DE19922445A1

DE19922445A1 - Spark erosion device for removing material, includes nebuliser for providing dielectric fluid spray or vapour in work region

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Publication number: DE19922445A1
Application number: DE1999122445
Authority: DE
Inventors: Walter Klink
Original assignee: Walter Klink & Co KG GmbH
Current assignee: Walter Klink & Co KG GmbH
Priority date: 1999-05-07
Filing date: 1999-05-07
Publication date: 2000-11-09

Abstract

The dielectric fluid supply device (6) includes a nebuliser (7) for providing a spray or vapours (8) in the work region (4).

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Werkstoffabtrag bei einem Werkstück durch Funkenerosion mit einer Elektrode, mit den Merkmalen des Oberbegriffes des Anspruches 1.The invention relates to a device for material removal for a workpiece by spark erosion with an electrode, with the features of the preamble of claim 1.

Damit ein Werkstoffabtrag durch Funkenerosion stattfinden kann, muß in einer Arbeitszone, in welcher dieser Werk stoffabtrag am Werkstück erfolgen soll, ein Dielektrikum vorhanden sein, das eine Funkenbildung zwischen Elektrode und Werkstück ermöglicht. Zu diesem Zweck weisen derartige Erodiervorrichtungen eine Dielektrikumzuführungseinrichtung auf, die das Dielektrikum in die Arbeitszone einbringt.So that material erosion takes place through spark erosion can, must in a work zone in which this plant material is to be removed from the workpiece, a dielectric be present, which creates a spark between the electrode and workpiece. For this purpose, such EDM devices a dielectric feed device that brings the dielectric into the work zone.

Bei einer Senkerodiervorrichtung wird eine Elektrode abwech selnd bis zur Erosionswirkung in die Arbeitszone am Werk stück abgesenkt und davon wieder angehoben. Mit Hilfe einer derartigen Senkerodiervorrichtung werden in das Werkstück Kavitäten, insbesondere Durchgangsfiguren oder -profile ein gebracht, deren Querschnitt aufgrund des Funkenspaltes etwas größer als der Querschnitt der verwendeten Elektrode ist. Die Bereitstellung von Dielektrikum erfolgt bei herkömmli chen Senkerodiervorrichtungen dadurch, daß sich das Werk stück beim Bearbeiten in einem Dielektriumsbecken befindet und in das Dielektrikum eingetaucht ist. Wenn die Arbeitszo ne nur sehr klein ist, kann eine ausreichende Bereitstellung von Dielektrikum auch dadurch realisiert werden, daß ein Zu führungskanal vorgesehen ist, der im Bereich der Arbeitszone endet und durch den das flüssige Dielektrikum tröpfchenweise in die Arbeitszone eingebracht wird.In the case of a sink eroding device, an electrode is alternated alternately until the erosion effect in the work zone at the plant piece lowered and raised again. With the help of a such EDM device are in the workpiece Cavities, in particular passage figures or profiles brought, the cross section of something due to the spark gap is larger than the cross section of the electrode used. The provision of dielectric is carried out at Conventional Chen eroding devices in that the plant piece is located in a dielectric tank during processing and is immersed in the dielectric. When the work ne is very small, sufficient provision can be made of dielectric can also be realized in that a Zu guide channel is provided in the area of the work zone ends and through which the liquid dielectric drops by drop is brought into the work zone.

