DE19907289C1

DE19907289C1 - Molding test scanner for detecting surface moldings on test pieces includes a scanner unit, a testing device with a surface-molding scanner and a testing and calibrating head with a calibration-molding unit

Info

Publication number: DE19907289C1
Application number: DE1999107289
Authority: DE
Original assignee: WALDE JUERGEN
Priority date: 1999-02-22
Filing date: 1999-02-22
Publication date: 2000-08-31
Anticipated expiration: 2019-02-23

Abstract

A scanner unit (12) and testing device (20) with a surface molding scanner detects surface moldings on test pieces. A molding test scanner (10) has a testing and calibrating head (15) with a calibration-molding unit (35), containing a calibration molding scannable by the surface-molding scanner for calibrating the molding test scanner and checking its calibration.

Description

Die Erfindung betrifft einen Profilmeßtaster mit einem einen Tastarm aufweisenden Tasterkörper und einer ein Oberflächenprofilmeßmittel aufweisenden Meßvorrichtung zur Erfassung von Oberflächenprofilen von Prüflingen, wobei der Profilmeßtaster (10) einen am freien Ende (16) des Tastar mes (13) befestigten Meß- und Kalibrierkopf (15) mit einem Kalibrierprofilkörper (35) aufweist, der ein von dem Ober flächenprofilmeßmittel abtastbares Kalibrierprofil (36) zur Kalibrierung bzw. Überprüfung der Kalibrierung des Profil meßtasters enthält, wobei das Kalibrierprofil (36) als an dem Oberflächenprofilmeßmittel entlangführbar ausgebildet ist.The invention relates to a profile probe with a probe body having a probe arm and a measuring device having a surface profile measuring means for detecting surface profiles of test objects, the profile probe ( 10 ) having a measuring and calibration head ( 15 ) attached to the free end ( 16 ) of the probe arm ( 13 ) comprises) with a Kalibrierprofilkörper (35) containing a flächenprofilmeßmittel scannable from the upper calibration profile (36) to calibrate or check the calibration of the profile measuring sensor, wherein the calibration profile (36) is formed as at the Oberflächenprofilmeßmittel along feasible.

Zur Messung von Oberflächenprofilen bzw. -rauhigkeiten werden heute üblicherweise taktile Profilmeßtaster einge setzt. Diese enthalten als Meßvorrichtung eine Tastnadel, deren Nadelspitze als Oberflächenprofilmeßmittel dient. Die Tastnadel ist an dem freien Ende eines, in einem Drehlager gelagerten und als Wippe ausgebildeten Hebelarmes montiert. Auf der anderen Seite des Drehlagers, an dem anderen Ende des Hebelarmes, befindet sich das Meßsystem. Dieses ist meist nach dem induktiven Wirkungsprinzip mit einer Diffe rentialdrossel ausgeführt. Es sind aber auch andere Meßsy steme, beispielsweise optische möglich.For measuring surface profiles and roughness tactile profile probes are usually used today puts. These contain a stylus as a measuring device, whose needle tip serves as a surface profile measuring means. The Stylus is at the free end of one, in a pivot bearing mounted and designed as a rocker arm. On the other side of the pivot bearing, at the other end of the lever arm, there is the measuring system. This is mostly based on the inductive principle of action with a dif rentialdrossel executed. But there are also other measuring systems steme, for example optical possible.

