DE19936936B4 - Vorrichtung zur Fokussierung von Licht - Google Patents

Abstract

Vorrichtung zum Fokussieren von Licht, umfassend einen konvexen und einen konkaven asphärischen Spiegel, die einen gemeinsamen Brennpunkt aufweisen und durch die ein Spiegelsystem gebildet wird, wobei das Licht über den konvexen Spiegel in das Spiegelsystem eingekoppelt wird und mittels des konkaven asphärischen Spiegels auf den Ausgangsfokus fokussiert wird, wobei die zur Bereitstellung des Lichtes vorgesehene Lichtquelle in einem Brennpunkt des konvexen asphärischen Spiegels angeordnet ist, und wobei eine Halbseite des konvexen asphärischen Spiegels der Spiegelfläche (24) des asphärischen konkaven Spiegels zugewandt ist.

Description

• Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Fokussieren von Licht.
• Aus der DE 41 20 684 A1 ist ein Spiegelobjektiv zur Laserfokussierung bekannt. Dieses Spiegelobjektiv umfaßt einen konvexen Paraboloidspiegel und einen konkaven Ellipsoidspiegel, die derart zueinander angeordnet sind, daß sie einen gemeinsamen Brennpunkt aufweisen. Ein einfallender Laserstrahl wird durch den konvexen Paraboloidspiegel senkrecht zur Einfallsrichtung reflektiert und virtuell auf den gemeinsamen Brennpunkt des konvexen Paraboloidspiegels und des konkaven Ellipsoidspiegels fokussiert. Die vom Paraboloidspiegel reflektierten Laserstrahlen werden durch den Ellipsoidspiegel auf einen weiteren Brennpunkt des Ellipsoidspiegels, im folgenden mit Ausgangsfokus bezeichnet, den gemeinsamen Brennpunkt abbildend, fokussiert, wobei der Ellipsoidspiegel um den gemeinsamen Brennpunkt drehbar gelagert ist. Durch Rotation ist die Brennweite des weiteren Fokus des Ellipsoidspiegels stufenlos wählbar.
• Nachteilig ist bei dieser Anordnung, daß der den Ausgangsfokus passierende Strahl eine Vorzugsrichtung aufweist, so daß nur ein Segment des Raumwinkels durch den Lichtstrahl ausgeleuchtet wird. Hierzu kommt, daß der ausgeleuchtete Raumwinkel bezogen auf den einfallenden Lichtstrahl von der gewählten Brennweite des Ausgangsfokus abhängt.
• Aus der DE 43 41 555 A1 ist eine Vorrichtung zum Bündeln und Übertragen von Licht bekannt. Diese Vorrichtung umfaßt eine Halbhälfte eines konkaven Ellipsoidspiegels bis zu einer Mittenebene zwischen den beiden Brennpunkten, wobei die durch eine einem ersten Brennpunkt des Ellipsoidspiegels angeordnete Lichtquelle abgegebenen Lichtstrahlen auf den zweiten Brennpunkt des Ellipsoidspiegels fokussiert werden, der außerhalb dieses Spiegels liegt. An diesen Ellipsoidspiegel schließt sich ein rotationssymmetrisches Segment eines konvexen hyperboloiden Spiegels an, durch den zum Einen auf den zweiten Brennpunkt fokussierte Strahlen und zum Anderen von dem Ellipsoidspiegel nicht reflektierte Strahlen, die direkt auf den hyperboloiden Spiegel treffen, auf ein sich anschließendes Ende eines Glasfaserlichtleiters fokussiert werden. Der hyperboloide Spiegel ist trichterförmig, mit einer nach innen gerichteten Spiegelfläche ausgebildet.
• Diese Vorrichtung zum Bündeln von Licht dient dazu, möglichst viele Lichtstrahlen hoher Intensität in einen Strahlenleiter einzuleiten. Da mit jeder Reflektion eine Verminderung der Strahlenintensität einhergeht, ist die Anzahl der Reflektionen zu minimieren, die für das Einleiten des Lichtes in den Lichtleiter erforderlich sind.
• Für das Einleiten des Lichtes ist es erforderlich, die von einer Lichtquelle abgegebenen Lichtstrahlen auf die endseitige Begrenzungsfläche des Lichtleiters zu fokussieren, wofür eine Fokussierung auf einen Punkt jedoch nicht erforderlich ist.
• Nachteilig ist bei dieser Anordnung, daß sie für Anwendungen, die eine Fokussierung auf einen Punkt erfordern, nicht geeignet ist.