Zur Ausbildung kleinster Kavitäten werden dementsprechend Elektroden mit kleinsten Durchmessern, insbesondere Elektro den mit einem Querschnitt kleiner als 100 µm verwendet. Je nach der erwünschten Eindringtiefe in das Werkstück, weisen die Elektroden eine langgestreckte Form auf, so daß diese bei kleinen Querschnitten als Rohr- oder Drahtelektroden oder als Profildraht oder -rohr bezeichnet werden können. Ein solcher Profildraht hat im einfachsten Fall einen kreis förmigen Querschnitt. Derartige langgestreckte Elektroden sind biegeempfindlich und deflektieren schon bei relativ kleinen Biegekräften. Hier bei ergibt sich das Problem, daß bereits ein in die Arbeitszone eingebrachter Tropfen aus Dielektrikum eine solche Elektrode deflektieren kann, worun ter die Genauigkeit der zu erzeugenden Öffnung leidet. Au ßerdem kann der gesamte Erodiervorgang durch Kurzschlußbil dung zum Erliegen kommen. Dieses Abdrängen der dünnen Elek trode kommt insbesondere dann zustande, wenn der Tropfen am Werkstück haftet und die Elektrode nur einseitig berührt. Die Oberflächenspannung der Flüssigkeit erzeugt dann Zug kräfte, die größer sind als die Biegesteifigkeit der Elek trode, so daß diese einseitig angezogen und deflektiert wird. Wenn sich das Elektrodenende dabei noch oberhalb des Eingangsbereiches der bereits zum Teil ausgebildeten Kavität befindet, kann die Auslenkung der Elektrode außerdem dazu führen, daß das Elektrodenende den Eingang der Kavität nicht mehr findet. Insbesondere besteht dabei die Gefahr, daß die Elektrode neben der Kavität mit dem Werkstück kollidiert, wobei sich die Elektrode bleibend verformen kann.Accordingly, the formation of smallest cavities Smallest diameter electrodes, especially electrical used with a cross section smaller than 100 microns. Each according to the desired depth of penetration into the workpiece the electrodes have an elongated shape so that these with small cross sections as tube or wire electrodes or can be referred to as profile wire or tube. In the simplest case, such a profile wire has a circle shaped cross section. Such elongated electrodes are sensitive to bending and deflect at relative small bending forces. Here the problem arises that a drop already brought into the work zone Dielectric can deflect such an electrode, which is why ter the accuracy of the opening to be created suffers. Au In addition, the entire eroding process by short circuit bil come to a standstill. This pushing the thin elec trode comes about especially when the drop on Workpiece sticks and only touches the electrode on one side. The surface tension of the liquid then creates tension forces greater than the bending stiffness of the elec trode so that it is attracted and deflected on one side becomes. If the end of the electrode is still above the Entrance area of the already partially formed cavity is the deflection of the electrode can also cause the electrode end not to enter the cavity finds more. In particular, there is a risk that the Electrode collides with the workpiece next to the cavity, whereby the electrode can deform permanently.

Der Bedarf, hochpräzise Mikroöffnungen in Werkstücken einzu bringen, nimmt insbesondere in der Medizintechnik, der Mi krosensorik, der Mikroelektronik, der Herstellung von Mikro fasern, der Fluidtechnik und der Mikrooptik zu, so daß ein erhöhtes Interesse daran besteht, allgemein bei Erodiervor richtung, insbesondere bei Senkerodiervorrichtungen für Elektroden mit minimalem Querschnitt, die Prozeßsicherheit zu erhöhen und den Aufwand zur Durchführung der Erodiertech nik, insbesondere der Mikroerodiertechnik, zu reduzieren.The need to insert high-precision micro openings in workpieces bring, especially in medical technology, the Mi krosensorik, microelectronics, the production of micro fibers, the fluid technology and the micro-optics, so that a there is increased interest, generally in EDM direction, in particular with eroding devices for Electrodes with a minimal cross-section, process reliability to increase and the effort to carry out the EDM technology, especially micro-eroding technology.

Die vorliegende Erfindung beschäftigt sich mit dem Problem, bei einer Erodiervorrichtung der eingangs genannten Art die Zuführung des Dielektrikums dahingehend auszugestalten, daß auch eine Senkerosion mit Elektroden ausführbar ist, deren Querschnitt kleiner als 100 µm ist.The present invention addresses the problem in an eroding device of the type mentioned in the Supply of the dielectric in such a way that sink erosion can also be carried out with electrodes whose Cross section is less than 100 microns.

Dieses Problem wird erfindungsgemäß durch eine Vorrichtung mit den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst.According to the invention, this problem is solved by a device solved with the features of claim 1.

