DE19921177A1 - Ultraschall-Drahtbondeinrichtung - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft eine Ultraschall-Drahtbondeinrichtung mit einem in Z-Richtung verfahrbaren und drehbaren Bondkopf, an dem mittels einer Transduceraufnahme ein Ultraschall-Transducer mit einem zugehörigen Bondwerkzeug und einem Ultraschall-Schwingungserzeuger befestigt ist, wobei die Transduceraufnahme als in Z-Richtung federelastische Parallelführung ausgebildet ist und wobei zwischen dem Bondkopf und der Transduceraufnahme eine Antriebsvorrichtung vorgesehen ist, um die Transduceraufnahme in Z-Richtung relativ zum Bondkopf zu bewegen. DOLLAR A Durch die Erfindung soll eine Ultraschall-Drahtbondeinrichtung mit einer Transduceraufnahme geschaffen werden, die einen besonders einfachen Aufbau besitzt, kostengünstig gefertigt werden kann und die eine einfache und schnelle Montage erlaubt. DOLLAR A Erfindungsgemäß ist die Transduceraufnahme (3) aus einem Stück gearbeites und umfaßt eine Klemmvorrichtung (7) für den Ultraschall-Transducer (4), einen Befestigungsblock (8) zur Befestigung der Transduceraufnahme (3) am Bondkopf (1) sowie Festkörpergelenke (11) umfaßt (Fig. 3).

Description

Die Erfindung betrifft eine Ultraschall-Drahtbondeinrichtung mit einem in Z-Richtung verfahrbaren und drehbaren Bondkopf, an dem mittels einer Transduceraufnahme ein Ultraschall-Trans­ ducer mit einem zugehörigen Bondwerkzeug und einem Ultra­ schall-Schwingungserzeuger befestigt ist, wobei die Trans­ duceraufnahme als in Z-Richtung federelastische Parallel­ führung ausgebildet ist und wobei zwischen dem Bondkopf und der Transduceraufnahme eine Antriebsvorrichtung vorgesehen ist, um die Transduceraufnahme in Z-Richtung relativ zum Bond­ kopf zu bewegen.

Derartige Ultraschall-Drahtbondvorrichtungen werden für die Montage von Halbleiterbauelementen benötigt und dienen zur Herstellung von Drahtbrücken, beispielsweise zwischen Bond­ inseln auf Halbleiterchips und Kontaktinseln auf einem Träger­ element auf dem das Halbleiterbauelement vorher montiert wor­ den ist. Die für das Ultraschall-Drahtbonden benötigte Ul­ traschallenergie wird durch einen Ultraschall-Schwingungs­ erzeuger bereitgestellt und über einen Ultraschall-Transducer an ein daran befestigtes Bondwerkzeug übertragen. Diese Bond­ einheit ist üblicherweise so an einem in Z-Richtung verfahr­ baren und drehbaren Bondkopf befestigt, daß das Bondwerkzeug gegenüber dem Bondkopf in Z-Richtung bewegbar ist. Diese Bewe­ gung des Bondwerkzeuges wird dadurch erreicht, daß der Trans­ ducer um eine horizontale Achse verschwenkbar am Bondkopf angeordnet ist. Auch besteht die Möglichkeit, die Bondeinheit in einer Vertikalführung am Bondkopf anzuordnen.

Aus der DE 40 16 720 A1 ist beispielsweise eine Vorrichtung bekannt geworden, bei welcher eine aus Ultraschall-Schwin­ gungserzeuger, Transducer und Bondwerkzeug bestehende Bond­ einheit über eine vierarmige Halterung am Bondkopf befestigt ist. Diese vierarmige Halterung wird durch eine obere und eine untere Platte gebildet, die Verlängerungsarme der vierarmigen Halterung darstellen. Weiterhin sind flexible, blattfederför­ mige Verbindungselemente vorgesehen, welche die Platten mit dem Bondkopf einerseits und mit einer Aufnahme für den Trans­ ducer andererseits verbinden. Durch diese Halterung kann der Transducer in Z-Richtung gegenüber dem Bondkopf verlagert werden.

