DE202005011679U1 - Vibration damper for gas-tight connection of vacuum pump with vacuum device, has damper device with elastic damping ring between sealing ring of vacuum device and sealing ring of vacuum pump, where sealing sleeve is sealed to both rings - Google Patents

Vibration damper for gas-tight connection of vacuum pump with vacuum device, has damper device with elastic damping ring between sealing ring of vacuum device and sealing ring of vacuum pump, where sealing sleeve is sealed to both rings Download PDF

Info

Publication number
DE202005011679U1
DE202005011679U1 DE202005011679U DE202005011679U DE202005011679U1 DE 202005011679 U1 DE202005011679 U1 DE 202005011679U1 DE 202005011679 U DE202005011679 U DE 202005011679U DE 202005011679 U DE202005011679 U DE 202005011679U DE 202005011679 U1 DE202005011679 U1 DE 202005011679U1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
vacuum pump
ring
vacuum
sealing
vibration damper
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE202005011679U
Other languages
German (de)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leybold GmbH
Original Assignee
Leybold Vakuum GmbH
Leybold Vacuum GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from DE200410044775 external-priority patent/DE102004044775A1/en
Application filed by Leybold Vakuum GmbH, Leybold Vacuum GmbH filed Critical Leybold Vakuum GmbH
Priority to DE202005011679U priority Critical patent/DE202005011679U1/en
Publication of DE202005011679U1 publication Critical patent/DE202005011679U1/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/66—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing
    • F04D29/661—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps
    • F04D29/668—Combating cavitation, whirls, noise, vibration or the like; Balancing especially adapted for elastic fluid pumps damping or preventing mechanical vibrations
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
    • F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2220/00—Application
    • F04C2220/10—Vacuum

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Abstract

The damper has a damper device (16) with an elastic damping ring (28) between a sealing ring (26) of a vacuum device (14) and a sealing ring (24) of a vacuum pump (12). A non-elastic sealing sleeve (30) is sealed in a gas tight manner to both the sealing rings and can be moved axially with respect to one of the sealing rings. A rear holding arrangement holds together the opening flanges of vacuum pump and vacuum device, respectively.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Vakuumpumpen-Schwingungsdämpfer zur gasdichten Verbindung des Öffnungsflansches einer Vakuumpumpe mit dem Öffnungsflansch einer angeschlossenen Vakuumvorrichtung.The The invention relates to a vacuum pump vibration damper for gastight connection of the opening flange a vacuum pump with the opening flange an attached vacuum device.

Vakuumpumpen können, ebenso wie angeschlossene Vakuumvorrichtungen, schwingungsempfindlich sein. Um die Übertragung von Schwingungen zwischen einer Vakuumpumpe und einer angeschlossenen Vakuumvorrichtung zu verringern, wird zwischen der Vakuumpumpe und der Vakuumvorrichtung ein Schwingungsdämpfer vorgesehen, durch den die Schwingungsübertragung in beiden Richtungen minimiert wird. Nichtmetallische Schwingungsdämpfer aus Kunststoff, Gummi o.ä. haben schlechte Dichtungseigenschaften, so dass bekannte Vakuumpumpen-Schwingungsdämpfer einen Metall-Faltenbalg aufweisen, der eine gasdichte Verbindung der Vakuumpumpe und der Vakuumvorrichtung ermöglicht, durch den jedoch wegen seiner materialbedingten Steifheit die Schwingungsdämpfung nur unvollkommen ist.vacuum pumps can, as well as connected vacuum devices, sensitive to vibration be. To the transfer of vibrations between a vacuum pump and a connected Vacuum device is reduced between the vacuum pump and the vacuum device, a vibration damper provided by the the vibration transmission is minimized in both directions. Non-metallic vibration absorbers Plastic, rubber or similar have poor sealing properties, so that known vacuum pump vibration damper a Metal bellows having a gas-tight connection of the vacuum pump and the vacuum device allows but due to its material-related stiffness, the vibration damping only imperfect is.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, einen Vakuumpumpen-Schwingungsdämpfer mit verbesserten Dämpfungseigenschaften zu schaffen.task The invention is therefore a vacuum pump vibration damper with improved damping properties to accomplish.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst.These Task is according to the invention with the Characteristics of claim 1 solved.

Der erfindungsgemäße Vakuumpumpen-Schwingungsdämpfer weist im Wesentlichen eine Dichtungsanordnung und eine davon separat ausgebildete Rückhalteanordnung auf. Die Rückhalteanordnung verbindet einen Öffnungsflansch der Vakuumpumpe und einen Öffnungsflansch der Vakuumvorrichtung und weist einen axial in Zugrichtung wirkenden Anschlag auf, der bei Betriebsdruck nicht anschlägt.Of the inventive vacuum pump vibration damper has essentially a sealing arrangement and one of them separately formed Retaining arrangement on. The retention arrangement connects an opening flange the vacuum pump and an opening flange the vacuum device and has an axially acting in the pulling direction Stop, which does not hit at operating pressure.

