DE2008390B2

DE2008390B2 - Device for the automatic focusing of microscopes

Info

Publication number: DE2008390B2
Application number: DE2008390A
Authority: DE
Inventors: Walter Dr. 7080 Aalen Lang
Original assignee: Carl Zeiss AG
Current assignee: Carl Zeiss AG
Priority date: 1970-02-24
Filing date: 1970-02-24
Publication date: 1975-07-10
Also published as: JPS5147047B1; FR2081033A7; DE2008390A1; AT316167B; FR2081033B3; CH518562A; GB1314313A; US3721759A

Description

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Die Fokussierung von Mikroskopen, d. h. die Scharfeinstellung des beobachteten Bildes erfolgt durch manuelle Betätigung der entsprechenden Einstellmittel mit Hilfe einer visuell durchgeführten Einstellkontrolle. Abgesehen davon, daß diese Einstellung einen relativ großen Zeitbedarf hat. wird vor allem auch die Scharfeinstellung des Bildes subjektiv beurteilt, so daß erfahrungsgemäß methodische Fehler der Beurteilung zur Wirkung kommen. Daraus resultieren insbesondere bei Mikroskopen, die zu Messungen am Objekt dienen, Fehler, die einen einwandfreien Vergleich der gemessenen Werte nicht ermöglichen.The focusing of microscopes, i.e. H. the observed image is focused by manual actuation of the corresponding setting means with the aid of a visually performed setting check. Apart from the fact that this setting takes a relatively long time. especially the The focus of the image is subjectively assessed, so that experience has shown that methodological errors in the assessment come into effect. This results in microscopes that are used for measurements on the object, Errors that do not allow a perfect comparison of the measured values.

Es sind Mikroskope für stereometrische Untersuchungen von Durchlichtobjekten bekannt, die eine quantitative Bildanalyse automatisch vornehmen. Durch den beschriebenen manuellen Einstellvorgang wird bei solchen weitgehend automatisierten Geräten die erreichbare Analysengeschwindigkeit in nicht vertretbarer Weise begrenzt.There are known microscopes for stereometric examinations of transmitted light objects that have a automatically perform quantitative image analysis. The manual setting process described is used for such largely automated devices reduce the achievable analysis speed to an unacceptable level Way limited.

Es ist nun die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung zur Fokussierung von Mikroskopen anzugeben, welche eine von Einsteiifehiern freie automatische Fokussierung ermöglicht.It is now the object of the present invention to provide a device for focusing microscopes to indicate which enables automatic focusing free of one-steppeople.

Die Erfindung betrifft damit eine Vorrichtung zur automatischen Fokussierung von Mikroskopen, und sie so zeichnet sich aus durch eine mit dem Mikroskop verbundene fernsehtechnische Einrichtung zur Längenoder Flächenmessung am mikroskopischen Bild eines ausgewählten Objektes bei vorgegebener Ansprechempfindlichkeit einen Motor *.ur Verstellung der Feinfokussierung innerhalb eines durch Endlagenschalter begrenzten Intervalls, eine Anordnung zur Differenzierung des während des Einstellvorgangs von der fernsehtechnischen Einrichtung gelieferten Meßsignals, sowie durch einen mit dieser Anordnung verbundenen Schalter zum Ausschalten des Motors bei festgestelltem Minimalwert des Meßsignals.The invention thus relates to a device for automatic focusing of microscopes, and so does it is characterized by a television equipment connected to the microscope for length or Area measurement on the microscopic image of a selected object with a given sensitivity a motor * to adjust the fine focus within a limit switch limited interval, an arrangement for differentiating the during the adjustment process from the television equipment supplied measurement signal, as well as by a connected to this arrangement Switch for switching off the motor when the minimum value of the measuring signal is determined.

