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Die
Erfindung betrifft zum einen eine Thermodeneinheit zum Verbinden
und/oder zum elektrischen Kontaktieren von elektrischen und/oder
elektronischen Bauteilen mit einem Gehäuse, mit einer Führungseinrichtung,
mit einem auf die Führungseinrichtung
Anpresskräfte
ausübenden
Element und mit einer Heizeinrichtung, bei welcher die Heizeinrichtung
mittels der Führungseinrichtung
entlang einer axialen Führungsachse
der Thermodeneinheit verlagerbar ist, bei welcher mittels der Heizeinrichtung Mittel
zum Verbinden und/oder zum elektrischen Kontaktieren der elektrischen
und/oder elektronischen Bauteile erhitzt und bei welcher mittels
der Anpresskräfte
die elektrischen und/oder elektronischen Bauteile aneinander gepresst
werden können.
Zum anderen betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zum Herstellen
von mikroelektronischen Bauelementen und/oder Baugruppen.
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Gattungsgemäße Thermoden
sind aus dem Stand der Technik gut bekannt und mit ihnen können insbesondere
Halbleiterbauteile auf Substrate als Trägerbauteile aufgebracht werden,
wodurch beispielsweise entsprechende Halbleiter-Chips hergestellt
werden können.
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In
der Regel ist bei bekannten Thermoden ein Heizelement an einer linearen
Führung
befestigt, so dass das Heizelement an der Thermode translatorisch
bewegbar gehalten ist. Zum Initiieren einer entsprechenden translatorischen
Bewegung wird auf die lineare Führung
eine Kraft ausgeübt,
wobei diese Kraft meistens nur außerhalb eines Arbeitsprozesses eingestellt
werden kann. Bei einigen Thermoden kann die Kraft mittlerweile auch
während eines
Arbeitsprozesses eingestellt werden. Mittels der Kraft, welche auf
die lineare Führung
wirken kann, können miteinander
zu verbindende Bauteile aneinander gepresst werden, wobei diese
dann mittels durch die Heizeinrichtung erhitzbare Verbindungsmittel
dauerhaft miteinander verbunden werden können.
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Bei
einer herkömmlich
aufgebauten Thermode ist die lineare Führung bevorzugt in mehreren
Bereichen an der Thermode gelagert, um beispielsweise kippsicher
innerhalb eines Thermodengehäuses gehalten
werden zu können.
Oftmals besteht eine erste Lagerung zwischen der linearen Führung und einer
in dem Gehäuse
eingelassenen Buchse, in welcher die lineare Führung vor und zurück bewegt
werden kann. Mittels der Buchse kann ein Innenbereich eines Arbeitsmediums,
wie etwa eines Druckmittels, gegenüber einem weiteren Innenbereich
gut getrennt werden. Eine weitere Lagerung besteht darüber hinaus
meist direkt zwischen der linearen Führung und dem Gehäuse bzw.
einer Gehäuseinnenseite.
Hierbei gibt jedoch nur eine der Lagerungen die Genauigkeit der
linearen Führung
vor, wobei es bei der anderen der beiden Lagerungen oftmals zu Leckagen hinsichtlich
des Arbeitsmediums kommen kann. Derartige Leckagen sind jedoch nachteilig
und deshalb auch unerwünscht.
Den Leckagen wird entgegnet, indem in den betroffenen Lagerungen
elastische Dichtungen vorgesehen werden. Zwar können hierdurch die Leckagen
zumindest eine Zeit lang sicher beseitigt werden, jedoch verursachen
derartige elastische Dichtungen zusätzliche Reibwiderstände an der
linearen Führung,
wodurch die lineare Führung
ungenauer bewegt werden kann. Oftmals müssen insbesondere bei kleineren
Kräften
mit unterschiedlichen Thermoden gearbeitet werden, um die Reibwiderstände verringern
zu können.
Insbesondere Thermoden ohne elastische Dichtungen haben hohe Leckageverluste,
was bei einem Einsatz mehrerer Thermoden beispielsweise hinsichtlich
einer ausreichenden Luftversorgung zu Problemen führen kann.