Die Erfindung beruht auf dem allgemeinen Gedanken, das Die lektrikum fein dispers als Nebel oder als Dampf in die Ar beitszone einzubringen. Durch diese Maßnahme ist es einer seits möglich bei einer Senkerodiervorrichtung das Dielek trikum nahezu kräftefrei auf die Elektrode aufzubringen, so daß eine Ablenkung oder Auslenkung der biegeempfindlichen Elektrode aus ihrer Vorschubrichtung vermieden wird. Ande rerseits kann dadurch die Zufuhr des Dielektrikums hochgenau dosiert werden, so daß stets eine optimale Menge an Dielek trikum in die Arbeitszone eingebracht werden kann. Für eine durch Senkerosion in ein Werkstück einzubringende Öffnung kann somit auch für kleinste Elektrodenquerschnitte, z. B. bei Draht- oder Drahtprofilelektroden mit einem Elektroden querschnitt aus einem Bereich von 8 µm bis 40 µm, eine hohe Präzision gewährleistet werden. Derartig dünne Drahtelektro den werden beispielsweise zur Herstellung von Startöffnungen oder Startlöchern mit kleinsten Querschnitten zur Vorberei tung eines Drahterodierprozesses verwendet.The invention is based on the general idea that the dielectric in the form of a fine mist or vapor to bring in the working zone. With this measure it is one on the one hand possible with a sink eroding device the Dielek apply trikum almost without force to the electrode, see above that a deflection or deflection of the bend sensitive Electrode is avoided from its feed direction. Ande on the other hand, the supply of the dielectric can be highly precise be dosed so that always an optimal amount of Dielek trikum can be brought into the work zone. For one Opening to be made in a workpiece by EDM can thus also for the smallest electrode cross-sections, e.g. B. for wire or wire profile electrodes with one electrode cross-section from a range of 8 µm to 40 µm, a high one Precision can be guaranteed. Such a thin wire electric that are used, for example, to produce launch openings or starting blocks with the smallest cross sections for preparation device used in a wire EDM process.

Entsprechend einer Weiterbildung kann die Dielektrikumzufüh rungseinrichtung Antriebsmittel aufweisen, die den Nebel oder den Dampf aus Dielektrikum zur Arbeitszone antreiben. Auf diese Weise ist es möglich, den Transport des Dielektri kums zur Arbeitszone von der Erzeugung des Nebels bzw. Damp fes lokal zu trennen, so daß die Dosierung des Dielektrikums verfeinert und dessen kräftefreie Zuführung zur Elektrode bzw. zur Arbeitszone verbessert werden kann.According to a further development, the dielectric can be fed Rungseinrichtung have drive means that the fog or drive the vapor from the dielectric to the work zone. In this way it is possible to transport the dielectric cum to the work zone from the generation of the mist or vapor Separate fes locally so that the dosage of the dielectric refined and its force-free feed to the electrode or can be improved to the work zone.

Weitere wichtige Merkmale und Vorteile der erfindungsgemäßen Vorrichtung ergeben sich aus den Unteransprüchen, aus den Zeichnungen und aus der zugehörigen Figurenbeschreibung an hand der Zeichnungen.Other important features and advantages of the invention Device result from the dependent claims, from the Drawings and from the associated figure description hand of the drawings.

Es versteht sich, daß die vorstehend genannten und die nach stehend noch zu erläuternden Merkmale nicht nur in der je weils angegebenen Kombination, sondern auch in anderen Kom binationen oder in Alleinstellung verwendbar sind, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.It is understood that the above and the following standing features to be explained not only in the ever because specified combination, but also in other com binations or alone can be used without the To leave the scope of the present invention.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dargestellt und werden in der nachfolgenden Be schreibung näher erläutert.Preferred embodiments of the invention are in the Drawings are shown and are in the following Be spelling explained in more detail.

Es zeigen, jeweils schematisch,Each shows schematically

Fig. 1 eine vereinfachte Prinzipdarstellung in einer Sei tenansicht auf eine Erodiervorrichtung nach der Er findung, FIG. 1 is a simplified schematic diagram in a tenansicht Be a Erodiervorrichtung after he contraption,

Fig. 2 eine erste Ausführungsform einer Dielektrikumzufüh rungseinrichtung, Fig. 2 shows a first embodiment of a Dielektrikumzufüh inference means,

Fig. 3 eine zweite Ausführungsform einer Dielektrikumzufüh rungseinrichtung,3 shows a second embodiment of a reasoner Dielektrikumzufüh.,

Fig. 4 eine dritte Ausführungsform einer Dielektrikumzufüh rungseinrichtung, Fig. 4 shows a third embodiment of a reasoner Dielektrikumzufüh,

Fig. 5 eine Ansicht von oben im Schnitt auf die Dielektri kumszuführung im Bereich einer Arbeitszone, Fig. 5 is a view from above in section of the Dielektri kumszuführung the region of a working zone,

Fig. 6 eine vierte Ausführungsform einer Dielektrikumzufüh rungseinrichtung und Fig. 6 shows a fourth embodiment of a dielectric supply device and

Fig. 7 eine fünfte Ausführungsform einer Dielektrikumzufüh rungseinrichtung. Fig. 7 shows a fifth embodiment of a dielectric supply device.

