DE20122776U1 - X-ray system - Google Patents
X-ray system Download PDFInfo
- Publication number
- DE20122776U1 DE20122776U1 DE20122776U DE20122776U DE20122776U1 DE 20122776 U1 DE20122776 U1 DE 20122776U1 DE 20122776 U DE20122776 U DE 20122776U DE 20122776 U DE20122776 U DE 20122776U DE 20122776 U1 DE20122776 U1 DE 20122776U1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- ray
- image
- funds
- carriage
- interest
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
Vorrichtung
zum Steuern eines Röntgenprüfgeräts, mit:
– Mitteln
zum Aufnehmen eines ersten Röntgenbilds
eines Objekts in dem Röntgenprüfgerät,
– Mitteln
zum virtuellen Bearbeiten des ersten Röntgenbilds, um einen interessierenden
Bereich optimal anzuzeigen,
und
– Mitteln zum Bewirken, dass
das Röntgenprüfgerät das Objekt
relativ zu einer Röntgenquelle
und/oder einem Röntgenbildverstärker in
Echtzeit bewegt, um ein zweites Bild zu erzeugen, welches mit dem
interessierenden Bereich korrespondiert.Apparatus for controlling an X-ray inspection apparatus, comprising:
Means for taking a first x-ray image of an object in the x-ray examination apparatus,
Means for virtual editing the first X-ray image to optimally display a region of interest,
and
Means for causing the X-ray inspection apparatus to move the object in real time relative to an X-ray source and / or X-ray image intensifier to produce a second image corresponding to the region of interest.
Description
Diese Erfindung betrifft ein Röntgensystem, insbesondere ein System zum Betrachten der internen Struktur von elektrischen Miniaturbauteilen.These The invention relates to an X-ray system, in particular a system for viewing the internal structure of electrical Miniature components.
Es sind elektrische Miniaturbauteile mit äußerlichen elektrischen Verbindungen bekannt, wobei eine elektrische Leitung an das Bauteil angelötet ist. Diese Art von Verbindungen wird visuell untersucht, üblicherweise mit einer Vergrößerungseinrichtung, weil sie zu klein ist, als dass sie mit dem bloßen Auge zu sehen wäre. Typischerweise können solche Verbindungen einen wenige Mikrometer größen Durchmesser aufweisen.It are miniature electrical components with external electrical connections known, wherein an electrical line is soldered to the component. These Type of compounds is examined visually, usually with a magnifying device, because she is too small to be seen with the naked eye. typically, can such compounds have a few microns in diameter.
In jüngster Zeit weisen solche Bauteile elektrische Verbindungen auf, die an einer planaren Schnittstelle zwischen zwei elektrischen Komponenten ausgebildet sind. Solche Verbindungen sind natürlich durch den flächigen Kontakt vor dem bloßen Auge verborgen und es wurde vorgeschlagen, solche Verbindungen durch ein Röntgenprüfgerät zu untersuchen.In recently, Time, such components have electrical connections to the a planar interface between two electrical components are formed. Such connections are of course due to the areal contact in front of the naked eye hidden and it was suggested to make such connections to examine an X-ray machine.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist, ein Röntgenprüfgerät zur Verfügung zu stellen, das Verbesserungen in Konstruktion, Herstellung und Anwendung aufweist.task The present invention is to provide an X-ray inspection device, the improvements in design, manufacture and application.
Ein erster Aspekt der Erfindung liegt in einer Gehäuseanordnung für ein Röntgenprüfsystem. Allgemein umfasst die Gehäuseanordnung einen Rahmen, so dass eine mechanische Halterung für die Systemkomponenten vorgesehen ist, und eine Umfassung, um Schutz gegen mechanische, elektrische und von Strahlung ausgehende Gefahren zu bieten.One The first aspect of the invention lies in a housing arrangement for an X-ray inspection system. Generally, the housing assembly includes a frame, allowing a mechanical support for the system components and an enclosure to provide protection against mechanical, electrical and radiation hazards.
Eine bekannte Gehäuseanordnung umfasst ein Rahmenskelett, an dem Füllstoffplatten angebracht sind und das so ausgelegt ist, dass es das Röntgensystem und zugeordnete mechanische und elektrische Anlagen trägt. Es ist eine Bleilage am Rahmen angebracht, um Strahlung abzuschirmen, der äußerliche Verkleidungsplatten folgen.A known housing arrangement includes a frame skeleton to which filler panels are attached and that is designed so that it is the X-ray system and associated carries mechanical and electrical equipment. It is a lead layer on the frame installed to shield radiation, the outer panel panels consequences.
Ein signifikantes Problem bei dieser Art von Konstruktion ist, dass es sehr zeitaufwändig und teuer ist, die Elemente des Rahmens und die Füllstoff- und Verkleidungsplatten, die am Rahmen anzubringen sind, herzustellen und zusammenzubauen. Es ist auch problematisch zu gewährleisten, dass die Bleiabschirmung eng am Rahmen anliegt und dadurch vollkommen effektiv ist. Ein weiteres Problem ist, dass es sehr schwierig ist, den Teil des Rahmens abschirmen, der nach außen hervorsteht, damit eine Befestigungsmöglichkeit für die äußeren Verkleidungsplatten gegeben ist. Darüber hinaus weist ein Rahmenskelett beabstandete Rahmenglieder auf, die bei einer anderen internen Konfiguration von Komponenten, ohne Verwendung von Adapterplatten, Unterrahmen oder dergleichen, nicht einsetzbar sein können.One significant problem with this type of construction is that it is very time consuming and expensive, the elements of the frame and the filler and Cladding panels to be attached to the frame to produce and assemble. It is also problematic to ensure that the lead shield fits snugly against the frame, making it perfect is effective. Another problem is that it is very difficult shield the part of the frame that protrudes outwards so that it can be fastened for the outer cladding panels given is. About that In addition, a frame skeleton on spaced frame members, the in a different internal configuration of components, without use of adapter plates, subframe or the like, can not be used can.
Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung umfasst eine Gehäuseanordnung für ein Röntgensystem ein inneres Gehäuse mit einer Öffnung, das vollständig mit Spiel in ein äußeres Gehäuse einfügbar ist, das eine Öffnung aufweist, wobei das innere und das äußere Gehäuse Befestigungsmittel aufweisen, um die Gehäuse in einer vorbestimmten Beziehung zueinander zu sichern und zu beabstanden, wobei eine Bleiabschirmung eine im Wesentlichen vollständige Zwischenschicht aufweist, die sich zwischen dem inneren und dem äußeren Gehäuse erstreckt, und wobei die Öffnung mit einem Bleiverschluss (lead lined closure) versehen ist.According to one The first aspect of the present invention includes a housing assembly for a X-ray system an inner case with an opening, that completely with game can be inserted into an outer housing, that one opening wherein the inner and the outer housing have fastening means, around the case secure and space in a predetermined relationship to each other, wherein a lead shield is a substantially complete interlayer having, which extends between the inner and the outer housing, and wherein the opening with a lead-lined closure is provided.
Eine solche Konstruktion ergibt aufgrund der Beabstandung des inneren und äußeren Gehäuses eine relativ leichte und in sich steife Gehäuseanordnung. Die dazwischen befindliche Bleiabschirmung wird bevorzugt vor dem Einbau des äußeren Gehäuses im Wesentlichen an der gesamten Außenseite des inneren Gehäuses angebracht, und ist relativ leicht anzubringen, weil kein Rahmen aus dem Stand der Technik vorgesehen ist. Es müssen im Bereich der Befestigungen des inneren und äußeren Gehäuses spezielle Abschirmmaßnahmen getroffen werden, aber diese sind weniger problemetisch als bei der Gehäusekonstruktion aus dem Stand der Technik, bei der das Rahmenskelett nach außen übersteht; diese Befestigungen können in jedem Fall nach Anbringen der Bleiabschirmung am inneren Gehäuse ausgebildet werden. Die Gehäuseanordnung gemäß diesem Aspekt der Erfindung ist bedeutend weniger kostspielig in der Herstellung und beim Zusammenbau als die Gehäuseanordnung aus dem Stand der Technik.A Such construction gives due to the spacing of the inner and outer housing one relatively light and rigid housing arrangement. The in between located lead shield is preferred before installing the outer housing in Essentially on the entire outside of the inner housing attached, and is relatively easy to install, because no frame is provided from the prior art. It must be in the area of fortifications the inner and outer housing special shielding be taken, but these are less problematic than the housing construction from the prior art, in which the frame skeleton protrudes outwards; these fixtures can in any case, after attaching the lead shield formed on the inner housing become. The housing arrangement according to this Aspect of the invention is significantly less expensive to manufacture and when assembled as the housing assembly from the prior art.
Die Gehäuseanordnung gemäß der Erfindung weist den besonderen Vorteil auf, dass das äußere Gehäuse, das die äußere Verkleidung aus dem Stand der Technik ersetzt, zur Festigkeit und Steifigkeit der Gehäuseanordnung beiträgt, während es die Bleiabschirmung vollständig umschließt. Darüber hinaus umfasst das äußere Gehäuse eine einteilige Fassung für die Bleiabschirmung und kann die Abschirmung ortsfest halten, zum Beispiel im Falle eines Versagens von Mitteln zum Anbringen der Abschirmung am inneren Gehäuse. Die Abschirmung ist bevorzugt durch nach innen ragende Ansätze des äußeren Gehäuses gehalten. Die Anzahl an Befestigungsmitteln für die Gehäuseanordnung ist gegenüber bekannten Konstruktionen wesentlich verringert, weil separate Füllstoff- und Verkleidungsplatten nicht erforderlich sind, und das Gewicht der Gehäuseanordnung ist auch wesentlich reduziert.The housing arrangement according to the invention has the particular advantage that the outer casing, which is the outer casing from the prior art, for strength and rigidity the housing arrangement contributes while it completely shielded the lead encloses. About that In addition, the outer housing comprises a one-piece version for the lead shield and can keep the shield stationary, to Example in case of failure of means for attaching the Shielding on the inner housing. The shield is preferably held by inwardly projecting lugs of the outer housing. The number of fasteners for the housing assembly is over known Constructions is significantly reduced because separate filler and cladding panels are not required, and the weight the housing arrangement is also significantly reduced.
Das innere Gehäuse umfasst eine Last tragende Umfassung, die in der Lage ist, Komponenten an jeder Stelle zu stützen; eine solche Gehäuseanordnung ist an viele Konfigurationen von inneren Komponenten anpassbar und kann im Falle einer alternativen Konfiguration ohne Adapterplatten und dergleichen wiederverwendet werden.The inner housing comprises a load tra enclosure, which is able to support components at any point; such a housing assembly is adaptable to many internal component configurations and may be reused in the case of an alternative configuration without adapter plates and the like.
Ein Röntgenprüfgerät umfasst eine Röntgenquelle, aus der ein Röntgenstrahl emittiert wird, und einen Bildverstärker, der den Strahl aufnimmt und bewirkt, dass ein Bild gebildet wird. Ein zwischen die Quelle und den Verstärker platziertes Objekt kann Röntgenstrahlen absorbieren und kann bewirken, dass ein Schatten als Bild erscheint. Durch Bewegen des Objekts und des Verstärkers relativ zur Quelle kann das Bild vergrößert werden. Eine Videokamera erzeugt eine Echtzeitanzeige des Bildes auf einem Monitor außerhalb der Prüfeinrichtung.One X-ray inspection includes an x-ray source, out of an x-ray is emitted, and an image intensifier which receives the beam and causes an image to be formed. One between the source and the amplifier placed object can X-rays absorb and can cause a shadow to appear as an image. By moving the object and the amplifier relative to the source can the picture will be enlarged. A video camera produces a real-time display of the image on a monitor outside the test facility.