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Da
auch derartige Halbleiter-Chips baulich immer kleiner werden und
die Anforderungen an die Montagepräzision, beispielsweise hinsichtlich
einer Montagewinkligkeit und Montagekräfte zwischen dem aufzutragenden
Halbleiterbauteil und dem Substrat, hierbei stetig steigen, wachsen
auch die Anforderungen an die Thermoden, um eine derartige höhere Montagepräzision betriebssicher
gewährleisten zu
können.
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Insofern
ist es Aufgabe vorliegender Erfindung gattungsgemäße Thermoden
entsprechend weiterzuentwickeln, um insbesondere eine höhere Montagepräzision bereit
stellen zu können.
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Die
Aufgabe der Erfindung wird von einer Thermodeneinheit zum Verbinden
und/oder zum elektrischen Kontaktieren von elektrischen und/oder elektronischen
Bauteilen mit einem Gehäuse,
mit einer Führungseinrichtung,
mit einem auf die Führungseinrichtung
Anpresskräfte
ausübenden
Element und mit einer Heizeinrichtung gelöst, bei welcher die Heizeinrichtung
mittels der Führungseinrichtung
entlang einer axialen Führungsachse
der Thermodeneinheit verlagerbar ist, bei welcher mittels der Heizeinrichtung
Mittel zum Verbinden und/oder zum elektrischen Kontaktieren der
elektrischen und/oder elektronischen Bauteile erhitzt und bei welcher
mittels der Anpresskräfte
die elektrischen und/oder elektronischen Bauteile aneinander gepresst
werden können,
wobei sich die Thermodeneinheit dadurch auszeichnet, dass die Führungseinrichtung
gemeinsam mit dem Anpresskräfte
ausübenden
Element innerhalb des Gehäuses
gelagert ist, wobei die Führungseinrichtung
und das Anpresskräfte
ausübende Element
mechanisch voneinander entkoppelt sind.
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Dadurch,
dass die Führungseinrichtung
und das Anpresskräfte
ausübende
Element mechanisch voneinander entkoppelt sind, kann insbesondere
die Führungseinrichtung
baulich besonders einfach innerhalb des Gehäuses der Thermodeneinheit gelagert
werden. Hierdurch kann die Führungseinrichtung
außergewöhnlich präzise bewegt
werden, wodurch der gesamten Thermodeneinheit eine besonders hohe
Montagepräzision
innewohnt.
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Insbesondere
hat das Anpresskräfte
ausübende
Element idealerweise keinen Einfluss auf besonders gering einstellbare
Anpresskräfte,
da es von der Führungseinrichtung
und auch von der Heizeinrichtung mechanisch entkoppelt ist. Somit
können nahezu
minimale Anpresskräfte
im Wesentlichen lediglich allein durch die Eigengewichte der Führungseinrichtung
und der Heizeinrichtung eingestellt werden. Hierdurch können die
zur Verfügung
stehenden Anpresskräfte
gegenüber
bisherigen Anpresskräften wesentlich
reduziert werden, wodurch die Montagepräzision der vorliegenden Thermodeneinheit
gegenüber
herkömmlichen
Thermoden insbesondere hinsichtlich besonders kleiner elektrischer
und/oder elektronischer Bauteile bereits vorteilhaft verbessert ist.
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Der
Begriff „mechanisch
voneinander entkoppelt" bedeutet
im Sinne der Erfindung, dass die Führungseinrichtung und das Anpresskräfte ausübende Element
zwar miteinander Wechselwirken können,
jedoch hierbei nicht starr miteinander verbunden sind. Hierdurch
können
insbesondere unterschiedliche Radialbewegungen der beiden Komponenten
ausgeglichen werden. Insbesondere können von dem Anpresskräfte ausübenden Element
im Wesentlichen nur axial wirkende Arbeitskräfte bzw. Anpresskräfte auf
die Führungseinrichtung
der Thermodeneinheit übertragen
werden. Radial wirkende Kräfte
sind entweder gar nicht oder nur vernachlässigbar gering zwischen dem
Anpresskräfte
ausübenden Element
und der Führungseinrichtung übertragbar.
