DE19925431C2 - Optisches Nahfeld-Abtastmikroskop - Google Patents
Optisches Nahfeld-AbtastmikroskopInfo
- Publication number
- DE19925431C2 DE19925431C2 DE19925431A DE19925431A DE19925431C2 DE 19925431 C2 DE19925431 C2 DE 19925431C2 DE 19925431 A DE19925431 A DE 19925431A DE 19925431 A DE19925431 A DE 19925431A DE 19925431 C2 DE19925431 C2 DE 19925431C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- optical fiber
- scanning microscope
- field scanning
- optical
- support arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
- G01Q60/18—SNOM [Scanning Near-Field Optical Microscopy] or apparatus therefor, e.g. SNOM probes
- G01Q60/22—Probes, their manufacture, or their related instrumentation, e.g. holders
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ganz allgemein die Technik der Nahfeldoptik, und
betrifft insbesondere ein Optisches Nahfeld-Abtastmikroskop gemäß dem Oberbegriff
des Patentanspruchs 1.
Wie es in der Fig. 7 gezeigt ist, umfaßt ein Optisches Scherkraftmodus-
Nahfeldmikroskop nach dem Stand der Technik eine Lichtquelle 1, einen optischen
Faserprüfkopf 2, ein Schwingelement 3, und ein Signalrückkopplungselement 4. Die
Lichtquelle 1 dient dazu, Licht für den optischen Faserprüfkopf 2 zur Verfügung zu
stellen. Der optische Faserprüfkopf 2 wird durch das Schwingelement 3 angetrieben,
so daß die Amplitude und die Phase verändert werden, und zwar infolge der Wech
selwirkungskraft zwischen der Spitze des Prüfkopfes 2 und der Oberfläche einer Pro
be 7, sowie infolge der Van der Waals-Kraft, wenn die Resonanzfrequenz auftritt und
wenn der Prüfkopf 2 in Berührung mit der Probe 7 kommt. Die Rückkopplungsrege
lung wird durch das Signalrückkopplungselement 4 bewirkt, wobei die Höhe (nm) des
Prüfkopfes 2 über der Oberfläche der Probe 7 geregelt wird, wodurch die Ausbildung
einer optischen Nahfeldabbildung der Probe 7 erzielt wird.
Das Schwingelement 3 ist aus einer gabelförmigen Säule 5 und aus einer piezoelekt
rischen Keramik 6 aufgebaut. Die gabelförmige Säule 5 ist an dem optischen Prüf
kopf 2 in der Richtung der Längsachse der gabelförmigen Säule 5 angebracht. Mit
anderen Worten ausgedrückt, weist die gabelförmige Säule 5 eine Oberfläche 8 der
kurzen Achse auf, mit der an der Oberfläche der Probe 7 die Wirkkraft an der Spitze
des Prüfkopfes 2 und die Van der Waals-Kraft gemessen werden. Folglich wird die
Oberfläche 8 der kurzen Achse mit einer Scherkraftmoduslast beaufschlagt. In An
betracht des kleinen Bereichs (Fläche) der Oberfläche 8 der kurzen Achse der ga
belförmigen Säule 5 wird die Oberfläche 8 der kurzen Achse mit einer relativ kleinen
externen Kraft beaufschlagt. Angenommen, daß die Last unverändert bleibt, ist die
externe Kraft direkt proportional zu der Fläche. Im Resonanzbetrieb ist die Amplitude
relativ klein. Die Amplitude ist direkt proportional zu einer externen Kraftenergie, die
in dem Prüfkopf 2 gespeichert ist. Im Ergebnis weist dieser eine relativ geringe Emp
findlichkeit auf. Die Steifigkeit der gesamten Anordnung ist dank des optischen Fa
serprüfkopfs 2 und dank der gesamten gabelförmigen Säule 5 größer, die entlang der
Richtung der Längsachse der gabelförmigen Säule 5 angebracht ist. Dieser Aufbau
ist jedoch weniger empfindlich gegenüber der Schwingung, die durch die externe
Kraft erzeugt wird.
