DE102006042873A1 - Sensor for determining position of movable object, has light source and photo sensitive detector arranged in fixed manner, and aperture mask arranged together with object in movable manner - Google Patents

Sensor for determining position of movable object, has light source and photo sensitive detector arranged in fixed manner, and aperture mask arranged together with object in movable manner Download PDF

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Abstract

The sensor (1) has a light source (2), a photosensitive detector (3) with two photo cells (4, 5) and an aperture plate (6). The light source is arranged with respect to the aperture plate and the detector in such a manner that an object is positioned by evaluating signals that comes from radiation of the photo cells. The light source and the photo sensitive detector are arranged in a fixed manner, and aperture masks are arranged together with the object in a movable manner.

Description

Die Erfindung betrifft einen Sensor zur Bestimmung einer Position eines beweglichen Objekts mit einer Lichtquelle, einem fotoempfindlichen Detektor mit mindestens zwei unabhängigen Bereichen und einer Lochmaske.The The invention relates to a sensor for determining a position of a movable object with a light source, a photosensitive Detector with at least two independent areas and one Shadow mask.

Aus der EP 1 236 023 B1 ist ein Winkelmesssystem zur berührungslosen Bestimmung eines Winkels zwischen zwei zueinander bewegbaren Objekten bekannt, bei dem jedes der Objekte mit einer Baugruppe des Winkelmesssystems verbunden ist und die erste Baugruppe eine Lichtquelle, die zweite Baugruppe einen Fotodetektor umfasst und entweder der ersten oder zweiten Baugruppe ferner ein Gitter zugeordnet ist, welches als kombiniertes Amplituden-Phasengitter ausgebildet ist. Mit anderen Worten, es wird entweder die Lichtquelle oder der Fotodetektor bewegt.From the EP 1 236 023 B1 For example, an angle measuring system for non-contact determination of an angle between two mutually movable objects is known in which each of the objects is connected to an assembly of the angle measuring system and the first assembly comprises a light source, the second assembly comprises a photodetector and either of the first or second assembly further comprises a grating is assigned, which is designed as a combined amplitude phase grating. In other words, either the light source or the photodetector is moved.

Aus der DE 199 37 809 A1 ist ein optischer Weg- und/oder Winkelsensor mit einer Lichtquelle und einem fotoempfindlichen Element bekannt, bei dem das fotoempfindliche Elemente wenigstens einer auf einem Substrat angeordnete flächige fotoempfindliche Schicht umfasst, die in Abhängigkeit von der Position eines Lichtstrahls der Lichtquelle auf der wenigstens einen flächigen fotoempfindlichen Schicht jeweils unterscheidbare Ausgangssignale liefern. Hierbei ist die Lichtquelle mit einer Blende versehen, die sich zusammen gegenüber dem feststehenden fotoempfindlichen Element bewegen.From the DE 199 37 809 A1 is an optical displacement and / or angle sensor with a light source and a photosensitive member is known, wherein the photosensitive elements at least one arranged on a substrate surface photosensitive layer which, depending on the position of a light beam of the light source on the at least one surface photosensitive Layer provide each distinguishable output signals. Here, the light source is provided with a diaphragm which move together with respect to the fixed photosensitive member.

Aus der WO 2006/022570 A1 ist ein optoelektronischer Winkelsensor mit einer pulsierenden Lichtquelle und einem fotoempfindlichen Element bekannt, bei dem das fotoempfindliche Element gegenüber der feststehenden Lichtquelle beweglich ist und mit unterschiedlichen Quadranten versehen ist, die unabhängig voneinander verschaltet sind.From the WO 2006/022570 A1 For example, an optoelectronic angle sensor with a pulsating light source and a photosensitive element is known, in which the photosensitive element is movable relative to the fixed light source and is provided with different quadrants, which are interconnected independently of one another.

Daneben sind der Einsatz von Potentiometern und Hallsensoren zur Winkelmes sung bekannt. Allerdings sind die Potentiometer bezüglich der tribologischen Eigenschaften ungünstig und die Hallsensoren bezüglich äußerer Magnetfeldeinflüsse empfindlich.Besides are the use of potentiometers and Hall sensors for Winkelmes solution known. However, the potentiometers are in terms of tribological properties unfavorable and the Hall sensors are sensitive to external magnetic field effects.

