DE19950463B4 - Method for producing a hydrodynamic plain bearing for a spindle motor and a hydrodynamic plain bearing produced using the method - Google Patents
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Abstract
Verfahren zur Herstellung eines hydrodynamischen Gleitlagers für einen Spindelmotor zur präzisen Drehführung eines elektromotorisch angetriebenen, mit hoher Drehzahl relativ zu einem feststehenden Stator umlaufenden Rotors, bestehend aus mindestens zwei im wesentlichen rotationssymmetrischen konzentrisch angeordneten Teilen, die miteinander in Wirkverbindung stehen, derart, daß die äußere Hüllfläche des inneren Teils mit der inneren Hüllfläche des äußeren Teils zumindest bereichsweise einen dünnen konzentrischen und/oder koaxialen Spalt bildet, wobei mindestens eine der Hüllflächen – vorzugsweise die des rotierenden Teils – mit einer dreidimensionalen Struktur zur Erzeugung des hydrodynamischen Druckes versehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß zur Herstellung der dreidimensionalen Struktur (8) zunächst die Oberfläche (2) des Lagers mit einer gleichmäßigen, wiederabtragbaren Auftragsschicht (3) konstanter Dicke versehen wird, und daß anschließend die gewünschte Struktur durch partielles Abtragen der Auftragsschicht (3) mittels gebündelter Strahlung (4) zumindest teilweise wieder entfernt wird.Method for producing a hydrodynamic plain bearing for a spindle motor for the precise rotation of an electromotively driven rotor rotating at high speed relative to a fixed stator, consisting of at least two essentially rotationally symmetrical concentrically arranged parts which are operatively connected to one another, such that the outer envelope surface of the inner part with the inner envelope surface of the outer part at least in regions forms a thin concentric and / or coaxial gap, at least one of the envelope surfaces - preferably that of the rotating part - being provided with a three-dimensional structure for generating the hydrodynamic pressure, characterized in that To produce the three-dimensional structure (8), the surface (2) of the bearing is first provided with a uniform, re-removable application layer (3) of constant thickness, and then that which is desired e structure is at least partially removed by partial removal of the application layer (3) by means of focused radiation (4).
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines hydrodynamischen Gleitlagers für einen Spindelmotor nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1. Derartige Lager werden für schnelldrehende Festplattenspeicher verwendet. Es handelt sich also um Miniaturlager für den Einsatz bei hohen Drehzahlen.The invention relates to a method for the production of a hydrodynamic plain bearing for one Spindle motor according to the preamble of claim 1. Such Camps for fast spinning disk space used. So it's about to miniature bearings for use at high speeds.
Die vorliegende Erfindung beschäftigt sich mit der vereinfachten Herstellung eines Fluidlagers für derartige Spindelmotoren. Es ist hierbei bekannt, ein Fluidlager mit einem flüssigen oder einem gasförmigen Medium zu betreiben, wofür allgemein der Begriff „Fluid" verwendet wird.The present invention is concerned with the simplified manufacture of a fluid bearing for such Spindle motors. It is known here to have a fluid bearing liquid or a gaseous one To operate medium for what generally the term "fluid" is used.
Bisher ist es bekannt, die Lageroberflächen derartiger Fluidlager in einem relativ aufwendigem Verfahren zu bearbeiten, wobei insbesondere ein- oder mehrere Läpp-Prozesse verwendet werden oder – sofern es sich um Hohllager handelt, wird auch ein entsprechendes Hon-Verfahren verwendet.So far it is known, the bearing surfaces of such To process fluid bearings in a relatively complex process, in particular one or more lapping processes are used or - if so it is a hollow bearing, a corresponding honing process used.
Bei derartigen Fluidlagern ist es
bekannt, Strukturen in die Lageroberflächen einzubringen, um die Trageigenschaften
dieser Lager zu gewährleisten.