Die Dichtungsanordnung weist einen elastischen Dämpfungsring axial zwischen einem Dichtungsring der Vakuumpumpe und einem Dichtungsring der Vakuumvorrichtung, und eine nicht-elastische Dichtungshülse radial innenseitig der Dichtungsringe und des Dämpfungsringes auf, wobei die Dichtungshülse zu den beiden Dichtungsringen gasdicht abgedichtet und zu mindestens einem Dichtungsring axial beweglich ist. Die Dichtungshülse verbindet die beiden Dichtungsringe gasdicht miteinander und ermöglicht eine axiale Bewegung der beiden Dichtungsringe zueinander. Durch die gasdichte Abdichtung zwischen der Dichtungshülse und den Dichtungsringen liegt der Dämpfungsring, der axial zwischen den beiden Dichtungsringen angeordnet ist, außerhalb des Vakuumraumes. Mangels auf den Dichtungsring wirkender Druckunterschiede wirken bei Betriebsdruck keine druckbedingten Deformationskräfte auf den Dämpfungsring. Da der Dämpfungsring keine gasdichtende Funktion hat, kann er bezüglich seines Materials und seiner Dimensionierung ausschließlich im Hinblick auf seine Dämpfungseigenschaften optimiert werden.The Sealing arrangement has an elastic damping ring axially between a sealing ring of the vacuum pump and a sealing ring of Vacuum device, and a non-elastic sealing sleeve radially on the inside of the sealing rings and the damping ring, wherein the sealing sleeve to the both gaskets sealed gas-tight and at least one Sealing ring is axially movable. The sealing sleeve connects the two sealing rings gas-tight with each other and allows one axial movement of the two sealing rings to each other. By the gas-tight seal between the sealing sleeve and the sealing rings is the damping ring, which is arranged axially between the two sealing rings, outside of the vacuum space. In the absence of pressure differences acting on the sealing ring At operating pressure no pressure-related deformation forces act on the damping ring. Because the damping ring has no gastight function, it can with respect to its material and its sizing exclusively with regard to its damping properties be optimized.

Bei Betriebsdruck, d.h. bei Unterdruck, wird der elastische Dämpfungsring axial komprimiert, so dass sich der axiale Abstand zwischen dem Dichtungsring der Vakuumpumpe und dem Dichtungsring der Vakuumvorrichtung, bzw. der axiale Abstand zwischen dem Öffnungsflansch der Vakuumpumpe und dem Öffnungsflansch der Vakuumvorrichtung derart verringert, dass der Absatz nicht eingreift, d.h. die Rückhalteanordnung wirkungslos ist. Bei Nicht-Betrieb der Vakuumpumpe, d.h. bei beispielsweise atmosphärischem Druck innerhalb der gasdichten Verbindung zwischen der Vakuumpumpe und der Vakuumvorrichtung, ist der Dämpfungsring axial expandiert und greift der axial in Zugrichtung wirkende Anschlag ein, so dass der Öffnungsflansch der Vakuumpumpe und der Öffnungsflansch der Vakuumvorrichtung durch die Rückhalteanordnung axial zusammengehalten werden. Zwar können während des Nicht-Betriebes der Vakuumpumpe über die Rückhalteanordnung Schwingungen übertragen werden, nicht jedoch bei Betrieb der Vakuumpumpe, bzw. solange annähernd Betriebsdruck in der gasdichten Verbindung zwischen der Vakuumpumpe und der Vakuumvorrichtung herrscht. Bei Betriebsdruck werden die Vakuumpumpe und die Vakuumvorrichtung durch den sie umgebenden atmosphärischen Luftdruck axial zusammengedrückt und zusammengehalten, so dass die Rückhalteanordnung keine Schwingungen übertragen kann.at Operating pressure, i. at negative pressure, the elastic damping ring compressed axially, so that the axial distance between the Sealing ring of the vacuum pump and the sealing ring of the vacuum device, or the axial distance between the opening flange of the vacuum pump and the opening flange reduced the vacuum device so that the paragraph does not intervene, i.e. the restraint arrangement is ineffective. When not operating the vacuum pump, i. for example atmospheric Pressure within the gas-tight connection between the vacuum pump and the vacuum device, the damper ring is axially expanded and engages the axially acting in the pulling direction stop, so that the opening flange the vacuum pump and the opening flange the vacuum device held together axially by the retaining arrangement become. Although you can while of non-operation of the vacuum pump via the restraint assembly transmitted vibrations be, but not during operation of the vacuum pump, or as long as approximately operating pressure in the gas-tight connection between the vacuum pump and the vacuum device prevails. At operating pressure, the vacuum pump and the vacuum device become through the surrounding atmospheric Air pressure compressed axially and held together so that the restraint assembly does not transmit vibrations can.

Die Dichtungshülse verbindet die beiden Dichtungsringe gasdicht miteinander, und ist zu mindestens einem der beiden Dichtungsringe axial beweglich. Auf diese Weise kann sich der Dämpfungsring in axialer Richtung verkleinern bzw. in axialer Richtung federn. Bei Betriebsdruck werden annähernd ausschließlich durch den Dichtungsring axiale Druckkräfte übertragen.The grommet connects the two gaskets gas-tight with each other, and is axially movable to at least one of the two sealing rings. On This way, the damping ring can shrink in the axial direction or feathers in the axial direction. At operating pressure will be approximately exclusively transmitted by the sealing ring axial compressive forces.

Erst durch Vorsehen einer nur bei Nicht-Betrieb anschlagenden Rückhalteanordnung und durch die Trennung von Gasdichtung und Dämpfung wird eine Schwingungsdämpfung für eine gasdichte Verbindung einer Vakuumpumpe mit einer Vakuumvorrichtung realisiert, die hohe Dämpfungsqualität ermöglicht.First by providing a restraint assembly that stops only when not in use and by the separation of gas seal and damping is a vibration damping for a gas-tight Connection of a vacuum pump realized with a vacuum device, the high damping quality allows.