Aufgabe der Erfindung ist es, einen Sensor zur Messung einer Veränderung der Position eines beweglichen Objekts (Weg oder Winkel) bereitzustellen, der möglichst einfach und kostengünstig sowie robust und klein aufgebaut ist. Daneben soll der Sensor möglichst störungsunempfindlich gegen äußere Einflüsse sein.task The invention is a sensor for measuring a change to provide the position of a moving object (path or angle), the possible easy and inexpensive as well as sturdy and small. In addition, the sensor should possible interference resistant be against external influences.

Diese Aufgabe wird durch den im Anspruch 1 wiedergegebenen Sensor gelöst.These The object is achieved by the reproduced in claim 1 sensor.

Dadurch, die Lichtquelle und der fotoempfindliche Detektor stationär und die Lochmaske mit dem Objekt zusammen beweglich angeordnet sind, ist es möglich, einen einfach und kostengünstig sowie robust und klein aufgebauten Sensor bereitzustellen. Daneben ist der Sensor durch die Verwendung von Licht relativ störungsunempfindlich gegen äußere Einflüsse.Thereby, the light source and the photosensitive detector stationary and the Hole mask with the object are arranged movably together, is it is possible a simple and inexpensive as well as robust and small sensor to provide. Besides the sensor is relatively insensitive to interference by the use of light against external influences.

Diese Lösung kombiniert die Vorteile von Potentiometern, wie z. B. geringe Kosten, Einfachheit der Widerstandsmessung, mit den Vorteilen der Genauigkeit und der Robustheit der Hallsensoren.These solution combines the advantages of potentiometers, such as Low cost, Simplicity of resistance measurement, with the benefits of accuracy and the robustness of the Hall sensors.

Die grundlegende Idee basiert auf der Messung des Lichteinfalls auf zwei oder mehreren fotoempfindlichen Bereichen des Detektors. Unterschiedliche geometrische Positionen, insbesondere Winkel und lineare Bewegungen, können als Lichtintensitätsveränderungen in den Bereichen des Detektors gemessen werden. Diese sind unempfindlich gegenüber Umwelteinflüssen.The basic idea is based on the measurement of light incidence two or more photosensitive areas of the detector. different geometric positions, in particular angles and linear movements, can as light intensity changes be measured in the areas of the detector. These are insensitive across from Environmental influences.

Vorzugsweise werden als Lichtquelle LED's verwendet, deren übliche Schaltungen zudem eine integrierte Überprüfung der Sensorsignale erlauben.Preferably are used as light source LEDs, their usual Circuits also allow an integrated review of the sensor signals.

Vorzugsweise weist die Lochmaske zwei zueinander verschiebbare Elemente, von denen eines mit dem Objekt verbunden und eines demgegenüber feststehend ist, derart auf, dass deren Verschiebung gegeneinander der Veränderung des Lichteinfalls auf den Detektor bzw. dessen Bereiche bewirkt.Preferably the shadow mask has two mutually displaceable elements of one associated with the object and one fixed against it is so on, that their shift against each other of the change the light incidence on the detector or its areas causes.

Besonders bevorzugt ist es dabei, wenn die Lochmaske mit zwei korrespondierenden Aussparungen derart versehen ist, von denen eines jeweils in einem der verschiebbaren Elemente angeordnet ist, dass das Licht von der Lichtquelle auf die Bereiche des fotoempfindlichen Detektors trifft.Especially it is preferred if the shadow mask with two corresponding Recesses is provided in such a way, one of which in each case in one the sliding elements is arranged so that the light from the Light source strikes the areas of the photosensitive detector.

Es wird also nur die Lochmaske an sich bzw. deren Teile zueinander bewegt. Dies erlaubt eine günstige Herstellung der Lichtquelle (LED) und des Detektors (Fotozelle mit mindestens zwei Bereichen oder mehrere Fotozellen) auf einer Platine.It So only the shadow mask itself or their parts to each other emotional. This allows a cheap Production of the light source (LED) and the detector (photocell with at least two areas or multiple photocells) on a board.

Im Unterschied zum Stand der Technik, in dem Gitter oder einfache Lochblenden im Zusammenhang mit inkrementellen Zählern eingesetzt werden, bei denen eine hohe Zahl von Löchern für die Auflösung der Signale wichtig ist, kann eine Kontamination somit durch die besondere Lochblende verhindert werden.in the Difference to the prior art, in the grid or simple pinhole used in conjunction with incremental counters which have a high number of holes for the dissolution of Signals is important, so contamination can be due to the particular Pinhole can be prevented.