Um die für den Ultraschallbondvorgang notwendige Bondkraft erzeugen zu können, befindet sich zwischen dem Bondkopf und der oberen Platte der vierarmigen Halterung eine Druckfeder und zusätzlich ein elektromagnetischer Antrieb.

Bei derartigen Bondeinrichtungen, bei denen die Ruhelage ihres Transducers durch einen einstellbaren Festanschlag vorgegeben ist, muß eine Nachsetzbewegung erzeugt werden, um beim Bond­ vorgang einen Verformungsweg durchlaufen zu können. Die Nach­ setzbewegung muß dabei mindestens so groß sein, wie der Ver­ formungsweg des zu bondenden Drahtes, damit der Transducer während des Bondvorganges seine Ruhelage nicht erreichen kann.

Eine derartige Vorrichtung besteht aus einer Vielzahl von Bauteilen, so daß der Montagevorgang sehr aufwendig ist. Ins­ besondere ist der Aufbau der vierarmigen Halterung sehr kom­ pliziert, was sich insbesondere im Falle einer notwendigen Reparatur, beispielsweise beim Bruch einer der Federn, als sehr nachteilig erweist.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Ultra­ schall-Drahtbondeinrichtung mit einer Transduceraufnahme zu schaffen, die einen besonders einfachen Aufbau besitzt, ko­ stengünstig gefertigt werden kann und die eine einfache und schnelle Montage erlaubt.

Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabenstellung wird bei einer Ultraschall-Drahtbondvorrichtung der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß die Transduceraufnahme als aus einem Stück gearbeitete Parallelführung ausgebildet ist und eine Klemmvorrichtung für den Ultraschall-Transducer, einen Be­ festigungsblock zur Befestigung der Transduceraufnahme am Bondkopf sowie Festkörpergelenke umfaßt.

Durch eine derartig ausgestaltete Ultraschall-Drahtbondvor­ richtung wird eine besonders einfache Transduceraufnahme ge­ schaffen, die insbesondere auch im Servicefall eine leichte und schnelle Montage der Drahtbondeinrichtung am Bondkopf ermöglicht. Der wesentliche Vorteil dieser Lösung ist jedoch darin zu sehen, daß der Transducer nunmehr nach dem Aufsetzen auf der Bondstelle aus der Ruhelage heraus bewegt werden kann, wobei entweder ein vorgegebenes Verformungsprofil durchlaufen werden kann, oder die Bondkraft geregelt werden kann.

Weiterhin wird durch die Erfindung eine Ultraschall-Drahtbond­ vorrichtung mit einer vollkommen wartungsfreien Transducerauf­ nahme geschaffen, bei der das Arbeiten auf mechanische An­ schläge nicht erforderlich ist. Das hat zur Folge, daß auf die sonst erforderlichen Beruhigungszeiten und Nachsetzbewegungen verzichtet werden kann.

In Fortführung der Erfindung weist die Transduceraufnahme zwischen der Klemmvorrichtung und dem Befestigungsblock ein übersetzendes Parallelogramm auf, welches die Festkörpergelen­ ke einschließt, d. h. es wird eine Viergelenkkette mit Festkör­ pergelenken realisiert. Damit sind sämtliche bewegbaren Ele­ mente einschließlich der zugehörigen Befestigungselemente in einer einstückigen Baugruppe zusammengefaßt, die beispiels­ weise durch Erodieren oder Laserschneiden hergestellt werden kann.

Im Interesse einer ausreichenden Systemsteifigkeit in X- und Y-Richtung besteht das übersetzende Parallelogramm aus zwei parallel zueinander verlaufenden Tragarmen, in denen am Über­ gang zur Klemmvorrichtung bzw. zum Befestigungsblock jeweils ein Festkörpergelenk eingearbeitet ist. Zu diesem Zweck sind die Tragarme weiterhin so ausgestaltet, daß diese zwischen den jeweiligen Festkörpergelenken eine hohe Biegesteifigkeit auf­ weisen.

