DE202004007653U1 - Ein-, zwei- und dreidimensionale Massverkörperungen der physikalischen Größe, Länge mit kombiniert optisch und taktil antastbaren Messflächen mit systematischem Maßbezug beider Antastverfahren - Google Patents

Ein-, zwei- und dreidimensionale Massverkörperungen der physikalischen Größe, Länge mit kombiniert optisch und taktil antastbaren Messflächen mit systematischem Maßbezug beider Antastverfahren Download PDF

Info

Publication number
DE202004007653U1
DE202004007653U1 DE200420007653 DE202004007653U DE202004007653U1 DE 202004007653 U1 DE202004007653 U1 DE 202004007653U1 DE 200420007653 DE200420007653 DE 200420007653 DE 202004007653 U DE202004007653 U DE 202004007653U DE 202004007653 U1 DE202004007653 U1 DE 202004007653U1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
measuring
tactile
optically
touchable
lengths
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE200420007653
Other languages
English (en)
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kolb & Baumann & Co KG GmbH
Original Assignee
Kolb & Baumann & Co KG GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kolb & Baumann & Co KG GmbH filed Critical Kolb & Baumann & Co KG GmbH
Priority to DE200420007653 priority Critical patent/DE202004007653U1/de
Publication of DE202004007653U1 publication Critical patent/DE202004007653U1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
    • G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

Ein-, zwei- und dreidimensionale Massverkörperungen der physikalischen Größe Länge mit kombiniert optisch und taktil antastbaren Messflächen mit systematischem Maßbezug beider Antastverfahren dadurch gekennzeichnet, dass sie optisch-taktil abtastbare Messflächen aufweisen, die mit einer Oberflächenstruktur homogen angeordneter, halbkugelförmiger Vertiefungen und Erhebungen im Bereich von (je nach Herstellungsverfahren) wenigen Nanometern bis ca. 50 Mikrometern versehen sind.

Description

  • Ein-, zwei- und dreidimensionale Massverkörperungen der physikalischen Größe Länge mit kombiniert optisch und taktil antastbaren Messflächen sowie systematischem Maßbezug beider Antastverfahren
  • Maßverkörperungen sind in der Längenmesstechnik gebräuchliche Normale zur Übertragung bzw. Rückführung der Messgröße Länge. Hierzu werden ein-, zwei-, und dreidimensionale Maßverkörperungen eingesetzt.
  • Unter eindimensionalen Maßverkörperungen sind Normale zu verstehen, deren dargestellte Länge(n) entlang einer Messlinie angeordnet sind. Bei zweidimensionalen Maßverkörperungen sind die dargestellten Längen in einer Ebene angeordnet. Dreidimensionale Maßverkörperungen stellen die Längen im Volumen (= dreidimensional) dar.
  • Herkömmliche Maßverkörperungen sind in der Regel entweder taktil (mechanisch) oder optisch (Lasertriangulation, Laser-Fokus-Systeme, Streifenprojektionssysteme) antastbar. Eine gleichzeitige Anwendung beider Antastverfahren wurde bisher nur in wenigen Ausnahmefällen realisiert, wobei die Messergebnisse der beiden Verfahren keinen systematischen (= eindeutigen) Zusammenhang aufweisen. So sind die Messergebnisse der unterschiedlichen Antastverfahren bislang untereinander nicht verifizierbar.
  • Der im Schutzanspruch 1. angegebenen Erfindung liegt das Problem zugrunde, Maßverkörperungen zu schaffen, deren Messflächen sowohl taktil als auch optisch antastbar sind und deren Maße bei der Anwendung beider Messverfahren korrelieren, d.h. deren mit beiden Antastverfahren ermittelten Messergebnisse innerhalb ihrer definierten Messunsicherheit systematischen Bezug haben.
  • Übliche Präzisionsbearbeitete Oberflächen, wie sie an Maßverkörperungen für taktile Antastung typisch sind, reflektieren das Licht gemäß der optischen Gesetzmäßigkeiten (Eintrittswinkel = Austrittswinkel) unmittelbar. Diese Form der Reflektion ist jedoch für optische Sensoren ungeeignet, da diese diffus reflektierende Oberflächen benötigen, um geeignete Messsignale zu erhalten.
  • Dieses Problem wird mit den im Schutzanspruch 1. aufgeführten Merkmalen gelöst.
  • Mit der Erfindung wird erreicht, dass durch die Ausstattung taktil abtastbarer Messflächen mit speziellen sphärischen Strukturen, eine ausreichend diffuse Reflektion erfolgt, welche eine ebenfalls optische Antastbarkeit der Messfläche ermöglicht. Die Erfindung ist auf allen gebräuchlichen Prüfkörpern der Messgröße Länge anwendbar.