Eine solches Gleitlager ist aus der nachveröffentlichten
Nachteil der mechanischen Bearbeitungsprozesse ist jedoch, daß wegen der Verdrängung von Material bzw. der mechanischen Abtragung es auch zu Materialaufwerfungen im bearbeiteten Kantenbereich kommt, wobei diese Aufwertungen dann relativ aufwendig wieder entfernt werden müssen.Disadvantage of mechanical machining processes is that because of of repression of material or mechanical abrasion it also leads to material accretion comes in the machined edge area, these upgrades then have to be removed relatively expensive.
Die abgetragenen Strukturen müssen nämlich in der Genauigkeit von etwa 1 Mikrometer liegen, was zu der Notwendigkeit führt, daß entsprechende Materialaufwerfungen entfernt werden müssen, weil sie die Genauigkeit beeinträchtigen.The removed structures must be in the accuracy of about 1 micron, which leads to the need leads, that corresponding material poses need to be removed because they affect accuracy.
Die Nachbearbeitungsschritte für ein derartig mechanisch bearbeitetes Fluidlager sind also relativ aufwendig, schwierig und erhöhen auch die Herstellungskosten dieses Fluidlagers.The post-processing steps for such a mechanical machined fluid bearings are relatively expensive, difficult and increase also the manufacturing costs of this fluid bearing.
Die
Aus der
Ein ähnliches Verfahren ist in der
Der Artikel von Gregory, Axel R.: „Grundlage neuer Fertigungsverfahren", In: Technische Rundschau 23/91, S. 62-65, betrifft allgemein die Materialbearbeitung mittels Laserstrahlen, und beschreibt unter anderem auch ein gezieltes Abtragen von Material mit einem Laserstrahl, vergleichbar mit dem herkömmlichen Fräsen, zum herausarbeiten einer gewünschte Struktur in der Materialoberfläche.Gregory's article, Axel R .: “Basis of new Manufacturing processes " In: Technische Rundschau 23/91, pp. 62-65, generally concerns the Material processing using laser beams, and describes under also targeted removal of material with a laser beam, comparable to the conventional one milling, to work out a desired one Structure in the material surface.
Eine gezielte und hochgenaue Bearbeitung von Laufoberflächen eines hydrodynamischen Gleitlagers zur Herstellung der oben beschriebenen Strukturen lässt sich mit den bekannten Verfahren nicht ohne weiteres erreichen.A targeted and highly precise processing of running surfaces a hydrodynamic plain bearing for the production of the structures described above let yourself not easily achieved with the known methods.
Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung eines Fluidlagers für Spindelmotoren so weiterzubilden, daß das Verfahren wesentlich einfacher ausgeführt werden kann, so daß die Herstellungskosten eines damit hergestellten Fluidlagers wesentlich verringert werden.The object of the invention is therefore is based on a method for producing a fluid bearing for spindle motors so that the process executed much easier can be so that the Manufacturing costs of a fluid bearing manufactured with it significantly be reduced.
Ebenso hat sich die Erfindung die Aufgabe gestellt, ein nach dem Verfahren hergestelltes Fluidlager für Spindelmotoren möglichst kostengünstig, einfach und betriebssicher auszubilden.Likewise, the invention has the Task given a fluid bearing manufactured by the process for spindle motors preferably inexpensive, simple and provide reliable training.
Zur Lösung der gestellten Aufgabe ist das Verfahren durch die technische Lehre des Anspruches 1 gekennzeichnet. Ein nach dem Verfahren hergestelltes hydrodynamisches Gleitlager ist in Anspruch 14 angegeben.To solve the task the method is characterized by the technical teaching of claim 1. A hydrodynamic plain bearing manufactured using the process is specified in claim 14.
Wesentliche Merkmale der Erfindung sind folgende Verfahrensschritte: Essential features of the invention are the following process steps:
- 1. Hochgenaue Bearbeitung der Lageroberflächen eines Fluidlagers.1. Highly precise machining of the bearing surfaces Fluid bearing.
- 2. Beschichten der hochgenau bearbeiteten Lagerflächen des Fluidlagers mit einer Auftragsschicht.2. Coating the high-precision machined bearing surfaces of the Fluid bearing with an application layer.
- 3. Einbringen der gewünschten Lager- bzw. Oberflächenstrukturen durch stellenweise, kontrollierte Abtragung der Auftragsschicht durch einen energetischen Strahl.3. Introduce the desired Storage or surface structures through controlled, controlled removal of the application layer through an energetic beam.
