DE102015104438A1

DE102015104438A1 - vacuum system

Info

Publication number: DE102015104438A1
Application number: DE102015104438.2A
Authority: DE
Inventors: Michael Schweighöfer; Robert Watz
Original assignee: Pfeiffer Vacuum GmbH
Current assignee: Pfeiffer Vacuum GmbH
Priority date: 2015-03-24
Filing date: 2015-03-24
Publication date: 2016-09-29
Anticipated expiration: 2035-03-25
Also published as: DE102015104438B4

Abstract

Ein Vakuumsystem mit einer Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, umfasst wenigstens eine Rohrleitung, insbesondere eine Einlass- oder Auslassrohrleitung, mit einem Ende, an welchem eine um eine Längsachse der Rohrleitung umlaufende, in einer Ebene liegende Stirnseite ausgebildet ist, wobei ein Gegenflansch eines Vakuumgeräts an der Stirnseite angeordnet werden kann, insbesondere mit wenigstens einem dazwischen liegenden Element, wie etwa einer Dichtung, wobei ein Flansch um die Rohrleitung herum angeordnet ist, der mittels Schrauben mit dem Gegenflansch zur Herstellung einer Flansch-Gegenflansch-Verbindung verbindbar ist, und wobei der Flansch in Richtung der Längsachse versetzt zu der durch die Stirnseite verlaufenden Ebene an der Rohrleitung angeordnet ist.A vacuum system with a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump, comprises at least one pipeline, in particular an inlet or outlet pipeline, with one end, on which an end face lying in a plane around a longitudinal axis of the pipeline is formed, wherein a counter flange of a vacuum device at the Front end can be arranged, in particular with at least one intermediate element, such as a seal, wherein a flange is arranged around the pipe, which is connectable by means of screws with the mating flange for producing a flange counter flange connection, and wherein the flange Direction of the longitudinal axis offset from the plane passing through the front plane on the pipe is arranged.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Vakuumsystem mit einer Vakuumpumpe, insbesondere einer Turbomolekularpumpe. The present invention relates to a vacuum system with a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump.

Aus dem Stand der Technik ist es bekannt, eine Vakuumpumpe und ein Vakuumgerät, wie beispielsweise einen Rezipienten, mittels einer Flansch-Gegenflansch-Verbindung fluidisch miteinander zu koppeln, um z.B. das Vakuumgerät über die Vakuumpumpe evakuieren zu können. Bei einer Vakuumpumpe können im Falle einer internen Beschädigung bzw. eines internen Crashs der Vakuumpumpe große Energien frei werden. Als Beispiel sei hier eine Turbomolekularpumpe genannt, bei der während des Pumpenbetriebs die schnell drehenden Rotorschaufeln mit den Statorschaufeln einer turbomolekularen Pumpstufe kollidieren können. Aufgrund der sehr schnellen Drehbewegung der Rotorschaufeln werden im Kollisionsfall sehr große Energien freigesetzt, die im Bereich der Flansch-Gegenflansch-Verbindung zu einer Verformung des vakuumpumpenseitigen Flanschbereiches führen können. Durch diese Verformung kann insbesondere eine Ovalisierung des den Flansch aufweisenden, im Normalfall im Querschnitt kreisförmigen Rohrleitungsabschnitt der Vakuumpumpe erfolgen. Außerdem kann ein Drehmoment auf das Pumpengehäuse erzeugt werden, das eine in Umfangsrichtung des Rohrleitungsabschnitts gerichtete Drehbewegung des Rohrleitungsabschnitts relativ zum Gegenflansch bewirkt. It is known from the prior art to fluidly couple a vacuum pump and a vacuum device, such as a recipient, to one another by means of a flange mating flange connection, e.g. to be able to evacuate the vacuum device via the vacuum pump. With a vacuum pump, large amounts of energy can be released in the event of internal damage or internal crash of the vacuum pump. An example of this is a turbomolecular pump, in which the rapidly rotating rotor blades can collide with the stator blades of a turbomolecular pumping stage during pump operation. Due to the very fast rotational movement of the rotor blades very large energies are released in the event of a collision, which can lead to a deformation of the vacuum pump side flange in the region of the flange counter flange connection. By this deformation, in particular, an ovalization of the flange having, in the normal case in cross-section circular pipe section of the vacuum pump can be carried out. In addition, a torque can be generated on the pump housing, which causes a directed in the circumferential direction of the pipe section rotational movement of the pipe section relative to the counter flange.

Bei herkömmlichen Flansch-Gegenflansch-Verbindungen liegen sich der Flansch und der Gegenflansch unmittelbar gegenüber. Im Falle einer Ovalisierung oder Verdrehung des pumpenseitigen Rohrleitungsabschnitts, an dem der Flansch angeordnet ist, kann insbesondere das Problem auftreten, dass die Schrauben, welche zur Fixierung des Flanschs am Gegenflansch dienen, abgeschert werden. In conventional flange counter flange connections, the flange and the counter flange are directly opposite. In the case of ovalization or rotation of the pump-side pipe section on which the flange is arranged, in particular the problem may arise that the screws which serve to fix the flange on the mating flange are sheared off.

Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Vakuumsystem mit einer Vakuumpumpe bereitzustellen, bei dem zwischen der Vakuumpumpe und einem Vakuumgerät eine Flansch-Gegenflansch-Verbindung herstellbar ist, welche – insbesondere im Falle eines Crashs der Vakuumpumpe – deutlich unempfindlicher bezüglich einer Abscherung der zur Herstellung bzw. Fixierung der Flansch-Gegenflansch-Verbindung verwendeten Schrauben ist. The present invention is therefore based on the object to provide a vacuum system with a vacuum pump, in which between the vacuum pump and a vacuum device, a flange-flange connection can be produced, which - especially in the case of a crash of the vacuum pump - significantly less sensitive to a shearing of the Manufacturing or fixing the flange counter flange connection used screws.

Die Aufgabe wird durch ein Vakuumsystem mit den Merkmalen des Anspruchs 1 oder durch ein Vakuumsystem mit den Merkmalen des Anspruchs 11 oder durch ein Vakuumsystem mit den Merkmalen des Anspruchs 16 gelöst. Bevorzugte Ausführungsformen und Weiterbildungen der Erfindung sind in den abhängigen Ansprüchen beschrieben. The object is achieved by a vacuum system having the features of claim 1 or by a vacuum system having the features of claim 11 or by a vacuum system having the features of claim 16. Preferred embodiments and further developments of the invention are described in the dependent claims.

Ein erfindungsgemäßes Vakuumsystem umfasst eine Vakuumpumpe, insbesondere eine Turbomolekularpumpe, mit wenigstens einer Rohrleitung, insbesondere einer Einlass- oder Auslassrohrleitung, wobei die Rohrleitung ein Ende aufweist, an welchem eine um eine Längsachse der Rohrleitung umlaufende, in einer Ebene liegende Stirnseite ausgebildet ist, wobei ein Gegenflansch eines Vakuumgeräts an der Stirnseite angeordnet werden kann, insbesondere mit wenigstens einem dazwischenliegenden Element, wie etwa einer Dichtung, und wobei ein Flansch um die Rohrleitung herum angeordnet ist, der mittels Schrauben mit dem Gegenflansch zur Herstellung einer Flansch-Gegenflansch-Verbindung verbindbar ist, und wobei der Flansch in Richtung der Längsachse versetzt zu der durch die Stirnseite verlaufenden Ebene an der Rohrleitung angeordnet ist. A vacuum system according to the invention comprises a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump, with at least one pipeline, in particular an inlet or outlet pipeline, the pipeline having an end on which an end face running around a longitudinal axis of the pipeline is formed, in one plane Counter flange of a vacuum device can be arranged on the front side, in particular with at least one intermediate element, such as a seal, and wherein a flange is arranged around the pipe, which is connectable by means of screws with the mating flange for producing a flange counter flange connection, and wherein the flange is arranged in the direction of the longitudinal axis offset from the plane passing through the end face on the pipe.

Der Flansch und der Gegenflansch liegen sich bei an der Vakuumpumpe angeschlossenem Vakuumgerät somit nicht direkt gegenüber. Da der Flansch in Richtung der Längsachse versetzt zu der durch die Stirnseite verlaufenden Ebene an der Rohrleitung angeordnet ist, ist zwischen dem Flansch und der Stirnseite ein sich in Längsrichtung der Rohrleitung erstreckender Endabschnitt der Rohrleitung vorhanden. Daher ergibt sich zwischen dem Flansch und dem Gegenflansch ein Freiraum. Durch diesen Freiraum erstrecken sich die zur Herstellung der Flansch-Gegenflansch-Verbindung verwendeten Schrauben bzw. die Schäfte der Schrauben. Dies hat den Vorteil, dass im Falle eines Crashs der Vakuumpumpe eine Ovalisierung und/oder Verdrehung der Rohrleitung gegenüber dem Gegenflansch des Vakuumgeräts von den Schrauben, insbesondere durch eine Verbiegung der Schrauben, aufgefangen und dadurch eine Abscherung der Schrauben verhindert werden kann. Zumindest kann durch die vorstehend genannte Maßnahme das Risiko einer Abscherung der Schrauben deutlich reduziert werden. The flange and the counter flange are therefore not directly opposite one another when the vacuum device is connected to the vacuum pump. Since the flange is arranged offset in the direction of the longitudinal axis to the plane passing through the end face on the pipe, between the flange and the end face extending in the longitudinal direction of the pipe end portion of the pipe is present. Therefore, there is a clearance between the flange and the mating flange. Through this space extending the screws used for the preparation of the flange-flange connection or the shafts of the screws. This has the advantage that in the event of a crash of the vacuum pump ovalization and / or rotation of the pipe relative to the counter flange of the vacuum device of the screws, in particular by bending the screws, collected and thereby shearing of the screws can be prevented. At least, the risk of shearing off the screws can be significantly reduced by the above-mentioned measure.

Vorzugsweise weist der Flansch in Richtung der Längsachse der Rohrleitung gesehen einen Abstand von mehr als 0,5 cm, 1 cm, 2 cm, 3 cm, 4 cm oder 5 cm zu der Ebene auf. Dadurch kann ein ausreichend großer Freiraum zwischen dem Flansch und dem Gegenflansch geschaffen werden, um insbesondere im Falle eines Crashs der Vakuumpumpe eine Abscherung der Schrauben, die zur Herstellung der Flansch-Gegenflansch-Verbindung eingesetzt sind, zu vermeiden. Preferably, the flange has a distance of more than 0.5 cm, 1 cm, 2 cm, 3 cm, 4 cm or 5 cm to the plane in the direction of the longitudinal axis of the pipeline. As a result, a sufficiently large clearance between the flange and the mating flange can be provided in order, in particular in the case of a crash of the vacuum pump, a shearing of the screws, which are used to make the flange-flange connection to avoid.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn der Flansch in Richtung der Längsachse gesehen einen Abstand zu der Ebene aufweist, der zumindest annähernd dem 1- bis 3-fachen, vorzugsweise dem 1,5- bis 2-fachen des Durchmessers entspricht, den die zur Herstellung der Flansch-Gegenflansch-Verbindung vorgesehenen Schrauben aufweisen. Der zwischen dem Flansch und dem Gegenflansch gebildete Freiraum ist somit ausreichend groß, so dass die Schrauben eine Ovalisierung bzw. eine Verdrehung der Rohrleitung relativ zum Gegenflansch auffangen können, ohne dabei abzuscheren. It is particularly advantageous if the flange seen in the direction of the longitudinal axis has a distance from the plane which corresponds at least approximately to 1 to 3 times, preferably 1.5 to 2 times the diameter that the for producing the Flange counter flange connection provided screws. The clearance formed between the flange and the mating flange is thus sufficiently large so that the screws can accommodate ovalization or twisting of the pipeline relative to the mating flange without shearing off.

Vorzugsweise ist am radial innenliegenden Ende der Stirnseite ein in Richtung der Längsachse aus der Stirnseite hervorstehender Zentriervorsprung zur Zentrierung des Flansches und des Gegenflansches relativ zueinander ausgebildet. Der Zentriervorsprung kann somit an der Stirnseite der Rohrleitung der Vakuumpumpe ausgebildet und daher gewissermaßen angewachsen sein. Ein separater Zentrierring oder ähnliches kann daher eingespart werden. Preferably, at the radially inner end of the end face in the direction of the longitudinal axis protruding from the end face centering projection for centering the flange and the counter flange is formed relative to each other. The centering projection can thus be formed on the end face of the pipeline of the vacuum pump and therefore to a certain extent grown. A separate centering ring or the like can therefore be saved.

Vorzugsweise läuft der Zentriervorsprung mit oder ohne Unterbrechungen um die Längsachse der Rohrleitung herum. Der Zentriervorsprung kann von der Grundform her zylinderförmig ausgestaltet sein. Preferably, the centering projection runs around the longitudinal axis of the pipeline with or without interruptions. The centering projection can be cylindrical in shape from the basic form.

In Umfangsrichtung des Flansches gesehen können mehrere versetzt zueinander angeordnete Ausnehmungen, insbesondere Bohrungen oder Nuten, ausgebildet sein. Durch jede Ausnehmung kann eine Schraube bzw. der Schaft einer Schraube zur Herstellung bzw. Fixierung der Flansch-Gegenflansch-Verbindung hindurchragen. Seen in the circumferential direction of the flange, a plurality of mutually offset recesses, in particular bores or grooves may be formed. Through each recess, a screw or the shank of a screw for producing or fixing the flange flange connection can protrude.

