DE202013102055U1 - Mirror holder and mirror for laser beam optics - Google Patents

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Abstract

Spiegelhalter für Laserstrahloptiken mit einem auf einem Untergrund einer Strahlführung aufstellbaren Fuß (2), einem an dem Fuß (2) angeordneten Spiegelträger (3), der über ein Spiegelträgerlager (4) um eine Rotationsachse (R) drehbar am Fuß (2) gehalten ist und zumindest eine Aufnahme für die Befestigung wenigstens eines Spiegels (1) eines Strahlführungssystems einer Laserstrahlanlage aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass das Spiegelträgerlager (4) ein Kreuzrollenlager ist.Mirror holder for laser beam optics with a foot (2) that can be set up on a substrate of a beam guide, a mirror support (3) arranged on the foot (2), which is held on the foot (2) via a mirror support bearing (4) so that it can rotate about an axis of rotation (R) and has at least one receptacle for fastening at least one mirror (1) of a beam guidance system of a laser beam system, characterized in that the mirror support bearing (4) is a crossed roller bearing.

Description

Die Erfindung betrifft einen Spiegelhalter für Laserstrahloptiken mit einem auf einem Untergrund einer Strahlführung aufstellbaren Fuß, einem an dem Fuß angeordneten Spiegelträger, der über ein Spiegelträgerlager um eine Rotationsachse drehbar am Fuß gehalten ist und zumindest eine Aufnahme für die Befestigung wenigstens eines Spiegels eines Strahlführungssystems einer Laserstrahlanlage aufweist.The invention relates to a mirror holder for laser beam optics with a foot can be placed on a base of a beam guide, a mirror support disposed on the foot, which is rotatably supported about a mirror support bearing about a rotation axis on the foot and at least one receptacle for attaching at least one mirror of a beam guidance system of a laser beam system having.

Spiegelhalter für Laserstrahloptiken dieser Art sind allgemein bekannt. Es handelt sich dabei um Laserstrahloptiken, die in Verbindung mit Hochleistungslasern verwendet werden. Insbesondere betrifft die Erfindung Spiegelhalter und Spiegel für gepulste Hochleistungslaser.Mirror holders for laser beam optics of this type are well known. These are laser beam optics that are used in conjunction with high-power lasers. In particular, the invention relates to mirror holders and mirrors for high power pulsed lasers.

Die bekannten Spiegel und Spiegelhalter haben den Nachteil, dass sie insbesondere in Verbindung mit hohen Leistungen und größeren Strahldurchmessern nicht hinreichend genau den Laserstrahl zu führen vermögen. Gerade in Verbindung mit Hochleistungslasern muss aber der Laserstrahl aufgeweitet werden, um eine Beschädigung der optischen Flächen des Spiegels zu vermeiden. Darüber hinaus muss der Laserstrahl möglichst genau zur im Strahlengang nächstgelegenen Optik geführt werden, um dort entweder gespiegelt oder fokussiert zu werden. Damit möglichst geringe Verluste aufgrund der in den Strahlengang eingebrachten optischen Strahlführungselemente auftreten, sollten der Spiegel und der Spiegelhalter in der Lage sein, über einen möglichst großen Weg den Strahl exakt zu führen. Ferner sollte der Reflektionswinkel möglichst genau einstellbar sein und gehalten werden können.The known mirrors and mirror holders have the disadvantage that they are not able to guide the laser beam with sufficient accuracy, in particular in conjunction with high powers and larger beam diameters. However, especially in conjunction with high-power lasers, the laser beam must be widened in order to avoid damaging the optical surfaces of the mirror. In addition, the laser beam must be guided as accurately as possible to the nearest in the beam path optics, there to be either mirrored or focused. In order to minimize losses due to the introduced in the beam path optical beam guiding elements, the mirror and the mirror holder should be able to perform the beam over a maximum distance the exact way. Furthermore, the reflection angle should be as accurately adjustable and can be kept.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, einen Spiegelhalter sowie einen Spiegel mit einem solchen Spiegelhalter bereitzustellen, wobei die optischen Eigenschaften des Spiegels möglichst genau und reproduzierbar einstellbar sind.The object of the invention is therefore to provide a mirror holder and a mirror with such a mirror holder, wherein the optical properties of the mirror are as accurately and reproducibly adjustable.

