DE19952183B4

DE19952183B4 - Device for lace shaping

Info

Publication number: DE19952183B4
Application number: DE1999152183
Authority: DE
Inventors: Alfons Fehrenbach
Original assignee: TDK Micronas GmbH
Current assignee: TDK Micronas GmbH
Priority date: 1999-10-29
Filing date: 1999-10-29
Publication date: 2008-11-06
Anticipated expiration: 2019-10-30
Also published as: DE19952183A1

Abstract

Einrichtung (1) zur Formung mindestens einer nadelförmigen Spitze (2) mit einer Halterung (3) für die mindestens eine Spitze, einem Träger (4) mit einer Auflageplatte (5) zur Aufnahme eines Schleifmittels (6) und einer Bewegungsmechanik (7) zur Erzeugung von Relativbewegungen zwischen der mindestens einen Spitze und der Auflageplatte, wobei die von der Bewegungsmechanik (7) erzeugten Relativbewegungen von einer Startposition ausgehend im wesentlichen in axialer Richtung (z) der mindestens einen Spitze (2) und einer dazu senkrecht stehenden Ebene (x, y) liegen, die Auflageplatte (5) hartgummiartig elastisch ist, und die mindestens eine Spitze (2) bei der Abbewegung in der axialen Richtung (z) teilweise in die Auflageplatte (5) eindringt, dadurch gekennzeichnet, daß sich das Schleifmittel (6) frei beweglich auf der Auflageplatte (5) befindet.Facility (1) for forming at least one needle-shaped tip (2) with a Holder (3) for the at least one tip, a carrier (4) with a support plate (5) for receiving an abrasive (6) and a movement mechanism (7) for generating relative movements between the at least a tip and the platen, whereby the movement mechanics (7) generated relative movements starting from a starting position in substantially in the axial direction (z) of the at least one tip (2) and a plane perpendicular thereto (x, y) lie, the Platen (5) is hard rubber-like elastic, and the at least a tip (2) when moving in the axial direction (z) partially into the support plate (5) penetrates, characterized in that the Abrasive (6) freely movable on the support plate (5).

Description

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Formung mindestens einer nadelförmigen Spitze, die in der Regel aus einem harten metallischen Material besteht. Derartige Spitzen sind für Meßzwecke im biologisch- oder technisch-physikalischen Bereich verbreitet und dienen bei den jeweiligen Meßobjekten dem Abgriff oder der Zufuhr von Spannung, Strom oder elektrischen Signalen. Ein breites Anwendungsgebiet für derartige nadelförmige Spitzen findet sich bei der Herstellung von miniaturisierten Schaltkreisen, um deren Funktion als integrierte Schaltung oder als Einzelhalbleiter vor der Weiterverarbeitung oder dem relativ teuren Einbau in ein Gehäuse oder eine Hybridschaltung zu testen. Um den Verschleiß beim Messen gering zu halten, wird in der Regel als Material für die Spitze oder ganze Nadel Wolfram, Kupferberyllium oder ein anderes hartes Material verwendet. Je nach der Meßaufgabe sind eine, zwei oder eine Vielzahl von Nadeln erforderlich, die zueinander so in einer Aufnahmevorrichtung fixiert sind, daß sie eine bauliche Einheit bilden. Beim Meßvorgang wird die Spitze der Nadel mit einer vorgegebenen Kraft auf die jeweilige Meßfläche aufgesetzt, in die sich die Spitze etwas eindrückt und so in Abhängigkeit vom jeweiligen Spitzenradius und anderen Größen eine Kontaktfläche, die auch als Spitzenfläche bezeichnet wird, auf der Meßobjektoberfläche bildet. Ein typischer Wert für den Durchmesser dieser Spitzenfläche, beispielsweise bei der Messung von Halbleitern, ist derzeitig 35 μm. Obwohl das Material dieser Spitzen sehr hart ist, unterliegen sie im Betrieb einem Verschleiß, so daß ihre Lebensdauer nur eine Höchstanzahl von Messungen zuläßt. Durch Abnutzung vergrößert sich beispielsweise der resultierende Spitzendurchmesser dann auf 65 μm. Wenn die Spitze beim Aufsetzen noch einer Komponente in radialer Richtung unterliegt, kann zusätzlich ein Schiebeeffekt von 10 μm bis 50 μm auftreten, der zu dem vergrößerten Spitzendurchmesser hinzugezählt werden muß. Damit können die Toleranzen bereits in der mechanischen Verletzungszone der vorgesehenen Meßfläche liegen, so daß die Anzahl der Fehlmessungen und damit die Anzahl der Ausfälle zunimmt.The The invention relates to a device for forming at least one acicular Tip, which is usually made of a hard metallic material. Such tips are for measuring purposes in the biological or technical-physical field and serve with the respective DUTs the tap or the supply of voltage, current or electrical signals. A wide Application for such acicular Tips can be found in the production of miniaturized circuits, to their function as an integrated circuit or as a single semiconductor before further processing or the relatively expensive installation in a casing or to test a hybrid circuit. To wear while measuring is usually considered as a material for the tip to keep low or whole needle tungsten, copper beryllium or another hard Material used. Depending on the measurement task are one, two or Need a variety of needles, so in one Receiving device are fixed, that they are a structural unit form. During the measuring process is the tip of the needle with a given force on the respective Measuring surface placed, into which the tip presses something and so depending from the respective tip radius and other sizes a contact surface, the also as a top surface is designated forms on the Meßobjektoberfläche. A typical value for the diameter of this top surface, for example, in the measurement of semiconductors, is currently 35 microns. Even though The material of these tips is very hard, they are subject to one in operation Wear, so that theirs Life only a maximum number of measurements. By Wear increases for example, the resulting tip diameter then at 65 microns. If the tip subjecting another component in the radial direction when placing it on, can additionally a sliding effect of 10 μm up to 50 μm occur that to the enlarged tip diameter added counted must become. With that you can the tolerances are already in the mechanical zone of injury of the intended measuring surface, So that the Number of incorrect measurements and thus the number of failures increases.

