DE19950463B4 - Method for producing a hydrodynamic plain bearing for a spindle motor and a hydrodynamic plain bearing produced using the method - Google Patents

Method for producing a hydrodynamic plain bearing for a spindle motor and a hydrodynamic plain bearing produced using the method Download PDF

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Abstract

Verfahren zur Herstellung eines hydrodynamischen Gleitlagers für einen Spindelmotor zur präzisen Drehführung eines elektromotorisch angetriebenen, mit hoher Drehzahl relativ zu einem feststehenden Stator umlaufenden Rotors, bestehend aus mindestens zwei im wesentlichen rotationssymmetrischen konzentrisch angeordneten Teilen, die miteinander in Wirkverbindung stehen, derart, daß die äußere Hüllfläche des inneren Teils mit der inneren Hüllfläche des äußeren Teils zumindest bereichsweise einen dünnen konzentrischen und/oder koaxialen Spalt bildet, wobei mindestens eine der Hüllflächen – vorzugsweise die des rotierenden Teils – mit einer dreidimensionalen Struktur zur Erzeugung des hydrodynamischen Druckes versehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß zur Herstellung der dreidimensionalen Struktur (8) zunächst die Oberfläche (2) des Lagers mit einer gleichmäßigen, wiederabtragbaren Auftragsschicht (3) konstanter Dicke versehen wird, und daß anschließend die gewünschte Struktur durch partielles Abtragen der Auftragsschicht (3) mittels gebündelter Strahlung (4) zumindest teilweise wieder entfernt wird.Method for producing a hydrodynamic plain bearing for a spindle motor for the precise rotation of an electromotively driven rotor rotating at high speed relative to a fixed stator, consisting of at least two essentially rotationally symmetrical concentrically arranged parts which are operatively connected to one another, such that the outer envelope surface of the inner part with the inner envelope surface of the outer part at least in regions forms a thin concentric and / or coaxial gap, at least one of the envelope surfaces - preferably that of the rotating part - being provided with a three-dimensional structure for generating the hydrodynamic pressure, characterized in that To produce the three-dimensional structure (8), the surface (2) of the bearing is first provided with a uniform, re-removable application layer (3) of constant thickness, and then that which is desired e structure is at least partially removed by partial removal of the application layer (3) by means of focused radiation (4).

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Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines hydrodynamischen Gleitlagers für einen Spindelmotor nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1. Derartige Lager werden für schnelldrehende Festplattenspeicher verwendet. Es handelt sich also um Miniaturlager für den Einsatz bei hohen Drehzahlen.The invention relates to a method for the production of a hydrodynamic plain bearing for one Spindle motor according to the preamble of claim 1. Such Camps for fast spinning disk space used. So it's about to miniature bearings for use at high speeds.

Die vorliegende Erfindung beschäftigt sich mit der vereinfachten Herstellung eines Fluidlagers für derartige Spindelmotoren. Es ist hierbei bekannt, ein Fluidlager mit einem flüssigen oder einem gasförmigen Medium zu betreiben, wofür allgemein der Begriff „Fluid" verwendet wird.The present invention is concerned with the simplified manufacture of a fluid bearing for such Spindle motors. It is known here to have a fluid bearing liquid or a gaseous one To operate medium for what generally the term "fluid" is used.

Bisher ist es bekannt, die Lageroberflächen derartiger Fluidlager in einem relativ aufwendigem Verfahren zu bearbeiten, wobei insbesondere ein- oder mehrere Läpp-Prozesse verwendet werden oder – sofern es sich um Hohllager handelt, wird auch ein entsprechendes Hon-Verfahren verwendet.So far it is known, the bearing surfaces of such To process fluid bearings in a relatively complex process, in particular one or more lapping processes are used or - if so it is a hollow bearing, a corresponding honing process used.

Bei derartigen Fluidlagern ist es bekannt, Strukturen in die Lageroberflächen einzubringen, um die Trageigenschaften dieser Lager zu gewährleisten. Eine solches Gleitlager ist aus der nachveröffentlichten DE 198 23 630 A1 bekannt. Die Einbringung derartiger Strukturen erfolgt durch mechanisches Abtragen von Material von der präzise bearbeiteten Oberfläche oder durch plastisches Einformen, wobei also über Verdrängungsprozesse das Material im Bereich der Struktur verdrängt wird.With such fluid bearings, it is known to introduce structures into the bearing surfaces in order to ensure the bearing properties of these bearings. Such a plain bearing is from the post-published DE 198 23 630 A1 known. Structures of this type are introduced by mechanical removal of material from the precisely machined surface or by plastic molding, so that the material in the area of the structure is displaced by displacement processes.