Bevorzugt weist jede Ausnehmung in Umfangsrichtung des Flansches gesehen eine Erstreckung auf, die wenigstens 1,5-mal, 2-mal oder 3-mal größer ist als der Durchmesser der zur Herstellung der Flansch-Gegenflansch-Verbindung vorgesehenen Schrauben. Bei einer Verdrehung des Flansches relativ zum Gegenflansch z.B. im Falle eines Crashs der Vakuumpumpe können sich somit die Schrauben in Umfangsrichtung des Flansches gesehen in den Ausnehmungen bewegen, wodurch eine Abscherung der Schrauben am Flansch vermieden werden kann. Preferably, each recess seen in the circumferential direction of the flange has an extension which is at least 1.5 times, 2 times or 3 times greater than the diameter of the screws provided for the preparation of the flange counter flange connection. In a rotation of the flange relative to the counter flange, for. in the event of a crash of the vacuum pump, the screws can thus move in the recesses in the circumferential direction of the flange, as a result of which shearing of the screws on the flange can be avoided.

Vorzugsweise ist ein Überwurfflansch vorgesehen, der von der Ebene der Stirnseite aus gesehen hinter dem Flansch um die Rohrleitung herum angeordnet ist oder angeordnet werden kann. Vom Gegenflansch aus gesehen hintergreift der Überwurfflansch den an der Rohrleitung vorgesehenen Flansch. Mittels Schrauben kann eine feste Verbindung zwischen dem Überwurfflansch und dem Gegenflansch bewerkstelligt werden, wodurch der Flansch sicher am Gegenflansch fixiert werden kann. Preferably, a coupling flange is provided which, viewed from the plane of the front side, is arranged behind the flange around the pipeline or can be arranged. Seen from the counter flange of the collar flange engages the provided on the pipe flange. By means of screws, a firm connection between the coupling flange and the mating flange can be accomplished, whereby the flange can be securely fixed to the mating flange.

Der Überwurfflansch kann einteilig oder aus wenigstens zwei, insbesondere teilringförmigen, Segmenten ausgebildet sein. Durch die zwei- oder mehrteilige Ausbildung des Überwurfflansches lässt sich dieser besonders einfach hinter dem Flansch um die Rohrleitung herum anordnen. Bei einer einteiligen Anordnung des Überwurfflansches ist es vorteilhaft, wenn zuerst der Überwurfflansch um die Rohrleitung herum angeordnet wird und anschließend der Flansch an der Rohrleitung festgelegt wird. The Überwurfflansch may be formed in one piece or at least two, in particular partially annular, segments. Due to the two- or multi-part design of Überwurfflansches this can be particularly easy to arrange behind the flange around the pipe around. In a one-piece arrangement of the Überwurfflansches, it is advantageous if first the Überwurfflansch is arranged around the pipe around and then the flange is fixed to the pipe.

Nach einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung weist der Überwurfflansch in Umfangsrichtung gesehen mehrere versetzt zueinander angeordnete, insbesondere fluchtend mit den Ausnehmungen des Flansches ausrichtbare, Öffnungen, insbesondere Bohrungen, auf. Durch eine jeweilige Öffnung im Überwurfflansch kann eine Schraube von der dem Gegenflansch abgewandten Seite des Überwurfflansches her eingeführt werden, so dass der Schaft der Schraube durch die Öffnung und durch die mit dieser ausgerichteten Ausnehmung des Flansches hindurchragt. Das vordere Ende der Schraube kann dann in eine am Gegenflansch vorgesehene Gewindebohrung eingeschraubt werden oder mittels einer Mutter am Gegenflansch fixiert werden. According to a preferred embodiment of the invention, the Überwurfflansch seen in the circumferential direction a plurality of mutually offset, in particular aligned with the recesses of the flange alignable, openings, in particular holes on. Through a respective opening in the coupling flange, a screw can be introduced from the side facing away from the mating flange of the coupling flange, so that the shank of the screw protrudes through the opening and through the aligned with this recess of the flange. The front end of the screw can then be screwed into a provided on the mating flange threaded hole or fixed by a nut on the flange.

Nach einer bevorzugten Weiterbildung der Erfindung sind am Flansch eine Zentriereinrichtung, insbesondere eine Bohrung, und am Überwurfflansch eine weitere Zentriereinrichtung, insbesondere eine weitere Bohrung, ausgebildet, wobei die beiden Zentriereinrichtungen konzentrisch zueinander ausrichtbar sind. According to a preferred embodiment of the invention, a centering device, in particular a bore, and the Überwurfflansch another centering device, in particular a further bore formed on the flange, wherein the two centering devices are concentric with each other aligned.

Dabei kann bei miteinander ausgerichteten Zentriereinrichtungen jeweils eine Öffnung des Überwurfflansches mit jeweils einer Ausnehmung des Flansches ausgerichtet sein. Durch die beiden Zentriereinrichtungen kann somit auf einfache Weise sichergestellt werden, dass bei Anordnung des Überwurfflansches an dem Flansch die Öffnungen im Überwurfflansch mit den Ausnehmungen im Flansch ausgerichtet sind. In this case, each aligned with centering an opening of the coupling flange each with a recess of the flange can be aligned. By means of the two centering devices it can thus be ensured in a simple manner that, when the coupling flange is arranged on the flange, the openings in the coupling flange are aligned with the recesses in the flange.

Bevorzugt sind bei miteinander ausgerichteten Zentriereinrichtungen jeweils eine Öffnung des Überwurfflansches und eine Ausnehmung des Flansches derart zueinander ausgerichtet, dass die Mittelachse der jeweiligen Öffnung in Umfangsrichtung gesehen zur Mitte der jeweiligen Ausnehmung versetzt ist. Im Falle eines Crashs kann sich der Schaft der Schraube in der jeweiligen Ausnehmung somit zu deren Mitte hin oder über diese hinaus in Umfangsrichtung bewegen. Eine Abscherung der Schraube kann somit verhindert werden. In the case of aligned centering devices, in each case an opening of the coupling flange and a recess of the flange are aligned with one another in such a way that the central axis of the respective opening is offset in the circumferential direction to the center of the respective recess. In the event of a crash, the shank of the screw in the respective recess can thus move in the circumferential direction toward its center or beyond it. A shearing of the screw can thus be prevented.

Die Erfindung betrifft auch ein Vakuumsystem mit einer Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, umfassend wenigstens eine Rohrleitung, insbesondere eine Einlass- oder Auslassrohrleitung, mit einem Ende, an welchem eine um eine Längsachse der Rohrleitung umlaufende Stirnseite ausgebildet ist, wobei an der Stirnseite ein Gegenflansch eines Vakuumgeräts anordenbar ist, insbesondere mit wenigstens einem dazwischenliegenden Element, wie etwa einer Dichtung, wobei ein am Ende der Rohrleitung liegender erster Rohrleitungsabschnitt, der sich insbesondere bis zur Stirnseite erstreckt, einen größeren Außendurchmesser aufweist als ein sich daran anschließender zweiter Rohrleitungsabschnitt, und mit einem Überwurfflansch, der um die Rohrleitung herum anordenbar und mittels Schrauben mit dem Gegenflansch zur Herstellung einer Flansch-Gegenflansch-Verbindung verbindbar ist, wobei, bei um die Rohrleitung herum angeordnetem Überwurfflansch, ein erster Abschnitt des Überwurfflanschs den ersten Rohrleitungsabschnitt umgibt und sich bevorzugt zumindest im Wesentlichen bis zu der Ebene der Stirnseite erstreckt, und wobei ein sich an den ersten Abschnitt anschließender zweiter Abschnitt des Überwurfflansches den zweiten Rohrleitungsabschnitt umgibt und den ersten Rohrleitungsabschnitt hintergreift, wobei der erste Abschnitt des Überwurfflansches derart ausgebildet ist, dass, bei um die Rohrleitung herum angeordnetem Überwurfflansch, zwischen dem ersten Rohrleitungsabschnitt und dem ersten Abschnitt des Überwurfflansches ein in Umfangsrichtung umlaufender, insbesondere radialer, erster Spalt vorhanden ist, und/oder wobei der zweite Abschnitt des Überwurfflansches derart ausgebildet ist, dass, bei um die Rohrleitung herum angeordnetem Überwurfflansch, zwischen dem zweiten Rohrleitungsabschnitt und dem zweiten Abschnitt des Überwurfflanschs ein in Umfangsrichtung umlaufender, insbesondere radialer, zweiter Spalt vorhanden ist. The invention also relates to a vacuum system with a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump, comprising at least one pipeline, in particular an inlet or outlet pipeline, with one end, on which an end face running around a longitudinal axis of the pipeline is formed, wherein on the front side Counter flange of a vacuum device can be arranged, in particular with at least one intermediate element, such as a seal, wherein a lying at the end of the pipe first pipe section, which extends in particular to the front side, has a larger outer diameter than an adjoining second pipe section, and with a Überwurfflansch which can be arranged around the pipe around and connectable by means of screws with the mating flange for producing a flange mating flange connection, wherein, with around arranged around the pipe union flange, a first portion of the coupling flange surrounds the first pipe section and preferably at least in Substantially extends to the plane of the end face, and wherein a subsequent to the first portion of the second Überwurfflansches the second pipe section surrounds and engages behind the first pipe section, wherein he ste portion of the collar flange is formed such that, with the arranged around the pipe around the collar flange, between the first pipe section and the first portion of the coupling flange a circumferentially circumferential, in particular radial, first gap is present, and / or wherein the second portion of the coupling flange is formed such that, with the delivery flange arranged around the pipeline, a circumferential gap, in particular a radial, second gap is present between the second pipeline section and the second section of the coupling flange.

Bei dem Vakuumsystem ist der Überwurfflansch somit derart ausgebildet, dass zwischen dem ersten Abschnitt des Überwurfflansches und/oder dem zweiten Abschnitt des Überwurfflansches und der Rohrleitung ein jeweiliger Spalt vorgesehen ist. Dadurch kann sich die Rohrleitung im Falle eines Crashs der Vakuumpumpe relativ zum Überwurfflansch zumindest geringfügig verformen, insbesondere ovalisieren oder verdrehen, ohne eine Abscherung der zwischen dem Gegenflansch und dem Überwurfflansch verlaufenden Schrauben zur Herstellung bzw. Fixierung der Flansch-Gegenflansch-Verbindung zu bewirken. In the vacuum system, the coupling flange is thus designed such that a respective gap is provided between the first section of the coupling flange and / or the second section of the coupling flange and the pipeline. As a result, in the event of a crash of the vacuum pump, the pipeline may at least be slightly deformed, in particular ovalized or twisted, relative to the coupling flange, without causing shearing of the screws extending between the counter flange and the coupling flange for producing or fixing the flange counterflange connection.

Nach einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung weist der erste Spalt und/oder der zweite Spalte in radialer Richtung gesehen eine Breite von zumindest 0,5 mm, 1 mm, 1,5 mm, 2 mm oder mehr als 2 mm auf. Dadurch kann ein ausreichend großer Freiraum zwischen der Rohrleitung und dem die Rohrleitung umgebenden Überwurfflansch geschaffen werden, so dass die Rohrleitung im Falle eines Crashs der Vakuumpumpe sich relativ zum Überwurfflansch verdrehen und/oder ovalisieren kann. According to a preferred embodiment of the invention, the first gap and / or the second column seen in the radial direction has a width of at least 0.5 mm, 1 mm, 1.5 mm, 2 mm or more than 2 mm. As a result, a sufficiently large space between the pipe and the surrounding the pipeline overspill flange can be created so that the pipe in case of a crash of the vacuum pump can rotate relative to the collar flange and / or ovalize.

