DE202013009660U1 - Bearing holding element for a bearing element of a rotor shaft of a vacuum pump and vacuum pump - Google Patents

Bearing holding element for a bearing element of a rotor shaft of a vacuum pump and vacuum pump Download PDF

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Abstract

Lager-Halteelement für ein Lagerelement (40) einer Rotorwelle (26) einer Vakuumpumpe, insbesondere einer Turbomolekularpumpe, mit einem äußeren in einem Pumpengehäuse (20) anzuordnenden Halteelement (10), einem Aufnahmeelement (14) zur Aufnahme des Lagerelements (40) und das äußere Haltelement (10) mit dem Aufnahmeelement (14) verbindenden Stegen (12), wobei die Stege (12) gewinkelt bzw. gekröpft ausgebildet sind.Bearing support element for a bearing element (40) of a rotor shaft (26) of a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump, with an outer in a pump housing (20) to be arranged holding element (10), a receiving element (14) for receiving the bearing element (40) and the outer holding element (10) with the receiving element (14) connecting webs (12), wherein the webs (12) are formed angled or cranked.

Description

Die Erfindung betrifft ein Lager-Halteelement für ein Lagerelement einer Rotorweller einer Vakuumpumpe, insbesondere einer Turbomolekularpumpe. Ferner betrifft die Erfindung eine Vakuumpumpe, insbesondere eine Turbomolekularpumpe mit einem derartigen Lager-Halteelement.The invention relates to a bearing-holding element for a bearing element of a rotor shaft of a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump. Furthermore, the invention relates to a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump with such a bearing-holding element.

Vakuumpumpen, wie beispielsweise Turbomolekularpumpen weisen eine in einem Pumpengehäuse gelagerte Rotorwelle auf. Die Lagerung der Rotorwelle erfolgt hierbei über Wälz- und/oder Magnetlager. Die Rotorwelle trägt einen Rotor, wobei dieser insbesondere bei Turbomolekularpumpen mehrere Rotorscheiben aufweist. Zwischen benachbarten Rotorscheiben ist jeweils eine in dem Gehäuse angeordnete Statorscheibe angeordnet. Zur Fixierung der Statorscheiben in dem Pumpengehäuse sind zwischen den Statorscheiben Statorringe angeordnet, die die Rotorscheiben umgeben. Ebenfalls können die einzelnen Statorscheiben auch mit den Statorringen verbunden oder einstückig mit diesen ausgebildet sein. Ein im Einlassbereich der Vakuumpumpe, d. h. saugseitig angeordnetes Lager weist ein inneres statisches mit dem Pumpengehäuse über ein Halte- oder Verbindungselement verbundenes inneres Lagerelement sowie eine mit dem Rotorelement verbundenes äußeres Lagerelement auf. Die Lagerelemente weisen insbesondere Magnete eines Magnetlagers auf. Zur Aufnahme des inneren Lagerelements ist ein üblicherweise zylindrisch ausgebildetes Aufnahmeelement vorgesehen. Das Aufnahmeelement ist über ein Lager-Halteelement in dem Gehäuse gehalten. Als Lager-Halteelement ist es bekannt, sternförmige Elemente vorzusehen. Diese weisen ein äußeres ringförmiges Halteelement auf, das in dem Pumpengehäuse fixiert ist. Von dem äußeren Halteelement erstrecken sich Stege radial nach innen und sind mit dem zylindrischen Aufnahmeelement verbunden. Derartige Lager-Halteelemente, insbesondere die Stege derartiger Lager-Halteelemente sind in dem Strömungsquerschnitt des Pumpeneinlasses angeordnet. Durch die Stege wird die Strömung gestört, so dass strömungstechnische Verluste, d. h. Leitwertverluste auftreten. Des Weiteren ist es erforderlich, für Pumpen mit unterschiedlichen Flanschquerschnitten am Einlass unterschiedliche Lager-Halteelemente vorzusehen.Vacuum pumps, such as turbomolecular pumps, have a rotor shaft mounted in a pump housing. The bearing of the rotor shaft takes place via rolling and / or magnetic bearings. The rotor shaft carries a rotor, which has in particular in turbomolecular pumps more rotor disks. Between adjacent rotor disks each arranged in the housing stator is arranged. To fix the stator disks in the pump housing, stator rings are arranged between the stator disks and surround the rotor disks. Likewise, the individual stator disks can also be connected to the stator rings or formed integrally therewith. A in the inlet area of the vacuum pump, d. H. arranged on the suction side bearing has an inner static with the pump housing via a holding or connecting element connected inner bearing element and an outer bearing element connected to the rotor element. The bearing elements have in particular magnets of a magnetic bearing. For receiving the inner bearing element, a usually cylindrically shaped receiving element is provided. The receiving element is held in the housing via a bearing holding element. As a bearing-holding element, it is known to provide star-shaped elements. These have an outer annular retaining element which is fixed in the pump housing. From the outer support member webs extend radially inwardly and are connected to the cylindrical receiving element. Such bearing-holding elements, in particular the webs of such bearing-holding elements are arranged in the flow cross-section of the pump inlet. By the webs, the flow is disturbed, so that fluidic losses, d. H. Conductance losses occur. Furthermore, it is necessary to provide different bearing support elements for pumps with different flange cross sections at the inlet.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Lager-Halteelement zu schaffen, mit dem die Leitwertverluste verringert werden können. Ferner ist es Aufgabe der Erfindung eine entsprechende Vakuumpumpe zu schaffen.The object of the invention is to provide a bearing-holding element with which the conductance losses can be reduced. It is another object of the invention to provide a corresponding vacuum pump.

Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch ein Lager-Halteelement gemäß Anspruch 1 bzw. eine Vakuumpumpe mit einem derartigen Lager-Halteelement gemäß Anspruch 10.The object is achieved by a bearing-holding element according to claim 1 and a vacuum pump with such a bearing-holding element according to claim 10.

Das erfindungsgemäße Lager-Halteelement dient zur Aufnahme eines Lagerelements, insbesondere eines Lagerelements eines im saugseitigen Bereich einer Vakuumpumpe angeordneten Magnetlagers. Mit Hilfe des Lagerelements erfolgt ein Lagern einer Rotorwelle in einem Pumpengehäuse. Das Lager-Halteelement weist ein äußeres Halteelement auf, das in einem Pumpengehäuse angeordnet wird. Ferner weist das Lager-Halteelement ein Aufnahmeelement zur Aufnahme des Lagerelements, d. h. insbesondere eines inneren Lagerelements eines saugseitig in der Vakuumpumpe angeordneten Magnetlagers auf. Das äußere Halteelement ist mit dem Aufnahmeelement über mehrere insbesondere drei Stege verbunden, wobei die Stege vorzugsweise sternförmig angeordnet, insbesondere gleichmäßig angeordnet sind. Zur Verringerung der Leitwertverluste sind die Stege erfindungsgemäß ausgestaltet. Hierbei ist es beispielsweise möglich, dass die Stege schräg verlaufen, d. h. dass die Stege in Strömungsrichtung bzw. in Längsrichtung der Rotorwelle bzw. in Richtung einer Längsachse eines Aufnahmeelements verlaufen. In montiertem Zustand verlaufen die Stege schräg in Richtung des Pumpeninneren. Besonders bevorzugt ist es, dass die Stege abgewinkelt bzw. gekröpft ausgebildet sind. Die Abwinkelung bzw. Kröpfung der Stege erfolgt hierbei derart, dass der gekröpfte Stegteil in Strömungsrichtung bzw. in Richtung der Längsachse des Aufnahmeteils gekröpft bzw. abgewinkelt ist. Hierdurch kann eine erhebliche Verringerung der Leitwertverluste erzielt werden.The bearing support element according to the invention serves to receive a bearing element, in particular a bearing element of a magnetic bearing arranged in the suction-side region of a vacuum pump. With the help of the bearing element is a bearing of a rotor shaft in a pump housing. The bearing-holding element has an outer holding element, which is arranged in a pump housing. Furthermore, the bearing-holding element has a receiving element for receiving the bearing element, d. H. in particular an inner bearing element of a suction side arranged in the vacuum pump magnetic bearing. The outer holding element is connected to the receiving element via a plurality of in particular three webs, wherein the webs are preferably arranged in a star shape, in particular uniformly arranged. To reduce the Leitwertverluste the webs are designed according to the invention. It is possible, for example, that the webs are inclined, d. H. the webs run in the flow direction or in the longitudinal direction of the rotor shaft or in the direction of a longitudinal axis of a receiving element. In the assembled state, the webs run obliquely in the direction of the pump interior. It is particularly preferred that the webs are angled or cranked. The angling or bending of the webs takes place here in such a way that the bent web part is bent or angled in the flow direction or in the direction of the longitudinal axis of the receiving part. As a result, a significant reduction in conductance losses can be achieved.