Nachteil der mechanischen Bearbeitungsprozesse ist jedoch, daß wegen der Verdrängung von Material bzw. der mechanischen Abtragung es auch zu Materialaufwerfungen im bearbeiteten Kantenbereich kommt, wobei diese Aufwertungen dann relativ aufwendig wieder entfernt werden müssen.Disadvantage of mechanical machining processes is that because of of repression of material or mechanical abrasion it also leads to material accretion comes in the machined edge area, these upgrades then have to be removed relatively expensive.

Die abgetragenen Strukturen müssen nämlich in der Genauigkeit von etwa 1 Mikrometer liegen, was zu der Notwendigkeit führt, daß entsprechende Materialaufwerfungen entfernt werden müssen, weil sie die Genauigkeit beeinträchtigen.The removed structures must be in the accuracy of about 1 micron, which leads to the need leads, that corresponding material poses need to be removed because they affect accuracy.

Die Nachbearbeitungsschritte für ein derartig mechanisch bearbeitetes Fluidlager sind also relativ aufwendig, schwierig und erhöhen auch die Herstellungskosten dieses Fluidlagers.The post-processing steps for such a mechanical machined fluid bearings are relatively expensive, difficult and increase also the manufacturing costs of this fluid bearing.

Die DE 44 03 340 A1 offenbart ein Verfahren zum Herstellen von Mikrodüsen in einer Oberfläche eines aerostatischen Lagers. Hierbei werden mittels eines Lasers Löcher in ein verdichtetes und/oder beschichtetes Sintermaterial eingebracht.The DE 44 03 340 A1 discloses a method of making micro nozzles in a surface of an aerostatic bearing. Here, holes are made in a compressed and / or coated sintered material by means of a laser.

Aus der DE 198 09 367 A1 ist ein Verfahren zur Feinbearbeitung von Kolbenlaufbahnen von z.B. Verbrennungsmotoren bekannt, bei dem mittels Laseroder Wasserstrahl Vertiefungen unregelmäßig verteilt in der Oberfläche der Kolbenlaufbahn eingebracht werden. In diesen Vertiefungen können sich Öltröpfchen ablagern, um eine Schmierung des Kolbens während des Betriebes zu verbessern.From the DE 198 09 367 A1 A method for the fine machining of piston raceways of, for example, internal combustion engines is known, in which indentations are irregularly distributed in the surface of the piston raceway by means of laser or water jet. Oil droplets can be deposited in these depressions in order to improve lubrication of the piston during operation.

Ein ähnliches Verfahren ist in der DE 43 16 012 A1 beschrieben. In eine Werkstück-Oberfläche, zum Beispiel eine Kolbenlaufbahn, werden durch Strahlbehandlung mittels Laser Riefen oder Rillen eingebracht.A similar procedure is in the DE 43 16 012 A1 described. Grooves or grooves are made in a workpiece surface, for example a piston raceway, by means of laser beam treatment.

Der Artikel von Gregory, Axel R.: „Grundlage neuer Fertigungsverfahren", In: Technische Rundschau 23/91, S. 62-65, betrifft allgemein die Materialbearbeitung mittels Laserstrahlen, und beschreibt unter anderem auch ein gezieltes Abtragen von Material mit einem Laserstrahl, vergleichbar mit dem herkömmlichen Fräsen, zum herausarbeiten einer gewünschte Struktur in der Materialoberfläche.Gregory's article, Axel R .: “Basis of new Manufacturing processes " In: Technische Rundschau 23/91, pp. 62-65, generally concerns the Material processing using laser beams, and describes under also targeted removal of material with a laser beam, comparable to the conventional one milling, to work out a desired one Structure in the material surface.

Eine gezielte und hochgenaue Bearbeitung von Laufoberflächen eines hydrodynamischen Gleitlagers zur Herstellung der oben beschriebenen Strukturen lässt sich mit den bekannten Verfahren nicht ohne weiteres erreichen.A targeted and highly precise processing of running surfaces a hydrodynamic plain bearing for the production of the structures described above let yourself not easily achieved with the known methods.

Der Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung eines Fluidlagers für Spindelmotoren so weiterzubilden, daß das Verfahren wesentlich einfacher ausgeführt werden kann, so daß die Herstellungskosten eines damit hergestellten Fluidlagers wesentlich verringert werden.The object of the invention is therefore is based on a method for producing a fluid bearing for spindle motors so that the process executed much easier can be so that the Manufacturing costs of a fluid bearing manufactured with it significantly be reduced.

Ebenso hat sich die Erfindung die Aufgabe gestellt, ein nach dem Verfahren hergestelltes Fluidlager für Spindelmotoren möglichst kostengünstig, einfach und betriebssicher auszubilden.Likewise, the invention has the Task given a fluid bearing manufactured by the process for spindle motors preferably inexpensive, simple and provide reliable training.

