DE202013105809U1 - Leistungshalbleitermodul und Kontaktierungsanordnung - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 111
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 65
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims abstract description 35
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 claims abstract description 35
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 12
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 12
- -1 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 claims description 3
- 238000005219 brazing Methods 0.000 claims description 2
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 claims description 2
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 claims description 2
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 claims description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 claims description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 claims description 2
- 239000011324 bead Substances 0.000 claims 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 6
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 5
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 5
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 5
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000037361 pathway Effects 0.000 description 2
- 239000006223 plastic coating Substances 0.000 description 2
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 2
- 101150071779 rplT gene Proteins 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical group [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000001808 coupling effect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 239000013641 positive control Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 101150037704 rplJ gene Proteins 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 239000012815 thermoplastic material Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000009827 uniform distribution Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/488—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
- H01L23/498—Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
- H01L23/49811—Additional leads joined to the metallisation on the insulating substrate, e.g. pins, bumps, wires, flat leads
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/03—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
- H01L25/04—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
- H01L25/07—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00
- H01L25/072—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L29/00 the devices being arranged next to each other
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/18—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different subgroups of the same main group of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
- H01L23/373—Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon
- H01L23/3735—Laminates or multilayers, e.g. direct bond copper ceramic substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Abstract
Description
- Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf das Gebiet der Leistungselektronik. Sie betrifft ein Leistungshalbleitermodul sowie eine Kontaktierungsanordnung nach dem Oberbegriff der unabhängigen Schutzansprüche.
- Stand der Technik
- Zum schnellen und verlustarmen Schalten von Strömen kommen in der Energie, Umform- und Übertragungstechnik häufig Leistungstransistoren, insbesondere Bipolartransistoren mit isoliertem Gate (IGBTs), zum Einsatz. Um hohe Ströme (insbesondere in der Grössenordnung 1 kA und darüber) schalten zu können, wird dabei eine Vielzahl einzelner Leistungstransistoren elektrisch parallel geschaltet. Dabei werden die Leistungstransistoren häufig in Modulen zusammengefasst, was unter anderem eine vereinfachte Handhabung bei Einbau und Austausch ermöglicht, eine definierte und optimierte Kühlung erlaubt, einer Reihe von Sicherheitsaspekten dient etc. Innerhalb eines Moduls sind dabei häufig Bauelementgruppen oder Teilmodule aus Teilmengen der Vielzahl an Leistungstransistoren gebildet.
- Hinsichtlich der Module ist im Allgemeinen gewünscht, dass diese einen Strom möglichst schnell ein- bzw. ausschalten können. Insbesondere bei spannungsgesteuerten Leistungstransistoren, bei welchen ein Strom zwischen einer ersten Leistungselektrode und einer zweiten Leistungselektrode mittels einer zwischen erster Leistungselektrode und einer Steuerelektrode anliegenden Steuerspannung schaltbar ist, wird dies unter anderem durch induktive Effekte erschwert.
- Dabei wird eine zwischen erster Leistungselektrode und Steuerelektrode eines individuellen Leistungstransistors angelegte Steuer-Sollspannung, die beispielsweise durch eine Steuereinheit erzeugt wird, welche über einen Steuerschaltkreis mit den Leistungstransistoren elektrisch verbunden ist, von einer Selbstinduktion in einem von Steuerschaltkreis und Leistungsschaltkreis geteilten Abschnitt einer Zuleitung zur ersten Leistungselektrode überlagert, so dass sich effektiv eine von der Steuer-Sollspannung abweichende Steuerspannung zwischen erster Leistungselektrode und Steuerelektrode ergibt.
- Zusätzlich zur Selbstinduktion erfolgt ferner eine induktive Beeinflussung durch zeitlich veränderliche Ströme durch die restlichen Leistungstransistoren aufgrund von sogenannten Gegeninduktivitäten. Um letzteren Effekt so gering wie möglich zu halten, werden bei bekannten Modulen häufig Zuleitungen von Steuereinheit zu Steuerelektrode und erster Leistungselektrode eines jeden Leistungstransistors – oder zumindest für jedes Teilmodul – über grösstmögliche Strecken so nahe wie möglich beieinander geführt. Zu diesem Zweck wird die erste Leistungselektrode der Leistungstransistoren von einer separaten Referenzzuleitung – im Falle eines IGBTs allgemein als Hilfsemitteranschluss bezeichnet – pro Teilmodul elektrisch kontaktiert, was herstellungstechnisch einen zusätzlichen Aufwand bedeutet.
- Um den herstellungstechnischen Aufwand zu reduzieren, werden als oder als Teil einer oder mehrerer Zuleitungen häufig Verbindungsbleche vorgesehen, welche vorzugsweise breitflächig parallel geführt werden.
- Eine Parallelführung von Verbindungsblechen kann dabei auf unterschiedliche Weise realisiert sein. Zwei Verbindungsbleche können beispielsweise mittels einer oder mehreren Anbindungsstellen innerhalb des Leistungshalbleitermoduls, insbesondere z. B. mittels Lötstellen zur elektrischen Kontaktierung, gehalten werden. Vorteilhaft können auch Anbindungsstellen an oder in einem Modulgehäuse vorgesehen sein. Dabei besteht jedoch eine Gefahr darin, dass ein Abstand zwischen zwei Verbindungsblechen an nicht geführten Stellen nicht hinreichend genau definiert ist, was zu undefinierten Induktionseigenschaften führen kann. In ungünstigen Fällen können sich, insbesondere bei einem Auftreten von Beschleunigungen des Moduls, sogar zwei Verbindungsbleche berühren, was zu einem Kurzschluss und damit zu erheblichen Schäden am Modul, an dessen elektrischer und struktureller Umgebung usw. führen kann.
- Es ist deswegen Aufgabe der Erfindung, ein Leistungshalbleitermodul und eine Kontaktierungsanordnung für ein Leistungshalbleitermodul anzugeben, welche die oben genannten Nachteile nicht aufweisen.
- Kurze Beschreibung der Erfindung
- Diese und weitere Aufgaben werden durch ein Leistungshalbleitermodul sowie eine Kontaktierungsanordnung für ein Leistungshalbleitermodul mit den Merkmalen der unabhängigen Schutzansprüche gelöst.
- Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den abhängigen Schutzansprüchen angegeben.
- Ein erfindungsgemässes Leistungshalbleitermodul umfasst eine Anzahl N parallel zu einer Basisebene angeordneter Leistungshalbleiter-Schaltelemente, von denen jedes eine Anzahl an Schaltelement-Kontakten aufweist, umfassend einen Steuerkontakt, einen ersten Leistungskontakt und einen zweiten Leistungskontakt, wobei mittels einer zwischen Steuerkontakt und erstem Leistungskontakt anliegenden Steuerspannung ein Strom zwischen den Leistungskontakten schaltbar ist; eine Kontaktierungsanordnung zur Kontaktierung der Schaltelement-Kontakte, umfassend ein erstes Verbindungsblech, welches elektrisch leitend mit ersten Schaltelement-Kontakten der N Leistungshalbleiter-Schaltelemente verbunden ist, ein zweites Verbindungsblech, welches elektrisch leitend mit zweiten Schaltelement-Kontakten einer ersten Teilmenge enthaltend m ≤ N der N Leistungshalbleiter-Schaltelemente verbunden ist, wobei jedes der Verbindungsbleche eine Vielzahl von Kontakten zur Kontaktierung von Schaltelement-Kontakten, mindestens einen Anschluss zur externen Kontaktierung des Leistungshalbleiter-Schaltelements und eine Verteilebene zur elektrischen Verbindung der Kontakte mit dem Anschluss aufweist, und wobei die Verteilebene des ersten Verbindungsblechs parallel zur Verteilebene des zweiten Verbindungsblechs verläuft, und wobei das erste Verbindungsblech im Bereich der Verteilebene eine Kunststoffummantelung aufweist, und das zweite Verbindungsblech an der Kunststoffummantelung befestigt ist.
