DE19925431C2 - Optisches Nahfeld-Abtastmikroskop - Google Patents

Optisches Nahfeld-Abtastmikroskop

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Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ganz allgemein die Technik der Nahfeldoptik, und betrifft insbesondere ein Optisches Nahfeld-Abtastmikroskop gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Wie es in der Fig. 7 gezeigt ist, umfaßt ein Optisches Scherkraftmodus- Nahfeldmikroskop nach dem Stand der Technik eine Lichtquelle 1, einen optischen Faserprüfkopf 2, ein Schwingelement 3, und ein Signalrückkopplungselement 4. Die Lichtquelle 1 dient dazu, Licht für den optischen Faserprüfkopf 2 zur Verfügung zu stellen. Der optische Faserprüfkopf 2 wird durch das Schwingelement 3 angetrieben, so daß die Amplitude und die Phase verändert werden, und zwar infolge der Wech­ selwirkungskraft zwischen der Spitze des Prüfkopfes 2 und der Oberfläche einer Pro­ be 7, sowie infolge der Van der Waals-Kraft, wenn die Resonanzfrequenz auftritt und wenn der Prüfkopf 2 in Berührung mit der Probe 7 kommt. Die Rückkopplungsrege­ lung wird durch das Signalrückkopplungselement 4 bewirkt, wobei die Höhe (nm) des Prüfkopfes 2 über der Oberfläche der Probe 7 geregelt wird, wodurch die Ausbildung einer optischen Nahfeldabbildung der Probe 7 erzielt wird.
Das Schwingelement 3 ist aus einer gabelförmigen Säule 5 und aus einer piezoelekt­ rischen Keramik 6 aufgebaut. Die gabelförmige Säule 5 ist an dem optischen Prüf­ kopf 2 in der Richtung der Längsachse der gabelförmigen Säule 5 angebracht. Mit anderen Worten ausgedrückt, weist die gabelförmige Säule 5 eine Oberfläche 8 der kurzen Achse auf, mit der an der Oberfläche der Probe 7 die Wirkkraft an der Spitze des Prüfkopfes 2 und die Van der Waals-Kraft gemessen werden. Folglich wird die Oberfläche 8 der kurzen Achse mit einer Scherkraftmoduslast beaufschlagt. In An­ betracht des kleinen Bereichs (Fläche) der Oberfläche 8 der kurzen Achse der ga­ belförmigen Säule 5 wird die Oberfläche 8 der kurzen Achse mit einer relativ kleinen externen Kraft beaufschlagt. Angenommen, daß die Last unverändert bleibt, ist die externe Kraft direkt proportional zu der Fläche. Im Resonanzbetrieb ist die Amplitude relativ klein. Die Amplitude ist direkt proportional zu einer externen Kraftenergie, die in dem Prüfkopf 2 gespeichert ist. Im Ergebnis weist dieser eine relativ geringe Emp­ findlichkeit auf. Die Steifigkeit der gesamten Anordnung ist dank des optischen Fa­ serprüfkopfs 2 und dank der gesamten gabelförmigen Säule 5 größer, die entlang der Richtung der Längsachse der gabelförmigen Säule 5 angebracht ist. Dieser Aufbau ist jedoch weniger empfindlich gegenüber der Schwingung, die durch die externe Kraft erzeugt wird.
Wie es in der Fig. 6 gezeigt ist, wird das optische Scherkraftmodus- Nahfeldmikroskop nach dem Stand der Technik in der umgebenden Luft eingesetzt, wenn mit dem Mikroskop die Probe 7 untersucht wird. Unter dem Zustand einer Re­ sonanzfrequenz und wie es in der Figur gezeigt ist, nämlich die Beziehung zwischen der Spitze der Amplitude und der Höhe der Probe, kann beobachtet werden, daß die Amplitude am kleinsten ist, wenn der Prüfkopf 2 in Kontakt mit der Probe 7 gelangt. Der Änderungsbereich der Amplitude ist definiert als ein Wechselwirkungsbereich, wobei der Änderungswert zwischen 10% und 90% liegt. Der Änderungsbereich ist in einen ersten Abschnitt mit 66 nm Umwandlungs-Wechselwirkungsbereich und mit einer bemerkenswert geringen Empfindlichkeit (Neigung) sowie in einen zweiten Ab­ schnitt mit 9 nm Umwandlungs-Wechselwirkungsbereich aufgeteilt, der eine Emp­ findlichkeit von etwa 0,02 V/nm hat, was bemerkenswert gering ist. Hierdurch wird bewirkt, daß das optische Scherkraftmodus-Nahfeldabtastmikroskop nach dem Stand der Technik eine geringe Empfindlichkeit hat und dadurch nicht in der Lage ist, eine präzise Feedback- bzw. Rückkopplungs-Regelung auszuführen.