• Für die Untersuchung der Güte von Objektiven wird eine punktförmige Lichtquelle im Brennpunkt des zu untersuchenden Objektives platziert. Durch die auf das Objektiv auftreffende Strahlung wird nach Passieren des Objektives eine Wellenfront gebildet, wobei aus Abweichungen der erwarteten Lichtintensität von der gemessenen Lichtintensität der Wellenfront Abbildungsfehler und somit die Güte des Objektives bezogen auf die ausgeleuchteten Bereiche des Objektives ableitbar sind. Für die Charakterisierung von Objektiven mit hoher numerischer Apertur werden stark divergierende Punktlichtquellen benötigt, um das Objektiv vollständig ausleuchten zu können.
• Die DE 22 58923 B2 beschreibt ein Spiegelsystem zum Bündeln oder Sammeln von Strahlung mit wenigstens zwei rotationssymmetrischen Spiegeln, die konzentrisch um eine gemeinsame Symmetrieachse angeordnet sind. Das System umfasst einen konvexen Eingangsspiegel, gebildet aus einer Toroidfläche mit einem Brennkreis, einen Ausgangsspiegel, ebenfalls gebildet aus einer Toroidfläche, mit einem Brennkreis und einem Brennpunkt, wobei die Brennkreise des Eingangsspiegels und des Ausgangsspiegels zusammenfallen, und wobei ein in das Spiegelsystem parallel eingestrahltes Lichtbündel im Brennpunkt des Ausgangsspiegels fokussiert wird und dort eine Punktlichtquelle darstellt.
• Die DE-OS 23 33 181 beschreibt ein rotationssymmetrisches Spiegelsystem zum Sammeln von Strahlungsenergie mehrerer Strahlungsquellen mit einem konvexen Eingangsspiegel und mit einem konkaven Ausgangsspiegel, wobei Eingangsspiegel und Ausgangsspiegel einen gemeinsamen Brennkreis und jeweils einen Brennpunkt aufweisen. Dabei sammelt der Ausgangsspiegel die Strahlungsenergie in seinem Brennpunkt. Die Strahlungsenergie der Strahlungsquellen ist dabei jeweils auf den Brennpunkt des Eingangsspiegels gerichtet. Der Brennpunkt des Ausgangsspiegels bildet eine Punktlichtquelle mit gerichteter Abstrahlcharakteristik, die durch die Position der Strahlungsquellen bestimmt ist.
• Ähnlich der DE-OS 23 33 181 beschreibt die GB 1 425 608 ein Spiegelsystem zum Sammeln von Strahlungsenergie mehrerer Laser-Strahlungsquellen. Dabei reflektieren konvexe Eingangsspiegel die Laserstrahlung auf konkave Ausgangsspiegel, wobei die Ausgangsspiegel die Strahlung aller Laserquellen in einem Brennpunkt sammeln, der ebenfalls als Punktlichtquelle mit gerichteter Abstrahlcharakteristik angesehen werden kann, wobei die Abstrahlcharakteristik von der Anordnung der Strahlungsquellen abhängig ist.
• Der Erfindung lag die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Fokussierung von Licht bereitzustellen, die eine hohe Apertur bezüglich eines Ausgangsfokus aufweist und die eine möglichst homogen abstrahlende Punktlichtquelle bildet.
• Die Aufgabe der Erfindung wird durch die im Patentanspruch 1 angegebenen Merkmale gelöst.
• Durch die Maßnahme, die Lichtquelle im Brennpunkt des konvexen asphärischen Spiegels außerhalb der Spiegelfläche anzuordnen, werden die auf den asphärischen konvexen Spiegel treffenden Strahlen virtuell auf den weiteren Brennpunkt des asphärischen konvexen Spiegels innerhalb der Spiegelfläche fokussiert, der gleichzeitig Brennpunkt des konkaven asphärischen Spiegels ist. Die auf eine Spiegelfläche des asphärischen konkaven Spiegels reflektierten Strahlen werden auf einen weiteren Brennpunkt des konkaven asphärischen Spiegels, im folgenden mit Ausgangsfokus bezeichnet, fokussiert.
• Durch diese Anordnung der asphärischen Spiegel zueinander ist eine großflächige Ausleuchtung des konkaven asphärischen Spiegels erreichbar. Daraus resultiert, daß die vom asphärischen konkaven Spiegel reflektierten Lichtstrahlen unter einem großen Einfallswinkel auf den Ausgangsfokus fokussiert werden, was einer hohen Apertur entspricht.
• Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt, daß die asphärischen Spiegel winkelig zueinander angeordnet sind, wobei den Spiegeln zuordenbare, durch die Brennpunkte der jeweiligen Spiegel verlaufende Symmetrieachsen winkelig zueinander angeordnet sind. Durch diese Anordnung ist zum einen die Ausleuchtung eines großen Spiegelsegmentes des asphärischen konkaven Spiegels erreichbar und andererseits wird eine Abschattung durch den asphärisch konvexen Spiegel verhindert, da der konvexe asphärische Spiegel nicht den Strahlengang der vom konkaven asphärischen Spiegel reflektierten Strahlen schneidet.
• Durch die Verwendung von asphärischen Spiegeln sind bei inkohärentem Licht auftretende chromatische Fehler kompensierbar, zumindest jedoch minimierbar, so daß chromatische Fehler bei der Fokussierung auf den Ausgangsfokus nicht oder nahezu nicht auftreten, jedoch die Farbfehler des zu untersuchenden Objektives durch Ausleuchtung mit dem inkohärenten Licht in Erscheinung treten.
• Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt, als Lichtquelle eine Lichtquelle, welche eine Vorzugsrichtung aufweist, vorzusehen. Solche Lichtstrahlen weisen eine endliche Ausdehnung auf und sind aufgrund ihrer Vorzugsrichtung exakt positionierbar, wodurch das von der Lichtquelle abgegebene Licht vollständig bzw. nahezu vollständig ins optische System einkoppelbar ist.
• In einer vorteilhaften Ausführungsform ist vorgesehen, daß der Lichtstrahl über eine Halbseite des konvexen asphärischen Spiegels in das Spiegelsystem eingekoppelt wird. Dadurch kann auf die zweite Halbhälfte des konvexen asphärischen Spiegels verzichtet werden, was sich vorteilhaft auf den für die Anordnung des zu untersuchenden Objektives zur Verfügung stehenden Bauraum auswirkt. Es ist erreichbar, daß unterhalb des Ausgangsfokus in Ausbreitungsrichtung des Lichtes der für die Anordnung eines zu untersuchenden Objektives zur Verfügung stehende Bauraum in seitlicher Richtung nicht beschränkt ist.
• Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt, als konvexen asphärischen Spiegel einen konvexen Hyperboloidspiegel vorzusehen, durch den die Abbildung der im Brennpunkt angeordneten Lichtquelle auf den von beiden asphärischen Spiegeln gemeinsamen Brennpunkt ohne sphärische Aberration erfolgt, wodurch insbesondere bei der Verwendung von inkohärentem Licht die Fokussierung auf den virtuellen Brennpunkt gewährleistet werden kann.
• Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt, als konkaven asphärischen Spiegel einen Ellipsoidspiegel vorzusehen, durch den der virtuelle Fokus im gemeinsamen Brennpunkt auf einen Fokus im Realraum abgebildet wird. Der Ellipsoidspiegel weist sich durch eine exakte Fokussierung auf den Brennpunkt unabhängig von der Wellenlänge des Lichtes und frei von sphärischer Aberration aus. Somit ist durch Verwendung des konvexen Hyperboloidspiegels zusammen mit dem konkaven Ellipsoidspiegel ein Spiegelsystem bereitgestellt, durch das Licht verschiedener Wellenlängen auf einen gemeinsamen Brennpunkt frei von sphärischer Aberration, fokussierbar ist.
• Es hat sich als vorteilhaft herausgestellt, dass im Austrittsfokus des asphärischen konkaven Spiegels eine Lochblende angeordnet ist, durch die Streulicht zurückgehalten wird.
• Weitere vorteilhafte Maßnahmen sind in Unteransprüchen beschrieben. Im folgenden wird die Erfindung anhand eines Ausführungsbeispiels näher beschrieben.
• Es zeigt:
• 1 Prinzipieller Aufbau einer katadioptrischen Einkoppeloptik zum Fokussieren von Licht;
• 2 Katadioptrische Einkoppeloptik;
• 3 Darstellung des Strahlenverlaufs bei Verwendung einer Lichtquelle mit einer Apertur von 0,057; und
• 4 + 5 Katadioptrische Einkoppeloptik mit einer austrittsseitgen Apertur von 0,9 ausgehend von einer Apertur von 0,114 der Lichtquelle.