- Bei einer bevorzugten Weiterbildung des erfindungsgemässen Leistungshalbleitermoduls umfasst jedes der Verbindungsbleche eine Kontaktebene und eine eine Anschlussebene umfasst, wobei die Vielzahl von Kontakten in der Kontaktebene gebildet ist und der mindestens eine Anschluss in der Anschlussebene vorgesehen sind. Vorzugsweise verlaufen Kontaktebene und Anschlussebene parallel zueinander.
- Bei einer weiteren bevorzugten Weiterbildung des erfindungsgemässen Leistungshalbleitermoduls ist ferner für jedes der Verbindungsbleche die Verteilebene zwischen Kontakt- und Anschlussebene gebildet; und verläuft vorzugsweise parallel zur Kontaktebene oder Anschlussebene.
- Eine erfindungsgemässe Kontaktierungsanordnung für ein Leistungshalbleitermodul, welches eine Anzahl N parallel zu einer Basisebene angeordneter Leistungshalbleiter-Schaltelemente umfasst, von denen jedes eine Anzahl an Schaltelement-Kontakten aufweist, umfassend einen Steuerkontakt, einen ersten Leistungskontakt und einen zweiten Leistungskontakt, wobei mittels einer zwischen Steuerkontakt und erstem Leistungskontakt anliegenden Steuerspannung ein Strom zwischen den Leistungskontakten schaltbar ist; umfasst zur Kontaktierung der Schaltelement-Kontakte ein erstes Verbindungsblech, welches elektrisch leitend mit ersten Schaltelement-Kontakten der N Leistungshalbleiter-Schaltelemente verbunden ist, ein zweites Verbindungsblech, welches elektrisch leitend mit zweiten Schaltelement-Kontakten einer ersten Teilmenge enthaltend m ≤ N der N Leistungshalbleiter-Schaltelemente verbunden ist, wobei jedes der Verbindungsbleche eine Vielzahl von Kontakten zur Kontaktierung von Schaltelement-Kontakten, mindestens einen Anschluss zur externen Kontaktierung des Leistungshalbleiter-Schaltelements und eine Verteilebene zur elektrischen Verbindung der Kontakte mit dem Anschluss aufweist, wobei die Verteilebene des ersten Verbindungsblechs parallel zur Verteilebene des zweiten Verbindungsblechs verläuft, und wobei das erste Verbindungsblech im Bereich der Verteilebene eine Kunststoffummantelung aufweist, und das zweite Verbindungsblech an der Kunststoffummantelung befestigt ist.
- Bei einer bevorzugten Weiterbildung der erfindungsgemässen Kontaktierungsanordnung umfasst jedes der Verbindungsbleche eine Kontaktebene und eine Anschlussebene umfasst, wobei die Vielzahl von Kontakten in der Kontaktebene vorgesehen ist und der mindestens eine Anschluss in der Anschlussebene vorgesehen sind. Vorzugsweise verlaufen Kontaktebene und Anschlussebene parallel zueinander.
- Bei einer weiteren bevorzugten Weiterbildung der erfindungsgemässen Kontaktierungsanordnung ist ferner für jedes der Verbindungsbleche die Verteilebene zwischen Kontakt- und Anschlussebene gebildet; und verläuft vorzugsweise parallel zur Kontaktebene und/oder Anschlussebene.
- Die erfindungsgemässe Kontaktierungsanordnung ermöglicht eine einfache, schnelle und kostengünstige Herstellung der erfindungsgemässen Leistungshalbleitermodule. Die Kontaktierungsanordnung kann unabhängig von einer Anordnung, insbesondere auf einer Basisplatte, der Leistungshalbleiter-Schaltelemente hergestellt und anschliessend in einem Schritt auf diese aufgesetzt werden. Dabei sind die Verbindungsbleche vorzugsweise derart gestaltet, dass deren Kontakte exakt über den entsprechenden Schaltelement-Kontakten zu liegen kommen, so dass sie einfach und schnell, vorzugsweise von oberhalb, miteinander verlötet oder verschweisst werden können. Ferner gewährleistet die erfindungsgemässe Kontaktierungsanordnung eine sichere und verlässliche gegenseitige elektrische Isolation der unterschiedlichen Verbindungsbleche.
- In einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung werden ein oder mehrere der drei Verbindungsbleche aus jeweils einem geeignet geformten Blechzuschnitt gefertigt, welcher vorzugsweise mittels Stanzen oder Laserschneiden erzeugt wird. Vorzugsweise werden die Anschluss- die Verbindungs- und die Kontaktebene durch Zurechtbiegen der planaren Blechzuschnitte gebildet. Dadurch werden Positionen der Kontakte räumlich so vorgegeben, dass diese gleichzeitig mit allen dem jeweiligen Verbindungsblech zugeordneten Schaltelement-Kontakten elektrisch leitend verbindbar sind, vorzugsweise ohne dass weitere Verformungen und/oder Verspannungen auftreten.
- In einer weiteren vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung umfassen ein oder mehrere der drei Verbindungsbleche jeweils mehrere geformte Blechzuschnitte, welche elektrisch leitend miteinander verbunden sind, insbesondere mittels Niet-, Löt- oder Schweissverbindungen.
- Vorteilhaft können die Verbindungsbleche auch mit weiteren Verbindungselementen elektrisch leitend verbunden sein, insbesondere mit Kontaktbolzen oder -schienen, welche beispielsweise zur Kontaktierung von Schaltelement-Kontakten oder als externe Anschlüsse dienen können.
- Die Erfindung besteht, mit anderen Worten, darin, eine Parallelführung von mindestens zwei Leitern, insbesondere Verbindungsblechen, so zu erreichen, dass ein erster Leiter mit Kunststoff umspritzt wird und ein oder mehrere Leiter durch eine separate Verbindungstechnik an einen dabei gebildeten Kunststoffkörper angebunden werden. Dabei kann vorzugsweise vorgesehen sein, ein Gateblech zu umspritzen und Emitter-Bleche mittels Ultraschall-Vernietung am durch das Umspritzen gebildeten Kunststoffkörper zu befestigen. Ein Vorteil dieser Methode ist auch, dass das Gateblech allseitig isoliert ist und ein Kurzschluss durch Berührung mit Bonddrähten auf Emitter-Potential verhindert werden kann.
- Diese und weitere Aufgaben, Vorteile und Merkmale der Erfindung werden aus der nachfolgenden, detaillierten Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels der Erfindung in Verbindung mit den Zeichnungen offensichtlich.
- Kurze Beschreibung der
-
1 zeigt eine Darstellung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemässen Leistungshalbleitermoduls mit einer erfindungsgemässen Kontaktierungsanordnung. -
2 zeigt ein erstes Verbindungsblech der erfindungsgemässen Kontaktierungsanordnung bzw. des erfindungsgemässen Leistungshalbleitermoduls aus1 . -
3 zeigt ein zweites Verbindungsblech der erfindungsgemässen Kontaktierungsanordnung bzw. des erfindungsgemässen Leistungshalbleitermoduls aus1 . -
4 zeigt ein drittes Verbindungsblech der erfindungsgemässen Kontaktierungsanordnung bzw. des erfindungsgemässen Leistungshalbleitermoduls aus1 . -
5 zeigt ein elektrisches Schaltschema der Verbindungsbleche aus1 . -
6 zeigt eine seitliche Ansicht der Kontaktierungsanordnung und des Leistungshalbleitermoduls aus1 . -
7 zeigt eine Darstellung des ersten und zweiten Verbindungsblechs aus1 . -
8 zeigt ein Ersatzschaltbild der Kontaktierung der ersten Gruppe von Teilmodulen2 aus1 . -
9 zeigt eine Darstellung eines weiteren bevorzugten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemässen Kontaktierungsanordnung für ein erfindungsgemässes Leistungshalbleitermodul. - Grundsätzlich bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche Teile. In den Ersatzschemata sind Elemente, welche physischen Teilen aus den restlichen Figuren entsprechend, mittels in Klammern gesetzter Bezugszeichen gekennzeichnet.