Bei der neuen Vorrichtung gilt als Kriterium für die Scharfeinstellung des Objektbildes die von der fernsehtechnischen Einrichtung ermittelte Minimallänge bzw. Minimalfläche des Objektbildes. Die Feinfokussierung des Mikroskops wird beim Einstellvorgang kontinuierlich und mit konstanter Geschwindigkeit betätigt.In the new device, the criterion for focusing the object image is that of the television technology Establishment determined minimum length or minimum area of the object image. The fine focus of the microscope is operated continuously and at a constant speed during the adjustment process.

Sobald die fernsehtechnische Einrichtung das Erreiche! des Minimums des Meßsignals signalisiert, win automatisch die Verstellung der Feinfokussierunj beendet. Das Mikroskop ist dann einwanoirei fokussien wobei diese Fokussierung auf einem objektiv festge stellten Kriterium beruht und aus diesem Grundi jederzeit reproduzierbar ist.As soon as the television equipment has achieved this! of the minimum of the measurement signal signals, the adjustment of the fine focus automatically completed. The microscope is then focused, this focusing being fixed on an objective is based on the criterion and can therefore be reproduced at any time.

Bei der Längen- und Flächenmessung besteht eini eindeutige Beziehung zwischen dem ermittelten Meß wert und der Einstellung der Feinfokussierungsmitte nur in einem begrenzten Intervall, wie die nachstehen den Ausführungen zeigen werden. Aus diesem Gründe ist die Feinfokussierung des Mikroskops durch Endla genschalter auf dieses vorbestimmte Intervall begrenzt.When measuring length and area, there is a clear relationship between the measurement obtained value and the setting of the fine focus center only in a limited interval, as shown below the explanations will show. For this reason, the fine focusing of the microscope by Endla genschalter limited to this predetermined interval.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung wird im folgen den an Hand der Zeichnungen näher erläutert. Im einzelnen zeigtThe device according to the invention is explained in more detail in the follow with reference to the drawings. in the individual shows

Fig. 1 ein Ausführungsbeispiel der neuen Vorrich tung in schematischer Darstellung,Fig. 1 shows an embodiment of the new device in a schematic representation,

F1 g. 2a und 3a das auf der Photokathode der Fernsehaufnahmeröhre entstehende Objektivbild bei Scharfeinstellung sowie das Videosignal einer Zeile,F1 g. 2a and 3a on the photocathode of the TV tube resulting lens image when focusing as well as the video signal of one line,

Fig. 2b und 3b das auf der Photokathode der Fernsehaufnahmeröhre entstehende Objektivbild bei unscharfer Einstellung sowie das Videosignal einer Zeile.FIGS. 2b and 3b show the objective image produced on the photocathode of the television pickup tube fuzzy setting as well as the video signal of one line.

Fig.4 die Abhängigkeit der Flächengröße des Objektbildes in Abhängigkeit von der Vertikalbewegung des Mikroskoptisches, in graphischer Darstellung,Fig. 4 the dependence of the area size of the Object image as a function of the vertical movement of the microscope stage, in graphic representation,

Fig. 5 das Blockschaltbild einer Komparatorschaltung zum Unterbrechen der Verstellung der Feinfokussierung bei Erreichen der Schärfenebene,5 shows the block diagram of a comparator circuit for interrupting the adjustment of the fine focusing when reaching the focal plane,

F i g. 6a das Bild eines Objektes bei Verwendung einer relativ großen Meßblende,F i g. 6a the image of an object when using a relatively large measuring diaphragm,

Fig.6b das Bild desselben Objektes bei Verwendung einer kleinen Meßblende.6b shows the image of the same object when used a small orifice plate.

In Fig. 1 ist mit 1 die Beleuchtungseinrichtung eines schematisch mit 2 dargestellten Mikroskops bezeichnet. Das zu untersuchende Objekt ist auf dem Mikroskoptisch 3 gehaltert. Mit dem Mikroskop 2 ist eine Fernsehkamera 4 verbunden, welche elektrisch mit der Zentrale 8 in Verbindung steht. Mit der Zentrale ist weiterhin ein Monitor 9 und ein Bedienungspult 10 verbunden.In Fig. 1, 1 is the lighting device schematically denoted by 2 microscope shown. The object to be examined is on the microscope stage 3 held. A television camera 4 is connected to the microscope 2, which is electrically connected to the Central 8 is in communication. A monitor 9 and a control panel 10 are also connected to the control center tied together.