Zur Lösung der gestellten Aufgabe ist das Verfahren durch die technische Lehre des Anspruches 1 gekennzeichnet. Ein nach dem Verfahren hergestelltes hydrodynamisches Gleitlager ist in Anspruch 14 angegeben.To solve the task the method is characterized by the technical teaching of claim 1. A hydrodynamic plain bearing manufactured using the process is specified in claim 14.

Wesentliche Merkmale der Erfindung sind folgende Verfahrensschritte: Essential features of the invention are the following process steps:

  • 1. Hochgenaue Bearbeitung der Lageroberflächen eines Fluidlagers.1. Highly precise machining of the bearing surfaces Fluid bearing.
  • 2. Beschichten der hochgenau bearbeiteten Lagerflächen des Fluidlagers mit einer Auftragsschicht.2. Coating the high-precision machined bearing surfaces of the Fluid bearing with an application layer.
  • 3. Einbringen der gewünschten Lager- bzw. Oberflächenstrukturen durch stellenweise, kontrollierte Abtragung der Auftragsschicht durch einen energetischen Strahl.3. Introduce the desired Storage or surface structures through controlled, controlled removal of the application layer through an energetic beam.

Wesentliches Merkmal des erfindungsgemäßen Verfahrens ist also, daß man die Lagerstrukturen nicht mehr durch eine mechanische Bearbeitung einbringt, sondern daß man auf die präzise bearbeitete Oberfläche des Lagers zunächst eine im wesentlichen in sich geschlossene Auftragsschicht aufbringt und diese Auftragsschicht dann mit der gewünschten Oberflächenstruktur des späteren Lagers versieht, wobei die Oberflächenstruktur also durch ein partiell angreifendes Abtragverfahren erreicht wird.Essential feature of the method according to the invention is that one the bearing structures no longer through mechanical processing brings in, but that one to the precise machined surface of the camp first applies an essentially self-contained coating layer and this application layer with the desired surface structure of the later Bearing provides, the surface structure by a partially attacking removal process is achieved.

Erfindungsgemäß können räumlich ausgebildete Lagerflächen, die insbesondere im Innenraum eines Hohlzylinders liegen, mittels eines Abtragstrahles so bearbeitet werden, daß sie die gewünschten Konturen für die Lagerung aufweisen. Die Struktur kann aber auch auf dem zylindrischen Gegenstück aufgebracht sein.According to the invention, spatially designed storage areas that in particular in the interior of a hollow cylinder, by means of a Abtragstrahles are processed so that they have the desired contours for the Have storage. The structure can also be on the cylindrical Counterpart applied his.

Das Lager ist dabei direkt oder indirekt am Rotor ausgebildet. Das Aufbringen der Auftragsschicht kann über verschiedene Prozesse erfolgen, insbesondere wird hierbei ein elektrolytisches Auftragen bevorzugt, d. h. im Falle eines aus Aluminium bestehenden Rotors kann eine Auftragsschicht aus einem Eloxal in einem naßchemischen Verfahren aufgebracht werden, wobei in an sich bekannter Weise die Eloxalschicht sowohl auf der Oberfläche des Rotors aufwächst, sich aber auch teilweise in die Oberfläche hinein erstreckt.The camp is direct or indirect formed on the rotor. The application layer can be applied in various ways Processes take place, in particular an electrolytic one Application preferred, i.e. H. in the case of an aluminum one Rotors can apply an anodized coating in a wet chemical Methods are applied, the in a manner known per se Anodized layer grows on both the surface of the rotor itself but also partially extends into the surface.

Es sind jedoch auch andere Auftragsverfahren vorgesehen, insbesondere das Auftragen einer Auftragsschicht durch übliche Beschichtungsverfahren, wie z. B. ein Auftragen mittels Elektronenstrahlen (Sputtern) oder andere, an sich bekannte, Auftragsverfahren. Zusammengefaßt läßt sich das endungsgemäße Verfahren etwa wie folgt wiedergeben.However, there are other order procedures provided, in particular the application of an application layer by conventional coating methods, such as B. application by means of electron beams (sputtering) or other, known per se, order processes. To sum up: the process according to the invention Play something like this.