Nach einer Ausgestaltung der Erfindung sind im ersten Abschnitt des Überwurfflanschs und im zweiten Abschnitt des Überwurfflanschs mehrere in Umfangsrichtung gesehen versetzt zueinander angeordnete und zumindest im Wesentlichen senkrecht zur Umfangsrichtung verlaufende, durchgehende Ausnehmungen, insbesondere Bohrungen, vorgesehen, in welchen die Schrauben zum Verbinden des Überwurfflanschs mit dem Gegenflansch einsteckbar sind. According to one embodiment of the invention, in the first section of the coupling flange and in the second section of the coupling flange a plurality of circumferentially offset from one another and at least substantially perpendicular to the circumferential direction, continuous recesses, in particular holes provided, in which the screws for connecting the union flange with the mating flange can be inserted.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn der erste Abschnitt eine radial innen liegende, dem ersten Rohrleitungsabschnitt zugewandte, insbesondere kreiszylinderförmig um den ersten Rohrleitungsabschnitt verlaufende, Innenwand aufweist, deren Durchmesser sich mit den Ausnehmungen schneidet. Herstellungstechnisch können die Ausnehmungen im ersten Rohrleitungsabschnitt von radial innen her somit z.B. freigedreht sein. Besonders bevorzugt schneidet sich der Durchmesser der Innenwand mit radial innenliegenden Rändern der Ausnehmungen oder mit radial außenliegenden Rändern der Ausnehmungen oder der Durchmesser der Innenwand liegt zwischen den radial innenliegenden Rändern und den radial außenliegenden Rändern. Die durch den ersten Rohrleitungsabschnitt verlaufenden Ausnehmungen zum Durchstecken der Schrauben sind somit zumindest bis zu ihren radial innenliegenden Rändern von radial innen her freigedreht. It when the first portion has a radially inner, the first pipe section facing, in particular circular cylindrical running around the first pipe section, the inner wall, whose diameter intersects with the recesses is particularly advantageous. From a manufacturing point of view, the recesses in the first section of the pipeline can thus be produced from the inside in radially, e.g. be turned free. Particularly preferably, the diameter of the inner wall intersects with radially inner edges of the recesses or with radially outer edges of the recesses or the diameter of the inner wall is between the radially inner edges and the radially outer edges. The extending through the first pipe section recesses for the passage of the screws are thus at least to its radially inner edges of the radially inwardly freely rotated.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn der Durchmesser der Innenwand zumindest annähernd durch die Mittelachsen der Ausnehmungen verläuft. Dadurch kann einerseits ein sicherer Halt der Schrauben in den durch den ersten Rohrleitungsabschnitt verlaufenden Ausnehmungen gewährleistet werden. Andererseits wird zwischen der Innenwand des ersten Abschnitts und der gegenüberliegenden Außenwand des ersten Rohrleitungsabschnitts ein ausreichend großer Freiraum geschaffen, um eine Verformung (insbesondere eine Ovalisierung und/oder Verdrehung) des Rohrleitungsabschnitts relativ zum Überwurfflansch ohne Abscherung der Schrauben zu ermöglichen. It is particularly advantageous if the diameter of the inner wall extends at least approximately through the central axes of the recesses. As a result, on the one hand, a secure hold of the screws can be ensured in the recesses extending through the first pipe section. On the other hand, a sufficiently large clearance is provided between the inner wall of the first section and the opposite outer wall of the first pipeline section to allow deformation (in particular ovalization and / or rotation) of the pipeline section relative to the coupling flange without shearing the screws.

Die Erfindung betrifft auch ein Vakuumsystem mit einer Vakuumpumpe, insbesondere Turbomolekularpumpe, umfassend wenigstens eine Rohrleitung, insbesondere eine Einlass- oder Auslassrohrleitung, mit einem Ende, an welchem eine um eine Längsachse der Rohrleitung umlaufende Stirnseite ausgebildet ist, wobei an der Stirnseite ein Gegenflansch eines Vakuumgeräts anordenbar ist, insbesondere mit wenigstens einem dazwischen liegenden Element, wie etwa einer Dichtung, wobei ein am Ende der Rohrleitung liegender erster Rohrleitungsabschnitt, der sich bevorzugt bis zur Stirnseite erstreckt, einen größeren Außendurchmesser aufweist als ein sich daran anschließender zweiter Rohrleitungsabschnitt, und einem Überwurfflansch, der um den zweiten Rohrleitungsabschnitt herum derart anordenbar ist, dass er den ersten Rohrleitungsabschnitt hintergreift und der mehrere in Umfangsrichtung gesehen versetzt zueinander angeordnete und zumindest im Wesentlichen zur Umfangsrichtung verlaufende, durchgehende Ausnehmungen, insbesondere Bohrungen, aufweist, in welche Schrauben zum Verbinden des Überwurfflanschs mit dem Gegenflansch einsteckbar sind, und wobei sich die Ausnehmungen durch eine Stirnseite des Überwurfflanschs hindurch erstrecken, die bei um den zweiten Rohrleitungsabschnitt herum verlaufendem Überwurfflansch dem Gegenflansch gegenübersteht, und wobei in den Überwurfflansch von der Stirnseite her konzentrisch mit den Ausnehmungen ausgebildete Aufnahmen zum Einstecken von Rohrhülsen zur Abstützung des Überwurfflanschs am Gegenflansch eingebracht sind. The invention also relates to a vacuum system with a vacuum pump, in particular a turbomolecular pump, comprising at least one pipeline, in particular an inlet or outlet pipeline, having an end on which an end face revolving around a longitudinal axis of the pipeline is formed, wherein on the front side a counter flange of a vacuum device can be arranged, in particular with at least one intermediate element, such as a seal, wherein a lying at the end of the pipe first pipe section, which preferably extends to the front side, has a larger outer diameter than an adjoining second Pipe section, and a Überwurfflansch which is so arranged around the second pipe section, that it engages behind the first pipe section and a plurality of circumferentially offset from one another and at least substantially to the circumferential direction extending, through recesses, in particular holes, in which screws for connecting the union flange with the mating flange, and wherein the recesses extend through an end face of the collar flange facing the mating flange with the collar flange around the second tube portion, and concentric with the recesses into the collar flange from the end face Receptacles for inserting tubular sleeves for supporting the Überwurfflansches are introduced on the flange.

Bevorzugt ist der Überwurfflansch aus wenigstens zwei ringartigen Segmenten zusammensetzbar oder zusammengesetzt. Preferably, the Überwurfflansch of at least two annular segments is assembled or assembled.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn wenigstens eine Verbindungseinrichtung zum mechanischen Verbinden von in Umfangsrichtung zueinander benachbarten Segmenten des Überwurfflanschs vorgesehen ist. It is particularly advantageous if at least one connecting device is provided for mechanically connecting circumferentially adjacent segments of the coupling flange.

Bei dem Flansch, dem Überwurfflansch und/oder dem Gegenflansch handelt es sich insbesondere um jeweilige in Art eines CF-Flansches ausgebildete Flansche. The flange, the coupling flange and / or the counter flange are in particular flanges designed in the manner of a CF flange.

Nachfolgend wird die Erfindung beispielhaft unter Bezugnahme auf die beigefügten Figuren beschrieben. Es zeigen, jeweils schematisch, The invention will now be described by way of example with reference to the accompanying drawings. Show, in each case schematically,

1 eine Querschnittsdarstellung einer Vakuumpumpe, 1 a cross-sectional view of a vacuum pump,

2 eine Querschnittsdarstellung einer Flansch-Gegenflansch-Verbindung bei einer Variante eines erfindungsgemäßen Vakuumsystems, 2 a cross-sectional view of a flange counter flange connection in a variant of a vacuum system according to the invention,

3 eine seitliche Ansicht der Flansch-Gegenflansch-Verbindung von 2, 3 a side view of the flange counter flange connection of 2 .

4 eine Draufsicht auf einen Teil des Flansches des Vakuumsystems von 2, 4 a plan view of a portion of the flange of the vacuum system of 2 .

5 eine Querschnittsdarstellung einer Flansch-Gegenflansch-Verbindung bei einer weiteren Variante eines erfindungsgemäßen Vakuumsystems, 5 a cross-sectional view of a flange counter flange connection in a further variant of a vacuum system according to the invention,

6 eine Querschnittsdarstellung einer Flansch-Gegenflansch-Verbindung bei noch einer weiteren Variante eines erfindungsgemäßen Vakuumsystems, 6 a cross-sectional view of a flange counter flange connection in yet another variant of a vacuum system according to the invention,

7 eine Querschnittsdarstellung einer Flansch-Gegenflansch-Verbindung bei noch einer weiteren Variante eines erfindungsgemäßen Vakuumsystems, 7 a cross-sectional view of a flange counter flange connection in yet another variant of a vacuum system according to the invention,

8 eine Querschnittsdarstellung einer Flansch-Gegenflansch-Verbindung bei noch einer weiteren Variante eines erfindungsgemäßen Vakuumsystems, 8th a cross-sectional view of a flange counter flange connection in yet another variant of a vacuum system according to the invention,

9 eine Querschnittsdarstellung eines Überwurfflanschs für die Variante der 8, 9 a cross-sectional view of a Überwurfflanschs for the variant of 8th .

10 eine Querschnittsdarstellung eines weiteren Überwurfflanschs für die Variante der 8, 10 a cross-sectional view of another Überwurfflanschs for the variant of 8th .

11 eine Draufsicht auf zwei miteinander verbundene Segmente eines Überwurfflanschs, 11 a top view of two interconnected segments of a union flange,

12 eine Draufsicht auf zwei miteinander verbindbare Segmente eines Überwurfflanschs sowie auf eine Verbindungseinrichtung zur Verbindung der Segmente, und 12 a plan view of two interconnectable segments of a union flange and on a connecting means for connecting the segments, and

13 eine Querschnittsdarstellung eines Teils einer Rohrleitung einer Vakuumpumpe einer weiteren Variante eines erfindungsgemäßen Vakuumsystems und eines Teils eines um die Rohrleitung herum angeordneten Überwurfflanschs. 13 a cross-sectional view of a portion of a pipe of a vacuum pump of another variant of a vacuum system according to the invention and a part of a pipe around the pipe arranged Überwurfflanschs.

Die in 1 gezeigte Vakuumpumpe umfasst einen von einem Einlassflansch 11 umgebenen Pumpeneinlass 10 und einen Pumpenauslass 12 sowie mehrere Prozessgaspumpstufen zur Förderung des an dem Pumpeneinlass 10 anstehenden Prozessgases zu dem Pumpenauslass 12. Die Vakuumpumpe umfasst ein Gehäuse 64 und einen in dem Gehäuse 64 angeordneten Rotor 16 mit einer um die Rotationsachse 14 drehbar gelagerten Rotorwelle 15. In the 1 The vacuum pump shown includes one of an inlet flange 11 surrounded pump inlet 10 and a pump outlet 12 and a plurality of process gas pumping stages for delivery to the pump inlet 10 pending process gas to the pump outlet 12 , The vacuum pump comprises a housing 64 and one in the housing 64 arranged rotor 16 with one around the rotation axis 14 rotatably mounted rotor shaft 15 ,

Die Pumpe ist im vorliegenden Ausführungsbeispiel als Turbomolekularpumpe ausgebildet und umfasst mehrere pumpwirksam miteinander in Serie geschaltete turbomolekulare Pumpstufen mit mehreren an der Rotorwelle 15 befestigten radialen Rotorscheiben 66 und zwischen den Rotorscheiben 66 angeordneten und in dem Gehäuse 64 festgelegten Statorscheiben 68, wobei eine Rotorscheibe 66 und eine benachbarte Statorscheibe 68 jeweils eine turbomolekulare Pumpstufe bilden. Die Statorscheiben 68 sind durch Abstandsringe 70 in einem gewünschten axialen Abstand zueinander gehalten. In the present exemplary embodiment, the pump is designed as a turbomolecular pump and comprises a plurality of turbomolecular pump stages, which are connected to one another in series with pump action, with a plurality of rotor shafts 15 attached radial rotor disks 66 and between the rotor disks 66 arranged and in the housing 64 fixed stator discs 68 , wherein a rotor disk 66 and an adjacent stator disc 68 each form a turbomolecular pumping stage. The stator discs 68 are by spacer rings 70 held at a desired axial distance from each other.

Die Vakuumpumpe umfasst außerdem vier in radialer Richtung ineinander angeordnete und pumpwirksam miteinander in Serie geschaltete Holweckpumpstufen. Der Rotor der Holweckpumpstufen umfasst eine mit der Rotorwelle 15 einteilig ausgebildete Rotornabe 72 und zwei an der Rotornabe 72 befestigte und von dieser getragene zylindermantelförmige Holweckrotorhülsen 74, 76, die koaxial zur Rotationsachse 14 orientiert und in radialer Richtung ineinander geschachtelt sind. Ferner sind zwei zylindermantelförmige Holweckstatorhülsen 78, 80 vorgesehen, die ebenfalls koaxial zu der Rotationsachse 14 orientiert und in radialer Richtung ineinander geschachtelt sind. Eine dritte Holweckstatorhülse ist durch einen Aufnahmeabschnitt 132 des Gehäuses 64 gebildet, der zur Aufnahme und Festlegung des Antriebsmotors 20 dient. The vacuum pump also comprises four radially arranged pumping stages which are connected to one another in pumping fashion in series with each other. The rotor of Holweckpumpstufen includes one with the rotor shaft 15 one-piece rotor hub 72 and two at the rotor hub 72 attached and worn by this cylinder jacket Holweckrotorhülsen 74 . 76 that is coaxial with the axis of rotation 14 oriented and nested in the radial direction. Furthermore, two cylinder jacket-shaped Holweckstatorhülsen 78 . 80 provided, which is also coaxial with the axis of rotation 14 oriented and nested in the radial direction. A third Holweckstatorhülse is through a receiving portion 132 of the housing 64 formed, for receiving and fixing the drive motor 20 serves.