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In
diesem Zusammenhang sieht eine vorteilhafte Ausführungsvariante vor, dass das
Anpresskräfte
ausübende
Element und die Führungseinrichtung
zueinander radial beweglich angeordnet sind. Zumindest sind die
aufeinander zu gerichteten Enden des Anpresskräfte ausübenden Elementes und der Führungseinrichtung
nicht starr miteinander verbunden.
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Als
ein auf die Führungseinrichtung
Anpresskräfte
ausübendes
Element, kurz auch Anpresskräfte ausübendes Element
genannt, kann jegliches Element in Betracht kommen, welches innerhalb
des Gehäuses
der Thermodeneinheit angeordnet ist und welches die wesentlichen
Anpresskräfte
in die Führungseinrichtung
einleiten bzw. auf die Führungseinrichtung übertragen
kann.
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Vorteilhafter
Weise kann hierdurch die Heizeinrichtung derart mit vorzugsweise
elektrisch zu verbindenden elektrischen und/oder elektronischen Bauteilen
in Kontakt gebracht werden, dass diese Bauteile in einem Arbeitsprozess
dauerhaft miteinander verbunden werden können.
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Als „Verbindungsmittel" können hierbei
beispielsweise geeignete Klebstoffe oder Lote zur Anwendung kommen.
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Baulich
kompakt kann die vorliegende Thermodeneinheit bereit gestellt werden,
wenn die Führungseinrichtung
zumindest teilweise innerhalb des Gehäuses angeordnet ist. Es versteht
sich, dass die Führungseinrichtung
zum Positionieren der Heizeinrichtung mehr oder weniger weit aus
dem Gehäuse der
Thermodeneinheit heraus verlagert werden kann.
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Ist
das Anpresskräfte
ausübenden
Element innerhalb des Gehäuses
angeordnet, kann die Thermodeneinheit noch kompakter bauen.
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Die
Anpresskräfte
können
zwischen dem Anpresskräfte
ausübenden
Element und der Führungseinrichtung
besonders verlustfrei übertragen
werden, wenn das Anpresskräfte
ausübende
Element und die Führungseinrichtung
kopfseitig gegenüberliegend angeordnet
sind. Hierbei liegen die Führungseinrichtung
und das Anpresskräfte
ausübenden
Element vorzugsweise in Richtung der axialen Führungsachse der Thermodeneinheit.
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Besonders
feinfühlig
kann die Führungseinrichtung
angesprochen werden, wenn das Anpresskräfte ausübende Element als Zylinder-/Kolbeneinheit
gestaltet ist.
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Eine
nicht nur diesbezüglich
bevorzugte Ausführungsvariante
sieht vor, dass das Anpresskräfte
ausübende
Element einen in einer Buchse beweglich gelagerten Stößel umfasst.
Durch einen mit einer Buchse zusammenwirkenden Stößel kann
das Anpresskräfte
ausübende
Element konstruktiv sehr einfach innerhalb des Gehäuses ausgebildet
werden.
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Ist
der Stößel verdrehsicher
innerhalb der Buchse angeordnet, könnte an dem Stößel zugleich die
Heizeinrichtung angeordnet und geführt werden, wodurch die Thermodeneinheit
noch kompakter bauen kann.
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Hierbei
ist es vorteilhaft, wenn die Buchse fest in dem Gehäuse angeordnet
ist. Somit kann der Stößel bzw.
das Anpresskräfte
ausübende
Element besonders exakt innerhalb der Thermodeneinheit gelagert
werden. Beispielsweise ist die Buchse innerhalb des Gehäuses eingepresst.
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Umfasst
die Führungseinrichtung
eine Linearführungsschlitteneinrichtung,
kann vorteilhafter Weise auch auf einen verdrehgesicherten Stößel verzichtet
werden, da etwa die Heizeinrichtung an der Linearführungsschlitteneinrichtung
verdrehsicher geführt
werden kann. Selbstverständlich
können
auch alternativ andere Formen an verdrehgesicherten Lineareinrichtungen
verwendet werden.
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Deshalb
sieht eine alternative Ausführungsvariante
vor, dass an der Linearführungsschlitteneinrichtung
eine Halteeinrichtung für
die Heizeinrichtung angeordnet ist. Die Halteein richtung kann hierbei
an einem Linearführungsschlitten
befestigt sein, der in oder an einem Linearführungsschlittenträger linear geführt ist.