Ein weiterer Effekt des Verschleißes ist, daß durch den Schiebeeffekt die Kugelform der Spitze in der Berührungszone abgeschliffen und die Spitze allmählich zum Meisel wird. Dies kann bei der Halbleitermessung im Grenzfall bis zur Spanabnahme auf der Kontaktfläche führen, wodurch die spätere Kontaktierung unsicher und störungsanfällig wird. Andere störende Einflüsse der zu großen Spitzenfläche sind: Schmutzaufnahme, Erhöhung des Übergangswiderstandes, Kontaktausfall und andere Dinge mehr.One further effect of wear is that through the sliding effect the spherical shape of the tip in the contact zone sanded off and the tip gradually becomes a chisel. This can in semiconductor measurement in the limit to chip removal on the contact surface to lead, causing the later Contacting becomes uncertain and prone to failure. Other disturbing influences the one too big tip surface are: dirt pickup, increase the contact resistance, Contact failure and other things more.

Die EP 0 937 541 A2 offenbart eine Einrichtung zur Spitzenformung, bei der das Schleifmittel fest auf der Auflageplatte angebracht ist. In derselben Druckschrift ist zum Stand der Technik eine Einrichtung zum Säubern von Testspitzen angegeben, bei der die Spitzen in ein elastisches Material eindringen, wobei die Gefahr bestehe, daß die Spitzen durch Rückstände des elastischen Materials wieder verunreinigt werden.The EP 0 937 541 A2 discloses a tip forming apparatus wherein the abrasive is fixedly mounted on the platen. In the same document the prior art discloses a device for cleaning test tips, in which the tips penetrate into an elastic material, wherein there is a risk that the tips are contaminated by residues of the elastic material again.

Aufgabe der Erfindung ist es, eine verbesserte und einfachere Einrichtung anzugeben, mit der die Form mindestens einer nadelförmigen Spitze gebildet oder erneuert werden kann. Dies soll unabhängig davon sein, ob es sich um ein Rohling, eine abgenutzte Spitze, eine separate Spitze oder eine Spitze in einer vorgegebenen Aufnahmevorrichtung handelt.task The invention is an improved and simpler device specify the shape of at least one needle-shaped tip can be formed or renewed. This should be independent of it whether it is a blank, a worn tip, a separate one Tip or a tip in a given cradle is.

