DE2023727A1

DE2023727A1 -

Info

Publication number: DE2023727A1
Application number: DE19702023727
Authority: DE
Priority date: 1969-05-14
Filing date: 1970-05-14
Publication date: 1970-11-19
Also published as: BE750115A

Description

Vorrichtung zur Ermittlung und numerischen Darstellung einer Spur-Die Erfindung betriPEt eine Vorrichtung zur Ermittlung und numerischen Darstellung einer Spur, die eine andere optische Dichte als der Untergrund besitzt. auf dem 5ie erscheint.Device for the determination and numerical representation of a track die The invention relates to a device for determining and numerically representing a Track that has a different optical density than the subsurface. on the 5ie appears.

Es ist oft erforderlich, die 3noordinaten der auleinander3olgenden Punkte einer Spur numerisch darzustellen. insbesondere um die von dieser Spur, z.B. einem Interferenzstreifen, vermittelte Information in einer von einem numerischen Rechner unmittelbar verwertbaren Form zu erhalten und gegebenenfalls aufzubewahren oder zu speichern.It is often necessary to use the 3 coordinates of the following To represent points of a track numerically. in particular about those from this track, e.g. an interference fringe, conveyed information in one of a numeric Computer immediately usable form and, if necessary, to keep it or save.

Eine Lösung dieses Problems besteht darin, die aufeinanderfolgenden Punkte der Spurüber eine bestimmte Stelle, die beispielsweise durch die optische Achse eines Lagebestimmungssystem definiert ist, mitt einer Vorrichtung vorbeizuführen, die beispielsweise ein längs zweier Koordinaten (kartesianische oder Polarkoordinaten) mittels mit Kodiereinrichtungen versehenen Antriebselementen verschiebbarer Tisch ist.One solution to this problem is to use the consecutive Points of the track over a certain point, for example by the optical Axis of an orientation system is defined to be passed by means of a device, for example, one along two coordinates (Cartesian or polar coordinates) table movable by means of drive elements provided with coding devices is.

Man erhält so die Koordinaten der aufeinanderfolgenden Punkte, die an die bestimmte Stelle gebracht und dort angehalten werden. Es sind insbesondere derartige Vorrichtungen bekannt, die einen orthogonal verschiebbaren Objekttisch (Kreuztisch) aufweisen, um aufeinanderfolgende Punkte einer Kurve in die optische Achse eines Beobachtungsgeräts zu bringen, und die Kodiereinrichtungen aufweisen, welche die Verschiebungen der Antriebsvorrichtungen des Tisches von einem Ursprung her messen. This gives the coordinates of the successive points that be brought to the specified location and stopped there. There are particular Such devices are known which have an orthogonally displaceable object table (Cross table) have to show successive points of a curve in the optical Bring the axis of an observation device, and the coding devices have, which the displacements of the drive devices of the table from an origin measure here.

Leider ergeben sich bei der praktischen Herstellung und Verwendung einer solchen Vorrichtung zahlreiche Schwierigkeiten, insbesondere wenn die Antriebseinrichtungen für die Verschiebungen des Tisches empfindlich und zerbrechlich sind, was im allgemeinen der Fall ist, wenn eine hohe Präzision verlangt wird. Es muß vermieden werden, auf die Antriebsmechanismen des Tisches übermäßige Kräfte auszuüben, wenn dieser blockiert ist. Diese Notwendigkeit führt im allgemeinen dazu, beim Antrieb eine das Moment begrenzende Kupplung, beispielsweise eine Reibkupplung, zwischenzuschalten. Diese Anordnung hat aber zur Folge, daß im Fall des Gleitens oder Schleifens der Vorschub des Antriebselements nicht gleich dem Vorschub des Tisches ist. Diese Gefahr ist ein schwerer Nachteil der einfachsten Vorrichtung, welche als Antriebselement einen mit einem numerischen Zähler zusammenwirkende Schrittantriebsvorrichtung benützt.Unfortunately, practical manufacture and use arise such a device numerous difficulties, especially when the drive means for the movements of the table are sensitive and fragile, what in general is the case when high precision is required. It must be avoided on Excessive forces on the drive mechanisms of the table when it jams is. This necessity generally leads to a moment when driving limiting clutch, for example a friction clutch, to be interposed. These However, the arrangement has the consequence that in the case of sliding or grinding the feed of the drive element is not equal to the advance of the table. This danger is a serious disadvantage of the simplest device, which as a drive element used stepping drive device cooperating with a numerical counter.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung für den eingangs erwähnten Zweck zu schaffen, welche die praktischen Erfordernisse besser als die bisher bekannten Vorrichtungen erfüllt, nicht deren Nachteile aufweist und dabei immer noch verhältnismäßig einfach gebaut ist.The invention has for its object to provide a device for To create the purpose mentioned at the beginning, which better meets the practical requirements met than the previously known devices, does not have their disadvantages and it is still built relatively simply.

Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Vorrichtung zur Ermittlung und numerischen Darstellung einer Spur mit Vorrichtungen zum Verschieben der Spur längs einer ersten und einer zweiten toordinatenachse und zum HeranSUhren ihrer aufeinanderfolgenden Punkte in die optische Achse eines Lagebestimmungssystems, die sich erfindungsgemäß dadurch auszeichnet, daß sie bUr jede Koordinatenachse eine Welle zur Verschiebung der Spur parallel zu dieser Achse, Schrittantriebsvorrichtungen £r die Welle, die mit ihr durch eine das Antriebsmoment begrenzende Verbindung gekuppelt sind. eine mit der Welle positiv, gegebenenfalls Uber eine elastische Verbindung.This object is achieved by a device for determining and Numerical representation of a track with devices for moving the track lengthways a first and a second coordinate axis and to watch their successive ones Points in the optical axis of an orientation system, which according to the invention characterized in that it has a shaft for displacement for each coordinate axis the track parallel to this axis, stepper drives £ r the shaft that are coupled with her by a connection limiting the drive torque. one positive with the shaft, possibly via an elastic connection.

gekuppelte numerische Kodiereinrichtung und Vorrichtungen zum Steuern des Ausgangs der Kodiereinrichtungen und daß sie eine Programmiereinrichtung, die von dem Ausgangssignal einer der todiereinrichtungen ausgelöst wird und dann einen best @mten Vorschub der Antriebsvorrichtung der der Verschiebung längs der ersten Achse dienenden Welle steuert. aufweist.coupled numerical encoder and control devices of the output of the coding devices and that they have a programming device that is triggered by the output signal of one of the death devices and then one Best @mten advance of the drive device that of the displacement along the first Axis serving shaft controls. having.