Die pumpaktiven Oberflächen der Holweckpumpstufen sind durch die Mantelflächen, d.h. die radialen Innen- und Außenflächen, der Holweckrotorhülsen 74, 76, der Holweckstatorhülsen 78, 80 und des Aufnahmeabschnitts 132 gebildet. Die radiale Innenfläche der äußeren Holweckstatorhülse 78 liegt der radialen Außenfläche der äußeren Holweckrotorhülse 74 unter Ausbildung eines radialen Holweckspalts 82 gegenüber und bildet mit dieser die erste Holweckpumpstufe. Die radiale Innenfläche der äußeren Holweckrotorhülse 74 steht der radialen Außenfläche der inneren Holweckstatorhülse 80 unter Ausbildung eines radialen Holweckspalts 84 gegenüber und bildet mit dieser die zweite Holweckpumpstufe. Die radiale Innenfläche der inneren Holweckstatorhülse 80 liegt der radialen Außenfläche der inneren Holweckrotorhülse 76 unter Ausbildung eines radialen Holweckspalts 86 gegenüber und bildet mit dieser die dritte Holweckpumpstufe. Die radiale Innenfläche der inneren Holweckrotorhülse 76 liegt der radialen Außenfläche des Aufnahmeabschnitts 132 unter Ausbildung eines radialen Holweckspalts 87 gegenüber und bildet mit dieser die vierte Holweckpumpstufe. The pump-active surfaces of Holweckpumpstufen are through the lateral surfaces, ie the radial inner and outer surfaces of the Holweckrotorhülsen 74 . 76 , the Holweckstator sleeves 78 . 80 and the receiving section 132 educated. The radial inner surface of the outer Holweckstatorhülse 78 lies the radial outer surface of the outer Holweckrotorhülse 74 forming a radial Holweckspalts 82 opposite and forms with this the first Holweckpumpstufe. The radial inner surface of the outer Holweckrotorhülse 74 is the radial outer surface of the inner Holweckstatorhülse 80 forming a radial Holweckspalts 84 opposite and forms with this the second Holweckpumpstufe. The radial inner surface of the inner Holweckstatorhülse 80 lies the radial outer surface of the inner Holweckrotorhülse 76 forming a radial Holweckspalts 86 opposite and forms with this the third Holweckpumpstufe. The radial inner surface of the inner Holweckrotorhülse 76 lies the radial outer surface of the receiving portion 132 forming a radial Holweckspalts 87 opposite and forms with this the fourth Holweckpumpstufe.

Die vorstehend genannten pumpaktiven Oberflächen der Holweckstatorhülsen 78, 80 und des Aufnahmeabschnitts 132 weisen jeweils mehrere spiralförmig um die Rotationsachse 14 herum in axialer Richtung verlaufende Holwecknuten auf, während die gegenüberliegenden Mantelflächen der Holweckrotorhülsen 74, 76 glatt ausgebildet sind und das Gas im Betrieb der Vakuumpumpe in den Holwecknuten vorantreiben. The aforementioned pump-active surfaces of Holweckstator sleeves 78 . 80 and the receiving section 132 each have several spirally around the axis of rotation 14 around Holwecknuten extending in the axial direction, while the opposite lateral surfaces of Holweckrotorhülsen 74 . 76 are smooth and drive the gas during operation of the vacuum pump in the Holwecknuten.

Zur drehbaren Lagerung der Rotorwelle 15 sind ein Wälzlager 88 im Bereich des Pumpenauslasses 12 und ein Permanentmagnetlager 90 im Bereich des Pumpeneinlasses 10 vorgesehen. For rotatable mounting of the rotor shaft 15 are a rolling bearing 88 in the area of the pump outlet 12 and a permanent magnet bearing 90 in the area of the pump inlet 10 intended.

Im Bereich des Wälzlagers 88 ist an der Rotorwelle 15 eine konische Spritzmutter 92 mit einem zu dem Wälzlager 88 hin zunehmenden Außendurchmesser vorgesehen. Die Spritzmutter 92 steht mit zumindest einem Abstreifer eines Betriebsmittelspeichers in gleitendem Kontakt. Der Betriebsmittelspeicher umfasst mehrere aufeinander gestapelte saugfähige Scheiben 94, die mit einem Betriebsmittel für das Wälzlager 88, zum Beispiel mit einem Schmiermittel, getränkt sind. Im Betrieb der Vakuumpumpe wird das Betriebsmittel durch kapillare Wirkung von dem Betriebsmittelspeicher über den Abstreifer auf die rotierende Spritzmutter 92 übertragen und infolge der Zentrifugalkraft entlang der Spritzmutter 92 in Richtung des größer werdenden Außendurchmessers der Spritzmutter 92 zu dem Wälzlager 88 hin gefördert, wo es z.B. eine schmierende Funktion erfüllt. Das Wälzlager 88 und der Betriebsmittelspeicher sind durch einen wannenförmigen Einsatz 96 und ein Deckelelement 98 der Vakuumpumpe eingefasst. In the area of the rolling bearing 88 is on the rotor shaft 15 a conical spray nut 92 with one to the rolling bearing 88 provided increasing outer diameter. The spray nut 92 is in sliding contact with at least one scraper of a resource memory. The resource storage comprises several stacked absorbent discs 94 that with a resource for the rolling bearing 88 , for example with a lubricant, are soaked. During operation of the vacuum pump, the operating medium is activated by capillary action from the operating fluid reservoir via the scraper to the rotating injection nut 92 transmitted and due to the centrifugal force along the spray nut 92 in the direction of the increasing outer diameter of the spray nut 92 to the rolling bearing 88 promoted, for example, where it fulfills a lubricating function. The rolling bearing 88 and the resource storage are through a trough-shaped insert 96 and a lid member 98 enclosed the vacuum pump.

Das Permanentmagnetlager umfasst eine rotorseitige Lagerhälfte 100 und eine statorseitige Lagerhälfte 102, welche jeweils einen Ringstapel aus mehreren in axialer Richtung aufeinander gestapelten permanentmagnetischen Ringen 104 bzw. 106 umfassen. Die Magnetringe 104, 106 liegen einander unter Ausbildung eines radialen Lagerspalts 108 gegenüber, wobei die rotorseitigen Magnetringe 104 radial außen und die statorseitigen Magnetringe 106 radial innen angeordnet sind. Das in dem Lagerspalt 108 vorhandene magnetische Feld ruft magnetische Abstoßungskräfte zwischen den Magnetringen 104, 106 hervor, welche eine radiale Lagerung der Rotorwelle 15 bewirken. The permanent magnet bearing comprises a rotor-side bearing half 100 and a stator half of the bearing 102 , which each have a ring stack of several stacked in the axial direction of permanent magnetic rings 104 respectively. 106 include. The magnet rings 104 . 106 are each other to form a radial bearing gap 108 opposite, wherein the rotor-side magnet rings 104 radially outside and the stator-side magnet rings 106 are arranged radially inward. That in the bearing gap 108 Existing magnetic field causes magnetic repulsion forces between the magnetic rings 104 . 106 which shows a radial bearing of the rotor shaft 15 cause.

Die rotorseitigen Magnetringe 104 sind von einem Trägerabschnitt 110 der Rotorwelle getragen, welcher die Magnetringe 104 radial außenseitig umgibt. Die statorseitigen Magnetringe sind von einem statorseitigen Trägerabschnitt 112 getragen, welcher sich durch die Magnetringe 106 hindurch erstreckt und an radialen Streben 114 des Gehäuses 64 aufgehängt ist. Parallel zu der Rotationsachse 14 sind die rotorseitigen Magnetringe 104 in der einen Richtung durch ein mit dem Trägerabschnitt 110 gekoppeltes Deckelelement 116 und in der anderen Richtung durch einen radial vorstehenden Schulterabschnitt des Trägerabschnitts 110 festgelegt. Die statorseitigen Magnetringe 106 sind parallel zu der Rotationsachse 14 in der einen Richtung durch einen mit dem Trägerabschnitt 112 verbundenen Befestigungsring 118 und ein zwischen dem Befestigungsring 118 und den Magnetringen 106 angeordnetes Ausgleichselement 120 und in der anderen Richtung durch einen mit dem Trägerabschnitt 112 verbundenen Stützring 122 festgelegt. The rotor-side magnet rings 104 are from a vehicle section 110 the rotor shaft carried, which the magnetic rings 104 surrounds radially on the outside. The stator-side magnetic rings are of a stator-side support portion 112 worn, which is through the magnetic rings 106 extends through and on radial struts 114 of the housing 64 is suspended. Parallel to the rotation axis 14 are the rotor-side magnet rings 104 in one direction by one with the support portion 110 coupled cover element 116 and in the other direction by a radially projecting shoulder portion of the support portion 110 established. The stator-side magnet rings 106 are parallel to the axis of rotation 14 in one direction by one with the support portion 112 connected fastening ring 118 and one between the mounting ring 118 and the magnet rings 106 arranged compensation element 120 and in the other direction by one with the support portion 112 connected support ring 122 established.

Innerhalb des Magnetlagers ist ein Not- bzw. Fanglager 124 vorgesehen, welches im normalen Betrieb der Vakuumpumpe ohne Berührung steht und erst bei einer übermäßigen radialen Auslenkung des Rotors 16 relativ zu den Stator in Eingriff gelangt und mitläuft, um einen radialen Anschlag für den Rotor 16 zu bilden, der eine Kollision der rotorseitigen Strukturen mit den statorseitigen Strukturen verhindert. Das Fanglager 124 ist als ungeschmiertes Wälzlager ausgebildet und bildet mit dem Rotor 16 und/oder dem Stator einen radialen Spalt, welcher bewirkt, dass das Fanglager 124 im normalen Pumpbetrieb außer Eingriff ist. Die radiale Auslenkung, bei der das Fanglager 124 in Eingriff gelangt, ist groß genug bemessen, so dass das Fanglager 124 im normalen Betrieb der Vakuumpumpe nicht in Eingriff gelangt, und gleichzeitig klein genug, so dass eine Kollision der rotorseitigen Strukturen mit den statorseitigen Strukturen unter allen Umständen verhindert wird. Within the magnetic bearing is an emergency or fishing camp 124 provided, which is in normal operation of the vacuum pump without contact and only at an excessive radial deflection of the rotor 16 relative to the stator engages and runs along to a radial stop for the rotor 16 to form a collision of the rotor side Prevents structures with the stator-side structures. The fishing camp 124 is designed as an unlubricated rolling bearing and forms with the rotor 16 and / or the stator a radial gap, which causes the fishing camp 124 is disengaged in normal pumping operation. The radial deflection at which the fishing camp 124 is engaged large enough, so that the fishing camp 124 during normal operation of the vacuum pump is not engaged, and at the same time small enough so that a collision of the rotor-side structures with the stator-side structures is prevented under all circumstances.

Die Vakuumpumpe umfasst einen Antriebsmotor 20 zum drehenden Antreiben des Rotors 16. Der Antriebsmotor 20 umfasst einen Motorstator 22 mit einem Kern 38 und mit ein oder mehreren in 1 nur schematisch dargestellten Spulen 42, die in an der radialen Innenseite des Kerns 38 vorgesehenen Nuten des Kerns 38 festgelegt sind. The vacuum pump comprises a drive motor 20 for rotating the rotor 16 , The drive motor 20 includes a motor stator 22 with a core 38 and with one or more in 1 only schematically illustrated coils 42 that is in on the radial inside of the core 38 provided grooves of the core 38 are fixed.

Der Anker des Antriebsmotors 20 ist durch den Rotor 16 gebildet, dessen Rotorwelle 15 sich durch den Motorstator 22 hindurch erstreckt. Auf dem sich durch den Motorstator 22 hindurch erstreckenden Abschnitt der Rotorwelle 15 ist radial außenseitig eine Permanentmagnetanordnung 128 festgelegt. Zwischen dem Motorstator 22 und dem sich durch den Motorstator 22 hindurch erstreckenden Abschnitt des Rotors 16 ist ein Zwischenraum 24 angeordnet, welcher einen radialen Motorspalt umfasst, über den sich der Motorstator 22 und die Permanentmagnetanordnung 128 zur Übertragung des Antriebsmoments magnetisch beeinflussen. The armature of the drive motor 20 is through the rotor 16 formed, whose rotor shaft 15 through the motor stator 22 extends through. On the through the motor stator 22 extending portion of the rotor shaft 15 is radially outside a permanent magnet arrangement 128 established. Between the motor stator 22 and that through the motor stator 22 therethrough extending portion of the rotor 16 is a gap 24 arranged, which comprises a radial motor gap, over which the motor stator 22 and the permanent magnet assembly 128 Magnetically affect the transmission of the drive torque.

Die Permanentmagnetanordnung 128 ist in axialer Richtung durch eine auf die Rotorwelle 15 aufgesteckte Befestigungshülse 126 an der Rotorwelle 15 fixiert. Eine Kapselung 130 umgibt die Permanentmagnetanordnung 128 an deren radialer Außenseite und dichtet diese gegenüber dem Zwischenraum 24 ab. The permanent magnet arrangement 128 is in the axial direction by a on the rotor shaft 15 attached mounting sleeve 126 on the rotor shaft 15 fixed. An encapsulation 130 surrounds the permanent magnet assembly 128 at the radial outer side and seals against the gap 24 from.

Der Motorstator 22 ist in dem Gehäuse 64 durch den gehäusefesten Aufnahmeabschnitt 132 festgelegt, welcher den Motorstator 22 radial außenseitig umgibt und den Motorstator 22 in radialer und axialer Richtung abstützt. Der Aufnahmeabschnitt 132 begrenzt gemeinsam mit der Rotornabe 72 einen Motorraum 18, in dem der Antriebsmotor 20 aufgenommen ist. The motor stator 22 is in the case 64 through the housing-fixed receiving section 132 which determines the motor stator 22 radially outside surrounds and the motor stator 22 supported in the radial and axial directions. The recording section 132 limited together with the rotor hub 72 an engine room 18 in which the drive motor 20 is included.

Der Motorraum 18 weist einen auf der einen Seite des Zwischenraums 24 angeordneten und mit der innenliegenden, vierten Holweckpumpstufe gasleitend verbundenen Einlass 28 und einen auf der gegenüberliegenden Seite des Zwischenraums 24 angeordneten und mit dem Pumpenauslass 12 gasleitend verbundenen Auslass 30 auf. The engine compartment 18 has one on one side of the gap 24 arranged and connected to the inside, fourth Holweckpumpstufe gas-conducting inlet 28 and one on the opposite side of the gap 24 arranged and with the pump outlet 12 gas-conducting outlet 30 on.