Diese Aufgabe wird nach der Erfindung dadurch gelöst, dass das Spiegelträgerlager ein Kreuzrollenlager ist.This object is achieved according to the invention in that the mirror carrier bearing is a cross roller bearing.

Durch erfindungsgemäßen Spiegelhalter wird es nun möglich, auch große Spiegel, so wie sie für die Umlenkung des Strahlengangs von Hochleistungslasern benötigt werden, sicher zu halten und gleichzeitig genau einzustellen.By mirror holder according to the invention, it is now possible to keep even large mirrors, as they are needed for the deflection of the beam path of high-power lasers, safe and at the same time set exactly.

Insbesondere in Verbindung mit gepulster Laserstrahlung im Hochleistungsbereich ist es vorteilhaft, wenn der Spiegelhalter in einer Vakuumkammer angeordnet werden kann. Diese Vakuumkammer verhindert, dass nicht-lineare Prozesse in der Luft unmittelbar vor dem Spiegel ablaufen, die die Stahlqualität verschlechtern oder schlimmstenfalls sogar eine Teilabschirmung der Laserstrahlung bewirken können.In particular in connection with pulsed laser radiation in the high power range, it is advantageous if the mirror holder can be arranged in a vacuum chamber. This vacuum chamber prevents non-linear processes in the air from flowing directly in front of the mirror, which can degrade steel quality or, in the worst case, even cause partial shielding of the laser radiation.

Bevorzugte Größen für die verwendeten Spiegel sind dabei runde, ovale oder rechteckige Spiegel, die zumindest in einer Richtung einer Ausdehnung von 300 mm, bevorzugt 400 mm oder mehr und besonders bevorzugt 600 mm aufweisen. Solche Spiegel haben ein Gewicht von 60 kg und darüber und werden bevorzugt sowohl um eine erste Rotationsachse als auch um eine zur ersten Rotationsachse rechtwinklige zweite Drehachse verstellt. Auf diese Weise lässt sich der Ausfallswinkel des Spiegels beliebig einstellen.Preferred sizes for the mirrors used are round, oval or rectangular mirrors which have at least in one direction an extension of 300 mm, preferably 400 mm or more and particularly preferably 600 mm. Such mirrors have a weight of 60 kg and above and are preferably adjusted both about a first axis of rotation and about a second axis of rotation perpendicular to the first axis of rotation. In this way, the angle of reflection of the mirror can be set arbitrarily.

Um möglichst effektiv den Strahlengang einstellen zu können, weist der Spiegelhalter bevorzugt eine Drehbarkeit um die Rotationsachse und/oder die Drehachse um 360° auf. Ferner weist er bevorzugt eine Grobeinstellung für den Drehwinkel in eine oder beide Richtungen auf. Zusätzlich sollte eine Feineinstellung vorhanden sein, um den Ausfallswinkel möglichst genau einstellen zu können und so den Strahlengang exakt auf das nächste optische Mittel richten zu können.In order to be able to adjust the beam path as effectively as possible, the mirror holder preferably has a rotatability about the axis of rotation and / or the axis of rotation about 360 °. Furthermore, it preferably has a coarse adjustment for the angle of rotation in one or both directions. In addition, a fine adjustment should be present in order to adjust the angle of failure as accurately as possible and so to be able to direct the beam path exactly to the nearest optical means.

Die oben genannte Feineinstellung kann beispielsweise mithilfe von Feingewindeschrauben realisiert werden, die eine Gewindesteigung von 0,15 mm aufweisen können. Alternativ können auch Mikrometerschrauben eingesetzt werden.The fine adjustment mentioned above can be realized, for example, by means of fine-thread screws, which may have a thread pitch of 0.15 mm. Alternatively, micrometer screws can also be used.