Die Erfindung wird erläutert durch die folgende Beschreibung einer nur als Beispiel angegebenen AusSUhrungR form. Die Beschreibung bezieht sich auE die beigefügten Zeichnungen. Hierin zeigen: Fig. 1 ein Prinzipschema der wesentlichen Elemente der Vorrichtung; Fig. 2 ein vereinfachtes Schema der Einrichtung zur numerischen Darstellung der Vorrichtung der Fig. 1; Fig. 3 ein Bündel von Spuren, derer aufeinanderfolgende Punkte von der in Fig. 2 schemarisch gezeigten Vorrichtung numerisch dargestellt werden können, sowie die Art der zur Ermittlung dienenden Abtastung; Fig. 4 ganz schematisch die hauptsächlichen, der Ermittlung dienenden Elemente der Vorrichtung der Fig. 1; Fig. 5 in großem Maßstab und als Ansicht, wiederum sehr schematisch, das System der rotierenden Scheiben der Vorrichtung der Fig. 4.The invention is illustrated by the following description of a VERSION FORM given as an example only. The description refers to the outside world the attached drawings. 1 shows a basic diagram of the essentials Elements of the device; Fig. 2 is a simplified scheme of the device for numerical Representation of the device of FIG. 1; 3 shows a bundle of tracks, of which successive Points from the device shown schematically in FIG. 2 are shown numerically can be, as well as the type of scan used to determine; Fig. 4 entirely schematically, the main elements of the device used for determination of Fig. 1; Fig. 5 on a large scale and as a view, again very much schematically, the system of rotating disks of the device of FIG. 4.

Die in Fig. 1 dargestellte Vorrichtung ist zur Analyse und numerischen Darstellung von Interferenzstreifen mit Hilfe eines Vergleichsmikroskops (microscope-comparateur) bestimmt. Die Streifen (Fig. 3) sind auf einem Abzug (oder Negativ) enthalten, der aug den Objekttisch des Vergleichsmikroskops gelegt wird, der mit einem System zur Verschiebung in kartesischen Koordinaten versehen ist (Fig.2), wodurch jeder beliebige Punkt des Abzugs in den Bereich der optischen Achse des Vergleichsmikroskops gebracht werden kann.The apparatus shown in Fig. 1 is for analysis and numerical Representation of interference fringes with the help of a comparison microscope (microscope-comparateur) certainly. The strips (Fig. 3) are included on a print (or negative), the aug is placed on the stage of the comparison microscope, which is connected to a system for Shift in Cartesian coordinates is provided (Fig.2), whereby any The point of the trigger is brought into the area of the optical axis of the comparison microscope can be.

Man kann sagen, daß die erfindungsgemäße Vorrichtung zwei mit de@ Mikroskop 2 mit Hellkammer (chambre claire) 3 zusammenwirkende Anordnungen enthält (Fig.1): Diese beiden nacheinander beschriebenen Anordnungen bestehen aus ein Einrichtung zur Verschiebung in kartesischen Kordinaten und zur Speicherung (in Fig.1 vom Kasten 4 umschrieben) und einer Ermittlungseinrichtung 6 (in Fig.1 mit dem Kasten 6 umschrieben und strichpunktiert gezeigt).It can be said that the device according to the invention has two with de @ Microscope 2 with light chamber (chambre claire) contains 3 interacting arrangements (Fig.1): These two arrangements, described one after the other, consist of one device for shifting in Cartesian coordinates and for storage (in Fig. 1 from the box 4 circumscribed) and a determination device 6 (circumscribed with the box 6 in FIG and shown in phantom).

Mit dem Tisch 10 des Mikroskops 2 wirken zwei ähnliche mechanische Einrichtungen zusammen, von denen die eine den Tisch längs einer Achse Ox und die andere ihn längs einer Achse Oy verschiebt Da diese beiden Einrichtungen ähnlich sind, wird im folgenden nur die zu den Verschiebungen längs Ox dienende beschrieben. In Fig. 2 entsprechen die Teile der Einrichtung zur Verschiebung längs der Achse Oy den Teilen der anderen Anordnung mit dem gleichen Bezugs zeichen unter Anfügung eines Indexstriches0 Der in Fig. 2 stark vereinfacht gezeigte Objekttisch 10 ist von einer Verschiebewelle 12 angetrieben, mit der er durch einen positiv wirkenden Mechanismus verbunden ist, der schematisch durch eine Verbindung Uber Zahnstange 14 und Ritzel 16 angegeben ist. Die Welle 12 und die Muffe 20 sind durch eine Reibungskupplung 18 drehfest gekuppelt. Die Reibverbindung 18 ist so ausgelegt, daß sie unter einem geringeren Drehmoment nachgibt als das, welche3 die mechanische Verbindung zvischen der Verschiebewelle 12 und dem Objekttisch 10 beschadigen könnte. Die Muffe 20 ist mit einem Zahnkranz 22 versehen und durch diesen mit zwei verschiedenen Antriebselementen gekuppelt. Einerseits greift der Zahnkranz 22 in das Ritzel 24 der Welle eines elektrischen Schrittmotors 26. Die vom Ritzel 24 und Zahnkranz 22 bewirkte Untersetzung ist vorteilhafterweise genUgend em groß, daß die ein Verschiebungsschritt (einer Elementarverschiebung) des Motors 20 ein geringer Vorwärtsschritt des Objekttisches 10 entspricht. Im besonderen Fall der numerischen Darstellung optischer Spuren werden oft für die aufeinanderfolgenden Vorwärtsbewegingen des Objekttisches Schritte von 1 Mikron oder einem Vielfachen davon gewählt. Der Zahnkranz 22 greift ferner in das Ritzel 28 eines gerXndelten Einstellknopfes 30, der (in seiner Wirkung) an die Stelle des Motors 26 treten kann.Two similar mechanical ones operate with the table 10 of the microscope 2 Bodies, one of which the table along an axis Ox and the other moves it along an axis Oy Since these two bodies are similar are, only the one used for the displacements along Ox is described below. In Fig. 2 the parts correspond to the device for displacement along the axis Oy the parts of the other arrangement with the same reference number added an index line 0 The object table shown in a greatly simplified manner in FIG. 2 10 is driven by a sliding shaft 12, with which he is positive acting mechanism is connected schematically by a connection Uber Rack 14 and pinion 16 is indicated. The shaft 12 and the sleeve 20 are through a friction clutch 18 rotatably coupled. The friction connection 18 is designed so that it yields under a lower torque than that which3 the mechanical Connection between the displacement shaft 12 and the object table 10 could damage. The sleeve 20 is provided with a ring gear 22 and through this with two different ones Drive elements coupled. On the one hand, the ring gear 22 engages in the pinion 24 the shaft of an electric stepping motor 26. The one from the pinion 24 and ring gear 22 The reduction effected is advantageously sufficiently large that the one shifting step (an elementary displacement) of the motor 20 a small forward step of the stage 10 corresponds. In the special case of the numerical representation of optical traces often steps of for the successive advancement of the stage 1 micron or a multiple thereof. The ring gear 22 also engages the pinion 28 of a knurled adjustment knob 30, which (in its effect) on the Place of the motor 26 can occur.