Die Dichtungsringe bestehen aus Metall und können einstückig mit den Öffnungsflanschen der Vakuumpumpe und der Vakuumvorrichtung ausgebildet sein. Vorzugsweise können die Dichtungsringe jedoch auch separat von den Öffnungsflanschen ausgebildet sein. Die separaten Dichtungsringe liegen jeweils gasdicht an dem zugeordneten Öffnungsflansch an. Hierzu kann insbesondere ein O-Ring zwischen dem Öffnungsflansch und dem zugeordneten Dichtungsring vorgesehen sein.The sealing rings are made of metal and may be formed integrally with the opening flanges of the vacuum pump and the vacuum device. Preferably, however, the sealing rings may also be formed separately from the opening flanges. The separate sealing rings are each gas-tight to the associated opening flange. For this purpose, in particular an O-ring between the opening flange and the associated sealing ring may be provided.

An einem bzw. gegebenenfalls beiden Dichtungsringen ist radial innenseitig zur Gasdichtung ein passender O-Ring angeordnet, der mit seiner radialen Innenseite auf der radialen Außenseite der Dichtungshülse aufliegt. Hierdurch wird eine gasdichte Verbindung zwischen den Dichtungsringen und der Dichtungshülse realisiert, wobei mindestens eine und gegebenenfalls beide Dichtungsringe gegenüber der Dichtungshülse axial verschiebbar ist bzw. sind.At one or optionally two sealing rings is radially inside to gas seal a matching O-ring arranged with his Radial inside rests on the radial outer side of the sealing sleeve. As a result, a gas-tight connection between the sealing rings and the sealing sleeve realized, wherein at least one and optionally both sealing rings across from the sealing sleeve is axially displaceable or are.

Es können zwei zu der Dichtungshülse separate Dichtungsringe vorgesehen sein. Vorzugsweise ist jedoch ein Dichtungsring einstückig mit der Dichtungshülse ausgebildet. Die axiale Beweglichkeit der Dichtungsanordnung bleibt dadurch erhalten, dass die Dichtungshülse zu dem zweiten Dichtungsring axial verschiebbar ist. Durch die einstückige Ausbildung eines Dichtungsringes mit einer Dichtungshülse wird die Anzahl der Bauteile sowie eine Möglichkeit für Undichtigkeiten verringert.It can two to the sealing sleeve be provided separate sealing rings. However, it is preferable a sealing ring in one piece with the sealing sleeve educated. The axial mobility of the seal assembly remains obtained by the sealing sleeve to the second sealing ring axially is displaceable. Due to the integral formation of a sealing ring with a sealing sleeve reduces the number of components as well as a possibility for leaks.

Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung ist der Anschlag axial in Zugrichtung durch ein Federelement gefedert. Hierdurch wird sichergestellt, dass der betreffende Öffnungsflansch bei starken schwingungsbedingten axialen Auslenkungen und/oder bei plötzlichem Druckanstieg innerhalb der gasdichten Verbindung nicht schlagartig an den Anschlag anschlägt, sondern die axiale Bewegung abgefedert wird.According to one preferred embodiment, the stop is axially in the pulling direction sprung by a spring element. This will ensure that the respective opening flange with strong axial deflections caused by vibrations and / or in the case of sudden vibrations Pressure increase within the gastight connection not abrupt strikes the stop, but the axial movement is cushioned.

Vorzugsweise besteht der Dämpfungsring aus einem Elastomer, beispielsweise aus einem viskoelastischen Werkstoff, wie Acrylnitril-Butadien-Kautschuk oder gemischtzelliges Polyurethan.Preferably the damping ring is made an elastomer, for example of a viscoelastic material, such as acrylonitrile butadiene rubber or mixed cell polyurethane.

Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung ist der Rückhalteanordnung am Öffnungsflansch der Vakuumpumpe ein Überwurfring zugeordnet. Der Überwurfring kann auch alternativ der Vakuumvorrichtung zugeordnet sein. Es können auch sowohl an der Vakuumpumpe als auch an der Vakuumvorrichtung jeweils ein Überwurfring vorgesehen sein. An der radialen Innenseite des Überwurfringes kann als Anschlag ein Radialabsatz vorgesehen sein, der mit einem radialen Haltering des Öffnungsflansches ineinander greift. Auf diese Weise wird ein über den gesamten Umfang verlaufender Anschlag realisiert.According to one preferred embodiment is the retaining arrangement on the opening flange the vacuum pump a coupling ring assigned. The Überwurfring may also be associated with the vacuum device as an alternative. It can too both on the vacuum pump and on the vacuum device respectively a liaison ring be provided. On the radial inside of the coupling ring can be used as a stop a radial shoulder provided with a radial retaining ring the opening flange interlocked. In this way, a running over the entire circumference Stop realized.

Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung weist die Rückhalteanordnung mindestens zwei Axialbolzen auf, die mit einem Öffnungsflansch verschraubt sind und zu denen der andere Öffnungsflansch axial beweglich ist. Die Axialbolzen können auch auf andere Weise mit dem einen Öffnungsflansch form- und/oder kraftschlüssig verbunden sein. Der andere Öffnungsflansch bzw. gegebenenfalls der dem anderen Öffnungsflansch zugeordnete Überwurfring ist axial beweglich zu den Axialbolzen. Die Axialbolzen bilden axiale Führungen, so dass die Vakuumpumpe und die Vakuumvorrichtung in radialer Richtung zueinander weitgehend fixiert sind.According to one preferred embodiment, the restraint assembly comprises at least two axial bolts, which are bolted to an opening flange and to which the other opening flange is axially movable. The axial bolts can also be used in other ways with the one opening flange positive and / or non-positive be connected. The other opening flange or optionally the other opening flange associated coupling ring is axially movable to the axial pin. The axial bolts form axial Guides, so that the vacuum pump and the vacuum device in the radial direction are largely fixed to each other.