Diese Aufgabe wird durch eine Einrichtung nach Anspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen ergeben sich aus den Unteransprüchen.These The object is achieved by a device according to claim 1. advantageous Embodiments emerge from the subclaims.

Ein wesentlicher Vorteil der Einrichtung gemäß der Erfindung besteht darin, daß nicht nur eine einzige Spitze geformt werden kann, sondern auch eine für den jeweiligen Meßzweck vorgegebene Anordnung von mehreren Spitzen, sofern die Spitzen etwa die gleiche Ausrichtung aufweisen. Ferner können die Spitzen in der Anordnung auch noch an elektronische Teilschaltungen angeschlossen sein, so daß die vorgegebene Aufnahmevorrichtung dieser Spitzen gegebenenfalls relativ groß ist. Dies spielt für die Relativbewegung zwischen der Halterung und dem Träger für die Auflageplatte mit dem Schleifmittel keine Rolle, wenn nur der Träger mit der Auflageplatte an der Bewegung teilnimmt und die Halterung selbst in Ruhe bleibt oder nur eine geringfügige Bewegung ausführt.One An essential advantage of the device according to the invention is that not only a single tip can be formed, but also one for each measurement purpose predetermined arrangement of multiple peaks, if the tips about have the same orientation. Furthermore, the tips in the arrangement also still be connected to electronic subcircuits, so that the predetermined Recording device of these tips may be relatively large. This plays for the Relative movement between the holder and the support for the support plate with the abrasive does not matter if only the wearer with the support plate participates in the movement and the support itself stay calm or perform only a slight movement.

Vorteilhafterweise erfolgt die Steuerung der Bewegungsmechanik durch eine programmierbare Steuereinrichtung, weil dann durch vorgebbare Bewegungsmuster die jeweilige Form der Spitze modifizierbar ist. Von zentraler Bedeutung für den Formungsvorgang ist dabei eine fortlaufende Auf- und Abbewegung der Spitze in ihrer axialen Richtung, wobei der Hub mindestens so groß ist, daß die Spitze bei der Abwärtsbewegung ein Stück in die Auflageplatte eindringt. Hierbei wird ein Teil des Schleifmittels von der Flanke der Spitze gegen den Widerstand der Auflageplatte mitgenommen, wodurch die gezielte Abtragung des Materials stattfindet. Als Folge bildet sich die gewünschte Spitzenverrundung und die gewünschte Flankenverjüngung aus. Die Höhe des Hubes, die Geschwindigkeit und die Eindringtiefe in die Auflageplatte wird dabei von der Steuereinrichtung gesteuert. Von Vorteil für die Abtragung ist es, wenn der Hub und damit die Eindringtiefe nicht konstant ist, sondern durch ein vorgegebenes Programm modifiziert wird, das auch eine Zufallsfolge enthalten kann.advantageously, the control of the movement mechanism is performed by a programmable control device, because then by specifiable movement patterns, the respective form of Tip is modifiable. Central to the molding process is a continuous up and down movement of the tip in her axial direction, wherein the stroke is at least so large that the tip at the downward movement one piece penetrates into the platen. This will be part of the abrasive from the flank of the tip against the resistance of the platen taken along, whereby the targeted removal of the material takes place. As a result, the desired forms Top rounding and the desired edge rejuvenation out. The height of the stroke, the speed and the penetration depth into the support plate is controlled by the control device. Beneficial for the removal it is when the stroke and thus the penetration depth is not constant is, but is modified by a given program, the can also contain a random sequence.

