DE202005001721U1 - Vertical quartz glass storage rack for semiconductor disc-shaped substrates, has locking elements provided on lower end plate - Google Patents

Vertical quartz glass storage rack for semiconductor disc-shaped substrates, has locking elements provided on lower end plate Download PDF

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Abstract

A vertical quartz glass rack has a lower circular end-plate (1) with at least three mutually parallel cross-bars for providing slots (4) for the substrates. An upper circular end-plate (2) is joined to the lower end plate (1). Locking elements (6-8) are provided on the lower endplate (1) which has a thickness of less than 10 mm.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vertikalhorde aus Quarzglas für die Aufnahme von scheibenförmigen Substraten aus Halbleiterwerkstoff, mit einer unteren kreisförmigen Abschlussplatte, die mittels mindestens dreier parallel zueinander verlaufender Querstäbe, die Schlitze für die Aufnahme der Substrate aufweisen, mit einer oberen kreisförmigen Abschlussplatte verbunden ist, wobei die den Querstäben abgewandte Unterseite der unteren Abschlussplatte mit mindestens zwei Rastelementen versehen ist, die sich in Richtung der Vertikalhorden-Längsachse nach außen erstrecken, und die mit mindestens einer Ausnehmung korrespondieren, welche in einem Lagerteil für die Lagerung der Vertikalhorde in einem Behandlungsraum vorgesehen sind.The The invention relates to a vertical horde of quartz glass for recording of disc-shaped substrates made of semiconductor material, with a lower circular end plate, the means of at least three mutually parallel transverse rods, the Slots for have the inclusion of the substrates, with an upper circular end plate is connected, wherein the transverse bars facing away from the underside of the lower end plate provided with at least two locking elements is that extend outwards in the direction of the vertical horden longitudinal axis, and which correspond to at least one recess, which in a storage part for the storage of Vertikalhorde provided in a treatment room are.

Eine derartige Vertikalhorde ist aus der DE 36 34 935 C2 bekannt. Die Horde besteht im Wesentlichen aus einer oberen und einer unteren Begrenzungsplatte, welche durch mehrere geschlitzte Querstege miteinander verbunden sind. Bei der halbleitertechnologischen Prozessierung von Wafern werden derartige Horden für den Transport der Wafer und für die Aufbewahrung im Reaktor einer Prozessanlage eingesetzt, wie etwa einem Ofen oder einer Beschichtungs- oder Ätzanlage. Hierbei wird die Vertikalhorde innerhalb des Reaktors auf einem sogenannten „Pedestal" platziert, bei dem es sich in der Regel um ein zylinderförmiges Quarzglas-Bauteil handelt, dessen Oberseite eine kreis- oder ringförmige Aufnahme sowie ein zusätzliches Orientierungselement aufweist, in welche korrespondierende Rastelemente der Vertikalhorde eingreifen. Durch die Anordnung auf dem Pedestal wird eine axiale Fixierung der Horde und eine reproduzierbare radiale Ausrichtung innerhalb der Prozessanlage erreicht.Such a vertical horde is from the DE 36 34 935 C2 known. The horde consists essentially of an upper and a lower boundary plate, which are interconnected by a plurality of slotted transverse webs. In the semiconductor processing of wafers, such trays are used for transporting the wafers and for storage in the reactor of a process plant, such as an oven or a coating or etching plant. Here, the vertical tray is placed within the reactor on a so-called "Pedestal", which is usually a cylindrical quartz glass component whose top has a circular or annular recording and an additional orientation element, in which corresponding locking elements of the vertical tray The arrangement on the pedestal achieves an axial fixation of the horde and a reproducible radial alignment within the process plant.

Die Rastelemente sind an der unteren Abschlussplatte der Vertikalhorde in Form eines umlaufenden Rings und eines zusätzlichen Orientierungspins ausgebildet. Sie erstrecken sich etwa 20 bis 25 mm nach Außen in Richtung der Horden-Längsachse und dienen sowohl zur Auflage der Vertikalhorde auf dem Pedestal als auch zur exakten Orientierung. Sie werden durch Fräsen aus einer etwa 25 mm bis 35 mm dicken Quarzglasplatte erzeugt. Diese Herstellung der Abschlussplatte ist sehr zeit- und materialaufwändig.The Locking elements are on the lower end plate of the vertical horde in the form of a circumferential ring and an additional orientation pin educated. They extend about 20 to 25 mm outwards in the direction the Horden longitudinal axis and Both serve as a support for the vertical horde on the pedestal also for exact orientation. They are made by milling produced about 25 mm to 35 mm thick quartz glass plate. These Production of the end plate is very time and material consuming.