In einer bevorzugten Ausführungsform umfasst die Lochmaske zwei zueinander linear verschiebbar angeordnete Streifen mit jeweils korrespondierenden Aussparungen, um eine differentielle Bestrahlung der Bereiche des Detektors zu erreichen. Somit können lineare Bewegungen durch eine Veränderung der Lage der Aussparungen zueinander und somit des Lichteinfalls auf die Bereiche des Sensors bestimmt werden.In a preferred embodiment, the shadow mask comprises two mutually linearly displaceable arranged strips each having corresponding recesses in order to achieve a differential irradiation of the areas of the detector chen. Thus, linear movements can be determined by a change in the position of the recesses to each other and thus the incidence of light on the areas of the sensor.

In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform umfasst die Lochmaske zwei zueinander verdrehbare und konzentrisch zueinander angeordnete Hohlzylinder mit jeweils korrespondierenden Aussparungen umfasst, um eine Bestrahlung der Bereiche des Detektors zu erreichen. Somit können Drehbewegungen oder Winkel durch eine Veränderung der Lage der Aussparungen zueinander und somit des Lichteinfalls auf die Bereiche des Sensors bestimmt werden.In a further preferred embodiment comprises the shadow mask two mutually rotatable and concentric mutually arranged hollow cylinder, each corresponding Recesses includes to irradiate the areas of the detector to reach. Thus, you can Rotary movements or angles by changing the position of the recesses to each other and thus the light incident on the areas of the sensor be determined.

Hierbei kann die Lichtquelle innerhalb der Hohlzylinder, vorzugsweise konzen trisch im Mittelpunkt der Hohlzylinder angeordnet sein.in this connection can the light source within the hollow cylinder, preferably concentrated cal be located in the center of the hollow cylinder.

Alternativ kann die Lichtquelle außerhalb der Hohlzylinder angeordnet sein, wobei dann zwei Paare von je zwei korrespondierenden Aussparungen vorgesehen sind. Dann ist die Lichtquelle gegenüber dem Detektor mit dazwischen liegenden Hohlzylindern angeordnet.alternative can the light source outside the hollow cylinder may be arranged, in which case two pairs of two are provided corresponding recesses. Then the light source compared to the Detector arranged with intermediate hollow cylinders.

Zur Erhöhung der Störsicherheit des Sensors, kann der fotoempfindliche Detektor mit vier Bereichen versehen sein und die Hohlzylinder jeweils korrespondierende Aussparungen an gegenüberliegenden Seiten aufweisen, wobei jeweils zwei Bereiche des Detektors auf einer Seite der Hohlzylinder angeordnet sind. Es versteht sich, dass die Anzahl der Signale entsprechend erhöht werden kann, durch ringförmiges Anordnen weiterer Detektorbereiche um die Hohlzylinder herum.to increase the interference immunity of the sensor, the photosensitive detector with four areas be provided and the hollow cylinder respectively corresponding recesses at opposite Have sides, each with two areas of the detector on one side of the hollow cylinder are arranged. It goes without saying that the number of signals can be increased accordingly, by ringing further detector areas around the hollow cylinder around.

Weitere Merkmale, Einzelheiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Zeichnung. Es zeigen:Further Features, details and advantages of the invention will become apparent the following description of embodiments with reference to Drawing. Show it:

1 eine schematische Ansicht eines Sensors zur Winkelbestimmung; 1 a schematic view of a sensor for angle determination;

2 eine schematische Ansicht eines weiteren Sensors zur Winkelbestimmung und 2 a schematic view of another sensor for angle determination and

3 eine perspektivische Explosionsansicht des Sensors aus 2. 3 an exploded perspective view of the sensor 2 ,

In 1 ist ein als Ganzes mit 1 bezeichneter Sensor schematisch in der Draufsicht dargestellt.In 1 is one as a whole with 1 designated sensor shown schematically in plan view.

Der Sensor umfasst eine Lichtquelle 2, die als LED ausgeführt ist, und einen Detektor 3, der aus zwei neben einander und fluchtend angeordneten Fotozellen 4 und 5 besteht, deren fotoempfindliche Fläche jeweils in Richtung der LED 2 ausgerichtet ist.The sensor includes a light source 2 , which is designed as an LED, and a detector 3 consisting of two side by side and aligned photocells 4 and 5 exists whose photosensitive surface respectively in the direction of the LED 2 is aligned.