Der Spiegelhalter besteht erfindungsgemäß aus den Grundkomponenten Fuß, Spiegelträger und Aufnahme für den Spiegel. Der Fuß ist bevorzugt an der Unterseite einer Vakuumkammer oder auf einer sonstigen Fläche, zum Beispiel eines optischen Tisches zu befestigen. Dies kann über eine stabile Schraubenverbindung, zum Beispiel Schrauben der Größe M6 in einem Abstand von 25 mm erfolgen.The mirror holder according to the invention consists of the basic components foot, mirror support and recording for the mirror. The foot is preferably to be fastened to the underside of a vacuum chamber or to another surface, for example an optical table. This can be done via a stable screw connection, for example screws of size M6 at a distance of 25 mm.

Der Antrieb des Spiegelhalters kann manuell erfolgen, zusätzlich oder alternativ kann auch ein motorisierter Antrieb vorgesehen sein. Im letztgenannten Fall werden bevorzugt Piezoantriebe verwendet. Dabei kann die Drehbewegung um die Rotationsachse, um die Drehachse oder auch um beide Achsen motorisch und/oder manuell erfolgen.The drive of the mirror holder can be done manually, in addition or alternatively, a motorized drive can be provided. In the latter case, piezoelectric drives are preferably used. In this case, the rotational movement about the axis of rotation, about the axis of rotation or about both axes can be motorized and / or manually.

Durch die erfindungsgemäße Verwendung des Kreuzrollenlagers kann nun der Spiegelhalter am fest montierten Fuß besonders sicher und vibrationsfrei gelagert werden. Der Spiegelträger selbst ist ausreichend dimensioniert, um Vibrationen zu vermeiden. Gleiches gilt für die Lagerung des Spiegels am Spiegelträger. Auch hier können Kreuzrollenlager zum Einsatz kommen, um den Spiegel, der beispielsweise zwei seitlich hervorstehende Lagerzapfen aufweisen kann, sicher und genau am Spiegelträger lagern zu können, auch wenn zum Beispiel der Spiegelträger in einer nicht-aufrechten Stellung montiert ist.By using the cross roller bearing according to the invention, the mirror holder can now be mounted on the firmly mounted foot in a particularly secure and vibration-free manner. The mirror carrier itself is sufficiently dimensioned to avoid vibrations. The same applies to the storage of the mirror on the mirror support. Again, cross roller bearings can be used to the mirror, which may for example have two laterally projecting journals, safe and accurate on the mirror support to store, even if, for example, the mirror support is mounted in a non-upright position.

Die verwendeten Kreuzrollenlager weisen Lagerringe auf, in denen mit zueinander versetzten Drehachsen eine Mehrzahl von Wälzkörpern, insbesondere in Form von Walzen, vorgesehen ist, so dass sich eine besonders hohe Genauigkeit ergibt. Durch die bevorzugte Anordnung der Rollen in X-Anordnung kann das Kreuzrollenlager axiale Kräfte aus zwei Richtungen sowie Radialkräfte, Kippmomentbelastungen und beliebige Lastkombinationen aufnehmen. Die Wälzkörper können tonnenförmig mit konstantem oder sich in eine Axialrichtung verringerndem Durchmesser ausgebildet sein. Bevorzugt werden die Lager mit einem vakuumtauglichen Schmiermittel geschmiert.The cross roller bearings used have bearing rings in which with a staggered axes of rotation a plurality of rolling elements, in particular in the form of rollers, is provided, so that results in a particularly high accuracy. Due to the preferred arrangement of the rollers in X-arrangement, the cross roller bearing can absorb axial forces from two directions as well as radial forces, Kippmomentbelastungen and any load combinations. The rolling elements may be barrel-shaped with a constant or decreasing diameter in an axial direction. Preferably, the bearings are lubricated with a vacuum suitable lubricant.