Vorzugsweise weisen die Stege ein inneres Stegteil auf, das im Wesentlichen zu der Längsachse des Aufnahmeelements senkrecht verläuft. Die Längsachse des Aufnahmeelements, das das Lagerelement trägt, verläuft in eingebautem Zustand parallel zur Strömungsrichtung bzw. parallel zur Längsachse der Rotorwelle. Insbesondere fällt die Längsachse des Aufnahmeelements mit der Längsachse der Rotorwelle zusammen.Preferably, the webs on an inner web portion which is perpendicular to the longitudinal axis of the receiving element substantially. The longitudinal axis of the receiving element, which carries the bearing element extends in the installed state parallel to the flow direction or parallel to the longitudinal axis of the rotor shaft. In particular, the longitudinal axis of the receiving element coincides with the longitudinal axis of the rotor shaft.

Ferner ist es bevorzugt, dass die inneren Stegteile insbesondere unmittelbar mit dem Aufnahmeelement verbunden, insbesondere einstückig ausgebildet sind.Furthermore, it is preferred that the inner web portions are in particular directly connected to the receiving element, in particular integrally formed.

Bei einer weiteren bevorzugten Ausführungsform weisen die Stege äußere Stegteile auf. Die äußeren Stegteile schließen sich vorzugsweise unmittelbar an die inneren Stegteie an und sind besonders bevorzugt einstückig mit diesen ausgebildet. Des Weiteren ist es bevorzugt, dass die äußeren Stegteile mit dem äußeren Haltelement verbunden oder ebenfalls einstückig mit diesem ausgebildet sind. Die äußeren Stegteile bilden in dieser bevorzugten Ausführungsform vorzugsweise den abgewinkelten bzw. gekröpften Teil der Stege aus. Bezogen auf die Längsachse des Aufnahmeelements weisen die äußeren Stegteile einen Winkel von weniger als 90°, insbesondere weniger als 50° auf. Durch diese Abwinkelung kann eine erhebliche Verringerung der Leitwertverluste erzielt werden. Des Weiteren ist es bevorzugt, dass sich die äußeren Stegteile in Richtung des äußeren Halteelements verjüngen. Auch hierdurch kann eine Verringerung der Leitwertverluste erzielt werden.In a further preferred embodiment, the webs on outer web parts. The outer web parts preferably directly adjoin the inner web part and are particularly preferably formed integrally therewith. Furthermore, it is preferred that the outer web parts are connected to the outer holding element or also formed integrally therewith. In this preferred embodiment, the outer web parts preferably form the angled or bent part of the webs. Relative to the longitudinal axis of the receiving element the outer web portions at an angle of less than 90 °, in particular less than 50 °. By this bend, a significant reduction in conductance losses can be achieved. Furthermore, it is preferred that the outer web portions taper in the direction of the outer holding element. This also makes it possible to achieve a reduction in the conductance losses.

