DE202009007468U1 - Device for processing the inner surface of a pipe - Google Patents

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Abstract

Vorrichtung zur Bearbeitung der Innenoberfläche eines Rohres (1), insbesondere zur Materialabtragung, Oberflächenglättung und Entfernung unerwünschter Stoffe, wobei die Vorrichtung eine Heizquelle (2) sowie eine Zuführeinrichtung (3) für ein thermisch und/oder fotochemisch aktiviertes Ätzgas (4) umfasst, wodurch eine Erwärmung des zu bearbeiteten Teilbereiches des Rohres (1) sowie ein in Kontakt bringen mit dem zugeführten Ätzgas (4) erfolgt und außerdem Mittel vorgesehen sind, um die von der Innenoberfläche des Rohres (1) abgeschiedenen Elemente zu entfernen.Apparatus for processing the inner surface of a pipe (1), in particular for material removal, surface smoothing and removal of undesirable substances, the apparatus comprising a heating source (2) and a supply device (3) for a thermally and / or photochemically activated etching gas (4) a heating of the part to be machined portion of the tube (1) and in contact with the supplied etching gas (4) takes place and also means are provided to remove the deposited from the inner surface of the tube (1) elements.

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Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Bearbeitung der Innenoberfläche eines Rohres, insbesondere zur Materialabtragung, Oberflächenglättung und Entfernung unerwünschter Stoffe, gemäß der Merkmalskombination nach Anspruch 1.The The invention relates to a device for processing the inner surface a pipe, in particular for material removal, surface smoothing and removal of undesirable substances, according to the Feature combination according to claim 1.

Aus dem Stand der Technik ist bereits bekannt, dielektrische Körper, welche beispielsweise aus Glas gefertigt sind, thermisch mittels eines Plasmas zu behandeln. In der DE 698 02 881 T2 wird z. B. ein derartiges Verfahren beschrieben. Die dortige Aufgabenstellung zielt darauf ab, Oberflächenverunreinigungen auf Glaskörpern, vor allem Chlor und Hydroxyl, zu entfernen, wobei die Oberfläche des Glaskörpers im Wesentlichen intakt gelassen werden soll. Hierzu wird der feuerfeste, dielektrische Körper mit einer Plasma-Feuerkugel, wie sie beispielsweise durch einen Plasmabrenner hervorgerufen wird, behandelt. Dies führt zu einem unwesentlichen Abtrag eines Oberflächenbereichs des Körpers, welcher dennoch hinreichend ist, um sowohl Oberflächenverunreinigungen als auch Volumenverunreinigungen, insbesondere Chlor und Hydroxyl, bis zu einer Tiefe von wenigstens etwa 10 μm zu reduzieren. Das Verfahren kann sowohl bei einem Stab/einer Stange als auch bei einem Rohr bzw. einer Röhre angewandt werden. Vorteilhafterweise wird ein isothermer Plasmabrenner verwendet, bei dem die Innentemperatur und die Elektronentemperatur in dem erzeugten Plasma im Wesentlichen gleich sind. Durch Modifizierung der Prozessparameter, wie z. B. der Temperatur, kann festgelegt werden, bis zu welcher Tiefe bestimmte Verunreinigungen im feuerfesten, dielektrischen Körper entfernt werden. Des weiteren ist beschrieben, dass die Plasma-Feuerkugel ein Sauerstoff- oder sauerstoffhaltiges Plasma umfasst. Das Plasma heizt die Oberfläche des zu behandelnden Körpers auf eine Temperatur von 1800°C bis 2300°C auf. Die erreichte Oberflächentemperatur hängt von einer Vielzahl unabhängiger Parameter ab, darunter der dem Plasma zugeführten Energie, der Art des Plasmas, der Geschwindigkeit, mit welcher die Plasma-Feuerkugel den Körper durchquert, der Geschwindigkeit, mit welcher der Körper gedreht wird (wenn er zylindrisch ist), dem Abstand von der Feuerkugel zur Oberfläche des Körpers, und den Eigenschaften des feuerfesten, dielektrischen Körpers.It is already known from the prior art to thermally treat dielectric bodies, which are made of glass for example, by means of a plasma. In the DE 698 02 881 T2 is z. B. describes such a method. The task there aims to remove surface contaminants on glass bodies, especially chlorine and hydroxyl, with the surface of the glass body to be left substantially intact. For this purpose, the refractory, dielectric body is treated with a plasma fireball, as it is caused for example by a plasma torch. This results in insignificant removal of a surface area of the body which is nevertheless sufficient to reduce both surface contaminants and bulk contaminants, particularly chlorine and hydroxyl, to a depth of at least about 10 microns. The method can be applied both to a rod / rod and to a tube. Advantageously, an isothermal plasma torch is used in which the internal temperature and the electron temperature in the generated plasma are substantially equal. By modifying the process parameters, such. As the temperature, it can be determined to what depth certain impurities are removed in the refractory dielectric body. Furthermore, it is described that the plasma fireball comprises an oxygen- or oxygen-containing plasma. The plasma heats the surface of the body to be treated to a temperature of 1800 ° C to 2300 ° C. The surface temperature achieved depends on a variety of independent parameters, including the energy supplied to the plasma, the type of plasma, the rate at which the plasma fireball traverses the body, the rate at which the body is rotated (when it is cylindrical ), the distance from the fireball to the surface of the body, and the properties of the refractory dielectric body.