Aus der EP 0,791,802 A1 ist ein Nahfeld-Abtastmikroskop bekannt, welches eine am Ende einer Lichtleitfaser ausgebildete Sondenspitze zur optischen Untersuchung ei­ ner Probenoberfläche aufweist, welches eine Lichtquelle hat, die Licht in das distale Ende der Lichtleitfaser einkoppelt, und welches ein stimmgabelförmig ausgebildetes Schwingelement hat, an dessen einem Tragarm die Lichtleitfaser angebracht ist, wobei das Schwingelement mittels einer Signalrückkopplungseinheit piezoelektrisch in resonante Schwingung versetzt wird und der Tragarm zusammen mit der Lichtleit­ faser vertikal zu der Probenoberfläche schwingt. Die Schwingungsrichtung der abge­ bogen verlaufenden Lichtleitfaser ist dort quer zur Ausrichtung des einen Tragarms, an dem sie befestigt ist. Durch diese Anordnung, bestehend aus gebogener Licht­ leitfaser und Tragarm, wird die Empfindlichkeit des Nahfeld-Abtastmikroskops herab­ gesetzt.
Aus der EP 0,864,899 A2 ist ein weiteres Nahfeld-Abtastmikroskop bekannt, bei dem die Lichtleitfaser parallel zum und an einem Tragarm befestigt ist. Diese Anordnung weist eine derartige Steifigkeit im Bereich Lichtleitfaser und Tragarm auf, dass die Mess­ empfindlichkeit herabgesetzt ist.
Schließlich ist aus der DE 40 13 742 A1 ein Abtastkopf bekannt, der magnetisch an­ gesteuert mit einer konstanten Anpreßkraft in Richtung der abzutastenden Oberflä­ che belastet wird. Der Einsatz einer Lichtleitfaser ist aus diesem Stand der Technik nicht bekannt.
Es ist deshalb die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Optisches Nahfeld- Abtastmikroskop zu schaffen, welches eine erhöhte Empfindlichkeit aufweist und mit welchem eine präzisere Rückkopplungregelung ausführbar ist.
Die Erfindung weist zur Lösung dieser Aufgabe die im Patentanspruch 1 angegebe­ nen Merkmale auf. Vorteilhafte Ausgestaltungen hiervon sind in den weiteren An­ sprüchen angegeben.
Durch die erfindungsgemäße Ausbildung wird die Steifigkeit der Lichtleitfaser in Ach­ senrichtung ausgenutzt.
Die vorstehende Aufgabe, die Merkmale und Vorteile nach der vorliegenden Erfin­ dung können unter Berücksichtigung der folgenden, detaillierten Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung und unter Bezugnahme auf die zugehörigen Zeichnungen besser verstanden werden.
Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnungen näher erläutert. Diese zei­ gen in:
Fig. 1 eine schematische Ansicht eines Optischen Nahfeldabtast-Mikroskops nach der vorliegenden Erfindung;
Fig. 2 eine vergrößerte Ansicht des Schwingelements des optischen Mikro­ skops nach der vorliegenden Erfindung;
Fig. 3 eine vergleichende Darstellung der Beziehung zwischen der Ausgangs­ spannung und der Antriebsamplitude, gemäß dem Stand der Technik und gemäß der vorliegenden Erfindung, jeweils unter verschiedenen Umgebungsbedingungen;
Fig. 4 eine Beziehung zwischen der Spitze der Amplitude und der Höhe des Prüfkopfs über der Probe nach der vorliegenden Erfindung, und zwar in Luft und an der Resonanzfrequenz;
Fig. 5 eine Beziehung zwischen der Spitze der Amplitude und der Höhe des Prüfkopfs über der Probe nach der vorliegenden Erfindung, und zwar unter Wasser und an der Resonanzfrequenz;
Fig. 6 eine Beziehung zwischen der Spitze der Amplitude und der Höhe des Prüfkopfes über der Probe, bei einem Optischen Scherkraftmodus-Nahfeldabtast- Mikroskops nach dem Stand der Technik, welches in Umgebungsluft eingesetzt ist und in der Resonanzfrequenz arbeitet; und
Fig. 7 eine schematische Ansicht eines Optischen Scherkraftmodus- Nahfeldabtast-Mikroskops nach dem Stand der Technik.
