DE202008009107U1 - angle meter - Google Patents

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    • G01D5/3473Circular or rotary encoders

Abstract

Winkelmessgerät, das zumindest eine Drehachse (3, 4, 23, 50) eine Teilerscheibe (5, 25, 51) mit einer Umfangsfläche (6, 52) und zwei Stirnflächen (7, 8, 53, 54) aufweist, wobei auf einer der Stirnflächen (7, 8, 53) eine beleuchtbare Codierung (10, 30, 56) zur reflektiven oder transmissiven optischen Erfassung von Drehwinkeln mit einem Sensor (11, 59) vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Drehachse (4, 23, 50) und deren Teilerscheibe (5, 25, 51) einstückig ausgeführt sind.Angle measuring device, the at least one rotation axis (3, 4, 23, 50) has a divider disk (5, 25, 51) having a peripheral surface (6, 52) and two end faces (7, 8, 53, 54), wherein on one of the end faces (7, 8, 53) an illuminable coding (10, 30, 56) for the reflective or transmissive optical detection of angles of rotation with a sensor (11, 59) is provided, characterized in that the axis of rotation (4, 23, 50) and the divider plate (5, 25, 51) in one piece are executed.

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Figure 00000001

Description

Die Erfindung betrifft ein Winkelmessgerät, das zumindest eine Drehachse eine Teilerscheibe mit einer Umfangsfläche und zwei Stirnflächen aufweist, wobei auf einer der Stirnflächen eine beleuchtbare Codierung zur reflektiven oder transmissiven optischen Erfassung von Drehwinkeln mit einem Sensor vorgesehen ist.The The invention relates to an angle measuring device which has at least one Rotary axis a divider with a peripheral surface and having two end faces, wherein on one of the end faces an illuminable coding for reflective or transmissive optical Detecting rotation angles is provided with a sensor.

Ein solches Winkelmessgerät geht beispielsweise aus der DT 26 48 592 A1 hervor. Bei diesem Winkelmessgerät ist ein Teilkreis auf einem Teilkreisträger angeordnet. Als nachteilig wird an diesem Winkelmessgerät angesehen, dass auf Grund von Wärmeeinwirkungen Spannungen zwischen dem Teilkreisträger und dem Teilkreis auftreten können, die zu leichten Verschiebungen des Teilkreises in Folge von Wärmeausdehnung führen. Diese Verschiebungen beeinflussen das Messergebnis nachteilig. Zudem ist die zweiteilige Ausführungsform aufwendig in der Herstellung.Such an angle measuring device is for example from the DT 26 48 592 A1 out. In this angle measuring device, a partial circle is arranged on a partial circle carrier. A disadvantage is considered in this angle measuring that due to heat stresses between the Teilkreisträger and the pitch circle can occur, leading to slight shifts of the pitch circle as a result of thermal expansion. These shifts adversely affect the measurement result. In addition, the two-part embodiment is expensive to manufacture.

Der Erfindung liegt ausgehend vom Stand der Technik die Aufgabe zu Grunde, ein Winkelmessgerät aufzuzeigen, bei dem weniger Spannungen zwischen einer Drehachse und deren Teilerscheibe in Folge von Wärmeausdehnungen auftreten und das sich zudem leichter herstellen lässt.Of the Invention is based on the prior art based on the object to show an angle measuring device with less tension between a rotation axis and its divider disc as a result of thermal expansion occur and that is also easier to produce.

Diese Aufgabe wird durch ein Winkelmessgerät mit den Merkmalen von Anspruch 1 gelöst.These Task is by an angle measuring device with the features of claim 1 solved.

Erfindungsgemäß sind die Drehachse und deren Teilerscheibe einstückig ausgeführt.According to the invention the axis of rotation and the divider disc made in one piece.