Auch die übrigen Materialien, die zur Herstellung des Spiegelhalters oder des Spiegels Verwendung finden, sollten bevorzugt vakuumtauglich sein. Unter Vakuum wird diesem Zusammenhang ein Vakuum verstanden, dass dafür Sorge trägt, dass die Strahlgenauigkeit nicht durch die nicht-linearen Prozesse gestört wird. Dies kann bei einer typischen Anwendung zum Beispiel ein Vakuum mit einem Innendruck von 10–06 mbar sein.The other materials that are used for the production of the mirror holder or the mirror should preferably be suitable for vacuum. Under vacuum, this relationship is understood to mean a vacuum that ensures that the beam accuracy is not disturbed by the non-linear processes. For example, in a typical application this may be a vacuum with an internal pressure of 10 -06 mbar.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen und aus der nachfolgenden Beschreibung eines bevorzugten Ausführungsbeispiels anhand der Zeichnungen.Further features and advantages of the invention will become apparent from the subclaims and from the following description of a preferred embodiment with reference to the drawings.

In den Zeichnungen zeigt:In the drawings shows:

1 eine Ansicht eines erfindungsgemäßen Spiegelhalter mit Spiegel von vorne, 1 a view of a mirror holder according to the invention with mirror from the front,

2 den in 1 dargestellten Spiegelhalter und Spiegel in einer Ansicht von der Seite, 2 the in 1 illustrated mirror holder and mirror in a view from the side,

3 den in den 1 und 2 dargestellten Spiegelhalter und Spiegel in einer Ansicht von der im Vergleich zur 2 gegenüberliegenden Seite, 3 in the 1 and 2 represented mirror holder and mirror in a view of the compared to 2 opposite side,

4 den in 1 dargestellten Spiegelhalter und Spiegel in einer, in der der Spiegelhalter im Schnitt dargestellt ist und 4 the in 1 represented mirror holder and mirror in one, in which the mirror holder is shown in section and

5 den in den 1–4 dargestellten Spiegelhalter und Spiegel in einer Ansicht von oben. 5 in the 1 - 4 illustrated mirror holder and mirror in a view from above.

In den 1 bis 5 ist ein erfindungsgemäßer Spiegelhalter dargestellt, der einen Spiegel 1 trägt. Der Spiegelhalter weist einen Fuß 2 auf, auf dem ein Spiegelträger 3 drehbar gelagert ist. Der Spiegelträger ist um eine Rotationsachse R um 360° drehbar und weist (hier nicht sichtbar) eine Grobeinstellung sowie eine Feineinstellung zum sicheren Einstellen des erforderlichen bzw. gewünschten Reflektionswinkels auf.In the 1 to 5 an inventive mirror holder is shown, which is a mirror 1 wearing. The mirror holder has a foot 2 on which a mirror carrier 3 is rotatably mounted. The mirror support is rotatable about an axis of rotation R by 360 ° and has (not visible here) a coarse adjustment and a fine adjustment for the safe setting of the required or desired reflection angle.

Die Lagerung des Spiegelträgers 3 am Fuß 2 erfolgt erfindungsgemäß über ein Spiegelträgerlager 4, dass als Kreuzrollenlager ausgebildet ist. Dieses Kreuzrollenlager zeichnet sich durch das Abstützen eines spiegelträgerseitigen Lagerrings auf einem fußseitigen Lagerring über kreuzweise zueinander angeordnete Zylinderrollen aus. Alternativ können auch andere Drehachsenstellungen und andere Formen von Wälzkörpern verwendet werden.The storage of the mirror carrier 3 at the foot 2 takes place according to the invention via a mirror carrier bearing 4 in that it is designed as a cross roller bearing. This cross roller bearing is characterized by supporting a mirror carrier side bearing ring on a foot-side bearing ring via crosswise arranged cylindrical rollers. Alternatively, other rotational axis positions and other forms of rolling elements may be used.