Die Erfindung kann bei hydrodynamischen Gleitlagern, insbesondere hydrodynamischen Fluid oder Gaslager zur hochpräzisen Drehführung eines elektromotorisch angetriebenen, mit hoher Drehzahl relativ zu einem feststehenden Stator umlaufenden, Rotors (vorzugsweise als Antrieb von Festplatten in HDDs) Verwendung finden. Diese bestehen aus mindestens zwei im wesentlichen rotationssymmetrischen konzentrisch angeordneten Teilen, die miteinander in Wirkverbindung stehen, derart, daß die äußere Hüllfläche des inneren Teils mit der inneren Hüllfläche des äußeren Teils zumindest bereichsweise einen dünnen konzentrischen und/oder koaxialen Spalt bildet, wobei mindestens eine der Hüllflächen – vorzugsweise die des rotierenden Teils – mit einer dreidimensionalen Struktur zur Erzeugung des hydrodynamischen Druckes versehen ist, wobei das zur Herstellung der dreidimensionalen Struktur zunächst die Oberfläche des durch an sich bekannte mechanische Bearbeitungsverfahren wie Drehen, Fräsen, Schleifen o. ä. hergestellten Teils mit einer gleichmäßigen, wieder abtragbaren Schicht konstanter Dicke versehen wird und daß anschließend die gewünschte Struktur durch partielles Abtragen der Schicht, vorzugsweise durch Abtragen mittels Laser, wieder entfernt wird, wobei die Tiefe der so erzeugten Struktur im wesentlichen der Dicke der wiederabtragbaren Schicht entspricht. Die Tiefe der Struktur kann aber auch geringer sein als die Dicke der aufgebrachten Schicht. Vorteilhaft sollte sowohl der Absorbtionsgrad der Schichtoberfläche einerseits, als auch Reflexionsgrad des freigelegten Untergrundes hoch in Bezug auf das verwendete Laserlicht sein.The invention can be used in hydrodynamic plain bearings, in particular hydrodynamic fluid or gas bearings for high-precision rotation of an electric motor driven, at high speed relative to a fixed stator rotating rotor (preferably as drive for hard drives in HDDs) Find use. These essentially consist of at least two rotationally symmetrical concentrically arranged parts that are together are in operative connection such that the outer envelope surface of the inner part with the inner envelope surface of the outer part at least in some areas a thin one concentric and / or coaxial gap forms, at least one of the envelope surfaces - preferably that of the rotating part - with a three-dimensional structure to create the hydrodynamic Pressure is provided, which is used to produce the three-dimensional Structure first the surface the by known mechanical processing methods such Turning, milling, Grinding or similar manufactured part with an even, removable layer constant thickness and then the desired structure by partial removal of the layer, preferably by removal is removed again by means of laser, the depth of the structure thus produced corresponds essentially to the thickness of the redetachable layer. The depth of the structure can also be less than the thickness the applied layer. Both the degree of absorption should be advantageous the layer surface on the one hand, as well as the degree of reflection of the exposed surface be high in terms of the laser light used.

Ferner sollte die Oberfläche der wiederabtragbaren Schicht besonders verschleißfest sein und einen niedrigen Reibwert besitzen.Furthermore, the surface of the re-wearable layer to be particularly wear-resistant and a low Have a coefficient of friction.

In einer bevorzugten Ausführungsform besteht die wiederabtragbare Schicht aus einer DLC-Schicht [DLC steht für Diamond Like Carbon], also eine unter Verwendung von Kohlenwasserstoffgas entstandene, diamantartige Schicht mit überwiegend tetraedrischer Kristallstruktur. Die Abscheidung auf der Oberfläche erfolgt durch an sich bekannte Verfahren, wie z. B. Plasma CVD-Verfahren.In a preferred embodiment the redetachable layer consists of a DLC layer [DLC stands for Diamond Like Carbon], one using hydrocarbon gas resulting, diamond-like layer with predominantly tetrahedral crystal structure. The deposition on the surface is carried out by methods known per se, such as. B. Plasma CVD process.

Als Material für die Auftragsschicht werden deshalb sämtliche Materialien als erfindungswesentlich beansprucht, die für ein strahlgebundenes Abtragverfahren geeignet sind.Therefore, as a material for the application layer all Materials claimed as essential to the invention for a beam-bound Removal processes are suitable.

Das erfindungsgemäße Verfahren ist jedoch nicht auf ein Abtragen der Auftragsschicht mittels eines Lasers beschränkt. Es können auch andere energetische Abtragungsvertahren verwendet werden, wie z. B. die Abtragung mittels eines Elektronenstrahles, eines hochenergetischen Röntgenstrahls, eines Ionenstrahls und dgl. mehr.However, the method according to the invention is not limited to removal of the application layer by means of a laser. It can other energetic ablation procedures can also be used, such as z. B. removal by means of an electron beam, a high-energy X-ray beam, an ion beam and the like.

Die Dicke der Auftragsschicht beträgt hier bevorzugt etwa 3 bis 15 μm.The thickness of the application layer is preferred here about 3 to 15 μm.

Vorteil des erfindungsgemäßen Verfahrens ist, daß mit der Verwendung eines hochenergetischen Abtragstrahles es in einfacher Weise möglich ist, nicht nur flächige Lagerflächen zu bearbeiten, sondern auch räumliche Lagerflächen, die insbesondere im Innenraum eines Hohlzylinders liegen, was mit anderen mechanischen Bearbeitungsverfahren nur sehr schwierig und zeitaufwendig möglich war.The advantage of the method according to the invention is that with the use of a high energy abrasive jet to make it easier Way is possible not just flat storage areas to edit, but also spatial Storage areas, which are particularly in the interior of a hollow cylinder, what with other mechanical processing methods very difficult and time consuming possible was.