Gemäß einer bevorzugten Ausgestaltung sind den Axialbolzen jeweils Distanzhülsen zugeordnet, die den vakuumpumpenseitigen Überwurfflansch in einem Mindestabstand zu dem Öffnungsflansch der Vakuumvorrichtung halten. Durch entsprechende Wahl der axialen Länge der Distanzhülsen kann die axiale Position des Öffnungsflanschs noch während der Montage genau eingestellt und fixiert werden. Hierdurch wird die genaue Auslegung insbesondere bei nachträglicher Montage vereinfacht. Alternativ hierzu können auch Axialbolzen verwendet werden, die, statt der Distanzhülsen, entsprechende Absätze einstückig aufweisen.According to one preferred embodiment, the axial bolts are each assigned spacer sleeves, the vacuum pump-side Überwurfflansch at a minimum distance to the opening flange hold the vacuum device. By appropriate choice of the axial Length of spacers The axial position of the opening flange can still while The assembly can be precisely adjusted and fixed. This will the exact design simplified especially for retrofitting. Alternatively, you can Axial bolts are used, which, instead of the spacers, corresponding paragraphs one piece exhibit.

Im Folgenden werden unter Bezugnahme auf die Zeichnungen vier Ausführungsbeispiele der Erfindung näher erläutert.in the Next, four embodiments will be described with reference to the drawings closer to the invention explained.

Es zeigen:It demonstrate:

1 eine erste Ausführungsform des erfindungsgemäßen Vakuumpumpen-Schwingungsdämpfers bei Nicht-Betriebsdruck im Längsschnitt, 1 a first embodiment of the vacuum pump vibration damper according to the invention in non-operating pressure in longitudinal section,

2 der Schwingungsdämpfer der 1 im eingefederten Zustand bei Betriebsdruck im Längsschnitt, 2 the vibration damper of 1 in the compressed state at operating pressure in longitudinal section,

3 eine zweite Ausführungsform des erfindungsgemäßen Vakuumpumpen-Schwingungsdämpfers, 3 A second embodiment of the vacuum pump vibration damper according to the invention,

4 eine dritte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Vakuumpumpen-Schwingungsdämpfers im Längsschnitt, und 4 a third embodiment of a vacuum pump vibration damper according to the invention in longitudinal section, and

5 eine vierte Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Vakuumpumpen-Schwingungsdämpfers im Längsschnitt. 5 a fourth embodiment of a vacuum pump vibration damper according to the invention in longitudinal section.

In den 1 bis 5 sind jeweils Schwingungsdämpfer 10, 110, 210, 310 dargestellt, die jeweils eine Vakuumpumpe 12 mit einer Vakuumvorrichtung 14 gasdicht verbinden. Die Vakuumpumpe 12 ist vertikal oberhalb auf der Vakuumvorrichtung 14 stehend angeordnet. Die Anordnung kann jedoch auch um 180° gedreht erfolgen, so dass die Vakuumpumpe 12 vertikal unter der Vakuumvorrichtung 14 hängend angeordnet ist.In the 1 to 5 are each vibration damper 10 . 110 . 210 . 310 shown, each a vacuum pump 12 with a vacuum device 14 connect gas-tight. The vacuum pump 12 is vertically above on the vacuum device 14 standing arranged. However, the arrangement can also be rotated by 180 °, so that the vacuum pump 12 vertically under the vacuum device 14 is arranged hanging.

Die Vakuumpumpe 12 kann grundsätzlich jede Art von Vakuumpumpe sein. Im vorliegenden Fall handelt es sich um eine Turbopumpe, die wegen ihrer hohen Drehzahl und empfindlichen Lagerung eine gute Schwingungsdämpfung gegenüber der Vakuumvorrichtung 14 erfordert. Vorliegend ist der Gaseinlass der Vakuumpumpe 12 mit dem Gasauslass der Vakuumvorrichtung 14 verbunden. Grundsätzlich kann jedoch auch ein Gasauslass der Vakuumpumpe in dargestellter Weise mit einem Gaseinlass der angeschlossenen Vakuumvorrichtung 14 verbunden sein.The vacuum pump 12 can basically be any type of vacuum pump. In the present Case is a turbopump, because of their high speed and sensitive storage a good vibration damping compared to the vacuum device 14 requires. In the present case is the gas inlet of the vacuum pump 12 with the gas outlet of the vacuum device 14 connected. In principle, however, can also be a gas outlet of the vacuum pump in the manner shown with a gas inlet of the connected vacuum device 14 be connected.

Die Vakuumvorrichtung 14 kann eine weitere Vakuumpumpe, ein Rezipient, ein Massenspektrometer oder eine andere mit Vakuum beaufschlagte Vorrichtung sein.The vacuum device 14 may be another vacuum pump, a recipient, a mass spectrometer or other vacuum applied device.

