, the invention is illustrated by means of exemplary embodiments and associated drawings explained in more detail. It demonstrate:

1: dreidimensionale Darstellung eines erfindungsgemäßen Werkstückträgers, 1 : three-dimensional representation of a workpiece carrier according to the invention,

2: Seitenansicht eines Werkstückträgers mit einem Element aus zwei Teilen. 2 : Side view of a workpiece carrier with an element made of two parts.

In 1 ist der Werkstückträger 1 dargestellt, bei welchem auf einer Grundplatte 2 ein einteiliges Element 3 befestigt ist. Das Element 3 ist als eine sich vertikal von der Grundplatte 2 nach oben erstreckende umfangsseitig geschlossene Wand W mit einer z.B. konstanten Wanddicke D ausgebildet. Der Werkstückträger 1 ist somit hohl und nach oben offen ausgebildet. Die von der Grundplatte 2 wegweisende Oberkante der Wand W des Elementes 3 ist entsprechend des aufzunehmenden Werkstückes strukturiert, d.h. die Höhe. der Wand W variiert von einer großen Höhe H1 bis zu einer geringen Höhe H2. In die Wand W sind zwei Auflagepunkte 6.1 und 6.2 aus metallischem Werkstoff für das aufzunehmende Werkstück eingebettet. Zusätzlich ist in der Grundplatte 1 innerhalb des Bereiches, der von der Unterseite der Wand W eingeschlossen ist, ein Auflagepunkt 7 aus Metall vorgesehen.In 1 is the workpiece carrier 1 shown, in which on a base plate 2 a one-piece element 3 is attached. The element 3 is considered to be vertical from the base plate 2 upwardly extending circumferentially closed wall W with a constant wall thickness D, for example. The workpiece carrier 1 is thus hollow and open at the top. The one from the base plate 2 groundbreaking upper edge of the wall W of the element 3 is structured according to the workpiece to be picked up, ie the height. the wall W varies from a large height H1 to a low height H2. In the wall W are two support points 6.1 and 6.2 embedded from metallic material for the workpiece to be picked up. Additionally is in the base plate 1 a support point within the area enclosed by the underside of the wall W. 7 made of metal.

Die Grundplatte 2 und das Element 3 bestehen aus Faserverbundmaterial und wurden separat im Prepreg-Verfahren hergestellt und anschließend miteinander verklebt. Die Auflagepunkte 6.1, 6.2 und 7 wurden beim Übereinanderlegen der einzelnen Lagen (Zuschnitte) bereits mit eingearbeitet und sind nach dem Aushärten im Autoklaven fest in den Werkstückträger integriert. Da beim Herstellen des Prepregstapels die geforderte Maßhaltigkeit schwer einzuhalten ist, werden die Auflagepunkte 6.1, 6.2, 7 abschießend mechanisch bearbeitet, um die geforderte Form- und Maßgenauigkeit zu gewährleisten.The base plate 2 and the element 3 consist of fiber composite material and were manufactured separately using the prepreg process and then glued together. The support points 6.1 . 6.2 and 7 were already incorporated when the individual layers (blanks) were placed on top of one another and are firmly integrated in the workpiece carrier after curing in the autoclave. Since the required dimensional accuracy is difficult to maintain when producing the prepreg stack, the support points 6.1 . 6.2 . 7 then mechanically processed to ensure the required dimensional and dimensional accuracy.

Alternativ ist es auch möglich, die Auflagepunkte aus Faserverbundmaterial herzustellen und mechanisch zu bearbeiten.alternative is it also possible to produce the support points from fiber composite material and mechanically to edit.