Dies gilt auch für Kalottenlager, wo auf einer sphärisch gekrümmten Oberfläche ebenfalls die Strukturen mittels des Abtragverfahrens eingebracht werden können. Mechanisch war dies nur sehr schwierig zu bewerkstelligen.This also applies to spherical bearings, where also on a spherically curved surface the structures can be introduced using the removal process. Mechanically it was very difficult to do.

Die Erfindung ist nicht auf eine spezielle Formgebung eines Fluidlagers beschränkt; es können sämtliche, bekannte Formen eines Fluidlagers bearbeitet werden, um eben die gewünschten Strukturen der Oberfläche zu erhalten. Ebenso können verschiedene Auftragungsferfahren zum Auftragen der Auftragschicht angewandt werden wie z.B. Sputtern, Eloxieren, Elektrolyse und dergleichen mehr.The invention is not limited to one limited special shape of a fluid bearing; it can all known forms of a Fluid bearings are processed in order to maintain the desired surface structures. Likewise, different Application procedure applied to apply the application layer like e.g. Sputtering, anodizing, electrolysis and the like more.

Der Erfindungsgegenstand der vorliegenden Erfindung ergibt sich nicht nur aus dem Gegenstand der einzelnen Patentansprüche, sondern auch aus der Kombination der einzelnen Patentansprüche untereinander. Alle in den Unterlagen, einschließlich der Zusammenfassung, offenbarten Angaben und Merkmale, insbesondere die in den Zeichnungen dargestellte räumliche Ausbildung werden als erfindungswesentlich beansprucht, soweit sie einzeln oder in Kombination gegenüber dem Stand der Technik neu sind.The subject of the present invention arises not only from the subject of the individual claims, but also from the combination of the individual claims. All in the documentation, including the summary, Disclosed information and features, especially those shown in the drawings spatial Education are claimed as essential to the invention, insofar as they individually or in combination compared to the prior art are.

Im folgenden wird die Erfindung anhand von mehrere Ausführungswege darstellenden Zeichnungen näher erläutert. Hierbei gehen aus den Zeichnungen und ihrer Beschreibung weitere erfindungswesentliche Merkmale und Vorteile der Erfindung hervor.In the following, the invention will be explained in more detail with reference to drawings showing several possible embodiments. Further features and advantages of the invention which are essential to the invention are derived from the drawings and their description out.

Es zeigen:Show it:

1: Stark vergrößerter Schnitt durch einen Rotor mit einer Auftragsschicht in zwei verschiedenen Verfahrenszuständen; 1 : Much enlarged section through a rotor with an application layer in two different process states;

2: Ein Luftlager mit einem Rotor nach 1; 2 : An air bearing with a rotor behind 1 ;

3: Eine andere Ausführungsform eines Fluidlagers. 3 : Another embodiment of a fluid bearing.

In 1 ist schematisiert und stark vergrößert ein Rotor 1 dargestellt, der zunächst wie aus dem linken Teil der Darstellung nach 1 ersichtlich eine glatte und hochgenau bearbeitete Oberfläche aufweist. Anzumerken ist dabei, daß die Darstellungen in den Figuren nicht zwingend maßstabsgetreu sind, sondern daß die Ausführungen lediglich prinzipielle Darstellungen widerspiegeln.In 1 is a schematic and greatly enlarged a rotor 1 shown, initially as from the left part of the illustration 1 evidently has a smooth and precisely machined surface. It should be noted here that the representations in the figures are not necessarily true to scale, but that the explanations merely reflect basic representations.

In einem weiteren Verfahrensschritt wird auf diese präzise gearbeitete Oberfläche 2 eine Auftragsschicht 3 aufgebracht, die bevorzugt als Eloxalschicht aufgebracht wird. Die Aufbringung als Eloxalschicht in einem elektrochemischen Verfahren hat den. Vorteil, daß die Schichtdicke (Tiefe 24) dieser Auftragsschicht 3 über die Oberfläche 2 des Rotors 1 relativ genau gesteuert werden kann, so daß also ein Aufbringen einer Eloxalschicht einer nachträglichen Aufbringung z. B. über eine Pulverbeschichtung wesentlich überlegen ist. Es ist nicht erfindungswesentlich wie diese Eloxalschicht (Auftragsschicht 3) aufgebracht wird.In a further process step, this precisely machined surface is applied 2 an order shift 3 applied, which is preferably applied as an anodized layer. The application as an anodized layer in an electrochemical process has the. Advantage that the layer thickness (depth 24 ) this order shift 3 over the surface 2 of the rotor 1 can be controlled relatively precisely, so that an application of an anodized layer of a subsequent application z. B. is significantly superior to a powder coating. It is not essential to the invention like this anodized layer (application layer 3 ) is applied.