Grundsätzlich stellt sich beim Einsatz von Horden aus Quarzglas das Problem, dass sich diese beim Hochtemperatureinsatz verbiegen und dadurch frühzeitig unbrauchbar werden können. Die Wandstärken der einzelnen Bauteile der Vertikalhorde müssen daher ausreichend stark ausgebildet sein, was sich jedoch in hohen Materialkosten niederschlägt.Basically When using hordes of quartz glass the problem is that bending them during high-temperature use and thus early can become unusable. The wall thicknesses The individual components of the vertical horde must therefore be strong enough be formed, which, however, reflected in high material costs.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vertikalhorde aus Quarzglas mit hoher thermischer Stabilität anzugeben, die gleichzeitig mit niedrigem Fertigungs- und Materialaufwand herstellbar ist.Of the Invention is therefore the object of a vertical horde To provide quartz glass with high thermal stability at the same time can be produced with low production and material costs.

Diese Aufgabe wird ausgehend von einer Vertikalhorde mit den eingangs genannten Merkmalen erfindungsgemäß dadurch gelöst, dass die Rastelemente an der unteren Abschlussplatte angefügt sind, und dass die untere Abschlussplatte eine Dicke von weniger als 10 mm aufweist.These Task is starting from a vertical horde with the entrance mentioned features solved according to the invention that the locking elements are attached to the lower end plate, and that the lower end plate has a thickness of less than 10 mm.

Bei der erfindungsgemäßen Vertikalhorde werden die Rastelemente nicht – wie bisher üblich – aus einer entsprechenden großvolumigen Quarzglasplatte herausgefräst, sondern an der unteren Abschlussplatte angesetzt. Hierzu werden die Abschlussplatte und die Rastelemente in separaten Verfahrensschritten erzeugt, und anschließend werden die Rastelemente an die untere Abschlußplatte angefügt, beispielsweise durch Kleben oder durch Verschweißen. Der Fertigungsaufwand dafür ist im Vergleich zum Ausfräsen aus dem Vollen gering.at the vertical horde invention the locking elements not - like previously common - from one corresponding large volume Milled out quartz glass plate, but attached to the lower end plate. To do this the end plate and the locking elements in separate steps generated, and then the locking elements are added to the lower end plate, for example by gluing or by welding. The production effort for that is compared to milling low on the whole.

Hinzukommt, dass die untere Abschlussplatte erfindungsgemäß eine Dicke von weniger als 10 mm aufweist. Es hat sich gezeigt, dass diese vergleichsweise geringe Dicke der Abschlussplatte den Anforderungen an die thermische Stabilität der Vertikalhorde genügt. Dies führt im Vergleich zu der bekannten Vertikalhorde zu einer deutlichen Materialersparnis, so dass die Fertigungskosten der erfindungsgemäßen Vertikalhorde insgesamt vergleichsweise niedrig sind.Come in addition, that the lower end plate according to the invention has a thickness of less than 10 mm. It has been shown that this comparatively small thickness of the end plate meets the thermal requirements Stability of Vertical Horde is enough. this leads to in comparison to the known vertical horde to a clear Material savings, so that the manufacturing cost of the vertical horde invention Overall, comparatively low.

Vorzugsweise weisen die Rastelemente in Richtung der Vertikalhorden-Längsachse jeweils eine Länge auf, die größer ist als die Tiefe der mit dem jeweiligen Rastelement korrespondierenden Ausnehmung des Lagerteils.Preferably the locking elements each have a length in the direction of the vertical horden longitudinal axis, which is bigger as the depth of the corresponding with the respective locking element Recess of the bearing part.

Die erfindungsgemäße Vertikalhorde ruht dadurch nicht etwa flächig auf der Unterseite der unteren Abschlussplatte, sondern sie steht auf den Rastelementen in den Ausnehmungen des Lagerteils auf. Die Auflagefläche der Rastelemente kann vergleichsweise klein gehalten und daher ohne großen Aufwand sehr genau eingestellt werden. Die übliche Länge der Rastelemente gemäß der Erfindung liegt im Bereich zwischen 20 und 28 mm.The inventive vertical horde does not rest flat over it on the bottom of the lower end plate, but she stands on the locking elements in the recesses of the bearing part. The bearing surface the locking elements can be kept relatively small and therefore without great effort be set very precisely. The usual length of the locking elements according to the invention lies in the range between 20 and 28 mm.