Das Objekt kann auf einem Manipulator platziert werden, der in der X-, Y- und Z-Achse beweglich ist, und der Verstärker wird typischerweise auf der Z-Achse platziert, so dass er mit dem Röntgenstrahl fluchtet. Eine solche Anordnung ermöglicht, dass das Objekt entlang der Z-Achse zur Quelle hin und von ihr weg und quer in der X-Y-Ebene bewegt wird. Vorrichtungen zum Verschieben eines Manipulators in den gewünschten drei Achsen sind bekannt.The Object can be placed on a manipulator that is in the X, Y- and Z-axis is movable, and the amplifier is typically on placed on the Z-axis so that it aligns with the X-ray beam. A such arrangement allows that the object moves along the z-axis towards the source and away from it and is moved transversely in the X-Y plane. Devices for moving of a manipulator in the desired three axes are known.
Es ist zweckmäßig, wenn ein Objekt auf einer anderen als der Z-Achse betrachtet werden kann, und die vorliegende Erfindung stellt eine kompakte und relativ einfache Lösung für diese Forderung zur Verfügung.It is appropriate if an object can be viewed on a different axis than the Z axis, and The present invention provides a compact and relatively simple solution for this Demand available.
Gemäß einem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung umfasst eine bewegliche Lagerung für ein Röntgenprüfgerät einen ebenen Rahmen, einen Primärschlitten, der auf dem Rahmen angeordnet ist und in der Ebene des Rahmens in eine erste Richtung von Seite zu Seite beweglich ist, und Antriebsmittel, um den Schlitten relativ zum Rahmen zu bewegen, wobei der Schlitten in der Ebene um eine Achse drehbar ist, die auf der ersten Richtung senkrecht steht.According to one second aspect of the present invention comprises a movable Storage for one X-ray tester one flat frame, a primary slide, which is arranged on the frame and in the plane of the frame in a first direction is movable from side to side, and drive means, to move the carriage relative to the frame, with the carriage is rotatable in the plane about an axis that is in the first direction is vertical.
Eine solche Anordnung ermöglicht, dass ein Bildverstärker auf dem Schlitten angebracht wird und zu einer relativ fixierten Röntgenquelle geneigt wird, wenn sich der Schlitten seitwärts im Rahmen von der Nominalposition weg bewegt.A such arrangement allows that an image intensifier mounted on the carriage and to a relatively fixed X-ray source tilted when the carriage sideways in the frame of the nominal position moved away.
Auf diese Weise sind in der Nominalposition eine Röntgenquelle und ein Bildverstärker auf der Z-Achse mit einem Objekt dazwischen ausgerichtet. Indem der Verstärker seitlich verschoben und zur Quelle geneigt wird, kann das Objekt in einem Winkel betrachtet werden, was dadurch eine Inspektion abweichend von einer senkrechten Stellung erlaubt, z. B. bis zu 45°. Das Objekt kann auch seitlich verschoben werden, so dass das Bild eines besonderen Merkmals in der Mitte des Betrachtungsfelds liegt, und das Objekt kann zum Verstärker hin oder von ihm weg bewegt werden, um die Vergrößerung zu verändern.On In this way, an X-ray source and an image intensifier are in the nominal position Z-axis aligned with an object in between. By the amplifier moved laterally and tilted to the source, the object can be considered at an angle, thereby deviating an inspection allowed from a vertical position, z. B. up to 45 °. The object can also be moved laterally, so that the image of a special feature in the middle of the field of view, and the object can be used for amplifier be moved towards or away from him to change the magnification.
Bevorzugt ist der Schlitten an beiden Seiten der Nominalposition schwenkbar, um eine Inspektion bei ± 45° zu ermöglichen. In einer bevorzugten Ausführungsform ist der primäre Schlitten selbst auf einem sekundären Schlitten angebracht, der ein Neigen in einer Ebene im rechten Winkel zur Neigungsebene des primären Schlittens ermöglicht. Diese Anordnung ermöglicht eine Rundumbetrachtung eines Objekts.Prefers if the carriage is pivotable on both sides of the nominal position, to allow an inspection at ± 45 °. In a preferred embodiment is the primary one Carriage itself mounted on a secondary carriage, the a tilt in a plane at right angles to the plane of inclination of the primary Schlittens allows. This arrangement allows an all-round view of an object.
In einer alternativen Ausführungsform ist der Schlitten linear verschiebbar und ist neigbar, so dass eine Inspektion bei 0 bis 45° möglich ist, und es ist ein Drehtisch am Manipulator vorgesehen, um ein Objekt zu tragen. Diese Anordnung ermöglicht ebenfalls eine Rundumbetrachtung eines Objekts, indem der Tisch um bis zu 360° gedreht wird, so dass das Objekt in der Sichtlinie des Bildverstärkers liegt.In an alternative embodiment the carriage is linearly displaceable and tiltable, so that a Inspection at 0 to 45 ° is possible and there is a turntable on the manipulator provided to an object wear. This arrangement allows also a round consideration of an object by the table turned up to 360 ° so that the object lies in the line of sight of the image intensifier.
Die Schlitten und der Manipulator sind bevorzugt servogesteuert, so dass präzise Ausrichtung gewährleistet ist. Der gegebenenfalls vorhandene Drehtisch ist bevorzugt ebenfalls servogesteuert, um eine präzise Winkelversetzung von der Messposition zu gewährleisten.The Slide and the manipulator are preferably servo-controlled, so that precise Alignment guaranteed is. The optional turntable is preferably also servo-controlled to be precise To ensure angular displacement of the measuring position.