In der Vergangenheit wurden Profilmeßtaster fast aus schließlich zur Messung linearer Oberflächenprofile bzw. Oberflächenrauhigkeiten von Gegenständen eingesetzt. Im Hinblick auf die steigenden Anforderungen an die Oberflä chengüte von Werkstücken, werden heute zunehmend ganze Flächenausschnitte der Werkstückoberfläche abgetastet. Hierzu kann beispielsweise das Werkstück auf einem soge nannten xy-Verfahrschlitten montiert werden. Dieser wird derart unter dem stationären Taster vorbeigeführt, daß die zu messende Fläche rasterartig abgefahren wird. Bei der artigen Flächenmessungen ist es wichtig, daß der Tasterwert bzw. das Tastersignal nicht driftet. Derartige Meßwertver schiebungen können beispielsweise bedingt durch schwankende Temperaturen und/oder durch Abnutzungserscheinungen an der Nadelspitze der Tastnadel auftreten. Dies führt zu einer entsprechenden Verfälschung der Meßergebnisse. Beispiels weise kann deshalb eine in Wirklichkeit ebene Fläche eines Prüflings fälschlicherweise als gekrümmt erscheinen. Selbst im Falle eines völligen Defekts des Tasters, kann der Anwender diese Falschmessung nicht oder nur schwer anhand der Abtastergebnisse des abgetasteten Werkstückprofils feststellen. Denn das tatsächliche Werkstückprofil ist ihm gerade unbekannt und es besteht die Gefahr, daß sich der Anwender ungeprüft auf das Meßergebnis verläßt.In the past, profile probes were almost out finally for the measurement of linear surface profiles or Surface roughness of objects used. in the With regard to the increasing demands on the surface quality of workpieces, are increasingly becoming whole Surface sections of the workpiece surface are scanned. For this purpose, the workpiece can be placed on a so-called called xy-slide. This will passed under the stationary button in such a way that the the area to be measured is scanned in a grid pattern. At the like area measurements it is important that the button value or the button signal does not drift. Such Messwertver shifts can be caused, for example, by fluctuations Temperatures and / or wear and tear on the Needle tip of the stylus appear. This leads to a corresponding falsification of the measurement results. Example Therefore, a surface that is actually flat can be wise DUT incorrectly appear to be curved. Self in the event of a complete defect in the button, the Do not use this incorrect measurement or only with difficulty the scanning results of the scanned workpiece profile determine. Because the actual workpiece profile is him just unknown and there is a risk that the User leaves the test result unchecked.

Bei Meßgeräten, welche eine direkte Messung von elektri schen Größen ermöglichen, beispielsweise einem Voltmeter, ist ein ständiger Nullabgleich auf elektronischen Wege ein fach möglich. Demgegenüber ist bei vielen Meßgeräten für nicht-elektrische Größen eine halb- oder vollautomatische Nullungs- oder Nachkalibrierungsmöglichkeit wegen der damit verbundenen Schwierigkeiten und einer umständlichen Hand habung nicht vorgesehen. Dies gilt bisher auch für taktile Oberflächenprofilmeßtaster. Für eine sinnvolle Kalibrierung dieser Profilmeßtaster ist es erforderlich, den gesamten Taster, einschließlich die Verschleißteile und darunter insbesondere die Tastnadel, in die Kalibrierung bzw. den Überprüfungszyklus miteinzubeziehen. Die Überprüfung der Meßelektronik alleine, ist zwar einfacher, wird aber den Praxisansprüchen nicht gerecht.In measuring devices, which are a direct measurement of electri sizes, such as a voltmeter, is a constant zero adjustment electronically possible. In contrast, with many measuring devices for non-electrical quantities a semi or fully automatic Zeroing or recalibration option because of the associated difficulties and a laborious hand not provided. So far, this also applies to tactile Surface profile probe. For a sensible calibration this profile probe is required the entire Buttons, including the wearing parts and below especially the stylus, in the calibration or To include the review cycle. The review of the Measuring electronics alone is easier, but it will Practical claims do not do it justice.