Der Mikroskoptisch 3 weist schematisch gezeichnete Vorrichtungen 5, β und 7 auf, weiche zur Verstellung des Tisches in der x-, y- und ^-Richtung dienen. Diese Einstellbewegungen werden wie angedeutet über die Zentrale 8 gesteuert. Die Feinfokussierung des in Fig. 1 dargestellten Mikroskops erfolgt im betrachteten Beispiel durch Verschieben des Mikroskoptisches 3 in z-Richtung.The microscope table 3 has schematically drawn devices 5, β and 7, which are used to adjust the table in the x, y and ^ directions. These setting movements are controlled via the control center 8, as indicated. The fine focusing of the microscope shown in FIG. 1 takes place in the example under consideration by moving the microscope stage 3 in the z-direction.

F i g. 2a zeigt das auf der Photokathode der Fernsehkamera 4 entstehende Objektbild eines rechteckförmigen Objektes mit homogener Leuchtdichte. Es ist der Zustand der optimalen Fokussierung dargestellt, in welchem das Objekt als gleichmäßig helles Rechteck erscheint. Der sich entlang der mit 11 bezeichneten Zeilen bewegende Abtaststrahl liefert dann im Bereich des Objektbildes ein Videosignal 12, welches einen stärken Spannungssprung zeigt.F i g. 2a shows the object image of a rectangular shape being produced on the photocathode of the television camera 4 Object with homogeneous luminance. The state of optimal focus is shown, in which the object appears as an evenly bright rectangle. The along the designated 11 Lines moving scanning beam then delivers a video signal 12 in the area of the object image, which a strengthen tension jump shows.

Wird das Objektbild defokussiert, so wächst die helle Objektfläche im Bild, wobei gleichzeitig die Helligkeit abnimmt und die Objektränder und Objektdetails in zunehmendem Maße undeutlich werden, wie dies Fig. 2b zeigt. Das entsprechende Videosignal 13 zeigt eine allmähliche Spannungsänderung über einen großen Teil der Fernsehzeile, wobei diese SriannunesändeninuIf the object image is defocused, the bright object area in the image grows, with the brightness at the same time decreases and the object edges and object details become increasingly indistinct like this Fig. 2b shows. The corresponding video signal 13 shows a gradual change in voltage over a large part of the television line, this being Sriannunesandeninu

jedoch eine gegenüber dem Signal 12 der Fig.2a deutlich niedrigere Maximalamplitude aufweist.but one compared to the signal 12 of FIG has a significantly lower maximum amplitude.

Die in Fig. 2a und 2b dargestellte Linie 14 stellt die Lage der Diskriminatorschwelle für das dem Objektbild entsprechende Videosignal dar. Nur Videosignale, deren S Spannungswerte die Diskriminatoiochwelle'14 überschreiten, werden zur Messung herangezogen. Die entsprechenden Objekte sind auf dem Monitor 9 zu beobachten, so daß also unter Beobachtung des Monitorbildcs die Diskriminatorschwelle eingestellt werden kann.The line 14 shown in Fig. 2a and 2b represents the Position of the discriminator threshold for the video signal corresponding to the object image. Only video signals whose S Voltage values exceed the discriminatory threshold'14, are used for the measurement. The corresponding objects are on the monitor 9 too observe, so that the discriminator threshold is set while observing the monitor image can be.