Das äußere Halteelement ist vorzugsweise ringförmig ausgebildet und in montiertem Zustand, insbesondere außerhalb des Strömungsbereichs angeordnet. Durch den Pumpeneinlass einströmendes Medium wird somit in seiner Strömung durch das äußere Halteelement nicht beeinträchtigt.The outer holding element is preferably annular and arranged in the assembled state, in particular outside the flow region. Medium flowing in through the pump inlet is thus not impaired in its flow through the outer holding element.

Ferner betrifft die Erfindung eine Vakuumpumpe, insbesondere eine Turbomolekularpumpe mit einer in einem Pumpengehäuse angeordneten Rotorwelle. Die Rotorwelle ist in dem Pumpengehäuse über Lager gelagert, wobei üblicherweise ein saugseitiges und ein druckseitiges Lager vorgesehen sind. Bevorzugt ist es hierbei, dass das saugseitige Lager als Magnetlager ausgebildet ist. Zumindest eines der Lagerelemente der Lager, insbesondere das innere Lagerelement des saugseitigen Lagers ist erfindungsgemäß von einem Lager-Halteelement wie vorstehen beschrieben, gehalten.Furthermore, the invention relates to a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump with a rotor shaft arranged in a pump housing. The rotor shaft is mounted in the pump housing via bearings, usually a suction-side and a pressure-side bearing are provided. It is preferred here that the suction-side bearing is designed as a magnetic bearing. At least one of the bearing elements of the bearing, in particular the inner bearing element of the suction-side bearing according to the invention of a bearing-holding element as described above, held.

In besonders bevorzugter Ausführungsform trägt die Rotorwelle einen mehrere Rotorscheiben aufweisenden Rotor, insbesondere einen Rotor einer Turbomolekularpumpe. Zwischen benachbarten Rotorscheiben, sind Statorscheiben angeordnet. Die Statorscheiben sind in dem Pumpengehäuse angeordnet und in diesem insbesondere über zwischen den Rotorscheiben angeordnete Statorringe fixiert. Erfindungsgemäß ist bei dieser besonders bevorzugten Ausführungsform das äußere Halteelement des Lager-Halteelements derart in dem Pumpengehäuse angeordnet, dass das äußere Haltelement einen Statorring ausbildet. Insbesondere bildet das äußere Halteelement den in Strömungsrichtung ersten Statorring aus. Dies hat den wesentlichen Vorteil, dass das äußere Halteelement einerseits außerhalb des Strömungsquerschnitts angeordnet werden kann und somit die Strömung des zu pumpenden Mediums nicht beeinträchtigt. Ferner weist das äußere Halteelement eine Zusatzfunktion auf, in dem es einen Statorring ausbildet.In a particularly preferred embodiment, the rotor shaft carries a rotor having a plurality of rotor disks, in particular a rotor of a turbomolecular pump. Between adjacent rotor disks, stator disks are arranged. The stator disks are arranged in the pump housing and fixed in this in particular via arranged between the rotor disks stator rings. According to the invention, in this particularly preferred embodiment, the outer holding element of the bearing holding element is arranged in the pump housing such that the outer holding element forms a stator ring. In particular, the outer holding element forms the first stator ring in the flow direction. This has the significant advantage that the outer holding element can be arranged on the one hand outside the flow cross section and thus does not affect the flow of the medium to be pumped. Furthermore, the outer holding element has an additional function in which it forms a stator ring.

