DE202007015167U1 - Device for converting shock-sensitive glass plates in clean rooms - Google Patents
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- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
Abstract
Vorrichtung
zum kontaminationsfreien Umsetzen von dünnen, stoßempfindlichen kristallinen
Platten, insbesondere Glasplatten (11) aus einer horizontalen in
eine definierte vertikale Lage mit den folgenden Merkmalen:
a)
eine Glasplatte (11) die über
Rollen mit jeweils eigenem Antrieb im Reinstraum angeliefert wird,
wird im Bereich einer Umsetzeinheit angehalten,
b) zum Erfassen
der Glasplatte (11) ist unterhalb ein Querholm (6) einer Umsetzgabel
mit senkrecht hieran befestigten Saugkopfträger-Holmen (7) vorgesehen, wobei die Holme
(7) an ihrer Oberseite über
ihre Länge
verteilte Saugköpfe
(8) aufweisen, die den Freiraum zwischen den Rollen durchdringen,
c)
die Saugköpfe
(8) werden der Unterseite der Glasplatte (11) angenähert und
deren Ansaugelemente (15) durch Ansaugluft mit der Glasplatte (11)
verbunden,
d) die auf diese Weise mit der Umsetzgabel verbundene Glasplatte
wird von dieser in eine vertikale Position verschwenkt,
e)
die Glasplatte (11) wird nach einer Feinjustierung in die Ablagevorrichtung
(12) gesetzt
f) die Saugköpfe
(8) werden...Device for the contamination-free transfer of thin, impact-sensitive crystalline plates, in particular glass plates (11), from a horizontal to a defined vertical position, with the following features:
a) a glass plate (11) which is delivered via rollers, each with its own drive in the clean dream, is stopped in the area of a conversion unit,
b) for detecting the glass plate (11) is provided below a transverse spar (6) of a transfer fork with vertically attached thereto Saugkopfträger-spars (7), wherein the spars (7) on its upper side over its length distributed suction heads (8), the penetrate the space between the rollers,
c) the suction heads (8) are brought closer to the underside of the glass plate (11) and their suction elements (15) are connected to the glass plate (11) by suction air,
d) the glass plate connected in this way to the transfer fork is pivoted by the latter into a vertical position,
e) the glass plate (11) is set after a fine adjustment in the storage device (12)
f) the suction heads (8) are ...
Description
Moderne Glasfassaden sind ein nicht übersehbares Zeichen moderner Architektur. Diese sind jedoch vielfach nicht nur ein Funktionselement eines Baukörpers sondern dienen zunehmend auch zur solaren Stromerzeugung. Maßgeschneiderte Solarmodule ermöglichen die passgenaue Integration in Bauwerksraster und Profile. Semitransparente Solarzellen aber auch opake Solarzellen mit transparenten Bereichen lassen Photovoltaik-Verglasungen lichtdurchflutet erscheinen. Die Solarzellen übernehmen dabei häufig den gewünschten Effekt des Sonnen- und Blendschutzes.modern Glass facades are not overlooked Sign of modern architecture. However, these are not just many a functional element of a building but increasingly also serve for solar power generation. Customized Enable solar modules the perfect integration into building grid and profiles. semi-transparent Solar cells but also opaque solar cells with transparent areas let photovoltaic glazing appear flooded with light. The Solar cells take over often the wished Effect of sun and glare protection.
Die Herstellung von solchen Photovoltaik-Anlagen erfordert Arbeitsbedingungen wie sie vor allem bei der Herstellung von Halbleitern und integrierten elektronischen Schaltungen üblich sind. Diese so genannten Reinraum-Bedingungen machen jedoch bei der Herstellung von Photovoltaik-Anlagen zusätzlich die Handhabung flächenmäßig großer stoßempfindlicher Glasplatten erforderlich.The Production of such photovoltaic systems requires working conditions especially in the production of semiconductors and integrated electronic circuits usual are. These so-called clean room conditions, however, contribute the production of photovoltaic systems in addition the handling area large shock-sensitive Glass plates required.
Die Fertigung und weitere Bearbeitung stoßempfindlicher Platten wird auch bei der Herstellung von Flachbildschirmen größerer Bauart und in hoher Stückzahl verlangt. Moderne Flachbildschirme verdrängen zunehmend die alten Röhrenmonitore und werden zudem immer preiswerter.The Production and further processing shock-sensitive plates is also in the production of flat screens of larger design and in large quantities required. Modern flat screens are increasingly replacing the old tube monitors and are getting cheaper and cheaper.