Ein Profilmeßtaster gemäß dem Oberbegriff des Patentan spruches 1 ist aus der DE 44 12 882 A1 bekannt. Dort ist am freien Ende eines mit einer Tastspitze versehenen Ab tastkopfes ein zur Nachkalibrierung dienender Nockenteil um eine quer zum Gehäuse angeordnete Drehachse drehbar ange ordnet. Zur Nachkalibrierung kann der eine Nockeninnenflä che aufweisende Nockenteil von einer oberen Ruhestellung, bei der ein Ausmessen eines Oberflächenprofils mittels der Tastspitze möglich ist, in eine untere Kalibierstellung verschwenkt werden. Dadurch kann ein Zusammenwirken der Nockeninnenfläche mit der Tastspitze erfolgen. Dieser Profilmeßtaster hat jedoch den Nachteil, daß der Nockenteil in der Ruhestellung konstruktionsbedingt über das vordere Stirnende des Abtastkopfes hinaussteht. Dadurch wird der nach vorn verfügbare Abtastraum limitiert. Beispielsweise lassen sich Sacklochbohrungen nicht bis zu deren Grund abtasten. Ferner kann es bei einem wiederholten Nachkali brieren an der Nockeninnenfläche infolge Verschleißes zu einer unerwünschten Kerbenbildung durch die Tastspitze kommen. Dadurch können unrichtige Kalibrierergebnisse und Falschmessungen auftreten. Um derartige Fehler bei der Nachkalibirieung zu vermeiden, muß der Nockenteil frühzei tig ausgewechselt werden. Dies ist Zeit- und kostenaufwen dig. Ferner ist das abtastbare Kalibrierprofil auf eine konstruktionsbedingt limitierte Bogenlänge der Nockeninnen fläche begrenzt, so daß bestimmte Kalibrierungen nicht oder erst nach dem Auswechseln des Nockenteils durchführbar sind.A profile probe according to the preamble of the patent Proverb 1 is known from DE 44 12 882 A1. There is on free end of an Ab provided with a probe tip a cam part used for recalibration an axis of rotation arranged transversely to the housing is rotatably attached arranges. For recalibration, the one inner cam surface cam part from an upper rest position, in which a measurement of a surface profile by means of the Probe tip is possible in a lower calibration position be pivoted. As a result, the interaction of the The inner surface of the cam is done with the probe tip. This Profile probe has the disadvantage, however, that the cam part in the rest position, due to the construction, via the front Protruding end of the readhead. This will make the limited scanning space available to the front. For example blind holes cannot be drilled to the bottom scan. It can also be the case with repeated post-potash burn on the inside of the cam due to wear an undesirable notch formation by the probe tip come. This can result in incorrect calibration results and Incorrect measurements occur. To such errors in the To avoid recalibration, the cam part must be used early be replaced. This is time and cost consuming dig. Furthermore, the palpable calibration profile is on a constructionally limited arc length of the inner cams area limited so that certain calibrations do not or only feasible after replacing the cam part are.

Die DE 196 41 719 C1 A2 betrifft einen Bohrungsmeßkopf zur Bestimmung der Rauheit von Zylinderbohrungen. Hierzu weist der Bohrungsmeßkopf eine Sonde auf, die ein Rauheitsmeßge rät mit einer Tastspitze enthält. Für den Bohrungsmeßkopf kann als Zubehörteil eine separate Diagnosestation vorgese hen sein. In dieser befindet sich ein Geometrienormal in der Form eines in eine Glasplatte eingeätzten sinusförmigen Rillenprofils. Durch Abtasten dieses Profils werden Infor mationen über die Tasterempfindlichkeit und die Funktion des Vorschubgerätes erhalten. Die Geometrie der Tastspitze selbst muß mit Hilfe eines Spiegels visuell geprüft werden. Hierzu muß zunächst die Sonde aus der Meßbohrung entfernt und anschließend in eine Bohrung der separaten Diagnosesta tion überführt werden. Der Bohrungsmeßkopf und die Diagno sestation sind aufwendig in Konstruktion und Handhabung und es besteht bei der Bedienung durch angelerntes Personal die Gefahr einer Beschädigung der Tastspitze.DE 196 41 719 C1 A2 relates to a bore measuring head Determination of the roughness of cylinder bores. This points the bore measuring head a probe, which is a roughness measurement advises with a probe tip. For the bore measuring head can be provided as a separate diagnostic station as an accessory hen. In this there is a geometry standard in the shape of a sinusoidal etched into a glass plate Groove profile. By scanning this profile, Infor mations about the button sensitivity and the function of the feeder received. The geometry of the probe tip itself must be checked visually with the aid of a mirror. To do this, the probe must first be removed from the measuring hole and then into a hole in the separate diagnostic sta tion are transferred. The bore measuring head and the diagnosis sestation are complex in construction and handling and there is the operation by trained personnel Risk of damage to the probe tip.

Die DE 44 37 033 A1 betrifft ein herkömmliches Vorschubge rät für die Oberflächenmessung nach dem Tastschnittverfah ren. Eine den Praxisansprüchen genügende Nachkalibrierung ist nicht vollautomatisch möglich und es besteht die Gefahr einer unabsichtlichen Beschädigung der Tastspitze.DE 44 37 033 A1 relates to a conventional feeder advises for surface measurement using the tactile cut method ren. A recalibration that meets the practical requirements is not possible fully automatically and there is a risk accidental damage to the probe tip.