Im Hinblick hierauf liegen die Rastelemente in einer bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vertikalhorde jeweils über eine Kontaktfläche auf einer Auflagefläche der Ausnehmung auf, wobei die Kontaktflächen aller Rastelemente zusammen kleiner als 850 mm2 sind.In this regard, in a preferred embodiment of the vertical horde according to the invention, the latching elements each lie over a contact surface on a bearing surface of the recess, wherein the contact surfaces of all latching elements together are smaller than 850 mm 2 .

Die Rastelemente sind hierbei als räumlich voneinander getrennte, kleinvolumige Stützteile ausgebildet, die mit der Auflagefläche der Ausnehmung eine nur geringe Kontaktfläche aufweisen. Daraus resultiert nicht nur eine Materialersparnis gegenüber Rastelementen mit größeren Auflageflächen, wie beispielsweise dem aus dem Stand der Technik bekannten ringförmigen Rastelement, sondern es ergibt auch ein vergleichsweise geringer Fertigungsaufwand für eine exakte Höhenbearbeitung der Rastelemente.The locking elements are here as spatial separate, small-volume support members are formed, which have only a small contact surface with the support surface of the recess. This not only results in a material savings compared to locking elements with larger contact surfaces, such as the known from the prior art annular locking element, but it also results in a relatively low production cost for an accurate height adjustment of the locking elements.

Eine weitere Verbesserung wird erreicht, wenn genau drei um den Außenumfang der unteren Abschlussplatte verteilte Rastelemente vorgesehen sind.A Further improvement is achieved when exactly three around the outer circumference the lower end plate distributed locking elements are provided.

Die drei Rastelemente gewährleisten eine Drei-Punkt-Lagerung und damit Beine verkippsichere Lagerung der Vertikalhorde.The ensure three locking elements a three-point storage and thus legs tilt-safe storage the vertical horde.

In einer besonders bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vertikalhorde sind die Rastelemente durch Schweißen an der unteren Abschlussplatte angefügt.In a particularly preferred embodiment the vertical horde according to the invention are the locking elements by welding attached to the lower end plate.

Durch Schweißen ergibt sich eine besonders feste Verbindung zwischen der Abschlussplatte und dem Rastelement und damit einhergehend eine hohe Betriebssicherheit der Vertikalhorde. Der Fertigungsaufwand ist vergleichsweise gering, wenn die Rastelemente als kleinvolumige Stützkörper ausgeführt sind.By welding This results in a particularly strong connection between the end plate and the locking element and, consequently, a high level of operational safety the vertical horde. The production costs are comparatively low, when the locking elements are designed as small-volume support body.

Bei einer anderen, jedoch gleichermaßen bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vertikalhorde sind die Rastelemente durch Kleben an der unteren Abschlussplatte angefügt.at another, but equally preferred embodiment the vertical horde according to the invention are the locking elements by gluing on the lower end plate added.

Das Kleben der Rastelemente erfordert – abgesehen von einer thermischen Verfestigung der Klebemasse – keinerlei Heißbearbeitung, und insbesondere keinen Heißverformungsschritt, der zu einem Verziehen der Vertikalhorde führen kann und der im jedem Fall ein anschließendes aufwändiges Spannungsfreiglühen erfordern würde. Die Fertigung der erfindungsgemäßen Vertikalhorde wird dadurch vereinfacht und preiswerter.The Gluing the locking elements requires - apart from a thermal Solidification of the adhesive - none Hot working, and in particular no hot deformation step, which can lead to a distortion of the vertical horde and in each Case a subsequent consuming Stress relief annealing would require. The manufacture of the vertical horde according to the invention This simplifies and reduces costs.

Es hat sich als günstig erwiesen, wenn die Ausnehmung des Lagerteils kreis- oder ringförmig ausgebildet ist, und dass mindestens zwei der Rastelemente in die Ausnehmung hineinragende zylinderförmige Zapfen mit konvex gekrümmter Zylindermantelfläche bilden.It has been considered favorable proven when the recess of the bearing part is circular or annular is, and that at least two of the locking elements in the recess protruding cylindrical Cones with convex curvature Cylinder surface form.