• Die katadioptrische Einkoppeloptik zum Fokussieren von Licht umfaßt einen asphärischen konvexen Spiegel 11 in Form eines konvexen Hyperboloidspiegels 13, mit einem ersten außerhalb der Spiegelfläche liegenden Brennpunkt 15, in dem eine Lichtquelle 5 angeordnet ist, und einem innerhalb der Spiegeloberfläche liegenden zweiten Brennpunkt 17. Die beiden Brennpunkte 15, 17 liegen auf einer dem konvexen Hyperboloidspiegel zugeordneten Symmetrieachse 19.
• Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist als Lichtquelle 5 ein aus einer Glasfaser 8 heraustretender Lichtstrahl 7 vorgesehen. Der Lichtstrahl 7 schließt mit der Symmetrieachse 19 einen vorbestimmten Verkippungswinkel 9 ein (siehe 2 bzw. 4) und fällt auf eine einem konkaven asphärischen Spiegel 23 zugewandte Seite des konvexen Hyperboloidspiegels 13. Diese auf den konvexen Hyperboloidspiegel 13 auftreffenden Lichtstrahlen werden von demselben streuend, d.h. als divergentes Strahlenbündel in Richtung des konkaven Ellipsoidspiegels 25, der als konkaver asphärischer Spiegel 23 vorgesehen ist, reflektiert. Die reflektierten Lichtstrahlen schneiden sich virtuell in dem innerhalb der Spiegelfläche des konvexen Hyperboloidspiegels 13 angeordneten Brennpunkt 17. Dieser Brennpunkt 17 ist gleichzeitig ein Brennpunkt 27 des konkaven Ellipsoidspiegels 25. Die auf den Ellipsoidspiegel 25 auftreffenden Strahlen werden infolgedessen auf einen zweiten Brennpunkt 29 des konkaven Ellipsoidspiegels 25 fokussiert. Durch die beiden Brennpunkte 17, 29 verläuft eine zweite Symmetrieachse 20. In dem Brennpunkt 29, auch mit Ausgangsfokus bezeichnet, ist eine auf einem Deckglas 34 angeordnete Lochblende 33 angeordnet. Aus der Anordnung der Lochblende 33 auf dem Deckglas 34 können chromatische Fehler und eine sphärische Überkorrektion resultieren. Zur Korrektur dieser Fehler ist bei der dargestellten Ausführung eine Zusatzoptik 39 bestehend aus zwei Linsen 41, 43 im Strahlengang zwischen Strahlungsquelle 5 und dem asphärischen konvexen Spiegel 11 vorgesehen. Diese Linsen 41, 43 sind in Abhängigkeit von der Wellenlänge bzw. vom Wellenlängenbereich des gewählten Lichtes auszuwählen.
• Die durch die Brennpunkte 15, 17 verlaufende Symmetrieachse 19 ist winklig zu der durch die Brennpunkte 27, 29 verlaufenden Symmetrieachse 20 des konkaven Ellipsoidspiegels 25 angeordnet. Durch diese winklige Anordnung der beiden asphärischen Spiegel 11, 23 zueinander wird die Ausleuchtung eines Mittelsegmentes 31, das eine den Abstand 32 der Brennpunkte 27, 29 übersteigende Höhe bzw. Ausdehnung aufweist, bereitgestellt. Das von diesem Mittelsegment 31 reflektierte Licht wird auf den Ausgangsfokus 29, einen Einfallswinkel 35 überstreichend, fokussiert. Durch die auf die Lochblende 33 fokussierten Lichtstrahlen wird ein Lichtkegel gebildet, der symmetrisch zu einer Symmetrieachse ist, die in der durch die Symmetrieachsen 19, 20 der asphärischen Spiegel gebildeten Ebene liegt und die senkrecht auf der Symmetrieachse 20 des ellipsoiden asphärischen Spiegels 23 steht. Bei Verwendung eines Lichtstrahles 7 mit homogener Strahlendichte weist der sich auf der dem konkaven Ellipsoidspiegel 25 abgewandten Seite der Lochblende 33 ausbildende Lichtkegel in jeder Ausbreitungsrichtung gleiche Strahlendichte bzw. Intensität auf.
• Im folgenden werden zwei konkrete Ausführungsbeispiele beschrieben.
• Das in 2 dargestellte Ausführungsbeispiel umfaßt eine Lichtquelle 5, die derart ausgerichtet ist, daß das von der Lichtquelle ausgehende Licht einen Verkippungswinkel 9 von 4,459 ° zur Symmetrieachse 19 einschließt. Die von der Lichtquelle 5 ausgehende Strahlung trifft auf einen konvexen Hyperboloidspiegel 13, dessen Spiegeloberfläche durch die Gleichung