Mittels der Linearführungsschlitteneinrichtung
kann die Winkelgenauigkeit hinsichtlich eines geforderten Montagewinkels
wesentlich besser eingehalten werden. Insofern ist es vorteilhaft,
wenn an der Linearführungsschlitteneinrichtung
eine Halteeinrichtung für
die Heizeinrichtung befestigt ist.
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Es
versteht sich, dass die Linearführungsschlitteneinrichtung
vielfältig
gestaltet werden kann, solange er in das vorliegende Gehäuse der
Thermodeneinheit integrierbar ist.
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Es
versteht sich weiter, dass die Linearführungsschlitteneinrichtung
besonders kostengünstig bereitgestellt
werden kann, wenn es sich bei der Linearführungsschlitteneinrichtung
um ein seriengefertigtes Zukaufbauteil handelt. Da der Aufbau und die
Funktionsweise einer derartigen Linearführungsschlitteneinrichtung
aus dem Stand der Technik bereits vielfältig bekannt sind, wird nicht
weiter auf die hier verwendete Linearführungsschlitteneinrichtung eingegangen.
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Jedenfalls
ist es zusätzlich
vorteilhaft, wenn insbesondere das Gehäuse Aufnahmen aufweist, welche
eine seriengefertigte Linearführungsschlitteneinrichtung
aufnehmen können,
so dass die seriengefertigte Linearführungsschlitteneinrichtung
betriebssicher in dem Gehäuse
der Thermodeneinheit befestigbar ist.
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Ist
an einem der Führungseinrichtung
abgewandten Ende des Anpresskräfte
ausübenden
Elementes eine Pressluftkammer angeordnet, kann das Anpresskräfte ausübenden Element
besonders gut einstellbar mit entsprechenden Anpresskräften beaufschlagt
werden. Es versteht sich, dass anstelle von Pressluft auch andere
Arbeitsmedien, wie Gase oder Fluide, vorteilhaft verwendet werden
können.
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Kumulativ
oder alternativ kann auch eine elektromagnetische Antriebseinrichtung
vorgesehen werden, welche das Anpresskräfte ausübende Element antreibt. Beispielsweise
ist der Stößel metallisch
und von einer elektrischen Spule umgeben, so dass der Stößel mittels
einer elektromagnetischen Wechselwirkung bewegt werden kann, wenn
die elektrische Spule entsprechend von Strom durchflossen wird.
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Um
unterschiedliche Ansprechverhalten mehrerer Thermodeneinheiten etwa
hinsichtlich Reibwertunterschiede an einem Linearführungsschlitten
und/oder hinsichtlich Gewichtsunterschiede bezüglich verschiedener Heizeinrichtungen
konstruktiv einfach ausgleichen zu können, ist es vorteilhaft, wenn
die Thermodeneinheit eine Kalibriereinrichtung aufweist, wobei Kalibriergewichte
der Kalibriereinrichtung an dem Linearführungsschlitten anordenbar sind.
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Die
Aufgabe der Erfindung wird auch von einer Vorrichtung zum Herstellen
von mikroelektronischen Bauelementen und/oder Baugruppen gelöst, wobei
die Vorrichtung eine oder mehrere Thermodeneinheiten nach einem
der hier erläuterten
Merkmale bzw. Merkmalkombinationen aufweist. Insbesondere wenn die
Vorrichtung mehrere Thermodeneinheiten aufweist, können eine
Vielzahl an mikroelektronischen Bauelementen und/oder Baugruppen in
einem Arbeitsprozess hergestellt werden.
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Ist
die Thermodeneinheit unterhalb einer Arbeitsebene angeordnet, wobei
das Anpresskräfte ausübende Element
unterhalb der Führungseinrichtung
angeordnet ist, kann die Führungseinrichtung allein
schon auf Grund seines Eigengewichtes stets an dem Anpresskräfte ausübende Element
anliegen.