Die Auflageplatte auf dem Träger besteht aus einem Hartgummi oder aus einem ähnlichen elastischen Material, in das die Spitze bei der Hubbewegung eindringen kann. Damit die Spitze bei den Hubbewegungen nicht laufend in die gleiche Stelle der Auflageplatte eindringt, wird diese langsam in der zur axialen Richtung der Spitze senkrecht stehenden Ebene in gerader oder kreisförmiger Richtung weiterbewegt. Wenn diese Bewegung langsam genug erfolgt, kann es sich um eine gleichförmige Bewegung handeln, die unabhängig von der Auf- und Abbewegung der Spitze ist. Nach einer von der Steuereinrichtung vorgebbaren Zeit kann sich die von einer Startposition ausgehende Bewegungsrichtung ändern oder umkehren.The Platen on the support consists of a hard rubber or a similar elastic material, into which the tip can penetrate during the lifting movement. So that Tip in the strokes not running in the same place of the Platen penetrates, this is slow in the axial direction the top perpendicular plane in a straight or circular direction advanced. If this movement is slow enough, it can a uniform one Act movement that is independent from the up and down movement of the top. After one of the controller can be predetermined from the starting position of a starting position Change direction of movement or turning back.

Das pulverförmige Schleif-und-Läppmittel, beispielsweise Aluminiumoxid oder ein anderes handelsübliches Schleifmittel, befindet sich freibeweglich in einer Schicht auf der Auflageplatte. Im vorderen Bereich der Spitze wird das Schleifmittel bei der Abwärtsbewegung auf die Seite gedrängt, so daß vorwiegend nur die Flanken bearbeitet werden und der resultierende Spitzenradius immer kleiner wird. Die selektive Bearbeitung der Flanken wird erhöht, wenn sich der langsamen Bewegung in der Ebene senkrecht zur axialen Richtung eine kleine aber relativ rasche, im wesentlichen kreisförmige Bewegung überlagert, die auch als eine Art Taumelbewegung angesehen werden kann. Da diese Bewegung in der Geschwindigkeit etwa der Hubbewegung entspricht, bildet sich ein ringförmiger Spalt zwischen der Auflageplatte und der Spitze, durch den zusätzliches Schleifmittel an die Flanke vordringen kann. Bei der weiteren kreisförmigen Bewegung – die Spitze befindet sich immer noch im eingetauchten Zustand – wirkt sich dieses Schleifmittel verstärkt materialabtragend auf die Flanke aus.The powdery Grinding and lapping agents, for example Alumina or other commercial abrasive freely moving in a layer on the platen. In the front area the tip is pushed to the side of the abrasive during the downward movement, so that predominantly only the flanks are machined and the resulting tip radius gets smaller and smaller. The selective processing of the edges is increased when the slow movement in the plane perpendicular to the axial direction a small but relatively rapid, essentially circular motion superimposed, which can also be regarded as a kind of wobbling movement. This one Movement in speed corresponds approximately to the stroke movement, forms an annular Gap between the platen and the top, through the additional Abrasive can penetrate to the flank. At further circular movement - a point is still in the immersed state - affects this abrasive reinforced material erosive on the flank.

Von großem Vorteil bei der Einrichtung nach der Erfindung ist, daß zumindest bei einer horizontalen Ausrichtung der Auflageplatte das Schleifmittel als Pulver verwendet werden kann und keine Flüssigkeit zur Bindung erfordert. Bei dem Vorhandensein mehrer Spitzen, insbesondere bei engem Abstand, würde das Flüssigkeitsgemisch kapillar zwischen den einzelnen Spitzen aufsteigen und in Verbindung mit dem abgetragenen Material elektrisch leitende Brücken herstellen, die im Anschluß an den Formungsvorgang aufwendige Reinigungsprozesse erfordern würden. Es ist leicht einsichtig, daß bei einer Verwendung ätzender Flüssigkeiten zur Formung eng stehender Spitzen bleibende Zerstörungen die Folgen des kapillaren Aufstiegs wären, so daß mit ätzenden Verfahren kaum mehr als eine Spitze gleichzeitig geformt werden kann.From great Advantage of the device according to the invention is that at least in a horizontal orientation of the platen, the abrasive as Powder can be used and does not require any liquid for binding. In the presence of multiple peaks, especially at close range, that would liquid mixture capillary rise between the peaks and in conjunction with make the abraded material electrically conductive bridges following the Forming process would require elaborate cleaning processes. It is easy to understand that at a use corrosive liquids for the formation of narrow peaks lasting destruction the consequences of capillary ascent, so that with caustic Process little more than one tip to be shaped simultaneously can.