Die mindestens zwei Rastelemente sind hierbei als ringsektorförmige, im Wesentlichen zylinderförmige Zapfen ausgebildet, die in die kreis- oder ringförmige Ausnehmung des Lagerteils hineinragen und dabei an die Ringform der Ausnehmung des Lagerteils angepasst sind. Dadurch wird die genaue Fixierung der Vertikalhorde auf dem Lagerteil erleichtert.The At least two locking elements are here as ring sector-shaped, in Essentially cylindrical Cones formed in the circular or annular recess of the bearing part protrude and thereby to the ring shape of the recess of the bearing part are adjusted. This will be the exact fixation of the vertical horde relieved on the bearing part.

Eine weitere Verbesserung dieser Ausführungsform wird erreicht, wenn sich die gekrümmte Zylinderaußenmantelfläche der Rastelemente jeweils an den äußeren Kreisrand der Ausnehmung anschmiegt.A further improvement of this embodiment is achieved when the curved cylinder outer surface of the Locking elements each to the outer circle edge the recess clings.

Eine Anordnung, bei der sich die Rastelemente am äußeren Kreisrand der Ausnehmung anschmiegen, erlaubt eine Platzierung der Rastelemente, bei der diese möglichst weit auseinander und so weit außen wie möglich angeordnet sind. Dadurch ergibt sich ein stabilerer Stand der Vertikalhorde und eine geringere Verkippungsneigung.A Arrangement in which the locking elements on the outer circle edge of the recess nestle, allows a placement of the locking elements, in the this possible far apart and so far out as possible are arranged. This results in a more stable level of the vertical horde and a lower tilt tendency.

Es hat sich als günstig erwiesen, wenn der Abstand zwischen der unteren Kante des jeweils untersten Schlitzes der Querstäbe und dem freien stirnseitigen Ende der Rastelemente im Bereich zwischen 50 mm und 52 mm liegt.It has been considered favorable proved when the distance between the lower edge of each lowest slot of the cross bars and the free end face of the locking elements in the range between 50 mm and 52 mm.

Diese Maßnahme ergibt sich als Kompromiss zwischen einem möglichst weit unten liegenden Schwerpunkt der vertikal orientierten beladenen Horde und einem noch ausreichenden Abstand des untersten Wafers von der unteren Abschlussplatte.These measure results in a compromise between a center of gravity as low as possible the vertically oriented laden Horde and one more sufficient Distance of the bottom wafer from the bottom end plate.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen und einer Zeichnung näher erläutert. In der Zeichnung zeigenThe Invention will be described below with reference to embodiments and a Drawing explained in more detail. In show the drawing

1 eine Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vertikalhorde in einer Seitenansicht, 1 an embodiment of a vertical horde according to the invention in a side view,

2 eine vergrößerte Darstellung der unteren Abschlussplatte der Vertikalhorde von 1 in einer Draufsicht entlang der Linie A–A, und 2 an enlarged view of the lower end plate of the vertical horde of 1 in a plan view along the line A-A, and

3 eine Draufsicht auf ein zur Lagerung der erfindungsgemäßen Vertikalhorde geeignetes Lagerteil (Pedestal) in einer Draufsicht von oben. 3 a plan view of a suitable for storage of the vertical horde bearing member (pedestal) in a plan view from above.