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Auch
das Eigengewicht der Heizeinrichtung kann den Anpresskräften entgegen
wirken, wodurch hinsichtlich der zu verbindenden und/oder elektrisch zu
kontaktierenden elektrischen und/oder elektronischen Bauteile vorteilhafter
Weise besonders geringe Anpresskräfte realisierbar sind.
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Aber
selbst, wenn die Eigengewichte insbesondere der Führungseinrichtung
und der Heizeinrichtung in Arbeitsrichtung der Anpresskräfte wirken, können die
gewünschten
Anpresskräfte
vorteilhaft erreicht werden.
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Vorteilhafter
Weise können
mit der vorliegenden Thermodeneinheit Anpresskräfte in einem Anpresskräftebereich
von mehr als 0,4 N, vorzugsweise von mehr als 0,6 N, und von weniger
als 20 N, vorzugsweise von weniger als 10 N, erzielt werden, unabhängig davon,
ob das Anpresskräfte
ausübende Element
ober- oder unterhalb der Führungseinrichtung
platziert ist.
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Vorzugsweise
zeichnet sich die Thermodeneinheit durch einen Anpresskräftebereich
von 0,6 N bis 10 N aus, wodurch auch hinsichtlich besonders kleiner
elektrischer und/oder elektronischer Bauteile sehr präzise Montagekräfte eingestellt
werden können.
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Auf
Grund der sehr geringen Anpresskräfte, welche mittels der Thermodeneinheit
realisiert werden können,
kann die Thermodeneinheit auch als Niedrigkraftthermode bezeichnet
werden.
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Eine
zusätzliche
Montageverbesserung kann erzielt werden, wenn das Anpresskräfte ausübende Element
innerhalb des Gehäuses
während
eines Arbeitsprozesses einstellbar ist. Hierbei können die
Anpresskräfte
während
eines Arbeitsprozesses idealerweise online überwacht und bei Bedarf sofort nachreguliert
werden, wodurch der Ausschuss beispielsweise an mikroelektronischen
Bauelementen und/oder Baugruppen wesentlich reduziert werden kann.
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Weitere
Vorteile, Ziele und Eigenschaften vorliegender Erfindung werden
anhand nachfolgender Beschreibung anliegender Zeichnung erläutert, in welcher
beispielhaft Thermodeneinheiten dargestellt sind, welche Führungseinrichtungen
und auf diese Führungseinrichtungen
Anpresskräfte
ausübende Elemente
aufweisen, die mechanisch voneinander entkoppelt sind. Komponenten,
welche in den Figuren wenigstens im Wesentlichen hinsichtlich ihrer Funktionen übereinstimmen,
können
hierbei mit gleichen Bezugsziffern gekennzeichnet sein, wobei diese
Komponenten nicht in allen Figuren beziffert und erläutert sein
müssen.
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Es
zeigt:
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1 schematisch
eine geschnittene Ansicht einer ersten Thermodeneinheit;
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2 schematisch
eine Seitenansicht eines Gehäuses
der ersten Thermodeneinheit aus der 1;
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3 schematisch
eine geschnittene Ansicht einer weiteren Thermodeneinheit, bei welcher eine
Führungseinrichtung
für eine
Heizeinrichtung o berhalb eines Anpresskräfte ausübenden Elementes angeordnet
ist; und
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4 schematisch
eine Seitenansicht eines Gehäuses
der weiteren Thermodeneinheit aus der 3.
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Die
in den 1 und 2 gezeigte Thermodeneinheit 1 ist
in diesem ersten Ausführungsbeispiel 2 bezüglich einer
Montageebene 3 einer hier nicht näher gezeigten Vorrichtung zum
Herstellen von mikroelektronischen Bauelementen und/oder Baugruppen
oberhalb 3A der Montageebene 3 platziert. Die
Darstellung nach der 1 ist hierbei eine Schnittdarstellung
entlang der Schnittlinie A-A, welche in der Darstellung gemäß der 2 zu
sehen ist.
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Die
Thermodeneinheit 1 hat ein Gehäuse 4, in welchem
im Wesentlichen eine Führungseinrichtung 5 und
ein auf diese Führungseinrichtung 5 Anpresskräfte 6 ausübendes Element 7 angeordnet sind.