Diese Lösung hat den Vorteil, dass zwischen der Teilerscheibe und der Drehachse nur vernachlässigbare Wärmespannungen auftreten, da diese sich auf Grund der Einstückigkeit in gleichem Masse ausdehnen. Mithin tritt kein Verzug zwischen der Drehachse und der Teilerscheibe auf. Es wirkt sich weiterhin vorteilhaft aus, dass Wärmeausdehnungen in radialer Richtung nur einen geringen Einfluss auf das Winkelmessergebnis haben.These Solution has the advantage that between the splitter disc and the axis of rotation only negligible thermal stresses occur because these are due to the one-piece in expand the same mass. Thus there is no delay between the Rotary axis and the splitter disc on. It continues to be beneficial from that thermal expansion in the radial direction only one have little influence on the angle measurement result.

Die Codierung kann hierbei absolut oder inkrementell sein.The Coding can be absolute or incremental.

Vorteilhafte Ausführungsformen des Winkelmessgeräts gehen aus den Unteransprüchen 2 bis 18 hervor.advantageous Embodiments of the angle measuring device go out the dependent claims 2 to 18.

Vorzugsweise ist das Winkelmessgerät ein geodätisches Winkelmessgerät, das eine auf ein Zielobjekt ausrichtbare optische Achse aufweist, wobei die optische Achse um zwei Drehachsen, als Kippachse und Stehachse, drehbar ist.Preferably the angle measuring device is a geodetic angle measuring device, having an optical axis alignable with a target object, wherein the optical axis about two axes of rotation, as a tilting axis and standing axis, is rotatable.

Um Drehwinkel bzw. Veränderungen von Drehwinkeln mit dem Sensor erfassen zu können, ist bekannt, dass eine Codierung mit möglichst starken Kontrasten (hell/dunkel, schwarz/weiss) bereitgestellt werden muss. Die Codierung wird in Form einer Strukturierung auf die Oberfläche einer Stirnseite aufgebracht. Um eine besonders hohe Auflösung zu erzeugen, werden Verfahren der Mikrostrukturierung angewandt. Hierzu sollte die Oberfläche vor dem Aufbringen der Codierung optisch glatt sein. Auf der Oberfläche kann eine Codierung in Form von radialen Strichen vorgesehen sein. Zum Aufbringen der Codierung kommen mehrere Verfahren in Betracht, die nachfolgend aufgeführt sind.Around Angle of rotation or changes of angles of rotation with the sensor To be able to capture, it is known that an encoding with strongest possible contrasts (light / dark, black / white) must be provided. The coding is in the form of a structuring applied to the surface of an end face. To one To produce particularly high resolution, methods applied to the microstructuring. This should be the surface be optically smooth before applying the coding. On the surface a coding in the form of radial lines may be provided. To apply the coding, several methods are considered, the listed below.

Bekannt ist es, die Striche mit einer Farbe auf die Oberfläche aufzutragen. Die so erzeugten Kontraste können in Transmission und Reflexion mit dem Sensor erfasst und zur Auswertung gebracht werden.Known It is the strokes with a paint on the surface apply. The contrasts thus generated can be transmitted and reflection detected with the sensor and brought to the evaluation.

In einer Ausführungsform ist die Teilerscheibe mit der Codierung bedampft oder beschichtet, insbesondere durch Sputter-Coating.In One embodiment is the splitter disc with the coding steamed or coated, in particular by sputter coating.

Vorzugsweise ist die Codierung auf die Teilerscheibe mit einem lithographischen Verfahren aufgebracht. Dies ermöglicht eine rationelle Fertigung der Teilerscheibe und eine hohe Auflösung bei der Darstellung von Codierungselementen, so dass Winkel mit einer höheren Genauigkeit abgelesen werden können. Skaleneinteilungen im Winkelsekundenbereich und Sub-Winkelsekundenbereich sind möglich. Die Codierung kann mit einem photolithographischen Verfahren aufgebracht sein. Weitere mögliche lithographische Verfahren sind die Elektronen- oder Ionenstrahllithographie.Preferably is the coding on the splitter disc with a lithographic Applied method. This allows a rational Production of the splitter disc and a high resolution at the representation of coding elements, so that angles with a higher accuracy can be read. graduations in the angular second range and sub-angular second range are possible. The Coding can be applied by a photolithographic process be. Other possible lithographic methods are the Electron or ion beam lithography.