Nach Lehre der DE 60 2004 000 130 T2 ist des weiteren ein Verfahren zur Herstellung optischer Fasern und Vorformen ausgehend von einem Glasrohr bekannt, welches u. a. einen Ätzschritt umfasst. Das Ätzen kann zum einen die Innenoberfläche des Glasrohrs glätten, zum anderen chemisch absorbierte, wasserstoffatomhaltige Substanzen beseitigen und des weiteren bis zu einem gewissen Ausmaß Verunreinigungen entfernen, die in das Glasrohr eingedrungen sind. Bei Durchführung des Ätzschritts wird das Glasrohr mit einer Heizquelle erwärmt, während ein Ätzgas in das Rohr von einem Ende eingeführt wird. Die verschiedenen Gase für das Ätzen in der Gasphase umfassen Schwefelhexafluorid (SF6), Fluorkohlenwasserstoff (C2F6) und Siliziumtetrafluorid (SiF4). Die Gaskonzentration, die Ätzzeit und die Erwärmungstemperatur können in Übereinstimmung mit dem zu erzielenden Ätzgrad bestimmt werden. Das Ätzgas kann zusätzlich mit Cl2 gemischt werden.After teaching the DE 60 2004 000 130 T2 Furthermore, a method for producing optical fibers and preforms starting from a glass tube is known, which includes, inter alia, an etching step. The etching may, on the one hand, smooth the inner surface of the glass tube, and on the other eliminate chemically absorbed hydrogen atom-containing substances, and further, to some extent, remove impurities which have penetrated into the glass tube. In carrying out the etching step, the glass tube is heated with a heating source while an etching gas is introduced into the tube from one end. The different gases for etching in the gas phase comprises sulfur hexafluoride (SF 6), fluorocarbon (C 2 F 6) and silicon tetrafluoride (SiF 4). The gas concentration, the etching time and the heating temperature can be determined in accordance with the degree of etching to be achieved. The etching gas can additionally be mixed with Cl 2 .

An der Außenseite des Glasrohrs ist eine Heizquelle vorgesehen, die relativ zu dem Glasrohr bewegbar ist. Die Erwärmung des Glasrohrs mit der Heizquelle beeinflusst die Glasschicht auf der Innenoberfläche des Glasrohrs. Die verschiedenen Arten von Heizquellen umfassen einen Knallgasbrenner, eine Plasmaflamme und einen elektrischen Ofen, beispielsweise einen Induktionsofen oder einen Widerstandsofen. Die Innenseite des durch das eben beschriebene Verfahren geätzten Glasrohrs ist nahezu frei an wasserstoffatomhaltigen Substanzen, wonach ein derartig geätztes Glasrohr besonders gut als Ausgangsglasrohr für das MCVD oder PCVD-Verfahren geeignet ist.At the outside of the glass tube is a heating source provided which is movable relative to the glass tube. The warming of the glass tube with the heat source affects the glass layer the inner surface of the glass tube. The different types of heat sources include a blast gas burner, a plasma flame and an electric oven, such as an induction oven or a resistance oven. The inside of the just described Process etched glass tube is almost free of hydrogen atom-containing Substances, according to which such an etched glass tube especially good as a starting glass tube for the MCVD or PCVD process suitable is.