Am Spiegelträger 3 ist der Spiegel 1 drehbar um eine Drehachse D gelagert. Auch diese Lagerung kann über Kreuzrollenlager erfolgen. Insbesondere in Verbindung mit Hochleistungslasern ist die Verwendung der Kreuzrollenlager vorteilhaft, da bei diesen Anwendungen schwere und vergleichsweise große Optiken eingesetzt werden müssen. Der Spiegel 1 selbst kann nach je Anwendung spezifisch ausgestaltet sein, insbesondere kann ein dichroitischer Spiegel 1 verwendet werden.At the mirror carrier 3 is the mirror 1 rotatably supported about a rotation axis D. This storage can be done via cross roller bearings. Particularly in connection with high-power lasers, the use of cross-roller bearings is advantageous because in these applications, heavy and comparatively large optics must be used. The mirror 1 itself can be designed specifically for each application, in particular a dichroic mirror 1 be used.

Bevorzugte Abmessungen des Spiegels 1 und damit auch des diesen aufnehmenden Spiegelträgers 3 werden durch einen Strahldurchmesser des Laserstrahls von bis zu 500 mm oder mehr bestimmt. Gleichzeitig sollte die Feineinstellung sowohl der Drehbewegung um die Rotationsachse R als auch um die Drehachse D eine Genauigkeit von +/–3° in die jeweilige Drehrichtung ermöglichen.Preferred dimensions of the mirror 1 and thus also of this receiving mirror carrier 3 are determined by a beam diameter of the laser beam of up to 500 mm or more. At the same time fine adjustment of both the rotational movement about the rotation axis R and about the rotation axis D should allow an accuracy of +/- 3 ° in the respective direction of rotation.

Die dargestellten Bauteile des Spiegelhalters sind beispielsweise aus Aluminium gefertigt. Die Schraubverbindungen, insbesondere die Feingewindeschrauben zur Realisierung der Feinverstellung, können aus Edelstahl, Titan oder einer titanhaltigen Legierung hergestellt werden.The illustrated components of the mirror holder are made of aluminum, for example. The screw connections, in particular the fine thread screws for realizing the fine adjustment, can be made of stainless steel, titanium or a titanium-containing alloy.

Der dargestellte Spiegelhalter kann horizontal oder vertikal eingesetzt werden, auch eine gekippte Einbaulage ist möglich. Der dargestellte Spiegelhalter weist ein kardanisches Konstruktionsprinzip auf bei dem die beiden Drehachsen, also die Rotationsachse R einerseits und die Drehachse D andererseits, in der Ebene der Optik liegen.The mirror holder shown can be used horizontally or vertically, a tilted mounting position is possible. The mirror holder shown has a gimbal design principle in which the two axes of rotation, ie the axis of rotation R on the one hand and the axis of rotation D on the other hand, lie in the plane of the optics.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

11
Spiegelmirror
22
Fußfoot
33
Spiegelträgermirror support
44
SpiegelträgerlagerMirror carrier bearing
DD
Drehachse des Spiegels in einer ersten EbeneRotational axis of the mirror in a first plane
RR
Rotationsachse des Spiegels in einer zweiten EbeneRotation axis of the mirror in a second plane

Claims (19)