Wie es in der Fig. 6 gezeigt ist, wird das optische Scherkraftmodus-
Nahfeldmikroskop nach dem Stand der Technik in der umgebenden Luft eingesetzt,
wenn mit dem Mikroskop die Probe 7 untersucht wird. Unter dem Zustand einer Re
sonanzfrequenz und wie es in der Figur gezeigt ist, nämlich die Beziehung zwischen
der Spitze der Amplitude und der Höhe der Probe, kann beobachtet werden, daß die
Amplitude am kleinsten ist, wenn der Prüfkopf 2 in Kontakt mit der Probe 7 gelangt.
Der Änderungsbereich der Amplitude ist definiert als ein Wechselwirkungsbereich,
wobei der Änderungswert zwischen 10% und 90% liegt. Der Änderungsbereich ist in
einen ersten Abschnitt mit 66 nm Umwandlungs-Wechselwirkungsbereich und mit
einer bemerkenswert geringen Empfindlichkeit (Neigung) sowie in einen zweiten Ab
schnitt mit 9 nm Umwandlungs-Wechselwirkungsbereich aufgeteilt, der eine Emp
findlichkeit von etwa 0,02 V/nm hat, was bemerkenswert gering ist. Hierdurch wird
bewirkt, daß das optische Scherkraftmodus-Nahfeldabtastmikroskop nach dem Stand
der Technik eine geringe Empfindlichkeit hat und dadurch nicht in der Lage ist, eine
präzise Feedback- bzw. Rückkopplungs-Regelung auszuführen.
Aus der EP 0,791,802 A1 ist ein Nahfeld-Abtastmikroskop bekannt, welches eine am
Ende einer Lichtleitfaser ausgebildete Sondenspitze zur optischen Untersuchung ei
ner Probenoberfläche aufweist, welches eine Lichtquelle hat, die Licht in das distale
Ende der Lichtleitfaser einkoppelt, und welches ein stimmgabelförmig ausgebildetes
Schwingelement hat, an dessen einem Tragarm die Lichtleitfaser angebracht ist,
wobei das Schwingelement mittels einer Signalrückkopplungseinheit piezoelektrisch
in resonante Schwingung versetzt wird und der Tragarm zusammen mit der Lichtleit
faser vertikal zu der Probenoberfläche schwingt. Die Schwingungsrichtung der abge
bogen verlaufenden Lichtleitfaser ist dort quer zur Ausrichtung des einen Tragarms,
an dem sie befestigt ist. Durch diese Anordnung, bestehend aus gebogener Licht
leitfaser und Tragarm, wird die Empfindlichkeit des Nahfeld-Abtastmikroskops herab
gesetzt.
Aus der EP 0,864,899 A2 ist ein weiteres Nahfeld-Abtastmikroskop bekannt, bei dem die
Lichtleitfaser parallel zum und an einem Tragarm befestigt ist. Diese Anordnung weist
eine derartige Steifigkeit im Bereich Lichtleitfaser und Tragarm auf, dass die Mess
empfindlichkeit herabgesetzt ist.
Schließlich ist aus der DE 40 13 742 A1 ein Abtastkopf bekannt, der magnetisch an
gesteuert mit einer konstanten Anpreßkraft in Richtung der abzutastenden Oberflä
che belastet wird. Der Einsatz einer Lichtleitfaser ist aus diesem Stand der Technik
nicht bekannt.
Es ist deshalb die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Optisches Nahfeld-
Abtastmikroskop zu schaffen, welches eine erhöhte Empfindlichkeit aufweist und mit
welchem eine präzisere Rückkopplungregelung ausführbar ist.
Die Erfindung weist zur Lösung dieser Aufgabe die im Patentanspruch 1 angegebe
nen Merkmale auf. Vorteilhafte Ausgestaltungen hiervon sind in den weiteren An
sprüchen angegeben.