Nachdem also die Auftragsschicht 3 aufgebracht ist, bildet sie an ihrer Oberfläche die spätere Lageroberfläche 12.So after the job shift 3 is applied, it forms the later storage surface on its surface 12 ,

Selbstverständlich kann diese Lageroberfläche 12 noch nachträglich behandelt werden, indem noch zusätzliche Härtungs- und oder Beschichtungsprozesse stattfinden.Of course, this storage surface 12 can be treated afterwards by additional hardening and coating processes.

In der rechten Darstellung nach 1 ist ein weiterer Verfahrensschritt dargestellt, bei dem mittels eines hochenergetischen Strahles 4 (z. B. einem Laserstrahl) Ausnehmungen 5 in die Auftragsschicht 3 eingearbeitet werden.In the illustration on the right 1 Another process step is shown, in which by means of a high-energy beam 4 (e.g. a laser beam) recesses 5 in the order shift 3 be incorporated.

Aufgrund der Strahlgeometrie werden diese Ausnehmungen 5 leicht konisch und nach oben hin geöffnet.These recesses are due to the beam geometry 5 slightly conical and open at the top.

Dies bleibt jedoch gleichgültig für die vorliegende Erfindung, d. h. die Querschnittsform der Ausnehmungen 5 ist hierbei beliebig und es werden insbesondere zueinander parallele Wandungen der Ausnehmungen 5 bevorzugt.However, this remains indifferent to the present invention, ie the cross-sectional shape of the recesses 5 is arbitrary here and in particular mutually parallel walls of the recesses 5 prefers.

Mittels des Strahles 4 wird die Auftragsschicht 3 also lokal entfernt, so daß sich die Ausnehmungen 5 bilden.By means of the beam 4 becomes the job shift 3 So locally removed, so that the recesses 5 form.

Es wird hierbei bevorzugt, wenn die Tiefe 24 der Ausnehmungen 5 bis auf die Oberfläche 2 des Rotors 1 reicht. Hierbei kommt dann die reflektierende Oberfläche 2 des Rotors 1 am Grund 25 der Ausnehmung 5 zum Vorschein, wobei dann der Abtragungsprozeß beendet wird.It is preferred if the depth 24 of the recesses 5 to the surface 2 of the rotor 1 enough. Here comes the reflective surface 2 of the rotor 1 at the bottom 25 the recess 5 to the surface, in which case the removal process is ended.

In 2 ist als Beispiel ein Fluidlager 13 dargestellt, welches aus einem Rotor 1 besteht, der in der Drehachse 7 drehbar ausgebildet ist und bspw. in Drehrichtung 17 in einer Ausnehmung eines feststehenden Stators 6 dreht. In 2 is a fluid bearing as an example 13 shown, which consists of a rotor 1 exists in the axis of rotation 7 is rotatable and, for example. In the direction of rotation 17 in a recess of a fixed stator 6 rotates.

Zur Bildung eines radialen Lagers kann hierbei über einander gegenüberliegende Kanäle 9 ein Druckmedium 10 eingeführt werden, welches sich in den Pfeilrichtungen 11 an den Lageroberflächen 12 des Rotors 1 verteilt.To form a radial bearing, channels can be arranged opposite each other 9 a print medium 10 be introduced, which is in the direction of the arrow 11 on the bearing surfaces 12 of the rotor 1 distributed.

Die vorher erwähnten Ausnehmungen 5 bilden nun Strukturen 8 auf der Lageroberfläche 12 des Rotors 1 und sind mit dem vorher beschriebenen Verfahren erzeugt.The aforementioned recesses 5 now form structures 8th on the bearing surface 12 of the rotor 1 and are generated using the previously described method.

3 zeigt eine andere Ausführungsform eines Fluidlagers in einer Anwendung als Spindellager für Festplattenspeicher. 3 shows another embodiment of a fluid bearing in an application as a spindle bearing for hard disk storage.

Hierbei besteht das Fluidlager 14 aus einer feststehenden Welle 15, die auf einer Grundplatte 16 befestigt ist. Die feststehende Welle 15 geht an ihrem oberen Ende in einen Wellenflansch 18 vergrößerten Durchmessers über.Here is the fluid bearing 14 from a fixed shaft 15 that on a base plate 16 is attached. The fixed wave 15 goes into a shaft flange at its upper end 18 enlarged diameter over.