- Wege zur Ausführung der Erfindung
-
1 zeigt eine Darstellung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels eines erfindungsgemässen Leistungshalbleitermoduls mit einer erfindungsgemässen Kontaktierungsanordnung. Auf einer Basisplatte1 , welche eine Basisebene S definiert, sind eine Anzahl N Teilmodule2 – im vorliegenden Fall sechs Teilmodule2 , d. h. N = 6 – nebeneinander in p = 3 Gruppen zu je q = 2 Teilmodulen angeordnet, welche als Leistungshalbleiter-Schaltelemente dienen. Die Zahlenwerte sind dabei beispielhaft zu verstehen, andere Werte für N, p und q können auftreten. Jedes Teilmodul2 umfasst im vorliegenden Beispiel fünf IGBTs, welche elektrisch parallel geschaltet sind. Dabei umfasst jeder IGBT eine Emitterelektrode221 als erste Leistungselektrode, eine Kollektorelektrode als zweite Leistungselektrode, und eine Gateelektrode222 als Steuerelektrode. Die fünf IGBTs eines jeden Teilmoduls2 sind dabei auf einer Platine21 aufgebracht, bei welcher es sich beispielsweise um ein sogenanntes „advanced metal brazing”-Substrat (AMB-Substrat) handelt, welches eine keramische Basis umfasst, auf welcher eine Metallisierung aufgebracht ist, wobei zwischen Basis und Metallisierung ein Hartlot vorgesehen ist. Alternativ ist auch ein Einsatz sogenannter „direct copper bonded”-Substrate (DCB-Substrat) denkbar. Die Emitterelektroden221 sind über in1 nicht gezeigte Bonddrähte mit einem ersten Metallisierungsbereich auf der Oberseite der Platine verbunden, auf welchem ein erster Leistungskontakt gebildet ist. In analoger Weise sind die Gateelektroden über in1 nicht gezeigte Bonddrähte mit einem zweiten Metallisierungsbereich auf der Oberseite der Platine elektrisch leitend verbunden, auf welchem weiter ein Steuerkontakt gebildet ist. Schliesslich liegen alle Kollektorelektroden auf einem dritten Metallisierungsbereich auf einer Oberseite der Platine21 auf und sind mit diesem elektrisch leitend verbunden und somit elektrisch parallel geschaltet. Ein Teilbereich des dritten Metallisierungsbereichs dient als zweiter Leistungskontakt. - Der Steuerkontakt und der erste Leistungskontakt einer jeden Platine
21 bzw. eines jeden Teilmoduls2 – und mit diesen die Gateelektroden222 sowie die Emitterelektroden221 – sind über eine Kontaktierungsanordnung jeweils mit einem ersten Anschluss311 und einem zweiten Anschluss321 des Leistungshalbleitermoduls verbunden. Die Anschlüsse dienen einer externen Kontaktierung des Leistungshalbleitermoduls und sind jeweils an einem Verbindungsblech gebildet. - Dabei weist ein erstes Verbindungsblech, welches im folgenden auch als Gateblech
31 bezeichnet wird, eine Anzahl N – entsprechend der Anzahl der Teilmodule2 – an ersten Kontakten313 auf, welche elektrisch leitend mit den Steuerkontakten der Teilmodule2 verbunden sind, sowie einen ersten Anschluss als Gateanschluss311 auf. Zwischen den ersten Kontakten313 und den Steuerkontakten der Teilmodule ist dabei vorzugsweise jeweils ein, in den Zeichnungen nicht dargestellter, Widerstand, insbesondere ein Gate-Resistor, vorgesehen. -
2a zeigt eine perspektivische Darstellung des Gateblechs31 ,2b zeigt das Gateblech31 aus2a in Aufsicht;2c zeigt eine Seitenansicht des Gateblechs31 aus2a . Das Gateblech31 bildet eine Vielzahl von Leitungspfade zwischen dessen Gateanschluss311 und den ersten Kontakten313 . Zwischen dem Gateanschluss311 und jeder Gruppe von Teilmodulen sind dabei – entsprechend der Anzahl q Teilmodule2 pro Gruppe – q = 2 Gate-Leitungspfade3141 ,3142 gebildet, welche in2b exemplarisch für eine erste Gruppe von Teilmodulen2 – die beiden in1 auf der linken Seite übereinander angeordneten Teilmodule2 – gezeigt sind. Das Gateblech weist ferner eine Vielzahl erster Löcher315 auf, deren Bedeutung und Funktion weiter unten erläutert wird. In2b wurde der Übersichtlichkeit halber in einem Bereich der Gate-Leitungspfade3141 ,3142 auf die Darstellung eines Teils der ersten Löcher315 verzichtet. - Das zweite Verbindungsblech
32 weist ebenfalls eine Anzahl N = 6 zweite Kontakte323 auf, welche elektrisch leitend mit den ersten Leistungskontakten der Teilmodule2 verbunden sind. -
3a zeigt eine perspektivische Darstellung des zweiten Verbindungsblechs, welches im Folgenden auch als Emitterblech32 bezeichnet wird.3b zeigt das Emitterblech32 aus3a in Aufsicht;3c zeigt eine Seitenansicht des Emitterblechs32 aus3a . Neben einem Emitteranschluss321 als zweiten Anschluss weist das Emitterblech32 ferner einen zusätzlichen Anschluss in Form eines Hilfsemitteranschlusses322 als Referenzanschluss auf, welcher ein Referenzpotential zum Zwecke einer Ansteuerung nach aussen führt. Dieser ist an einem Hilfsemitterblech32'' gebildet, welches mittels dreier Nietverbindungen324 elektrisch leitend an einem Hauptemitterblech32' angebracht ist. Das Emitterblech32 umfasst ferner weitere zweite Anschlüsse321' , welche eine sichere Kontaktierung des Leistungshalbleitermoduls ermöglichen und eine gleichmässigere Verteilung von Stromdichten innerhalb des Moduls und dessen Zuleitungen erlauben. Zwischen dem Hilfsemitteranschluss322 und jeder Gruppe von Teilmodulen sind dabei q = 2 Hilfsemitter-Leitungspfade3241 ,3242 in ähnlicher Weise wie die im vorigen Abschnitt beschriebenen Gate-Leitungspfade3141 ,3142 gebildet.3b zeigt die Hilfemitter-Leitungspfade3241 ,3242 exemplarisch für die gleiche erste Gruppe von Teilmodulen2 wie in2b . - Die Kontaktierungsanordnung umfasst ferner eine Anordnung dreier dritter Verbindungsbleche, welche als Kollektorbleche
33 ausgeführt und in4a in perspektivischer Darstellung gezeigt sind.4b zeigt die Kollektorbleche33 aus4a in Aufsicht;4c zeigt eine Seitenansicht der Kollektorbleche33 aus3a . Jedes der Kollektorbleche33 weist n = 2 dritte Kontakte333 zur elektrischen Kontaktierung der zweiten Leistungskontakte von je zwei Teilmodulen2 sowie einen Kollektoranschluss331 als dritten Anschluss auf. - Wie aus den
2c ,3c und4c ersichtlich, weist jedes der Verbindungsbleche in funktionaler wie geometrischer Hinsicht drei zueinander parallel verlaufende Ebenen auf: Eine Kontaktebene K mit einer Vielzahl von Kontakten, eine Anschlussebene A mit mindestens einem Anschluss, sowie eine zwischen Kontakt- und Anschlussebene gebildete Verteilebene V1, V2, bzw. V3 zur elektrischen Verbindung der Kontakte mit dem Anschluss auf. - Wie aus
2c ferner ersichtlich, weist das Gateblech31 in einem flächigen, in und zu der Verteilebene V1 parallel verlaufenden, Bereich eine Kunststoffummantelung5 auf. Diese wird vorzugsweise mittels eines Spritzgussverfahrens auf das Gateblech31 aufgebracht. Die vorzugsweise im Gateblech31 vorgesehenen ersten Löcher315 gewährleisten dabei einen festen und sicheren Halt der Kunststoffummantelung5 am Gateblech31 . An einer Oberseite der Kunststoffummantelung5 ist eine Vielzahl von Zapfen51 gebildet. Die Zapfen sind dabei so angeordnet, dass das Emitterblech32 derart auf das Gateblech31 aufgelegt bzw. aufgesteckt werden kann, dass die Zapfen51 teilweise durch im Emitterblech32 gebildete zweite Löcher325 hindurchragen. Das aufgelegte bzw. aufgesteckte Emitterblech32 kann dann vorzugsweise mittels Ultraschall-Vernietung (engl. „ultrasonic riveting”) mit der Kunststoffummantelung5 und somit mit dem Gateblech31 fest und in exakt definierter gegenseitiger räumlicher Lage verbunden werden. Die zweiten Löcher325 dienen somit als Positionierungs- und/oder Befestigungslöcher. Die Zapfen51 sind dabei vorzugsweise über mindestens einem ersten Teil der ersten Löcher315 vorgesehen. -