Durch die erfindungsgemäße Ausbildung wird die Steifigkeit der Lichtleitfaser in Ach
senrichtung ausgenutzt.
Die vorstehende Aufgabe, die Merkmale und Vorteile nach der vorliegenden Erfin
dung können unter Berücksichtigung der folgenden, detaillierten Beschreibung der
bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung und unter Bezugnahme
auf die zugehörigen Zeichnungen besser verstanden werden.
Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnungen näher erläutert. Diese zei
gen in:
Fig. 1 eine schematische Ansicht eines Optischen Nahfeldabtast-Mikroskops
nach der vorliegenden Erfindung;
Fig. 2 eine vergrößerte Ansicht des Schwingelements des optischen Mikro
skops nach der vorliegenden Erfindung;
Fig. 3 eine vergleichende Darstellung der Beziehung zwischen der Ausgangs
spannung und der Antriebsamplitude, gemäß dem Stand der Technik und gemäß der
vorliegenden Erfindung, jeweils unter verschiedenen Umgebungsbedingungen;
Fig. 4 eine Beziehung zwischen der Spitze der Amplitude und der Höhe des
Prüfkopfs über der Probe nach der vorliegenden Erfindung, und zwar in Luft und an
der Resonanzfrequenz;
Fig. 5 eine Beziehung zwischen der Spitze der Amplitude und der Höhe des
Prüfkopfs über der Probe nach der vorliegenden Erfindung, und zwar unter Wasser
und an der Resonanzfrequenz;
Fig. 6 eine Beziehung zwischen der Spitze der Amplitude und der Höhe des
Prüfkopfes über der Probe, bei einem Optischen Scherkraftmodus-Nahfeldabtast-
Mikroskops nach dem Stand der Technik, welches in Umgebungsluft eingesetzt ist
und in der Resonanzfrequenz arbeitet; und
Fig. 7 eine schematische Ansicht eines Optischen Scherkraftmodus-
Nahfeldabtast-Mikroskops nach dem Stand der Technik.
Wie es in den Fig. 1 und 2 gezeigt ist, umfaßt ein Optisches Nahfeld-
Abtastmikroskop nach einer Ausführungsform nach der vorliegenden Erfindung eine
Lichtquelle 10, einen optischen Faserprüfkopf 20, ein Schwingelement 30 und eine
Signalrückkopplungseinheit 40.
Die Lichtquelle 10 weist eine Laserlichtquelle 11 auf, die über eine Blende 12 und
einen optischen Faserkoppler 13 mit einem optischen Faserprüfkopf 20 für den opti
schen Nahfeldeinsatz verbunden ist.
Der optische Faserprüfkopf 20 ist mit einer Lichtquelle 10 verbunden, so daß ein
Punktende des Prüfkopfes 20 eine Nahfeldpunktlichtquelle ausbildet.
Das Schwingelement 30 umfaßt einen piezoelektrischen Bimorph 31, einen Magne
ten 32, ein Eisenstück 33, und einen Aufhängearm 34. Der Magnet 32 weist eine
Endfläche auf, an der der piezoelektrische Bimorph 31 durch einen Kleber befestigt
ist, und weist eine andere Endfläche auf, die das Eisenstück 33 anzieht, um eine Ü
berlagerungsanordnung auszubilden. Das Eisenstück 33 ist an dem Aufhängearm 34
angeordnet. Der Magnet 32 wirkt als ein Verbindungsmedium. In dem Fall, daß der
Aufhängearm 34 beschädigt wird, ist es nur notwendig, das Eisenstück 33 von dem
Magneten 32 zu entfernen. Der Aufhängearm 34 ist eine Aufhängearm-Stimmgabel,
die an einem Ende davon mit dem Prüfkopf 20 fest verbunden ist und die an dem
anderen Ende davon mit dem piezoelektrischen Bimorph 31 versehen ist. Der Auf
hängearm 34 ist mit zwei Elektroden 341 und 342 versehen.