Die Erfindung und vorteilhafte Ausgestaltungen werden nun anhand der Figuren der Zeichnung näher erläutert:The Invention and advantageous embodiments will now be described with reference to the Figures of the drawing closer explains:

1 zeigt schematisch ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Einrichtung und 1 schematically shows an embodiment of a device according to the invention and

2 zeigt schematisch die Formung einer Spitze durch die Einrichtung. 2 schematically shows the formation of a tip through the device.

1 zeigt schematisch eine Einrichtung 1 zur Formung mindestens einer nadelförmigen Spitze 2. Neben der Spitze 2 ist eine weitere Spitze 2 schematisch angedeutet. Die Spitzen 2, 2' sind mit einer Halterung 3 verbunden. Diese Halterung 3 definiert mit der zugehörigen Spitze 2, ein rechtwinkliges Koordinatensystem x, y, z, wobei die axiale Ausrichtung der Spitze die z-Koordinate definiert. In einer Ebene parallel zur x- und y-Koordinate befindet sich ein Träger 4, auf dessen Oberseite eine Auflageplatte 5 aus Hartgummi liegt. Auf dieser Auflageplatte 5 befindet sich eine Schicht eines pulverförmigen Schleifmittel 6, das in einem kleinen Bereich durch eine Punktestruktur angedeutet ist. Der Träger 4 ist mit einer Bewegungsmechanik 7 verbunden, die transversale und kreisförmige Bewegungen in sämtlichen Koordinatenrichtungen und -ebenen ausführen kann. Im einfachsten Fall ermöglicht die Bewegungsmechanik eine Hubbewegung des Trägers 4 in axialer Richtung z und eine Drehbewegung in der Ebene der x- und y-Koordinate, vgl. den Radiusvektor r und den Drehwinkel φ in 1. Hinzu kommen noch transversale Bewegungen in Richtung der x– und y-Koordinate. Drehtteller mit diesen Bewegungsmöglichkeiten sind von Probern in der Halbleitermeßtechnik her bekannt. Die elektromotorische Steuerung dieser Prober erlaubt eine sehr feinfühlige Steuerung der angegebenen Bewegungen. Der Schaltungsblock 8 in 1 symbolisiert die Steuereinrichtung für die Bewegungsmechanik 7. 1 schematically shows a device 1 for forming at least one needle-shaped tip 2 , Next to the top 2 is another tip 2 indicated schematically. The tips 2 . 2 ' are with a bracket 3 connected. This bracket 3 defined with the associated tip 2 , a rectangular coordinate system x, y, z, where the axial orientation of the tip defines the z-coordinate. In a plane parallel to the x- and y-coordinate is a carrier 4 , on the top of which a platen 5 made of hard rubber lies. On this platen 5 There is a layer of a powdered abrasive 6 , which is indicated in a small area by a point structure. The carrier 4 is with a movement mechanics 7 connected, which can perform transversal and circular movements in all coordinate directions and planes. In the simplest case, the movement mechanism allows a lifting movement of the wearer 4 in the axial direction z and a rotational movement in the plane of the x and y coordinates, cf. the radius vector r and the rotation angle φ in 1 , In addition, there are transverse movements in the direction of the x and y coordinates. Turntables with these possibilities of movement are known from probes in semiconductor measurement technology. The electromotive control of this Prober allows a very sensitive control of the specified movements. The circuit block 8th in 1 symbolizes the control device for the movement mechanics 7 ,