Diese Doppelfunktion des äußeren Halteelements ist insbesondere unabhängig von der Ausgestaltung der Stege. Eine Vakuumpumpe mit einem Lager-Halteelement, dessen äußeres insbesondere ringförmig ausgebildetes Halteelement zusätzlich als Statorring dient, stellt somit eine unabhängig von der Ausgestaltung der Stege selbständige Erfindung dar.This dual function of the outer holding element is in particular independent of the configuration of the webs. A vacuum pump with a bearing-holding element whose outer, in particular ring-shaped holding element additionally serves as a stator ring, thus represents an independent of the configuration of the webs independent invention.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand einer bevorzugten Ausführungsform unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen näher erläutert.The invention will be explained in more detail with reference to a preferred embodiment with reference to the accompanying drawings.

Es zeigen:Show it:

1 eine schematische perspektivische Ansicht eines Lager-Halteelements in bevorzugter Ausführungsform, 1 a schematic perspective view of a bearing-holding element in a preferred embodiment,

2 eine schematische Schnittansicht eines Einlassbereichs einer Turbomolekularpumpe einer ersten Ausführungsform und 2 a schematic sectional view of an inlet portion of a turbomolecular pump of a first embodiment and

3 eine schematische Schnittansicht eines Einlassbereichs einer Turbomolekularpumpe einer zweiten Ausführungsform. 3 a schematic sectional view of an inlet portion of a turbomolecular pump of a second embodiment.

Die in 1 dargestellte bevorzugte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Lager-Halteelements weist ein ringförmig ausgebildetes äußeres Halteelement 10 auf. Mit dem äußeren Halteelement 10 ist über drei Stege 12 ein zylindrisch ausgebildetes Aufnahmeelement verbunden. Das zylindrische Aufnahmeelement 14 dient zur Aufnahme eines inneren Lagerelements, bei dem es sich im dargestellten Ausführungsbeispiel um ein inneres Lagerelement eines saugseitigen Magnetlagers handelt. Die im dargestellten Ausführungsbeispiel drei Stege 12 weisen jeweils ein inneres Stegteil 16 auf, das einstückig mit einem äußeren Stegteil 18 verbunden ist. Die äußeren Stegteile 18 sind gekröpft bzw. in Richtung des äußeren Halteelements 10 abgewinkelt ausgebildet.In the 1 illustrated preferred embodiment of a bearing support member according to the invention has an annular outer holding element formed 10 on. With the outer retaining element 10 is over three jetties 12 a cylindrically shaped receiving element connected. The cylindrical receiving element 14 serves to receive an inner bearing element, which is an inner bearing element of a suction-side magnetic bearing in the illustrated embodiment. In the illustrated embodiment, three webs 12 each have an inner web part 16 on, in one piece with an outer web part 18 connected is. The outer web parts 18 are bent or in the direction of the outer holding element 10 formed angled.

In 2 ist eine erste bevorzugte Ausführungsform einer Vakuumpumpe dargestellt, in der ein Lager-Halteelement, wie in 1 dargestellt, eingebaut ist. Die Vakuumpumpe weist ein Pumpengehäuse 20 auf. Mit dem Pumpengehäuse 20 ist ein Einlassflansch 22 verbunden bzw. einstückig ausgebildet. Über den Einlassflansch 22 erfolgt ein Verbinden z. B. mit dem Flansch einer zu evakuierenden Kammer einer Rohrleitung oder dergleichen. Über einen Einlassquerschnitt 24 erfolgt somit das Ansaugen des zu fördernden Mediums. Innerhalb des Gehäuses 20 ist eine Rotorwelle 26 angeordnet, wobei mit der Rotorwelle 26 im dargestellten Ausführungsbeispiel eine Hülse 28 verbunden ist, die einzelne scheibenförmig ausgebildete Rotorscheiben 30 zur Ausbildung eines Pumpenrotors trägt. Zwischen den Rotorscheiben 30 sind Statorscheiben 32 angeordnet. Die Statorscheiben 32 sind über jeweils zwischen benachbarten Statorscheiben 32 angeordnete Statorringe 34 im Gehäuse angeordnet. Die Vakuumpumpe fördert über den Einlassquerschnitt 24 das zu fördernde Medium in Richtung eines Pfeils 36 zu einem nicht dargestellten Pumpenauslass.In 2 a first preferred embodiment of a vacuum pump is shown, in which a bearing-holding element, as in 1 shown, is installed. The vacuum pump has a pump housing 20 on. With the pump housing 20 is an inlet flange 22 connected or integrally formed. Over the inlet flange 22 a connection z. B. with the flange of a chamber to be evacuated a pipeline or the like. Via an inlet cross-section 24 Thus, the suction of the medium to be delivered takes place. Inside the case 20 is a rotor shaft 26 arranged, with the rotor shaft 26 in the illustrated embodiment, a sleeve 28 is connected, the individual disk-shaped rotor discs 30 contributes to the formation of a pump rotor. Between the rotor disks 30 are stator discs 32 arranged. The stator discs 32 are each between adjacent stator disks 32 arranged stator rings 34 arranged in the housing. The vacuum pump delivers via the inlet cross section 24 the medium to be delivered in the direction of an arrow 36 to a pump outlet, not shown.