Die Signalrückkopplungseinheit 40 weist eine Regelungseinheit 41 auf, die einen
Signaleingang hat, welcher mit zwei Elektroden 341 und 342 des Aufhängearms 34
verbunden ist, und zwar über einen Vorverstärker 42 zur Regelung der Vibrationen
des piezoelektrischen Bimorphs 31. Die Schwingungsfrequenz liegt in der Nähe der
Resonanzfrequenz der gesamten Einheit aus dem Optischen Nahfeld-Faserprüfkopf
20 und dem Aufhängearm 34. Die Regelungseinheit 41 weist einen anderen Eingang
auf, um das optische Nahfeld-Signal zu empfangen, welches von dem Punktende
des Prüfkopfs 20 erhalten wird und dieses Signal wird zu einer photoelektrischer
Multiplizierschaltung 44 und zu einem phasenverriegelten Verstärker 43 übertragen.
Das verstärkte Signal wird dann zu der Regelungseinheit 41 übertragen, um als das
Bildsignal des Optischen Nahfeld-Abtastmikroskops zu dienen.
Wenn der Prüfkopf 20 in Beziehung zu der Oberfläche der Probe gelangt, so ist der
Bereich der Wirkfläche größer, und zwar infolge der Van der Walls-Kräfte und der
äquivalenten Last der Oberflächenwirkkraft des Aufhängearms 34. An der Reso
nanzfrequenz ist die durch den Prüfkopf 20 gespeicherte Energie größer, wodurch
dessen Amplitude größer ist als bei dem Scherkraftmodus nach dem Stand der
Technik. Hierbei ist nur ein Ende des Aufhängearms 34 an dem Prüfkopf 20 ange
bracht, wodurch die gesamte Steifigkeit kleiner ausfällt. Im Ergebnis ist die Schwin
gungsempfindlichkeit besser.
Wie es in der Fig. 3 gezeigt ist, werden das optische Mikroskop nach dem Stand der
Technik und das optische Mikroskop nach der vorliegenden Erfindung unter ver
schiedenen Umgebungsbedingungen eingesetzt. Die Ausgangsspannung und die
Antriebsamplitude der beiden Elektroden 341 und 342 werden miteinander vergli
chen. Die Linie (a) zeigt die Kurve des Schwingelements 30 nach der vorliegenden
Erfindung im freien Zustand. Die Linie (b) zeigt die Kurve nach der vorliegenden Er
findung in Luft an. Die Linie (c) zeigt die Kurve nach der vorliegenden
Erfindung in Wasser an. Die Linie (d) zeigt die Kurve nach dem Stand der Technik in
Luft an. Der Wert der Spannung nach der vorliegenden Erfindung in Luft oder Was
ser ist größer als der Wert in Luft gemäß dem Stand der Technik. Daraus ergibt sich,
daß die vorliegende Erfindung eine bessere Empfindlichkeit aufweist.
Wie es in der Fig. 4 gezeigt ist, liegt 19,5 nm in 10% bis 90% des Änderungsbe
reichs der Amplitude nach der vorliegenden Erfindung (Wechselwirkungsbereich) in
Luft und bei der Resonanzfrequenz. Die Empfindlichkeit (Neigung) beträgt 0,083 V
/nm, wobei dieser Wert viermal größer ist als die 0,02 V/nm nach dem Stand der
Technik. Unter Bezugnahme auf die Fig. 5 ist dort die Empfindlichkeit nach der vor
liegenden Erfindung unter Wasser und an der Resonanzfrequenz von 0,072 V/nm
etwa 3,6 mal größer als die Empfindlichkeit nach dem Stand der Technik. Es ist somit
offensichtlich, daß die vorliegende Erfindung eine hervorragende Empfindlichkeit und
eine präzise Rückkopplungsregelung aufweist.
Hinsichtlich vorstehend im einzelnen nicht näher erläuterter Merkmale der Erfindung
wird in übrigen ausdrücklich auf die Patentansprüche und die Zeichnungen verwie
sen.