Der Kern 38 des Motorstators 22 weist an seiner radialen Außenseite in dem in 1 links gezeigten Bereich eine Aussparung 34 auf, die gemeinsam mit dem benachbarten Bereich des Aufnahmeabschnitts 132 einen Kanal 32 bildet, durch den das in den Motorraum 18 geförderte Prozessgas an dem Zwischenraum 24 vorbei von dem Einlass 28 zu dem Auslass 30 förderbar ist. The core 38 of the motor stator 22 has at its radial outside in the in 1 left area shown a recess 34 on, which together with the adjacent area of the receiving section 132 a channel 32 through which forms the engine compartment 18 promoted process gas at the gap 24 past the inlet 28 to the outlet 30 is eligible.

Der Gasweg, auf dem das Prozessgas von dem Pumpeneinlass 10 zu dem Pumpenauslass 12 gelangt, ist in 1 durch Pfeile 26 veranschaulicht. Das Prozessgas wird ausgehend von dem Pumpeneinlass 10 zuerst der Reihe nach durch die turbomolekularen Pumpstufen und anschließend der Reihe nach durch die vier Holweckpumpstufen gefördert. Das aus der vierten Holweckpumpstufe austretende Gas gelangt in den Motorraum 18 und wird von dem Einlass 28 des Motorraums 18 durch den Kanal 32 hindurch zu dem Auslass 30 des Motorraums 18 und dem Pumpenauslass 12 gefördert. The gas path on which the process gas from the pump inlet 10 to the pump outlet 12 is in is 1 through arrows 26 illustrated. The process gas is discharged from the pump inlet 10 first in turn through the turbomolecular pump stages and then sequentially through the four Holweckpumpstufen promoted. The gas exiting the fourth Holweckpumpstufe enters the engine compartment 18 and will be from the inlet 28 of the engine compartment 18 through the channel 32 through to the outlet 30 of the engine compartment 18 and the pump outlet 12 promoted.

Bei der Vakuumpumpe der 1 wird der Pumpeneinlass 10 von einer Rohrleitung gebildet, deren Längsachse mit der Rotationsachse 14 zusammenfällt, und die eine Stirnseite 134 aufweist, an die ein Gegenflansch eines Vakuumgeräts, wie etwa eines Rezipienten, angeordnet werden kann, und zwar so, dass zwischen der Stirnseite 134 und dem Gegenflansch zumindest eine Dichtung liegt (nicht gezeigt). Der um die Rohrleitung herum laufende Einlassflansch 11 liegt dabei in einer Ebene E, durch die auch die Stirnseite 134 verläuft. Der Gegenflansch und der Einlassflansch 11 liegen sich somit bei an der Stirnseite 134 angeordnetem Gegenflansch unmittelbar gegenüber. At the vacuum pump the 1 becomes the pump inlet 10 formed by a pipe whose longitudinal axis with the axis of rotation 14 coincides, and the one end face 134 to which a mating flange of a vacuum device, such as a recipient, can be placed, such that between the end face 134 and the counter flange is at least one seal (not shown). The inlet flange running around the pipeline 11 lies in a plane E, through which the front side 134 runs. The counter flange and the inlet flange 11 are thus at the front 134 arranged opposite flange directly opposite.

Wenn – wie etwa bei der Ausbildung von Flansch und Gegenflansch in der Art eines CF-Flansches – Schrauben zum Festlegen des Gegenflanschs am Einlassflansch 11 verwendet werden, dann können diese Schrauben bei einer plötzlichen Verformung oder einer Verdrehung der pumpenseitigen, den Einlassflansch 11 aufweisenden Rohrleitung abgeschert werden. Eine plötzliche Verformung oder Verdrehung der Rohleitung kann insbesondere dann auftreten, wenn im Falle eines internen Crashs der Vakuumpumpe die sich sehr schnell um die Rotationsachse 14 drehenden Rotorscheiben 66 mit den stehenden Statorscheiben 68 kollidieren. Die dadurch frei werdende Energie kann insbesondere eine Ovalisierung des Pumpengehäuses im Bereich des Einlassflansches 11 und somit eine Ovalisierung der den Einlassflansch 11 aufweisenden Rohrleitung des Pumpeneinlasses 10 bewirken. Außerdem kann der Einlassflansch 11 in Art einer Scherbewegung in seiner Umfangsrichtung verdreht werden. Sowohl die Ovalisierung als auch die Verdrehung können zu einer Abscherung der zur Herstellung bzw. Fixierung der Flansch-Gegenflansch-Verbindung eingesetzten Schrauben führen, was unerwünscht ist. If - as in the formation of flange and counter flange in the manner of a CF flange - screws for fixing the counter flange on the inlet flange 11 can be used, then these screws in case of sudden deformation or rotation of the pump side, the inlet flange 11 sheared off having piping. A sudden deformation or twisting of the pipe line can occur in particular if, in the case of an internal crash of the vacuum pump, it is very fast around the axis of rotation 14 rotating rotor discs 66 with the stationary stator discs 68 collide. The energy thus released can, in particular, cause ovalization of the pump housing in the region of the inlet flange 11 and thus an ovalization of the inlet flange 11 having the pump inlet piping 10 cause. In addition, the inlet flange 11 be twisted in the manner of a shearing motion in its circumferential direction. Both the ovalization and the twisting can lead to a shearing of the production or fixation lead the flange counter flange connection used screws, which is undesirable.

Die mit Bezug auf die 2 bis 4 beschriebene Variante eines erfindungsgemäßen Vakuumsystems umfasst eine Vakuumpumpe, wie zum Beispiel eine Turbomolekularpumpe gemäß 1, bei der der Einlass eine Rohrleitung 136 aufweist, die an ihrem Ende eine in einer Ebene E liegende Stirnseite 134 umfasst. An der Stirnseite 134 kann ein Gegenflansch 138 eines Vakuumgeräts angeordnet und unter Ausbildung einer Flansch-Gegenflansch-Verbindung mittels Schrauben 144 mit einem um die Rohrleitung 136 herumverlaufenden Flansch 146 verbunden werden. Dabei können, insbesondere zur Abdichtung der Verbindung, zwischen der Stirnseite 134 und dem Gegenflansch 138 eine Dichtung 140 und ein Stützring 142 eingelegt sein. The referring to the 2 to 4 described variant of a vacuum system according to the invention comprises a vacuum pump, such as a turbomolecular pump according to 1 in which the inlet is a pipeline 136 has, at its end a lying in a plane E end face 134 includes. At the front 134 can be a counterflange 138 a vacuum device arranged and forming a flange counter flange connection by means of screws 144 with one around the pipeline 136 flared flange 146 get connected. In this case, in particular for sealing the connection, between the front side 134 and the counterflange 138 a seal 140 and a support ring 142 be inserted.

Zusätzlich zu dem Flansch 146 kann ein Überwurfflansch 148 um die Rohrleitung 136 herum angeordnet sein, der vom Gegenflansch 138 aus gesehen den Flansch 146 hintergreift. Wie 2 zeigt, ist der Flansch 146 in Richtung der Längsachse 14, die bei der dargestellten Variante mit der Rotationsachse 14 zusammenfällt, versetzt zu der durch die Stirnseite 134 verlaufenden Ebene E angeordnet. Der Flansch 146 ist somit gegenüber der Stirnseite 134 zurückgesetzt, so dass sich der Flansch 146 und der Gegenflansch 138 nicht unmittelbar gegenüberstehen, wie 2 zeigt. Zwischen dem Flansch 146 und dem Gegenflansch 138 wird somit ein Freiraum gebildet, durch den sich die Schrauben 144 zur Herstellung der Flansch-Gegenflansch-Verbindung hindurcherstrecken. Eine durch einen plötzlichen Crash der Vakuumpumpe hervorgerufene Ovalisierung der Rohrleitung 136 und/oder eine Verdrehung der Rohrleitung 136 in Umfangsrichtung U kann durch die Zurückversetzung des Flansches 146 in verbesserter Weise von den Schrauben 144 aufgefangen werden, ohne dass die Schrauben 144 abscheren. In addition to the flange 146 can be a collar flange 148 around the pipeline 136 be arranged around, from the counter flange 138 seen from the flange 146 engages behind. As 2 shows is the flange 146 in the direction of the longitudinal axis 14 , which in the illustrated variant with the axis of rotation 14 collapses, offset by the front side 134 extending level E arranged. The flange 146 is thus opposite the front side 134 reset, so that the flange 146 and the counterflange 138 not directly opposed, like 2 shows. Between the flange 146 and the counterflange 138 Thus, a free space is formed, through which the screws 144 extend to make the flange mating flange connection. An ovalization of the pipeline caused by a sudden crash of the vacuum pump 136 and / or a rotation of the pipeline 136 in the circumferential direction U can by the return of the flange 146 in an improved way from the screws 144 be caught without the screws 144 shear.

Der Abstand des Flansches 146 zur Ebene E kann dabei z.B. im Bereich zwischen 0,3 und 5 cm liegen oder sogar noch größer sein als 5 cm. Bevorzugt entspricht der Abstand des Flansches 146 zur Ebene E zumindest in etwa dem 1,5- bis 2-fachen des Durchmessers der zur Herstellung der Flansch-Gegenflansch-Verbindung vorgesehenen Schrauben 144. Wenn zum Beispiel M6-Schrauben für die Verbindung vorgesehen sind, so kann der Flansch 146 um etwa 9 bis 12 mm hinter der Ebene E liegen. The distance of the flange 146 For example, the plane E can be in the range between 0.3 and 5 cm or even greater than 5 cm. Preferably, the distance of the flange corresponds 146 to level E, at least approximately 1.5 to 2 times the diameter of the screws provided for the production of the flange counter flange connection 144 , For example, if M6 screws are provided for the connection, then the flange can 146 lie about 9 to 12 mm behind the plane E.

Zur Zentrierung des Flansches 146 und des Gegenflansches 138 relativ zueinander ist am radial innen liegenden Ende der Stirnseite 134 ein in Richtung der Längsachse 14 aus der Stirnseite 134 hervorstehender Zentriervorsprung 150 ausgebildet, der um die Längsachse 14 herum verläuft. For centering the flange 146 and the counterflange 138 relative to each other is at the radially inner end of the end face 134 one in the direction of the longitudinal axis 14 from the front side 134 projecting centering projection 150 formed around the longitudinal axis 14 runs around.

In den Überwurfflansch 148 sind in Umfangsrichtung U gesehen versetzt zueinander angeordnete, in Form von Bohrungen 152 ausgebildete Öffnungen eingebracht. Außerdem sind am Flansch 146 in Umfangsrichtung U gesehen versetzt zueinander angeordnete, in Form von Nuten ausgebildete Ausnehmungen 154 vorgesehen (vgl. 3 und 4). Into the collar flange 148 are seen in the circumferential direction U offset from each other, in the form of holes 152 trained openings introduced. Also, on the flange 146 Seen in the circumferential direction U offset from one another arranged, formed in the form of grooves recesses 154 provided (cf. 3 and 4 ).

Am Flansch 146 ist wenigstens eine von einer Bohrung gebildete Zentriereinrichtung 158 (vgl. 4) und am Überwurfflansch 148 ist eine weitere Zentriereinrichtung (nicht gezeigt) vorgesehen. Wenn der Überwurfflansch 148 über den Flansch 146 gelegt wird und dabei die beiden Zentriereinrichtungen miteinander konzentrisch ausgerichtet werden, wird erreicht, dass die Bohrungen 152 und die Ausnehmungen 154 fluchtend miteinander ausgerichtet sind. At the flange 146 is at least one centering device formed by a bore 158 (see. 4 ) and the union flange 148 a further centering device (not shown) is provided. When the collar flange 148 over the flange 146 is placed while the two centers are aligned concentrically with each other, it is achieved that the holes 152 and the recesses 154 aligned with each other in alignment.

Bei der weiteren Zentriereinrichtung am Überwurfflansch 148 kann es sich zum Beispiel um einen Stift handeln, der in die Zentriereinrichtung 158 eingreift. Alternativ kann es sich bei der weiteren Zentriereinrichtung am Überwurfflansch ebenfalls um eine Bohrung handelt, die mit der Zentrierbohrung 158 am Flansch 146 zum Beispiel durch Einstecken einer Schraube ausgerichtet wird. At the other centering device on the coupling flange 148 it may, for example, be a pen inserted in the centering device 158 intervenes. Alternatively, it can also be a hole in the other centering device on the collar flange, which with the center hole 158 on the flange 146 For example, by inserting a screw is aligned.

Wenn der Flansch 146 und der Gegenflansch 138 über die Zentriereinrichtungen relativ zueinander ausgerichtet sind, wird zur Herstellung der Flansch-Gegenflansch-Verbindung ein jeweilige Schraube 144 von der vom Gegenflansch 138 abgewandten Seite her in eine Bohrung 152 und eine fluchtend mit der Bohrung 152 ausgerichtete Ausnehmung 154 eingesteckt und in eine weitere fluchtend mit der Bohrung 152 und der Ausnehmung 154 ausgerichtete Gewindebohrung 156 am Gegenflansch 138 eingeschraubt (vgl. 2 und 3). If the flange 146 and the counterflange 138 are aligned relative to each other on the centering, is a respective screw for producing the flange counter flange connection 144 from the counterflange 138 turned away side into a hole 152 and one aligned with the bore 152 aligned recess 154 plugged in and another aligned with the hole 152 and the recess 154 aligned threaded hole 156 at the counter flange 138 screwed in (cf. 2 and 3 ).