Weiterhin ist vorgesehen, dass die Codierung in die Teilerscheibe eingeritzt sein kann.Farther it is envisaged that the coding is engraved in the divider can be.

Gemäss einer weiteren Ausführungsform ist vorgesehen, dass die Codierung in die Teilerscheibe mit einem Trocken- oder Nassätzverfahren eingeätzt oder durch die Teilerscheibe durchgeätzt ist.According to A further embodiment provides that the Coding in the splitter disc with a dry or wet etching process etched or etched through the splitter disc is.

Die Codierung kann auch durch Pressen oder Spritzen auf die Teilerscheibe aufgebracht sein.The Coding can also be done by pressing or spraying on the splitter disc be upset.

Gemäß einer besonders bevorzugten Ausführungsform ist die Drehachse und die Teilerscheibe mit der Codierung ein Gussteil.According to one particularly preferred embodiment is the axis of rotation and the splitter disc with the coding of a casting.

Zweckmässig kann die Codierung auf die Teilerscheibe auch durch örtliches Verdampfen oder Einbrennen aufgebracht sein.expedient The coding on the divider disk can also be done by local Vaporizing or baking be applied.

Weiterhin ist vorgesehen, dass die Codierung als Phasengitter, insbesondere als diffraktive Struktur, ausgebildet sein kann. Dieses kann zum Beispiel in einer Polycarbonatschicht, die auf der Teilerscheibe aufgetragen ist, eingebracht sein. Um das Phasengitter herzustellen, können aus der CD/DVD-Herstellung bekannte Prägeverfahren verwendet werden. Zur Herstellung von Phasengittern kann aber auch direkt auf eine Teilerscheibe aus Aluminium mittels eines lithographischen Verfahrens eine Mikrostruktur aus Aluminium aufgedampft oder eingeätzt werden.Furthermore, it is provided that the coding can be designed as a phase grating, in particular as a diffractive structure. This can, for example, in a polycarbonate layer, on the Tei Lerscheibe is applied, be introduced. To make the phase grating, known embossing methods can be used from CD / DVD manufacture. For producing phase gratings, however, a microstructure made of aluminum can also be vapor-deposited or etched directly onto a divider disk made of aluminum by means of a lithographic method.

Die Drehachse und die Teilerscheibe, die einstückig ausgeführt sind, können aus verschiedenen Werkstoffen hergestellt sein. In einer bevorzugten Ausführungsform sind die Drehachse und die Teilerscheibe aus einem Leichtmetall, z. B. Aluminium, oder einer Kupferlegierung, z. B. Messing. Auf beiden Werkstoffen lassen sich besonders glatte Oberflächen erzeugen. Aluminium zeichnet sich zudem durch eine geringe Dichte aus. Dadurch wird das Winkelmessgerät leichter.The Rotary axis and the divider disc, which are made in one piece are made of different materials be. In a preferred embodiment, the axis of rotation and the splitter disc made of a light metal, for. As aluminum, or a copper alloy, for. Brass. Leave on both materials create particularly smooth surfaces. Aluminum draws also characterized by a low density. This will be the angle encoder lighter.

Weiterhin können die Drehachse und die Teilerscheibe auch aus korrosionsbeständigem Stahl, insbesondere aus einem Edelstahl, sein.Farther The rotation axis and the splitter disc can also be made of corrosion-resistant Steel, in particular of a stainless steel, his.

Besonders bevorzugt wird eine Ausführungsform, bei der die Drehachse und die Teilerscheibe aus einem Material mit Wärmeausdehnungskoeffizienten α kleiner als 2∙10–6/K bei 20°C, insbesondere aus Invar-Stahl, sind, um den Einfluss von Wärmeausdehnungen nochmals zu reduzieren.Particularly preferred is an embodiment in which the axis of rotation and the divider disc made of a material with thermal expansion coefficients α smaller than 2 ∙ 10 -6 / K at 20 ° C, in particular Invar steel, to reduce the influence of thermal expansions again.