Selbstverständlich kann auch die Halterung 3 zur Relativbewegung zwischen den Spitzen 2, 2' und dem Träger 4 beitragen, wenn sie wie in 1 an die Bewegungsmechanik 7 angeschlossen ist. Durch die Vorgabe der Hubanzahl pro Minute kann die Geschwindigkeit beim Einstechen der Spitze 2 in die Auflageplatte 5 gesteuert werden. Ein typischer Bereich für die Anzahl der Hübe pro Sekunde ist hierbei 1 Hub pro Sekunde bis 5 Hübe pro Sekunde, wobei die gesamte Bearbeitungszeit etwa 20 Minuten dauert. Dies hängt natürlich auch von der jeweiligen Härte der Auflageplatte 5, dem verwendeten Schleifmittel und der Einstechtiefe in die Auflageplatte ab. Als typischer Wertebereich für die Einstechtiefe der Spitze 2 wird ein Bereich von 50 μm bis 250 μm angegeben. Die richtige Wahl der inneren Eigenschaften der Auflageplatte wie Härte, Elastizität, Steifigkeit usw. hängt unter anderem von dem Abstand der Spitzen 2, 2' ab. Wenn diese zu dicht beieinander stehen, dann sticht die Spitze gegebenenfalls nicht mehr in die Auflageplatte ein, so daß der Schleifvorgang an der Flanke unterbleibt. Dies ist jedoch erst im extremen Nahbereich, der deutlich unterhalb von 150 μm Abstand liegt, zu berücksichtigen.Of course, also the holder 3 relative movement between the tips 2 . 2 ' and the carrier 4 contribute, if they like in 1 to the movement mechanics 7 connected. By specifying the number of strokes per minute, the speed of piercing the tip can 2 in the platen 5 to be controlled. A typical range for the number of strokes per second is 1 stroke per second to 5 strokes per second, the total processing time takes about 20 minutes. Of course, this also depends on the particular hardness of the support plate 5 , the abrasive used and the insertion depth in the support plate. As a typical value range for the puncture depth of the tip 2 is a range of 50 microns to 250 microns specified. The correct choice of the inner characteristics of the support plate such as hardness, elasticity, stiffness, etc. depends, among other things, on the distance between the tips 2 . 2 ' from. If these are too close to each other, then the tip may not pierce the support plate, so that the grinding process is avoided on the flank. However, this is only in the extreme near range, which is well below 150 microns Distance is to be considered.

2 zeigt schematisch die Änderung einer Spitze 2 infolge des Formungsvorganges mittels einer Einrichtung 1 entsprechend der Erfindung. Die Sollform der nadelförmigen Spitze 2 ist etwa durch die Umrißlinie 20 dargestellt, die je nach Anwendungszweck durch einen spitzen Kegelwinkel α von einigen Grad (z. B. 3 Grad bis 30 Grad) und einen Spitzenradius rs (z. B. 3 μm bis 100 μm) definiert wird. Beim Meßvorgang dringt die Spitze 2 durch den erforderlichen Auflagedruck etwas in die Oberfläche 21 des Meßobjektes 22 ein, wodurch eine etwa kreisförmige Spitzenfläche 23 als Berührungszone zwischen der Spitze 2 und dem Meßobjekt 22 entsteht. Der Durchmesser der Spritzenfläche 23 ist vom Auflagedruck, Krümmungsradius rs und den Materialeigenschaften des relativ weichen Meßobjekts abhängig und kann somit in einem sehr großen Bereich liegen. Hinzu kommen noch der bereits erwähnte Schiebe- oder Gleiteffekt beim Aufsetzen der Spitze 2 und weitere mechanische Toleranzen, wodurch die Mindestgröße der für die Messung erforderlichen Fläche bestimmt wird. 2 schematically shows the change of a peak 2 as a result of the molding process by means of a device 1 according to the invention. The nominal shape of the needle-shaped tip 2 is roughly through the outline 20 Depending on the intended use, this is defined by an acute cone angle α of a few degrees (eg 3 degrees to 30 degrees) and a tip radius rs (eg 3 μm to 100 μm). During the measuring process, the tip penetrates 2 by the required contact pressure something in the surface 21 of the object to be measured 22 a, creating an approximately circular top surface 23 as a contact zone between the tip 2 and the DUT 22 arises. The diameter of the syringe surface 23 is dependent on the contact pressure, radius of curvature rs and the material properties of the relatively soft DUT and thus can be in a very large range. In addition, there is the already mentioned sliding or sliding effect when placing the tip 2 and other mechanical tolerances, which determines the minimum size of the area required for the measurement.