In 1 ist die einfachste Ausführungsform eines erfindungsgemäßen Schwingungsdämpfers 10 dargestellt. Der Schwingungsdämpfer 10 besteht im Wesentlichen aus einer Dichtungsanordnung 16 und einer Rückhalteanordnung 18, die axial außenseitig der Dichtungsanordnung 16 vorgesehen ist. Die Rückhalteanordnung 18 dient ausschließlich dem Zusammenhalt der Vakuumpumpe 12, der Vakuumvorrichtung 14 und der Dichtungsanordnung 16, wenn in dem von der Vakuumpumpe 12, dem Schwingungsdämpfer 10 und der Vakuumvorrichtung 14 kein Betriebsdruck, also kein Unterdruck, gegenüber der Umgebung herrscht.In 1 is the simplest embodiment of a vibration damper according to the invention 10 shown. The vibration damper 10 consists essentially of a sealing arrangement 16 and a restraint arrangement 18 , the axially outside of the seal assembly 16 is provided. The retention arrangement 18 serves only the cohesion of the vacuum pump 12 , the vacuum device 14 and the seal assembly 16 when in the from the vacuum pump 12 , the vibration damper 10 and the vacuum device 14 no operating pressure, so no negative pressure, relative to the environment prevails.

Die Dämpfungsanordnung 16 dient im Wesentlichen der Schwingungsdämpfung sowie der gasdichten Abdichtung der Verbindung zwischen Vakuumpumpe 12 und Vakuumvorrichtung 14.The damping arrangement 16 essentially serves for vibration damping and gas-tight sealing of the connection between the vacuum pump 12 and vacuum device 14 ,

Die Dämpfungsanordnung 16 ist zwischen einem Öffnungsflansch 20 der Vakuumpumpe 12 und einem Öffnungsflansch 22 der Vakuumvorrichtung 14 angeordnet. Die Dämpfungsanordnung 16 weist einen vakuumpumpenseitigen Dichtungsring 24, einen vakuumvorrichtungsseitigen Dichtungsring 26, eine die beiden Dichtungsringe 24, 26 radial innenseitig verbindende zylindrische Dichtungshülse 30 sowie einen elastischen Dämpfungsring 28 axial zwischen den beiden Dichtungsringen 24, 26 auf. Der vakuumvorrichtungsseitige Dichtungsring 26 und die Dichtungshülse 30 sind einstückig miteinander ausgebildet. Die Dichtungshülse 30 ist gegenüber dem vakuumpumpenseitigen Dichtungsring 24 axial beweglich. Die gasdichte Abdichtung zwischen der Dichtungshülse 30 und dem vakuumpumpenseitigen Dichtungsring 24 erfolgt durch einen O-Ring 34, der zwischen der Dichtungshülsen-Außenseite und der Dichtungsring-Innenseite des vakuumpumpenseitigen Dichtungsringes 24 angeordnet ist. Der O-Ring 34 sitzt radial in einer entsprechenden Radialnut des Vakuumpumpen-Dichtungsringes 24.The damping arrangement 16 is between an opening flange 20 the vacuum pump 12 and an opening flange 22 the vacuum device 14 arranged. The damping arrangement 16 has a vacuum pump-side sealing ring 24 , a vacuum device side sealing ring 26 , one the two sealing rings 24 . 26 radially inwardly connecting cylindrical sealing sleeve 30 as well as an elastic damping ring 28 axially between the two sealing rings 24 . 26 on. The vacuum device side sealing ring 26 and the sealing sleeve 30 are integrally formed with each other. The sealing sleeve 30 is opposite to the vacuum pump side seal ring 24 axially movable. The gas-tight seal between the sealing sleeve 30 and the vacuum pump side seal ring 24 done by an O-ring 34 between the sealing sleeve outside and the sealing ring inside the vacuum pump side sealing ring 24 is arranged. The O-ring 34 sits radially in a corresponding radial groove of the vacuum pump sealing ring 24 ,

Beide Dichtungsringe 24, 26 weisen jeweils pumpenseitig eine umlaufende Axialnut auf, in der ein entsprechender O-Ring 36, 38 zur Abdichtung der Dämpfungsanordnung 16 gegenüber dem Vakuumpumpen-Öffnungsflansch 20 bzw. dem Vakuumvorrichtungs-Öffnungsflansch 22 sitzt. Der Dämpfungsring besteht aus einem geeigneten Kunststoff, beispielsweise aus einem viskoelastischen Werkstoff, wie Acrylnitril-Butadien-Kautschuk oder gemischtzelliges Polyurethan.Both sealing rings 24 . 26 each have a circumferential axial groove on the pump side, in which a corresponding O-ring 36 . 38 for sealing the damping arrangement 16 opposite the vacuum pump opening flange 20 or the vacuum device opening flange 22 sitting. The damping ring is made of a suitable plastic, for example of a viscoelastic material, such as acrylonitrile-butadiene rubber or mixed-cell polyurethane.

Bei Betriebsdruck, d.h. bei Unterdruck gegenüber Atmosphärendruck, wird die Dämpfungsanordnung 16 axial alleine durch die Druckkräfte zusammengehalten, und zwar auch bei hängender Anordnung der Vakuumpumpe 12 an der Vakuumvorrichtung 14.At operating pressure, ie at negative pressure relative to atmospheric pressure, the damping arrangement 16 axially held together solely by the pressure forces, even in a hanging arrangement of the vacuum pump 12 at the vacuum device 14 ,