Die Drehachse und die Teilerscheibe können auch aus Keramik, vorzugsweise aus Glaskeramik, sein.The Rotary axis and the divider disc can also be made of ceramic, preferably of glass ceramic.

Die Erfindung ist nachfolgend anhand von in Figuren dargestellten Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigen:The Invention is described below with reference to exemplary embodiments illustrated in FIGS explained in more detail. Show it:

1 ein Winkelmessgerät in einer ersten Ausführungsform; 1 an angle measuring device in a first embodiment;

2 ein Winkelmessgerät in einer zweiten Ausführungsform; 2 an angle measuring device in a second embodiment;

3 eine Draufsicht auf eine Teilerscheibe; und 3 a plan view of a divider plate; and

4 eine Drehachse und eine Teilerscheibe mit einer Codierung auf einer Kegelfläche. 4 a rotation axis and a divider disc with a coding on a conical surface.

In der 1 ist die Erfindung beispielhaft an einem geodätischen Winkelmessgerät 1 in Form eines Theodoliten dargestellt. Das Winkelmessgerät 1 weist eine auf ein Zielobjekt ausrichtbare optische Achse 2 auf. Die optische Achse 2 ist um zwei Drehachsen 3, 4 drehbar und zwar um eine Kippachse 3 und um eine Stehachse 4. Die Stehachse 4 weist eine Teilerscheibe 5 mit einer Umfangsfläche 6 und zwei Stirnflächen 7, 8 auf. Auf einer der Stirnflächen 7 ist eine mit einer Beleuchtung 9 beleuchtbare Codierung 10 zur reflektiven optischen Erfassung von Drehwinkeln mit einem Sensor 11 vorgesehen. Die Codierung 10 ist auf die Teilerscheibe 5 gedampft. Erfindungsgemäss sind die Drehachse 4 und deren Teilerscheibe 5 einstückig ausgeführt. Die Drehachse 4 und die Teilerscheibe 5 sind aus Aluminium.In the 1 the invention is exemplary of a geodetic angle measuring device 1 represented in the form of a theodolite. The angle encoder 1 has an optical axis alignable with a target object 2 on. The optical axis 2 is about two axes of rotation 3 . 4 rotatable about a tilt axis 3 and a standing axis 4 , The standing axis 4 has a divider disk 5 with a peripheral surface 6 and two end faces 7 . 8th on. On one of the faces 7 is one with a lighting 9 illuminated coding 10 for the reflective optical detection of angles of rotation with a sensor 11 intended. The coding 10 is on the divider disk 5 steamed. According to the invention, the axis of rotation 4 and its divider disk 5 made in one piece. The rotation axis 4 and the divider disk 5 are made of aluminum.

Das Winkelmessgerät 21 der 2 unterscheidet sich von dem der 1 dadurch, dass auch die Kippachse 23 und deren Teilerscheibe 25 einstückig ausgeführt sind. Die Stehachse 4 und die Kippachse 23 sowie deren Teilerscheiben 5, 25 sind aus Stahl. Die Codierung 30 ist mit einem photolithographischen Verfahren auf die Teilerscheiben 5, 25 aufgebracht.The angle encoder 21 of the 2 is different from that of 1 in that also the tilt axis 23 and its divider disk 25 are made in one piece. The standing axis 4 and the tilt axis 23 as well as their divider disks 5 . 25 are made of steel. The coding 30 is by a photolithographic process on the splitter disks 5 . 25 applied.

3 zeigt einen Ausschnitt aus dem Winkelmessgerät. Die Anordnung weist eine Teilerscheibe 40, auf die eine Codierung in Form einer inkrementellen Strichteilung 41 aufgebracht ist, und vier Abtasteinheiten 42 auf. Die Strichteilung 41 ist mit vier Nullmarkierungen 43 versehen. Die zwei Paar einander diametral gegenüberliegender Photoelemente 42 als Abtasteinheiten sowie die zwei Paar einander gegenüberliegender Nullmarkierungen 43 sind zum Messen genauer Winkellagen vorgesehen. 3 shows a section of the angle measuring device. The arrangement has a divider disk 40 to which an encoding in the form of an incremental graduation 41 is applied, and four scanning units 42 on. The punctiform division 41 is with four zero marks 43 Mistake. The two pairs of diametrically opposed photoelements 42 as scanning units as well as the two pairs of opposing zero marks 43 are intended for measuring accurate angular positions.