Jede Ausnehmung 154 weist in Umfangsrichtung U eine Erstreckung auf, die größer ist als der Durchmesser einer Schraube 144. Eine jeweilige Erstreckung kann zum Beispiel 1,5- bis 3-mal größer sein als der Schraubendurchmesser. Bei dem dargestellten Beispiel ist die durch die Zentriereinrichtungen bewirkte Ausrichtung zwischen einer Bohrung 152 und einer darunterliegenden Ausnehmung 154 so, dass die Mittelachse der Bohrung 152 in Umfangsrichtung U gesehen zu einer Mittelachse der Ausnehmung 154 versetzt ist. Genauer werden eine jeweilige Bohrung 152 und eine jeweilige Ausnehmung 154 so zueinander ausgerichtet, dass der Schaft der durch die Bohrung 152 und die Ausnehmung 154 hindurchragenden Schraube 144 an einer ersten Seite 160 der Ausnehmung 154 wenigstens beinahe anliegt, während er von der in Umfangsrichtung U der ersten Seite 160 gegenüberliegenden zweiten Seite 164 der Ausnehmung 154 beabstandet ist. Dies hat den Vorteil, dass sich im Falle einer Verdrehung oder Ovalisierung der Rohrleitung 136, z.B. während eines Crashs der Vakuumpumpe, die Schrauben 144 in Umfangsrichtung U bezüglich des Flansches 146 bewegen können, wodurch eine Abscherung der Schrauben 144 am Flansch 146 vermieden werden kann. Every recess 154 has an extension in the circumferential direction U, which is greater than the diameter of a screw 144 , A respective extent may be, for example, 1.5 to 3 times larger than the screw diameter. In the illustrated example, the alignment caused by the centering devices is between a bore 152 and an underlying recess 154 so that the middle axis of the hole 152 in the circumferential direction U seen to a central axis of the recess 154 is offset. More precisely, a respective hole 152 and a respective recess 154 aligned so that the shaft through the hole 152 and the recess 154 protruding screw 144 on a first page 160 the recess 154 at least almost abuts while from the circumferential direction U of the first page 160 opposite second side 164 the recess 154 is spaced. This has the advantage that in case of twisting or ovalization of the pipeline 136 . eg during a crash of the vacuum pump, the screws 144 in the circumferential direction U with respect to the flange 146 can move, causing a shearing of the screws 144 on the flange 146 can be avoided.

Die in 5 dargestellte Variante entspricht im Wesentlichen der mit Bezug auf die 2 bis 4 beschriebenen Variante. Im Unterschied zu der Variante der 2 bis 4 kommt die Variante der 5 allerdings ohne einen Überwurfflansch aus, und anstelle der im Flansch 146 der Variante der 2 bis 4 vorgesehenen nutenförmigen Ausnehmungen 154 (vgl. insbesondere die 4) sind bei der Variante der 5 mehrere in Umfangsrichtung U versetzt zueinander angeordnete Bohrungen 164 im Flansch 146 vorgesehen, die sich fluchtend mit den im Gegenflansch 138 vorgesehenen Gewindebohrungen 156 ausrichten lassen. Durch Einstecken von Schrauben 144 in die Bohrungen 164 und durch Einschrauben der Schrauben 144 in die Gewindebohrungen 156 kann der Flansch 146 am Gegenflansch 138 fixiert werden. Zwischen der Stirnseite 134 und dem Gegenflansch 138 kann dabei ein Zentrierring 166 mit einer Dichtung angeordnet sein. In the 5 illustrated variant corresponds substantially to the reference to the 2 to 4 described variant. In contrast to the variant of 2 to 4 comes the variant of 5 but without a collar flange, and instead of the flange 146 the variant of 2 to 4 provided groove-shaped recesses 154 (See in particular the 4 ) are in the variant of 5 a plurality of circumferentially U staggered holes arranged 164 in the flange 146 provided, which are aligned with those in the counter flange 138 provided threaded holes 156 align. By inserting screws 144 into the holes 164 and by screwing in the screws 144 into the threaded holes 156 can the flange 146 at the counter flange 138 be fixed. Between the front side 134 and the counterflange 138 can be a centering ring 166 be arranged with a seal.

Die in 6 dargestellte Variante entspricht im Wesentlichen der Variante der 5. Im Unterschied zu der Variante der 5 ist bei der Variante der 6 allerdings ein in Umfangsrichtung U umlaufender Zentriervorsprung 150 am radial innen liegenden Ende der Stirnseite 134 ausgebildet, der in Richtung der Längsachse 14 aus der Stirnseite 134 hervorsteht. Ein separater Zentrierring 166 wie bei der Variante der 5 kann somit eingespart werden. Zwischen Gegenflansch 138 und Stirnseite 134 können wiederum ein Stützring 142 und eine Dichtung 140 gelegt sein. In the 6 variant shown corresponds essentially to the variant of 5 , In contrast to the variant of 5 is in the variant of 6 However, a circumferentially U circumferential centering projection 150 at the radially inner end of the front side 134 formed in the direction of the longitudinal axis 14 from the front side 134 protrudes. A separate centering ring 166 as with the variant of 5 can thus be saved. Between counter flange 138 and front side 134 can turn a support ring 142 and a seal 140 be laid.

Bei der Variante der 5 und der Variante der 6 entspricht der Abstand zwischen dem Flansch 146 und der Ebene E der Stirnseite 134 bevorzugt in etwa dem 1,5- bis 2-fachen des Durchmessers der Schrauben 144, die zur Fixerung des Flanschs 146 am Gegenflansch 138 vorgesehen sind. In the variant of 5 and the variant of 6 corresponds to the distance between the flange 146 and the plane E of the front side 134 preferably about 1.5 to 2 times the diameter of the screws 144 used to fix the flange 146 at the counter flange 138 are provided.

Die mit Bezug auf 7 beschriebene Variante betrifft ein Vakuumsystem mit einer Vakuumpumpe, wie etwa eine Turbomolekularpumpe gemäß 1, mit einer Rohrleitung 136, wie etwa eine Einlassleitung (vgl. den Einlass 10 in 1) in die Vakuumpumpe, die an ihrem Ende eine um eine Längsachse 14 der Rohrleitung 136 umlaufende, in einer Ebene E liegende Stirnseite 134 aufweist. An der Stirnseite 134 ist ein Gegenflansch 138 eines Vakuumgeräts, z.B. eines Rezipienten, anordenbar, und zwar so, dass zwischen dem Gegenflansch 138 und der Stirnseite 134 wenigstens ein Element, wie etwa eine Dichtung 140 und ein Stützring 142, dazwischenliegt. The referring to 7 described variant relates to a vacuum system with a vacuum pump, such as a turbomolecular pump according to 1 , with a pipeline 136 , such as an inlet duct (see the inlet 10 in 1 ) in the vacuum pump, which at its end one around a longitudinal axis 14 the pipeline 136 circumferential, lying in a plane E end face 134 having. At the front 134 is a counter flange 138 a vacuum device, such as a recipient, can be arranged, in such a way that between the mating flange 138 and the front side 134 at least one element, such as a seal 140 and a support ring 142 , in between.

Die Rohrleitung 136 weist einen ersten Rohrleitungsabschnitt 168 auf, der sich bis zur Stirnseite 134 erstreckt und der einen größeren Außendurchmesser aufweist als ein sich daran anschließender zweiter Rohrleitungsabschnitt 170 der Rohrleitung 136. Außerdem ist ein Überwurfflansch 172 vorgesehen, der um den zweiten Rohrleitungsabschnitt 170 herum derart angeordnet werden kann, dass der Überwurfflansch 172 den ersten Rohrleitungsabschnitt 168 hintergreift, wie 7 zeigt. The pipeline 136 has a first pipe section 168 on, stretching to the front 134 extends and has a larger outer diameter than an adjoining second pipe section 170 the pipeline 136 , There is also a coupling flange 172 provided, which is around the second pipe section 170 can be arranged around so that the Überwurfflansch 172 the first pipe section 168 engages like 7 shows.

Der Überwurfflansch 172 weist mehrere in Umfangsrichtung U gesehen versetzt zueinander angeordnete und zumindest im Wesentlichen senkrecht zur Umfangsrichtung U verlaufende, durchgehende und in Form von Bohrungen 174 ausgebildete Ausnehmungen auf, die sich durch eine obere Stirnseite 176 und eine untere Stirnseite 178 des Überwurfflanschs 172 hindurch erstrecken. Die Bohrungen 174 können fluchtend mit am Gegenflansch 138 vorgesehenen Gewindebohrungen 156 ausgerichtet werden, so dass durch Einstecken von Schrauben 144 in die Bohrungen 174 der Überwurfflansch 172 am Gegenflansch 138 festgelegt werden kann. The Überwurfflansch 172 has several seen in the circumferential direction U offset from one another and at least substantially perpendicular to the circumferential direction U extending, continuous and in the form of holes 174 formed recesses extending through an upper end face 176 and a lower end side 178 of the union flange 172 extend through. The holes 174 can be aligned with the flange 138 provided threaded holes 156 be aligned so that by inserting screws 144 into the holes 174 the Überwurfflansch 172 at the counter flange 138 can be determined.

An der unteren Stirnseite 178 des Überwurfflanschs 172 kann in jede der Bohrungen 174 eine konzentrisch zur jeweiligen Bohrung 174 ausgebildete Aufnahme 182 zum Einstecken einer Rohrhülse 180 eingebracht sein, wobei eine eingesteckte Schraube 144 durch die Rohrhülse 180 hindurchragen kann, wie 7 zeigt. Die Rohrhülsen 180 dienen zur Abstützung des Überwurfflansches 172 am Gegenflansch 138. Die Rohrhülsen 180 sind dabei bevorzugt aus einem weichen Material, wie etwa Kupfer, ausgebildet. At the lower end 178 of the union flange 172 can in any of the holes 174 one concentric to the respective hole 174 trained recording 182 for inserting a tube sleeve 180 be introduced, with an inserted screw 144 through the tube sleeve 180 can protrude through, like 7 shows. The tube sleeves 180 serve to support the Überwurfflansches 172 at the counter flange 138 , The tube sleeves 180 are preferably formed of a soft material, such as copper.

Wie 7 zeigt, ergibt sich zwischen einer Rohrhülse 180 und der Außenwand des ersten Rohrleitungsabschnitts 168 ein Freiraum 184. Im Falle eines Crashs der Vakuumpumpe kann der erste Rohrleitungsabschnitt 168 somit ovalisieren oder sich auf sonstige Weise verformen und/oder sich in Umfangsrichtung verdrehen, ohne eine Abscherung der Schrauben 144 zu bewirken. As 7 shows, results between a tube sleeve 180 and the outer wall of the first pipe section 168 a free space 184 , In the event of a crash of the vacuum pump, the first pipe section 168 thus ovalize or deform in any other way and / or twist in the circumferential direction without shearing the screws 144 to effect.

Die mit Bezug auf die 8 beschriebene Variante betrifft ein Vakuumsystem mit einer Vakuumpumpe, etwa einer Turbomolekularpumpe gemäß 1, umfassend wenigstens eine Rohrleitung 136 (z.B. ein Pumpeneinlass, vgl. den Pumpeneinlass 10 in 1) mit einem Ende, an welchem eine um eine Längsachse 14 der Rohrleitung 136 umlaufende, in einer Ebene E liegende Stirnseite 134 ausgebildet ist. An der Stirnseite 134 kann ein Gegenflansch 138 eines Vakuumgeräts angeordnet werden, so dass ein Stützring 142 und eine Dichtung 140 zwischen der Stirnseite 134 und dem Gegenflansch 138 liegen. The referring to the 8th described variant relates to a vacuum system with a vacuum pump, such as a turbomolecular pump according to 1 comprising at least one pipeline 136 (eg a pump inlet, see the pump inlet 10 in 1 ) having an end on which one about a longitudinal axis 14 the pipeline 136 circumferential, lying in a plane E end face 134 is trained. At the front 134 can be a counterflange 138 a vacuum device are arranged so that a support ring 142 and a seal 140 between the front side 134 and the counterflange 138 lie.