2d zeigt eine perspektivische Darstellung des Gateblechs31 mit der aufgespritzten Kunststoffummantelung5 . Zwischen zwei Gateblechbereichen, die zu benachbarten Gruppen von Teilmodulen führen, sind jeweils Kunststoffstege52 vorgesehen. Diese sorgen für eine gleichmässigere und vollständige Verteilung des flüssigen Kunststoffs in einer beim Spritzgussverfahren eingesetzten Spritzgussform. - In einer Richtung senkrecht zur Basisebene S ist ein Abstand der Verteilebenen V1, V2, und V3 vorzugsweise möglichst klein gewählt, wobei zu beachten ist, das ein erster Abstand a1 zwischen der Verteilebene V2 des Emitterblechs
32 und der Verteilebene V3 des Kollektorblechs33 gross genug sein muss, um einen elektrischen Durchschlag insbesondere in einem Sperrzustand der Teilmodule2 zu vermeiden. Zu diesem Zweck wird der erste Abstand vorzugsweise geringfügig grösser gewählt als ein Durchschlagabstand D, der sich für eine nominale Spannung des Leistungshalbleitermoduls unter Standardbedingungen – z. B. Atmosphärendruck auf Meereshöhe, Raumtemperatur – ergibt, vorzugsweise im Bereich 1.1D < a1 < 1.5D. Ein zweiter Abstand a2 zwischen der Verteilebene V2 des Emitterblechs32 und der Verteilebene V1 des Gateblechs31 wird vorzugsweise gleich oder geringfügig kleiner gewählt als eine Dicke dB des ersten oder zweiten Verbindungsblechs, d. h. 0.5dB < a2 < dB, wobei typscherweise 0.1 mm < a2 < 1.5 mm gewählt wird, vorzusgweise 0.8 mm < a2 < 1.5 mm. - Die Verbindungsbleche selbst weisen eine Stärke zwischen 0.5 mm und 3.0 mm auf, vorzugsweise zwischen 0.8 und 1.5 mm.
- In der Verteilebene V1 des Gateblechs
31 verlaufen die Leitungspfade3141 ,3142 dabei von einem ersten Bereich B1 unterhalb des ersten Anschlusses311 zu zweiten Bereichen B2 oberhalb der ersten Kontakte313 , wie aus2b zu sehen ist. Dabei ist ein erstes Segment S1 der Leitungspfade3141 ,3142 von einem gemeinsamen ersten Gateblechabschnitt gebildet, welcher an den ersten Anschluss311 angrenzt bzw. diesen umfasst. Zweite, an das erste Segment S1 angrenzende Segmente der Leitungspfade3141 ,3142 sind hingegegen von separaten zweiten Gateblechabschnitten gebildet, welche räumlich getrennt voneinander verlaufen und an unterschiedliche erste Kontakte313 angrenzen bzw. diese umfassen. Aneinandergrenzende Blechabschnitte können dabei aus miteinander elektrisch leitend verbundenen, jedoch ursprünglich getrennten Teil-Blechzuschnitten zusammengesetzt sein; können jedoch vorteilhaft auch an einem einstückigen Blechzuschnitt ausgebildet sein. - Die Hilfsemitter-Leitungspfade
3241 ,3242 sind in der Verteilebene V2 des Emitterblechs32 in ähnlicher Weise wie die im vorigen Abschnitt beschriebenen Gate-Leitungspfade3141 ,3142 gebildet. -
5 zeigt ein elektrisches Schaltschema der Verbindungsbleche exemplarisch am Beispiel des Gateblechs31 . Wie ersichtlich ist eine elektrische Verteilung zwischen den N = 6 ersten Kontakten313 und dem Anschluss311 des Gateblechs31 in der Verteilebene V1 gebildet. Vorzugsweise ist in der Verteilebene V1, V2, V3 eines jeden Verbindungsblechs31 ,32 ,33 ,61 ,62 eine elektrische Verteilung zwischen den Kontakten313 ,323 ,333 und dem ersten Anschluss311 , dem zweiten Anschluss321 bzw. dem dritten Anschluss331 des jeweiligen Verbindungsblechs gebildet. -
6 zeigt eine seitliche Ansicht der Kontaktierungsanordnung und des Leistungshalbleitermoduls aus1 . Auf eine Darstellung der Kunststoffummantelung5 wurde aus Gründen der Übersichtlichkeit verzichtet. Wie6 zu entnehmen ist, ist die Verteilebene V1 des Gateblechs31 der Basisebene S benachbart oberhalb der Basisebene S angeordnet; die Verteilebene V2 des Emitterblechs32 der Verteilebene V1 des Gateblechs31 auf einer der Basisebene gegenüberliegenden Seite benachbart; und die Verteilebene V3 der Kollektorbleche33 der Verteilebene V2 des Emitterblechs32 benachbart. -
7a zeigt eine perspektivische Darstellung von Gateblech31 und Emitterblech32 in identischer relativer räumlicher Lage und Position wie im Leistungshalbleitermodul aus1 .7b zeigt die beiden Bleche aus7a in Aufsicht,7c von unterhalb, d. h. von der Basisplatte1 her gesehen. Wie aus7b und7c ersichtlich, verlaufen die zweiten Segmente der Gate-Leitungspfade3141 ,3142 dergestalt, dass sie von darüberliegenden ersten Emitterblechabschnitten in der Verteilebene V2 des Emitterblechs zumindest im wesentlichen vollständig überdeckt werden, wodurch eine besonders effektive Abschirmung gegen induktive Einkoppelungseffekte erreicht wird. Das erste Segment S1 der Gate-Leitungspfade3141 ,3142 wird in einer ersten Region R1 ebenfalls von darüberliegenden zweiten Emitterblechabschnitten in der Verteilebene V2 des Emitterblechs zumindest im wesentlichen vollständig überdeckt. In einer zweiten Region R2 wird das erste Segment S1 der Leitungspfade3141 ,3142 hingegen von keinen Emitterblechabschnitten in der Verteilebene V2 überdeckt. - Durch den oben beschriebenen Verlauf des ersten Segments S1 in der zweiten Region R2 wird eine Einkopplungsschlaufe
4 gebildet, welche sich in einer Nähe eines Übergangs im Emitterblech32 zwischen dessen Anschlussebene A und dessen Verteilebene V2 befindet. Unter dem Begriff Nähe wird hier und im folgenden eine Distanz d verstanden, die kleiner ist als eine Länge lM oder Breite bM des Leistungshalbleitermoduls, bzw. eine eine Länge lTM oder Breite bTM eines Teilmoduls2 , wobei für r = lM, b = lM, r = lTM und/oder b = lTM, vorzugsweise rl20 < d < rl5, höchst vorzugsweise rl20 < d < rl10 gilt. - Für die mittlere und rechte Gruppe von Teilmodulen
2 sind in analoger Weise wie vorstehend beschrieben zweite bzw. dritte Einkopplungsschlaufen4' und4'' gebildet. Dabei umschliessen die Einkopplungsschlaufe4 ,4' und4'' unterschiedlich grosse Flächen, um unterschiedliche Beträge und Vorzeichen von Gegeninduktivitäten, und somit insbesondere unterschiedliche Beträge und Vorzeichen einer induktiven Einkopplung von für jede Gruppe unterschiedlichen benachbarten Gruppen von Teilmodulen2 zu berücksichtigen. -
8 zeigt ein Ersatzschaltbild der Kontaktierung der ersten Gruppe von Teilmodulen2 aus1 . - Bei einem Einschalten bzw. Durchlässigschalten des Leistungshalbleitermoduls und somit der IGBTs der einzelnen Teilmodule