Bei der Bearbeitung einer Glasstange mittels eines Plasmabrenners in Verbindung mit einem Ätzgas ist es relativ einfach, die abgeschiedenen Verunreinigungen, chemischen Elemente und sonstige andere abgeschiedene Elemente vom Stab zu entfernen, da die abgeschiedenen Elemente in der umgebenen Atmosphäre verdampfen können, ohne dass sich diese auf dem zu berarbeitenden Glasmaterial ablagern. Bei der Bearbeitung von Innenoberflächen eines Rohres stellt sich jedoch das Problem, dass die abgetragenen Elemente sich möglicherweise wieder auf der Innenoberfläche des Rohres ablagern.at the processing of a glass rod by means of a plasma torch in Connection with an etching gas is relatively easy, the deposited impurities, chemical elements and others remove other deposited elements from the rod as the deposited ones Elements in the surrounding atmosphere can evaporate, without these depositing on the glass material to be processed. When working on inner surfaces of a pipe presents However, the problem is that the ablated elements may be deposit again on the inner surface of the tube.

Die eingangs genannten Schriften zum Stand der Technik geben keinen Hinweis darauf, mit welchen Mitteln das oben genannte Problem gelöst werden könnte.The The above-mentioned writings to the prior art give no Indication of the means by which the above problem is solved could.

Aus dem Vorgenannten ist es daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine weiterentwickelte Vorrichtung zur Bearbeitung der Innenoberfläche eines Rohres, insbesondere zur Materialabtragung, Oberflächenglättung und Entfernung unerwünschter Stoffe anzugeben.Out the above, it is therefore the object of the present invention an advanced device for processing the inner surface a pipe, in particular for material removal, surface smoothing and removal of undesirable substances.

Die Lösung der Aufgabe erfolgt durch eine Vorrichtung zur Bearbeitung der Innenoberfläche eines Rohres, insbesondere zur Materialabtragung, Oberflächenglättung und Entfernung unerwünschter Stoffe, gemäß der Merkmalskombination nach Patentanspruch 1, wobei die Unteransprüche mindestens zweckmäßige Ausgestaltungen und Weiterbildungen darstellen.The Solution of the task is carried out by a device for processing the inner surface of a tube, in particular for material removal, surface smoothing and removal of undesirable substances, according to the Feature combination according to claim 1, wherein the dependent claims at least expedient refinements and developments represent.

Erfindungsgemäß umfasst die Vorrichtung eine Heizquelle sowie eine Zuführeinrichtung für ein Ätzgas, wodurch eine Erwärmung des zu bearbeitenden Teilbereichs des Rohres sowie ein Inkontaktbringen mit dem zugeführten Ätzgas erfolgt. Außerdem sind Mittel vorgesehen, um die von der Innenoberfläche des Rohres abgeschiedenen Elemente zu entfernen.According to the invention, the device comprises a heating source and a supply device for an etching gas, whereby a heating of the portion of the pipe to be machined and contacting with the supplied etching gas takes place. In addition, means are provided to remove the deposited from the inner surface of the tube elements.

Bei dem Ätzgas handelt es sich um ein thermisch und/oder fotochemisch aktiviertes Ätzgas. Bei der Verwendung eines thermisch aktivierbaren Ätzgases wird die zur Aktivierung des Gases benötigte Temperaturentwicklung durch die in der Vorrichtung vorhandene Heizquelle erreicht. Auch die Aktivierung eines fotochemisch zu aktivierenden Ätzgases kann durch die Strahlung der Heizquelle bewirkt werden.at the etching gas is a thermal and / or photochemical activated etching gas. When using a thermal activatable etching gas is used to activate the gas required temperature development by existing in the device Heat source reached. Also, the activation of a photochemical too activating etching gas can by the radiation of the heat source be effected.