Die Seitenansicht einer erfindungsgemäßen Vertikalhorde nach 1 zeigt zwei Abschlussplatten 1, 2, welche die Horde stirnseitig abschließen und die jeweils aus einer kreisförmigen, 6 mm dicken Quarzglasscheibe mit einem Außendurchmesser von 300 mm bestehen. Die Abschlussplatten 1, 2 sind mittels dreier parallel zur Horden-Längsachse 5 verlaufender Querstäbe 3 aus Quarzglas miteinander verbunden. Die Querstäbe 3 haben jeweils einen radial kreisförmigen Querschnitt und sind mit ca. 130 Schlitzen 4 für die Aufnahme von Halbleiter scheiben versehen. Die Schlitze 4 sind in Richtung der Längsachse 5 der Vertikalhorde offen, ihre Schlitztiefe beträgt 6,5 mm, die Schlitzweite 4 mm und der Schlitzabstand etwa 7,7 mm. Die Querstäbe 3 sind am Außenumfang der Abschlussplatten 1, 2 so angeordnet, dass sie deren Außenrand 11 an keiner Stelle überragen.The side view of a vertical horde according to the invention 1 shows two end plates 1 . 2 , which complete the Horde frontally and each consisting of a circular, 6 mm thick quartz glass with an outer diameter of 300 mm. The end plates 1 . 2 are by means of three parallel to the Horden longitudinal axis 5 extending cross bars 3 made of quartz glass interconnected. The cross bars 3 each have a radial circular cross-section and are with about 130 slots 4 provided for the inclusion of semiconductor slices. The slots 4 are in the direction of the longitudinal axis 5 The vertical horde is open, its slot depth is 6.5 mm, the slot width 4 mm and the slot spacing about 7.7 mm. The cross bars 3 are at the Au outer circumference of the end plates 1 . 2 arranged so that they are the outer edge 11 at no point exceed.

An der unteren Abschlussplatte 1 der Vertikalhorde sind drei zylinderförmige Zapfen 6, 7 und 8 aus Quarzglas angeschweißt, die mit Ausnehmungen des sogenannten Pedestals, das weiter unten anhand 3 noch näher erläutert wird, korrespondieren. Die Länge der Zapfen 6, 7, 8 – in Richtung der Längsachse 5 gesehen – beträgt 26 mm. Der Abstand zwischen dem freien Ende der Zapfen 6, 7, 8 und dem untersten Schlitz 4a der Querstäbe 3 beträgt etwa 52 mm.At the lower end plate 1 the vertical horde are three cylindrical pins 6 . 7 and 8th welded from quartz glass, with recesses of the so-called pedestal, which is based below 3 will be explained in more detail, correspond. The length of the pins 6 . 7 . 8th - in the direction of the longitudinal axis 5 seen - is 26 mm. The distance between the free end of the pin 6 . 7 . 8th and the bottom slot 4a the cross bars 3 is about 52 mm.

Einer der Zapfen 8 ist mit einem U-förmigen Ausschnitt 12 versehen, der mit einem auf dem Pedestal (siehe 3) vorgesehenen Orientierungs-Pin korrespondiert.One of the cones 8th is with a U-shaped cutout 12 provided with one on the pedestal (see 3 ) corresponding orientation pin corresponds.

Die Anordnung der Zapfen 6, 7, 8 auf der unteren Abschlussplatte 1 und ihre Querschnittsform in Richtung der Längsachse 5 sind aus der Draufsicht von 2 erkennbar. Die drei Zapfen 6, 7, 8 sind über den äußeren Rand der Abschlussplatte 1 im 120 Grad-Winkel gleichmäßig verteilt. Sie weisen in der Draufsicht einen ringsektorförmigen Querschnitt auf, wobei die in Richtung der Längsachse 5 weisenden Begrenzungsflächen jeweils konkav und die gegenüberliegenden, nach außen weisenden Begrenzungsflächen 10 jeweils konvex gekrümmt sind und sich an den Außenrand 7 der Abschlussplatte 1 anschmiegen. Die Dicke der Zapfen 6, 7, 8 – in radialer Richtung gesehen – beträgt jeweils 8 mm und ihre Breite – in Umfangsrichtung gesehen – beträgt etwa 35 mm. Die Vertikalhorde ruht auf den Zapfen 6, 7, 8, wobei diese mit einer Aufnahmefläche eines Lagerteils in Kontakt sind. Die Draufsicht von 2 zeigt die Kontaktflächen 9 der Zapfen 6, 7, 8, die zusammen eine Fläche von 840 mm2 aufweisen.The arrangement of the pins 6 . 7 . 8th on the lower end plate 1 and its cross-sectional shape in the direction of the longitudinal axis 5 are from the top view of 2 recognizable. The three cones 6 . 7 . 8th are over the outer edge of the end plate 1 distributed evenly at a 120 degree angle. They have in plan view an annular sector-shaped cross-section, wherein in the direction of the longitudinal axis 5 facing boundary surfaces each concave and the opposite, outwardly facing boundary surfaces 10 each convexly curved and attached to the outer edge 7 the end plate 1 nestle. The thickness of the pins 6 . 7 . 8th - Seen in the radial direction - is 8 mm and their width - seen in the circumferential direction - is about 35 mm. The vertical horde rests on the pin 6 . 7 . 8th , wherein these are in contact with a receiving surface of a bearing part. The top view of 2 shows the contact surfaces 9 the pin 6 . 7 . 8th , which together have an area of 840 mm 2 .