  

  beschrieben wird,
  wobei A = B = 32,0156 mm und C = 100 mm gewählt worden sind. Damit ergibt sich ein Abstand D = 210 mm der beiden Brennpunkte 15, 17 des konvexen Hyperboloidspiegels 13. Die von dem Hyperboloidspiegel 13 reflektierte Strahlung trifft auf die Spiegeloberfläche eines konkaven Ellipsoidspiegels 25, dessen Spiegeloberfläche durch die Gleichung

  

  beschrieben wird, wobei gilt A = B = 100 mm und C = 120 mm. Die Symmetrieachsen 19, 20 entsprechen jeweils der Z Achse.
• Damit ergibt sich bei diesem System für den Abstand 32 der beiden Brennpunkte 29, 27 eine Distanz von 132,665 mm. Die beiden Symmetrieachsen dieses Spiegelsystems schließen zueinander einen Winkel von –32° ein.
• Bei der Verwendung einer Lichtquelle mit einer Apertur von 0,057 kann mittels dieser Spiegelanordnung eine ausgangsseitige Apertur von 0,9 gewährleistet werden. Ein entsprechender Strahlenverlauf ist in 3 gezeigt. Weist die Lichtquelle eine symmetrische Strahlungsverteilung auf, so weist auch der ausgangsseitige Lichtkegel eine symmetrische Strahlenverteilung auf.
• Anhand von 4 wird ein weiteres konkretes Ausführungsbeispiel beschrieben. Die Spiegeloberfläche des konvexen Hyperboloidspiegels 13 wird durch die konstanten A = B = 22,91 mm und C = 50 mm beschrieben. Bei dieser Wahl sind die Brennpunkte 15, 17 in einem Abstand von 110 mm voneinander auf der Symmetrieachse 19 angeordnet. Als Lichtquelle ist eine Lichtquelle, die eine Apertur von 0,114 aufweist, vorgesehen. Die von dieser Lichtquelle ausgehende Strahlung schließt einen Winkel von 8,76 ° mit der Symmetrieachse 19 ein und trifft auf die dem konkaven Ellipsoidspiegel zugewandte Spiegeloberfläche des konvexen Hyperboloidspiegels. Für den konkaven Ellipsoidspiegel sind als Konstanten A = B = 100 mm und C = 120 mm die identischen Werte zu dem anhand von 2 beschriebenen Ausführungsbeispiels gewählt worden. Bei diesem Ausführungsbeispiel schließen die beiden Symmetrieachsen 19, 20 einen Winkel von –31,6° ein. Der bei dieser Anordnung resultierende Strahlenverlauf ist in 5 dargestellt.
• Symmetrieachse 19 ein und trifft auf die dem konkaven Ellipsoidspiegel zugewandte Spiegeloberfläche des konvexen Hyperboloidspiegels. Für den konkaven Ellipsoidspiegel sind als Konstanten A = B = 100 mm und C = 120 mm die identischen Werte zu dem anhand von 2 beschriebenen Ausführungsbeispiels gewählt worden. Bei diesem Ausführungsbeispiel schließen die beiden Symmetrieachsen 19, 20 einen Winkel von –31,6° ein. Der bei dieser Anordnung resultierende Strahlenverlauf ist in 5 dargestellt.