Bei der Heizquelle handelt es sich vorzugsweise um einen Plasmabrenner. Als thermisch und/oder fotochemisch aktivierbares Ätzgas kann Schwefelhexafluorid (SF6) und/oder Sauerstoff (O2) Verwendung finden.The heating source is preferably a plasma torch. Sulfur hexafluoride (SF 6 ) and / or oxygen (O 2 ) can be used as thermally and / or photochemically activatable etching gas.

Um eine Bearbeitung der Innenoberfläche eines Rohres, insbesondere eine Materialabtragung, Oberflächenglättung und Entfernung unerwünschter Stoffe zu erzielen, muss zunächst ein Plasma im Innenraum des Rohres erzeugt werden.Around a machining of the inner surface of a pipe, in particular a material removal, surface smoothing and Removal of undesirable substances must first be achieved a plasma can be generated in the interior of the tube.

Dies kann einerseits dadurch erzielt werden, dass der Plasmabrenner eine derartige Form aufweist, dass er in das Innere des Rohres eingeführt werden kann, um dort die Zündung und Erzeugung des Plasmas vorzunehmen. Durch die Zuführung des Ätzgases in das Innere des Rohres kann dann die gewünschte Bearbeitung der Innenoberfläche eines Rohres erfolgen.This can be achieved on the one hand, that the plasma torch a has such a shape that it is inserted into the interior of the tube can to do there the ignition and generation of the plasma. By supplying the etching gas into the interior of the tube can then be the desired machining of the inner surface made of a tube.

Des weiteren ist eine indirekte Erzeugung des Plasmas im Rohrinnenraum denkbar. Hierbei wird zunächst für eine Plasmaerzeugung außenumfangsseitig des Rohres gesorgt, wobei die Temperatur und Intensität der Lichterzeugung derartig hoch ist, dass eine Zuführung eines Ätzgases in das Rohrinnere eine Plasmaerzeugung im Rohrinneren nach sich zieht, was aufgabengemäß für die Bearbeitung der Innenoberfläche des Rohres sorgt.Of Another is an indirect generation of the plasma inside the pipe conceivable. This is initially for a plasma generation provided on the outer peripheral side of the tube, wherein the temperature and intensity of light generation is so high that a supply of an etching gas into the tube interior a plasma generation inside the pipe entails what task for the machining of the inner surface of the tube provides.

Bei dem Mittel zur Entfernung der abgeschiedenen Elemente von der Innenoberfläche eines Rohres kann es sich beispielsweise um einen gezielt durch das Rohrinnere geführten Fluidstrom handeln. So können beispielsweise abgetragene Grafitteilchen durch einen kontinuierlich zugeführten und mit entsprechendem Druck beaufschlagten Fluidstrom durch das Rohrinnere nach außen transportiert werden, so dass keine Ablagerung der Grafitteilchen an der Innenoberfläche des Rohres erfolgen kann.at the means for removing the deposited elements from the inner surface a pipe can be, for example, a targeted by act the tube interior guided fluid flow. So can For example, removed graphite particles by a continuous supplied and pressurized with appropriate pressure Fluid flow transported through the inside of the tube to the outside so that no deposition of the graphite particles on the inner surface of the pipe can take place.

Des weiteren kann es sich bei dem Mittel zur Entfernung der abgetragenen Elemente um eine Sammelelektrode handeln, welche vorzugsweise als ein in Längsrichtung des Rohres ständig umlaufendes Band ausgestaltet ist.Of Further, it may be the means for removing the ablated Elements around a collecting electrode, which preferably as a in the longitudinal direction of the tube constantly circulating Band is designed.