Das Lager-Halteelement ist derart in dem Pumpengehäuse 20 angeordnet, dass das äußere, insbesondere ringförmig ausgebildete Halteelement 10 entsprechend eines Statorrings 34 in dem Gehäuse angeordnet und fixiert ist. Das äußere Halteelement 10 und der benachbarte Statorring 34 fixieren somit eine Statorscheibe 35. Ausgehend von dem äußeren Haltelement 10 verlaufen die äußeren Stegteile 18 zur Längsachse 38 des Rotors 26 bzw. zur Längsache 38 des Aufnahmeelements 14 in einem Winkel α von ca. 40° bis 50°. Insbesondere ist der Winkel zumindest < 90° und vorzugsweise < 50°.The bearing support member is so in the pump housing 20 arranged that the outer, in particular ring-shaped holding element 10 according to a stator ring 34 is arranged and fixed in the housing. The outer holding element 10 and the adjacent stator ring 34 thus fix a stator disc 35 , Starting from the outer holding element 10 run the outer web parts 18 to the longitudinal axis 38 of the rotor 26 or to longitudinal axis 38 of the receiving element 14 at an angle α of about 40 ° to 50 °. In particular, the angle is at least <90 ° and preferably <50 °.

Der innere Stegteil 16 verläuft im Wesentlichen in einem Winkel von 90° zu der Längsachse 38.The inner bridge part 16 is substantially at an angle of 90 ° to the longitudinal axis 38 ,

Das zylindrisch ausgebildete Aufnahmeteil 14 dient zur Aufnahme eines inneren Lagerelements 40, wobei im dargestellten Ausführungsbeispiel schematisch die einzelnen Magnete des als Magnetlager ausgebildeten Lagerelements 40 dargestellt sind. Ferner weist das Aufnahmeelement 14 einen zylindrischen Hohlraum auf, in den ein Zapfen 42 des Rotors 26 ragt und in diesem über ein Lager 44 gelagert ist. Bei diesem Lager handelt es sich um ein Fanglager.The cylindrically shaped receiving part 14 serves to receive an inner bearing element 40 , wherein in the illustrated embodiment schematically the individual magnets of the bearing element designed as a magnetic bearing 40 are shown. Furthermore, the receiving element 14 a cylindrical cavity into which a pin 42 of the rotor 26 sticks out and in this over a camp 44 is stored. This bearing is a safety bearing.

Äußere Lagerelemente 46 des Lagers umgeben die inneren Lagerelement 40 und sind mit der Rotorwelle 26 verbunden.Outer bearing elements 46 of the bearing surround the inner bearing element 40 and are with the rotor shaft 26 connected.