Im dargestellten Fall wird eine Längenmessung über eine Schnittpunktzählung durchgeführt. Darunter versteht man die Zäiilung der Schnittpunkte der Zeilen 11 mit dem Objektrand beim Hell-Dunkel-Übergang. Bei einfach zusammenhängenden Objekten, wie im dargestellten Beispiel, kann damit unmittelbar die größte Erstreckung des Objektes in Vertikalrichtung gemessen werden. Da der Abstand der Abtastzeile^ If äquidisiant und konstant ist, ist die Anzahl der Schnittpunkte der to Vertikalausdehnung des Objektes direkt proportional.In the case shown, a length measurement is carried out by counting the intersection points. This means the division of the intersection of lines 11 with the edge of the object at the transition from light to dark. In the case of objects that are simply connected, as in the example shown, the greatest extent of the object in the vertical direction can thus be measured directly. Since the spacing of the scanning line ^ If is equidistant and constant, the number of points of intersection is directly proportional to the vertical extension of the object.

Die Schnittpunktzählung geschieht in der Zentrale 8. Es ist ohne weiteres zu sehen, daß die von der Fernseheinrichtung 4, 8 gemessene Länge bei unscharfer Einstellung nach F ig. 2b größer ist als bei optimaler Scharfeinstellung nach F ig. 2a.The intersection counting takes place in the center 8. It can be seen without further ado that the TV equipment 4, 8 measured length with unsharp setting according to Fig. 2b is greater than that of optimal Focusing according to Fig. 2a.

Bei dem Verfahren nach der Erfindung werden im allgemeinen Flächenmessungen vorgezogen, da diese auch bei komplizierten Objekten ein einwand'reies Meßkriterium liefern. joIn the method according to the invention, area measurements are generally preferred because these deliver a correct measurement criterion even with complex objects. jo

F i g. 3a zeigt das Bild des schon in I" i g. 2a gezeigten Objektes. Der Objekttisch 3 ist hierjedoch um 90° gedreht, so daß das Objektbild senkrecht zu den Abtastzeilen 11 liegt. Das im dargestellten Zustand der optimalen Fokussierung entstehende Videosignal einer 3$ Bildzeile ist mit 15 bezeichnet. Das im Fall des defokussierten Mikroskops auf der Kathode der Bildaufnahmeröhre entstehende Bild zeigt F i g. 3b. Das entsprechende Videosignal einer Bildzeile ist mit 16 bezeichnet. Die Linie 17 stellt die Diskriminatorschwelle für die Helligkeit des Objektbildes dar. Nur Videosignale deren Spannungswerte die Schwelle 17 überschreiten ν orden zur Flächenmessung herangezogen.F i g. 3a shows the picture of the already in I "i g. 2a shown object. The object table 3 is here however rotated by 90 ° so that the object image is perpendicular to the Scan lines 11 lies. The resulting video signal of a $ 3 in the shown state of optimal focusing The image line is denoted by 15. In the case of the defocused microscope on the cathode of the Image pick-up tube resulting image shows F i g. 3b. The corresponding video signal of a picture line is 16 designated. Line 17 represents the discriminator threshold for the brightness of the object image. Video signals only whose voltage values exceed the threshold 17 ν are used to measure the area.

Wie ohne weiteres einzusehen ist, liefen die Zentrale 8, welche die eigentliche Flächenmessung durchführt ein Signal, dessen Amplitude im Falle der optimalen Fokussierung, d. h. der kleinsten Fläche des Objektbildes niedriger ist als im Falle einer unscharfen Einstellung des Bildes.As can be seen without further ado, the control center 8, which carries out the actual area measurement, arrived Signal, the amplitude of which in the case of optimal focusing, i.e. H. the smallest area of the object image is lower than in the case of blurring the picture.