Entsprechend Fig. 1 weist eine Erodiervorrichtung 1, die hier beispielhaft als Senkerodiervorrichtung, insbesondere als Drahtsenkeroderiervorrichtung, ausgebildet ist, eine langgestreckte, dünne, stabförmige Elektrode 2 auf, die ein Rohr oder ein Draht sein kann und ein gewünschtes Profil bzw. Querschnittsprofil aufweist. Im folgenden wir die Elek trode 2 auch Profilelektrode oder Profildraht oder Draht ge nannt. Der Draht 2 wird mittels eines bidirektional arbei tenden Antriebs 3 abwechselnd bis zur Erosionswirkung in ei ne Arbeitszone 4 an einem Werkstück 5 abgesenkt und davon wieder abgehoben. Die bidirektionale Verstellbewegung ist durch einen Doppelpfeil a symbolisiert. Die Senkerodiervor richtung 1 weist eine Dielektrikumzuführungseinrichtung 6 auf, mit deren Hilfe das für die Funkenerosion erforderliche Dielektrikum in die Arbeitszone 4 eingebracht wird. Erfin dungsgemäß weist die Dielektrikumzuführungseinrichtung 6 zu diesem Zweck Nebelerzeugungsmittel 7 auf, die einen Nebel oder Dampf 8 aus Dielektrikum erzeugen und diesen in die Ar beitszone 4 einbringen. Durch diese Maßnahme erfolgt eine fein disperse Zuführung des Dielektrikums zum Profildraht 2 und in die Arbeitszone 4, wobei der Kontakt mit dem Draht 2 nahezu kräftefrei erfolgt, so daß eine Deflektion des Drah tes 2 wirkungsvoll vermieden werden kann. Die so ausgebilde te Dielektrikumzuführung in Form eines Dielektrikumnebels oder -dampfes 8 ermöglicht dadurch auch bei Drähten 2 mit einem Querschnitt kleiner als 100 µm, insbesondere bei Quer schnitten zwischen 50 µm und 10 µm, einen Erodierprozeß höchster Genauigkeit.According to FIG. 1, an eroding device 1 , which is designed here as a sink eroding device, in particular as a wire sinking eroding device, has an elongated, thin, rod-shaped electrode 2 , which can be a tube or a wire and has a desired profile or cross-sectional profile. In the following we will also call the electrode 2 profile electrode or profile wire or wire. The wire 2 is lowered by means of a bidirectionally working drive 3 alternately up to the erosion effect in egg ne working zone 4 on a workpiece 5 and lifted off again. The bidirectional adjustment movement is symbolized by a double arrow a. The Senkerodiervor device 1 has a dielectric feed device 6 , with the help of which the dielectric required for spark erosion is introduced into the working zone 4 . According to the invention, the dielectric feed device 6 has for this purpose mist generating means 7 which generate a mist or vapor 8 from the dielectric and introduce it into the working zone 4 . By this measure, a finely disperse feed is the dielectric to profile wire 2 and in the working zone 4, wherein the contact with the wire 2 is almost free of forces, so that a deflection of the Drah can be tes 2 effectively avoided. The thus formed te dielectric supply in the form of a dielectric mist or vapor 8 thus enables wires 2 with a cross-section smaller than 100 μm, in particular in cross sections between 50 μm and 10 μm, an erosion process of the highest accuracy.

Es ist klar, daß für den Draht 2 Führungsmittel vorgesehen sind, die den Draht 2 bis in die Nähe des Werkstückes 5 axial führen. Derartige Führungsmittel sind jedoch zur Wah rung der Übersichtlichkeit in Fig. 1 weggelassen.It is clear that guide means are provided for the wire 2, which guide the wire 2 axially into the vicinity of the workpiece 5 . However, such guide means are omitted for clarity in FIG. 1.

Die Senkerodiervorrichtung 1 weist außerdem eine Steuerung 31, die die Dielektrikumzuführungseinrichtung 6 in Abhängig keit von Prozeßparametern der Funkenerosion betätigt.The sinker EDM device 1 also has a controller 31 which actuates the dielectric feed device 6 in dependence on process parameters of the spark erosion.