Aufgrund der gekröpften bzw. gewinkelten Ausgestaltung der Stege 12 und des Lager-Halteelements kann eine Verringerung der Leitwertverluste erzielt werden. Des Weiteren ist es erfindungsgemäß vorteilhaft, dass das äußere, insbesondere ringförmig ausgebildete Halteelement 10 zusätzlich als Statorring dient. Dies hat den Vorteil, dass ein Statorring entfallen kann und außerdem, dass das äußere Haltelement die Strömung des zu fördernden Mediums nicht beeinträchtigt und insofern nicht zu Leitwertverlusten führt.Due to the cranked or angled design of the webs 12 and the bearing-holding member, a reduction in the Leitwertverluste can be achieved. Furthermore, it is advantageous according to the invention that the outer, in particular ring-shaped holding element 10 additionally serves as a stator ring. This has the advantage that a stator ring can be omitted and also that the outer holding element does not affect the flow of the medium to be pumped and thus does not lead to conductivity losses.

Bei der in 3 dargestellten weiteren bevorzugten Ausführungsform einer Vakuumpumpe sind ähnliche Bauteile mit demselben Bezugszeichen gekennzeichnet. Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Aufbau der Rotorscheiben 30, der Statorscheiben 32 sowie der Statorringe 34 identisch. Auch die Ausgestaltung der Rotorwelle 26 und die Anordnung der Lagerelemente 40, 46 ist identisch. Insbesondere ist auch dasselbe Lager-Halteelement vorgesehen. Der einzige Unterschied der in 3 dargestellten Vakuumpumpe zu der in 2 dargestellten Vakuumpumpe besteht darin, dass ein im Durchmesser größerer Anschlussflansch 48 vorgesehen ist. Der Anschlussflansch 48 weist einen deutlich größeren Einlassquerschnitt 50 als der Anschlussflansch 22 auf. Aufgrund der erfindungsgemäßen Ausgestaltung des Lager-Halteelements und insbesondere der Anordnung des äußeren Haltelements 10 als Statorring ist es möglich trotz des größeren Flanschdurchmessers dasselbe Lager-Halteelement vorzusehen. Hierdurch können die Kosten in der Produktion deutlich verringert werden, da für unterschiedliche Pumpenmodelle dasselbe Lager-Halteelement eingesetzt werden kann.At the in 3 shown further preferred embodiment of a vacuum pump similar components are identified by the same reference numeral. In the illustrated embodiment, the structure of the rotor discs 30 , the stator discs 32 as well as the stator rings 34 identical. Also the design of the rotor shaft 26 and the arrangement of the bearing elements 40 . 46 is equal. In particular, the same bearing-holding element is provided. The only difference in 3 shown vacuum pump to the in 2 illustrated vacuum pump is that a larger diameter in the connecting flange 48 is provided. The connection flange 48 has a much larger inlet cross-section 50 as the connection flange 22 on. Due to the inventive design of the bearing-holding element and in particular the arrangement of the outer holding element 10 As a stator, it is possible to provide the same bearing-holding element despite the larger flange diameter. As a result, the costs in production can be significantly reduced because the same bearing support element can be used for different pump models.

Claims (11)