Wesentliches Merkmal des erfindungsgemäßen Verfahrens ist also, daß man die Lagerstrukturen nicht mehr durch eine mechanische Bearbeitung einbringt, sondern daß man auf die präzise bearbeitete Oberfläche des Lagers zunächst eine im wesentlichen in sich geschlossene Auftragsschicht aufbringt und diese Auftragsschicht dann mit der gewünschten Oberflächenstruktur des späteren Lagers versieht, wobei die Oberflächenstruktur also durch ein partiell angreifendes Abtragverfahren erreicht wird.Essential feature of the method according to the invention is that one the bearing structures no longer through mechanical processing brings in, but that one to the precise machined surface of the camp first applies an essentially self-contained coating layer and this application layer with the desired surface structure of the later Bearing provides, the surface structure by a partially attacking removal process is achieved.
Erfindungsgemäß können räumlich ausgebildete Lagerflächen, die insbesondere im Innenraum eines Hohlzylinders liegen, mittels eines Abtragstrahles so bearbeitet werden, daß sie die gewünschten Konturen für die Lagerung aufweisen. Die Struktur kann aber auch auf dem zylindrischen Gegenstück aufgebracht sein.According to the invention, spatially designed storage areas that in particular in the interior of a hollow cylinder, by means of a Abtragstrahles are processed so that they have the desired contours for the Have storage. The structure can also be on the cylindrical Counterpart applied his.
Das Lager ist dabei direkt oder indirekt am Rotor ausgebildet. Das Aufbringen der Auftragsschicht kann über verschiedene Prozesse erfolgen, insbesondere wird hierbei ein elektrolytisches Auftragen bevorzugt, d. h. im Falle eines aus Aluminium bestehenden Rotors kann eine Auftragsschicht aus einem Eloxal in einem naßchemischen Verfahren aufgebracht werden, wobei in an sich bekannter Weise die Eloxalschicht sowohl auf der Oberfläche des Rotors aufwächst, sich aber auch teilweise in die Oberfläche hinein erstreckt.The camp is direct or indirect formed on the rotor. The application layer can be applied in various ways Processes take place, in particular an electrolytic one Application preferred, i.e. H. in the case of an aluminum one Rotors can apply an anodized coating in a wet chemical Methods are applied, the in a manner known per se Anodized layer grows on both the surface of the rotor itself but also partially extends into the surface.
Es sind jedoch auch andere Auftragsverfahren vorgesehen, insbesondere das Auftragen einer Auftragsschicht durch übliche Beschichtungsverfahren, wie z. B. ein Auftragen mittels Elektronenstrahlen (Sputtern) oder andere, an sich bekannte, Auftragsverfahren. Zusammengefaßt läßt sich das endungsgemäße Verfahren etwa wie folgt wiedergeben.However, there are other order procedures provided, in particular the application of an application layer by conventional coating methods, such as B. application by means of electron beams (sputtering) or other, known per se, order processes. To sum up: the process according to the invention Play something like this.