In der bevorzugten Ausführungsform ist der oder jeder Schlitten auf oberen und unteren Linearführungen angebracht, die sich über den Rahmen erstrecken, und ist in einer Weise angetrieben, die eine höhere Relativgeschwindigkeit in einer Führung als in der anderen gewährleistet, bevorzugt durch einen Zahnriemenantrieb. Die Anordnung gewährleistet präzises Schwenken in Bezug auf die Nominalposition (vertikale Position) und gewährleistet, dass die Verstärkerachse zentriert bleibt.In the preferred embodiment is the or each carriage on top and bottom linear guides attached, which is about extend the frame, and is driven in a way that has a higher relative speed in a guided tour guaranteed as in the other, preferably by a toothed belt drive. The arrangement ensures precise pivoting in relation to the nominal position (vertical position) and ensures that the amplifier axis remains centered.
Es kann ein einzelner Motor Zahnriemenantrieb sowohl für die obere wie die untere Führung vorsehen, wobei die unterschiedliche Geschwindigkeit durch Antriebsritzel unterschiedlichen Durchmessers erreicht wird. Eine solche Anordnung ist elegant und raumeffizient.It can be a single motor belt drive for both the upper like the bottom guide provide, with the different speed by driving pinion of different diameters is achieved. Such an arrangement is elegant and space efficient.
Jeder Schlitten ist an den Linearführungen mit einer festen und einer verschiebbaren Verbindung angebracht, so dass es möglich ist, dass die Verbindungen sich bei der Neigungsbewegung des Schlittens auseinander bewegen.Everyone Carriage is on the linear guides with attached a fixed and a sliding connection, so that it is possible is that the compounds are in the tilting movement of the carriage move apart.
Das Röntgenprüfgerät gemäß der Erfindung kann durch herkömmliche Joysticktechnik oder durch separate Steuerungen für einzelne Servomotoren gesteuert werden.The Röntgenprüfgerät according to the invention can by conventional Joystick technology or by separate controls for individual Servo motors are controlled.
Eine Schwierigkeit bei einem typischen Röntgenprüfgerät liegt in der Möglichkeit, den Referenzabstand von der Röntgenquelle und dem Bildverstärker zu einer Lagerung bzw. einem Träger für ein zu betrachtendes Objekt einzustellen oder zu bestimmen. Der Referenzabstand erfordert Einstellung, um zum Beispiel Fertigungstoleranzen oder Einflüsse der Umgebungstemperatur auszugleichen, und ist bevorzugt zum periodischen Nachstellen geeignet.A The difficulty with a typical X-ray machine is the possibility the reference distance from the X-ray source and the image intensifier to a storage or a carrier for a to set or determine the object to be considered. The reference distance requires adjustment to, for example, manufacturing tolerances or influences the ambient temperature, and is preferred to periodic Adjustment suitable.
Gemäß einem dritten Aspekt umfasst eine Vorrichtung zum Bestimmen eines Referenzabstands zwischen einem Bildverstärker und einer Lagerung eines anzuzeigenden Objekts: Mittel zum Aufnehmen einer Mehrzahl von vorbestimmten Orten auf der Lagerung durch einen Röntgenstrahl, der senkrecht zu der Ebene der Lagerung ist, Mittel zum Verschieben des Bildverstärkers in einer Ebene parallel zu der Ebene der Lagerung, Mittel zum erneuten Aufnehmen der vorbestimmten Orte durch einen Röntgenstrahl, der nicht senkrecht zu der Ebene der Lagerung ist, und Mittel zum Bestimmen des Winkels des Strahls in Bezug auf die Orte und Berechnen des Referenzabstands mittels Trigonometrie.According to one The third aspect includes an apparatus for determining a reference distance between an image intensifier and a storage of an object to be displayed: means for receiving a plurality of predetermined locations on the storage by a X-ray, which is perpendicular to the plane of storage, means for moving of the image intensifier in a plane parallel to the plane of storage, means for resuming the predetermined locations by an X-ray beam, which is not vertical to the level of storage, and means for determining the angle of the Beam with respect to the locations and calculate the reference distance by trigonometry.
Eine solche Vorrichtung ergibt ein hochakkurates Mittel zum Einstellen des Referenzabstands. Die vorbestimmten Orte sind bevorzugt Diskontinuitäten in der Lagerung, die durch Softwareaufnahmestechniken erfasst werden können. Bevorzugt sind solche Orte durch eine Reihe von Vertiefungen, typischerweise durchgehende Löcher in der Lagerung definiert.A such device provides a high-accuracy adjustment means the reference distance. The predetermined locations are preferably discontinuities in the Storage that can be detected by software acquisition techniques. Preferred are such locations through a series of depressions, typically continuous holes defined in storage.
In einer bevorzugten Ausführungsform sind diese Durchtritte bzw. Ausnehmungen in gewissem Maß auf beiden Seiten eingesenkt, so dass die zugehörigen Einsenkungen sich in der Mitte treffen. Ein solcher Durchtritt kann relativ leicht durch Bildgebungssoftware erkannt werden, da er bei Betrachtung in einem Winkel ein symmetrisches Muster bleibt. Der Einsenkwinkel sollte nicht weniger als der maximale Betrachtungswinkel betragen. In der bevorzugten Ausführungsform weist die Einsenkung einen Einschlusswinkel von 90° auf und der maximale Winkel von einfallenden Röntgenstrahlen beträgt 45°.In a preferred embodiment these passages or recesses are to some extent on both Sides sunk, so that the associated depressions in meet the middle. Such a passage can be relatively easily through Imaging software to be recognized, as he viewed in a Angle remains a symmetrical pattern. The Einsenkwinkel should not less than the maximum viewing angle. In the preferred embodiment the depression has an included angle of 90 ° and the maximum angle of incident X-rays is 45 °.