In 4 ist eine weitere Ausführungsform der Drehachse 50 mit der Teilerscheibe 51 gezeigt. Die Drehachse 50 und die Teilerscheibe 51 sind einstückig aus eloxiertem Aluminium gebildet. Die Teilerscheibe 51 weist eine Umfangsfläche 52 und zwei Stirnflächen 53, 54 auf. Die Höhe H der Umfangsfläche 52 ist nicht wesentlich und kann deshalb sehr gering sein. Die in der Bildebene obere Stirnfläche 53 ist abschnittsweise als Kegelfläche 55 ausgeführt. Die Codierung 56 ist auf die Kegelfläche 55 durch Sputtern aufgebracht. Die Kegelfläche 55 reflektiert die von der Beleuchtung 57 kommende optische Strahlung 58 in Richtung eines Empfängers 59. Die Codierung 56 bewirkt, wie aus dem Stand der Technik bekannt, periodische Intensitätsunterschiede der mit dem Empfänger erfassten optischen Strahlung 58, die mit einer nicht näher dargestellten Schaltung zur Winkelbestimmung ausgewertet werden können.In 4 is another embodiment of the axis of rotation 50 with the divider disk 51 shown. The rotation axis 50 and the divider disk 51 are integrally formed of anodized aluminum. The divider disk 51 has a peripheral surface 52 and two end faces 53 . 54 on. The height H of the peripheral surface 52 is not essential and can therefore be very low. The upper surface in the image plane 53 is in sections as a conical surface 55 executed. The coding 56 is on the conical surface 55 applied by sputtering. The conical surface 55 reflects off the lighting 57 coming optical radiation 58 in the direction of a recipient 59 , The coding 56 causes, as known from the prior art, periodic intensity differences of the detected with the receiver optical radiation 58 , which can be evaluated with a circuit for angle determination, not shown.

11
Winkelmessgerätangle meter
22
optische Achseoptical axis
33
Drehachse, speziell KippachseAxis of rotation especially tilt axis
44
Drehachse, speziell StehachseAxis of rotation specially standing axle
55
Teilerscheibedivider plate
66
Umfangsflächeperipheral surface
77
Stirnflächeface
88th
Stirnflächeface
99
Beleuchtunglighting
1010
Codierungencoding
1111
Sensorsensor
2121
Winkelmessgerätangle meter
2323
Drehachse, speziell KippachseAxis of rotation especially tilt axis
2525
Teilerscheibedivider plate
3030
Codierungencoding
4040
Teilerscheibedivider plate
4141
Strichteilungline graduation
4242
Abtasteinheitscanning
4343
Nullmarkierungzero mark
5050
Drehachseaxis of rotation
5151
Teilerscheibedivider plate
5252
Umfangsflächeperipheral surface
5353
Stirnflächeface
5454
Stirnflächeface
5555
Kegelflächeconical surface
5656
Codierungencoding
5757
Beleuchtunglighting
5858
optische Strahlungoptical radiation
5959
Empfängerreceiver
HH
Höhe von 52 Height of 52

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNGQUOTES INCLUDE IN THE DESCRIPTION

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Zitierte PatentliteraturCited patent literature

  • - DE 2648592 A1 [0002] - DE 2648592 A1 [0002]

Claims (18)