Ein am Ende der Rohrleitung 136 liegender erster Rohrleitungsabschnitt 186, der sich bis zur Stirnseite 134 erstreckt, weist einen größeren Außendurchmesser auf als ein sich daran anschließender zweiter Rohrleitungsabschnitt 188 der Rohrleitung 136. One at the end of the pipeline 136 lying first pipe section 186 that is up to the front 134 extends, has a larger outer diameter than an adjoining second pipe section 188 the pipeline 136 ,

Außerdem ist ein Überwurfflansch 190 vorgesehen, der um die Rohrleitung 136 herum anordenbar und mittels Schrauben 144 mit dem Gegenflansch 138 zur Herstellung einer Flansch-Gegenflansch-Verbindung verbindbar ist. Bei um die Rohrleitung 136 herum angeordnetem Überwurfflansch 190 umgibt ein erster Abschnitt 192 des Überwurfflanschs 190 den ersten Rohrleitungsabschnitt 186 und erstreckt sich zumindest im Wesentlichen bis zu der Ebene E der Stirnseite 134 oder sogar über diese hinaus, wie 8 zeigt. Ein sich an den ersten Abschnitt 192 anschließender zweiter Abschnitt 194 des Überwurfflanschs 190 umgibt den zweiten Rohrleitungsabschnitt 188 und hintergreift den ersten Rohrleitungsabschnitt 186. Der erste Abschnitt 192 des Überwurfflanschs 190 ist ferner derart ausgebildet, dass – bei um die Rohrleitung 136 herum angeordnetem Überwurfflansch 190 – zwischen dem ersten Rohrleitungsabschnitt 186 und dem ersten Abschnitt 192 des Überwurfflanschs 190 ein in Umfangsrichtung U umlaufender erster Spalt 196 vorhanden ist. Alternativ oder zusätzlich kann der zweite Abschnitt 194 des Überwurfflansches 190 derart ausgebildet sein, dass – bei um die Rohrleitung 136 herum angeordnetem Überwurfflansch 190 – zwischen dem zweiten Rohrleitungsabschnitt 188 und dem zweiten Abschnitt 194 des Überwurfflanschs 190 ein in Umfangsrichtung U umlaufender, radialer zweiter Spalt 198 vorhanden ist. There is also a coupling flange 190 provided, which around the pipeline 136 can be arranged around and by means of screws 144 with the counterflange 138 for connecting a flange counter flange connection is connectable. At around the pipeline 136 arranged around Überwurfflansch 190 surrounds a first section 192 of the union flange 190 the first pipe section 186 and extends at least substantially to the plane E of the front side 134 or even beyond that, like 8th shows. Join the first section 192 subsequent second section 194 of the union flange 190 surrounds the second pipe section 188 and engages behind the first pipe section 186 , The first paragraph 192 of the union flange 190 is further designed such that - at around the pipeline 136 arranged around Überwurfflansch 190 - Between the first pipe section 186 and the first section 192 of the union flange 190 a circumferentially U circumferential first gap 196 is available. Alternatively or additionally, the second section 194 of the Überwurfflansches 190 be formed such that - at around the pipe 136 arranged around Überwurfflansch 190 - Between the second pipe section 188 and the second section 194 of the union flange 190 a circumferentially U circumferential, radial second gap 198 is available.

Der erste Spalt 196 und/oder der zweite Spalt 198 kann bezogen auf die Längsachse 14 in radialer Richtung gesehen jeweils eine Breite von zumindest 0,5 mm, 1 mm, 1,5 mm, 2 mm oder mehr als 2 mm aufweisen. Durch den ersten und/oder zweiten Spalt 196, 198 wird zwischen der Rohrleitung 136 und dem Überwurfflansch 190 ein Freiraum geschaffen, der eine Verdrehung und/oder eine Ovalisierung der Rohrleitung 136, insbesondere im Falle eines Crashs der Vakuumpumpe, erlaubt, ohne die Schrauben 144 abzuscheren. The first gap 196 and / or the second gap 198 can be related to the longitudinal axis 14 each seen in the radial direction have a width of at least 0.5 mm, 1 mm, 1.5 mm, 2 mm or more than 2 mm. Through the first and / or second gap 196 . 198 is between the pipeline 136 and the collar flange 190 created a free space, the rotation and / or ovalization of the pipeline 136 , especially in case of a crash of the vacuum pump, allowed without the screws 144 shear.

Insbesondere der Spalt 196 zwischen dem ersten Abschnitt 192 des Überwurfflanschs 190 und dem ersten Rohrleitungsabschnitt 186 kann verhältnismäßig groß ausgebildet sein, indem eine radial innen liegende, um den ersten Rohrleitungsabschnitt umlaufende Innenwand 200 möglichst weit nach radial außen gelegt ist. Dies wird nachfolgend mit Bezug auf die 8 bis 10 näher erläutert. In particular, the gap 196 between the first section 192 of the union flange 190 and the first pipe section 186 can be made relatively large by a radially inner, surrounding the first pipe section inner wall 200 as far as possible radially outward. This will be described below with reference to the 8th to 10 explained in more detail.

Im ersten und zweiten Abschnitt 192, 194 des Überwurfflanschs 190 sind mehrere in Umfangsrichtung U gesehen versetzt zueinander angeordnete und zumindest im Wesentlichen senkrecht zur Umfangsrichtung U verlaufende, durchgehende Bohrungen 202 vorgesehen, in welche die Schrauben 144 zum Verbinden des Überwurfflanschs 190 mit dem Gegenflansch 138 einsteckbar sind. In the first and second section 192 . 194 of the union flange 190 are seen in the circumferential direction U offset from one another and at least substantially perpendicular to the circumferential direction U extending through holes 202 provided in which the screws 144 for connecting the coupling flange 190 with the counterflange 138 are pluggable.

9 zeigt einen Querschnitt durch eine Ausgestaltung des Überwurfflanschs 190 und insbesondere durch den ersten Abschnitt 192 des Überwurfflanschs. 10 zeigt entsprechend einen Querschnitt durch den ersten Abschnitt 192 einer anderen Ausgestaltung des Überwurfflanschs 190. 9 shows a cross section through an embodiment of the union flange 190 and in particular through the first section 192 of the union flange. 10 shows accordingly a cross section through the first section 192 another embodiment of the Überwurfflanschs 190 ,

Wie 9 und 10 zeigen, sind die Mittelachsen 204 der Bohrungen 202 in einem Radius R zur Längsachse 14 angeordnet. Um möglichst viel Freiraum zu schaffen zwischen der Innenwand 200 und der Außenwand des ersten Rohrleitungsabschnitt 186 ist die Innenwand 200 möglichst weit nach radial außen verlegt. As 9 and 10 show are the central axes 204 drilling 202 in a radius R to the longitudinal axis 14 arranged. To create as much free space between the inner wall 200 and the outer wall of the first pipe section 186 is the inner wall 200 laid as far as possible radially outward.

Bei der Ausgestaltung der 9 verläuft die Innenwand 200 tangential zu den radial innen liegenden Rändern 206 der Bohrungen 202. D.h. die Innenwand 200 schneidet sich mit den radial innen liegenden Rändern 206 der Bohrungen 202. Die Innenwand 200 kann auch soweit nach radial außen gelegt sein, dass sie sich mit den radial außen liegenden Rändern 208 der Bohrungen 202 schneidet. Die Bohrungen 202 können somit im Bereich des ersten Abschnitts 192 vollständig von radial innen her freigedreht sein, wodurch ein verhältnismäßig großer erster Spalt 196 zwischen dem ersten Abschnitt 192 des Überwurfflanschs und dem ersten Rohrleitungsabschnitt 186 geschaffen werden kann. In the embodiment of 9 the inner wall runs 200 tangential to the radially inner edges 206 drilling 202 , That is the inner wall 200 intersects with the radially inner edges 206 drilling 202 , The inner wall 200 can also be placed so far radially outward that they are with the radially outer edges 208 drilling 202 cuts. The holes 202 can thus be in the range of the first section 192 be fully rotated from radially inward, creating a relatively large first gap 196 between the first section 192 the union flange and the first pipe section 186 can be created.

Bei der Ausgestaltung der 10 ist der Durchmesser der Innenwand 200 so gewählt, dass sich die Innenwand mit den Mittelachsen 204 der Bohrungen 202 schneidet. Der Durchmesser der Innenwand 200 entspricht somit dem zweifachen Radius R. Bei der Ausgestaltung der 10 sind die Bohrungen 202 im Bereich des ersten Abschnitts 192 somit bis zu ihrer Mittelachse 204 von radial innen her freigedreht, wodurch einerseits bereits ein verhältnismäßig großer erster Spalt 196 zwischen dem ersten Abschnitt 192 des Überwurfflanschs und dem ersten Rohrleitungsabschnitt 186 geschaffen werden kann, während andererseits die durch die Bohrungen 202 hindurchragenden Schrauben 144 ausreichend abgestützt werden können. In the embodiment of 10 is the diameter of the inner wall 200 chosen so that the inner wall with the central axes 204 drilling 202 cuts. The diameter of the inner wall 200 thus corresponds to twice the radius R. In the embodiment of the 10 are the holes 202 in the area of the first section 192 thus up to its central axis 204 freely rotated from radially inside, on the one hand already a relatively large first gap 196 between the first section 192 the union flange and the first pipe section 186 can be created, while on the other hand through the holes 202 protruding screws 144 can be sufficiently supported.

Um eine einfache Anordnung eines Überwurfflansches um die Rohrleitung 136 zu erreichen, ist es vorteilhaft, wenn der Überwurfflansch aus zwei oder mehr ringartigen Segmenten zusammengesetzt wird. For a simple arrangement of a Überwurfflansches around the pipeline 136 To achieve, it is advantageous if the coupling flange is composed of two or more ring-like segments.

Die 11 zeigt in einer Draufsicht zwei miteinander verbundene, teilringartige Segmente 210, 212 eines mehrteiligen Überwurfflanschs. Dabei weist das eine Segment 210 einen hakenartigen Fortsatz 214 auf, welcher dazu ausgebildet ist, in eine Einkerbung 216 am anderen Segment 212 einzugreifen, wodurch eine sichere mechanische Verbindung zwischen den beiden Segmenten 210, 212 erreicht wird, insbesondere wenn der aus mehreren Segmenten 210, 212 gebildete Überwurfflansch um die Rohrleitung 136 herum angeordnet ist. The 11 shows in a plan view two interconnected, part-ring-like segments 210 . 212 a multi-part union flange. This has a segment 210 a hook-like extension 214 which is designed to be in a notch 216 at the other segment 212 intervene, creating a secure mechanical connection between the two segments 210 . 212 is achieved, especially if the multi-segment 210 . 212 formed Überwurfflansch around the pipeline 136 is arranged around.

Die 12 zeigt in einer Draufsicht zwei teilringartige Segmente 218, 220 eines Überwurfflanschs, die über eine in Form einer Verbindungslasche 222 ausgebildete Verbindungseinrichtung miteinander verbunden werden. Die Verbindungslasche 222 wird dazu über die beiden Segmente 218, 220 gelegt und sowohl am einen Segment 218 als auch am anderen Segment 220 befestigt, z.B. mittels einer jeweiligen Schraubverbindung. The 12 shows in a plan view two partial ring-like segments 218 . 220 a Überwurfflanschs, via a in the form of a connecting strap 222 trained connecting device are interconnected. The connecting strap 222 This is about the two segments 218 . 220 laid and both on one segment 218 as well as on the other segment 220 fastened, for example by means of a respective screw connection.

Die 13 zeigt in einer Querschnittsdarstellung einen Teil einer Rohrleitung 136 sowie einen Teil eines um die Rohrleitung 136 herum angeordneten Überwurfflanschs 224. Dabei ist an der Außenseite der Rohrleitung 136 eine nach radial außen weg stehende Nase 226 ausgebildet, die in eine längliche Vertiefung 228 in der Innenwand des Überwurfflansches 224 eingreift. Wie 13 zeigt, weist die Vertiefung 228 in Umfangsrichtung U eine Erstreckung auf, die deutlich größer ist als die Erstreckung der Nase 226 in Umfangsrichtung. Die bezogen auf die Umfangsrichtung U an einem ersten Ende 230 der Vertiefung 228 anliegende Nase 226 kann somit, insbesondere im Falle eines Crashs der Vakuumpumpe sowie einer durch den Crash bewirkten Verdrehung der Rohrleitung 136, sich in Umfangsrichtung bis zum Erreichen eines zweiten Endes 232 der Vertiefung 228 gegenüber dem Überwurfflansch 224 bewegen. Bei einer weiteren Verdrehung wird der Überwurfflansch 224 mitgenommen, da die Nase dann am zweiten Ende 232 anschlägt. Dadurch wird eine Dämpfung der Drehbewegung erreicht. The 13 shows in a cross-sectional view a part of a pipeline 136 as well as a part of one around the pipeline 136 arranged around Überwurfflanschs 224 , It is on the outside of the pipeline 136 a radially outward nose away 226 formed into an elongated depression 228 in the inner wall of the Überwurfflansches 224 intervenes. As 13 shows, points the depression 228 in the circumferential direction U an extension which is significantly greater than the extent of the nose 226 in the circumferential direction. Which relate to the circumferential direction U at a first end 230 the depression 228 fitting nose 226 can thus, in particular in the case of a crash of the vacuum pump as well as caused by the crash rotation of the pipeline 136 , extending in the circumferential direction until reaching a second end 232 the depression 228 opposite the collar flange 224 move. In a further twist the Überwurfflansch 224 taken along, because the nose then at the second end 232 strikes. As a result, damping of the rotational movement is achieved.

Durch die Vertiefung 238 und die darin eingreifende Nase 226 kann sich somit die Rohrleitung 136 im Falle eines Crashs der Vakuumpumpe gegenüber dem Überwurfflansch 224 anfänglich bis zum Erreichen des von dem zweiten Ende 232 gebildeten Anschlags verdrehen. Bei Erreichen des zweiten Endes 232 wird eine weitere Drehbewegung verhindert bzw. durch den Überwurfflansch 224 stark gedämpft. Eine Abscherung der Schrauben 144 zur Fixierung des Überwurfflanschs 224 an einem Gegenflansch kann somit bei einer gleichzeitigen Dämpfung der Verdrehung der Rohrleitung 136 im Falle eines Crashs der Vakuumpumpe verhindert werden. Through the depression 238 and the nose engaging in it 226 thus can the pipeline 136 in the event of a crash of the vacuum pump with respect to the coupling flange 224 initially until reaching the second end 232 turn stop formed. Upon reaching the second end 232 a further rotational movement is prevented or by the Überwurfflansch 224 heavily steamed. A shearing of the screws 144 for fixing the union flange 224 on a counter flange can thus with a simultaneous damping of the rotation of the pipeline 136 be prevented in the event of a crash of the vacuum pump.