Der Rotor 1 ist als Körper mit einer zur Rotationsachse 7 konzentrischen Öffnung ausgebildet, wobei der Öffnungsdurchmesser im unteren Bereich kleiner ist und dadurch einen Vorsprung 20' bildet. Dieser Vorsprung kann einstückig integraler Bestandteil des Rotors 1 sein oder als durch eine zusätzlich in eine Rotoröffnung mit durchgehend gleichem Öffnungsdurchmesser eingebrachte Rotorhülse 20 ausgestaltet sein.The rotor 1 is as a body with one to the axis of rotation 7 concentric opening, the opening diameter is smaller in the lower region and thereby a projection 20 ' forms. This projection can be an integral part of the rotor 1 or as a rotor sleeve additionally introduced into a rotor opening with the same opening diameter throughout 20 be designed.

Es sind nun die Lagerflächen für ein radiales Lager 21 und für axiale Lager 22, 23 in Form von Ausnehmungen 5 wiederum an den rotierenden Teilen angeordnet, wodurch sich wiederum die Strukturen 8 ausbilden, die mit dem vorher beschriebenen Abtragungsverfahren hergestellt wurden.There are now the bearing surfaces for a radial bearing 21 and for axial bearings 22 . 23 in the form of recesses 5 again arranged on the rotating parts, which in turn changes the structures 8th train, which were produced with the ablation process described above.

Vorteil dieses Spindellagers nach 3 ist, daß sowohl ein radiales als auch zwei axiale Lager 22, 23 durch einfache Einbringung der Ausnehmungen 5 an den rotierenden Lagerflächen vorgesehen sind und daß hiermit ein hochtragfähiges und hohe Drehzahlen bewältigendes Spindellager geschaffen wird.Advantage of this spindle bearing 3 is that both a radial and two axial bearings 22 . 23 by simply making the recesses 5 are provided on the rotating bearing surfaces and that a spindle bearing with high load-bearing capacity and high speeds is hereby created.

1.1.
Rotorrotor
2.Second
Oberflächesurface
3.Third
Auftragsschichtapplication layer
4.4th
Strahlbeam
5.5th
Ausnehmungrecess
6.6th
Statorstator
7.7th
Drehachseaxis of rotation
8.8th.
Strukturstructure
9.9th
Kanalchannel
10.10th
Druckmediumprint media
11.11th
Pfeilrichtungarrow
12.12th
Lageroberflächebearing surface
13.13th
Fluidlagerfluid bearing
14.14th
Fluidlagerfluid bearing
15.15th
Wellewave
16.16th
Grundplattebaseplate
17.17th
Drehrichtungdirection of rotation
18.18th
Wellenflanschshaft flange
19.19th
Ausnehmungrecess
20.20th
Rotorhülserotor sleeve
20'20 '
Vorsprung (Rotor)head Start (Rotor)
21.21st
radiales Lagerradial camp
22.22nd
axiales Lageraxial camp
23.23rd
axiales Lageraxial camp
24.24th
Tiefedepth
25.25th
Grundreason

Claims (14)