Die Rückhalteanordnung 18 weist im Wesentlichen einen als Tragring ausgebildeten Überwurfring 40, fünf annähernd gleichmäßig über den Umfang verteilte Axialbolzen 42, sowie einen Sprengring 44 auf, der in einer Radialnut am Außenumfang des Öffnungsflansches 20 der Vakuumpumpe 12 sitzt. An dem Überwurfring 40 ist radial innenseitig eine als Anschlag 46 wirkende Radialstufe vorgesehen, die die Beweglichkeit des Öffnungsflansches 20 der Vakuumpumpe 12 in Zugrichtung, d.h. von der Vakuumvorrichtung 14 weg, begrenzt. Zwischen dem Kopf 43 der Axialbolzen 42 und dem Überwurfring 40 ist jeweils ein Federring 48 vorgesehen, durch den der Überwurfring 40, und damit der Anschlag 46 in Zugrichtung gefedert ist.The retention arrangement 18 essentially has a trained as a support ring coupling ring 40 , five approximately evenly distributed over the circumference axial bolt 42 , as well as a snap ring 44 on, in a radial groove on the outer circumference of the opening flange 20 the vacuum pump 12 sitting. At the Überwurfring 40 is radially inside one as a stop 46 acting radial stage provided the mobility of the opening flange 20 the vacuum pump 12 in the pulling direction, ie from the vacuum device 14 away, limited. Between the head 43 the axial bolt 42 and the surrender ring 40 is each a spring washer 48 provided by the liaison ring 40 , and with it the stop 46 is sprung in the pulling direction.

In 2 ist der Schwingungsdämpfer 10 in eingefedertem Zustand dargestellt, d.h. wenn Betriebsdruck in dem durch die Vakuumpumpe 12, den Schwingungsdämpfer 10 und die Vakuumvorrichtung 14 abgeschlossenen Raum herrscht. Wie in 2 zu erkennen, wird die Dämpfungsanordnung 10 ausschließlich durch die Druckkräfte zusammengehalten und besteht über die Rückhalteanordnung 18 keine unmittelbare mechanische Verbindung zwischen der Vakuumvorrichtung 14 und der Vakuumpumpe 12. Die mechanische Verbindung wird nahezu ausschließlich durch den Dämpfungsring 28 hergestellt, der die Schwingungsübertragung in beiden Richtungen stark dämpft.In 2 is the vibration damper 10 shown in a compressed state, ie when operating pressure in the by the vacuum pump 12 , the vibration damper 10 and the vacuum device 14 enclosed space prevails. As in 2 to recognize the damping arrangement 10 held together solely by the pressure forces and exists over the retention arrangement 18 no direct mechanical connection between the vacuum device 14 and the vacuum pump 12 , The mechanical connection is almost exclusively due to the damping ring 28 manufactured, which strongly dampens the vibration transmission in both directions.

Wie Versuche ergeben haben, lassen sich dadurch Schwingungen der Vakuumvorrichtung 14 stark abdämpfen, so dass nur geringe Schwingungen durch die Vakuumvorrichtung 14 in die Vakuumpumpe 12 induziert werden. Hierdurch wird die Lebensdauer der Vakuumpumpe 12 erheblich verlängert.As tests have shown, can thereby vibrations of the vacuum device 14 strongly attenuate, leaving only slight vibrations through the vacuum device 14 in the vacuum pump 12 be induced. This will increase the life of the vacuum pump 12 considerably extended.

In dem in 3 dargestellten zweiten Ausführungsbeispiel einer Schwingungsanordnung ist, im Unterschied zu dem Schwingungsdämpfer 10 derIn the in 3 shown second embodiment of a vibration assembly, in contrast to the vibration damper 10 of the

1 und 2, vakuumvorrichtungsseitig ein Zentrierung 62 vorgesehen, der der Erleichterung der Zentrierung von Schwingungsdämpfer 60 und Vakuumvorrichtung 14 dient. Die Dämpfungsanordnung 16' und die Rückhalteanordnung 18' sind technisch gleich zu denen der 1 und 2. 1 and 2 , Vacuum device side centering 62 provided that of relief the centering of vibration damper 60 and vacuum device 14 serves. The damping arrangement 16 ' and the restraint arrangement 18 ' are technically equal to those of 1 and 2 ,

In 4 ist eine dritte Ausführungsform eines Schwingungsdämpfers 70 dargestellt, bei dem die Dämpfungsanordnung 16" einen zweiten Dämpfungsring 72 aufweist, wobei beide Dämpfungsringe 72, 28 durch einen Zwischenring 74 voneinander axial getrennt sind.In 4 is a third embodiment of a vibration damper 70 illustrated in which the damping arrangement 16 " a second damping ring 72 having both damping rings 72 . 28 through an intermediate ring 74 are axially separated from each other.

Die Rückhalteanordnung 18" weist einen Überwurfring 76 auf, der durch Distanzhülsen 78 in einem konstanten axialen Abstand zu dem Öffnungsflansch 22 der Vakuumvorrichtung 14 gehalten wird.The retention arrangement 18 " has a liaison ring 76 on, by spacers 78 at a constant axial distance to the opening flange 22 the vacuum device 14 is held.

In dem in 5 dargestellten Ausführungsbeispiel eines Schwingungsdämpfers 80 ist die Dichtungshülse 82 der Dämpfungsanordnung 16" getrennt von beiden Dichtungsringen 24, 84 ausgebildet. Hierdurch ergibt sich eine bessere Beweglichkeit und Entkopplung. Die Rückhalteanordnung 18" ähnelt der der 4.In the in 5 illustrated embodiment of a vibration damper 80 is the sealing sleeve 82 the damping arrangement 16 " separated from both sealing rings 24 . 84 educated. This results in a better mobility and decoupling. The retention arrangement 18 " is similar to the 4 ,

Durch die konstruktive Trennung der Dämpfungsanordnung und der Rückhalteanordnung, sowie durch die gasdichte Isolation des Dämpfungsringes wird ein gasdichter Schwingungsdämpfer realisiert, durch den die Schwingungsübertragung von einer Vakuumvorrichtung auf eine Vakuumpumpe bzw. umgekehrt stark reduziert wird. Hierdurch wird die Lebensdauer der angeschlossenen Aggregate erheblich verlängert.By the structural separation of the damping arrangement and the restraint assembly, as well as the gas-tight insulation of the damping ring is a gas-tight vibration realized by the vibration transmission from a vacuum device is greatly reduced to a vacuum pump or vice versa. hereby the service life of the connected units is considerably extended.