Ein zur Lagerung der erfindungsgemäßen Vertikalhorde geeignetes Lagerteil liegt als zylinderförmiger Quarzglasblock 30 mit kreisförmigem Querschnitt und einer wannenartig ausgeformten Oberseite vor. Die Draufsicht gemäß 3 zeigt, dass die Oberseite von einer ebenen Kreisfläche 32 gebildet wird, die von einem umlaufenden erhöhten Rand 31 umschlossen ist. Die Höhe des Randes 31 beträgt 10 mm. An einer Stelle ist dem Rand 31 ein Absatz vorgelagert, der als Orientierungs-Pin 33 für den U-förmigen Ausschnitt 12 des Zapfens 8 dient.A bearing part suitable for supporting the vertical horde according to the invention is in the form of a cylindrical quartz glass block 30 with a circular cross-section and a trough-shaped upper side before. The top view according 3 shows that the top of a flat circular area 32 is formed by a circumferential raised edge 31 is enclosed. The height of the edge 31 is 10 mm. At one point is the edge 31 a paragraph upstream, which serves as an orientation pin 33 for the U-shaped cutout 12 of the pin 8th serves.

Der Innendurchmesser des Randes 31 liegt bei etwas mehr als 300 mm, so dass sich die nach außen weisenden Begrenzungsflächen 10 der Zapfen 6, 7, 8 beim Aufsetzen der Vertikalhorde auf das Lagerteil 30 exakt in die wannenförmige Vertiefung einpassen und sich dabei an die Innenwandung 34 des Randes 31 anschmiegen und mit ihren Kontaktflächen 9 auf der ebenen Kreisfläche 32 aufsitzen.The inner diameter of the edge 31 is slightly more than 300 mm, so that the outwardly facing boundary surfaces 10 the pin 6, 7, 8 when placing the vertical tray on the bearing part 30 fit exactly in the trough-shaped recess and thereby to the inner wall 34 of the edge 31 nestling and with their contact surfaces 9 on the flat circular surface 32 seated.

Da bei der erfindungsgemäßen Vertikalhorde die Zapfen 6, 7 und 8 mit der unteren Abschlussplatte 1 verschweißt sind, ergibt sich ein verhältnismäßig geringer Fertigungs- und Materialaufwand.As in the vertical horde according to the invention, the pins 6 . 7 and 8th with the lower end plate 1 are welded, results in a relatively low production and material costs.

Claims (9)