Die Erfindung kann bei hydrodynamischen Gleitlagern, insbesondere hydrodynamischen Fluid oder Gaslager zur hochpräzisen Drehführung eines elektromotorisch angetriebenen, mit hoher Drehzahl relativ zu einem feststehenden Stator umlaufenden, Rotors (vorzugsweise als Antrieb von Festplatten in HDDs) Verwendung finden. Diese bestehen aus mindestens zwei im wesentlichen rotationssymmetrischen konzentrisch angeordneten Teilen, die miteinander in Wirkverbindung stehen, derart, daß die äußere Hüllfläche des inneren Teils mit der inneren Hüllfläche des äußeren Teils zumindest bereichsweise einen dünnen konzentrischen und/oder koaxialen Spalt bildet, wobei mindestens eine der Hüllflächen – vorzugsweise die des rotierenden Teils – mit einer dreidimensionalen Struktur zur Erzeugung des hydrodynamischen Druckes versehen ist, wobei das zur Herstellung der dreidimensionalen Struktur zunächst die Oberfläche des durch an sich bekannte mechanische Bearbeitungsverfahren wie Drehen, Fräsen, Schleifen o. ä. hergestellten Teils mit einer gleichmäßigen, wieder abtragbaren Schicht konstanter Dicke versehen wird und daß anschließend die gewünschte Struktur durch partielles Abtragen der Schicht, vorzugsweise durch Abtragen mittels Laser, wieder entfernt wird, wobei die Tiefe der so erzeugten Struktur im wesentlichen der Dicke der wiederabtragbaren Schicht entspricht. Die Tiefe der Struktur kann aber auch geringer sein als die Dicke der aufgebrachten Schicht. Vorteilhaft sollte sowohl der Absorbtionsgrad der Schichtoberfläche einerseits, als auch Reflexionsgrad des freigelegten Untergrundes hoch in Bezug auf das verwendete Laserlicht sein.The invention can be used in hydrodynamic plain bearings, in particular hydrodynamic fluid or gas bearings for high-precision rotation of an electric motor driven, at high speed relative to a fixed stator rotating rotor (preferably as drive for hard drives in HDDs) Find use. These essentially consist of at least two rotationally symmetrical concentrically arranged parts that are together are in operative connection such that the outer envelope surface of the inner part with the inner envelope surface of the outer part at least in some areas a thin one concentric and / or coaxial gap forms, at least one of the envelope surfaces - preferably that of the rotating part - with a three-dimensional structure to create the hydrodynamic Pressure is provided, which is used to produce the three-dimensional Structure first the surface the by known mechanical processing methods such Turning, milling, Grinding or similar manufactured part with an even, removable layer constant thickness and then the desired structure by partial removal of the layer, preferably by removal is removed again by means of laser, the depth of the structure thus produced corresponds essentially to the thickness of the redetachable layer. The depth of the structure can also be less than the thickness the applied layer. Both the degree of absorption should be advantageous the layer surface on the one hand, as well as the degree of reflection of the exposed surface be high in terms of the laser light used.
Ferner sollte die Oberfläche der wiederabtragbaren Schicht besonders verschleißfest sein und einen niedrigen Reibwert besitzen.Furthermore, the surface of the re-wearable layer to be particularly wear-resistant and a low Have a coefficient of friction.
In einer bevorzugten Ausführungsform besteht die wiederabtragbare Schicht aus einer DLC-Schicht [DLC steht für Diamond Like Carbon], also eine unter Verwendung von Kohlenwasserstoffgas entstandene, diamantartige Schicht mit überwiegend tetraedrischer Kristallstruktur. Die Abscheidung auf der Oberfläche erfolgt durch an sich bekannte Verfahren, wie z. B. Plasma CVD-Verfahren.In a preferred embodiment the redetachable layer consists of a DLC layer [DLC stands for Diamond Like Carbon], one using hydrocarbon gas resulting, diamond-like layer with predominantly tetrahedral crystal structure. The deposition on the surface is carried out by methods known per se, such as. B. Plasma CVD process.
Als Material für die Auftragsschicht werden deshalb sämtliche Materialien als erfindungswesentlich beansprucht, die für ein strahlgebundenes Abtragverfahren geeignet sind.Therefore, as a material for the application layer all Materials claimed as essential to the invention for a beam-bound Removal processes are suitable.
Das erfindungsgemäße Verfahren ist jedoch nicht auf ein Abtragen der Auftragsschicht mittels eines Lasers beschränkt. Es können auch andere energetische Abtragungsvertahren verwendet werden, wie z. B. die Abtragung mittels eines Elektronenstrahles, eines hochenergetischen Röntgenstrahls, eines Ionenstrahls und dgl. mehr.However, the method according to the invention is not limited to removal of the application layer by means of a laser. It can other energetic ablation procedures can also be used, such as z. B. removal by means of an electron beam, a high-energy X-ray beam, an ion beam and the like.
Die Dicke der Auftragsschicht beträgt hier bevorzugt etwa 3 bis 15 μm.The thickness of the application layer is preferred here about 3 to 15 μm.
Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens ist, daß mit der Verwendung eines hochenergetischen Abtragstrahles es in einfacher Weise möglich ist, nicht nur flächige Lagerflächen zu bearbeiten, sondern auch räumliche Lagerflächen, die insbesondere im Innenraum eines Hohlzylinders liegen, was mit anderen mechanischen Bearbeitungsverfahren nur sehr schwierig und zeitaufwendig möglich war.The advantage of the method according to the invention is that with the use of a high energy abrasive jet to make it easier Way is possible not just flat storage areas to edit, but also spatial Storage areas, which are particularly in the interior of a hollow cylinder, what with other mechanical processing methods very difficult and time consuming possible was.
Dies gilt auch für Kalottenlager, wo auf einer sphärisch gekrümmten Oberfläche ebenfalls die Strukturen mittels des Abtragverfahrens eingebracht werden können. Mechanisch war dies nur sehr schwierig zu bewerkstelligen.This also applies to spherical bearings, where also on a spherically curved surface the structures can be introduced using the removal process. Mechanically it was very difficult to do.
Die Erfindung ist nicht auf eine spezielle Formgebung eines Fluidlagers beschränkt; es können sämtliche, bekannte Formen eines Fluidlagers bearbeitet werden, um eben die gewünschten Strukturen der Oberfläche zu erhalten. Ebenso können verschiedene Auftragungsferfahren zum Auftragen der Auftragschicht angewandt werden wie z.B. Sputtern, Eloxieren, Elektrolyse und dergleichen mehr.The invention is not limited to one limited special shape of a fluid bearing; it can all known forms of a Fluid bearings are processed in order to maintain the desired surface structures. Likewise, different Application procedure applied to apply the application layer like e.g. Sputtering, anodizing, electrolysis and the like more.
Der Erfindungsgegenstand der vorliegenden Erfindung ergibt sich nicht nur aus dem Gegenstand der einzelnen Patentansprüche, sondern auch aus der Kombination der einzelnen Patentansprüche untereinander. Alle in den Unterlagen, einschließlich der Zusammenfassung, offenbarten Angaben und Merkmale, insbesondere die in den Zeichnungen dargestellte räumliche Ausbildung werden als erfindungswesentlich beansprucht, soweit sie einzeln oder in Kombination gegenüber dem Stand der Technik neu sind.The subject of the present invention arises not only from the subject of the individual claims, but also from the combination of the individual claims. All in the documentation, including the summary, Disclosed information and features, especially those shown in the drawings spatial Education are claimed as essential to the invention, insofar as they individually or in combination compared to the prior art are.
Im folgenden wird die Erfindung anhand von mehrere Ausführungswege darstellenden Zeichnungen näher erläutert. Hierbei gehen aus den Zeichnungen und ihrer Beschreibung weitere erfindungswesentliche Merkmale und Vorteile der Erfindung hervor.In the following, the invention will be explained in more detail with reference to drawings showing several possible embodiments. Further features and advantages of the invention which are essential to the invention are derived from the drawings and their description out.
Es zeigen:Show it:
In
In einem weiteren Verfahrensschritt
wird auf diese präzise
gearbeitete Oberfläche
Nachdem also die Auftragsschicht
Selbstverständlich kann diese Lageroberfläche
In der rechten Darstellung nach
Aufgrund der Strahlgeometrie werden
diese Ausnehmungen
Dies bleibt jedoch gleichgültig für die vorliegende
Erfindung, d. h. die Querschnittsform der Ausnehmungen
Mittels des Strahles
Es wird hierbei bevorzugt, wenn die
Tiefe
In
Zur Bildung eines radialen Lagers
kann hierbei über
einander gegenüberliegende
Kanäle
Die vorher erwähnten Ausnehmungen
Hierbei besteht das Fluidlager
Der Rotor
Es sind nun die Lagerflächen für ein radiales Lager
Vorteil dieses Spindellagers nach
- 1.1.
- Rotorrotor
- 2.Second
- Oberflächesurface
- 3.Third
- Auftragsschichtapplication layer
- 4.4th
- Strahlbeam
- 5.5th
- Ausnehmungrecess
- 6.6th
- Statorstator
- 7.7th
- Drehachseaxis of rotation
- 8.8th.