Claims (9)

Vakuumpumpen-Schwingungsdämpfer (10) zur gasdichten Verbindung einer Vakuumpumpe (12) mit einer Vakuumvorrichtung (14), mit einer Dämpfungsanordnung (16) mit einem elastischen Dämpfungsring (28) axial zwischen einem Dichtungsring (24) der Vakuumpumpe (12) und einem Dichtungsring (26) der Vakuumvorrichtung (14) und einer nichtelastischen Dichtungshülse (30) radial innenseitig der Dichtungsringe (24, 26) und des Dämpfungsringes (28), wobei die Dichtungshülse (30) zu den beiden Dichtungsringen (24, 26) gasdicht abgedichtet und zu mindestens einem Dichtungsring (24) axial beweglich ist, und einer separaten Rückhalteanordnung (18), die einen Öffnungsflansch (20) der Vakuumpumpe (12) und einen Öffnungsflansch (22) der Vakuumvorrichtung (14) zusammenhält, und einen axial in Zugrichtung wirkenden Anschlag (46) aufweist, der bei Betriebsdruck nicht eingreift.Vacuum pump vibration damper ( 10 ) for the gastight connection of a vacuum pump ( 12 ) with a vacuum device ( 14 ), with a damping arrangement ( 16 ) with an elastic damping ring ( 28 ) axially between a sealing ring ( 24 ) of the vacuum pump ( 12 ) and a sealing ring ( 26 ) of the vacuum device ( 14 ) and a non-elastic sealing sleeve ( 30 ) radially inwardly of the sealing rings ( 24 . 26 ) and the damping ring ( 28 ), wherein the sealing sleeve ( 30 ) to the two sealing rings ( 24 . 26 ) sealed gas-tight and at least one sealing ring ( 24 ) is axially movable, and a separate retention arrangement ( 18 ), which has an opening flange ( 20 ) of the vacuum pump ( 12 ) and an opening flange ( 22 ) of the vacuum device ( 14 ) holds together, and an axially acting in the pulling direction stop ( 46 ), which does not intervene at operating pressure. Vakuumpumpen-Schwingungsdämpfer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Dichtungsringe (24, 26) jeweils separat von den Öffnungsflanschen (20, 22) ausgebildet sind.Vacuum pump vibration damper according to claim 1, characterized in that the sealing rings ( 24 . 26 ) each separately from the opening flanges ( 20 . 22 ) are formed. Vakuumpumpen-Schwingungsdämpfer nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Dichtungshülse (30) mit einem Dichtungsring (26) einstückig ausgebildet ist.Vacuum pump vibration damper according to claim 1 or 2, characterized in that the sealing sleeve ( 30 ) with a sealing ring ( 26 ) is integrally formed. Vakuumpumpen-Schwingungsdämpfer nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Anschlag (46) axial in Zugrichtung gefedert ist.Vacuum pump vibration damper according to one of claims 1 to 3, characterized in that the stop ( 46 ) is sprung axially in the pulling direction. Vakuumpumpen-Schwingungsdämpfer nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass ein zweiter Dämpfungsring (72) vorgesehen ist, der durch einen Zwischenring (74) axial getrennt ist von dem ersten Dämpfungsring (28).Vacuum pump vibration damper according to one of claims 1 to 4, characterized in that a second damping ring ( 72 ) provided by an intermediate ring ( 74 ) is axially separated from the first damping ring ( 28 ). Vakuumpumpen-Schwingungsdämpfer nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Rückhalteanordnung (18) einen Überwurfring (40) aufweist, der den Öffnungsflansch (20) der Vakuumpumpe (12) hält.Vacuum pump vibration damper according to one of claims 1 to 5, characterized in that the retaining arrangement ( 18 ) a Überwurfring ( 40 ), which the opening flange ( 20 ) of the vacuum pump ( 12 ) holds. Vakuumpumpen-Schwingungsdämpfer nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Anschlag (46) ein Radialabsatz an der Innenseite des Überwurfringes (40) ist, der mit einem radialen Haltering (44) des Öffnungsflansches (20) zusammenwirkt.Vacuum pump vibration damper according to claim 6, characterized in that the stop ( 46 ) a radial shoulder on the inside of the coupling ring ( 40 ) which is provided with a radial retaining ring ( 44 ) of the opening flange ( 20 ) cooperates. Vakuumpumpen-Schwingungsdämpfer nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Rückhalteanordnung (18) mindestens zwei Axialbolzen (42) aufweist, die mit einem Öffnungsflansch (22) verschraubt sind und zu denen der andere Öffnungsflansch (20) axial beweglich geführt ist.Vacuum pump vibration damper according to one of claims 1 to 7, characterized in that the retention arrangement ( 18 ) at least two axial bolts ( 42 ), which with an opening flange ( 22 ) and to which the other opening flange ( 20 ) is guided axially movable. Vakuumpumpen-Schwingungsdämpfer nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass den Axialbolzen (42) jeweils Distanzhülsen (78) zugeordnet sind, die den Überwurfring (76) in einem Mindestabstand zu dem Öffnungsflansch (22) der Vakuumvorrichtung (14) halten.Vacuum pump vibration damper according to claim 8, characterized in that the axial bolt ( 42 ) each spacer sleeves ( 78 ) are associated with the Überwurfring ( 76 ) at a minimum distance to the opening flange ( 22 ) of the vacuum device ( 14 ) hold.
DE202005011679U 2004-09-16 2005-07-26 Vibration damper for gas-tight connection of vacuum pump with vacuum device, has damper device with elastic damping ring between sealing ring of vacuum device and sealing ring of vacuum pump, where sealing sleeve is sealed to both rings Expired - Lifetime DE202005011679U1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE202005011679U DE202005011679U1 (en) 2004-09-16 2005-07-26 Vibration damper for gas-tight connection of vacuum pump with vacuum device, has damper device with elastic damping ring between sealing ring of vacuum device and sealing ring of vacuum pump, where sealing sleeve is sealed to both rings