Die Verschiebewelle 12 treibt Uber eine Kupplung 34 die Eingangswelle 36. einer analog-numerischen Kodiereinrichtung 320 Diese Kupplung 34 darf selbstverständlich keinerlei Drift, d.h. ein systematisches und nicht wieder eingeholtes Gleiten der Eingangs-Welle 36 der Kodiereinrichtung 32 bezüglich der Verschiebewelle 12 zulassen. Dagegen ist diese Kupplung, z.B. eine Balgenverbindung, vorteilhafterweise elastisch, so daß sie eine geringe Verschiebung, die unter einem Schritt liegt, zwischen der Verschiebewelle 12 und der Welle 36, die sich bei bestimmten Typen von Kodiereinrichtungen nur schrittweise drehen kann, zuläßt. Für das folgende sei (inkrementweise) angenommen, daß die Kodiereinrichtung schrittweise/arbeitet, d.h an ihrem Ausgang jedesmal, wenn sie ausgelöst wird, eine Impulszahl liefert, welche der Drehung seit der letzten Auslösung proportional ist. jedoch ist auch eine "absolute" Kodiereinrichtung verwendbar.The displacement shaft 12 drives the input shaft via a clutch 34 36. an analog-numeric coding device 320 This coupling 34 may of course no drift, i.e. a systematic and unrecovered sliding of the Allow input shaft 36 of encoder 32 with respect to displacement shaft 12. On the other hand, this coupling, e.g. a bellows connection, is advantageously elastic, so that they have a slight shift, which is under one step, between the sliding shaft 12 and the shaft 36, which are in certain types of coding devices can only rotate gradually, allows. For the following is Assume (incrementally) that the encoder is incremental / works, i.e. at its output each time it is triggered, it supplies a number of pulses which is proportional to the rotation since the last trip. however, an "absolute" Coding device can be used.

Die beschriebene Einrichtung zur Verschiebung längs Ox und die ähnliche Einrichtung zur Verschiebung längs Oy wirken mit einer Elektronik zusammen, die selbstverständlich in gewissem Grad vom Typ der zu untersuchenden Kurven und der gewählten Art der Ermittlung abhängt. Die im folgenden beschriebene, in Fig 1 dargestellte Elektronik, ist zur aufeinanderfolgenden Ermittlung (Abtastung) der Kurven einer Kurvenschar best t die das in Fig, 3 gezeigte Aussehen besitzt. Jede Kurve weist zwei im wesentlichen lineare und parallel zueinander in den Bereichen 52 und 56 liegende Abschnitte auf, die durch ein Verbindungsstück (Zone 54) verbunden sind, welches die größte Signifikanz hat. Im folgenden sei angenommen, daß die numerische Darstellung erfolgt, indem der die Bildträge@ Kurven tragende / (Kopie oder Negativ) auf den Objekttisch 10 so angeordnet wird, daß die geraden Abschnitte im wesentlichen parallel zur Verschiebungsachse Ox verlaufen. Ferner sei angenommen, daß die Ermittlung einer Kurve von einem bestimmten Punkt (z.B. Punkt A) ausgeht, indem der Tisch längs der Achse Ox mittels des Motors 26 un eine automatisch bestimmte Strecke verschoben wird, der entsprechende Punkt B der Kurve mittels des Handeinstellknopfes 30' in die optische Achse 58 eines Beobachtungsgeräts (Fig.1) gebracht wird und dann der numerische Ausgang der schrittweise arbeitenden Kodiereinrichtungen 32 und 32' betätigt wird, wobei dieser letzte Arbeitsgang automatisch die Vorwartsbewegung des Motors 26 bewirkt.The device described for displacement along Ox and the like Device for displacement along Oy cooperate with electronics that to a certain extent, of course, on the type of curves to be examined and the chosen type of determination depends. The one described below and shown in FIG Electronics is one for the successive determination (sampling) of the curves Family of curves best t which has the appearance shown in FIG. Every curve points two substantially linear and parallel to each other in areas 52 and 56 lying sections that are connected by a connecting piece (zone 54), which has the greatest significance. In the following it is assumed that the numerical Representation is carried out by the / (copy or negative) bearing the image inertia @ curves is placed on the stage 10 so that the straight sections substantially run parallel to the axis of displacement Ox. It is also assumed that the determination a curve starts from a certain point (e.g. point A) by moving the table along the axis Ox by means of the motor 26 un shifted an automatically determined distance the corresponding point B of the curve by means of the manual adjustment knob 30 'in the optical axis 58 of an observation device (FIG. 1) is brought and then the numerical output of the step-by-step coding devices 32 and 32 'is actuated, this last operation automatically the forward movement of the motor 26 causes.