Claims (2)

  1. Ein-, zwei- und dreidimensionale Massverkörperungen der physikalischen Größe Länge mit kombiniert optisch und taktil antastbaren Messflächen mit systematischem Maßbezug beider Antastverfahren dadurch gekennzeichnet, dass sie optisch-taktil abtastbare Messflächen aufweisen, die mit einer Oberflächenstruktur homogen angeordneter, halbkugelförmiger Vertiefungen und Erhebungen im Bereich von (je nach Herstellungsverfahren) wenigen Nanometern bis ca. 50 Mikrometern versehen sind.
  2. Maßverkörperungen nach Anspruch 1. dadurch gekennzeichnet, dass sie Messflächen mit Hartmetallbeschichtungen zur Verbesserung der mechanischen Belastbarkeit aufweisen
DE200420007653 2004-05-10 2004-05-10 Ein-, zwei- und dreidimensionale Massverkörperungen der physikalischen Größe, Länge mit kombiniert optisch und taktil antastbaren Messflächen mit systematischem Maßbezug beider Antastverfahren Expired - Lifetime DE202004007653U1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200420007653 DE202004007653U1 (de) 2004-05-10 2004-05-10 Ein-, zwei- und dreidimensionale Massverkörperungen der physikalischen Größe, Länge mit kombiniert optisch und taktil antastbaren Messflächen mit systematischem Maßbezug beider Antastverfahren

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200420007653 DE202004007653U1 (de) 2004-05-10 2004-05-10 Ein-, zwei- und dreidimensionale Massverkörperungen der physikalischen Größe, Länge mit kombiniert optisch und taktil antastbaren Messflächen mit systematischem Maßbezug beider Antastverfahren

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE202004007653U1 true DE202004007653U1 (de) 2004-10-21

Family

ID=33395248

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE200420007653 Expired - Lifetime DE202004007653U1 (de) 2004-05-10 2004-05-10 Ein-, zwei- und dreidimensionale Massverkörperungen der physikalischen Größe, Länge mit kombiniert optisch und taktil antastbaren Messflächen mit systematischem Maßbezug beider Antastverfahren

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE202004007653U1 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8826719B2 (en) 2010-12-16 2014-09-09 Hexagon Metrology, Inc. Machine calibration artifact

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8826719B2 (en) 2010-12-16 2014-09-09 Hexagon Metrology, Inc. Machine calibration artifact

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP1636542B1 (de) Verfahren und messvorrichtung zur berührungslosen messung von winkeln oder winkeländerungen an gegenständen
WO2009024344A1 (de) Optische mikrosonde
DE102014224246A1 (de) Systeme und verfahren zur lochmessung unter verwendung eines nicht drehenden chromatischen punktsensor- (cps) stifts
DE102011083421A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Vermessen homogen reflektierender Oberflächen
EP1610089A2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Winkeln optischer Oberflächen
DE102005005816A1 (de) Vorrichtung zur Positionsbestimmung voneinander distanzierter Bereiche in transparenten und/oder diffusen Objekten
DE102005007244A1 (de) Formerfassung von reflektierenden Oberflächen in Echtzeit
DE10152038C5 (de) Verfahren zur optoelektronischen Bestimmung von Gewindeparametern
DE112016001137B4 (de) Mit Abschnitt zur Positionsbestimmung versehenes Element und Messverfahren
EP1585938B1 (de) Optisches messverfahren und prazisionsmessmaschine zur ermittlung von idealformabweichungen technisch polierter oberflachen
DE202004007653U1 (de) Ein-, zwei- und dreidimensionale Massverkörperungen der physikalischen Größe, Länge mit kombiniert optisch und taktil antastbaren Messflächen mit systematischem Maßbezug beider Antastverfahren
WO2019206371A1 (de) Verfahren sowie vorrichtung zur prüfung geometrischer eigenschaften optischer komponenten
EP2994717A1 (de) Anordnung zur dreidimensionalen erfassung eines länglichen innenraumes
DE102017117368A1 (de) Element, welches mit einem Abschnitt zum Positionsermitteln bereitgestellt ist, und Messverfahren
DE102021117104A1 (de) Kalibriernormal zur Messung des Winkels zwischen einer optischen Achse eines Autokollimators und einer mechanischen Linearachse
DE19618558C2 (de) Vorrichtung zur Prüfung von Tieflochbohrungen
WO2002004888A1 (de) Interferometrische, kurzkohärente formmessvorrichtung für mehrere flächen (ventilsitz) durch multifokaloptik, optiksegmente oder hohe schärfentiefe
DE202007002917U1 (de) Massverkörperungen der physikalischen Größe, Länge mit optisch und taktil antastbaren Messflächen aus spezifischer Keramik
DE102013219436B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur optischen Analyse eines reflektierenden Prüflings
DE102013018569B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Vermessung zumindest teilweise reflektierender Oberflächen
DE102020102959B4 (de) Oberflächen-Messsystem und Verfahren zum Vermessen einer Oberfläche eines Prüflings
WO1989011630A1 (en) Process and device for measuring surfaces
DE102011077982B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur optischen Analyse eines Prüflings
DE4138562A1 (de) Mikroprofilometermesskopf
DE102017001524A1 (de) Anordnung zur Vermessung zumindest teilweise reflektierender Oberflächen

Legal Events

Date Code Title Description
R207 Utility model specification

Effective date: 20041125

R150 Term of protection extended to 6 years

Effective date: 20071121

R157 Lapse of ip right after 6 years

Effective date: 20101201