Durch entsprechende Ladung der Sammelelektrode haften die abgetragenen, elektrisch geladenen Elemente an dieser an und werden durch die Ausgestaltung der Sammelelektrode als ständig umlaufendes Band aus dem Rohrinneren heraustransportiert.By corresponding charge of the collecting electrode adhere to the ablated, electrically charged elements on this and are due to the design the collecting electrode as a constantly circulating band from the Pipe inside transported out.

Das umlaufende Band muss außerhalb des Rohres zwangsläufig von den anhaftenden, von der Innenoberfläche des Rohres abgetragenen Elementen gesäubert werden. Eine derartige Säuberungseinrichtung ist z. B. in Form von Bürsten oder elektrisch geladenen Platten denkbar. Nach Passieren der Säuberungseinrichtung wird das Band wieder in das Rohrinnere transportiert, um in einem weiteren Durchlauf abgeschiedene Grafitelemente zu sammeln.The circumferential tape must necessarily outside the pipe from the adherent, from the inner surface of the pipe cleaned elements are cleaned. Such Cleaning device is z. B. in the form of brushes or electrically charged plates conceivable. After passing the cleaning device The tape is transported back to the inside of the pipe to be in a collect further pass deposited graphite elements.

In einer weiteren Ausführungsform ist die Sammelelektrode als stabförmiges Element ausgebildet, wobei das stabförmige Element vorzugsweise mindestens die dreifache Länge des zu bearbeitenden Rohres aufweist. Aufgrund dieser Länge und einer periodischen Auf- und Abbewegung des stabförmigen Elements ist gewährleistet, dass das stabförmige Element während der Auf- und Abbewegung außerhalb des Rohres von den anhaftenden, von der Innenoberfläche des Rohres abgeschiedenen Elementen gesäubert werden kann. Bei einer derartigen Ausführungsform des stabförmigen Elements sind zwei Säuberungsvorrichtungen notwendig, die außerhalb des Rohres am jeweiligen Rohrende angebracht sind. Auch in diesem Fall können die Säuberungsvorrichtungen als Bürsten bzw. elektrisch geladene Platten ausgebildet sein.In Another embodiment is the collecting electrode formed as a rod-shaped element, wherein the rod-shaped Element preferably at least three times the length of having to be machined tube. Because of this length and a periodic up and down movement of the rod-shaped Elements is guaranteed that the rod-shaped Element during the up and down movement outside of the pipe from the adhering, from the inside surface can be cleaned of the pipe deposited elements. In such an embodiment of the rod-shaped Elements are two cleaning devices necessary, the mounted outside of the pipe at the respective pipe end are. Also in this case, the cleaning devices designed as brushes or electrically charged plates be.

In einer besonders bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird ein induktiv gekoppeltes Hochfrequenzplasma verwendet.In a particularly preferred embodiment of the present invention Invention uses inductively coupled radio frequency plasma.

Die beschriebene Vorrichtung zur Bearbeitung der Innenoberfläche eines Rohres kann vor allem Verwendung bei der Bearbeitung eines Quarzglasrohrs finden, wobei dies vor allem bei der Herstellung optischer Fasern und Preformen von besonderer Bedeutung ist.The described device for processing the inner surface a pipe can be used mainly in the machining of a pipe Find quartz glass tube, this being especially in the production optical fibers and preforms is of particular importance.

Die Erfindung soll nachstehend anhand eines Ausführungsbeispiels sowie unter Zuhilfenahme einer Figur näher erläutert werden.The Invention will be described below with reference to an embodiment and explained in more detail with the aid of a figure become.

Die Figur zeigt hierbei ein zu bearbeitendes Rohr 1 in Schnittdarstellung. Eine Heizquelle 2 ist außenumfangsseitig des Rohres vorgesehen. Im dargestellten Beispiel handelt es sich um einen Plasmabrenner. Am oberen Rohrende ist eine Zuführeinrichtung 3 für das Ätzgas 4 vorgesehen. Somit wird ein indirektes Plasma im Innenraum des Rohres erzeugt, wodurch eine Bearbeitung der Innenoberfläche des Rohres, insbesondere eine Materialabtragung, Oberflächenglättung und Entfernung unerwünschter Stoffe erfolgen kann.The figure shows a pipe to be machined 1 in section. A heating source 2 is provided on the outer peripheral side of the tube. In the example shown, it is a plasma burner. At the upper end of the tube is a feeder 3 for the etching gas 4 intended. Thus, an indirect plasma is generated in the interior of the tube, whereby a processing of the inner surface of the tube, in particular a material removal, surface smoothing and removal of undesirable substances can take place.