Verfahren zur Herstellung eines hydrodynamischen Gleitlagers für einen Spindelmotor zur präzisen Drehführung eines elektromotorisch angetriebenen, mit hoher Drehzahl relativ zu einem feststehenden Stator umlaufenden Rotors, bestehend aus mindestens zwei im wesentlichen rotationssymmetrischen konzentrisch angeordneten Teilen, die miteinander in Wirkverbindung stehen, derart, daß die äußere Hüllfläche des inneren Teils mit der inneren Hüllfläche des äußeren Teils zumindest bereichsweise einen dünnen konzentrischen und/oder koaxialen Spalt bildet, wobei mindestens eine der Hüllflächen – vorzugsweise die des rotierenden Teils – mit einer dreidimensionalen Struktur zur Erzeugung des hydrodynamischen Druckes versehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß zur Herstellung der dreidimensionalen Struktur (8) zunächst die Oberfläche (2) des Lagers mit einer gleichmäßigen, wiederabtragbaren Auftragsschicht (3) konstanter Dicke versehen wird, und daß anschließend die gewünschte Struktur durch partielles Abtragen der Auftragsschicht (3) mittels gebündelter Strahlung (4) zumindest teilweise wieder entfernt wird.Method for producing a hydrodynamic plain bearing for a spindle motor for the precise rotation of an electromotively driven rotor rotating at high speed relative to a fixed stator, consisting of at least two essentially rotationally symmetrical concentrically arranged parts which are operatively connected to one another, such that the outer envelope surface of the inner part with the inner envelope surface of the outer part at least in regions forms a thin concentric and / or coaxial gap, at least one of the envelope surfaces - preferably that of the rotating part - being provided with a three-dimensional structure for generating the hydrodynamic pressure, characterized in that to produce the three-dimensional structure ( 8th ) first the surface ( 2 ) of the warehouse with an even, re-removable application layer ( 3 ) of constant thickness, and that the desired structure is then removed by partially removing the application layer ( 3 ) by means of focused radiation ( 4 ) is at least partially removed. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Tiefe der so erzeugten Struktur (8) im wesentlichen der Dicke der wiederabtragbaren Auftragsschicht (3) entspricht.A method according to claim 1, characterized in that the depth of the structure thus produced ( 8th ) essentially the thickness of the re-removable application layer ( 3 ) corresponds. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Tiefe der so erzeugten Struktur (8) kleiner als die Auftragsschicht (3) ist.A method according to claim 1, characterized in that the depth of the structure thus produced ( 8th ) smaller than the order layer ( 3 ) is. Verfahren nach einem der vorigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß räumlich ausgebildete Lagerflächen, die insbesondere im Innenraum eines Hohlzylinders liegen, mittels Abtragstrahles (4) so bearbeitet werden, daß sie die gewünschten Konturen für die Lagerung aufweisen.Method according to one of the preceding claims, characterized in that spatially designed bearing surfaces, which are in particular in the interior of a hollow cylinder, by means of a removal jet ( 4 ) are processed so that they have the desired contours for storage. Verfahren nach einem der vorigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß auf Kalottenlager mit sphärisch gekrümmten Oberflächen die Strukturen für die Lagerung mittels des Abtragstrahles (4) eingebracht werden können.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the structures for storage by means of the removal jet (on spherical bearings with spherically curved surfaces) 4 ) can be introduced. Verfahren nach einem der vorigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß lokal eine kontrollierte Abtragung der Auftragsschicht (3) durch einen Laserstrahl mit Einbringung der gewünschten Lagerstrukturen erfolgt.Method according to one of the preceding claims, characterized in that locally controlled removal of the application layer ( 3 ) by a laser beam with the introduction of the desired bearing structures. Verfahren nach einem der vorigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß lokal eine kontrollierte Abtragung der Auftragsschicht (3) durch einen Elektronenstrahl mit Einbringung der gewünschten Lagerstrukturen erfolgt.Method according to one of the preceding claims, characterized in that locally controlled removal of the application layer ( 3 ) by an electron beam with the introduction of the desired bearing structures. Verfahren nach einem der vorigen Ansprüche; dadurch gekennzeichnet, daß lokal eine kontrollierte Abtragung der Auftragsschicht (3) durch einen Ionenstrahl mit Einbringung der gewünschten Lagerstrukturen erfolgt.Method according to one of the preceding claims; characterized in that locally controlled removal of the application layer ( 3 ) by an ion beam with the introduction of the desired bearing structures. Verfahren nach einem der vorigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß lokal eine kontrollierte Abtragung der Auftragsschicht (3) durch einen Röntgenstrahl mit Einbringung der gewünschten Lagerstrukturen erfolgt.Method according to one of the preceding claims, characterized in that locally controlled removal of the application layer ( 3 ) by an X-ray with the introduction of the desired storage structures. Verfahren nach einem der vorigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die aufgebrachte Schicht durch das gewählte Abtragsverfahren partiell präziser und/oder wirtschaftlicher bearbeitbar ist, als das ursprüngliche Grundmaterial und zwar im Hinblick auf die einzubringende Oberflächenstruktur.Method according to one of the preceding claims, characterized characterized that the applied layer partially precise and / or by the selected removal method is more economical to process than the original base material with regard to the surface structure to be introduced. Verfahren nach einem der vorigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Auftragsschicht (3) durch Eloxieren aufgetragen wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the application layer ( 3 ) is applied by anodizing. Verfahren nach einem der vorigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Auftragsschicht (3) durch Sputtern aufgetragen wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the application layer ( 3 ) is applied by sputtering. Verfahren nach einem der vorigen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Auftragsschicht (3) durch Elektrolyse aufgetragen wird.Method according to one of the preceding claims, characterized in that the application layer ( 3 ) is applied by electrolysis. Hydrodynamisches Gleitlager für einen Spindelmotor, hergestellt nach dem Verfahren der Ansprüche 1 bis 13, bei dem mindestens eine der Oberflächen (2) des Gleitlagers mit einer dreidimensionalen Struktur (8) zur Erzeugung des hydrodynamischen Druckes versehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberfläche (2) mit einer gleichmäßigen, wieder abtragbaren Beschichtung (3) konstanter Dicke versehen ist, wobei die dreidimensionale Struktur (8) durch partielles Abtragen der Beschichtung (3) mittels gebündelter Strahlung (4) gebildet ist.Hydrodynamic plain bearing for a spindle motor, produced by the method of claims 1 to 13, in which at least one of the surfaces ( 2 ) of the plain bearing with a three-dimensional structure ( 8th ) is provided for generating the hydrodynamic pressure, characterized in that the surface ( 2 ) with an even, removable coating ( 3 ) of constant thickness, the three-dimensional structure ( 8th ) by partially removing the coating ( 3 ) by means of focused radiation ( 4 ) is formed.
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