Zwischen der LED 2 und den Fotozellen 4 und 5 sind zwei konzentrisch ineinander verschachtelte Hohlzylinder 7 und 8 angeordnet, die gemeinsam die Lochblende 6 ausbilden.Between the LED 2 and the photocells 4 and 5 are two concentric nested hollow cylinders 7 and 8th arranged, which together the pinhole 6 form.

Jeder Hohlzylinder 7 und 8 weist jeweils zwei korrespondierende Aussparungen 10A und 10B auf. Die Aussparungen 10A des inneren Hohlzylinders 7 und des äußeren Hohlzylinders 8 korrespondieren miteinander, d.h. sind überlappend angeordnet und ausgerichtet. Dies gilt in entsprechender Weise für die Die Aussparungen 10B des inneren Hohlzylinders 7 und des äußeren Hohlzylinders 8.Every hollow cylinder 7 and 8th each has two corresponding recesses 10A and 10B on. The recesses 10A the inner hollow cylinder 7 and the outer hollow cylinder 8th correspond to each other, ie are arranged overlapping and aligned. This applies in a corresponding manner for the recesses 10B the inner hollow cylinder 7 and the outer hollow cylinder 8th ,

Die Aussparung 10A des inneren Hohlzylinders 7 ist kleiner in den Abmessungen als die entsprechende Aussparung 10A des äußeren Hohlzylinders 8. Die Aussparungen 10A sind dabei der Lichtquelle 2 zugewandt. Auf der gegenüber liegenden Seite der Hohlzylinder 7 und 8 sind entsprechend Aussparungen 10B in den Wänden der Hohlzylinder vorgesehen, die dem Detektor 3 zugewandt sind. Die Aussparung 10B des inneren Hohlzylinders 7 ist wiederum kleiner in den Abmessungen als die entsprechende Aussparung 10B des äußeren Hohlzylinders 8.The recess 10A the inner hollow cylinder 7 is smaller in size than the corresponding recess 10A the outer hollow cylinder 8th , The recesses 10A are the light source 2 facing. On the opposite side of the hollow cylinder 7 and 8th are correspondingly recesses 10B provided in the walls of the hollow cylinder, which is the detector 3 are facing. The recess 10B the inner hollow cylinder 7 is again smaller in size than the corresponding recess 10B the outer hollow cylinder 8th ,

Weiter ist der äußere Hohlzylinder 8 im vergleich zum inneren Hohlzylinder 7 feststehend ausgebildet. Der innere Hohlzylinder 7 ist mit dem beweglichen Objekt verbunden und lässt sich relativ zum äußeren Hohlzylinder 8 in Richtung des Pfeils 9 bei einer Bewegung des Objekts verdrehen. Somit wird bei einer Verdrehung des inneren Hohlzylinders 7 der durch die Ausrichtung der Aussparungen zur Lichtquelle 2 und Detektor 3 gebildete Lichtpfad (Pfeil L) verändert.Next is the outer hollow cylinder 8th in comparison to the inner hollow cylinder 7 fixed formed. The inner hollow cylinder 7 is connected to the moving object and can be relative to the outer hollow cylinder 8th in the direction of the arrow 9 twisting during a movement of the object. Thus, with a rotation of the inner hollow cylinder 7 the orientation of the recesses to the light source 2 and detector 3 formed light path (arrow L) changed.

Das von der Lichtquelle 2 abgestrahlte Licht fällt durch die ersten Aussparungen 10A, in die Hohlzylinder 7 und 8 ein und tritt auf der gegenüberliegenden Seite durch die Aussparungen 10B wieder aus und fällt auf die fotoempfindliche Fläche der Fotozellen 4 und 5 des Detektors 3.That from the light source 2 radiated light falls through the first recesses 10A , in the hollow cylinder 7 and 8th and enters on the opposite side through the recesses 10B again and falls on the photosensitive surface of the photocells 4 and 5 of the detector 3 ,

Dabei ist die Menge bzw. Intensität und deren Verteilung auf die Fotozellen 4 und 5 von der Anordnung der Aussparungen der Hohlzylinder, also der Verdrehung zueinander abhängig.Here is the quantity or intensity and their distribution on the photocells 4 and 5 from the arrangement of the recesses of the hollow cylinder, so the rotation to each other.