Fig.4 zeigt die Fläche des Objektbildes in so Abhängigkeit von der Vertikalbewegung ζ des Mikroskoptisches 3. Wie der ausgezogen dargestellte Kurventeil 18 zeigt, weist das mikroskopische Bild des in der Höhenstellung zopt befindlichen Mikroskoptisches 3 eine Minimalfläche auf. In dieser Lage ist die optimale $5 Fokussierung erreicht. Mit zunehmender Defokussierung wächst die Objektfläche im Bild wie dies die beiden gestrichelt gezeichneten Kurventeile 19 und 20 zeigen, welche für visuelle Betrachtung gelten. Das von der Fernseheinrichtung 4,8 gelieferte, der Objektbildfläche F proportionale Signal /> (Z) wächst zwar mit der Entfernung von der Schärfenebene ebenfalls zunächst an und folgt dabei dem Kurventeil 18, durchläuft jedoch bei stärkerer Defokussierung ein Maximum und fällt danach mehr oder minder steil ab unter Umständen bis auf den Wert Null. Dies ist in F i g. 4 durch die beiden punktiert gezeichneten Kurvenäste 21 und 22 gezeigt.4 shows the area of the object image as a function of the vertical movement ζ of the microscope stage 3. As the curve part 18 shown in solid lines shows, the microscopic image of the microscope stage 3 in the zopt vertical position has a minimal area. In this position the optimal $ 5 focus is achieved. With increasing defocusing, the object area in the image grows, as shown by the two broken line curve parts 19 and 20, which apply to visual observation. The signal /> (Z) supplied by the television device 4, 8 and proportional to the object image area F also initially increases with the distance from the focal plane and follows the curve part 18, but passes through a maximum with greater defocusing and then falls more or less steeply down to zero under certain circumstances. This is in FIG. 4 is shown by the two curve branches 21 and 22 shown in dotted lines.

Das Zustandekommen der beiden Kurvenäste 21 und 22 ist aus der Betrachtung der F i g. 3a und 3b leicht zu erklären. Geht man vom optimal iokussierten Zustand aus, so wird bei zunehmender Defokussierung zunächst der Spannungssprung im Videosignal verbreitert, erreicht jedoch seine Maximalamplitude nicht mehr. Dies entspricht dem Ansteigen des Kurventeiles 18 und der anschließenden Kurvenäste 21 und 22. Bei weiterer Defokussierung wird schließlich eiw immer geringerer Teil der Videosignale die Diskriminatorwelie 17 überschreiten, d. h. die Kurvenäste 21 und 22 fallen steil ab. Schließlich tritt der Zustand ein, daß das Videosignal vollständig oberhalb der Diskriminatorschwelle 17 verläuft, d. h. die beiden Kurvenäste 21 und 22 haben den Wert Null erreichtThe creation of the two curve branches 21 and 22 can be seen from the consideration of FIG. 3a and 3b easy to explain. Assuming the optimally focussed state, then with increasing defocusing, initially the voltage jump in the video signal widens, but no longer reaches its maximum amplitude. This corresponds to the rise of the curve part 18 and the subsequent curve branches 21 and 22. With further Finally, defocusing becomes an ever smaller part of the video signals, the discriminator 17 exceed, d. H. the curve branches 21 and 22 drop off steeply. Eventually the condition occurs that the video signal runs completely above the discriminator threshold 17, d. H. the two curve branches 21 and 22 have reaches the value zero

Derselbe Effekt tritt bei der in Fig.2a und 2b dargestellten Längenmessung auf.The same effect occurs with the length measurement shown in FIGS. 2a and 2b.

Aus Fig.4 ist deshalb ersichtlich, daß es in jedem Fall vorteilhaft ist, den Fokussierbereich auf das Intervall von Zmmb'is Zmnxbeispielsweise durch Endlagenschalter zu beschränken. Innerhalb dieses Intervalles ist die Schärfenebene eindeutig durch das Minimum des von der Fernseheinrichtung gelieferten Meßsignals gekennzeichnet. It can therefore be seen from FIG. 4 that it is advantageous in any case to limit the focusing range to the interval from Zmmb'is Zmnx, for example by means of limit switches. Within this interval, the plane of focus is clearly identified by the minimum of the measurement signal supplied by the television equipment.