Darüber
hinaus umfasst die Thermodeneinheit 1 eine Heizeinrichtung 8,
welche an der Führungseinrichtung 5 mittels
eines Adapters 9 befestigt ist. Als Hitzeschutz ist zwischen
der Heizeinrichtung 8 und dem Adapter 9 eine Isoliereinrichtung 10 vorgesehen.
Die Heizeinrichtung 8 kann mittels der Führungseinrichtung 5 entlang
einer axialen Führungsachse 11 (siehe 1)
auf die Montageebene 3 zubewegt oder von der Montageebene 3 wegbewegt werden.
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Zwar
sind die Führungseinrichtung 5 und
das Anpresskräfte 6 ausübenden Element 7 innerhalb des
Gehäuses 4 gelagert.
Vorteilhafter Weise sind das Anpresskräfte 6 ausübende Element 7 und
die Führungseinrichtung 5 jedoch
nicht starr miteinander gekoppelt, also mechanisch voneinander getrennt, so
dass die Führungseinrichtung 5 und
das Anpresskräfte 6 ausübende Element 7 unabhängig voneinander
gelagert sind. Zudem können
die Anpresskräfte 6 nahezu
frei von Radialkräften
zwischen dem Anpresskräfte 6 ausübenden Element 7 und
der Führungseinrichtung 5 übertragen
werden, wodurch eine hervorragende Montagepräzision an der Thermodeneinheit 1,
insbesondere an der Führungseinrichtung 5 erzielt
werden kann. Hierbei sind das Anpresskräfte 6 ausübende Element 7 und
die Führungseinrichtung 5 in
einem Kontaktbereich 12 jeweils kopfseitig gegenüberliegend
innerhalb der Thermodeneinheit 1 angeordnet.
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Das
Anpresskräfte 6 ausübende Element 7 besteht
in diesem ersten Ausführungsbeispiel 2 aus einem
Stößel 13,
der in einer Laufbuchse 14 gelagert ist, wobei die Laufbuchse 14 in
das Gehäuse 4 der Thermodeneinheit 1 eingepresst
ist. Oberhalb des Stößels 13 befindet
sich eine Druckluftkammer 15, über welche mittels Druckluft
Anpresskräfte 6 in
den Stößel 13 eingeleitet
werden kann. Mittels Regulierung der Druckluft können die Anpresskräfte 6 auch während eines
Arbeitsprozesses eingestellt werden. Der Stößel 13 und die Laufbuchse 14 wirken
hierbei derart zusammen, dass die Druckluft, wenn überhaupt,
nur vernachlässigbar
gering durch das Gehäuse 4 hindurch
aus der Druckluftkammer 15 entweichen kann. Somit ist die
Thermodeneinheit 1 besonders druckluftdicht gestaltet und
damit vorteilhaft auch in großer
Anzahl an einer geeigneten Vorrichtung zu betreiben.
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Die
Führungseinrichtung 5 besteht
hierbei einerseits aus einer Linearführungsschlitteneinrichtung 16,
die als serienfertiges Zukaufbauteil innerhalb des Gehäuses 4 verbaut
ist. Andererseits umfasst die Führungseinrichtung 5 eine
Halteeinrichtung 17, an welcher die Heizeinrichtung 8 gehalten
ist. Die Halteeinrichtung 17 ist hierbei an einem Linearführungsschlitten 18 befestigt,
wobei der Linearführungsschlitten 18 an
einem Linearführungsschlittenträger 19 linear
geführt
ist. Insofern ist die Halteeinrichtung 17 verdrehsicher
und mit einer besonders hohen Montagewinkelpräzision gegenüber der
Montageebene 3 innerhalb des Gehäuses 4 gelagert.
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Um
mehrere Thermodeneinheiten 1 insbesondere hinsichtlich
eines gemeinsamen Arbeitsprozesses gut aufeinander abstimmen zu
können,
ist es vorteilhaft, wenn an dem Linearführungsschlitten 18 zusätzlich noch
Kalibriergewichte 20 einer Kalibriereinrichtung 21 befestigt
werden können.