In einer bevorzugten Ausführungsform umfasst die Lagerung eine rechtwinklige 1 mm Platte mit Durchtritten von ungefähr 0,5 mm neben ihren Ecken, die an beiden Seiten mit 45° eingesenkt sind. Senkrechtes Aufnehmen solcher Durchtritte ermöglicht auch, dass die lineare Querrichtung des Bildverstärkers zum Abstand zwischen solchen Durchtritten in Beziehung gesetzt wird und dementsprechend eine Kompensation von Verschiebungsfehlern für den Fall, dass die Lagerung in der X-Y-Ebene beweglich ist, erreicht wird. Die Verschiebung kann durch eine Gewindespindel, Riemen oder irgendein anderes zweckmäßiges Verfahren gesteuert werden. Eine solche bewegliche Lagerung ist natürlich geeignet, um einen interessierenden Bereich in einem Blickfeld des Bilderverstärkers zu zentrieren. Zum Beispiel kann die Anzahl an Gewindespindelumdrehungen präzise zum Abstand zwischen den Diskontinuitäten in Beziehung gesetzt werden und dadurch wird eine hochakkurate Zwischenpositionierung der Lagerung erreicht.In a preferred embodiment The storage includes a rectangular 1 mm plate with passages of about 0.5 mm next to their corners, which are sunk on both sides at 45 ° are. Vertical recording of such passages also allows that the linear transverse direction of the image intensifier to the distance between such entrances is set in relation and accordingly a Compensation of shift errors in the event that storage in the X-Y plane is movable, is achieved. The displacement can be achieved by a threaded spindle, Belt or any other convenient method. A Such mobile storage is of course suitable for a person of interest Center area in a field of view of the image intensifier. For example The number of screw revolutions can be precisely adjusted to the distance between the discontinuities and thus becomes a high-accuracy intermediate positioning reached the storage.
Eine weitere Schwierigkeit bei einem neigbaren Verstärker ist das Einstellen des Abstands zwischen dem Verstärker zum interessierenden Bereich des Objekts. Typischerweise weist ein Objekt Tiefe auf und der interessierende Bereich kann außerhalb der Lagerungsebene liegen. Im Falle von axialer Abbildung, bei der der Röntgenstrahl senkrecht zur La gerplatte ist, entsteht keine Schwierigkeit; der interessierende Bereich kann beliebig vergrößert werden und bleibt im Mittelpunkt des Blickfelds.A Another difficulty with a tiltable amplifier is the setting of the Distance between the amplifier to the area of interest of the object. Typically, one Object depth on and the area of interest can be outside the Storage level lie. In the case of axial imaging, in which the X-ray is perpendicular to the La plate, there is no difficulty; of the Area of interest can be arbitrarily enlarged and remains in the center of the field of vision.
Jedoch im Falle der Abbildung in einem Winkel, bekommt der interessierende Bereich eine Bedeutung. Wenn der Referenzwert die Lagerungsebene ist, der interessierende Bereich aber außerhalb dieser Ebene liegt, bewirkt eine Vergrößerung in einem Winkel, dass der interessierende Bereich sich seitlich von der Mitte des Blickfelds verschiebt. Dies ist eine ernste Schwierigkeit bei hoher Vergrößerung und kann zu Desorientierung bei dem Bediener führen. Gemäß einem vierten Aspekt stellt die Erfindung eine Vorrichtung zum Einstellung eines Referenzabstands zwischen einem Bildverstärker und einer interessierenden Objektebene zur Verfügung.however in the case of imaging at an angle, the one who is interested gets Area a meaning. If the reference value is the storage level but the area of interest is outside this level, causes an enlargement in an angle that the area of interest is laterally of the center of the field of view shifts. This is a serious difficulty at high magnification and can lead to disorientation in the operator. According to a fourth aspect provides the invention relates to a device for setting a reference distance between an image intensifier and an object level of interest.
In einer bevorzugten Ausführungsform umfasst die Vorrichtung zum Einstellen eines Referenzabstands die Schritte: Mittel zum Aufnehmen des Objekts durch einen Röntgenstrahl, der senkrecht zu der Lagerebene des Objekts ist, Mittel zum Bewirken, dass ein interessierender Bereich in einem Blickfeld zentriert ist, Mittel zum Aufnehmen des Objekts unter einem ersten Winkel, Mittel zum erneuten Zentrieren des interessierenden Bereichs im Blickfeld, Mittel zum Aufnehmen des Objekts in einem zweiten, größeren Winkel, Mittel zum erneuten Zentrieren des interessierenden Bereichs im Blickfeld und Mittel zum Wiederholen der Schritte des Aufnehmens bei schrittweise größeren Winkeln und Mittel zum erneuten Zentrieren, bis die Aufnahme für alle Winkel des Röntgenstrahls im Mittelpunkt des Blickfelds bleibt. Unter Verwendung einfacher trigonometrischer Techniken kann diese iterative Vorgehensweise automatisch eine neue Referenzhöhe bestimmen und auf diese Weise gewährleisten, dass bei einer Vergrößerung der interessierende Bereich im Mittelpunkt des Blickfelds bleibt. Erneutes Aufnehmen in zunehmenden Winkelschritten minimiert das Risiko, dass der interessierende Bereich das Blickfeld ganz verlässt.In a preferred embodiment For example, the device for setting a reference distance comprises Steps: means for picking up the object by an X-ray, which is perpendicular to the storage plane of the object, means for effecting that a region of interest is centered in a field of view, means for picking up the object at a first angle, means for re-centering the region of interest in view, Means for receiving the object at a second, larger angle, Means for re-centering the region of interest in Field of view and means for repeating the steps of recording at gradually larger angles and means for re-centering until recording for all angles of the X-ray remains in the center of the field of vision. Using easier Trigonometric techniques can use this iterative approach automatically a new reference altitude determine and thus ensure that at an enlargement of the area of interest remains at the center of the field of vision. again Recording in increasing angular increments minimizes the risk that the area of interest completely leaves the field of vision altogether.