Um die Masse der Transduceraufnahme auf ein Minimum zu be­ schränken und dennoch eine ausreichende Verwindungssteifigkeit zu erreichen, wird die Breite der Transduceraufnahme und auch der Tragarme durch die Breite des Transducers bestimmt. Das ist notwendig, da sich der Ultraschalltransducer in Querrich­ tung durch die Transduceraufnahme erstreckt und das Bondwerk­ zeug in einem Abstand zur Einspannstelle des Transducers an diesem befestigt ist. Die für das Drahtbonden notwendige Bond­ kraft darf in keinem Fall zu einem Verwinden der Transducer­ aufnahme führen, sondern es muß sichergestellt sein, daß das Bondwerkzeug weitgehend nur entlang der Z-Achse bewegt wird. Die durch die Parallelführung zwangsläufig bedingte geringfü­ gige Parallelverlagerung des Transducers in X-Richtung ist dabei unkritisch, da nach dem Touch-Down des Bondwerkzeuges keine Nachsetzbewegung mehr erforderlich ist. Die benötigte Bondkraft wird nur durch die entsprechende elektrische An­ steuerung der Antriebsvorrichtung erzeugt.

Eine weitere erfindungsgemäße Fortbildung der Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß die Klemmvorrichtung den Ultra­ schall-Transducer form- und kraftschlüssig umgibt, wodurch eine einfache Montage ermöglicht wird.

Die Klemmvorrichtung ist bevorzugt mit einer Bohrung zur Auf­ nahme des Ultraschall-Transducers versehen, in der mehrere Aufnahmeelemente regelmäßig verteilt angeordnet sind. Diese Aufnahmeelemente sind als Paßflächen ausgebildet, die den Ultraschall-Transducer zumindest teilweise formschlüssig um­ schließen.

Um eine sichere und feste Klemmung des Transducers zu ermögli­ chen, ist in die Klemmvorrichtung eine quer zur Bohrung und etwa bis zur Bohrungsmitte verlaufende Ausnehmung eingearbei­ tet. Damit können die sich neben der Ausnehmung befindlichen Teile der Klemmvorrichtung mit einer Spanneinrichtung gegen­ einander verspannt werden, was gleichzeitig dazu führt, daß der Transducer sicher geklemmt wird.

Bevorzugt besteht die Spanneinrichtung aus einer parallel zur Bohrung verlaufenden Spannschraube.

Um weiterhin eine besonders einfache Ankopplung der Antriebs­ vorrichtung zu ermöglichen, ist eine weitere Ausgestaltung der Erfindung dadurch gekennzeichnet, daß aus der Klemmvorrichtung ein einwärts zwischen die Tragarme reichendes Koppelelement zur Ankopplung der Antriebsvorrichtung hervorsteht.

Die Antriebsvorrichtung besteht bevorzugt aus einem Voice- Coil-Antrieb, mit dem die erforderlichen Stellkräfte in Z- Richtung fein dosiert auf die Klemmeinrichtung ausgeübt werden können. Der mit einer Spule versehene Basisteil des Voice- Coil-Antriebes ist am Bondkopf befestigt und dessen als Mag­ netaktor ausgebildeter Aktor mit dem Koppelelement verbunden.

Um die aktuelle Position des Transducers bzw. des Bondwerkzeu­ ges in Z-Richtung relativ zum Bondkopf ständig aktuell erfas­ sen zu können, ist am Bondkopf weiterhin ein Abstandssensor angeordnet, der auf die Klemmvorrichtung gerichtet ist.

Eine erfindungsgemäß ausgestaltete Ultraschall-Drahtbondvor­ richtung besitzt gegenüber den aus dem Stand der Technik be­ kannten Lösungen weitere Vorteile. So kann die ansonsten not­ wendige Nachsetzbewegung nach dem Aufsetzen des Bondwerkzeuges auf die Bondstelle entfallen. Der zum Bonden notwendige Ver­ formungsweg kann nämlich aus der Ruhelage des Transducers durchlaufen werden. Hierzu dient die elektrische Ansteuerung des Voice-Coil-Antriebes. Das bedeutet pro Bondvorgang eine weitere Zeiteinsparung, die bei ca. 20 ms liegt.

Die Erfindung soll nachfolgend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden. In den zugehörigen Zeichnungen zeigen:

Fig. 1 eine Vorderansicht der Ultraschall-Drahtbondvorrich­ tung mit einer an einem Bondkopf angeordneten erfin­ dungsgemäßen Transduceraufnahme;

Fig. 2 eine teilweise im Schnitt dargestellte Seitenansicht der Ultraschall-Drahtbondvorrichtung nach Fig. 1;

Fig. 3 eine perspektivische Darstellung der Transducerauf­ nahme mit einem an dieser befestigten Transducer mit einem Ultraschall-Schwingungserzeuger und einem Bond­ werkzeug.