2 zeigt die Seitenansicht einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen Werkstückträgers 1. Dieser besteht aus dem Element 3, befestigt auf der Grundplatte 2, mit den Elementteilen 4 und 5. Das auf der Grundplatte sitzende Elementteil 4 besteht wie die Grundplatte 2 aus. Faserverbundmaterial. Das Elementteil 5 besteht aus Metall und weist die Auflageflächen 6.1, 6.2, 6.3 (und ggf. weitere Auflageflächen) für das aufzunehmende Werkstück auf. Die Elementteile 4 und 5 sind mittels einer Steckverbindung, hier zu sehen als Verbindungsteil 8, miteinander verbunden. Auch das Werkstück wird mittels solcher Steckverbindungsteile 8 auf dem Werkstückträger 1 befestigt. Das Elementteil 5 ist auswechselbar, entsprechend des aufzunehmenden Werkstückes. Es wird somit eine modulare Bauweise eines Werkstückträgers geschaffen, die verschiedenen Werkstückformen anpassbar ist. 2 shows the side view of a further embodiment of the workpiece carrier according to the invention 1 , This consists of the element 3 , attached to the base plate 2 , with the element parts 4 and 5 , The element part sitting on the base plate 4 exists like the base plate 2 out. Fiber composite material. The element part 5 consists of metal and has the contact surfaces 6.1 . 6.2 . 6.3 (and possibly further contact surfaces) for the workpiece to be picked up. The element parts 4 and 5 are by means of a plug connection, to be seen here as a connecting part 8th , connected with each other. The workpiece is also by means of such connector parts 8th on the workpiece carrier 1 attached. The element part 5 is interchangeable according to the workpiece to be picked up. A modular construction of a workpiece carrier is thus created, which can be adapted to different workpiece shapes.

Die Grundplatte 2 und das darauf sitzende Elementteil 4 können vorgefertigt werden und das Elementteil 5, welches das Werkstück positioniert, wird entsprechend ausgewählt und auf dem Werkstückträger adaptiert. Das Elementteil 5 wird vorzugsweise nach dem Befestigen auf dem Elementteil 4 mechanisch auf Maß bearbeitet.The base plate 2 and the element part sitting on it 4 can be prefabricated and the element part 5 , which positions the workpiece, is selected accordingly and adapted to the workpiece carrier. The element part 5 is preferably after attaching to the element part 4 machined to size.

Gemäß nicht näher dargestellter Ausführungsvarianten ist es auch möglich, in den Werkstückträger Spannzeuge zum Lagefixieren der Werkstücke zu integrieren.According to not more detailed variants is it also possible in the workpiece holder for fixing the workpieces in position to integrate.

Der erfindungsgemäße Werkstückträger zeichnet sich durch ein geringes Gewicht, hohe Steifigkeit, Festigkeit und Beanspruchbarkeit sowie hohe Form- und Maßgenauigkeit aus. Weiterhin vorteilhaft ist die geringe thermische Ausdehnung und auch die hohe Eigendämpfung, wodurch Vibrationen und Schwingungen entkoppelt werden.The Draws workpiece carrier according to the invention light weight, high rigidity, strength and Resilience and high dimensional and dimensional accuracy. Farther The low thermal expansion and also the high one are advantageous Natural attenuation, which decouples vibrations and oscillations.

Mit Hilfe des Werkstückträger konnte eine elegante Lösung gefunden werden, kostengünstig Werkstücke zu transportieren, diese weiter zu behandeln sowie zu montieren.With Help the workpiece carrier could an elegant solution can be found to transport workpieces inexpensively, treat them further and assemble them.

Claims (16)