Claims (4)
1. Optisches Nahfeld-Abtastmikroskop,
mit einer am Ende einer Lichtleitfaser ausgebildeten Sondenspitze zur optischen Untersuchung einer Probenoberfläche,
mit einer Lichtquelle (10), die Licht in das distale Ende der Lichtleitfaser einkoppelt,
und mit einem stimmgabelförmig ausgebildeten Schwingelement (30), an dessen einem Tragarm (34) die Lichtleitfaser angebracht ist,
wobei das Schwingelement (30) vermittels einer Signalrückkopplungseinheit (40) piezoelektrisch in resonante Schwingung versetzt wird und der Tragarm (34) zusammen mit der Lichtleitfaser vertikal zu der Probenoberfläche schwingt,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Lichtleitfaser am Ende des Tragarms (34) angebracht ist,
daß die Lichtleitfaser im Bereich des Tragarms (34) linear ausgebildet und im wesentlichen senkrecht zu diesem ausgerichtet ist
und daß die Achse der Lichtleitfaser mit der Schwingungsrichtung des Tragarms (34) übereinstimmt.
mit einer am Ende einer Lichtleitfaser ausgebildeten Sondenspitze zur optischen Untersuchung einer Probenoberfläche,
mit einer Lichtquelle (10), die Licht in das distale Ende der Lichtleitfaser einkoppelt,
und mit einem stimmgabelförmig ausgebildeten Schwingelement (30), an dessen einem Tragarm (34) die Lichtleitfaser angebracht ist,
wobei das Schwingelement (30) vermittels einer Signalrückkopplungseinheit (40) piezoelektrisch in resonante Schwingung versetzt wird und der Tragarm (34) zusammen mit der Lichtleitfaser vertikal zu der Probenoberfläche schwingt,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Lichtleitfaser am Ende des Tragarms (34) angebracht ist,
daß die Lichtleitfaser im Bereich des Tragarms (34) linear ausgebildet und im wesentlichen senkrecht zu diesem ausgerichtet ist
und daß die Achse der Lichtleitfaser mit der Schwingungsrichtung des Tragarms (34) übereinstimmt.
2. Nahfeld-Abtastmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Lichtquelle (10) als Laserlichtquelle (11) ausgebildet ist.
3. Nahfeld-Abtastmikroskop nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß der piezoelektrische Antrieb für das Schwingelement (30) mit einem Magneten (32)
verbunden ist, daß das Schwingelement (30) an einem Eisenstück (33) befestigt ist und
daß das Eisenstück (33) von dem Magneten (32) angezogen und getragen ist.
4. Nahfeld-Abtastmikroskop nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die Signalrückkopplungseinheit (40) den Tragarm (34) über einen
von einer Regelungseinheit (41) angesteuerten Vorverstärker (42) ansteuert, wobei die
Regelungseinheit (41) ihrerseits von einem phasenverriegelten Verstärker (43) und dieser
von dem Detektor (44) des Nahfeld-Abtastmikroskop angesteuert wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19925431A DE19925431C2 (de) | 1999-06-02 | 1999-06-02 | Optisches Nahfeld-Abtastmikroskop |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19925431A DE19925431C2 (de) | 1999-06-02 | 1999-06-02 | Optisches Nahfeld-Abtastmikroskop |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19925431A1 DE19925431A1 (de) | 2000-12-14 |
DE19925431C2 true DE19925431C2 (de) | 2002-11-07 |
Family
ID=7910124
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19925431A Expired - Fee Related DE19925431C2 (de) | 1999-06-02 | 1999-06-02 | Optisches Nahfeld-Abtastmikroskop |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19925431C2 (de) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4013742A1 (de) * | 1990-04-28 | 1991-10-31 | Focus Messtechnik Gmbh & Co Kg | Abtastkopf |