BezugszeichenlisteLIST OF REFERENCE NUMBERS

10 10: Pumpeneinlass pump inlet
11 11: Einlassflansch inlet flange
12 12: Pumpenauslass pump outlet
14 14: Rotationsachse, Längsachse Rotation axis, longitudinal axis
15 15: Rotorwelle rotor shaft
16 16: Rotor rotor
18 18: Motorraum engine compartment
20 20: Antriebsmotor drive motor
22 22: Motorstator motor stator
24 24: Zwischenraum gap
26 26: Pfeile, Gasweg Arrows, gas path
28 28: Einlass inlet
30 30: Auslass outlet
32 32: Kanal channel
34 34: Aussparung recess
38 38: Kern core
42 42: Spule Kitchen sink
64 64: Gehäuse casing
66 66: Rotorscheibe rotor disc
68 68: Statorscheibe stator
70 70: Abstandsring spacer ring
72 72: Rotornabe rotor hub
74, 76 74, 76: Holweckrotorhülse Holweckrotorhülse
78, 80 78, 80: Holweckstatorhülse Holweckstatorhülse
82, 84, 86, 87 82, 84, 86, 87: Holweckspalt Holweckspalt
88 88: Wälzlager roller bearing
90 90: Permanentmagnetlager Permanent magnetic bearings
92 92: Spritzmutter spray mother
94 94: saugfähige Scheibe absorbent disc
96 96: wannenförmiger Einsatz trough-shaped insert
98 98: Deckelelement cover element
100 100: rotorseitige Lagerhälfte Rotor-side bearing half
102 102: statorseitige Lagerhälfte stator side half
104, 106 104, 106: Magnetring magnetic ring
108 108: Lagerspalt bearing gap
110, 112 110, 112: Trägerabschnitt support section
114 114: Strebe strut
116 116: Deckelelement cover element
118 118: Befestigungsring fixing ring
120 120: Ausgleichselement compensation element
122 122: Stützring support ring
124 124: Fanglager safety bearing
126 126: Befestigungshülse mounting sleeve
128 128: Permanentmagnetanordnung Permanent magnet assembly
130 130: Kapselung encapsulation
132 132: Aufnahmeabschnitt receiving portion
134 134: Stirnseite front
136 136: Rohrleitung pipeline
138 138: Gegenflansch counterflange
140 140: Dichtring seal
142 142: Stützring support ring
144 144: Schraube screw
146 146: Flansch flange
148 148: Überwurfflansch Compression flange
150 150: Zentriervorsprung centering
152 152: Bohrung drilling
154 154: Ausnehmung recess
156 156: Gewindebohrung threaded hole
158 158: Zentriereinrichtung centering
160 160: erste Seite first page
162 162: zweite Seite second page
164 164: Bohrung drilling
166 166: Zentrierring centering
168 168: erster Rohrleitungsabschnitt first pipe section
170 170: zweiter Rohrleitungsabschnitt second pipe section
172 172: Überwurfflansch Compression flange
174 174: Bohrung drilling
176 176: obere Stirnseite upper end side
178 178: untere Stirnseite lower front side
180 180: Rohrhülse tubular sleeve
182 182: Aufnahme admission
184 184: Freiraum free space
186 186: erster Rohrleitungsabschnitt first pipe section
188 188: zweiter Rohrleitungsabschnitt second pipe section
190 190: Überwurfflansch Compression flange
192 192: erster Abschnitt des Überwurfflanschs first section of the union flange
194 194: zweiter Abschnitt des Überwurfflanschs second section of the union flange
196 196: erster Spalt first gap
198 198: zweiter Spalt second gap
200 200: Innenwand inner wall
202 202: Bohrung drilling
204 204: Mittelachse central axis
206 206: radial innerer Rand radially inner edge
208 208: radial äußerer Rand radially outer edge
210 210: Segment segment
212 212: Segment segment
214 214: Fortsatz extension
216 216: Einkerbung notch
218 218: Segment segment
220 220: Segment segment
222 222: Verbindungslasche connecting strap
224 224: Überwurfflansch Compression flange
226 226: Nase nose
228 228: Vertiefung deepening
230 230: erstes Ende first end
232 232: zweites Ende second end
Ee: Ebene level
UU: Umfangsrichtung circumferentially
RR: Radius radius

Claims

Vacuum system with a vacuum pump, in particular turbomolecular pump, comprising at least one pipeline ( 136 ), in particular an inlet or outlet pipeline, having an end, on which one about a longitudinal axis ( 14 ) of the pipeline ( 136 ) circumferential, lying in a plane (E) end face ( 134 ) is formed, wherein a mating flange ( 138 ) of a vacuum device on the front side ( 134 ), in particular with at least one intermediate element ( 140 . 142 . 166 ), such as a gasket, wherein a flange ( 146 ) around the pipeline ( 136 ) is arranged around, which by means of screws ( 144 ) with the counterflange ( 138 ) is connectable for producing a flange counter flange connection, and wherein the flange ( 146 ) in the direction of the longitudinal axis ( 14 ) offset to the through the front side ( 134 ) extending level (E) on the pipeline ( 136 ) is arranged.

Vacuum system according to claim 1, characterized in that the flange ( 146 ) in the direction of the longitudinal axis ( 14 ) has a distance of more than 0.3 cm, 0.5 cm, 1 cm, 2 cm, 3 cm, 4 cm or 5 cm from the plane (E).

Vacuum system according to claim 1 or 2, characterized in that the flange ( 146 ) in the direction of the longitudinal axis ( 14 ) has a distance to the plane (E) which corresponds at least approximately to 1 to 3 times, preferably 1.5 to 2 times, the diameter of the screws provided for producing the flange counter flange connection ( 144 ) exhibit.

Vacuum system according to at least one of the preceding claims, characterized in that at the radially inner end of the end face ( 134 ) in the direction of the longitudinal axis ( 14 ) from the front side ( 134 ) projecting centering projection ( 150 ) for centering the flange ( 146 ) and the counterflange ( 138 ) is formed relative to each other, wherein, preferably, the centering projection ( 150 ) with or without interruptions about the longitudinal axis ( 14 ) runs around.

Vacuum system according to at least one of the preceding claims, characterized in that in the circumferential direction (U) of the flange ( 146 ) seen a plurality of mutually offset recesses ( 154 . 164 ), in particular bores or grooves, are formed.

Vacuum system according to claim 5, characterized in that each recess ( 154 ) in the circumferential direction (U) has an extension which is at least 1.5 times, 2 times or 3 times greater than the diameter of the screws provided for producing the flange counter flange connection ( 144 ).

Vacuum system according to at least one of the preceding claims, characterized in that a coupling flange ( 148 ) provided by the plane (E) of the end face ( 134 ) seen from behind the flange ( 146 ) around the pipeline ( 136 ) is arranged around or can be arranged, wherein, preferably, the union flange ( 148 ) in one piece or from at least two, in particular partially annular, segments is formed.

Vacuum system according to claim 7, characterized in that the coupling flange ( 148 ) seen in the circumferential direction (U) a plurality of mutually offset, in particular aligned with the recesses ( 154 ) of the flange ( 146 ) alignable, openings, in particular holes ( 152 ), having.

Vacuum system according to one of claims 7 or 8, characterized in that on the flange ( 146 ) a centering device ( 158 ), in particular a bore, and on the collar flange ( 148 ), a further centering device, in particular a further bore, are formed, wherein the two centering devices ( 158 ) are concentrically aligned with each other.

Vacuum system according to claim 9, characterized in that in the case of aligned centering devices ( 158 ) one opening each ( 152 ) of the collar flange ( 148 ) each having a recess ( 154 ) of the flange ( 146 ), in particular such that the central axis of the respective opening ( 152 ) in the circumferential direction (U) to the center of the respective aligned with the opening (U) 152 ) aligned recess ( 154 ) is offset.

Vacuum system with a vacuum pump, in particular turbomolecular pump, comprising at least one pipeline ( 136 ), in particular an inlet or outlet pipeline, having an end, on which one about a longitudinal axis ( 14 ) of the pipeline ( 136 ) circumferential end face ( 134 ) is formed, wherein on the front side ( 134 ) a counterflange ( 138 ) of a vacuum device can be arranged, in particular with at least one intermediate element ( 140 . 142 ), such as a gasket, wherein a first pipe section located at the end of the pipeline ( 186 ) has a larger outer diameter than an adjoining second pipe section ( 188 ), and a Überwurfflansch ( 190 ) around the pipeline ( 136 ) and by means of screws ( 144 ) with the counterflange ( 138 ) is connectable for the production of a flange counter flange connection, wherein, at around the pipeline ( 136 ) arranged around Überwurfflansch ( 190 ), a first section ( 192 ) of the collar flange ( 190 ) the first pipe section ( 186 ), and taking a look at the first section ( 192 ) subsequent second section ( 194 ) of the collar flange ( 190 ) the second pipe section ( 188 ) and the first pipe section ( 186 ), the first section ( 192 ) of the collar flange ( 190 ) is formed such that, at around the pipeline ( 136 ) arranged around Überwurfflansch ( 190 ), between the first pipeline section ( 186 ) and the first section ( 192 ) of the collar flange ( 190 ) in the circumferential direction (U) circumferential first gap ( 196 ), and / or wherein the second section ( 194 ) of the collar flange ( 190 ) is formed such that, at around the pipeline ( 136 ) arranged around Überwurfflansch ( 190 ), between the second pipeline section ( 188 ) and the second section ( 194 ) of the collar flange ( 190 ) in the circumferential direction (U) circumferential second gap ( 198 ) is available.

Vacuum system according to claim 11, characterized in that the first gap ( 196 ) and / or the second gap ( 198 ) in the radial direction has a width of at least 0.5 mm, 1 mm, 1.5 mm, 2 mm or more than 2 mm.

Vacuum system according to claim 11 or 12, characterized in that in the first and second sections ( 192 . 194 ) of the collar flange ( 190 ) seen in the circumferential direction (U) offset from one another and at least substantially perpendicular to the circumferential direction (U) extending through recesses ( 202 ), in particular bores, are provided, in which the screws ( 144 ) for connecting the union flange ( 190 ) with the counterflange ( 138 ) are plugged.

Vacuum system according to claim 13, characterized in that the first section ( 192 ) a radially inner, the first pipe section ( 186 ), in particular circular cylindrical around the first pipe section ( 186 ) running, inner wall ( 200 ) whose diameter is aligned with the recesses ( 202 ) cuts.

Vacuum system according to claim 14, characterized in that the diameter of the inner wall ( 200 ) with radially inner edges ( 206 ) of the recesses ( 202 ) or with radially outer edges ( 208 ) of the recesses ( 202 ) or between the radially inner and outer radial edges ( 206 . 208 ) of the recesses ( 202 ), wherein, preferably, the diameter of the inner wall ( 200 ) at least approximately through the central axes ( 204 ) of the recesses ( 202 ) runs.

Vacuum system with a vacuum pump, in particular turbomolecular pump, comprising at least one pipeline ( 136 ), in particular an inlet or outlet pipeline, having an end, at which one about a longitudinal axis of the pipeline ( 136 ) circumferential end face ( 134 ) is formed, wherein on the front side ( 134 ) a counterflange ( 138 ) of a vacuum device can be arranged, in particular with at least one intermediate element ( 140 . 142 ), such as a seal, with one at the end of the pipeline ( 136 ) lying first pipe section ( 168 ) has a larger outer diameter than an adjoining second pipe section ( 170 ), and a Überwurfflansch ( 172 ) around the second section of pipeline ( 170 ) can be arranged around it so that it the first pipe section ( 168 ) engages behind, and the plurality in the circumferential direction (U) seen offset from each other and at least substantially perpendicular to the circumferential direction (U) extending through recesses ( 174 ), in particular holes, in which screws ( 144 ) for connecting the union flange ( 172 ) with the counterflange ( 138 ) are insertable, and wherein the recesses ( 174 ) through an end face ( 178 ) of the collar flange ( 172 ), which at around the second pipe section ( 170 ) around the collar flange ( 172 ) the counterflange ( 138 ), and wherein in the collar flange ( 172 ) from the front side ( 178 ) concentric with the recesses ( 174 ) trained recordings ( 182 ) for inserting tubular sleeves ( 180 ) for supporting the union flange ( 172 ) on the counter flange ( 134 ) are introduced.

Vacuum system according to at least one of claims 11 to 16, characterized in that the coupling flange of at least two ring-like segments ( 210 . 212 . 218 . 220 ) is composable or composed.

Vacuum system according to claim 17, characterized in that at least one connecting device ( 222 ) for mechanically connecting circumferentially (U) adjacent segments ( 218 . 220 ) of the Überwurfflansches is provided.

Vacuum system according to one of the preceding claims 7 to 18, characterized in that in a radially inner side of the coupling flange ( 224 ) extending in the circumferential direction U elongated recess ( 228 ) is formed, and on the outside of the pipeline ( 136 ) a nose ( 226 ), which at around the pipeline ( 136 ) arranged around Überwurfflansch ( 224 ) into the depression ( 228 ) intervenes.