2 , welches durch Anlegen einer positiven Steuer-Sollspannung zwischen Gateanschluss311 und Hilfsemitteranschluss322 bewirkt wird, kommt es zu einem rasch ansteigenden Einschaltstroms zwischen den Kollektorelektroden und Emitterelektroden der einzelnen IGBTs, und somit insbesondere zwischen den zweiten Kontakten323 und den zweiten Anschlüssen321 ,321' und321'' des zweiten Verbindungsblechs32 . Durch diesen Einschaltstrom wird in den Einkopplungsschlaufen4 ,4' 4'' ein Spannungspuls induziert, welcher der Steuer-Sollspannung gleichgerichtet ist und ein an den Gatelektroden anliegendes Steuerpotential gegenüber einem Emitterpotential weiter erhöht, wodurch das Einschalten beschleunigt wird. - In Abweichung von der vorstehenden Beschreibung können Teilmodule auch anders aufgebaut sein als mit 6 parallel geschalteten IGBTs. So sind beispielsweise Teilmodule mit einzelnen oder einer anderen Anzahl parallelgeschalteter Leistungstransistoren, insbesondere IGBTs, denkbar. Auch Teilmodule mit einer oder mehreren parallel oder in Serie geschalteten Dioden sind denkbar. Auch Teilmodule mit einer ersten Anzahl parallelgeschalteter Leistungstransistoren und einer zweiten – unterschiedlichen oder gleichen – Anzahl gegenparallel geschalteter Dioden, insbesondere als Schutzdioden (engl. „freewheeling”, „snubber-” oder „flyback-”Dioden) können vorteilhaft verwendet werden, insbesondere in Leistungshalbleitermodulen, die als oder für den Einsatz in Brücken- oder Halbbrückenschaltungen ausgelegt sind. Anstelle von auf einer Platine
21 aufgebauten Teilmodulen können auch andere Leistungshalbleiter-Schaltelemente zum Einsatz kommen, und zwar sowohl in Form von Teilmodulen als auch allgemein geeignet verschaltete diskrete und/oder integrierte Leistungs halbleiter elemente umfassend. Auch Leistungshalbleitermodule mit verschiedenen Leistungshalbleiter-Schaltelementen sind denkbar. Insbesondere kann ferner nur ein Bruchteil der vom Leistungshalbleitermodul umfassten Teilmodule mittels einer Kontaktierungsanordnung wie vorstehend beschreiben kontaktiert sein, d. h. für eine Gesamtzahl M an Teilmodulen im Leistungshalbleitermodul kann M > N gelten. - Zusätzlich zum Emitterblech können vorteilhaft auch ein oder mehrere Kollektorbleche
33 an der Kunststoffummantelung5 befestigt sein. Zu diesem Zweck können vorzugsweise zusätzliche, längere Zapfen an der Kunststoffummantelung5 vorgesehen sein, so dass die Kollektorbleche33 mittels an diesen vorgesehener, in den Zeichnungen nicht dargestellter, dritter Löcher in analoger Weise wie das Emitterblech32 auf das Gateblech31 aufgelegt bzw. aufgesteckt werden können. Dabei sind vorteilhaft am Gateblech32 , insbesondere als Teil der Kunststoffummantelung5 ausgebildete, Abstandhalter vorgesehen, um die Kollektorbleche33 in einem definierten Abstand zu halten, so dass vorzugsweise der erste Abstand a1 zwischen der Verteilebene V2 des Emitterblechs32 und der Verteilebene V3 des Kollektorblechs33 eingehalten wird. - Im vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiel weist das Emitterblech
32 sowohl den Emitteranschluss321 als externen emitterseitigen Leistungsanschluss als auch den Hilfsemitteranschluss322 als Referenzanschluss auf. Die Kontaktierungsanordnung stellt somit einen Schaltungsblock dar, welcher Kollektor-, Emitter-, Hilfskollektor-, Hilfsemitter- und Gateschaltkreise umfasst. Alternativ kann das zweite Verbindungsblech vorteilhaft auch lediglich den Referenzanschluss aufweisen, wobei im Leistungshalbleitermodul eine separate Zuleitung zwischen einem separaten externen emitterseitigen Leistungsanschluss und den ersten Leistungskontakten der Teilmodule2 ausgebildet ist, beispielsweise in Form eines vierten Verbindungsblechs. Alternativ kann vorzugsweise auch nur eine Ansteuerschaltung, bestehend aus einem Gate- und einem Hilfsemitter-Schaltkreis durch ein erstes und zweites Verbindungsblech, welche erfindungsgemäss parallel geführt sind, realisiert sein; wobei Zuleitungen zu den ersten und zweiten Leistungskontakten der Teilmodule2 in anderer Weise, z. B. in Form einer Verdrahtung, ausgebildet sind. -
9 zeigt eine Darstellung eines weiteren bevorzugten Ausführungsbeispiels einer erfindungsgemässen Kontaktierungsanordnung für ein erfindungsgemässes Leistungshalbleitermodul. - Dabei ist das erste Verbindungsblech als Emitterblech
61 zur elektrisch leitenden Verbindung mit zwei, jeweils mit Emitterelektroden mehrerer Leistungshalbleiter-Schaltelemente eines Leistungshalbleitermoduls verbundenen, ersten Leistungskontakten über Kontakte613 ausgeführt. Das zweite Verbindungsblech ist als Kollektorblech62 zur elektrisch leitenden Verbindung mit zwei, jeweils mit Kollektorelektroden mehrerer Leistungshalbleiter-Schaltelemente des Leistungshalbleitermoduls verbundenen, zweiten Leistungskontakten über Kontakte623 ausgeführt. Das zweite Verbindungsblech ist in analoger Weise zu den vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispielen an einer Kunststoffummantelung5' des ersten Verbindungsblechs befestigt, welche in einem, vorzugsweise flächigen, Bereich des Emitterblechs61 vorgesehen ist. Die Verteilebene V1' des Emitterblechs61 verläuft dabei parallel zur Verteilebene V2' des Kollektorblechs62 . Erstes und zweites Verbindungsblech bilden somit einen Lastterminalblock, welcher vorzugsweise derart am Leistungshalbleitermodul angebracht wird, dass die Verteilebene V1' des Emitterblechs61 senkrecht zur Basisebene ausgerichtet ist. Die Kunststoffummantelung5' übernimmt dabei gleichzeitig eine Isolierfunktion zwischen Emitterblech61 und Kollektorblech62 , insbesondere in Bereichen, wo dies nicht durch ein Silikon-Gel oder ähnliches geschieht. - Vorzugsweise ist an der Kunststoffummantelung des ersten Verbindungsblechs ferner ein – in
9 nicht gezeigtes – drittes Verbindungsblech befestigt, welches als Gateblech ausgeführt ist. Vorzugsweise ist am Emitterblech61 wiederum ein – in9 nicht gezeigter – Hilfsemitteranschluss als Referenzanschluss vorgesehen. - In einem weiteren bevorzugten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemässen Leistungshalbleitermoduls ist das erste Verbindungsblech als Kollektorblech und das zweite Verbindungsblech als Emitterblech ausgeführt, wobei das zweite Verbindungsblech in analoger Weise zu den vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispielen an einer Kunststoffummantelung des ersten Verbindungsblechs befestigt ist, welche in einem, vorzugsweise flächigen, Bereich des Kollektorblechs vorgesehen ist. Dabei ist vorzugsweise am Emitterblech wiederum ein Hilfsemitteranschluss als Referenzanschluss vorgesehen. Erstes und zweites Verbindungsblech bilden somit wiederum einen Lastterminalblock. Der Kunststoffummantelung übernimmt dabei gleichzeitig eine Isolierfunktion zwischen Kollektorblech und Emitterblech, insbesondere in Bereichen, wo dies nicht durch ein Silikon-Gel oder ähnliches geschieht. Vorzugsweise ist an der Kunststoffummantelung des ersten Verbindungsblechs ferner ein drittes Verbindungsblech befestigt, welches als Gateblech ausgeführt ist.