EP0791802A1 (de) * | 1996-02-20 | 1997-08-27 | Seiko Instruments Inc. | Kombiniertes Nahfeld- und Interatomarkraftrastermikroskop |
EP0864899A2 (de) * | 1997-03-12 | 1998-09-16 | Seiko Instruments Inc. | Optisches Nahfeld-Rastermikroskop |
-
1999
- 1999-06-02 DE DE19925431A patent/DE19925431C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4013742A1 (de) * | 1990-04-28 | 1991-10-31 | Focus Messtechnik Gmbh & Co Kg | Abtastkopf |
EP0791802A1 (de) * | 1996-02-20 | 1997-08-27 | Seiko Instruments Inc. | Kombiniertes Nahfeld- und Interatomarkraftrastermikroskop |
EP0864899A2 (de) * | 1997-03-12 | 1998-09-16 | Seiko Instruments Inc. | Optisches Nahfeld-Rastermikroskop |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE19925431A1 (de) | 2000-12-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE10084431B4 (de) | Aktive Sonde für ein Rasterkraftmikroskop mit atomarer Auflösung sowie Verfahren zur Verwendung derselben | |
DE19510368C2 (de) | Rasterabbildungssystem mit gekoppeltem Oszillator | |
DE60037884T2 (de) | Mehrfachsonden-Messgerät und zugehöriges Anwendungsverfahren | |
DE3878473T2 (de) | Wandler fuer fluessigkeiten. | |
DE69122343T2 (de) | Atomkraft-Mikroskopie | |
DE10393608B4 (de) | Scanverfahren und - vorrichtung, konfokales Lichtleitfaser-Endoskop, -Mikroskop, oder -Endomikroskop mit einer Scanvorrichtung sowie Lichtleitfaser-Endoskop, -Mikroskop oder - Endomikroskop mit einer Scanvorrichtung | |
DE2553638A1 (de) | Vorrichtung zur messung von massen | |
EP0444173A1 (de) | Vorrichtung zur feststellung und/oder überwachung eines vorbestimmten füllstandes in einem behälter. | |
EP2361443A1 (de) | Elektromechanischer energiewandler zur erzeugung von elektrischer energie aus mechanischen bewegungen | |
WO2008031618A1 (de) | Einrichtung zum abtasten einer von einer flüssigkeit bedeckten probenoberfläche | |
DE19925431C2 (de) | Optisches Nahfeld-Abtastmikroskop | |
DE19852833A1 (de) | Verfahren zur Bestimmung des Abstandes einer Nahfeldsonde von einer zu untersuchenden Probenoberfläche und Nahfeldmikroskop | |
DE19531465C2 (de) | Rastersonde für die optische Nahfeldmikroskopie | |
DE112009001338B4 (de) | Abtastvorrichtung für Rastersondenmikroskop | |
EP1644708A1 (de) | Feldgerät zur bestimmung und/oder berwachung einer prozessgrösse | |
WO2016029326A1 (de) | Messvorrichtung zum charakterisieren eines prüflings mittels ultraschall-transversalwellen und -longitudinalwellen | |
DE4424635A1 (de) | Mikromechanischer Beschleunigungssensor | |
DE2828103A1 (de) | Blattabtaster | |
EP1623433A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur berührungslosen anregung von torsionsschwingungen in einem einseitig eingespannten federbalken eines rasterkraftmikroskops | |
WO2007128615A1 (de) | Messeinrichtung zur bestimmung der materialparameter von festen materialproben | |
DE19822286B4 (de) | Akustik-Mikroskop | |
WO2020232491A1 (de) | Cantilever für ein rasterkraftmikroskop | |
DE69719458T2 (de) | Abtastgerät für Probenmikroskop | |
DE19502822A1 (de) | Verfahren zur Gewinnung eines abstandsabhängigen Signales bei der Rastersondenmikroskopie | |
DE102005038245A1 (de) | Vorrichtung zur Schwingungsanregung eines einseitig in einem Rasterkraftmikroskop befestigten Federbalkens |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8328 | Change in the person/name/address of the agent |
Representative=s name: REINHARDT, M., DIPL.-ING.UNIV., PAT.-ANW., 83224 G |
|
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |
Effective date: 20150101 |