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Bei
einem in den 3 und 4 gezeigten weiteren
Ausführungsbeispiel 22 einer
alternativ aufgebauten Thermodeneinheit 1, ist die Thermodeneinheit 1 diesmal
unterhalb 3B der Montageebene 3 platziert. Die
Darstellung nach der 3 ist hierbei eine Schnittdarstellung
entlang der Schnittlinie A-A, welche in der Darstellung gemäß der 4 zu
sehen ist.
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Die
Thermodeneinheit 1 weist ebenfalls ein Gehäuse 4 auf,
in welchem eine Führungseinrichtung 5 und
ein auf die Führungseinrichtung 5 Anpresskräfte 6 ausübendes Element 7 gelagert
sind. An der Führungseinrichtung 5 ist über einen
Adapter 9 und eine Isolierein richtung 10 eine
Heizeinrichtung 8 befestigt. Auch hier besteht das Anpresskräfte 6 ausübende Element 7 aus
einem in einer Laufbuchse 14 gelagerten Stößel 13.
Unterhalb des Stößels 13 ist eine
Druckluftkammer 15 angeordnet. Oberhalb des Stößels 13 ist
eine Halteeinrichtung 17, an welcher die Heizeinrichtung 8 gehalten
ist, angeordnet. Die Halteeinrichtung 17 gehört hierbei
zu der Führungseinrichtung 5 und
ist verdrehsicher an einer Linearführungsschlitteneinrichtung 16 befestigt.
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Die
Führungseinrichtung 5 und
das Anpresskräfte 6 ausübende Element 7 liegen
sich auch bei diesem weiteren Ausführungsbeispiel 22 in
einem Kontaktbereich 12 kopfseitig gegenüber. Und
zwar derart, dass sie mechanisch voneinander entkoppelt sind. Hierdurch
kann sowohl die Führungseinrichtung 5 als
auch das Anpresskräfte 6 ausübende Element 7 innerhalb
des Gehäuses 4 unabhängig voneinander
gelagert werden. Insofern liegen auch hier die diesbezüglich zuvor
bereits erläuterten
Vorteile vor. An dieser Stelle sei noch ergänzt, dass insbesondere die
Komponenten Stößel 13/Laufbuchse 14 keine wesentlichen
arbeitsprozessbedingten Radialkräfte aufnehmen
müssen,
so dass diese Komponenten Stößel 13/Laufbuchse 14 hierbei
nur hinsichtlich einer guten Dichtigkeit und geringer Reibwerte
ausgelegt sein können,
wodurch sich das Ansprechverhalten insbesondere beider Thermodeneinheiten 1 weiter
verbessern lässt.
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Dadurch,
dass die Thermodeneinheit 1 hierbei unterhalb 36 der
Montageebene 3 platziert ist, lassen sich insgesamt sehr
geringe Anpresskräfte 6 realisieren,
da die Eigengewichte insbesondere des Anpresskräfte 6 ausübende Elementes 7,
der Führungseinrichtung 5 und
auch der Heizeinrichtung 8 die Anpresskräfte 6 nicht
zusätzlich
verstärken.
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Sämtliche
in den Anmeldungsunterlagen offenbarten Merkmale können als
erfindungswesentlich beansprucht werden, sofern sie einzeln oder
in Kombination gegenüber
dem Stand der Technik neu sind.
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- 1
- Thermodeneinheit
- 2
- erstes
Ausführungsbeispiel
- 3
- Montageebene
- 3A
- oberhalb
- 3B
- unterhalb
- 4
- Gehäuse
- 5
- Führungseinrichtung
- 6
- Anpresskräfte
- 7
- Anpresskräfte ausübendes Element
- 8
- Heizeinrichtung
- 9
- Adapter
- 10
- Isoliereinrichtung
- 11
- axiale
Führungsachse
- 12
- Kontaktbereich
- 13
- Stößel
- 14
- Laufbuchse
- 15
- Druckluftkammer
- 16
- Linearführungsschlitteneinrichtung
- 17
- Halteeinrichtung
- 18
- Linearführungsschlitten
- 19
- Linearführungsschlittenträger
- 20
- Kalibriergewichte
- 21
- Kalibriereinrichtung
- 22
- weiteres
Ausführungsbeispiel