Wie es in den Fig. 1 und 2 gezeigt ist, umfaßt ein Optisches Nahfeld- Abtastmikroskop nach einer Ausführungsform nach der vorliegenden Erfindung eine Lichtquelle 10, einen optischen Faserprüfkopf 20, ein Schwingelement 30 und eine Signalrückkopplungseinheit 40.
Die Lichtquelle 10 weist eine Laserlichtquelle 11 auf, die über eine Blende 12 und einen optischen Faserkoppler 13 mit einem optischen Faserprüfkopf 20 für den opti­ schen Nahfeldeinsatz verbunden ist.
Der optische Faserprüfkopf 20 ist mit einer Lichtquelle 10 verbunden, so daß ein Punktende des Prüfkopfes 20 eine Nahfeldpunktlichtquelle ausbildet.
Das Schwingelement 30 umfaßt einen piezoelektrischen Bimorph 31, einen Magne­ ten 32, ein Eisenstück 33, und einen Aufhängearm 34. Der Magnet 32 weist eine Endfläche auf, an der der piezoelektrische Bimorph 31 durch einen Kleber befestigt ist, und weist eine andere Endfläche auf, die das Eisenstück 33 anzieht, um eine Ü­ berlagerungsanordnung auszubilden. Das Eisenstück 33 ist an dem Aufhängearm 34 angeordnet. Der Magnet 32 wirkt als ein Verbindungsmedium. In dem Fall, daß der Aufhängearm 34 beschädigt wird, ist es nur notwendig, das Eisenstück 33 von dem Magneten 32 zu entfernen. Der Aufhängearm 34 ist eine Aufhängearm-Stimmgabel, die an einem Ende davon mit dem Prüfkopf 20 fest verbunden ist und die an dem anderen Ende davon mit dem piezoelektrischen Bimorph 31 versehen ist. Der Auf­ hängearm 34 ist mit zwei Elektroden 341 und 342 versehen.
Die Signalrückkopplungseinheit 40 weist eine Regelungseinheit 41 auf, die einen Signaleingang hat, welcher mit zwei Elektroden 341 und 342 des Aufhängearms 34 verbunden ist, und zwar über einen Vorverstärker 42 zur Regelung der Vibrationen des piezoelektrischen Bimorphs 31. Die Schwingungsfrequenz liegt in der Nähe der Resonanzfrequenz der gesamten Einheit aus dem Optischen Nahfeld-Faserprüfkopf 20 und dem Aufhängearm 34. Die Regelungseinheit 41 weist einen anderen Eingang auf, um das optische Nahfeld-Signal zu empfangen, welches von dem Punktende des Prüfkopfs 20 erhalten wird und dieses Signal wird zu einer photoelektrischer Multiplizierschaltung 44 und zu einem phasenverriegelten Verstärker 43 übertragen. Das verstärkte Signal wird dann zu der Regelungseinheit 41 übertragen, um als das Bildsignal des Optischen Nahfeld-Abtastmikroskops zu dienen.
Wenn der Prüfkopf 20 in Beziehung zu der Oberfläche der Probe gelangt, so ist der Bereich der Wirkfläche größer, und zwar infolge der Van der Walls-Kräfte und der äquivalenten Last der Oberflächenwirkkraft des Aufhängearms 34. An der Reso­ nanzfrequenz ist die durch den Prüfkopf 20 gespeicherte Energie größer, wodurch dessen Amplitude größer ist als bei dem Scherkraftmodus nach dem Stand der Technik. Hierbei ist nur ein Ende des Aufhängearms 34 an dem Prüfkopf 20 ange­ bracht, wodurch die gesamte Steifigkeit kleiner ausfällt. Im Ergebnis ist die Schwin­ gungsempfindlichkeit besser.