In diesem Ausführungsbeispiel wird die Innenoberfläche des Rohres 1 von Grafitpartikeln gesäubert. Um diese Grafitpartikel aus dem Rohrinneren zu transportieren, ist eine Sammelelektrode vorgesehen, welche als ein in Längsrichtung des Rohres 1 ständig umlaufendes Band 5 ausgestaltet ist. Durch die elektrische Ladung des Rohres lagern sich die geladenen Grafitpartikel auf dem Band 5 an und werden somit durch die kontinuierliche Bewegung des Bandes nach außen transportiert.In this embodiment, the inner surface of the tube 1 cleaned of graphite particles. In order to transport these graphite particles from the tube interior, a collecting electrode is provided, which as a longitudinal direction of the tube 1 constantly circulating band 5 is designed. Due to the electrical charge of the tube, the charged graphite particles are deposited on the belt 5 and are thus transported by the continuous movement of the tape to the outside.

Außerhalb des Rohres ist eine Reinigungsvorrichtung 6 vorgesehen, wodurch das umlaufende Band 5 außerhalb des Rohres 1 von den anhaftenden, von der Innenoberfläche des Rohres 1 abgeschiedenen Elementen gesäubert wird. Die Säuberungsvorrichtung kann z. B. in Form von Bürsten bzw. elektrisch geladenen Platten ausgestaltet sein.Outside the tube is a cleaning device 6 provided whereby the circumferential band 5 outside the tube 1 from the adherent, from the inner surface of the pipe 1 cleaned off separated elements. The cleaning device can, for. B. be configured in the form of brushes or electrically charged plates.

Außerdem sei angemerkt, dass die Heizquelle 2 derart ausgestaltet sein kann, dass diese bezüglich des zu bearbeitenden Rohres verschieblich gelagert ist, so dass zum einen der Abstand zwischen der Heizquelle 2 und dem Rohr 1 sowie einem zu bearbeitender Teilbereich des Rohres einstellbar ist. Zum anderen kann die Temperatur bzw. Lichtintensität des erzeugten Plasmas durch Einstellung des Abstands zwischen der Heizquelle 2 und dem Rohr 1 reguliert werden.It should also be noted that the heat source 2 may be configured such that it is displaceably mounted with respect to the pipe to be processed, so that on the one hand, the distance between the heat source 2 and the tube 1 and a part of the pipe to be machined is adjustable. On the other hand, the temperature or light intensity of the plasma generated by adjusting the distance between the heat source 2 and the tube 1 be regulated.

11
Rohrpipe
22
Heizquelleheating source
33
Zuführeinrichtung für Ätzgasfeeding for etching gas
44
Ätzgasetching
55
umlaufendes Bandcirculating tape
66
Reinigungsvorrichtungcleaning device

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • - DE 69802881 T2 [0002] - DE 69802881 T2 [0002]
  • - DE 602004000130 T2 [0003] - DE 602004000130 T2 [0003]

Claims (16)