Sie basieren auf der TFT/LCD-Technologie. LCD (Liquid Cristal Display = Flüssigkristall-Display) steht dabei für die Verwendung von Flüssigkristallen in den einzelnen Bildpunkten des Bildschirms und TFT steht hierbei für „Thin Film Transistor "Bei den TFT,s handelt es sich um kleinste Transistor-Elemente, welche die Ausrichtung der Flüssigkristalle und damit deren Lichtdurchlässigkeit steuern.she based on the TFT / LCD technology. LCD (Liquid Cristal Display = Liquid crystal display) stands for the use of liquid crystals in the individual pixels of the screen and TFT stands here for "Thin Film Transistor "Bei the TFT, s are the smallest transistor elements, which the alignment of the liquid crystals and thus their translucency Taxes.
Ein
Flachbildschirm-Display besteht aus zahlreichen Bildpunkten (Pixeln).
Jeder Bildpunkt wiederum besteht aus 3 LCD-Zellen (Sub-Pixel), entsprechend
den Farben Rot, Grün
und Blau. Ein 15-Zoll großer
Bildschirm (diagonal gemessen) enthält etwa 800.000 Bildpunkte
oder ungefähr
2,4 Millionen LCD-Zellen. Zum Verständnis der Funktionsweise:
Eine
Flüssigkristall-Zelle
(LCD-Zelle) funktioniert ähnlich
wie eine Polaroid-Sonnenbrille.
Hält man
2 Polaroidgläser übereinander
und beginnt, sie gegeneinander zu verdrehen, so sieht man zunächst immer weniger
und dann gar nichts mehr. Dieser Effekt kommt dadurch zustande,
dass Polaroidglas nur für Lichtwellen
durchlässig
ist, die in einer bestimmten Ebene schwingen. Werden 2 solcher Gläser übereinander
gehalten und um 90° gegeneinander
verdreht, so kann ein Teil des Lichts zwar noch durch das erste Glas
hindurch treten, jedoch nicht mehr durch das zweite, denn dieses
steht nun quer zu den ankommenden Lichtwellen und filtert sie aus.A flat screen display consists of numerous pixels. Each pixel in turn consists of 3 LCD cells (sub-pixels), corresponding to the colors red, green and blue. A 15-inch screen (measured diagonally) contains about 800,000 pixels or about 2.4 million LCD cells. To understand how it works:
A liquid crystal cell (LCD cell) works much like a Polaroid sunglasses. If you hold two polaroid glasses on top of each other and start to turn them against each other, you will see less and less and then nothing at all. This effect is due to the fact that Polaroid glass is only permeable to light waves that vibrate in a certain plane. If two such glasses are held one above the other and rotated by 90 ° to each other, so some of the light can still pass through the first glass, but not through the second, because this is now transverse to the incoming light waves and filters them out.
Eine LCD-Zelle funktioniert nach dem gleichen Prinzip. Sie besteht aus zwei gegeneinander um 90° verdrehten Polaroidgläsern, durch die nach dem oben Erklärten somit kein Licht hindurchgelangen kann. Zwischen diesen beiden Polaroidgläsern befindet sich eine Schicht aus Flüssigkristallen, welche die natürliche Eigenschaft hat, die Schwingungsebene von Licht zu drehen. Diese Flüssigkristall-Schicht ist gerade so dick, dass das Licht, welches durch das erste Polaroidglas gelangt, um 90° zurückgedreht wird, und damit auch durch das zweite Polaroidglas gelangen kann, also für den Betrachter sichtbar wird.A LCD cell works on the same principle. it consists of two against each other rotated by 90 ° Polaroid glasses, by the ones stated above so no light can get through. Located between these two polaroid lenses a layer of liquid crystals, which is the natural one Property has to turn the vibration plane of light. These Liquid crystal layer is straight so thick that the light that passes through the first polaroid glass, turned back 90 ° and thus can get through the second polaroid glass, So for the viewer becomes visible.