Vertikalhorde aus Quarzglas für die Aufnahme von scheibenförmigen Substraten aus Halbleiterwerkstoff, mit einer unteren kreisförmigen Abschlussplatte (1), die mittels mindestens dreier parallel zueinander verlaufender Querstäbe (3), die Schlitze (4) für die Aufnahme der Substrate aufweisen, mit einer oberen kreisförmigen Abschlussplatte (2) verbunden ist, wobei die den Querstäben (3) abgewandte Unterseite der unteren Abschlussplatte (1) mit mindestens zwei Rastelementen (6, 7, 8) versehen ist, die sich in Richtung der Vertikalhorden-Längsachse (5) nach außen erstrecken, und die mit mindestens einer Ausnehmung (32) korrespondieren, welche in einem Lagerteil (30) für die Lagerung der Vertikalhorde in einem Behandlungsraum vorgesehen sind, dadurch gekennzeichnet, dass die Rastelemente (6, 7, 8) an der unteren Abschlussplatte (1) angefügt sind, und dass die untere Abschlussplatte (1) eine Dicke von weniger als 10 mm aufweist.Quartz glass vertical tray for receiving disk-shaped substrates of semiconductor material, with a lower circular end plate ( 1 ), which by means of at least three mutually parallel transverse rods ( 3 ), the slots ( 4 ) for receiving the substrates, with an upper circular end plate ( 2 ), wherein the crossbars ( 3 ) facing away bottom of the lower end plate ( 1 ) with at least two locking elements ( 6 . 7 . 8th ), which extend in the direction of the vertical horden longitudinal axis ( 5 ) extend to the outside, and with at least one recess ( 32 ), which in a bearing part ( 30 ) are provided for the storage of the vertical hanger in a treatment space, characterized in that the latching elements ( 6 . 7 . 8th ) on the lower end plate ( 1 ) are attached, and that the lower end plate ( 1 ) has a thickness of less than 10 mm. Vertikalhorde nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Rastelemente (6, 7, 8) in Richtung der Vertikalhorden-Längsachse (5) jeweils eine Länge aufweisen, die größer ist als die Tiefe der mit dem jeweiligen Rastelement (6, 7, 8) korrespondierenden Ausnehmung (32) des Lagerteils (30).Vertical hanger according to claim 1, characterized in that the latching elements ( 6 . 7 . 8th ) in the direction of the vertical horden longitudinal axis ( 5 ) each have a length which is greater than the depth of the respective latching element ( 6 . 7 . 8th ) corresponding recess ( 32 ) of the bearing part ( 30 ). Vertikalhorde nach Anspruch 1 oder Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Rastelemente (6, 7, 8) jeweils über eine Kontaktfläche (9) auf einer Auflagefläche (32) der Ausnehmung aufliegen, wobei die Kontaktflächen (9) aller Rastelemente (6, 7, 8) zusammen kleiner als 850 mm2 sind.Vertical hanger according to claim 1 or claim 2, characterized in that the latching elements ( 6 . 7 . 8th ) each have a contact surface ( 9 ) on a support surface ( 32 ) of the recess, wherein the contact surfaces ( 9 ) of all locking elements ( 6 . 7 . 8th ) together are smaller than 850 mm 2 . Vertikalhorde nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass drei um den Außenumfang (11) der unteren Abschlussplatte (1) verteilte Rastelemente (6, 7, 8) vorgesehen sind.Vertical hanger according to one of the preceding claims, characterized in that three around the outer circumference ( 11 ) of the lower end plate ( 1 ) distributed locking elements ( 6 . 7 . 8th ) are provided. Vertikalhorde nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Rastelemente (6, 7, 8) durch Schweißen an der unteren Abschlussplatte (1) angefügt sind.Vertical hanger according to one of the preceding claims, characterized in that the latching elements ( 6 . 7 . 8th ) by welding to the lower end plate ( 1 ) are attached. Vertikalhorde nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Rastelemente durch Kleben an der unteren Abschlussplatte angefügt sind.Vertical hanger according to one of the preceding claims, characterized characterized in that the locking elements by gluing at the bottom End plate added are. Vertikalhorde nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmung (32) des Lagerteils kreis- oder ringförmig ausgebildet ist, und dass mindestens zwei der Rastelemente (6, 7, 8) in die Ausnehmung hineinragende zylinderförmige Zapfen mit konvex gekrümmter Zylindermantelfläche (10) bilden.Vertical hanger according to one of the preceding claims, characterized in that the off meeting ( 32 ) of the bearing part is circular or annular, and that at least two of the locking elements ( 6 . 7 . 8th ) in the recess projecting cylindrical pin with a convex curved cylindrical surface ( 10 ) form. Vertikalhorde nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass sich die gekrümmte Zylindermantelfläche (10) der Rastelemente (6, 7, 8) an den inneren Kreisrand (34) der Ausnehmung (32) anschmiegt.Vertical hanger according to claim 7, characterized in that the curved cylindrical surface ( 10 ) of the locking elements ( 6 . 7 . 8th ) to the inner circle edge ( 34 ) of the recess ( 32 ) clings. Vertikalhorde nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand zwischen der unteren Kante des jeweils untersten Schlitzes (4a) der Querstäbe (3) und dem freien stirnseitigen Ende der Rastelemente (6, 7, 8) im Bereich zwischen 50 mm und 52 mm liegt.Vertical hanger according to one of the preceding claims, characterized in that the distance between the lower edge of the respective lowest slot ( 4a ) of the cross bars ( 3 ) and the free end face of the locking elements ( 6 . 7 . 8th ) is in the range between 50 mm and 52 mm.
DE200520001721 2005-01-20 2005-02-03 Vertical quartz glass storage rack for semiconductor disc-shaped substrates, has locking elements provided on lower end plate Expired - Lifetime DE202005001721U1 (en)

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