Im Falle der Untersuchung eines Objekts, das wiederholte Merkmale aufweist und auf einer in der X-Y-Ebene beweglichen Lagerung angebracht ist, ermöglicht das Einstellen des Referenzabstands zum interessierenden Bereich ein schnelles Durchqueren des Objekts zu jedem wiederholten Merkmal, ohne dass das Bild vergrößert werden muss, wobei das neue Merkmal im Sichtfeld zentriert und der neue interessierende Bereich am wiederholten Merkmal vergrößert wird. Wiederholbarkeit und Geschwindigkeit sind folglich erhöht, während der gleiche Referenzabstand eingehalten ist.in the Case of examining an object that has repeated features and is mounted on a movable in the X-Y plane storage, allows setting the reference distance to the region of interest a quick traversal of the object to each repeated trait without that the picture will be enlarged with the new feature centered in the field of view and the new one of interest Area is increased at the repeated feature. repeatability and speed are consequently increased while the same reference distance is complied with.
Gemäß einem fünften Aspekt der Erfindung umfasst eine Vorrichtung zum Steuern eines solchen Geräts: Mittel zum Aufnehmen eines ersten Röntgenbilds eines Objekts in dem Gerät, Mittel zum virtuellen Bearbeiten des ersten Röntgenbilds, um einen interessierenden Bereich optimal anzuzeigen, und Mittel zum Bewirken, dass das Gerät das Objekt relativ zu einer Röntgenquelle und/oder einem Röntgenbildverstärker in Echtzeit bewegt, um ein zweites Bild zu erzeugen, welches mit dem interessierenden Bereich korrespondiert.According to one fifth Aspect of the invention comprises an apparatus for controlling a such device: Means for taking a first x-ray image of an object in the device, Means for virtual editing the first x-ray image around a subject of interest View area optimally, and means for causing the device to be the object relative to an x-ray source and / or an X-ray image intensifier in Moved real time to create a second image, which with the area of interest corresponds.
Der Benutzer kann auf diese Weise ein virtuelles Abbild des gesamten Objekts sehen, dieses Bild unter Verwendung von Software bearbeiten, um einen interessierenden Bereich oder eine interessierende Ansicht auszuwählen, und andere Software veranlassen, das Objekt unter Verwendung der X-, Y- und Z-Koordinaten des virtuellen Bildes, so zu verschieben, dass es dem virtuellen Bild am nächsten kommt. Ein Teil des Objekts kann auf diese Weise mit hoher Vergrößerung betrachtet werden, während das virtuelle Bild erhalten bleibt, um dem Benutzer zu ermöglichen, dass er eine Übersicht über die Betrachtungsrichtung in Bezug auf das gesamte Objekt hat.Of the In this way, users can take a virtual copy of the whole See an object, edit this image using software, around an area of interest or a view of interest select and cause other software to use the object X, Y and Z coordinates of the virtual image, so to move that it comes closest to the virtual image. Part of the object can thus be viewed at high magnification be while the virtual image is preserved to allow the user that he has an overview of the Viewing direction with respect to the entire object.
Das virtuelle Bild und das Echtzeitbild werden bevorzugt auf demselben Monitor gleichzeitig angezeigt, wobei das virtuelle Bild zum Beispiel in der oberen rechten Ecke des Monitorbildschirms gelegen ist. Das virtuelle Bild kann durch Echtzeitabbildung eines Objekts gebildet oder umgebildet werden. In einer bevorzugten Ausführungsform ist das virtuelle Bild ein eingefrorenes Echtzeitbild, das nur zum Zwecke der Bearbeitung erstellt ist und um dem Benutzer zu ermöglichen, einen interessierenden Bereich schnell auszuwählen, statt das Objekt in Echtzeit zu bearbeiten, bis der gewünschte Bereich in Sicht ist. Das Objekt kann automatisch in Echtzeit bearbeitet werden, um ausreichend Daten zu erzeugen, so dass das virtuelle Referenzbild erstellt wird. Dies kann besonders nützlich sein, wenn das Objekt größer ist als der Bildverstärker, so dass der Bildverstärker das Objekt abtastet, um seine Grenzen zu bestimmen, und anschließend ein virtuelles Bild des Objekts zum Zwecke der Bearbeitung konstruiert.The virtual image and the real-time image are preferred on the same Monitor displayed at the same time, using the virtual image for example located in the upper right corner of the monitor screen. The virtual image can be formed by real-time imaging of an object or reformed. In a preferred embodiment the virtual image is a frozen real time image that is only for Purpose of editing is created and to allow the user to quickly select a region of interest, rather than the object in real time to edit until the desired Area is in sight. The object can be automatically edited in real time, to generate enough data so that the virtual reference image is created. This can be especially useful if the object is larger as the image intensifier, so that the image intensifier scans the object to determine its boundaries, and then a virtual image of the object constructed for the purpose of editing.
Im Einsatz kann das Echtzeitbild über den Bildschirm gezogen werden oder auf andere Weise durch eine Computermaus manipuliert werden, wobei die sichtbare Manipulation bewirkt, dass das Objekt in Echtzeit bewegt wird, so dass sich das Echtzeitbild zur gewünschten Stelle auf dem Bildschirm bewegt. Eine solche Objektbewegung ist bevorzugt ziemlich schnell, so dass der Benutzer keine signifikante Verzögerung zwischen der Mausbedienung und der Echtzeitbewegung des Objekts bemerkt, was zu einer Bewegung des Echtzeitbildes führt.in the Use can over the real-time image the screen or otherwise through a computer mouse be manipulated, with the visible manipulation causes the object is moved in real time, so that the real-time image to the desired Job moved on the screen. Such object movement is prefers pretty fast, so the user no significant delay between the mouse operation and the real-time movement of the object noticed, which leads to a movement of the real-time image.