Verstellt die Vorrichtung 7 zur Vertikalverschiebung des Mikroskoptisches 3 diesen mit konstanter Geschwindigkeit so markiert im Fall der Flächenmessung die mit einer Differenzierstufe erhaltene Ableitung der von der Meß- und Auswerteeinheit in der Zentrale 8 gelieferten, dem Wert F(z) proportionalen Gleichspannung ir(t)\m Nulldurchgang die Schärfenebene. Mittels einer Komparatorschaltung, wie sie beispielsweise in F i g. 5 dargestellt ist, wird beim Nulldurchgang des differenzierten Signals ^d!^FJ^t) Vorrichtung 7 abgeschaltet. If the device 7 for vertical displacement of the microscope table 3 adjusts it at a constant speed, in the case of the area measurement, the derivation of the direct voltage ir (t) , which is supplied by the measuring and evaluation unit in the control center 8 and is proportional to the value F (z) and obtained with a differentiating stage, is marked. \ m zero crossing the plane of focus. By means of a comparator circuit, as shown, for example, in FIG. 5 is shown, at the zero crossing of the differentiated signal ^d ! ^F J ^t) device 7 switched off.

In der Schaltung der F ig. 5 wird dem aus dem Kondensator 23 und dem Widerstand 24 bestehenden Differenzierglied das Signal /Ff/Jzugeführt. Hinter dem Verstärker 25 erscheint dann das differenzierte Signal und wird dem mit 26 bezeichnetem Komparator zugeführt. Dem anderen Eingang dieses Komparators wird eine Referenzspannung zugeführt. Beim Nulldurchgang der Differenzierspannung wird über das Relais 27 der Schalter 28 betätigt, welcher die Vertikalbewegung des Mikroskoptisches 3 stoppt.In the circuit of Fig. 5 becomes the one consisting of the capacitor 23 and the resistor 24 The signal / Ff / J is applied to the differentiator. Behind the The differentiated signal then appears in amplifier 25 and becomes the comparator labeled 26 fed. A reference voltage is fed to the other input of this comparator. At the zero crossing the differentiating voltage is operated via the relay 27 of the switch 28, which the Vertical movement of the microscope stage 3 stops.

Die Empfindlichkeit der automatischen Fokussierung bei der erfindungsgemäßen Vorrichtung wächst mit der Beleuchtungs- und Beobachtungsapertur des Mikroskops. Bei der Wahl der Beleuchtungsapertur ist jedoch der erzielbare Kontrast der optischen Abbildung zu berücksichtigen.The sensitivity of the automatic focusing in the device according to the invention grows with the Illumination and observation aperture of the microscope. However, when choosing the illumination aperture the achievable contrast of the optical image must be taken into account.

Durch Wahl der im Strahlengang angeordneten Meßblendenfläche der Fernseheinrichtung läßt sich die Empfindlichkeit der automatischen Fokussierung in weiten Grenzen ändern. Ein ausgedehntes Objekt liefert im Fall der Flächenmessung bei einer großen Meßblendenfläche wie sie in Fig.6a dargestellt ist, nur verhältnismäßig geringfügige Änderungen des Flächensignals beim Fokussiervorgang nahe der Schärfenebene. Bei einer gemäß Fig.6b in der Höhe eingeengten Meßfeldblende hingegen ist die relative Änderung der angezeigten Objektfläche mit der Höhenverstellung des Tisches 3 und damit das ausnutzbare Signal wesentlich größer.By choosing the measuring diaphragm area of the television device arranged in the beam path, the Change the sensitivity of the automatic focusing within wide limits. An extended object delivers in the case of area measurement with a large measuring aperture area as shown in Fig. 6a, only relatively minor changes in the surface signal during the focusing process near the focal plane. With a narrowed in height according to Figure 6b The measuring field diaphragm, on the other hand, is the relative change in the displayed object area with the height adjustment of the Table 3 and thus the usable signal is much larger.