Werkstückträger, bestehend aus einer Grundplatte (2) und einem Element (3) zur Aufnahme eines Werkstücks, dadurch gekennzeichnet, dass die Grundplatte (2) und/oder das Element (3) aus Faserverbundwerkstoff besteht.Workpiece carrier consisting of a base plate ( 2 ) and an element ( 3 ) for holding a workpiece, characterized in that the base plate ( 2 ) and / or the element ( 3 ) consists of fiber composite material. Werkstückträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Element (3) ein- oder mehrteilig ausgebildet ist.Workpiece carrier according to claim 1, characterized in that the element ( 3 ) is formed in one or more parts. Werkstückträger nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass ein erster Teil (4) des Elementes aus Faserverbundwerkstoff und das ein zweiter Teil (5) des Elementes aus einem metallischen Werkstoff besteht.Workpiece carrier according to claim 1 or 2, characterized in that a first part ( 4 ) of the element made of fiber composite material and the second part ( 5 ) of the element consists of a metallic material. Werkstückträger nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Teil des. Elementes (5) ein aus Metall bestehender Aufsatz ist.Workpiece carrier according to one of claims 1 to 3, characterized in that the second part of the. Element ( 5 ) is an attachment made of metal. Werkstückträger nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Teil des Elementes auswechselbar ist.Workpiece carrier after one of the claims 1 to 3, characterized in that the second part of the element is interchangeable. Werkstückträger nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Grundplatte (2) mit dem Element (3) und/oder der erste Teil (4) und der zweite Teil (5) des Elementes (3) miteinander stoffschlüssig verbunden sind.Workpiece carrier according to one of claims 1 to 5, characterized in that the base plate ( 2 ) with the element ( 3 ) and / or the first part ( 4 ) and the second part ( 5 ) of the element ( 3 ) are integrally connected. Werkstückträger nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Grundplatte (2) mit dem Element (3) und/oder der erste Teil (4) und der zweite Teil (5) des Elementes (3) miteinander verklebt sind.Workpiece carrier according to claim 6, characterized in that the base plate ( 2 ) with the element ( 3 ) and / or the first part ( 4 ) and the second part ( 5 ) of the element ( 3 ) are glued together. Werkstückträger nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Grundplatte (2) mit dem Element (3) und/oder der erste Teil (4) und der zweite Teil (5) des Elementes (3) miteinander verschraubt sind.Workpiece carrier according to one of claims 1 to 5, characterized in that the base plate ( 2 ) with the element ( 3 ) and / or the first part ( 4 ) and the second part ( 5 ) of the element ( 3 ) are screwed together. Werkstückträger nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Grundplatte (2) mit dem Element (3) und/oder der erste Teil (4) und der zweite Teil (5) des Elementes (3) miteinander mittels einer Steckverbindung (8) verbunden sind.Workpiece carrier according to one of claims 1 to 5, characterized in that the base plate ( 2 ) with the element ( 3 ) and / or the first part ( 4 ) and the second part ( 5 ) of the element ( 3 ) with each other by means of a plug connection ( 8th ) are connected. Werkstückträger nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Werkstückträger (1) für das Werkstück ein oder mehrere Auflagepunkte (6, 7) aus Metall aufweist.Workpiece carrier according to one of claims 1 to 9, characterized in that the workpiece carrier ( 1 ) one or more support points for the workpiece ( 6 . 7 ) made of metal. Werkstückträger nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Auflagepunkte (6, 7) aus Metall in den Faserverbundwerkstoff des Elementes (3) eingebettet sind.Workpiece carrier according to one of claims 1 to 9, characterized in that the support points ( 6 . 7 ) made of metal in the fiber composite material of the element ( 3 ) are embedded. Werkstückträger nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Werkstückträger (1) zumindest teilweise hohl ist.Workpiece carrier according to one of claims 1 to 10, characterized in that the workpiece carrier ( 1 ) is at least partially hollow. Werkstückträger nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass das Element (3) als eine, sich von der Grundplatte vertikal nach oben erstreckende, umfangsseitig geschlossene Wand (W) ausgebildet ist.Workpiece carrier according to claim 12, characterized in that the element ( 3 ) is designed as a wall (W) which is closed on the circumference and extends vertically upward from the base plate. Werkstückträger nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Element (3) nach oben offen ist.Workpiece carrier according to claim 12 or 13, characterized in that the element ( 3 ) is open at the top. Werkstückträger nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, dass das Element (3) nach oben geschlossen ist.Workpiece carrier according to claim 12 or 13, characterized in that the element ( 3 ) is closed at the top. Werkstückträger nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass das Element durch den zweiten Teil nach oben geschlossen ist.Workpiece carrier after Claim 15, characterized in that the element by the second part is closed upwards.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE102009023122A1 (en) * 2009-05-22 2010-11-25 Gebr. Schmid Gmbh & Co. Support for a silicon block and manufacturing method of such a carrier

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DE102009023122A1 (en) * 2009-05-22 2010-11-25 Gebr. Schmid Gmbh & Co. Support for a silicon block and manufacturing method of such a carrier

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