Im vorliegenden Beispiel trifft das Licht im Wesentlichen auf die fotoempfindliche Fläche der Fotozelle 5, da der innere Hohlzylinder 7 so gegenüber dem äußeren Hohlzylinder 8 verdreht ist, das die sowohl die Eintrittsöffnung E als auch die Austrittsöffnung A in die Hohlzylinder 7 und 8, die durch die Aussparungen 10A und 10B gebildet werden, dem Licht nur erlauben dem Lichtpfad L zu folgen, der das Licht auf die Fotozelle 5 auftreffen last.In the present example, the light essentially strikes the photosensitive surface of the photocell 5 because the inner hollow cylinder 7 so opposite the outer hollow cylinder 8th is twisted, that the both the inlet opening E and the outlet opening A in the hollow cylinder 7 and 8th passing through the recesses 10A and 10B only allow the light to follow the light path L, which is the light on the photocell 5 hit last.

Bei der entsprechend umgekehrten Verdrehung würde das Licht nur auf die Fotozelle 4 auftreffen. In den Zwischenstellungen trifft das Licht auf beide Fotozellen 4 und 5 auf und deren Menge bzw. Intensität und deren Verteilung auf die Fotozellen 4 und 5 lässt auf die Stellung des inneren Hohlzylinders 7 im Vergleich zum äußeren Hohlzylinder 8 schließen, da diese mit der Stellung der Eintrittsöffnung E und Austrittsöffnung A bzw. der Aussparungen 10A und 10B korrespondiert.With the corresponding reverse rotation, the light would only on the photocell 4 incident. In the intermediate positions, the light hits both photocells 4 and 5 on and their quantity or intensity and their distribution on the photocells 4 and 5 lets to the position of the inner hollow cylinder 7 in comparison to the outer hollow cylinder 8th Close, as this with the position of the inlet opening E and outlet opening A and the recesses 10A and 10B corresponds.

Über die differentielle Signalauswertung der Signale von den Fotozellen 4 und 5 lässt sich so die Position oder Bewegung, vorliegend Verdrehung bzw. Winkelstellung des Objekts bestimmen.About the differential signal evaluation of the signals from the photocells 4 and 5 can thus determine the position or movement, in this case rotation or angular position of the object.

In den 2 und 3 ist eine alternative Ausgestaltung eines Sensors 11 dargestellt. Da der Aufbau des Sensors 11 und die verwendeten Teile im Wesentlichen denjenigen des soeben beschriebenen Sensors 1 entsprechen, werden um 10 erhöhte Bezugszeichen zu deren Bezeichnung verwendet und es wird lediglich auf die besonderen Unterscheide eingegangen.In the 2 and 3 is an alternative embodiment of a sensor 11 shown. Because the structure of the sensor 11 and the parts used are essentially those of the sensor just described 1 are equal to 10 reference numerals are used to their name and it will be discussed only on the particular distinction.

Der Sensor 11 unterscheidet sich im Wesentlichen von dem vorherigen Sensor 1 dadurch, dass die Lichtquelle 12 konzentrisch im Mittelpunkt des inneren Hohlzylinders 17 und nicht außerhalb angeordnet ist. Ferner umfasst der Detektor 13 nicht nur zwei Fotozellen 14 und 15, sondern zwei weitere Fotozellen 21 und 22, die entsprechend zueinander angeordnet sind, jedoch auf der gegenüber liegenden Seite, also zu entsprechenden Aussparungen 20A zugewandt sind.The sensor 11 is essentially different from the previous sensor 1 in that the light source 12 concentric in the center of the inner hollow cylinder 17 and not arranged outside. Furthermore, the detector comprises 13 not just two photocells 14 and 15 but two more photocells 21 and 22 , Which are arranged according to each other, but on the opposite side, so to corresponding recesses 20A are facing.

Somit fließt das Licht von der Lichtquelle 12 nicht mehr durch die Hohlzylinder 17 und 18 hindurch, sondern nur aus diesen durch die Austrittsöffnungen A1 und A2 heraus, die durch die entsprechenden Aussparungen 20B und 20A gebildet werden, und trifft auf den Detektor 13, der zu beiden Seiten Fotozellen 14, 15 und 21, 22 aufweist.Thus, the light flows from the light source 12 no longer through the hollow cylinder 17 and 18 through, but only out of these through the outlet openings A1 and A2, through the corresponding recesses 20B and 20A are formed and hits the detector 13 , which photocells on both sides 14 . 15 and 21 . 22 having.