Werden die Flüssigkristall-Moleküle nun durch das Anlegen einer elektrischen Spannung aus ihrer natürlichen Position weggedreht, so gelangt weniger Licht durch die Zelle und der entsprechende Bildpunkt wird dunkel. Die entsprechende Spannung wird durch ein TFT-Element erzeugt, welches zu jeder LCD-Zelle gehört. Das Licht für das LCD-Display entsteht im hinteren Teil des Bildschirmgehäuses durch kleine Fluoreszenzröhren, wie sie in größerem Maßstab zur Raumbeleuchtung benutzt werden.Become the liquid crystal molecules now through the application of an electrical voltage from their natural Turned off, less light passes through the cell and the corresponding pixel becomes dark. The corresponding voltage will generated by a TFT element that belongs to each LCD cell. The Light for the LCD display is created in the back of the screen housing small fluorescent tubes, as they are on a larger scale Room lighting can be used.
Da jeder Bildpunkt 3 Farbfilter für die Farben Rot, Grün und Blau aufweist kann über die Steuerung der Durchlässigkeit dieser Filter jeder Bildpunkt eine gewünschte Farbmischung bzw. eine gewünschte Farbe annehmen.There every pixel 3 color filters for the colors red, green and blue may have over the control of permeability This filter every pixel a desired color mixture or a desired color accept.
Für Standard-Büroanwendungen haben Flachbildschirme eine hervorragende Schärfe und besitzen eine ausreichende Farbqualität. Auch ergonomisch haben TFT,s viel zu bieten: weniger Platzbedarf, eine Leistungsaufnahme von nur einem Drittel eines Röhrenmonitors und eine wesentlich geringere Strahlenemission.For standard office applications Flat screens have an excellent sharpness and have sufficient Color quality. Ergonomically, too, TFTs have a lot to offer: less space required, a power consumption of only one third of a CRT monitor and a much lower radiation emission.
Für die Herstellung von TFT-Bildschirmen sind, wie in der Mikroelektronik üblich, so genannte Reinsträume erforderlich. Dies ist deshalb notwendig, da in Anbetracht der geringen Größe der leitungsführenden Strukturen während des Fertigungsprozesses auch Partikel von geringer Größe Leitungsunterbrechungen verursachen können. Im Falle der Fertigung eines TFT-Bildschirms hätte eine solche Leitungsunterbrechung den Ausfall eines Bildpunktes zur Folge.For the production TFT screens are, as is common in microelectronics, so called clean rooms required. This is necessary because of the low Size of the conductive Structures during In the manufacturing process, even small-size particles line breaks can cause. In the case of manufacturing a TFT screen would have such a line break the failure of a pixel result.
Ein Reinraum, bzw. ein Reinstraum, ist ein Raum, in dem die Konzentration luftgetragener Teilchen geregelt wird. Er ist so konstruiert und wird so verwendet, dass die Anzahl der in den Raum eingeschleppten bzw. im Raum entstehenden und abgelagerten Partikel kleinstmöglich ist und andere Parameter wie Temperatur, Feuchte oder Luftdruck nach Bedarf geregelt werden.One Clean room, or a clean dream, is a space in which the concentration airborne particles is regulated. He is so constructed and is used so that the number of people brought into the room or in the space resulting and deposited particles is smallest possible and other parameters such as temperature, humidity or air pressure as needed be managed.
Einerseits werden die TFT-Bildschirme zurzeit immer preiswerter, andererseits zeichnet sich zunehmend der Bedarf nach Bildschirmen von gigantischen Ausmaßen ab. Dies umso mehr als sich solche Bildschirme einerseits sehr leicht bei Großveranstaltungen verwenden lassen und andererseits durch die moderne Fertigungstechnik in erschwinglichen Preisklassen liegen.On the one hand At the moment TFT screens are getting cheaper, on the other hand There is a growing demand for giant screens dimensions from. All the more so as such screens on the one hand very easily at major events can be used and on the other hand by the modern production technology in affordable price ranges.
Die Fertigung von Großbildschirmen erfordert jedoch gerade in Reinsträumen besondere Maschinen zur Handhabung der hierbei benötigten großflächigen dünnen Glasplatten.The Production of large screens However, especially in clean rooms requires special machines for Handling of the required large-area thin glass plates.
Verwendbar sind zu diesem Zweck in erster Linie Mehrachs-Industrieroboter. Die Anwendung verschiedenster Ausführungen von Mehrachs-Industrierobotern in der Fertigungstechnik der unterschiedlichsten Produkte ist zum Stand der Technik zu rechnen.usable are for this purpose primarily multi-axis industrial robots. The application of various designs of multi-axis industrial robots in the production technology of the most different products is to State of the art to be expected.