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102004044775.6 2004-09-16
DE200410044775 DE102004044775A1 (en) 2004-09-16 2004-09-16 Vibration damper for gas-tight connection of vacuum pump with vacuum device, has damper device with elastic damping ring between sealing ring of vacuum device and sealing ring of vacuum pump, where sealing sleeve is sealed to both rings
DE202005011679U DE202005011679U1 (en) 2004-09-16 2005-07-26 Vibration damper for gas-tight connection of vacuum pump with vacuum device, has damper device with elastic damping ring between sealing ring of vacuum device and sealing ring of vacuum pump, where sealing sleeve is sealed to both rings

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE202005011679U1 true DE202005011679U1 (en) 2005-10-20

Family

ID=35220337

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE202005011679U Expired - Lifetime DE202005011679U1 (en) 2004-09-16 2005-07-26 Vibration damper for gas-tight connection of vacuum pump with vacuum device, has damper device with elastic damping ring between sealing ring of vacuum device and sealing ring of vacuum pump, where sealing sleeve is sealed to both rings

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE202005011679U1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2552324A (en) * 2016-07-18 2018-01-24 Edwards Ltd Vibration damping connector systems
CN108474382A (en) * 2015-12-23 2018-08-31 莱宝有限公司 Attachment device

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108474382A (en) * 2015-12-23 2018-08-31 莱宝有限公司 Attachment device
US11143351B2 (en) 2015-12-23 2021-10-12 Leybold Gmbh Connection device
GB2552324A (en) * 2016-07-18 2018-01-24 Edwards Ltd Vibration damping connector systems
GB2552324B (en) * 2016-07-18 2019-06-12 Edwards Ltd Vibration damping connector systems
US11608916B2 (en) 2016-07-18 2023-03-21 Edwards Limited Vibration damping connector systems

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE112013004246B4 (en) Cylindrical vibration damping device
DE102007047516B3 (en) damping valve
DE102008009619A1 (en) Tunable mass damper for a center support bearing of a cardan shaft
DE102013114169A1 (en) Adjustable vibration damper for motor vehicles
DE102019215561A1 (en) Throttle point for a vibration damper
DE102014207962A1 (en) vibration unit
DE102017106487A1 (en) Dual mass flywheel with improved seal arrangement
EP0867313A2 (en) Rubber-sleeved spring with hydraulic damping
DE102004044775A1 (en) Vibration damper for gas-tight connection of vacuum pump with vacuum device, has damper device with elastic damping ring between sealing ring of vacuum device and sealing ring of vacuum pump, where sealing sleeve is sealed to both rings
DE3841949A1 (en) CYLINDRICAL, ELASTIC SUSPENSION WITH A FLUID FILLING
EP1176332A2 (en) Air spring strut
DE102005048593B4 (en) Plastic pipe, in particular hydraulic clutch pressure transmission line for a motor vehicle
DE202005011679U1 (en) Vibration damper for gas-tight connection of vacuum pump with vacuum device, has damper device with elastic damping ring between sealing ring of vacuum device and sealing ring of vacuum pump, where sealing sleeve is sealed to both rings
EP1261813A1 (en) Air spring with two part housing
DE102010026002A1 (en) Air spring for supporting chassis frame of passenger car, has connector designed as elastic bearing with elastomer padding, where elastic bearing has radial cylindrical edge in region of elastomer padding
EP0520143A1 (en) Controllable engine mount
EP3586034B1 (en) Hydraulic mount for storage of a vehicle module
DE112018002155B4 (en) Shock absorbers
DE102019108092A1 (en) Vibration damper, motor vehicle and method for assembling a vibration damper
EP0632212A2 (en) Piston for a hydraulic vibration damper
EP2218594A1 (en) Torsion bearing for pneumatic spring
DE102007003063A1 (en) Adjustable air spring damper element
DE102018116770A1 (en) Vibration damper for a vehicle trailer, shock absorber for a vehicle trailer and trailer axle with a vibration damper and / or a shock absorber
DE102016110703A1 (en) hydromount
DE102007055077A1 (en) Clamping contour for a pressurizable component and clamping means therefor

Legal Events

Date Code Title Description
R207 Utility model specification

Effective date: 20051124

R150 Utility model maintained after payment of first maintenance fee after three years

Effective date: 20080708

R151 Utility model maintained after payment of second maintenance fee after six years
R151 Utility model maintained after payment of second maintenance fee after six years

Effective date: 20111026

R158 Lapse of ip right after 8 years

Effective date: 20140201