Aufgabe der Erfindung ist es, einen Profilmeßtaster zur Erfassung von Oberflächenprofilen von Prüflingen derart weiterzubilden, daß eine automatisierbare, über lange Zeiträume präzise Kalibrierung oder Überprüfung der Kali brierung des gesamten Profilmeßtasters bei günstigen Kali brier- und Profilerfassungsmöglichkeiten geschaffen ist.The object of the invention is to provide a profile probe Detection of surface profiles of test specimens in this way to train that an automatable, over long Periods of precise calibration or verification of the potash bration of the entire profile probe with cheap Kali brier and profile capture options is created.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale des Patentanspruches 1, insbesondere dadurch gelöst, daß das Kalibrierprofil (36) relativ zum Oberflächenprofilmeßmittel um die Längsachse des Tastarmes (13) drehbar und parallel zur Längsachse des Tastarmes (13) translatorisch verschieb bar ausgebildet ist.This object is achieved by the features of claim 1, in particular in that the calibration profile ( 36 ) relative to the surface profile measuring means about the longitudinal axis of the probe arm ( 13 ) rotatable and parallel to the longitudinal axis of the probe arm ( 13 ) is translationally displaceable bar.

Dadurch lassen sich in einfacher und präziser Weise alle Komponenten des Profilmeßtasters vollautomatisierbar über prüfen, beispielsweise immer beim Einschalten des Geräts, oder ereignisabhängig, oder in vorherbestimmbaren Zeitin tervallen. Diese Maßnahmen lassen sich nicht nur besonders vorteilhaft bei den üblicherweise eingesetzten taktilen Profilmeßtastern vorsehen, sondern auch bei innovativen Meßvorrichtungen, die eine optische Erfassung des Werk stückprofils ermöglichen. Der Anwender kann je nach dem Ergebnis der Überprüfung ggf. eine Neukalibrierung vorneh men oder, im Falle eines defekten Profilfühlers, diesen gegen einen neuen Profilfühler austauschen. Vorteilhafter weise kann auch die Neukalibrierung vollautomatisch erfol gen.This makes it easy and precise to do everything Components of the profile probe can be fully automated via check, for example whenever the device is switched on, or depending on the event, or in predeterminable time tervallen. These measures are not only special advantageous for the tactiles commonly used Provide profile probes, but also for innovative ones Measuring devices that provide an optical record of the work enable piece profile. Depending on the If necessary, recalibrate the result of the check or, in the case of a defective profile sensor, this replace with a new profile sensor. More advantageous the recalibration can also be carried out fully automatically gene.

Durch die Maßnahme, daß das Kalibrierprofil relativ zum Oberflächenprofilmeßmittel drehbar und translatorisch verschiebbar ausgebildet ist, wird im Meßzustand eine besonders gute Werkstück-Zugänglichkeit für das Oberflä chenprofilmeßmittel und im Überprüfungs- bzw. Kalibrierzu stand eine präzise Überprüfung bzw. Kalibrierung des Pro filmeßtasters ermöglicht. Bedingt durch die Längsverschie bemöglichkeit kann die Kalibrierung in derjenigen Richtung erfolgen, in der üblicherweise auch abgetastet wird, so daß eine den praktischen Anforderungen entsprechende besonders präzise Kalibrierung möglich ist. Ferner kann das Kali brierprofil in Längsrichtung des Tastarmes in bestimmten zeitlichen Intervallen verschoben werden, so daß immer wieder neue Oberflächenabschnitte des identischen Kali brierprofils zur Verfügung stehen. Dadurch läßt sich über lange Zeiträume eine präzise Kalibrierung von gleichblei bender Qualität erreichen. Außerdem können durch die Längs verschieblichkeit des Kalibrierprofils eine Vielzahl von in Längsrichtung beabstandeten umlaufenden Kalibrierprofilen vorgesehen und abgetastet werden. Dadurch ist ein größeres Spektrum von auf spezielle Meßaufgaben angepaßter unter schiedlicher Kalibrierprofile nutzbar.By the measure that the calibration profile relative to Surface profile measuring device rotatable and translational is designed to be displaceable, in the measurement state Particularly good workpiece accessibility for the surface Chenprofilmeßmittel and in the review or calibration there was a precise check or calibration of the Pro film probe allows. Due to the longitudinal shift Calibration can take place in that direction take place in which is usually also scanned so that a special one that meets the practical requirements precise calibration is possible. Furthermore, the potash brier profile in the longitudinal direction of the probe arm in certain time intervals are shifted so that always again new surface sections of the identical potash brierprofile are available. This allows you to precise calibration of the same for long periods of time Achieve quality. In addition, by the longitudinal Slidability of the calibration profile a variety of Longitudinally spaced circumferential calibration profiles be provided and scanned. This makes a bigger one Spectrum of adapted to special measuring tasks different calibration profiles can be used.