Zur Durchftihrung dieser Folge weist die in Fig. 1 dargestellte Vorrichtung eine übliche Programmiereinrichtung 38 auf, die vom Ausgang der schrittweise arbeitenden Kodiereinrichtung 32' ausgelest wird. Die Programmiereinrichtung 38 steuert dann die Vorwärtsbewegung des die Verschiebung längs Ox bewirkenden Motors 26. Die Programmiezleinrlchturng ist vorteilhafterweise so eingerichtet, daß sie die Größe der vom Motor 26 bewirkten Verschiebung d längs Ox je nach dem zu analysierenden Abschnitt der Kurve verändert, wobei jedoch stets diese Verschiebung ein Vielfaches des Elementarschritts des Motors 26 bleibt. Aus Fig. 3 ist ersichtlich, daß es tatsächlich vorteilhaft ist, die Abschnitte der turve-50 in den Bereichen 52 und 56 mit viel längeren aufeinanderfolgenden Verschiebungen d als die Elementarverschiebungen d' im Bereich 54 zu ermitteln und zu untersuchen. Die Programmiereinrichtung 38 besorgt diese Entvicklung in. einfacher Weise. Sie kann die Schritte nach Maßgabe des Durchlaufens der kurve 50 entsprechend einer festgelegten Folge verändern. Sie kann ebenfalls. und diese Lösung ist noch vorteilhafter, ein durch Verdrahtung festgelegtes, verhältnismäßig einfaches Programm enthalten, das die Größe des Vorschubs in Abhängigkeit von den von der Kodiereinrichtung 32' empfangenen Anzeigen festlegt. Angenommen, diese Kodiereinrichtung arbeite schrittweise (Inkrement-Typ), so legt die Programmiereinrichtung 38 die Grieße des VorlauBs des Motors 26 in Abhängigkeit von der von der Kodiereinrichtung 32' gelieferten Zahl von Impulsen fest. Die Programmiereinrichtung wählt beispielsweise die Größe des Vorlaufs zwischen mehreren möglichen Werten aus, beispielsweise 100µ, 50µ, 10µ und 5µ.To carry out this sequence, the device shown in FIG a conventional programming device 38, which is based on the output of the step-by-step Encoding device 32 'is read out. The programmer 38 then controls the forward movement of the motor 26 causing the displacement along Ox is advantageously set up so that they are the size of the motor 26 caused Shift d along Ox changed depending on the section of the curve to be analyzed, however, this shift is always a multiple of the elementary step of the motor 26 stays. From Fig. 3 it can be seen that it is actually advantageous, the sections the turve-50 in areas 52 and 56 with much longer consecutive shifts To determine d as the elementary displacements d 'in the area 54 and to investigate. The programming device 38 takes care of this development in a simple manner. she can take the steps in accordance with the traversal of the curve 50 according to a change the specified sequence. She can too. and this solution is even more advantageous, contain a relatively simple program determined by wiring, that the size of the feed as a function of the coding device 32 ' received advertisements. Assume that this encoder works incrementally (Increment type), then the programming device 38 sets the size of the precedence of the Motor 26 as a function of the number supplied by the encoder 32 ' of impulses. The programming device selects, for example, the size the advance between several possible values, for example 100µ, 50µ, 10µ and 5µ.

Es sei bemwerkt, daß die Programmiereinrichtung den Motor 26 so steuert, daß die Verschiebewelle 12 eine Verschiebung um eine bestimmte Amplitude ausführt, was erfordert, daß die Programmiereinrichtung dem Motor nicht eine bestimmte feste Zahl von Steuerimpulsen liefert, sondern eine solche Zahl, daß die Kodiereinrichtung 32, die mit der Verschiebewelle 12 zusammenwirkt, an ihrem Ausgang die gewählte Zahl Impulse anzeigt. Mit anderen Worten, die Gesamtheit von Programmiereinrichtung 28, Motor 26, Verschiebewelle 12, Kodiereinrichtung 32 bildet eine Regeischleife (Rückkopplungsschleife).It should be noted that the programmer controls the motor 26 so that the displacement shaft 12 carries out a displacement by a certain amplitude, which requires that the programmer not give the engine a certain fixed Number of control pulses, but such a number that the encoder 32, which cooperates with the displacement shaft 12, the selected one at its output Indicates number of pulses. In other words, the entirety of the programming device 28, motor 26, displacement shaft 12, encoder 32 form a control loop (Feedback loop).

Diese Anordnung besitzt einen sehr wesentlichen Vorteil gegenüber der, wo nur die Programmeinrichtung mit dem Motor zusammenwirkt: Bin relatives Gleiten zwischen der Muffe und der Verschiebewelle bewirkt keinerlei Fehler.This arrangement has a very significant advantage over the one where only the program device interacts with the motor: bin relative sliding between the sleeve and the sliding shaft does not cause any errors.

Bei der beschriebenen Ausführungsform muß nach jeder Drehung der Welle 12 eine Bedienungsperson die untersuchte Kurve von Hand mittels des gerändelten Einstellknopfes 30' in die optische Achse 58 zurückstellen. Selbstverständlich eignet sich die Vorrichtung auch zu einem gesteuerten Betrieb was erfordert, daß die Vorrichtung eine automatische "Folge"-Einrichtung besitzt, we1.che durch jeder Verschiebung längs Ox die Kurve durch Verschiebung längs Oy in die optische Achse bringt. In diesem Fall tritt selbstverständlich die Ausgangssteuerung der Kodiereinrichtungen stellung in Funktion, nachdem die Nach / durchgeführt ist.In the embodiment described, after each rotation of the shaft 12 an operator manually controls the curve by means of the knurled Set the adjusting knob 30 'back into the optical axis 58. Of course, suitable the device also allows a controlled operation which requires that the device has an automatic "follow-up" facility, which is caused by each shift along Ox brings the curve into the optical axis by shifting along Oy. In in this case, of course, the output control of the encoders occurs position in function after the adjustment has been carried out.

Die Kodiereinrichtungen 32 und 32' wirken mit einem numerisch arbeitenden Registriergerät 60 zusammen, beispielsweise einem Lochkarten- oder Lochstreifenlocher oder einem Magnetbandregistriergerät. Die in Fig. 1 gezeigte Vorrichtung weist ferner eine Vor richtung 62 zur Sichtbarmachung, beispielsweise durch Anzeige mittels Nixie-Röhren, auf, wodurch die Bedienungsperson den Verlauf der Analyse dauernd verfolgen kann.The encoders 32 and 32 'act with a numerically operating one Recording device 60 together, for example a punch card or tape punch or a tape recorder. The device shown in Fig. 1 also has a device 62 for visualization, for example by means of display by means of Nixie tubes, on, whereby the operator can follow the course of the analysis continuously.

Eine erfindungsgemäße Vorrichtung, die hergestellt wurde, besitzt einen Objekttisch mit einer Lau£strecke von 150 mm längs der Achse Ox und 200 mm längs der Achse Oy. Dagegen besitzen die Handeinstelleinrichtungen einen Lauf von nur einigen Millimetern. Daher muß nicht nur der Motor 26 im Fall einer Verschiebung nach Ox die Vorschübe schrittweise bewirken, sondern auch der Motor 26' muß.A device according to the invention that has been manufactured has an object table with a length of 150 mm along the axis Ox and 200 mm along the axis Oy. In contrast, the manual adjustment devices have a run of only a few millimeters. Therefore, not only does the motor 26 have to be in the event of displacement after Ox effect the feeds step by step, but the motor 26 'must also.

ftlr die Verschiebungen nach Oy die RUckstellung der Handeeinstellvorrichtung auf Null bewirken.For the shifts according to Oy, the resetting of the manual adjustment device effect to zero.