1

Vorrichtung

3

Spiegelsystem

5

Lichtquelle

7

Lichtstrahl

8

Glasfaser

9

Verkippungswinkel

11

asphärischer, konvexer Spiegel

13

konvexer Hyperboloidspiegel

15

1. Brennpunkt (außerhalb) F1

17

2. Brennpunkt (innerhalb) F2

19

Symmetrieachse

20

Symmetrieachse

21

Halbseite

23

asphärischer konkaver Spiegel

24

Spiegelfläche

25

konkaver Ellipsoidspiegel

27

gemeinsamer Brennpunkt, F2

29

Brennpunkt, Ausgangsfokus, F3

31

Mittelsegment

32

Abstand

33

Lochblende

34

Deckglas

35

Einfallswinkel

39

Zusatzoptik

41

Linsen

43

Linsen

Claims (12)

1. Vorrichtung zum Fokussieren von Licht auf einen Ausgangsfokus (29), umfassend einen konvexen asphärischen ersten Spiegel (11), der einfallendes Licht auf einen konkaven asphärischen zweiten Spiegel (23) richtet, der seinerseits das auf ihn einfallende Licht in den Ausgangsfokus (29) bündelt, wobei – beide Spiegel (11, 23) jeweils genau zwei Brennpunkte (15, 17, 27, 29) aufweisen, – der erste Spiegel (11) eine durch seine beiden Brennpunkte (15, 17) verlaufende erste Achse (19) und der zweite Spiegel (23) eine durch seine beiden Brennpunkte (27, 29) verlaufende zweite Achse (20) aufweist, – die zweite Achse (20) winkelig zur ersten Achse (19) angeordnet ist und wobei – die beiden Spiegel (11, 23) einen gemeinsamen Brennpunkt (27) aufweisen, in dem sich die beiden Achsen (19, 20) schneiden.
2. Vorrichtung zum Fokussieren von Licht nach Anspruch 1, wobei zur Bereitstellung des Lichtes eine Lichtquelle (5) in dem Brennpunkt (15) außerhalb der Spiegelfläche des konvexen asphärischen Spiegels (11) angeordnet ist.
3. Vorrichtung zum Fokussieren von Licht nach Anspruch 2, wobei die Lichtquelle (5) in einer Vorzugsrichtung Licht abgibt.
4. Vorrichtung zum Fokussieren von Licht nach Anspruch 2 oder 3, wobei die Lichtquelle (5) inkohärentes Licht abgibt.
5. Vorrichtung zum Fokussieren von Licht nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei als konvexer asphärischer Spiegel (11) ein konvexer Spiegel (13) mit zumindest annähernder hyperbolischer Form vorgesehen ist.
6. Vorrichtung zum Fokussieren von Licht nach einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei als konkaver asphärischer Spiegel (23) ein konkaver Ellipsoidspiegel (25) vorgesehen ist.
7. Vorrichtung zum Fokussieren von Licht nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei eine Halbseite des konvexen asphärischen Spiegels (11) das Licht auf den zweiten Spiegel richtet.
8. Vorrichtung zum Fokussieren von Licht nach einem der Ansprüche 1 bis 7, wobei im Brennpunkt (29) des konkaven asphärischen Spiegels (23), der nicht Brennpunkt des konvexen asphärischen Spiegels (11) ist, eine Lochblende (33) angeordnet ist.
9. Vorrichtung zum Fokussieren von Licht nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der ein zwischen den beiden Brennpunkten (27, 29) des asphärischen konkaven Spiegels (23) angeordnetes Mittelsegment (31) dieses Spiegels (23) vollständig ausgeleuchtet ist.
10. Vorrichtung zum Fokussieren von Licht nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der das einfallende Licht eine homogene Intensitätsverteilung zur Bereitstellung einer in allen Richtungen gleichen Strahlintensität des vom Ausgangsfokus (29) ausgehenden Lichtes aufweist.
11. Vorrichtung zum Fokussieren von Licht nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der das einfallende Licht verkippt zur ersten Achse (19) eingestrahlt wird.
12. Vorrichtung zum Fokussieren von Licht nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der das Licht im Ausgangsfokus (29) einen Lichtkegel bildet, der symmetrisch zu einer Symmetrieachse ist, die in der durch die beiden Achsen (19, 20) der asphärischen Spiegel (11, 23) gebildeten Ebene liegt und die senkrecht auf der zweiten Achse (20) steht.