Solche Industrieroboter werden in großen Hallen meist zum Transport unhandlicher und schwerer Lasten eingesetzt, können aber auch bei der Fertigung von kleineren Maschinenteilen nutzbringend eingesetzt werden. In allen Fällen kommt es dabei auf die reproduzierbare Exaktheit der Bewegungsabläufe der einzelnen Erfassungsvorgänge, Transportbewegungen und Absetzvorgänge an.Such Industrial robots are in large halls mostly used for transporting unwieldy and heavy loads, can but also used profitably in the production of smaller machine parts become. In all cases it depends on the reproducible precision of the movements of the individual entry procedures, Transport movements and settling operations.
Unter welchen Umständen diese Bewegungsabläufe stattfinden ist hierbei in vielen Fällen unwichtig. So spielt es meist keine Rolle welche Geräuschentwicklung ein solcher Bewegungsablauf verursacht, oder ob mit einem solchen Vorgang Staubbewegungen oder ein mehr oder weniger großer Austritt von Schmiermittel verbunden ist. Auch ein unvermeidlicher Abrieb bewegter und eine Reibung verursachender Maschinenteile ist meist unbeachtlich.Under which circumstances these movements take place here is unimportant in many cases. That's how it works usually no matter what noise causes such a movement, or with such a movement Dust movement or a more or less large exit of lubricant is connected. Also an inevitable abrasion moving and a friction causing machine parts is usually irrelevant.
Ganz anders sind solche natürlichen Begleiterscheinungen bei der Arbeit in kontaminationsgefährdeter Umgebung zu betrachten, wie zum Beispiel in der Nahrungsmittel verarbeitenden Industrie, in der Pharmaindustrie oder eben bei der Herstellung von Halbleitern in Reinsträumen.All different are those natural ones Concomitants when working in contaminated Environment, such as food processing Industry, in the pharmaceutical industry or just in the production of semiconductors in clean rooms.
So
ist aus der
Gelöst wird diese Aufgabe dadurch, dass einer Mehrzahl von Gruppen von Antriebseinheiten jeweils ein eigener Spülraum zugeordnet ist (Anspruch 1).Is solved this task in that a plurality of groups of drive units each a separate sink is assigned (claim 1).
Die Umgebung in der ein derartiger Industrie-Roboter eingesetzt werden soll ist zwar gegenüber einer normalen Umgebung gegen Kontamination empfindlicher und stellt deshalb auch höhere Anforderungen an die konstruktive Ausgestaltung, aber derartige besonderen Anforderungen sind nicht zu vergleichen mit den Bedingungen wie sie in Reinsträumen Vorschrift sind.The Environment in which such an industrial robot can be used should be opposite a normal environment more sensitive to contamination and presents therefore higher Requirements for the structural design, but such special requirements are not to be compared with the conditions as in clean rooms Are regulation.
Abgesehen davon sind große dünne Glasplatten, wie sie für die Fertigung großer TFT-Bildschirme verwendet werden, durch ihre kristalline Struktur und gleichzeitige relativ große Masse gegen kleinste Stöße äußerst empfindlich. Ein Industrieroboter ist deshalb auch aus den Gründen fehlender Feinfühligkeit und, für solche Fälle, mangelnder Positioniergenauigkeit zur Handhabung großer dünner Glasplatten in Reinsträumen nicht geeignet.apart there are big ones thin glass plates, as for the production big TFT screens are used by their crystalline structure and at the same time relatively large Mass extremely sensitive to the slightest impact. An industrial robot is therefore also due to the lack of sensitivity and for such cases, lack of positioning accuracy for handling large thin glass plates in clean rooms not suitable.
Besondere Aufmerksamkeit erfordert unter Reinstraum-Bedingungen die Umsetzung großer stoßempfindlicher Glasplatten von der horizontalen Ausrichtung in eine vertikale Ausrichtung und ebenso, nach der Bearbeitung, die Verbringung in die horizontale Lage.Special Attention requires the implementation under clean-room conditions big impact sensitive Glass plates from the horizontal orientation to a vertical orientation and also, after processing, the shipment to the horizontal Location.