Typischerweise wird das virtuelle Bild durch Softwareaufnahmestechniken zu Beginn einer Inspektionsroutine erstellt. Sobald es erstellt ist, verbleibt das ursprüngliche Bild als Navigationshilfe und das Blickfeld des Objekts in Echtzeit wird auf dem virtuellen Bild dargestellt, z. B. durch einen Kasten, der den entsprechenden Teil umgibt. Die Größe dieses Kastens nimmt bevorzugt mit der Vergrößerung des Objekts zu oder ab und kann daher im Wesentlichen dem augenblicklichen Blickfeld entsprechen. Das virtuelle Bild kann sich neigen oder auf andere Weise seine Lage verändern, so dass es der Betrachtungsrichtung des Objekts entspricht.typically, At the beginning, the virtual image is started by software acquisition techniques created an inspection routine. Once it's created, it stays the original one Picture as a navigation aid and the field of view of the object in real time is displayed on the virtual image, e.g. By a box, which surrounds the corresponding part. The size of this box is preferred with the magnification of the object to or from and therefore can essentially correspond to the current field of view. The virtual image may be tilted or otherwise its Change the situation, so that it corresponds to the viewing direction of the object.
In dem Fall, bei dem die Lagerung des Objekts drehbar ist, verändert sich die Lage des Echtzeitbildes des Objekts in Bezug auf des virtuelle Bild. Bevorzugt weist die drehbare Lagerung eine Referenzposition zu Beginn einer Inspektionsroutine auf und ein Pfeil gibt die augenblickliche Blickrichtung am virtuellen Bild an, zum Beispiel durch Zeigen auf einen Kasten, der das Blickfeld definiert. Alternativ kann das virtuelle Bild sich in Synchronisation zum Drehtisch drehen.In In the case where the bearing of the object is rotatable, it changes the location of the real-time image of the object in relation to the virtual Image. Preferably, the rotatable mounting has a reference position at the beginning of an inspection routine and an arrow indicates the current one Looking at the virtual image, for example, by pointing to a box that defines the field of view. Alternatively, the virtual Image rotate in synchronization with the turntable.
Weitere Merkmale der Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform ersichtlich, die nur als Beispiel in den folgenden Zeichnungen gezeigt ist, in denen:Further Features of the invention will become apparent from the following description of a preferred embodiment which is shown only as an example in the following drawings is where:
Die
Manipulatorplatte ist auch in den X-, Y- und Z-Achsen verschiebbar,
so dass ein Objekt in der Mitte des Blickfelds des Bildverstärkers positioniert werden
kann, und um das Blickfeld durch Verschieben der Platte
Es
versteht sich, dass ein drehbarer Träger an der Platte
Die
Vorrichtung zum Bewegen des Bildverstärkers ist in
Die
Verbindung zwischen dem Schlitten und der unteren Linearführung
Der
Schlitten
In
Das
Anbringen des Bildverstärkers
Es
ist ersichtlich, dass kombiniertes Wippen in beiden Ebenen dazu
führt,
dass der Verstärker eine
kombinierte Neigung an den Ecken des Rahmens einnimmt, wie mit
Die
Lage des Verstärkers
Kontinuierliche
Antriebsriemen
Die
oberen und unteren Antriebsräder
Durch
geeignete Wahl des Raddurchmessers kann der Bildverstärker
Die
Anordnung zum Antreiben und Neigen des Schlittens
Durch
gleichzeitigen Betrieb der Motoren
Vor dem Zusammenbau wird der innere Kasten mit Bleiplatten abgeschirmt und diese liegen zweckmäßigerweise im Raum zwischen dem inneren und äußeren Kasten, welcher zur Starrheit der Gehäuseanordnung beiträgt.In front In assembly, the inner box is shielded with lead plates and these are conveniently in the space between the inner and outer box, which leads to rigidity the housing arrangement contributes.
Die
Abschirmung kann relativ leicht über
die gesamte Oberfläche
des inneren Gehäuses
Das
Gehäuse
der Bleiabschirmung weist den Vorteil auf, dass es nicht verändert oder
abgenommen werden kann, wie es bei entfernbaren Verkleidungsplatten
der Fall ist. Darüber
hinaus kann die Abschirmung ohne Rücksicht auf das Aussehen angebracht
werden, da es im Einsatz per manent durch das äußere Gehäuse
Es ist eine doppelschichtig abgeschirmte Tür an der Gehäuseanordnung durch irgendein geeignetes Verfahren angebracht, so dass das Röntgengerät im Einsatz vollständig umschlossen ist.It is a double-shielded door on the housing assembly attached by any suitable method so that the X-ray machine is in use Completely is enclosed.
In einem dritten Aspekt beinhaltet die Erfindung eine Vorrichtung zum Steuern des Röntgenprüfgeräts mittels Computer und Videoanzeige.In In a third aspect, the invention includes an apparatus for Controlling the X-ray inspection by means Computer and video display.
Wie
erwähnt,
wird das Bild am Verstärker
Bei hoher Vergrößerung kann die Bedienungsperson desorientiert werden und nicht in der Lage sein, zu entscheiden, in welche Richtung das Objekt in Echtzeit zu bewegen ist, um das nächste interessierende Merkmal zu betrachten.at high magnification can the operator becomes disoriented and unable to be to decide in which direction the object in real time to move to the next one to look at the feature of interest.
Die Erfindung stellt ein virtuell erstelltes Bild zur Verfügung, um die Bedienungsperson zu unterstützen.The The invention provides a virtually created image to to assist the operator.
Das
virtuelle Bild
Das
Echtzeitbild
In Fällen, bei denen das Echtzeitbild in einem Winkel durch das Objekt aufgenommen ist, kann das virtuelle Bild sich drehen, um der Bedienungsperson eine geeignete Ansicht zu präsentieren.In cases where the real-time image is captured at an angle through the object is, the virtual image can turn to the operator one to present a suitable view.
Als Alternative kann der interessierende Bereich mittels eines Pfeils auf dem virtuellen Bild angezeigt werden.Alternatively, the area of interest may be indicated by an arrow on the virtual image to be shown.
Im Falle eines drehbaren Objektträgers kann die Betrachtungsrichtung auf dem virtuellen Bild z. B. mittels eines Pfeils angezeigt werden.in the Trap of a rotatable slide the viewing direction on the virtual image z. B. by means of an arrow.