Dadurch, daß der Tasterkörper einen Tastarm aufweist, an dessen freiem Ende der Meßkopf und der Kalibrierkopf ange ordnet ist, kann der gesamte Profilmeßtaster vollautomati sierbar in seiner Kalibrierung überprüft oder kalibriert werden. Ferner ermöglicht diese Position des Meßkopfes und des Kalibrierkopfes günstige Meßmöglichkeiten, auch an schwierig zugänglichen Stellen des Prüflings. Dies kann weiter durch eine vorteilhafte Gestaltung des Tastarmes unterstützt werden. Beispielsweise kann mit Hilfe eines dünnen und/oder langen Tastarmes das Oberflächenprofilmeß mittel leicht in bzw. durch Öffnungen des Prüflings einge führt werden, um auch die Oberflächenprofile von tieferlie genden Werkstückbereichen abtasten zu können.Because the probe body has a probe arm the free end of the measuring head and the calibration head the entire profile probe can be fully automated Calibrated, checked or calibrated become. This position of the measuring head and the calibration head cheap measurement options, also at places of the test object that are difficult to access. This can further by an advantageous design of the probe arm get supported. For example, using a thin and / or long probe arm the surface profile measurement medium easily inserted into or through openings in the test specimen leads to the surface profiles of deeper to be able to scan the workpiece areas.

Alternativ oder in Kombination mit der Maßnahme, daß das Kalibrierprofil als an dem Oberflächenprofilmeßmittel entlangführbar ausgebildet ist, kann in kinematischer Umkehr das Oberflächenprofilmeßmittel als an dem Kalibrier profil entlangführbar ausgebildet sein. Dadurch lassen sich vollautomatisierbare Überprüfungsmöglichkeiten für die Kalibrierung des Gesamtsystems schaffen, die optimal auf die jeweiligen Meßaufgaben und die Anwenderbedürfnisse angepaßt gestaltet werden können.Alternatively or in combination with the measure that the Calibration profile than on the surface profile measuring means is designed to be guided along, can be kinematic Reverse the surface profile measuring device as on the calibration Profile can be designed along. This allows Fully automated verification options for the Calibration of the overall system create that optimally the respective measuring tasks and user needs can be designed adapted.

Vorteilhafterweise ist der Kalibrierprofilkörper mit einem Hohlkörper, vorzugsweise mit einer ovalen Buchse ausgebil det, wobei zweckmäßigerweise der Hohlkörper ein das Kali brierprofil enthaltendes Innenprofil aufweist. Dadurch kann der Kalibrierprofilkörper mit seinem Kalibrierprofil bei geringem Gewicht in günstiger Weise relativ zu dem Oberflä chenprofilmeßmittel angeordnet werden, so daß eine präzise automatisierbare Überprüfung bzw. Kalibrierung des Profil meßtasters möglich ist.The calibration profile body is advantageously with a Hollow body, preferably with an oval bushing det, the hollow body expediently containing the potash Brierprofil containing inner profile. This can the calibration profile body with its calibration profile low weight in a favorable manner relative to the surface Chenprofilmeßmittel be arranged so that a precise automatable checking or calibration of the profile probe is possible.

Zweckmäßigerweise weist das Kalibrierprofil eine Rampe zur Überprüfung der Kennlinienlinearität des Profilmeßtasters und/oder Rillen unterschiedlicher Tiefe und/oder ein mes serschneidenartiges Profil zur Kontrolle einer Signalver stärkung und/oder der Unversehrtheit des Oberflächenprofil meßmittels auf.The calibration profile expediently has a ramp Checking the linearity of the characteristic of the profile probe and / or grooves of different depths and / or a mes cutting edge-like profile to control a signal ver strengthening and / or the integrity of the surface profile on.