In den Fig. 2 bis 6 sind verschiedene Ausführungsformen für die Dielektrikumzuführungseinrichtung 6 wiedergegeben.In Figs. 2 to 6 show various embodiments are given for the Dielektrikumzuführungseinrichtung. 6

Entsprechend Fig. 2 sind bei einer ersten Variante der Die lektrikumzuführungseinrichtung 6 die Nebelerzeugungsmittel durch einen Ultraschallverdampfer oder Ultraschallvernebler 9 gebildet, der in einem Vorratsbehälter 10 untergebracht ist. Dieser Vorratsbehälter 10 wird über eine Versorgungs leitung 11 mit flüssigem Dielektrikum 12 befüllt. Der Ultra schallverdampfer 9 erzeugt Ultraschallschwingungen, die an der Oberfläche des Dielektrikums 12 kleinste Partikel ablö sen, wodurch sich der gewünschte Dampf 8 oder Nebel aus Die lektrikum bildet. Die Dielektrikumzuführungseinrichtung 6 verfügt hier außerdem über ein Gebläse 13 als Antriebsmittel durch das der Nebel 8 mit einer minimalen Luftströmung be aufschlagt wird, die bewirkt, daß der Nebel 8 aus der Die lektrikumzuführungseinrichtung 6 austritt und zur Arbeitszo ne 4 gelangt. Außerdem kann stromab des Ultraschallverdamp fers 9 ein Strömungshindernis 14 angeordnet sein, um größere Nebelpartikel aus der Strömung auszufiltern, während kleine re, zulässige Partikel das Strömungshindernis nahezu unge hindert durchdringen können.According to FIG. 2, in a first variant of the dielectric supply device 6, the mist generating means are formed by an ultrasonic evaporator or ultrasonic nebuliser 9 , which is accommodated in a storage container 10 . This reservoir 10 is filled via a supply line 11 with liquid dielectric 12 . The ultrasonic evaporator 9 generates ultrasonic vibrations that detach the smallest particles on the surface of the dielectric 12 , as a result of which the desired vapor 8 or mist is formed from the dielectric. The Dielektrikumzuführungseinrichtung 6 here also has a fan 13 as a driving means by which the mist 8 with a minimum air flow will be aufschlagt, which causes the fog 8 from the outlet 6 and the lektrikumzuführungseinrichtung ne Arbeitszo to 4 passes. In addition, a flow obstacle 14 can be arranged downstream of the ultrasonic evaporator 9 in order to filter out larger fog particles from the flow, while small, permissible particles can penetrate the flow obstacle almost unhindered.

Entsprechend Fig. 3 sind bei einer zweiten Variante der Die lektrikumzuführungseinrichtung 6 die Nebelerzeugungsmittel durch eine Zerstäubungseinrichtung 15 gebildet, die hier nach Art einer Venturi-Düse arbeitet. Zu diesem Zweck ist in der Dielektrikumzuführungseinrichtung 6 ein Reservoir 16 ausgebildet, das über eine Zuführungsleitung 17 mit flüssi gem Dielektrikum versorgt wird. Ein Tauchrohr 18 ragt in das flüssige Dielektrikum 12 ein und kommuniziert mit einem Un terdruckbereich der Düse 15, wodurch flüssiges Dielektrikum 12 angesaugt wird. Durch den Druckabfall stromab des Saug rohres 18 erfolgt dann die Zerstäubung am Austritt der Düse 15, so daß der gewünschte Nebel 18 aus der Dielektrikumzu führungseinrichtung 6 austritt. In einer Luftzuführungslei tung 19 wird dabei unter relativ hohem Druck Luft zur Düse 15 zugeführt und an dieser gedrosselt. Durch die Drosselwir kung wird dabei die Austrittsgeschwindigkeit des Nebels 8 aus der Dielektrikumzuführungseinrichtung 6 bestimmt, die vorzugsweise minimal eingestellt wird, um eine kräftefreie Dielektrikumzuführung zum Draht 2 bzw. zur Arbeitszone 4 zu erzielen.According to FIG. 3, in a second variant of the dielectric supply device 6, the mist generating means are formed by an atomizing device 15 , which here works in the manner of a Venturi nozzle. For this purpose, a reservoir 16 is formed in the dielectric feed device 6 , which is supplied with a liquid dielectric via a feed line 17 . A dip tube 18 protrudes into the liquid dielectric 12 and communicates with a vacuum region of the nozzle 15 , whereby liquid dielectric 12 is sucked in. Due to the pressure drop downstream of the suction tube 18 , the atomization takes place at the outlet of the nozzle 15 , so that the desired mist 18 emerges from the Dielektrikumzu guide device 6 . In an air supply line 19 , air is supplied to the nozzle 15 and throttled at a relatively high pressure. By the Drosselwir effect, the exit speed of the mist 8 from the dielectric feed device 6 is determined, which is preferably set to a minimum in order to achieve a force-free dielectric feed to the wire 2 or to the working zone 4 .