Somit wird eine doppelte Messung der Verdrehung des inneren Hohlzylinders 17 gegenüber dem äußeren Hohlzylinder 18 vorgenommen, was die Störungsempfindlichkeit verringert und die Signalqualität verbessert.Thus, a double measurement of the rotation of the inner hollow cylinder 17 opposite the outer hollow cylinder 18 which reduces noise sensitivity and improves signal quality.

Zudem erlaubt diese Anordnung, wie insbesondere aus 3 hervorgeht, die Lichtquelle 12, die Fotozellen 14, 15, 21, 22 des Detektors 13 sowie den äußeren Zylinder 18 auf einer Platine P anzuordnen bzw. zu fertigen, auf der gleichzeitig die benötigte Steuer- und Auswerteelektronik angeordnet sein kann, so dass besonders kompakte und preisgünstige Sensoren erhältlich sind und letztendlich ein Signal geliefert wird, das konkret einer Position des beweglichen Objekts zugeordnet ist.In addition, this arrangement allows, in particular from 3 indicates the light source 12 , the photocells 14 . 15 . 21 . 22 of the detector 13 as well as the outer cylinder 18 to arrange or manufacture on a board P, on the same time the required control and evaluation can be arranged so that particularly compact and inexpensive sensors are available and ultimately a signal is delivered, which is assigned to a specific position of the movable object.

1, 111, 11
Sensorsensor
2, 122, 12
Lichtquellelight source
3, 133, 13
Detektordetector
4, 144, 14
Fotozellephotocell
5, 155, 15
Fotozellephotocell
6, 166 16
Lochblendepinhole
7, 177, 17
Hohlzylinderhollow cylinder
8, 188th, 18
Hohlzylindershollow cylinder
9, 199 19
Pfeilsarrow
10A, 20A10A, 20A
Aussparungrecess
10B, 20B10B, 20B
Aussparungrecess
21, 2221 22
Fotozellephotocell
A, A1, A2A, A1, A2
Austrittsöffnungoutlet opening
Ee
Eintrittsöffnunginlet opening
LL
Lichtpfadlight path
PP
Platinecircuit board

Claims (10)