Spiegelhalter für Laserstrahloptiken mit einem auf einem Untergrund einer Strahlführung aufstellbaren Fuß (2), einem an dem Fuß (2) angeordneten Spiegelträger (3), der über ein Spiegelträgerlager (4) um eine Rotationsachse (R) drehbar am Fuß (2) gehalten ist und zumindest eine Aufnahme für die Befestigung wenigstens eines Spiegels (1) eines Strahlführungssystems einer Laserstrahlanlage aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass das Spiegelträgerlager (4) ein Kreuzrollenlager ist.Mirror holder for laser beam optics with a foot which can be placed on a substrate of a beam guide ( 2 ), one on the foot ( 2 ) arranged mirror carrier ( 3 ), which has a mirror carrier bearing ( 4 ) about an axis of rotation (R) rotatable on the foot ( 2 ) and at least one receptacle for the attachment of at least one mirror ( 1 ) of a beam guidance system of a laser beam system, characterized in that the mirror carrier bearing ( 4 ) is a cross roller bearing. Spiegelhalter für Laserstrahloptiken nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Spiegelträger (3) an einer Seite, insbesondere seiner Unterseite, einen zylindrischen Lagerzapfen aufweist, über den er am Fuß (3) gelagert ist, wobei das Kreuzrollenlager des Spiegelträgerlagers (4) den Lagerzapfen mit einem spiegelträgerseitigen Lagerring umgreift, der über die in der Wälzrichtung kreuzweise zueinander versetzten Wälzkörper des Kreuzwellenlagers an einem fußseitigen Lagerring gelagert ist.Mirror holder for laser beam optics according to claim 1, characterized in that the mirror carrier ( 3 ) has on one side, in particular on its underside, a cylindrical bearing journal over which it bears on the foot ( 3 ), wherein the cross roller bearing of the mirror carrier bearing ( 4 ) surrounds the bearing pin with a mirror carrier side bearing ring, which is mounted on the cross-wise staggered in the rolling direction rolling elements of the cross-shaft bearing on a foot-side bearing ring. Spiegelhalter für Laserstrahloptiken nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Spiegelträgerlager (4) derart ausgebildet ist, dass der Spiegelträger (3) um 360° drehbar ist.Mirror holder for laser beam optics according to one of the two preceding claims, characterized in that the mirror carrier bearing ( 4 ) is designed such that the mirror carrier ( 3 ) is rotatable by 360 °. Spiegelhalter für Laserstrahloptiken nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass er einen ersten Drehantrieb um die Rotationsachse (R) aufweist.Mirror holder for laser beam optics according to one of the preceding claims, characterized in that it has a first rotary drive about the axis of rotation (R). Spiegelhalter für Laserstrahloptiken nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Drehantrieb eine Feinverstellung mit μrad-Auflösung um +/–3° aufweist.Mirror holder for laser beam optics according to one of the preceding claims, characterized in that the first rotary drive has a fine adjustment with μrad resolution by +/- 3 °. Spiegelhalter für Laserstrahloptiken nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass Spiegelträger (3) motorisch um die Rotationsachse (R) angetrieben ist.Mirror holder for laser beam optics according to the preceding claim, characterized in that mirror carrier ( 3 ) is driven by a motor about the axis of rotation (R). Spiegelhalter für Laserstrahloptiken nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Spiegel (1) um eine Drehachse (D) drehbeweglich am Spiegelträger (3) gelagert ist.Mirror holder for laser beam optics according to one of the preceding claims, characterized in that the mirror ( 1 ) about a rotation axis (D) rotatably on the mirror carrier ( 3 ) is stored. Spiegelhalter für Laserstrahloptiken dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass der Spiegel (1) um 360° drehbar am Spiegelträger (3) gelagert ist.Mirror holder for laser beam optics according to the preceding claim, characterized in that the mirror ( 1 ) can be rotated 360 ° on the mirror support ( 3 ) is stored. Spiegelhalter für Laserstrahloptiken nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Spiegel (1) über einen zweiten, insbesondere motorischen Drehantrieb innerhalb des Spiegelträgers (3) bewegbar ist.Mirror holder for laser beam optics according to one of the preceding claims, characterized in that the mirror ( 1 ) via a second, in particular motor rotary drive within the mirror carrier ( 3 ) is movable. Spiegelhalter für Laserstrahloptiken nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass der Spiegelträger (3) zwei gegenüberliegende Kreuzrollenlager zur haltenden Lagerung von zwei Lagerzapfen des Spiegels (1) aufweist.Mirror holder for laser