Fig. 4 eine Seitenansicht der Transduceraufnahme; und

Fig. 5 eine Draufsicht auf die Transduceraufnahme.

In Fig. 1, 2 ist schematisch ein Bondkopf 1 dargestellt, der drehbar und vertikal in Z-Richtung verschiebbar an einem Ul­ traschall-Drahtbonder befestigt ist. An dem Bondkopf 1 befin­ det sich außerhalb der Drehachse ein senkrecht nach unten ragender Ausleger 2, der mit dem Bondkopf 1 fest verbunden ist. Dieser Ausleger 2 dient zur Aufnahme einer Transducerauf­ nahme 3, an der ein Transducer 4 mit einem daran befestigten Bondwerkzeug 5 und ein zugehöriger Ultraschall-Schwinger 6 lösbar befestigt sind.

Die Transduceraufnahme 3 enthält eine Klemmvorrichtung 7 zur Aufnahme des Transducers 4 und einen Befestigungsblock 8, mit dem die Transduceraufnahme 3 mit Hilfe einer Schraubverbindung 9 am Ausleger 2 befestigt ist. Zwischen der Klemmvorrichtung 7 und dem Befestigungsblock 8 enthält die Transduceraufnahme 3 eine Parallelführung, bestehend aus zwei im Abstand zuein­ ander angeordneten Tragarmen 10. Diese Tragarme 10 sind je­ weils über ein Festkörpergelenk 11 mit der Klemmvorrichtung 7 bzw. dem Befestigungsblock 8 verbunden. Die Befestigung der Transduceraufnahme 3 mit dem Befestigungsblock 8 am Ausleger 2 erfolgt dabei derart, daß die Klemmvorrichtung 7 entgegen der Federkraft der Festkörpergelenke 11 in Z-Richtung auf- oder abwärts bewegt werden kann.

Das besondere Kennzeichen der Transduceraufnahme 3 ist darin zu sehen, daß diese einschließlich der Klemmvorrichtung 7, der Tragarme 10, der Festkörpergelenke 11 und des Befestigungs­ blockes 8 einstückig ausgebildet ist. Damit läßt sich diese Baugruppe mit wenigen Handgriffen und ohne besonderen Einstel­ laufwand am Ausleger 2 montieren, was die Servicefreundlich­ keit des gesamten Bondkopfes wesentlich erhöht.

Wie aus den Fig. 1 bis 3 und insbesondere Fig. 4 weiterhin ersichtlich ist, enthält die Klemmvorrichtung 7 eine Bohrung 12 zur Aufnahme des Ultraschall-Transducers 4. In dieser Boh­ rung 12 sind auf der Bohrungsmantelfläche drei Aufnahmeelemen­ te 13 regelmäßig verteilt angeordnet, die jeweils als Paß­ fläche 14 ausgebildet sind. Diese Paßflächen 14 umschließen den Ultraschall-Transducer 4 zumindest teilweise formschlüs­ sig.

Um eine sichere Klemmung des Transducers 4 zu erreichen, ist die Klemmvorrichtung 7 mit einer quer zur Bohrung 12 und etwa bis zur Bohrungsmitte verlaufenden Ausnehmung 15 versehen, wie dies aus Fig. 3, 5 gut ersichtlich ist. Damit können die sich neben der Ausnehmung 15 befindenden Spannteile 16, 17 der Klemmvorrichtung 7 mit Hilfe einer Spannvorrichtung gegenein­ ander verspannt werden. Die im Ausführungsbeispiel verwendete Spanneinrichtung besteht aus einer parallel zur Bohrung 12 angeordneten Spannschraube 18. Diese Spannschraube 18 ist in eine Gewindebohrung im zeichnungsgemäß linken Teil 16 der Klemmvorrichtung 7 neben der Ausnehmung 15 eingeschraubt und erstreckt sich durch eine Bohrung im anderen Teil 18, so daß durch Verdrehen der Spannschraube 18 eine auf den Transducer 4 einwirkende Spannkraft erzeugt werden kann. Es versteht sich, daß für eine genügende Spannkraft nur eine geringfügige Verspannung der Spannteile 16, 17 im elastischen Bereich er­ forderlich ist. Voraussetzung hierfür ist allerdings eine ausreichend genaue Passung zwischen dem Transducer 4 und den Aufnahmeelementen 13, so daß der Transducer 4 im entpannten Zustand der Spanneinrichtung straff in diese eingeschoben werden kann.