Der Ablauf der Arbeitsgänge im Betrieb ist dann wie folgt (Fig.3): Angenommen, der Objektträgertisch ist so angeordnet, daß der Punkt A einer Kurve, der als Ursprung angenommen wird. sich in der optischen Achse befindet und die Kodiereinrichtungen 32 und 32' auf Null stehen. Die Programmiereinrichtung 38 bewirkt einen Vorlauf des Motors 26 entsprechend einer willkürlich gewählten Strecke d (Ausgang 64 der Prograinmiereinrichtung 38). Die Kodiereinrichtung 32 zeigt den Vorschub d an. Die Bedienungsperson dreht den Einstellknopf 30', um dieturve wieder in die optische Achse zu bringen (Punkt B der Kurve). Die Kodiereinrichtung 32' zeigt die entsprechende Verschiebung an, welche den nächsten Vorschub d bestimmt, der vom Motor 26 unter der Steuerung durch die Programmiereinrichtung 38 ausgeführt wird. Nach durchgeführter Ausrichtung löst die Bedienungsperson die kodiereinrichtungen 32 und 323 aus (die in Fig. 1 schematisch mit den Eingängen 66 und 66' bezeichnete Steuerung). Die von den Kodiereinrichtungen gelieferten Impulse werden dann von dem Element 60 registriet und an den Nixie-Röhren des Elements 62 sichtbar gemacht. Nach erfolgter Registrierung bewirkt die Programmiereinrichtung 38 eine neue Vorwärtsbewegung des rotors 26.The sequence of operations in the company is then as follows (Fig. 3): Assume that the slide table is arranged so that point A of a curve, which is believed to be the origin. is located in the optical axis and the encoders 32 and 32 'are at zero. The programming device 38 causes a forward run of the motor 26 according to an arbitrarily selected distance d (output 64 of the Programming device 38). The encoder 32 indicates the feed rate d. the Operator turns adjustment knob 30 'to turn the curve back into optical Bring axis (point B of the curve). The coding device 32 'shows the corresponding Shift on, which determines the next feed d that of the motor 26 below the control is carried out by the programming device 38. After carried out Alignment the operator releases the coding devices 32 and 323 from (which is indicated schematically in FIG. 1 with the inputs 66 and 66 ' Steering). The pulses supplied by the encoders are then from the element 60 registered and made visible on the Nixie tubes of the element 62. After registration has taken place, the programming device 38 effects a new forward movement of the rotor 26.

Die in den Fig. 4 und 5 gezeigte Ermittlungseinrichtung 6 (Fig.1) besitzt einen Analysierteil A, ein Elektronik-Chassis B und eine Einrichtung zur Sichtbarmachung, die ais einem Oscilloskop C besteht.The determination device 6 shown in FIGS. 4 and 5 (FIG. 1) has an analysis part A, an electronics chassis B and a device for Visualization consisting of an oscilloscope C.

Die Analysiereinrichtung A ist in den optischen Weg unmittelbar vor der Hellkammer 3 zur Beobachtung des Mikroskops 2 eingeschaltet. Ein Teil der von dem zu untersuchenden Bild herkommenden Lichtstärke wird durch einen halbdurchlässigen Spiegel 110 abgenommen, der den Lichtstrahl auf ein System leitet, welches dem gesamten Bild eine beliebige Orientierung um die optische Achse geben kann. Dieses System besteht in dem in Fig. 4 gezeigten Fall aus einem totalreflektierenden, den Strahl nicht ablenkenden Prisma 112, das gewähnlich als "Wollaston-Prisma" bezeichnet wird. Das Wollaston-Prisma hat zahlreiche Vorteile. Insbesondere kehrt es das Bild nicht um und streut nicht die Farben, wodurch man mit weißem Licht arbeiten kann. Das Prisma 112 ist von einer Drehvorrichtung getragen, wodurch es um die optische Achse gedreht werden kann. Die Drehvorrichtung ist schematisch gezeigt als ein Zahnkranz 114, der in Eingriff steht mit einem Ritzel 116, daß an einer an ihrem Ende einen gerändelten Handeinstellknopf 120 tragenden Stange 118 befestigt ist. Der Zahnkranz 114 und das Ritzel 116 bilden eine Untersetzung im Verhältnis 1/2, wodurch die Orien,-tierung des Bildes durch einen Pfeil 122 am gerändelten Einstellknopf 120 angezeigt werden kann. Jede Drehung des Prismas bewirkt eine doppelte Drehung des Bildes.The analyzer A is in the optical path immediately ahead the light chamber 3 switched on for observation of the microscope 2. Part of the The light intensity coming from the image to be examined is passed through a semi-transparent Mirror 110 removed, which directs the light beam to a system that the entire Image can give any orientation around the optical axis. This system consists in the case shown in Fig. 4 of a totally reflecting, the beam non-deflecting prism 112, commonly referred to as the "Wollaston prism". The Wollaston prism has numerous advantages. In particular, it does not reverse the picture around and does not scatter the colors, which means that you can work with white light. That Prism 112 is carried by a rotating device, rotating it around the optical axis can be rotated. The rotating device is shown schematically as a toothed ring 114, which is in engagement with a pinion 116 that one at its end knurled manual adjustment knob 120 bearing Rod 118 attached is. The ring gear 114 and the pinion 116 form a reduction ratio in relation 1/2, whereby the orientation of the picture by an arrow 122 on the knurled Setting knob 120 can be displayed. Each rotation of the prism causes a double one Rotation of the image.

Der aus dem Wollaston-Prisma 112 austretende Lichtstrahl wird durch ein reflektierendes Element, das in Form eines Spiegels 124 gezeigt ist, zu einer Analysiereinrichtung gelenkt. Diese Analysiereinrichtung weist einen feststehenden Schirm 126 auf, der ein Diaphragma bildet, in dem ein in der optischen Achse zentrierter Schlitz 128 ausgebildet ist. Der durch den Schlitz 128 gehende Lichtstrahl wird mit gleichbleibender Frequenz durch eine mit gleichbleibender Geschwindigkeit umlaufende Scheibe 130 unterbrochen (verdunk elt), die eine Reihe von in regelmäßigen Winkelabständen angeordneten Schlitzen 132 trägt. Die Schlitze 132 verlaufen radial, und die Drehachse 134 der Scheibe ist: in- der durch die Mitte des Schlitzes 128 gehenden Linie angeordnet. So wird das vom Schlitz 128 begrenzte Lichtbündel fortlaufend vom Schlitz 132 abgetastet , der sich senkrecht zum Schlitz 128 verschiebt. Ein Objektiv 136 bildet den aus der Gesamtheit der Schlitze 128 und 132 austretenden beweglichen Lichstrahl auf einem Fotomultiplier 138 ab. Das Objektiv 136 ist so gewählt, daß die Amplitude der Ablenkung auf dem Fotomultiplier 138 genügend groß ist, um die Fotokathode des Fotomultipliers nicht zu schädigen, jedoch genügend gering bleibt, daß dr Gang (das Ansprechen) der Fotokathode im wesentlichen linear bleibt.The light beam emerging from the Wollaston prism 112 is through a reflective element, shown in the form of a mirror 124, to one Analyzer steered. This analyzer has a fixed Screen 126, which forms a diaphragm in which a centered in the optical axis Slot 128 is formed. The light beam passing through the slot 128 becomes with a constant frequency by a rotating with constant speed Disc 130 interrupted (obscured) a series of at regular angular intervals arranged slots 132 carries. The slots 132 are radial and the axis of rotation 134 of the disk is arranged in the line going through the center of the slot 128. The light beam delimited by the slit 128 is thus continuously scanned by the slit 132 which moves perpendicular to the slot 128. An objective 136 forms the the whole of the slits 128 and 132 exiting movable light beam a photomultiplier 138. The lens 136 is chosen so that the amplitude the deflection on the photomultiplier 138 is large enough to remove the photocathode of the Not to damage the photomultiplier, but remains sufficiently small that the gear (the Response) the photocathode remains essentially linear.