- Strukturstructure
- 9.9th
- Kanalchannel
- 10.10th
- Druckmediumprint media
- 11.11th
- Pfeilrichtungarrow
- 12.12th
- Lageroberflächebearing surface
- 13.13th
- Fluidlagerfluid bearing
- 14.14th
- Fluidlagerfluid bearing
- 15.15th
- Wellewave
- 16.16th
- Grundplattebaseplate
- 17.17th
- Drehrichtungdirection of rotation
- 18.18th
- Wellenflanschshaft flange
- 19.19th
- Ausnehmungrecess
- 20.20th
- Rotorhülserotor sleeve
- 20'20 '
- Vorsprung (Rotor)head Start (Rotor)
- 21.21st
- radiales Lagerradial camp
- 22.22nd
- axiales Lageraxial camp
- 23.23rd
- axiales Lageraxial camp
- 24.24th
- Tiefedepth
- 25.25th
- Grundreason
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Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10237324B4 (en) * | 2002-02-15 | 2006-02-09 | Minebea Co., Ltd. | A method of manufacturing an electrode for the electrochemical machining of a workpiece and an electrode produced by the method |
DE10316940B4 (en) | 2003-04-12 | 2007-05-24 | Minebea Co., Ltd. | Measuring method on an electric motor and measuring device for an electric motor for determining Abhebehöhe and / or axial play |
DE102006020102A1 (en) | 2006-04-29 | 2007-10-31 | Leybold Vacuum Gmbh | Lubricant-free vacuum pump used as a turbo molecular pump comprises a gas bearing surface facing a shaft and/or a gas bearing rotor and having a hard layer |
JP4554714B2 (en) | 2009-02-04 | 2010-09-29 | ファナック株式会社 | Fluid bearing structure and bearing groove creation method |
CN102200169B (en) * | 2010-03-24 | 2013-12-11 | 发那科株式会社 | Fluid bearing structure and method for forming bearing concaves of fluid bearing structure |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4316012A1 (en) * | 1993-05-13 | 1994-11-17 | Gehring Gmbh & Co Maschf | Process for finishing workpiece surfaces |
DE4403340A1 (en) * | 1994-02-03 | 1995-08-10 | Heinzl Joachim | Method for producing at least one micro nozzle of an aerostatic bearing |
DE19809367A1 (en) * | 1998-03-05 | 1999-09-09 | Nagel Masch Werkzeug | Precision machining method for i.c. engine piston sleeve |
-
1999
- 1999-10-20 DE DE19950463A patent/DE19950463B4/en not_active Expired - Fee Related
-
2000
- 2000-10-18 JP JP2000317314A patent/JP2001159426A/en active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4316012A1 (en) * | 1993-05-13 | 1994-11-17 | Gehring Gmbh & Co Maschf | Process for finishing workpiece surfaces |
DE4403340A1 (en) * | 1994-02-03 | 1995-08-10 | Heinzl Joachim | Method for producing at least one micro nozzle of an aerostatic bearing |
DE19809367A1 (en) * | 1998-03-05 | 1999-09-09 | Nagel Masch Werkzeug | Precision machining method for i.c. engine piston sleeve |
Non-Patent Citations (5)
Title |
---|
GREGORY,Axel R.: Grundlage neuer Fertigungsver- fahren. In: Technische Rundschau 23/91, S.62-65 * |
KAHLERT,H.-J.: Materialabtragung und Oberflächen- modifikation mit Excimerlasern. In: Technica, 18, 1988, S.57-60 * |
PAUL,Heinrich, WISSENBACH,Konrad: Lasertechnolo- gien zur Oberflächenbehandlung von verschleiß- beanspruchten Maschinenbauteilen. In: Stahl und Eisen 14, 1994, Nr.1, S.39-42 * |
RÖHRLE,Manfred D.: Mit dem Laser den Ölverbrauch senken. In: Technica 22/97, S.19 * |
SCHÜRMANN,Hans: Lasercaving. In: Industrie- Anzeiger 84, 1989, S.40 * |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001159426A (en) | 2001-06-12 |
DE19950463A1 (en) | 2001-05-10 |
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