Winkelmessgerät, das zumindest eine Drehachse (3, 4, 23, 50) eine Teilerscheibe (5, 25, 51) mit einer Umfangsfläche (6, 52) und zwei Stirnflächen (7, 8, 53, 54) aufweist, wobei auf einer der Stirnflächen (7, 8, 53) eine beleuchtbare Codierung (10, 30, 56) zur reflektiven oder transmissiven optischen Erfassung von Drehwinkeln mit einem Sensor (11, 59) vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Drehachse (4, 23, 50) und deren Teilerscheibe (5, 25, 51) einstückig ausgeführt sind.Angle measuring device, the at least one axis of rotation ( 3 . 4 . 23 . 50 ) a divider disk ( 5 . 25 . 51 ) with a peripheral surface ( 6 . 52 ) and two end faces ( 7 . 8th . 53 . 54 ), wherein on one of the end faces ( 7 . 8th . 53 ) an illuminated coding ( 10 . 30 . 56 ) for the reflective or transmissive optical detection of angles of rotation with a sensor ( 11 . 59 ), characterized in that the axis of rotation ( 4 . 23 . 50 ) and its divider disk ( 5 . 25 . 51 ) are made in one piece. Winkelmessgerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Winkelmessgerät ein geodätisches Winkelmessgerät ist, das eine auf ein Zielobjekt ausrichtbare optische Achse (2) aufweist, wobei die optische Achse (2) um zwei Drehachsen (3, 4, 23, 50), als Kippachse (3, 23) und Stehachse (4, 50), drehbar ist.Angle measuring device according to claim 1, characterized in that the angle measuring device is a geodetic angle measuring device, which can be aligned with a target object optical axis ( 2 ), wherein the optical axis ( 2 ) about two axes of rotation ( 3 . 4 . 23 . 50 ), as a tilting axis ( 3 . 23 ) and standing axis ( 4 . 50 ), is rotatable. Winkelmessgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Teilerscheibe (5, 25, 51) mit der Codierung (10, 30, 56) bedampft oder beschichtet ist, insbesondere durch Sputter-Coating.Angle measuring device according to claim 1 or 2, characterized in that the splitter disc ( 5 . 25 . 51 ) with the coding ( 10 . 30 . 56 ) is vapor-deposited or coated, in particular by sputter-coating. Winkelmessgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Codierung (10, 30, 56) auf die Teilerscheibe (5, 25, 51) mit einem lithographischen Verfahren aufgebracht ist.Angular measuring device according to claim 1 or 2, characterized in that the coding ( 10 . 30 . 56 ) on the splitter disc ( 5 . 25 . 51 ) is applied with a lithographic process. Winkelmessgerät nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Codierung (10, 30, 56) mit einem photolithographischen Verfahren aufgebracht ist.Angle measuring device according to claim 4, characterized in that the coding ( 10 . 30 . 56 ) is applied by a photolithographic process. Winkelmessgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Codierung (10, 30, 56) in die Teilerscheibe (5, 25, 51) eingeritzt ist.Angular measuring device according to claim 1 or 2, characterized in that the coding ( 10 . 30 . 56 ) in the splitter disc ( 5 . 25 . 51 ) is incised. Winkelmessgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Codierung (10, 30, 56) in die Teilerscheibe (5, 25, 51) eingeätzt oder durch die Teilerscheibe (5, 25, 51) durchgeätzt ist.Angular measuring device according to claim 1 or 2, characterized in that the coding ( 10 . 30 . 56 ) in the splitter disc ( 5 . 25 . 51 etched or through the divider disk ( 5 . 25 . 51 ) is etched through. Winkelmessgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Codierung (10, 30, 56) auf die Teilerscheibe (5, 25, 51) durch örtliches Verdampfen oder Einbrennen aufgebracht ist.Angular measuring device according to claim 1 or 2, characterized in that the coding ( 10 . 30 . 56 ) on the splitter disc ( 5 . 25 . 51 ) is applied by local evaporation or baking. Winkelmessgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Codierung (10, 30, 56) auf die Teilerscheibe (5, 25, 51) durch Pressen aufgebracht ist.Angular measuring device according to claim 1 or 2, characterized in that the coding ( 10 . 30 . 56 ) on the splitter disc ( 5 . 25 . 