Damit die Klemmvorrichtung 7 in Z-Richtung gegenüber dem Bond­ kopf bewegt werden kann, um beispielsweise die erforderliche Bondkraft auf einen zu bondenden Draht ausüben zu können, ist eine Antriebsvorrichtung vorgesehen, die im vorliegenden Aus­ führungsbeispiel aus einem Voice-Coil-Antrieb 19 besteht. Die­ ser Voice-Coil-Antrieb 18 enthält ein Basisteil 20, welches am Bondkopf 1 direkt über der Klemmvorrichtung 7 befestigt ist und einem Magnetaktor 21. Dieser Magnetaktor 21 wirkt unmit­ telbar auf die Klemmvorrichtung 7, die damit mit dem Magnetak­ tor 21 in Z-Richtung vom Bondkopf 1 weg- oder in Richtung zu diesen hinbewegt werden kann. Die durch die Parallelführung zwangsläufig bedingte geringfügige Parallelverlagerung des Ultraschall-Transducers 4 in Y-Richtung ist dabei unproblema­ tisch, da nach dem Touch-Down des Bondwerkzeuges 5 keine Nach­ setzbewegung mehr notwendig ist, um den Freiraum für den zu durchlaufenden Verformungsweg zu schaffen. Die nötige Bond­ kraft kann nunmehr durch die entsprechende elektrische An­ steuerung des Voice-Coil-Antriebes 19 erzeugt werden. Das bedeutet, daß es nunmehr möglich ist, die für den jeweiligen Bondvorgang benötigte Bondkraft mittels der ohnehin vorhande­ nen Rechnersteuerung des Ultraschall-Drahtbonders zu program­ mieren. Da das Bondwerkzeug 5 während des Bondvorganges in den Bonddraht einsinkt, erfolgt der Bondvorgang unter ständiger Lageregelung des Bondwerkzeuges 5. Selbstverständlich ist es auch möglich, den Bondvorgang durch eine Bondkraftregelung zu steuern.

Um den Magnetaktor 21 an der Klemmvorrichtung 7 befestigen zu können, steht aus dieser ein einwärts zwischen die Tragarme 10 reichendes Koppelelement 22 hervor, an dem der Aktor 21 seit­ lich durch eine Schraubverbindung 23 befestigt ist.

Für die Bestimmung der jeweils aktuellen Position des Trans­ ducers 3 bzw. des Bondwerkzeuges 5 in Z-Richtung relativ zum Bondkopf 1, ist weiterhin ein Abstandssensor 24 vorgesehen, der auf eine Außenfläche der Klemmvorrichtung 7 gerichtet ist. Damit kann die relative Position des Transducers 4 gegenüber dem Bondkopf 1 gemessen werden.

Bezugszeichenliste

1

Bondkopf

2

Ausleger

3

Transduceraufnahme

4

Ultraschall-Transducer

5

Bondwerkzeug

6

Ultraschall-Schwinger

7

Klemmvorrichtung

8

Befestigungsblock

9

Schraubverbindung

10

Tragarm

11

Festkörpergelenk

12

Bohrung

13

Aufnahmeelement

14

Paßfläche

15

Ausnehmung

16

Spannteil

17

Spannteil

18

Spannschraube

19

Voice-Coil-Antrieb

20

Basisteil

21

Aktuator

22

Koppelelement

23

Schraubverbindung

24

Abstandssensor

Claims (14)