Der Fotomultiplier ist iii Ublicher Weise durch eine Außenabschirmung aus Weicheisen und eine Innenabschirmung aus "Mumetal (e.Wz.), eine Permalloylegierung aus in der Hauptsache Nickel, Eisen, Kupfer und Chrom, geschützt. Die Ausgangssignale des Fotomultipliers werden in einem Vorverstärker 144 verstärkt, der nach Fig. 4 direkt vom Sockel des Fotomultipliers getragen wird, um elektrostatische Induktionen zu vermeiden.The photomultiplier is usually covered by an external shield the end Soft iron and an inner shield made of "Mumetal (e.Wz.), a permalloy alloy mainly made of nickel, iron, copper and chromium. The output signals of the photomultiplier are amplified in a preamplifier 144, which is shown in FIG is carried directly from the base of the photomultiplier to avoid electrostatic induction to avoid.

Die Ermittlungsscheibe 130 bildet einen Teil einer drehbaren Anordnung, die außerdem eine Markierungsscheibe 146 aufweist, die im gezeigten Ausführungsbeispiel auch einen Teil der Einrichtung zur Geschwindigkeitsregulierung bildet. Diese Anordnung ist von einem Motor 148 über ein Reduktionsgetriebe 150 angetrieben. Die Drehgeschwindigkeit des Motors 148 muß selbstverständlich genau stabilisiert sein. Man kann dazu einen Synschromotor verwenden, der von einem frequenzstabilisierten Netz gespeist wird. Der Motor list jedoch vorzugsweise ein Gleichstrommotor, der eine einfachere Wahl der Drehgescliviindigkeit ermöglicht. Die im folgenden beschriebene Regeleinrichtung ist für einen Motor 148 dieses Typs vorgesehen.The detection disc 130 forms part of a rotatable arrangement, which also has a marking disc 146, which in the embodiment shown also forms part of the device for speed regulation. This arrangement is driven by a motor 148 via a reduction gear 150. The turning speed of the motor 148 must of course be precisely stabilized. You can do one Use a synchronous motor that is fed by a frequency-stabilized network. However, the motor is preferably a DC motor which is an easier choice the Drehgescliviindigkeit enables. The control device described below is intended for a motor 148 of this type.

Die Markierungsscheibe 146 weist für jeden Schlitz 1132 eine Narkierungs- und Synchronisationsgruppe auf, die aus einem Mittelloch 152 und zwei Seitenlöchern 154 besteht. Die Löcher laufen zwischen einer Lampe 156 und einem lichtempfindlichen Element wie einem Fototransistor 158, hindurch. Die Lampe 156 und der Fototransistor 158 sind so angeordnet, daß letzterer beim Durchgang jedes Mittelloches 152 im Augenblick, wo ein Schlitz 132 der Scheibe 130 in die optische Achse gelangt, ein Antwortsignal aussendet. Man ver-(Feststellung der Lage) folgt so über ein Signal, das die Markierung der Stellung7des voifl Fotomultiplier gelieferten Bildes bezüglich der optischen Achse ermöglicht.The marking disc 146 has a marking for each slot 1132 and synchronization group consisting of a central hole 152 and two side holes 154 exists. The holes run between a lamp 156 and a photosensitive one Element such as a phototransistor 158. The lamp 156 and the phototransistor 158 are arranged in such a way that the latter, when passing through each center hole 152 at the moment, where a slot 132 of the disk 130 comes into the optical axis, a response signal sends out. One follows (ascertaining the position) via a signal that the marking the position of the voifl Photomultiplier supplied image regarding the optical axis allows.

Die Scheibe 146 weist ferner Löcher 162 auf, die jedes einem Loch 152 entsprechen und zur Geschwindigkeitsregelung dienen. Die Löcher 162 laufen zwischen einer Lampe. 164 und einem Fototransistor 166 hindurch, der infolgedessen Ausgangsimpulse mit einer Frequenz liefert, die der Umdrehungsgeschwindigkeit der die Scheiben 130 und 146 enthaltenden Anordnung direkt proportional ist. Diese Impulse bilden die Eingangssignale der Ges-chwindigkeitsregelvorrichtung.The disk 146 also has holes 162, each of which is a hole 152 correspond and serve to regulate the speed. The holes 162 run between a lamp. 164 and a phototransistor 166 through which, as a result, output pulses at a frequency that corresponds to the speed of rotation of the disks 130 and 146 containing arrangement is directly proportional. These impulses form the Input signals of the speed control device.