Entsprechend Fig. 4 kann bei einer weiteren Variante der Ne belerzeuger in Form einer fluidischen Multivibratorschaltung 20 ausgebildet sein. Eine derartige Multivibratorschaltung 20 arbeitet wie folgt: Ein Flüssigkeitsstrahl wird durch ei ne Zuführungsleitung 21 in eine Kammer 22 eingeleitet und trifft auf eine keilförmige Spitze 23, die den eintretenden Strahl in eine linke Rückführungsleitung 24 und eine rechte Rückführungsleitung 25 einlenkt. Durch einen in die Kammer 22 mit entsprechenden, nicht dargestellten Mittel eingelei teten Druckstoß kann nun der Wasserstrahl so abgelenkt wer den, daß er beispielsweise ausschließlich entsprechend einer strichpunktierten Linie durch den linken Rückführungsleitung 24 strömt. Der Coandaeffekt sorgt dabei dafür, daß sich der Strahl nicht von selbst wieder in seine Mittelstellung zu rückverstellt. Sobald jedoch der Wasserstrahl am Ende der linken Rückführungsleitung 24 in die Kammer 22 eintritt be wirkt er einen Druckstoß, der den Wasserstrahl in die rechte Rückführungsleitung 25 umlenkt, so daß der Wasserstrahl aus schließlich dem mit unterbrochenen Linien dargestellten Strömungsweg folgt. Auf diese Weise wechselt der in die Kam mer 22 eintretende Strahl ständig zwischen den beiden Rück führungsleitungen 24, 25, wodurch eine hochfrequente Schwin gung erzeugt wird, was durch einen Doppelpfeil a angedeutet ist. Diese hochfrequente Schwingung oder Vibration führt zu einer Zerstäubung der eingeleiteten Flüssigkeit oder Nebel- bzw. Dampfbildung in der Kammer 22. Dieser Nebel 8 wird über einen Nebelauslaß 26 aus der Kammer 22 abtransportiert, wo bei entsprechende Transportmittel vorgesehen sind. Für die Abführung überschüssigen flüssigen Dielektrikums, das hier die in die Kammer 22 eingestrahlte Flüssigkeit bildet, sind entsprechende nicht dargestellte Entnahmeöffnungen vorgese hen.According to FIG. 4, in a further variant the ne generator can be designed in the form of a fluidic multivibrator circuit 20 . Such a multivibrator circuit 20 works as follows: A liquid jet is introduced through a supply line 21 into a chamber 22 and strikes a wedge-shaped tip 23 which directs the incoming beam into a left return line 24 and a right return line 25 . By a pressure surge introduced into the chamber 22 with corresponding means, not shown, the water jet can now be deflected so that it flows, for example, exclusively through a dash-dotted line through the left return line 24 . The Coanda effect ensures that the beam does not automatically return to its central position. However, as soon as the water jet enters the chamber 22 at the end of the left return line 24, it acts on a pressure surge which deflects the water jet into the right return line 25 , so that the water jet finally follows the flow path shown with broken lines. In this way, the beam entering the chamber 22 changes constantly between the two return guide lines 24 , 25 , whereby a high-frequency oscillation is generated, which is indicated by a double arrow a. This high-frequency oscillation leads to atomization of the introduced liquid or formation of mist or vapor in the chamber 22 . This mist 8 is transported out of the chamber 22 via a mist outlet 26 , where appropriate means of transport are provided. For the removal of excess liquid dielectric, which forms the liquid radiated into the chamber 22 here, corresponding removal openings, not shown, are provided.