1. Ultraschall-Drahtbondeinrichtung mit einem in Z-Richtung verfahrbaren und drehbaren Bondkopf, an dem mittels einer Transduceraufnahme ein Ultraschall-Transducer mit einem zugehörigen Bondwerkzeug und einem Ultraschall-Schwin­ gungserzeuger befestigt ist, wobei die Transduceraufnahme als in Z-Richtung federelastische Parallelführung ausge­ bildet ist und wobei zwischen dem Bondkopf und der Trans­ duceraufnahme eine Antriebsvorrichtung vorgesehen ist, um die Transduceraufnahme in Z-Richtung relativ zum Bondkopf zu bewegen, dadurch gekennzeichnet, daß die Transduceraufnahme (3) aus einem Stück gearbeitet ist und eine Klemmvorrichtung (7) für den Ultraschall- Transducer (4), einen Befestigungsblock (8) zur Befesti­ gung der Transduceraufnahme (3) am Bondkopf (1) sowie Festkörpergelenke (11) umfaßt.

2. Ultraschall-Drahtbondeinrichtung nach Anspruch 1, da­ durch gekennzeichnet, daß die Trans­ duceraufnahme (3) zwischen der Klemmvorrichtung (7) und dem Befestigungsblock (8) eine übersetzendes Parallelo­ gramm mit einem Übersetzungsverhältnis von 1 : 1 aufweist, welches die Festkörpergelenke (11) einschließt.

3. Ultraschall-Drahtbondeinrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß das über­ setzende Parallelogramm zwei parallel zueinander verlau­ fenden Tragarmen (10) besteht, in denen am Übergang zur Klemmvorrichtung (7) bzw. zum Befestigungsblock (8) je­ weils ein Festkörpergelenk (11) eingearbeitet ist.

4. Ultraschall-Drahtbondeinrichtung nach Anspruch 3, da­ durch gekennzeichnet, daß die Tragarme (10) zwischen den jeweiligen Festkörpergelenken (11) eine hohe Biegesteifigkeit aufweisen.

5. Ultraschall-Drahtbondeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Breite der Tragarme (10) die Breite der gesamten Transduceraufnahme (3) bestimmt.

6. Ultraschall-Drahtbondeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Klemmvorrichtung (7) den Ultraschall-Transducer (4) form- und kraftschlüssig umgibt.

7. Ultraschall-Drahtbondeinrichtung nach Anspruch 6, da­ durch gekennzeichnet, daß die Klemmvor­ richtung (7) mit einer Bohrung (12) zur Aufnahme des Ul­ traschall-Transducers (4) versehen ist, in der mehrere Aufnahmeelemente (13) regelmäßig verteilt angeordnet sind.

8. Ultraschall-Drahtbondeinrichtung nach Anspruch 7, da­ durch gekennzeichnet, daß die Aufnah­ meelemente (13) als Paßflächen (14) ausgebildet sind, die den Ultraschall-Transducer (4) zumindest teilweise form­ schlüssig umschließen.

9. Ultraschall-Drahtbondeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Klemmvorrichtung (7) eine quer zur Bohrung (12) und etwa bis zur Bohrungsmitte verlaufende Ausnehmung (15) aufweist.

10. Ultraschall-Drahtbondeinrichtung nach Anspruch 9, da­ durch gekennzeichnet, daß die sich neben der Ausnehmung (15) befindlichen Spannteile (16, 17) der Klemmvorrichtung (7) mit einer Spanneinrichtung gegen­ einander verspannbar sind.

11. Ultraschall-Drahtbondeinrichtung nach Anspruch 10, da­ durch gekennzeichnet, daß die Spannein­ richtung aus einer parallel zur Bohrung (12) verlaufenden Spannschraube (18) besteht.

12. Ultraschall-Drahtbondeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß aus der Klemmvorrichtung (7) ein einwärts zwischen die Tragarme (10) reichendes Koppelelement (22) zur Ankopplung der Antriebsvorrichtung hervorsteht.

13. Ultraschall-Drahtbondeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebsvorrichtung aus einem Voice-Coil-Antrieb (19) besteht, dessen mit einer Spule versehener Basisteil (20) am Bondkopf (1) befestigt ist und dessen Aktor (21) mit dem Koppelelement (22) verbunden ist.

14. Ultraschall-Drahtbondeinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, daß am Bondkopf (1) ein Abstandssensor (24) angeordnet ist, der auf die Klemmvorrichtung (7) gerichtet ist.