DE20218513U1 - Optische Bauelemente für Excimerlaser oder F2-Laser - Google Patents

Optische Bauelemente für Excimerlaser oder F2-Laser

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Description

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Claims (5)

1. Optisches Bauelement aus Saphir (Al2O3) für einen Gasentladungslaser, insbesondere einen Excimerlaser oder einen F2-Laser.
2. Optisches Bauelement gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass es ein Auskoppelfenster ist.
3. Optisches Bauelement gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass es ein Rückfenster ist.
4. Optisches Bauelement gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass es ein Auskoppelspiegel ist.
5. Optisches Bauelement gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass es ein Strahlteiler ist.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE10350114A1 (de) * 2003-10-28 2005-06-16 Tuilaser Ag Optisches Element sowie Excimerlaser mit optischem Element
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