An die Mündungsbereiche der in den Fig. 2, 3 und 4 darge stellten Dielektrikumzuführungseinrichtungen 6 kann enstpre chend Fig. 5 eine Nebelleiteinrichtung 32 angeschlossen sein, die eine zylindrische Nebelkammer 33 aufweist. Diese Nebelkammer 33 ist an ihren axialen Enden offen, so daß der Draht 2 koaxial durch die Nebelkammer 33 hindurchführbar ist. Die Längsachse der Nebelkammer 33 und die des Drahtes 2 stehen dabei senkrecht auf der Zeichnungsebene. Der Nebel 8 wird noch im Bereich der Nebelerzeugung mit einer relativ schwachen Strömung beaufschlagt, die den Nebel 8 entspre chend Pfeilen a einem Mündungsspalt 34 zuleitet. Der Mün dungsspalt 24 erstreckt sich axial entlang der Nebelkammer 33 und ermöglicht einen tangentialen Eintritt des Nebels 8 in die Nebelkammer 33, in der sich dann eine durch Pfeile b symbolisierte schwache Wirbelströmung ausbildet. Diese ge richtete Rotation des Nebels 8 konzentrisch zum Draht 2 hat zur Folge, daß ggf. auftretende Strömungskräfte am Umfang des Drahtes 2 gleichmäßig angreifen, so daß sich diese Kräf te gegenseitig aufheben und keine Auslenkung des Drahtes 2 aus seiner Axialrichtung bewirken können. Es ist klar, daß diese Wirbelströmung mit minimalen Strömungsgeschwindigkei ten realisiert wird, um eine Zentrifugalwirkung innerhalb der Nebelkammer 33 zu vermeiden, welche die Nebelpartikel durch Fliegkraftwirkung radial nach außen abdrängen würde. Der sich in der Nebelkammer 33 ansammelnde Nebel oder Dampf 8 gelangt so ohne Kraftübertragung auf den Draht 2 in die Arbeitszone 4.To the mouth areas in Figs. 2, 3 and 4 easily Darge Dielektrikumzuführungseinrichtungen 6 enstpre can accordingly Fig. 5 is a Nebelleiteinrichtung be connected 32 that has a cylindrical mist chamber 33. This fog chamber 33 is open at its axial ends, so that the wire 2 can be passed coaxially through the fog chamber 33 . The longitudinal axis of the fog chamber 33 and that of the wire 2 are perpendicular to the plane of the drawing. The mist 8 is still subjected to a relatively weak flow in the area of the mist generation, which accordingly supplies the mist 8 with arrows a to an orifice gap 34 . The Mün tion gap 24 extends axially along the fog chamber 33 and allows tangential entry of the fog 8 into the fog chamber 33 , in which a weak vortex flow symbolized by arrows b is then formed. This ge directed rotation of the mist 8 concentric with the wire 2 has the result that any flow forces that may occur on the circumference of the wire 2 attack uniformly, so that these forces cancel each other out and can not cause any deflection of the wire 2 from its axial direction. It is clear that this vortex flow is realized with minimal flow velocities in order to avoid a centrifugal effect within the cloud chamber 33 , which would force the fog particles radially outwards by the effect of the flying force. The mist or steam 8 that accumulates in the mist chamber 33 thus reaches the working zone 4 without power transmission to the wire 2 .

Entsprechend den Fig. 6 und 7 kann die Dielektrikumzufüh rungseinrichtung 6 eine Ringkammer 27 bzw. 28 aufweisen, die gemäß Fig. 5 auf dem Werkstück 5 aufliegen oder gemäß Fig. 6 in der Nähe der Oberfläche des Werkstückes 6 angeordnet sein kann. Die Ringkammer 27, 28 umschließt dabei den Draht 2 koaxial.May be as shown in FIGS. 6 and 7, the Dielektrikumzufüh approximating means 6 an annular chamber 27 and 28 have, in accordance with Fig. 5 resting on the workpiece 5 or FIG. 6 in the vicinity of the surface of the workpiece 6 is placed. The ring chamber 27 , 28 coaxially surrounds the wire 2 .