Abschließend soll noch der Funktionsablauf bei einer Vorrichtung gemäß Fig. 1 im Rahmen einer automatischen Dicken-Bestimmung an einer Vielzahl mikroskopischer Objekte beschrieben werden.Finally, the functional sequence in the case of a device according to FIG. 1 in the context of an automatic Thickness determination on a variety of microscopic objects can be described.

Mit dem Betätigen der Starttaste am Bedienungspult 10 wird über die Zentrale 8 der Mikroskoptisch 3 gemäß dem vorgewählten Programm für die x- und y-Richtung über die Vorrichtungen 5 und 6 motorisch verstellt. Nach Auswahl eines Objektes möglichst homogener Leuchtdichte wird die x-y-Bewegung des Tisches 3 gestoppt und dieser verharrt bis zur Beendigung der Fokussierung und der anschließenden stereometrischen Messung, im betrachteten Beispiel der Dicken-Messung in der ausgewählten Stellung. Gleichzeitig mit der x- und y-Verstellung des Tisches 3 erfolgt seine motorische Höhenverstellung in ^-Richtung bis zu einem vorgegebenen Minimalwert zmin. Es ist selbstverständlich auch möglich, an Stelle einer Verschiebung des Tisches 3 die Fokussierung mit Hilfe einer Höhenverstellung der Beobachtungseinrichtung 2 zu erreichen. Nachdem dei Tisch die vorgegebene zmm-Position erreicht hat schaltet die Meß- und Auswerteelektronik in der Zentrale 8 selbsttätig auf die Betriebsart Längen- odei Flächenmessung. Gleichzeitig wird der Motor für die Fokussierung angeschaltet und verstellt nun den Tisch 3 mit konstanter Geschwindigkeit bis das zu fokussierende Objekt in die Schärfenebene der Beobachtungsoptik gelangt. Sobald dies der Fall ist, wird der z-MotorWhen the start button on the control panel 10 is actuated, the microscope stage 3 is adjusted by motor via the control center 8 in accordance with the preselected program for the x and y directions via the devices 5 and 6. After selecting an object of as homogeneous a luminance as possible, the xy movement of the table 3 is stopped and this remains in the selected position until the end of the focusing and the subsequent stereometric measurement, in the example considered, the thickness measurement. Simultaneously with the x and y adjustment of the table 3, its motorized height adjustment takes place in the ^ direction up to a predetermined minimum value zmin. It is of course also possible, instead of shifting the table 3, to achieve focusing with the aid of a height adjustment of the observation device 2. After the table has reached the specified zmm position, the measuring and evaluation electronics in the control center 8 automatically switch to the length or area measurement mode. At the same time, the motor for focusing is switched on and now adjusts the table 3 at a constant speed until the object to be focused comes into the focal plane of the observation optics. Once it does, the z-motor will

ίο ausgeschaltet, die Meß- und Auswerteelektronik wird im angenommenen Beispiel auf Dickenmessung umgeschaltet und nach Beendigung dieser Messung beginn! mit der x-, /-Verstellung des Tisches 3 ein neuer Fokussierungs- und Meßzyklus in der beschriebenen Weise.ίο switched off, the measuring and evaluation electronics are switched to thickness measurement in the assumed example and start after this measurement is finished! with the x, / adjustment of the table 3, a new focusing and measuring cycle in the manner described.

Hierzu 3 Blatt ZeichnungenFor this purpose 3 sheets of drawings

Claims

Patent claims:

1. Device for the automatic focusing of microscopes, characterized by a television technical device (4, 8) connected to the microscope (1. 2, 3) for length or Area measurement on the microscopic image of a selected object with a given Sensitivity, a motor (7) to adjust the fine focus within a interval limited by limit switches, an arrangement (23, 24, 25) for differentiating the During the setting process from the television technology Device supplied measurement signal, as well as by a connected to this arrangement Switch (28) for switching off the motor (7) when the minimum value of the measuring signal is determined.

2. Apparatus according to claim I, characterized in that a diaphragm to limit the television technical device (4, 8) supplied object image is provided.