51 ) is applied by pressing. Winkelmessgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Codierung (10, 30, 56) auf die Teilerscheibe (5, 25, 51) durch Spritzen aufgebracht ist.Angular measuring device according to claim 1 or 2, characterized in that the coding ( 10 . 30 . 56 ) on the splitter disc ( 5 . 25 . 51 ) is applied by spraying. Winkelmessgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Drehachse (4, 23, 50) und die Teilerscheibe (5, 25, 51) mit der Codierung (10, 30, 56) ein Gussteil ist.Angle measuring device according to claim 1 or 2, characterized in that the axis of rotation ( 4 . 23 . 50 ) and the divider disk ( 5 . 25 . 51 ) with the coding ( 10 . 30 . 56 ) is a casting. Winkelmessgerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Codierung (10, 30, 56) als Phasengitter auf der Teilerscheibe (5, 25, 51) ausgebildet ist.Angular measuring device according to claim 1 or 2, characterized in that the coding ( 10 . 30 . 56 ) as a phase grating on the splitter disc ( 5 . 25 . 51 ) is trained. Winkelmessgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Drehachse (3, 4, 23, 50) und die Teilerscheibe (5, 25, 51) aus einem Leichtmetall, vorzugsweise aus Aluminium, sind.Angle measuring device according to one of claims 1 to 12, characterized in that the axis of rotation ( 3 . 4 . 23 . 50 ) and the divider disk ( 5 . 25 . 51 ) are made of a light metal, preferably of aluminum. Winkelmessgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Drehachse (3, 4, 23, 50) und die Teilerscheibe (5, 25, 51) aus einer Kupferlegierung, insbesondere aus Messing, sind.Angle measuring device according to one of claims 1 to 12, characterized in that the axis of rotation ( 3 . 4 . 23 . 50 ) and the divider disk ( 5 . 25 . 51 ) are made of a copper alloy, in particular brass. Winkelmessgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Drehachse (3, 4, 23, 50) und die Teilerscheibe (5, 25, 51) aus einem korrosionsbeständigen Stahl, vorzugsweise aus einem Edelstahl, sind.Angle measuring device according to one of claims 1 to 12, characterized in that the axis of rotation ( 3 . 4 . 23 . 50 ) and the divider disk ( 5 . 25 . 51 ) are made of a corrosion-resistant steel, preferably of a stainless steel. Winkelmessgerät nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Drehachse (3, 4, 23, 50) und die Teilerscheibe (5, 25, 51) aus einem Material mit Wärmeausdehnungskoeffizienten α kleiner als 2∙10–6/K bei 20°C, vorzugsweise aus Invar-Stahl, sind.Angle measuring device according to claim 15, characterized in that the axis of rotation ( 3 . 4 . 23 . 50 ) and the divider disk ( 5 . 25 . 51 ) are made of a material with thermal expansion coefficients α less than 2 ∙ 10 -6 / K at 20 ° C, preferably Invar steel, are. Winkelmessgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Drehachse (3, 4, 23, 50) und die Teilerscheibe (5, 25, 51) aus Keramik, vorzugsweise aus Glaskeramik, sind.Angle measuring device according to one of claims 1 to 12, characterized in that the axis of rotation ( 3 . 4 . 23 . 50 ) and the divider disk ( 5 . 25 . 51 ) made of ceramic, preferably of glass ceramic, are. Winkelmessgerät nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, dass die mit der Codierung (56) versehene Stirnfläche (53) eine Kegelfläche (55) ist.Angle measuring device according to one of claims 1 to 17, characterized in that the coding ( 56 ) provided end face ( 53 ) a conical surface ( 55 ).
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2648592A1 (en) 1976-01-09 1977-07-14 Jenoptik Jena Gmbh ANGLE MEASUREMENT WITH A TELESCOPE

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2648592A1 (en) 1976-01-09 1977-07-14 Jenoptik Jena Gmbh ANGLE MEASUREMENT WITH A TELESCOPE

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2700911A1 (en) 2012-08-23 2014-02-26 ELMOS Semiconductor AG Device for determining the rotation angle, rotation speed and/or the direction of rotation of a rotating part around an axis

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