Sensor (1, 11) zur Bestimmung einer Position eines beweglichen Objekts mit einer Lichtquelle (2, 12), einem fotoempfindlichen Detektor (3, 13) mit mindestens zwei unabhängigen Bereichen (4, 5, 14, 15, 21, 22) und einer Lochmaske (6, 16), wobei die Lichtquelle (2, 12) bezüglich der Lochmaske (6, 16) und dem fotoempfindlichen Detektor (3, 13) derart angeordnet ist, dass die Position durch Auswertung der aus der Bestrahlung der Bereiche (4, 5, 14, 15, 21, 22) des fotoempfindlichen Detektors (3, 13) stammenden Signale erfolgt, wobei das Licht von der Lichtquelle (2, 12) durch die Lochmaske (6, 16) auf die Bereiche (4, 5, 14, 15, 21, 22) des fotoempfindlichen Detektors (3, 13) gelangt, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle (2, 12) und der fotoempfindliche Detektor (3, 13) stationär und die Lochmaske (6, 16) mit dem Objekt zusammen beweglich angeordnet sind.Sensor ( 1 . 11 ) for determining a position of a movable object with a light source ( 2 . 12 ), a photosensitive detector ( 3 . 13 ) with at least two independent areas ( 4 . 5 . 14 . 15 . 21 . 22 ) and a shadow mask ( 6 . 16 ), the light source ( 2 . 12 ) with respect to the shadow mask ( 6 . 16 ) and the photosensitive detector ( 3 . 13 ) is arranged such that the position by evaluating the from the irradiation of the areas ( 4 . 5 . 14 . 15 . 21 . 22 ) of the photosensitive detector ( 3 . 13 ) occurs, the light from the light source ( 2 . 12 ) through the shadow mask ( 6 . 16 ) on the areas ( 4 . 5 . 14 . 15 . 21 . 22 ) of the photosensitive detector ( 3 . 13 ), characterized in that the light source ( 2 . 12 ) and the photosensitive detector ( 3 . 13 stationary and the shadow mask ( 6 . 16 ) are movably arranged together with the object. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass Lochmaske (6, 16) zwei zueinander verschiebbare Elemente (7, 8, 17, 18), von denen eines (7, 17) mit dem Objekt verbunden und eines (8, 18) demgegenüber feststehend ist, derart aufweist, dass deren Verschiebung gegeneinander der Veränderung des Lichteinfalls auf den Detektor bewirkt.Sensor according to claim 1, characterized in that shadow mask ( 6 . 16 ) two mutually displaceable elements ( 7 . 8th . 17 . 18 ), one of which ( 7 . 17 ) connected to the object and one ( 8th . 18 ) on the other hand is stationary, has such that their displacement against each other causes the change in the light incident on the detector. Sensor nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Lochmaske (6, 16) mit zwei korrespondierenden Aussparungen (10A, 10B, 20A, 20B) derart versehen ist, von denen eines jeweils in einem der verschiebbaren Elemente so angeordnet ist, dass das Licht von der Lichtquelle (2, 12) auf die Bereiche des fotoempfindlichen Detektors (3, 13) trifft.Sensor according to claim 1 or 2, characterized in that the shadow mask ( 6 . 16 ) with two corresponding recesses ( 10A . 10B . 20A . 20B ) is provided in such a manner, one of which is in each case arranged in one of the displaceable elements so that the light from the light source ( 2 . 12 ) to the areas of the photosensitive detector ( 3 . 13 ) meets. Sensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Lochmaske zwei zueinander linear verschiebbar angeordnete Streifen mit jeweils korrespondierenden Aussparungen umfasst, um eine differentielle Bestrahlung der Bereiche des Detektors zu erreichen.Sensor according to claim 3, characterized in that the shadow mask two mutually linearly displaceably arranged strips with each corre spiking recesses in order to achieve a differential irradiation of the areas of the detector. Sensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Lochmaske (6, 16) zwei zueinander verdrehbare und konzentrisch zueinander angeordnete Hohlzylinder (7, 8, 17, 18) mit jeweils korrespondierenden Aussparungen (10A, 10B, 20A, 20B) umfasst, um eine Bestrahlung der Bereiche (4, 5, 14, 15, 21, 22) des Detektors (3, 13) zu erreichen.Sensor according to claim 3, characterized in that the shadow mask ( 6 . 16 ) two mutually rotatable and concentrically arranged hollow cylinder ( 7 . 8th . 17 . 18 ) with corresponding recesses ( 10A . 10B . 20A . 20B ) to irradiate the areas ( 4 . 5 . 14 . 15 . 21 . 22 ) of the detector ( 3 . 13 ) to reach. Sensor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle (12) innerhalb der Hohlzylinder (17, 18) angeordnet ist.Sensor according to claim 5, characterized in that the light source ( 12 ) within the hollow cylinder ( 17 . 18 ) is arranged. Sensor nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle (12) konzentrisch im Mittelpunkt der Hohlzylinder (17, 18) angeordnet ist.Sensor according to claim 6, characterized in that the light source ( 12 ) concentric in the center of the hollow cylinder ( 17 . 18 ) is arranged. Sensor nach einem der Ansprüche 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass der fotoempfindliche Detektor (13) mit vier Bereichen (14, 15, 21, 22) versehen ist und die Hohlzylinder (17, 18) jeweils korrespondierende Aussparungen (20A, 20B) an gegenüberliegenden Seiten aufweist, wobei jeweils zwei Bereiche (14, 15; 21, 22) des Detektors (13) jeweils auf einer Seite der Hohlzylinder angeordnet sind.Sensor according to one of claims 6 or 7, characterized in that the photosensitive detector ( 13 ) with four areas ( 14 . 15 . 21 . 22 ) and the hollow cylinder ( 17 . 18 ) corresponding recesses ( 20A . 20B ) on opposite sides, with two areas each ( 14 . 15 ; 21 . 22 ) of the detector ( 13 ) are each arranged on one side of the hollow cylinder. Sensor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle (2) außerhalb der Hohlzylinder (7, 8) angeordnet ist.Sensor according to claim 5, characterized in that the light source ( 2 ) outside the hollow cylinder ( 7 . 8th ) is arranged. Sensor nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Lichtquelle (2) diagonal gegenüber dem Detektor (3) mit dazwischen liegenden Hohlzylindern (7, 8) angeordnet ist.Sensor according to claim 8, characterized in that the light source ( 2 ) diagonally opposite the detector ( 3 ) with intermediate hollow cylinders ( 7 . 8th ) is arranged.
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