Lager-Halteelement für ein Lagerelement (40) einer Rotorwelle (26) einer Vakuumpumpe, insbesondere einer Turbomolekularpumpe, mit einem äußeren in einem Pumpengehäuse (20) anzuordnenden Halteelement (10), einem Aufnahmeelement (14) zur Aufnahme des Lagerelements (40) und das äußere Haltelement (10) mit dem Aufnahmeelement (14) verbindenden Stegen (12), wobei die Stege (12) gewinkelt bzw. gekröpft ausgebildet sind.Bearing holding element for a bearing element ( 40 ) a rotor shaft ( 26 ) a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump, with an outer in a pump housing ( 20 ) to be arranged ( 10 ), a receiving element ( 14 ) for receiving the bearing element ( 40 ) and the outer retaining element ( 10 ) with the receiving element ( 14 ) connecting webs ( 12 ), whereby the webs ( 12 ) are formed angled or cranked. Lager-Halteelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Kröpfung in Strömungsrichtung (36) erfolgt.Bearing holding element according to claim 1, characterized in that the offset in the flow direction ( 36 ) he follows. Lager-Halteelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass ein inneres Stegteil (16) der Stege (12) im Wesentlichen senkrecht zu einer Längsachse (38) des Aufnahmeelements (14) verläuft.Bearing holding element according to claim 1 or 2, characterized in that an inner web part ( 16 ) of the webs ( 12 ) substantially perpendicular to a longitudinal axis ( 38 ) of the receiving element ( 14 ) runs. Lager-Halteelement nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die inneren Stegteile (16) mit dem Aufnahmeelement (14) verbunden sind.Bearing holding element according to claim 3, characterized in that the inner web parts ( 16 ) with the receiving element ( 14 ) are connected. Lager-Halteelement nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass ein äußeres Stegteil (18) zur Längsachse (38) des Aufnahmeelements (14) einen Winkel < 90°, insbesondere einen Winkel < 50° aufweist.Bearing holding element according to one of claims 1 to 4, characterized in that an outer web part ( 18 ) to the longitudinal axis ( 38 ) of the receiving element ( 14 ) has an angle <90 °, in particular an angle <50 °. Lager-Halteelement nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass das äußere Stegteil (18) mit dem inneren Stegteil (16) und/oder dem äußeren Halteelement (10) verbunden, insbesondere einstückig ausgebildet ist.Bearing holding element according to claim 5, characterized in that the outer web part ( 18 ) with the inner web part ( 16 ) and / or the outer retaining element ( 10 ), in particular integrally formed. Lager-Halteelement nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass sich das äußere Stegteil (18) in Richtung des Halteelements (10) verjüngt.Bearing holding element according to claim 5 or 6, characterized in that the outer web part ( 18 ) in the direction of the retaining element ( 10 ) rejuvenated. Lager-Halteelement nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das äußere Halteelement (10) ringförmig ausgebildet ist.Bearing holding element according to one of claims 1 to 7, characterized in that the outer holding element ( 10 ) is annular. Lager-Halteelement nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das äußere Halteelement (10) in montiertem Zustand außerhalb des Strömungsbereichs der Vakuumpumpe angeordnet ist.Bearing holding element according to one of claims 1 to 8, characterized in that the outer holding element ( 10 ) in the assembled state outside the flow region of the vacuum pump is arranged. Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, mit einer in einem Pumpengehäuse (20) angeordneten Rotorwelle (26) und die Rotorwelle (26) tragende Lager (40, 44), wobei zumindest ein Lagerelement (40) von einem Lager-Halteelement nach einem der Ansprüche 1 bis 9 getragen ist.Vacuum pump, in particular turbomolecular pump, with one in a pump housing ( 20 ) arranged rotor shaft ( 26 ) and the rotor shaft ( 26 ) bearing bearings ( 40 . 44 ), wherein at least one bearing element ( 40 ) is supported by a bearing support member according to any one of claims 1 to 9. Vakuumpumpe nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Rotorwelle (26) einen mehrere Rotorscheiben (30) aufweisenden Rotor trägt, wobei zwischen benachbarten Rotorscheiben (30) Statorscheiben (32) angeordnet sind, zwischen den Statorscheiben (32) Statorringe (34) zur Fixierung der Statorscheiben (32) angeordnet sind und dass insbesondere ringförmig ausgebildete äußere Halteelement (10) einen Statorring ausbildet.Vacuum pump according to claim 10, characterized in that the rotor shaft ( 26 ) a plurality of rotor disks ( 30 ) bearing rotor, wherein between adjacent rotor disks ( 30 ) Stator discs ( 32 ) are arranged between the stator disks ( 32 ) Stator rings ( 34 ) for fixing the stator discs ( 32 ) are arranged and that in particular ring-shaped outer retaining element ( 10 ) forms a stator ring.
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