Vorrichtung zur Bearbeitung der Innenoberfläche eines Rohres (1), insbesondere zur Materialabtragung, Oberflächenglättung und Entfernung unerwünschter Stoffe, wobei die Vorrichtung eine Heizquelle (2) sowie eine Zuführeinrichtung (3) für ein thermisch und/oder fotochemisch aktiviertes Ätzgas (4) umfasst, wodurch eine Erwärmung des zu bearbeiteten Teilbereiches des Rohres (1) sowie ein in Kontakt bringen mit dem zugeführten Ätzgas (4) erfolgt und außerdem Mittel vorgesehen sind, um die von der Innenoberfläche des Rohres (1) abgeschiedenen Elemente zu entfernen.Device for processing the inner surface of a pipe ( 1 ), in particular for material removal, surface smoothing and removal of unwanted substances, the device comprising a heat source ( 2 ) and a feeder ( 3 ) for a thermally and / or photochemically activated etching gas ( 4 ), whereby a heating of the part of the pipe to be machined ( 1 ) as well as bringing into contact with the supplied etching gas ( 4 ) and also means are provided to the from the inner surface of the tube ( 1 ) to remove deposited elements. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Heizquelle (2) in Form eines Plasmas ausgestaltet ist.Device according to claim 1, characterized in that the heat source ( 2 ) is designed in the form of a plasma. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch die Verwendung von SF6 und/oder O2 als Ätzgas.Apparatus according to claim 1 or 2, characterized by the use of SF 6 and / or O 2 as etching gas. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem Mittel zur Entfernung der abgeschiedenen Elemente um eine Sammelelektrode handelt.Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that it is in the means for removal the deposited elements is a collecting electrode. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass es sich bei dem Mittel zur Entfernung der abgeschiedenen Elemente um einen durch das Rohrinnere geführten Fluidstrom handelt.Device according to one of claims 1 to 3, characterized in that it is in the means for removal the deposited elements to a guided through the pipe interior Fluid flow is. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Sammelelektrode als ein in Längsrichtung des Rohres (1) ständig umlaufendes Band (5) ausgestaltet ist.Apparatus according to claim 4, characterized in that the collecting electrode as a longitudinal direction of the tube ( 1 ) constantly circulating band ( 5 ) is configured. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das umlaufende Band (5) außerhalb des Rohres (1) von den anhaftenden, von der Innenoberfläche des Rohres (1) abgeschiedenen, Elementen gesäubert wird.Apparatus according to claim 6, characterized in that the circulating belt ( 5 ) outside the tube ( 1 ) of the adherent, of the inner surface of the tube ( 1 ) Separated, cleaned elements. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Sammelelektrode als stabförmiges Element ausgebildet ist.Device according to claim 4, characterized in that that the collecting electrode is formed as a rod-shaped element is. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das stabförmige Element mindestens die dreifache Länge des zu bearbetenden Rohres (1) aufweist.Apparatus according to claim 8, characterized in that the rod-shaped element at least three times the length of the pipe to be betbetenden ( 1 ) having. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, dass das stabförmige Element einer periodischen Auf- und Abbewegung unterliegt.Apparatus according to claim 8 or 9, characterized that the rod-shaped element of a periodic up and down Down movement is subject. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das stabförmige Element während der Auf- und Abbewegung außerhalb des Rohres (1) von den anhaftenden, von der Innenoberfläche des Rohres abgeschiedenen, Elementen gesäubert wird.Apparatus according to claim 10, characterized in that the rod-shaped element during the up and down movement outside the tube ( 1 ) is cleaned of adhering elements separated from the inner surface of the tube. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Zündung des Plasmas außerhalb des Rohres (1) erfolgt.Device according to one of claims 2 to 11, characterized in that the ignition of the plasma outside the tube ( 1 ) he follows. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Zündung des Plasmas im Rohrinneren erfolgt.Device according to one of claims 2 to 11, characterized in that the ignition of the plasma takes place inside the tube. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass ein induktiv gekoppeltes HF-Plasma gezündet wird.Device according to one of claims 2 to 13, characterized in that an inductively coupled RF plasma is ignited. Verwendung einer Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14 bei einem Quarzglasrohr.Use of a device according to one of the claims 1 to 14 in a quartz glass tube. Verwendung einer Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 14 bei der Herstellung einer Preform.Use of a device according to one of the claims 1 to 14 in the production of a preform.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE69802881T2 (en) 1997-09-29 2002-08-08 Lucent Technologies Inc., Murray Hill Process for the thermal treatment of a refractory, dielectric body, for example made of glass, by means of plasma
DE602004000130T2 (en) 2003-01-16 2006-07-06 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Process for producing optical fibers and preforms starting from a glass tube

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