Es
kann auch Steuersoftware vorgesehen sein, um ein Ziehen des Echtzeitbildes
zu ermöglichen,
so dass ein angrenzender Bereich betrachtet wird, oder um ein Merkmal
auf dem Monitor zu zentrieren. Ziehen des Bildes unter Verwendung
einer Computermaus bewirkt, dass Servomotoren des Manipulatortischs
das Objekt in die gewünschte
Richtung bewegen, so dass das Echtzeitbild schnell folgt und das
vorhergehende Echtzeitbild ersetzt. Das Bildersetzen kann schrittweise
und schnell und in Verbindung mit einer entsprechenden Veränderung
im Kasten
Die Mittel zum Identifizieren eines Sichtbereichs auf dem virtuellen Bild können von einer anderen geeigneten Art sein, zum Beispiel Farbunterlegung oder Kreis, und das virtuelle Bild kann in jedem geeigneten Bereich auf dem Monitor dargestellt werden.The Means for identifying a viewing area on the virtual Picture can of another suitable type, for example color underlay or circle, and the virtual image can be in any suitable area be displayed on the monitor.
Um bestimmte Referenzabmessungen zwischen dem Bildverstärker und dem Träger für das Objekt festzulegen, kann die Vorrichtung Abbildungssoftware beinhalten, die in der Lage ist, auf dem Träger vorgelegte Merkmale zu erkennen. Das Merkmal kann eine Ausnehmung oder Vertiefung sein und bestimmte Abmessungen können unter Verwendung trigonometrischer Techniken aus der Messung anderer Abmessungen und Winkel bestimmt werden.Around certain reference dimensions between the image intensifier and the carrier for the object the device may include imaging software, which is capable on the carrier recognize features presented. The feature may be a recess or recess and certain dimensions can be measured using trigonometric Techniques determined by measuring other dimensions and angles become.
Bekannte Abbildungstechniken sind in der Lage eine runde Vertiefung zu erkennen, wenn sie von oben betrachtet wird. Eine solche Vertiefung muss auch in einem Winkel erkannt werden, wenn trigonometrische Techniken nutzvoll sein sollen, aber eine runde Vertiefung in einer Platte stellt keine symmetrische Abbildung dar, wenn sie geneigt ist und von Röntgenstrahlen abgebildet wird.Known Imaging techniques are able to detect a round depression when viewed from above. Such a deepening must also be recognized at an angle when using trigonometric techniques to be useful, but a round depression in a plate does not represent a symmetrical figure when tilted and from X-rays is shown.
Claims (10)
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB0023194 | 2000-09-21 | ||
GB0023194A GB0023194D0 (en) | 2000-09-21 | 2000-09-21 | X-ray system |
GB0106153 | 2001-03-13 | ||
GB0106153A GB0106153D0 (en) | 2001-03-13 | 2001-03-13 | X-Ray system |
EP01308050A EP1191827B1 (en) | 2000-09-21 | 2001-09-21 | X-ray system |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE20122776U1 true DE20122776U1 (en) | 2007-10-25 |
Family
ID=38622580
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE20122776U Expired - Lifetime DE20122776U1 (en) | 2000-09-21 | 2001-09-21 | X-ray system |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE20122776U1 (en) |
-
2001
- 2001-09-21 DE DE20122776U patent/DE20122776U1/en not_active Expired - Lifetime
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2006092251A1 (en) | Method and device for determining optical overlaps with ar objects | |
DE112013002826T5 (en) | Apparatus charged with a charged particle beam | |
EP1749190A1 (en) | Coordinate measuring apparatus and method for measuring an object | |
DE102005049895A1 (en) | Systems, methods and devices of an X-ray positioning device | |
DE102008011638A1 (en) | Balancing device for surgical microscope | |
DE7710947U1 (en) | X-ray examination machine | |
DE602005000964T2 (en) | Scanning optical microscope | |
DE69631475T2 (en) | Control of a microscope screen | |
DE29522001U1 (en) | Device for producing an image sequence | |
DE19721688A1 (en) | Surface detection unit for obtaining 3D data using the triangulation method | |
DE102005036527A1 (en) | X-ray computer tomography test system for testing object has test carriage that can be fixed within fan beam close to edge axis incident on detector at edge | |
DE102004061933A1 (en) | X-ray system with a first and a second X-ray arrangement | |
DE202019105838U1 (en) | Arrangement with a coordinate measuring machine or microscope | |
WO2015058855A1 (en) | X-ray inspection system and method for rotating a test object by means of such an x-ray inspection system | |
DE112012002533T5 (en) | Table assembly and control method for a table assembly | |
DE2640793A1 (en) | SOUND MICROSCOPE | |
DE102010010723A1 (en) | Laminographieanlage | |
DE20122889U1 (en) | X-ray system | |
DE1958234A1 (en) | Microscopy device for examining crystalline material | |
EP1144988B1 (en) | Device for the precision rotation of samples | |
DE10246239A1 (en) | Automatic relative positions adjusting method for goniometer, involves digital image processing to record trajectory of sample, calculating correction coordinates and moving sample in translating direction | |
DE4011407A1 (en) | Quantitative absolute measurer for three=dimensional coordinates - contains projector of test pattern, sensor and displacement device for surface evaluation of test object | |
DE2131268A1 (en) | Sample table for an electron microscope | |
DE20122776U1 (en) | X-ray system | |
EP0343430B1 (en) | Light distributor for an x-ray diagnostic installation |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R207 | Utility model specification |
Effective date: 20071129 |
|
R151 | Utility model maintained after payment of second maintenance fee after six years |
Effective date: 20080204 |
|
R021 | Search request validly filed |
Effective date: 20080909 |
|
R163 | Identified publications notified | ||
R079 | Amendment of ipc main class |
Free format text: PREVIOUS MAIN CLASS: H01J0037020000 Ipc: G01N0023040000 Effective date: 20081202 |
|
R152 | Utility model maintained after payment of third maintenance fee after eight years |
Effective date: 20091016 |
|
R071 | Expiry of right |