Wie es in der Fig. 3 gezeigt ist, werden das optische Mikroskop nach dem Stand der Technik und das optische Mikroskop nach der vorliegenden Erfindung unter ver­ schiedenen Umgebungsbedingungen eingesetzt. Die Ausgangsspannung und die Antriebsamplitude der beiden Elektroden 341 und 342 werden miteinander vergli­ chen. Die Linie (a) zeigt die Kurve des Schwingelements 30 nach der vorliegenden Erfindung im freien Zustand. Die Linie (b) zeigt die Kurve nach der vorliegenden Er­ findung in Luft an. Die Linie (c) zeigt die Kurve nach der vorliegenden Erfindung in Wasser an. Die Linie (d) zeigt die Kurve nach dem Stand der Technik in Luft an. Der Wert der Spannung nach der vorliegenden Erfindung in Luft oder Was­ ser ist größer als der Wert in Luft gemäß dem Stand der Technik. Daraus ergibt sich, daß die vorliegende Erfindung eine bessere Empfindlichkeit aufweist.
Wie es in der Fig. 4 gezeigt ist, liegt 19,5 nm in 10% bis 90% des Änderungsbe­ reichs der Amplitude nach der vorliegenden Erfindung (Wechselwirkungsbereich) in Luft und bei der Resonanzfrequenz. Die Empfindlichkeit (Neigung) beträgt 0,083 V /nm, wobei dieser Wert viermal größer ist als die 0,02 V/nm nach dem Stand der Technik. Unter Bezugnahme auf die Fig. 5 ist dort die Empfindlichkeit nach der vor­ liegenden Erfindung unter Wasser und an der Resonanzfrequenz von 0,072 V/nm etwa 3,6 mal größer als die Empfindlichkeit nach dem Stand der Technik. Es ist somit offensichtlich, daß die vorliegende Erfindung eine hervorragende Empfindlichkeit und eine präzise Rückkopplungsregelung aufweist.
Hinsichtlich vorstehend im einzelnen nicht näher erläuterter Merkmale der Erfindung wird in übrigen ausdrücklich auf die Patentansprüche und die Zeichnungen verwie­ sen.

Claims (4)

1. Optisches Nahfeld-Abtastmikroskop,
mit einer am Ende einer Lichtleitfaser ausgebildeten Sondenspitze zur optischen Untersuchung einer Probenoberfläche,
mit einer Lichtquelle (10), die Licht in das distale Ende der Lichtleitfaser einkoppelt,
und mit einem stimmgabelförmig ausgebildeten Schwingelement (30), an dessen einem Tragarm (34) die Lichtleitfaser angebracht ist,
wobei das Schwingelement (30) vermittels einer Signalrückkopplungseinheit (40) piezoelektrisch in resonante Schwingung versetzt wird und der Tragarm (34) zusammen mit der Lichtleitfaser vertikal zu der Probenoberfläche schwingt,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Lichtleitfaser am Ende des Tragarms (34) angebracht ist,
daß die Lichtleitfaser im Bereich des Tragarms (34) linear ausgebildet und im wesentlichen senkrecht zu diesem ausgerichtet ist
und daß die Achse der Lichtleitfaser mit der Schwingungsrichtung des Tragarms (34) übereinstimmt.
2. Nahfeld-Abtastmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtquelle (10) als Laserlichtquelle (11) ausgebildet ist.
3. Nahfeld-Abtastmikroskop nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der piezoelektrische Antrieb für das Schwingelement (30) mit einem Magneten (32) verbunden ist, daß das Schwingelement (30) an einem Eisenstück (33) befestigt ist und daß das Eisenstück (33) von dem Magneten (32) angezogen und getragen ist.
4. Nahfeld-Abtastmikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Signalrückkopplungseinheit (40) den Tragarm (34) über einen von einer Regelungseinheit (41) angesteuerten Vorverstärker (42) ansteuert, wobei die Regelungseinheit (41) ihrerseits von einem phasenverriegelten Verstärker (43) und dieser von dem Detektor (44) des Nahfeld-Abtastmikroskop angesteuert wird.
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4013742A1 (de) * 1990-04-28 1991-10-31 Focus Messtechnik Gmbh & Co Kg Abtastkopf
EP0791802A1 (de) * 1996-02-20 1997-08-27 Seiko Instruments Inc. Kombiniertes Nahfeld- und Interatomarkraftrastermikroskop
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