beam optics according to the preceding claim, characterized in that the mirror carrier ( 3 ) two opposing crossed roller bearings for supporting bearing of two bearing pins of the mirror ( 1 ) having. Spiegelhalter für Laserstrahloptiken nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der zweite Drehantrieb eine Feinverstellung mit μrad-Auflösung um +/–3° aufweist.Mirror holder for laser beam optics according to one of the two preceding claims, characterized in that the second rotary drive has a fine adjustment with μrad resolution by +/- 3 °. Spiegelhalter für Laserstrahloptiken nach einem der vier vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Drehachse (D) rechtwinklig zur Rotationsachse (R) angeordnet ist.Mirror holder for laser beam optics according to one of the four preceding claims, characterized in that the axis of rotation (D) is arranged at right angles to the axis of rotation (R). Spiegelhalter für Laserstrahloptiken nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Spiegelträger (3) zwei gegenüberliegende Lagerschenkel aufweist, zwischen denen der Spiegel drehbar gelagert ist, wobei der lichte Abstand der Lagerschenkel zueinander zumindest im Bereich der Drehachse (D) wenigstens 300 mm, bevorzugt 500 mm und besonders bevorzugt mehr als 600 mm beträgt.Mirror holder for laser beam optics according to one of the preceding claims, characterized in that the mirror carrier ( 3 ) has two opposite bearing legs, between which the mirror is rotatably mounted, wherein the clear distance between the bearing legs to each other at least in the region of the axis of rotation (D) is at least 300 mm, preferably 500 mm and more preferably more than 600 mm. Spiegel für Laserstrahloptiken, dadurch gekennzeichnet, dass er einen Spiegelhalter nach einem der vorhergehenden Ansprüche aufweist.Mirror for laser beam optics, characterized in that it comprises a mirror holder according to one of the preceding claims. Spiegel für Laserstrahloptiken nach dem vorhergehenden Anspruch, dadurch gekennzeichnet, dass er in einer Vakuumkammer angeordnet ist, wobei der Fuß (2) zumindest mit seinem das Spiegelträgerlager (4) umfassenden Abschnitt innerhalb der Vakuumkammer angeordnet ist.Mirror for laser beam optics according to the preceding claim, characterized in that it is arranged in a vacuum chamber, wherein the foot ( 2 ) at least with its mirror carrier bearing ( 4 ) comprehensive portion is disposed within the vacuum chamber. Spiegel für Laserstrahloptiken nach einem der beiden vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Spiegel eine ebene Reflexionsfläche aufweist, die auf der von der Drehachse (D) und der Rotationsachse (R) aufgespannten Ebene liegt.Mirror for laser beam optics according to one of the two preceding claims, characterized in that the mirror has a flat reflection surface which lies on the plane defined by the axis of rotation (D) and the axis of rotation (R) plane. Spiegel für Laserstrahloptiken nach einem der drei vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Spiegel (1) ein dichroitischer Spiegel ist.Mirror for laser beam optics according to one of the three preceding claims, characterized in that the mirror ( 1 ) is a dichroic mirror. Spiegel für Laserstrahloptiken nach einem der vier vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Spiegel (1) zur Verwendung in Verbindung mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung eines Hochleistungslasersystems mit Pulsweiten von weniger als 10–12, bevorzugt weniger als 10–14 und besonders bevorzugt weniger als 10–15 Sekunden und einer Leistung von mehr als 1013, bevorzugt mehr als 1014 und besonders bevorzugt mehr als 1015 Watt ausgelegt ist. Mirror for laser beam optics according to one of the four preceding claims, characterized in that the mirror ( 1 ) for use in conjunction with ultrashort pulsed laser radiation of a high power laser system having pulse widths of less than 10 -12 , preferably less than 10 -14 and more preferably less than 10 -15 seconds and a power of more than 10 13 , preferably more than 10 14 and more preferably more than 10 15 watts is designed. Spiegel für Laserstrahloptiken nach einem der vier vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Spiegel (1) eine runde, reflektierende Fläche mit einem Durchmesser von wenigstens 300 mm, bevorzugt wenigstens 400 mm und besonders bevorzugt wenigstens 450 mm aufweist.Mirrors for laser optics according to any one of the preceding four claims, characterized in that the mirror ( 1 ) has a round, reflective surface with a diameter of at least 300 mm, preferably at least 400 mm and more preferably at least 450 mm.
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