Durch Abnutzung ändert sich die Form der Spitze 2 und entspicht dann etwa der als kräftige Linie dargestellten Umrißlinie 24. Die ursprüngliche Spitze 20 ist dabei bis auf die ebene Abnutzungsfläche 25 abgeschliffen, so daß die vom Krümmungsradius rs definierte Rundung verlorengeht. Statt dessen bildet sich am Rand der Abnutzungsfläche 25 eine scharfe Kante 26 aus, die beim seitlichen Gleiten über das Meßobjekt 22 dessen Oberfläche 21 verletzen kann. Es ist erkennbar, daß die Abnutzungsfläche 25 je nach Abnutzungsgrad deutlich größer als die ursprüngliche Spitzenfläche 23 ist.By wear, the shape of the tip changes 2 and then corresponds approximately to the outline shown as a bold line 24 , The original tip 20 is down to the flat wear surface 25 abraded, so that the radius of curvature rs defined round is lost. Instead, it forms on the edge of the wear surface 25 a sharp edge 26 off, the lateral sliding over the DUT 22 its surface 21 can hurt. It can be seen that the wear surface 25 Depending on the degree of wear significantly larger than the original top surface 23 is.

Durch den Formungsvorgang der Spitze 2 mittels der erfindungsgemäßen Einrichtung 1 wird die abgenutzte Spitze 24 regeneriert, so daß sich die Umrißlinie 27 ergibt, die etwa wieder der Sollform-Umrißlinie 20 mit dem ursprünglichen Kegelwinkel α und dem ursprünglichen Krümmungsradius rs entspricht.Through the shaping process of the tip 2 by means of the device according to the invention 1 becomes the worn tip 24 regenerated, so that the outline 27 which, for example, returns to the desired contour outline 20 with the original cone angle α and the original radius of curvature rs.

Claims

Facility ( 1 ) for forming at least one needle-shaped tip ( 2 ) with a holder ( 3 ) for the at least one tip, a carrier ( 4 ) with a support plate ( 5 ) for receiving an abrasive ( 6 ) and a movement mechanics ( 7 ) for generating relative movements between the at least one tip and the support plate, wherein the movement of the mechanics ( 7 ) generated relative movements of a starting position substantially in the axial direction (z) of the at least one tip ( 2 ) and a plane perpendicular thereto (x, y) lie, the support plate ( 5 ) is hard rubber-like elastic, and the at least one tip ( 2 ) in the downward movement in the axial direction (z) partially in the support plate ( 5 ) penetrates, characterized in that the abrasive ( 6 ) freely movable on the support plate ( 5 ) is located.

Facility ( 1 ) according to claim 1, characterized in that the relative movements by means of a control device ( 8th ), in particular a programmable, are controllable.

Facility ( 1 ) according to claim 2, characterized in that during the relative movement in the axial direction (z) of the stroke in the up and down movement of the at least one tip ( 2 ) from the control device ( 8th ) can be specified.

Facility ( 1 ) according to claim 2 or 3, characterized in that the number of strokes per minute or the speed during the up and down movement in the axial direction (z) of the at least one tip ( 2 ) from the control device ( 8th ) can be specified.

Facility ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that by means of a change in position of the carrier ( 4 ) in the plane (x, y) perpendicular to the axial direction (z), the respective penetration region of the tip ( 2 ) in the platen ( 5 ) is changeable.

Facility ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that the abrasive ( 6 ) is powdery.

Facility ( 1 ) according to one of the preceding claims, characterized in that at least one of the relative movements, in particular the lifting movement in the axial direction (z), by means of the control device ( 8th ) is modifiable according to a predetermined program, which may also contain a random sequence.

Facility ( 1 ) according to claim 7, characterized in that the relative movement of the tip ( 2 ) during its penetration into the support plate ( 5 ) is formed from a superposition of at least two different relative movements.

Facility ( 1 ) according to claim 8, characterized in that in the plane (x, y) perpendicular to the axial direction (z) the movement pattern corresponds to a superimposition of a slow, substantially transversal, and a rapid, substantially circular, relative movement.