- Gemäss der vorstehenden Beschreibung ist das zweite und ggf. dritte Verbindungsblech an der Kunststoffummantelung des ersten Verbindungsblechs angenietet, vorzugsweise mittels Ultraschallvernietung. Alternativ kann in allen vorstehenden Ausführungsbeispielen eine Befestigung jedoch auch mittels Kleben, Klemmen oder Schnappverschlüssen oder einer Kombination verschiedener Verfahren bzw. Methoden erreicht werden.
- In sämtlichen vorstehenden Ausführungsbeispielen kommt für die Kunststoffummantelung vorzugsweise ein thermoplastischer Kunststoff, vorzugsweise Polyamid oder Polyester, insbesondere Polybutylenterephthalat oder Polyetylenterephthalat, zur Anwendung. Dieser wird vorzugsweise faserverstärkt, insbesondere mittels Glasfasern bei einem Gewichtsanteil zwischen 20 und 40%. Vorzugsweise wird der gleiche thermoplastische Kunststoff auch für andere Kunststoffbestandteile und/oder -elemente eines Modulgehäuses verwendet, insbesondere für eine Gehäusewand.
- In der vorstehenden Beschreibung kann unter einer Ebene, insbesondere einer Anschluss-, Verteil- oder Kontaktebene eines Verbindungsblechs, vorzugsweise auch eine Schicht oder Lage mit einer Dicke dE verstanden werden, wobei bei einer Dicke dB des entsprechenden Verbindungsblechs dE < 15dB, vorzugsweise dE < 5dB, vorzugsweise dE < 2dB gilt. Ein Abstand zwischen zwei benachbarten Schichten oder Lagen ist in diesem Fall als der Abstand von deren beiden Mittelebenen definiert.
- Auch wenn die Erfindung vorstehend mit Bezug auf spezifische Ausführungsformen beschrieben und veranschaulicht ist, ist diese nicht auf diese Ausführungsformen beschränkt. Vielmehr können innerhalb des Schutz- und Äquivalenzbereichs der Schutzansprüche verschiedene Modifikationen von Einzelheiten vorgenommen werden, ohne dass daraus eine Abweichung von der Erfindung resultiert.
Claims (30)
- Leistungshalbleitermodul, umfassend a) eine Anzahl N parallel zu einer Basisebene (S) angeordneter Leistungshalbleiter-Schaltelemente (
2 ), • von denen jedes eine Anzahl an Schaltelement-Kontakten aufweist, umfassend • einen Steuerkontakt, • einen ersten Leistungskontakt und • einen zweiten Leistungskontakt, • wobei mittels einer zwischen Steuerkontakt und erstem Leistungskontakt anliegenden Steuerspannung ein Strom zwischen den Leistungskontakten schaltbar ist, b) eine Kontaktierungsanordnung zur Kontaktierung der Schaltelement-Kontakte, umfassend • ein erstes Verbindungsblech (31 ,32 ,33 ,61 ,62 ), welches elektrisch leitend mit ersten Schaltelement-Kontakten der N Leistungshalbleiter-Schaltelemente verbunden ist, • ein zweites Verbindungsblech (31 ,32 ,33 ,61 ,62 ), welches elektrisch leitend mit zweiten Schaltelement-Kontakten einer ersten Teilmenge enthaltend m ≤ N der N Leistungshalbleiter-Schaltelemente verbunden ist, • wobei jedes der Verbindungsbleche (31 ,32 ,33 ,61 ,62 ) • eine Vielzahl von Kontakten (313 ,323 ,333 ) zur Kontaktierung von Schaltelement-Kontakten, • mindestens einen Anschluss (311 ,321 ,331 ) zur externen Kontaktierung des Leistungshalbleiter-Schaltelements (2 ) und • eine Verteilebene (V1, V1', V2, V2', V3) zur elektrischen Verbindung der Kontakte mit dem Anschluss (311 ,321 ,331 ) aufweist, und wobei • die Verteilebene (V1, V1', V2, V2', V3) des ersten Verbindungsblechs (31 ,32 ,33 ,61 ,62 ) parallel zur Verteilebene (V1, V1', V2, V2', V3) des zweiten Verbindungsblechs (31 ,32 ,33 ,61 ,62 ) verläuft, • das erste Verbindungsblech (31 ,32 ,33 ,61 ,62 ) im Bereich der Verteilebene eine Kunststoffummantelung (5 ,5' ) aufweist, und • das zweite Verbindungsblech (31 ,32 ,33 ,61 ,62 ) an der Kunststoffummantelung (5 ,5' ) befestigt ist. - Leistungshalbleitermodul nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass jedes der Verbindungsbleche (
31 ,32 ,33 ,61 ,62 ) • eine Kontaktebene (K) und eine eine Anschlussebene (A) umfasst, wobei die Vielzahl von Kontakten in der Kontaktebene (K) und der mindestens eine Anschluss (311 ,321 ,331 ) in der Anschlussebene (A) vorgesehen sind. - Leistungshalbleitermodul nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass für jedes der Verbindungsbleche (
31 ,32 ,33 ,61 ,62 ) die Verteilebene (V1, V1', V2, V2', V3) zwischen Kontakt- und Anschlussebene gebildet ist. - Leistungshalbleitermodul nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Kontaktierungsanordnung ein drittes Verbindungsblech (
31 ,32 ,33 ,61 ,62 ) umfasst, welches elektrisch leitend mit dritten Schaltelement-Kontakten zumindest einer zweiten Teilmenge enthaltend n ≤ N der N Leistungshalbleiter-Schaltelemente verbunden ist. - Leistungshalbleitermodul nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das dritte Verbindungsblech (
31 ,32 ,33 ,61 ,62 ) • eine Kontaktebene (K) mit Kontakten (313 ,323 ,333 ) zur Kontaktierung von Schaltelement-Kontakten, • eine Anschlussebene (A) mit mindestens einem Anschluss (311 ,321 ,331 ) zur externen Kontaktierung des Leistungshalbleiter-Schaltelements (2 ) und • eine zwischen Kontakt- und Anschlussebene gebildete Verteilebene (V1, V1', V2, V2', V3) zur elektrischen Verbindung der Kontakte mit dem Anschluss (311 ,321 ,331 ) aufweist, und • wobei die Verteilebene (V1, V1', V2, V2', V3) des dritten Verbindungsblechs (31 ,32 ,33 ,61 ,62 ) parallel zur Verteilebene (V1, V1', V2, V2', V3) des ersten Verbindungsblechs (31 ,32 ,33 ,61 ,62 ) verläuft. - Leistungshalbleitermodul nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass das dritte Verbindungsblech (
31 ,32 ,33 ,61 ,62 ) an der Kunststoffummantelung (5 ,5' ) befestigt ist. - Leistungshalbleitermodul nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das dritte Verbindungsblech (
31 ,32 ,33 ,61 ,62 ) elektrisch leitend mit zweiten Leistungskontakten der zweiten Teilmenge enthaltend n ≤ N der N Leistungshalbleiter-Schaltelemente verbunden ist. - Leistungshalbleitermodul nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass a) das erste Verbindungsblech elektrisch leitend mit den Steuerkontakten der N Leistungshalbleiter-Schaltelemente verbunden ist, und b) das zweite Verbindungsblech elektrisch leitend mit ersten Leistungskontakten der Teilmenge enthaltend m ≤ N der N Leistungshalbleiter-Schaltelemente verbunden ist; sowie c) am zweiten Verbindungsblech als zusätzlicher Anschluss ein Referenzanschluss, insbesondere zum Anlegen einer Steuer-Sollspannung zwischen den Steuerkontakten und den ersten Leistungskontakten der Leistungshalbleiter-Schaltelemente, vorgesehen ist.