Zweckmäßigerweise weist der Hohlkörper eine das Oberflä chenprofilmeßmittel im Meßzustand hindurchtretenlassende Öffnung auf. Dadurch ist eine im wesentlichen uneinge schränkte Erfassung des Oberflächenprofils eines Prüflings bei besonders präzisen Meßmöglichkeiten für eine Überprü fung der Kalibrierung bzw. eine Kalibrierung des Profilmeß tasters gegeben.The hollow body expediently has a surface Chenprofilmeßmittel passing in the measurement state Opening up. This makes it essentially uneven limited recording of the surface profile of a test object with particularly precise measurement options for a check calibration or a calibration of the profile measurement given tasters.

Zweckmäßigerweise sind die Öffnungsränder der Öffnung derart ausgebildet, daß das Oberflächenprofilmeßmittel bei einer Drehung und/oder translatorischen Verschiebung des Hohlkörpers nicht beschädigt wird. Dies läßt sich vorteil haft dadurch erreichen, daß die Öffnungsränder als Rampe ausgebildet sind.The opening edges of the opening are expediently formed such that the surface profile measuring means at a rotation and / or translational displacement of the Hollow body is not damaged. This can be advantageous by reaching the opening edges as a ramp are trained.

Zweckmäßigerweise ist der Tastarm als Schutzrohr zum Schutz der Meßvorrichtung gegen mechanische Einflüsse ausgebildet. Dadurch wird ermöglicht, daß der Profilmeßtaster über lange Zeit mit Sicherheit präzise arbeitet.The probe arm is expediently used as a protective tube for protection the measuring device against mechanical influences. This enables the profile probe to be used for a long time Time works with certainty with certainty.

Zweckmäßigerweise ist der Hohlkörper mit einer kreiszylin drischen Buchse und der Tastarm mit einem kreiszylindri schen Lager ausgebildet, wobei der Innendurchmesser der Buchse geringfügig größer ist als der Außendurchmesser des Lagers, so daß der Hohlkörper auf dem Lager mit geringem Spiel präzise lagerbar ist.The hollow body is expediently provided with a circular cylinder and the probe arm with a circular cylinder rule formed bearing, the inner diameter of the Bush is slightly larger than the outside diameter of the Bearing, so that the hollow body on the bearing with little Game can be stored precisely.

Von besonderem Vorteil ist es, wenn der Kalibrierprofilkör per mit einem Kalibrierprofilkörper-Antriebsmittel gekop pelt ist. Vorteilhafterweise ist zusätzlich wenigstens ein Fühler zur Messung der Geschwindigkeit und/oder der Positi on des Kalibrierprofils vorgesehen, wobei vorzugsweise der Fühler mit einer Stellvorrichtung zur Positionierung des Kalibrierprofils und/oder mit einer Regelvorrichtung zur Regelung der Geschwindigkeit des Kalibrierprofils gekoppelt ist, die mit dem Kalibrierprofilkörper-Antriebsmittel gekoppelt sind. Durch diese Maßnahmen läßt sich der gesamte Überprüfungs- bzw. Kalibriervorgang vollautomatisch durch führen und das Kalibrierprofil oder bestimmte, selektiv anfahrbare Teilbereiche des Kalibrierprofils können mit einer geregelten, vorzugsweise konstanten Geschwindigkeit abgefahren werden.It is particularly advantageous if the calibration profile body per coupled with a calibration profile body drive means pelt is. At least one is also advantageous Sensor for measuring speed and / or position provided on the calibration profile, preferably the Sensor with an actuator for positioning the Calibration profile and / or with a control device for Regulation of the speed of the calibration profile coupled with the calibration profile body drive means are coupled. Through these measures, the entire Checking or calibration process fully automatically perform and the calibration profile or certain, selective parts of the calibration profile that can be approached with a regulated, preferably constant speed be driven off.

Vorteilhafterweise ist das Oberflächenprofilmeßmittel mittels eines Antriebsmittels in den Hohlkörper überführbar ausgebildet. Dadurch lassen sich ungewollte Beschädigungen des Oberflächenprofilmeßmittels vermeiden, so daß über lange Zeit sichere und präzise Messungen möglich sind.The surface profile measuring means is advantageously convertible into the hollow body by means of a drive means educated. This can prevent unwanted damage Avoid the surface profile measuring medium, so that over reliable and precise measurements are possible for a long time.