mit Das/der Analysieranordnung zusammenwirkende Elektronik-Chassis B enthält die für die verschiedenen Elemente notwendigen Kreise. Man findet bier insbesondere außer verschieden nicht dargestellten) Netzanschlüssen einen Hochspannungsgenerator 168 zur Versorgung des Fotomultipliers 138. Das Chassis B enthält ferner einen Gen schwindigkeitsregelkreis 170 üblicher Bauart, der infolgedessen nicht beschrieben ist. Es sei nur bemerkt, daß dieser Kreis 170 die von Fototransistor 166 kommenden Impulse empfängt und einen Servomechanismus zur Regelung der Stromversorgung 172 des Motors 148 steuert. Diese stromversorgung muß offensichtlich ein elektrisches Filter mit Widerständen und Kapazitäten enthalt um die Störungen auszuschalten, die auf vom Reiben der Btfrsten des Motors 148 am Kollektor erzeugte Störungen zurückgehen. Die vom Verstärker 144 und Fototransistor 158 kommenden Ausgangssignale wirken auf eine logische Einrichtung / zur Sichtbarmachung 174 ein, die mit dem Oszilloskop C zusammenwirkt. Dieses Oszilloskop kann von üblicher Bauart sein, muß jedoch bestimmte Bedingungen erfüllen: Seine Bandbreite muß genügend groß sein (in der Größenordnung von mindestens 100 kIiz), um die von den Löchern 152 und 154 gelieferten Markierungssignale nicht su deformieren, und die Verstärker der waagerechten und senkrechten Ablenkung müssen eine gute Über t:ragung der niedrigen Frequenzen gewährleisten. Das Oszilloskop muß einen Wehnelt-Spannungsregler besitzen, da, wie weiter unten ersichtlich, die waagerechte Ablenkung zwischen zwei aufeinanderfolgenden Analysen, d.h. zwischen zwei aufeinanderfolgenden Überstreichungen des Schlitzes 128 durch den Schlitz 132 unterdrückt ist und der Lichtpunkt dann gelöscht sein muß. electronics chassis cooperating with the analyzer assembly B contains the circles necessary for the various elements. You can find beer in particular, except for various network connections (not shown), a high-voltage generator 168 for supplying the photomultiplier 138. The chassis B also contains a gene speed control circuit 170 of the usual type, which is consequently not described is. It should only be noted that this circuit 170 is those coming from phototransistor 166 Receives pulses and a servomechanism to regulate the power supply 172 of the motor 148 controls. Obviously, this power supply must be electrical Contains filters with resistors and capacitors to eliminate the interference, which are due to disturbances caused by rubbing the brushes of motor 148 on the collector. The output signals coming from amplifier 144 and phototransistor 158 have an effect a logic / visualization device 174 associated with the oscilloscope C cooperates. This oscilloscope can be of the usual type, but it must be specific Meet conditions: His Bandwidth must be large enough (in of the order of at least 100 kIiz) to those supplied by holes 152 and 154 Marking signals do not deform su, and the amplifiers of the horizontal and vertical deflection must ensure good transmission of the low frequencies. The oscilloscope must have a Wehnelt voltage regulator, as below can be seen, the horizontal deflection between two successive analyzes, i.e., between two successive sweeps of the slot 128 the slot 132 is suppressed and the light point must then be extinguished.

Die Logik zur Sichtbarmachung 174 erfüllt mehrere Funktionen.The visualization logic 174 serves several functions.

Sie gibt das vom Fotomultiplier 138 geligerte Signal auf die Senkrecht- Ablenkungsplatten des Oszilloskops und überlagert auf diesen gleichen Platten dem vorhergehenden Signal Merkierungssignale, die praktisch aus Senkrechten bestehen, die durch die vom Fototransistor 158 gelieferten Impulse hervorgerufen werden (Eingang 176 des Oszilloskops). Die Sichtbarmachungslogik 174 steuert auch die waagerechte Ablenkung (Eingang 178 des Oszilloskops).It sends the signal from the photomultiplier 138 to the vertical Deflection plates of the oscilloscope and superimposed on these same plates previous signal marking signals, which practically consist of perpendiculars, caused by the pulses supplied by the phototransistor 158 (input 176 of the oscilloscope). The visualization logic 174 also controls the horizontal Deflection (input 178 of the oscilloscope).

Diese Ablenkung kann insbesondere durch die Ankunft des ersten Schlitzes 154 einer Gruppe vor dem Fototransistor 158 ausgelöst werden. Eine elektronisch einstellbare Verstelleinrichtung ist vorteilhafterweise in die Logik 174 eingebaut, damit die Bedienungsperson die Markierungen auf dem Oszilloskopschirm einander nähern oder voneinander entfernen kann, um einen besonders interessanten Teil des Bildes zu isolieren, insbesondere nach Vornahme einer ersten Grobeinstellung. Man kann auch vorsehen, die Ablenkung von einer Schwelle des vom Fotomultiplier 138 gelieferten Signals her auszulösen. Die Sichtbarmachungslogik bringt den Lichtfleck zum Ursprung zurück und löscht ihn nach jeder Ablenkung bis zur folgenden Ablenkung.This distraction can be caused in particular by the arrival of the first slot 154 of a group in front of the phototransistor 158 are triggered. One electronically adjustable adjustment device is advantageously built into logic 174, so that the operator will bring the marks on the oscilloscope screen closer together or away from each other to make a particularly interesting part of the picture to isolate, especially after making an initial rough adjustment. One can also provide for the deflection from a threshold provided by the photomultiplier 138 Trigger the signal. The visualization logic brings the light spot to the origin back and clears it after every distraction until the next distraction.

Die Ermittlung (Abtastung) der Interferenzstreifen des in Fig. 3 gezeigten Typs, die von einem auf den Objekttisch 10 gelegten Bild (Abzug, Negativ od.dgi.) getragen werden, erfolgt dann auf folgende Weise: Angenonunen, das Bild ist auf dem Tisch so angeordnet, daß die Spuren wie in Fig. 3 gezeigt ausgerichtet sind und das Prisma 112 so ausgerichtet ist, daß die Abtastung (deren Erstreckung durch den Schlitz 132 festgelegt ist) dem Segment 182 entspricht, so erscheint: auf dem Schirm des Oszilloskops C ein Signal der in Fig.4 gezeigten Formt Die dem abgetastetem Streifen entsprechende Glockenkurve ist bezüglich der Mittelmarkierung, welche dem Durchgang der aufeinanderfolgenden Schlitze 152 entspricht, verschoben. Durch Verschiebung des Tisches längs der Achse Oy bringt man das Maximum des die Abtastung des Interferenzstreifens 180 wiedergebenden Signals zur Deckung mit der Mittelmarkierung. Die Abtastung erfolgt dann längs des in Fig. 3 ausgezogen gezeichneten Segments 184.The detection (sampling) of the interference fringes of the one shown in FIG Type that is derived from an image placed on the object table 10 (print, negative or similar). are then carried out in the following way: Angenonunen, the picture is on arranged on the table so that the tracks are aligned as shown in FIG and the prism 112 is oriented so that the scan (its extension through the slot 132 is defined) corresponds to the segment 182, then appears: on the Screen of the oscilloscope C a signal of the form shown in Fig.4 The scanned The bell curve corresponding to the stripe is with respect to the center mark, which corresponds to the Passage of the successive slots 152 is shifted. By shifting of the table along the axis Oy, the maximum of the scanning of the fringe is brought 180 reproducing signal to coincide with the center mark. The scanning takes place then along the segment 184 drawn in solid line in FIG. 3.