Der erfindungsgemäßen Vorrichtung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, bei der Umsetzung großer dünner Glasplatten unter Reinstraum-Bedingungen eine extreme Positioniergenauigkeit zu gewährleisten.Of the Device according to the invention Therefore, the task is based, in the implementation of large thin glass plates under extreme conditions a extreme positioning accuracy to ensure.
Diese Aufgabe wird mit einer Vorrichtung nach Anspruch 1 gelöst.These The object is achieved with a device according to claim 1.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung wird im Folgenden näher beschrieben.The inventive device will be closer in the following described.
Es zeigen im Einzelnen:It show in detail:
Auf
der perspektivischen Darstellung der
Die
Saugkopfträgerholme
(
Somit
lässt sich
eine Glasplatte (
In
der
Die
Umsetz-Vorrichtung ist mit der Befestigungsplatte (
Das
obere Umlenkgetriebe (
An
dem Querholm (
Die
Saugköpfe
(
Der
flexible Leitungskanal (
In
der perspektivischen Ansicht der
Über das
untere Umlenkgetriebe (
In
der Ablagevorrichtung (
Zur
Anpassung an unterschiedliche Gegebenheiten bezüglich der Abmessungen der umzusetzenden
Glasplatten und bezüglich
unterschiedlich dimensionierter Ablagevorrichtungen kann vorgesehen sein
die, das untere Umlenkgetriebe (
Die
aktuellen Positionen der relevanten Anlagenteile können zur
Kontrolle an einem Bildschirm von Sensoren steuerungstechnisch erfasst
werden. Vergleichende Erfassung von Positionen der Anlagenteile
und Positionsdaten von Glasplatten (
Die
entsprechenden Anlagenteile sind aus Gründen der übersichtlichen Darstellung
nicht gezeichnet. Ebenso kann die erfindungsgemäße Vorrichtung dazu verwendet
werden die Glasplatten (
In
diesem Zusammenhang wird darauf hingewiesen, dass die metallene
Ablagevorrichtung (
In
der
Die
Distanzbuchse (
Das
Ansaugelement (
Die interaktive Steuerung der jeweils verwendeten Bewegungselemente und Sensoren erfordert ein spezielles Steuerungsprogramm.The interactive control of the movement elements used and sensors requires a special control program.
- 11
- Grundplatte, BefestigungsplatteBase plate, mounting plate
- 22
- Befestigungselement der Umsetzgabelfastener the transfer fork
- 33
- unteres Umlenkgetriebelower deflecting
- 44
- oberes Umlenkgetriebeupper deflecting
- 55
- gesicherter, flexibler Leitungskanalsecure, flexible duct
- 66
- Querholm der Umsetzgabeltransverse spar the transfer fork
- 77
- Saugkopfträger-HolmSuction head-Holm
- 88th
- Saugkopfsuction head
- 99
- oberer Servoantriebupper servo drive
- 10 10
- unterer Servoantrieblower servo drive
- 1111
- Glasplatteglass plate
- 12 12
- Ablagevorrichtungstorage device
- 13 13
- Distanzbuchse für einen SaugkopfDistanzbuchse for one suction head
- 14 14
- Strömungssensorflow sensor
- 15 15
- Ansaugelementsuction
- 16 16
- Rollerole
Claims (9)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE200720015167 DE202007015167U1 (en) | 2007-10-31 | 2007-10-31 | Device for converting shock-sensitive glass plates in clean rooms |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE200720015167 DE202007015167U1 (en) | 2007-10-31 | 2007-10-31 | Device for converting shock-sensitive glass plates in clean rooms |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE202007015167U1 true DE202007015167U1 (en) | 2008-02-14 |
Family
ID=39079200
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE200720015167 Expired - Lifetime DE202007015167U1 (en) | 2007-10-31 | 2007-10-31 | Device for converting shock-sensitive glass plates in clean rooms |
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Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE202007015167U1 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE202008008117U1 (en) * | 2008-06-19 | 2009-10-29 | Bc Prozesstechnik Gmbh | Device for receiving and transporting profiles and flat elements |
-
2007
- 2007-10-31 DE DE200720015167 patent/DE202007015167U1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE202008008117U1 (en) * | 2008-06-19 | 2009-10-29 | Bc Prozesstechnik Gmbh | Device for receiving and transporting profiles and flat elements |
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