Zweckmäßigerweise sind das Kalibrierprofilkörper-Antriebs mittel und/oder das Antriebsmittel für das Oberflächenpro filmeßmittel, mit einem Aktuator, insbesondere mit einer Magnet/Spule-Vorrichtung, beispielsweise einem Elektromotor oder einem Elektromagneten, mit einer drehbaren Nocke, einem Bimorph- oder Piezostellelement oder anderen hierfür geeigneten miniaturisierten Aktuatoren ausgebildet. Vor zugsweise sind das Kalibrierprofilkörper-Antriebsmittel und/oder das Antriebsmittel für das Oberflächenprofilmeß mittel als ein gemeinsames Antriebsmittel ausgebildet. Derartige Miniaturantriebsmittel lassen sich besonders platzsparend bei geringem Gewicht an dem Tasterkörper anordnen, so daß eine präzise automatisierbare Kalibrierung oder Überprüfung der Kalibrierung des gesamten Profilmeßta sters möglich ist, bei weiterhin günstigen Profilerfas sungsmöglichkeiten.The calibration profile body drive is expedient medium and / or the drive means for the surface pro film measuring means, with an actuator, in particular with a Magnet / coil device, for example an electric motor or an electromagnet, with a rotatable cam, a bimorph or piezo actuator or others therefor suitable miniaturized actuators. Before preferably the calibration profile body drive means and / or the drive means for the surface profile measurement designed as a common drive means. Such miniature drive means can be particularly space-saving with low weight on the stylus body arrange so that a precise automatable calibration or check the calibration of the entire profile measurement sters possible, with still favorable Profilerfas solutions.

Vorteilhafterweise ist die Meßvorrichtung mit einer Tast nadel und das Oberflächenprofilmeßmittel als Nadelspitze ausgebildet. Dies erlaubt eine hochpräzise taktile Meßmög lichkeit des Oberflächenprofils des Prüflings.Advantageously, the measuring device with a key needle and the surface profile measuring device as a needle tip educated. This allows a highly precise tactile measurement the surface profile of the test object.

Alternativ oder auch zusätzlich zu der Verwendung von Tast nadeln kann die Meßvorrichtung mit einem optischen Sensor und einem optischen Empfänger und das Oberflächenprofilmeß mittel mit Lichtstrahlen, insbesondere mit Laserstrahlen, ausgebildet sein. Dies ermöglicht eine hochpräzise berüh rungslose Oberflächenabtastung in Verbindung mit besonders günstigen Profilerfassungsmöglichkeiten durch den Einsatz von geeigneten Strahlführungs- und -formungsmitteln. Alternatively or in addition to using Tast The measuring device can needle with an optical sensor and an optical receiver and the surface profile measurement medium with light beams, in particular with laser beams, be trained. This enables a highly precise touch smooth surface scanning in connection with special favorable profile detection options through the use of suitable beam guiding and shaping means.

Vorstehende Maßnahmen tragen sowohl einzeln als auch in Kombination miteinander zu einer präzisen und automatisier baren Kalibrierung oder Überprüfung der Kalibrierung des gesamten Profilmeßtasters bei weiterhin günstigen Profiler fassungsmöglichkeiten bei.The above measures carry both individually and in Combination with each other to a precise and automated calibration or checking the calibration of the entire profile probe with still cheap Profiler options for.

Weitere Merkmale, Gesichtspunkte und Vorteile der Erfindung sind dem nachfolgenden, anhand der Figuren abgehandelten Beschreibungsteil entnehmbar.Other features, aspects and advantages of the invention are the following, dealt with using the figures Removable description part.

Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung ist nachfolgend anhand der Figuren beschrieben.A preferred embodiment of the invention is described below with reference to the figures.

Es zeigen:Show it:

Fig. 1 eine Seitenansicht mit Teil-Schnitt des Profil meßtasters mit dem als Schutzrohr ausgebildeten Tastarm, an dessen freiem Ende der Meß- und Kalibrierkopf angeordnet ist; Figure 1 is a side view with partial section of the measuring probe with the probe arm designed as a protective tube, at the free end of which the measuring and calibration head is arranged.