Gemäß Fig. 6 weist die Ringkammer 27 Nebelaustrittsöffnungen 29 auf, die einen Dampfaustritt in Richtung Draht 2 ermögli chen. Der Dampf 8 kann dabei axial nach oben und/oder axial nach unten und/oder radial nach innen aus den dementspre chend angeordneten Dampfaustrittsöffnungen 29 austreten. Der Dampf 8 kann bei einer derartigen Ausführungsform an einer anderen Stelle erzeugt werden und über entsprechende An triebsmittel und Leitungen dem Ring 27 zugeleitet werden. Durch die geeignete Dimensionierung der Dampfaustrittsöff nungen 29 kann der Dampf 8 nahezu strömungsfrei in die Ar beitszone 4 gelangen.Referring to FIG. 6, the annular chamber 27 to mist outlet openings 29, a vapor outlet in the direction of wire 2 ermögli chen. The steam 8 can emerge axially upwards and / or axially downwards and / or radially inwards from the steam outlet openings 29 accordingly arranged. The steam 8 can be generated in such an embodiment at another location and the appropriate drive means and lines to the ring 27 are supplied. Due to the suitable dimensioning of the steam outlet openings 29 , the steam 8 can reach the work zone 4 virtually without flow.

Gemäß Fig. 7 kann die Ringkammer 28 einen beispielsweise ringförmigen Wandabschnitt 30 aufweisen, der aus einem porö sen Material besteht. Im Inneren der Ringkammer 28 kann dann flüssiges Dielektrikum 12 mit einem relativ hohen Druck be aufschlagt werden, mit der Folge, daß das Dielektrikum durch den Wandabschnitt 30 fein dispers austritt und den gewünsch ten Nebel 8 bildet, der sich außerdem in Richtung Draht 2 bzw. zur Arbeitszone 4 bewegt. Die Ringkammer 28 kommuni ziert zu diesem Zweck mit entsprechenden Druckerzeugungsmit teln sowie mit einer Dielektrikumszuführungsleitung. Der po röse Wandabschnitt 30 ist hier radial nach innen sowie axial nach unten zur Arbeitszone 4 und zum Draht 2 hin orientiert.Referring to FIG. 7, the annular chamber 28 may have, for example, a ring-shaped wall section 30 which consists of a porö sen material. Inside the annular chamber 28 , liquid dielectric 12 can then be opened at a relatively high pressure, with the result that the dielectric exits through the wall section 30 in a finely dispersed manner and forms the desired mist 8 , which also forms in the direction of wire 2 or moved to work zone 4 . The annular chamber 28 communicates for this purpose with appropriate pressure generating means and with a dielectric supply line. The po rous wall section 30 is oriented radially inwards and axially downwards to the working zone 4 and the wire 2 .

Claims

1. Device for removing material from a workpiece ( 5 ) by spark erosion by means of an electrode ( 2 ), with a dielectric feed device ( 6 ) which introduces a dielectric into a working zone ( 4 ) on the workpiece ( 5 ), in which the material is removed by spark erosion , characterized in that the dielectric supply device ( 6 ) has mist generation means ( 7 ) which generate a mist or vapor ( 8 ) of dielectric which is introduced into the working zone ( 4 ).

2. Eroding device according to claim 1, characterized in that the dielectric feed device ( 6 ) has drive means ( 13 ) which drive the mist or steam ( 8 ) to the working zone ( 9 ).

3. Eroding device according to claim 1 or 2, characterized in that a controller is provided which adjusts the amount of mist or steam ( 8 ) supplied to the working zone ( 4 ) as a function of parameters of the spark erosion process.

4. EDM device according to one of claims 1 to 3, characterized in that the electrode ( 2 ) has a cross section which is smaller than 100 µm, in particular less than 50 µm.

5. Eroding device according to one of claims 1 to 4, characterized in that the electrode is formed by a wire ( 2 ).

6. Eroding device according to claim 4 or 5, characterized in that an electrode drive device ( 3 ) is provided which alternately lowers the electrode ( 2 ) in its longitudinal direction up to the eroding effect in the working zone ( 4 ) on the workpiece ( 5 ) and raises it again .

7. Eroding device according to one of the preceding claims, characterized in that the mist generation means ( 7 ) an ultrasonic evaporator or ultrasonic nebulizer ( 9 ) and / or a fluidic multivibrator ( 20 ) and / or an atomizing nozzle ( 15 ) for evaporating or atomizing the dielectric exhibit.

8. EDM device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the drive means ( 13 ) with fluidic low pressure technology and / or work with convection.

9. EDM device according to one of claims 1 to 8, characterized in that the drive means have a fan ( 13 ).

10. Eroding device according to one of claims 3 to 9, characterized in that the parameters, in the dependence of which the amount of fog or steam supplied to the working zone ( 4 ) is controlled, are formed by the eroding progress and / or the electrode size and / or the electrode diameter .