- Leistungshalbleitermodul nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Verbindungsblech (
32 ) ein Referenzanschluss-Blech (32'' ) umfasst, welches mittels einer elektrisch leitenden Verbindung, vorzugsweise einer Niet- oder Schweissverbindung, am zweiten Verbindungsblech (32 ) angebracht ist, und wobei der Referenzanschluss (322 ) am Referenzanschluss-Blech (32'' ) gebildet ist, und wobei das Referenzanschluss-Blech (32'' ) vorzugsweise in einer Nähe eines oder mehrerer zweiter Kontakte des zweiten Verbindungsblechs (32 ) an letzterem angebracht ist. - Leistungshalbleitermodul nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Verbindungsblech (
31 ,32 ,33 ,61 ,62 ) elektrisch leitend mit den ersten Leistungskontakten der N Leistungshalbleiter-Schaltelemente verbunden ist, und das zweite Verbindungsblech elektrisch leitend mit zweiten Leistungskontakten der zweiten Teilmenge enthaltend n ≤ N der N Leistungshalbleiter-Schaltelemente verbunden ist. - Leistungshalbleitermodul nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Verbindungsblech (
31 ,32 ,33 ,61 ,62 ), als zusätzlichen Anschluss einen Referenzanschluss (322 ), insbesondere zum Anlegen einer Steuer-Sollspannung zwischen den Steuerkontakten und den ersten Leistungskontakten der Leistungshalbleiter-Schaltelemente, umfasst. - Leistungshalbleitermodul nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Verbindungsblech (
31 ,32 ,33 ,61 ,62 ) elektrisch leitend mit den zweiten Leistungskontakten der N Leistungshalbleiter-Schaltelemente verbunden ist, und das zweite Verbindungsblech elektrisch leitend mit ersten Leistungskontakten der zweiten Teilmenge enthaltend n ≤ N der N Leistungshalbleiter-Schaltelemente verbunden ist. - Leistungshalbleitermodul nach Anspruch 10, 11 oder 12 sowie einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das dritte Verbindungsblech (
31 ,32 ,33 ,61 ,62 ) elektrisch leitend mit Steuerkontakten der zweiten Teilmenge enthaltend n ≤ N der N Leistungshalbleiter-Schaltelemente verbunden ist. - Leistungshalbleitermodul nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das zweite Verbindungsblech (
31 ,32 ,33 ,61 ,62 ) und/oder das dritte Verbindungsblech (31 ,32 ,33 ,61 ,62 ) mittels Ultraschallvernietung an der Kunststoffummantelung (5 ,5' ) befestigt ist. - Leistungshalbleitermodul nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Kunststoffummantelung (
5 ,5' ) aus Polyester, insbesondere Polybutylenterephthalat oder Polyetylenterephthalat, gebildet und vorzugsweise faserverstärkt, insbesondere glasfaserverstärkt, ist. - Leistungshalbleitermodul nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Kunststoffummantelung (
5 ,5' ) mittels Spritzguss gebildet ist. - Leistungshalbleitermodul nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in die Kunststoffummantelung (
5 ,5' ) Elemente zur Verringerung einer thermischen Ausdehnung, insbesondere Glaskügelchen, eingegossen sind. - Leistungshalbleitermodul nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das erste, zweite und dritte Verbindungsblech (
31 ,32 ,33 ) derart angeordnet sind, dass deren Verteilebenen (V1, V2, V3) parallel zur Basisebene (S) verlaufen. - Leistungshalbleitermodul nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass a) die Verteilebene (V1, V2, V3) des ersten Verbindungsblechs (
31 ) der Basisebene benachbart oberhalb der Basisebene (S) angeordnet ist, b) die Verteilebene (V1, V2, V3) des zweiten Verbindungsblechs (32 ) der Verteilebene (V1, V2, V3) des ersten Verbindungsblechs (31 ) auf einer der Basisebene (S) gegenüberliegenden Seite benachbart ist, und c) die Verteilebene (V1, V2, V3) des dritten Verbindungsblechs (33 ) der Verteilebene (V1, V2, V3) des zweiten Verbindungsblechs (32 ) benachbart ist. - Leistungshalbleitermodul nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Teilmenge der Leistungshalbleiter-Schaltelemente eine Mehrzahl von Leistungstransistoren, insbesondere IGBTs, umfasst, welche auf einer Leiterplatine, vorzugsweise einem Active-Metal-Brazing-Substrat, angeordnet und elektrisch parallel geschaltet sind.
- Leistungshalbleitermodul nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass vom ersten und zweiten Verbindungsblech N Leitungspfade zwischen Anschluss bzw. Referenzanschluss und ersten bzw. zweiten Kontakten, vorzugsweise in der Verteilebene (V1, V2) des jeweiligen Verbindungsblechs, gebildet sind.
- Leistungshalbleitermodul nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, dass für jedes Verbindungsblech die N Leitungspfade durch mehrere Blechabschnitte gebildet sind.
- Leistungshalbleitermodul nach Anspruch 22 oder 23, dadurch gekennzeichnet, dass ein erstes Segment (S1) der N Leitungspfade für das erste und zweite Verbindungsblech jeweils durch einen gemeinsamen, vorzugsweise dem Anschluss bzw. Referenzanschluss des entsprechenden Verbindungsblechs benachbarten, ersten bzw. zweiten Blechabschnitt gebildet ist.