Die Abtastung längs der Richtungen der Segmente 182 und 184 erfolgt quer zur Richtung des Streifens und führt so zu einem maximalen Kontrast und einer maximalen Genauigkeit bei der Lagebestimmung durch den Beobachter. Wenn nun der Objekttisch in Richtung Ox um eine Strecke d verschoben wird, erfolgt die Abtastung gemäß einem Segment: 186, das in diesem Fall schräg zum Streifen verläuft. Die Bedienungsperson muß dann den Einstellknopf 120 zur Drehung des Wollaston-Prismas 112 drehen, bis sie auf dem Oszilloskopschirm eine möglichst enge und spitze Kurve beobachtet.The scan is along the directions of segments 182 and 184 across the direction of the stripe, thus leading to maximum contrast and one maximum accuracy in determining the position by the observer. If now the The object table is shifted by a distance d in the direction Ox, the scanning takes place according to a segment: 186, which in this case runs obliquely to the strip. The operator must then turn the adjustment knob 120 to rotate the Wollaston prism 112 until she observed a curve as narrow and sharp as possible on the oscilloscope screen.

Dieses Ergebnis wird bei der Orientierung des ausgezogen gezeichneten Segments 1 188, d.h. nach einer Drehung um einen Winkel.This result is drawn with the orientation of the solid line Segments 1 188, i.e. after a rotation through an angle.

erreicht. Die Bedienungsperson muB dann noch die Abtastung längs der Achse Oy, d.h. in Richtung des Pfeils f verschieben, bis die den Streifen wiedergebende Kurve zur Koinzidenz mit der Mittelmarkierung gebracht ist.achieved. The operator then has to scan along the Move the axis Oy, i.e. in the direction of the arrow f, until the one reproduces the strip Curve is brought to coincidence with the center mark.

Eine Vorrichtung der beschriebenen Art wurde hergestellt, um in einem Rayleigh-Interferometer erhaltene Interferenzstreißen zu analysieren. Die Ermittlungsscheibe besaß neun Schlitze, und die Markierungs- und Synchronisationsscheibe neun Gruppen von drei Schlitzen in gleichen Abständen voneinander. Der Widerholungsfrequenz des Bildes auf dem Oszilloskopschirm betrug 25 Hz. Dieser Wert ist: nicht kritisch und kann innerhalb ziemlich weiter Grenzen abgewandelt werden. Jedoch hat eine Frequenz nn der Größenordnung von 25 Hz den Vorteils daß sie genügend hoch ist, um das Flimmert des Bildes auf dem Schirm zu vermeiden, jedoch genügend niedrig bleibt, um eine richtige Ausfilterung von Störungen (die beispielsweise auf das Korn oder eventuelle Fehler des Abzugs zurückzuführen sind), zu ermöglichen, ohne daß diese Filterung die Qualität der Wiedergabe beeinträchtigt. Dieser Wert der Frequenz führt selbstverständlich zu einer verhältnismäßig geringen Umdrehungsgeschwindigkeit der drehbaren Anordnung. So war diese Anordnung mit einem Schwungrad 190 (Fig.4) ausgerüstet, um die Drehung zu stabilisieren und Schwingungseinflüsse zu verringern.A device of the type described was manufactured to be used in a Rayleigh interferometer to analyze obtained fringes. The investigation disk had nine slots, and the marker and synchronization disc had nine groups of three slots equidistant from each other. The repetition frequency of the Image on the oscilloscope screen was 25 Hz. This value is: not critical and can be modified within fairly wide limits. However, has a frequency In the order of magnitude of 25 Hz, the advantage is that it is sufficiently high to prevent the flickering of the image on the screen, but remain low enough to produce a correct filtering of disturbances (for example on the grain or possible Errors in the deduction), without this filtering affects the quality of the playback. This value of the frequency leads of course to a relatively low speed of rotation of the rotatable assembly. So this arrangement was equipped with a flywheel 190 (Fig.4) to make the rotation to stabilize and reduce vibration influences.

Claims

1.) Device for determining and numerically representing a track with means for shifting the track along a first and a second Coordinate axis and for bringing its successive points into the optical Axis of a position determining device, characterized in that it is for each Coordinate axis a shaft (12), which moves the track parallel to this axis, Stepper drive devices (26) for the shaft connected to the shaft by a torque limiting Connection (18) are coupled, possibly by means of a positive with the shaft a resilient connection, coupled numerical coding device (32) and devices (66) for that they control the output of the encoder (32)} and to them a programming device triggered by the output signal of a coding device, which then a predetermined forward movement of the drive device of the displacement controls along the first axis causing shaft.

2.) Device according to claim 1, characterized in that the drive device the other shaft consists of a hand control that is identical to that of the displacement serving shaft is coupled by a friction clutch.

3,) Device according to claim l or 2, characterized in that the programming device executes the predetermined forward movement of the first shaft selects a plurality of predetermined values.

4.) Device according to claim 3, characterized in that the programming device the choice depending on the output signal of the interacting with the other wave Encoder meets.

5.) Device according to claim 3, characterized in that the coding devices (incremental) devices working step by step are and the programming device the forward movement of the effecting the displacement along the first coordinate axis Shaft as a function of the output signal of the cooperating with the second axis Selects coding device.

6.) Device according to one of claims 1 to 5, characterized in that that they have a device sensitive to the light intensity, an element, like a Wollaston? rism that is a total turn of the picture of the trail and the Underground around the.

optical axis of the position determination system. and for the orientation of the Track in a direction perpendicular to a certain direction enables a fixed one Diaphragm9 the one running in the specific direction and to the optical one Axis centered slot has a rotatable detection disc which slots for longitudinal scanning of the diaphragm slot and in cooperation with the latter a light beam reaching the light intensity sensitive detector device limited, an orientation (marker) disc associated with the detection disc is rotatably coupled and has a marking for the slot, which at least a signal in coincidence with the passage of the slot of the detection disc through the optical axis, and devices for visualizing the from the detector device and from the orientation disk on one and the same screen delivered signal, the coincidence achieved of track and optical axis through the coincidence of the mapping of the marking and of the signal supplied by the detector device to the visualization device is made recognizable and legible.

7.) Device according to claim 6, characterized in that the markings consist of holes formed at equal intervals in the disc and between a light source and oifl photosensitive element, such as a phototransistor ,? are brought.

8.) Device according to claim 7, characterized in that each Marking hole is enclosed between two holes, which also signals deliver to the visualization device.

9.) Device according to claim 6, 7 or 8, characterized in that that the signals coming from the photosensitive detector device and the Marking signals placed on the plates for vertical deflection of an oscilloscope: be whose scales.

real distraction is controlled by these signals.

10.) Device according to claims 6,7,8 or 9, characterized in that that the marking disc has holes distributed at regular intervals, between a light source and a photosensitive element, such as a phototransistor, pass through, and that from the photosensitive element at a speed of rotation the disc directly proportional frequency supplied pulses to a device been given to regulate the speed of a drive motor of the disc.