- Leistungshalbleitermodul nach einem der Ansprüche 21 bis 23, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Segment (S1) der N Leitungspfade für das erste Verbindungsblech (
31 ) in einer ersten Region (R1) vom zweiten Verbindungsblech (32 ) in dessen Verteilebene (V2) überdeckt wird, und in einer zweiten Region (R2) vom zweiten Verbindungsblech (32 ) nicht in dessen Verteilebene (V2) überdeckt wird. - Leistungshalbleitermodul nach einem der Ansprüche 21 bis 24, dadurch gekennzeichnet, a) dass zweite Segmente der N Leitungspfade des ersten Verbindungsblechs durch separate dritte Blechabschnitte des ersten Verbindungsblechs (
31 ) gebildet sind, b) dass zweite Segmente der N Leitungspfade des zweiten Verbindungsblechs (32 ) durch separate vierte Blechabschnitte des zweiten Verbindungsblechs gebildet sind, c) für i = 1, ..., N in einer dritten Region (R3) die Leitungspfade des ersten Verbindungsblechs (31 ) unterhalb der Leitungspfade des zweiten Verbindungsblechs (32 ) verlaufen. - Leistungshalbleitermodul nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Leistungshalbleitermodul weitere, parallel zur Basisebene angeordnete Leistungshalbleiter-Schaltelemente umfasst, und das erste und zweite Verbindungsblech weitere erste bzw. zweite Kontakte aufweisen, die mit dem Anschluss des ersten bzw. zweiten Verbindungsblechs elektrisch leitend verbunden sind und die Steuerkontakte bzw. erste Leitungskontakte der weiteren Leistungshalbleiter-Schaltelemente kontaktieren.
- Leistungshalbleitermodul nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Leistungshalbleitermodul weitere, parallel zur Basisebene angeordnete Leistungshalbleiter-Schaltelemente eines zweiten Typs umfasst.
- Kontaktierungsanordnung für ein Leistungshalbleitermodul, welches a) eine Anzahl N parallel zu einer Basisebene (S) angeordneter Leistungshalbleiter-Schaltelemente (
2 ) umfasst, • von denen jedes eine Anzahl an Schaltelement-Kontakten aufweist, umfassend • einen Steuerkontakt, • einen ersten Leistungskontakt und • einen zweiten Leistungskontakt, • wobei mittels einer zwischen Steuerkontakt und erstem Leistungskontakt anliegenden Steuerspannung ein Strom zwischen den Leistungskontakten schaltbar ist, b) wobei die Kontaktierungsanordnung zur Kontaktierung der Schaltelement-Kontakte • ein erstes Verbindungsblech (31 ,32 ,33 ,61 ,62 ), welches elektrisch leitend mit ersten Schaltelement-Kontakten der N Leistungshalbleiter-Schaltelemente verbindbar ist, ein zweites Verbindungsblech (31 ,32 ,33 ,61 ,62 ), welches elektrisch leitend mit zweiten Schaltelement-Kontakten einer Teilmenge enthaltend n ≤ N der N Leistungshalbleiter-Schaltelemente verbindbar ist, umfasst und wobei c) jedes der Verbindungsbleche (31 ,32 ,33 ,61 ,62 ) • eine Vielzahl von Kontakten (313 ,323 ,333 ) zur Kontaktierung von Schaltelement-Kontakten, • mindestens einen Anschluss (311 ,321 ,331 ) zur externen Kontaktierung des Leistungshalbleiter-Schaltelements (2 ) und • eine Verteilebene (V1, V1', V2, V2', V3) zur elektrischen Verbindung der Kontakte mit dem Anschluss (311 ,321 ,331 ) aufweist, und wobei • die Verteilebene (V1, V1', V2, V2', V3) des ersten Verbindungsblechs (31 ,32 ,33 ,61 ,62 ) parallel zur Verteilebene (V1, V1', V2, V2', V3) des zweiten Verbindungsblechs (31 ,32 ,33 ,61 ,62 ) und parallel zur Verteilebene (V1, V1', V2, V2', V3) des zweiten Verbindungsblechs (31 ,32 ,33 ,61 ,62 ) verläuft, • das erste Verbindungsblech (31 ,32 ,33 ,61 ,62 ) im Bereich der Verteilebene eine Kunststoffummantelung (5 ,5' ) aufweist, und • das zweite Verbindungsblech (31 ,32 ,33 ,61 ,62 ) an der Kunststoffummantelung (5 ,5' ) befestigt ist. - Kontaktierungsanordnung nach Anspruch 28, dadurch gekennzeichnet, dass jedes der Verbindungsbleche (
31 ,32 ,33 ,61 ,62 ) • eine Kontaktebene (K) und eine eine Anschlussebene (A) umfasst, wobei die Vielzahl von Kontakten in der Kontaktebene (K) und der mindestens eine Anschluss (311 ,321 ,331 ) in der Anschlussebene (A) vorgesehen sind. - Kontaktierungsanordnung nach Anspruch 29, dadurch gekennzeichnet, dass für jedes der Verbindungsbleche (
31 ,32 ,33 ,61 ,62 ) die Verteilebene (V1, V1', V2, V2', V3) zwischen Kontakt- und Anschlussebene gebildet ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE202013105809.2U DE202013105809U1 (de) | 2013-12-19 | 2013-12-19 | Leistungshalbleitermodul und Kontaktierungsanordnung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE202013105809.2U DE202013105809U1 (de) | 2013-12-19 | 2013-12-19 | Leistungshalbleitermodul und Kontaktierungsanordnung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE202013105809U1 true DE202013105809U1 (de) | 2014-01-21 |
Family
ID=50070073
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE202013105809.2U Expired - Lifetime DE202013105809U1 (de) | 2013-12-19 | 2013-12-19 | Leistungshalbleitermodul und Kontaktierungsanordnung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE202013105809U1 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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EP3451377A4 (de) * | 2016-05-03 | 2019-03-27 | Yangzhou Guoyang Electronic Co., Ltd. | Kombinierte elektrode und dreistufiges hochleistungsmodul dafür |
WO2019179955A1 (en) * | 2018-03-22 | 2019-09-26 | Danfoss Silicon Power Gmbh | Busbar, method for manufacturing the same and power module comprising the same |
WO2022028957A1 (de) | 2020-08-05 | 2022-02-10 | Siemens Aktiengesellschaft | Leistungshalbleitermodulsystem und herstellungsverfahren für ein leistungshalbleitermodulsystem |
-
2013
- 2013-12-19 DE DE202013105809.2U patent/DE202013105809U1/de not_active Expired - Lifetime
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WO2022028957A1 (de) | 2020-08-05 | 2022-02-10 | Siemens Aktiengesellschaft | Leistungshalbleitermodulsystem und herstellungsverfahren für ein leistungshalbleitermodulsystem |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R207 | Utility model specification |
Effective date: 20140227 |
|
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: HITACHI ENERGY SWITZERLAND AG, CH Free format text: FORMER OWNER: ABB TECHNOLOGY AG, ZUERICH, CH Owner name: ABB POWER GRIDS SWITZERLAND AG, CH Free format text: FORMER OWNER: ABB TECHNOLOGY AG, ZUERICH, CH Owner name: ABB SCHWEIZ AG, CH Free format text: FORMER OWNER: ABB TECHNOLOGY AG, ZUERICH, CH |
|
R082 | Change of representative |
Representative=s name: DENNEMEYER & ASSOCIATES S.A., DE Representative=s name: ZIMMERMANN & PARTNER PATENTANWAELTE MBB, DE |
|
R150 | Utility model maintained after payment of first maintenance fee after three years | ||
R151 | Utility model maintained after payment of second maintenance fee after six years | ||
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: HITACHI ENERGY SWITZERLAND AG, CH Free format text: FORMER OWNER: ABB SCHWEIZ AG, BADEN, CH Owner name: ABB POWER GRIDS SWITZERLAND AG, CH Free format text: FORMER OWNER: ABB SCHWEIZ AG, BADEN, CH |
|
R082 | Change of representative |
Representative=s name: DENNEMEYER & ASSOCIATES S.A., DE |
|
R152 | Utility model maintained after payment of third maintenance fee after eight years | ||
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: HITACHI ENERGY SWITZERLAND AG, CH Free format text: FORMER OWNER: ABB POWER GRIDS SWITZERLAND AG, BADEN, CH |
|
R071 | Expiry of right |