Fig. 2 einen vergrößerten Längsquerschnitt durch den Meß- und Kalibrierkopf mit der Tastnadel und dem Kalibrierprofilkörper; Figure 2 is an enlarged longitudinal cross-section through the measuring and calibration head to the wand and the Kalibrierprofilkörper.

Fig. 3 einen vergrößerten Querschnitt durch den auf dem Lager drehverschieblich gelagerten Kalibrierpro filkörper mit stark vergrößerter Darstellung des Kalibrierprofils, ohne Darstellung der anderen, in diesem Bereich des Profilmeßtasters angeordneten Teile. Fig. 3 is an enlarged cross section through the on the bearing rotatably mounted calibration pro filkörper with a greatly enlarged representation of the calibration profile, without showing the other parts arranged in this area of the profile probe.

In Fig. 1 ist der Profilmeßtaster 10 dargestellt. Dieser ist mit dem Tasterkörper 12, dem Tastarm 13 und dem Meß- und Kalibrierkopf 15 ausgebildet. Der Meß- und Kalibrier kopf 15 ist an dem freien Ende 16 des Tastarmes 13 angeord net und weist die Meßvorrichtung 20 sowie den Kalibrierpro filkörper 35 auf. An dem anderen Ende des Tasterkörpers 12 ist die Halterung 18 vorgesehen, mittels der der Profilmeß taster 10 an einer nicht in den Figuren gezeigten Verfahr einheit befestigt werden kann.In Fig. 1, the profile probe 10 is shown. This is formed with the probe body 12 , the probe arm 13 and the measuring and calibration head 15 . The measuring and calibration head 15 is net angeord at the free end 16 of the probe arm 13 and has the measuring device 20 and the calibration pro filkörper 35 . At the other end of the probe body 12 , the holder 18 is provided, by means of which the profiler 10 can be attached to a travel unit not shown in the figures.

Die Meßvorrichtung 20 ist mit der Tastnadel 22 ausgebildet, welche als Oberflächenprofilmeßmittel die Nadelspitze 23 aufweist. Die Nadelspitze 23 wird im Meßzustand mittels der Verfahreinheit über die zu erfassende Oberfläche des Prüf lings geführt und dabei entsprechend dem jeweiligen Ober flächenprofil ausgelenkt. Anstelle der Tastnadel 22 können beispielsweise auch geeignete optische bzw. optoelektroni sche Sender und Empfänger, auch in Verbindung mit einer hochaperturigen Objektivlinse verwendet werden, wobei in diesem Fall als Oberflächenprofilmeßmittel beispielsweise gebündelte Lichtstrahlen, insbesondere Laserstrahlen, eingesetzt werden können.The measuring device 20 is formed with the stylus 22 , which has the needle tip 23 as the surface profile measuring means. The needle tip 23 is guided in the measuring state by means of the moving unit over the surface of the test object to be detected and thereby deflected according to the respective upper surface profile. Instead of the stylus 22 , for example, suitable optical or optoelectronic transmitters and receivers can also be used, also in conjunction with a high-aperture objective lens, in which case, for example, bundled light beams, in particular laser beams, can be used as surface profile measuring means.

Zur sensiblen und präzisen Übertragung der mechanischen Auslenkung der Tastnadel 22, an das eine elektronische Weiterverarbeitung der mechanischen Meßgrößen ermöglichende Meßsystem 24, ist der Hebel 25 vorgesehen. Dieser ist als Wippe ausgebildet und weist die beiden Hebelarme 26 und 27 auf. Der Hebel 25 ist über das Drehlager 28 in bzw. an dem Tasterkörper 12 gelagert befestigt. An dem freien Ende des vorderen Hebelarmes 26, der zu dem freien Ende 16 des Tastarmes 13 weist, ist die Tastnadel 22 befestigt. Auf der anderen Seite des Drehlagers 28, an dem gegenüberliegenden Ende des hinteren Hebelarmes 27 des Hebels 25, ist das Meßsystem 24 mit dem elektronische Komponenten enthaltenden Meßwerterfassungmittel 29 angeordnet. Das Meßsystem 24 ist im Ausführungsbeispiel mit der optoelektronischen Vorrich tung 34 gebildet, kann jedoch auch mit einer induktiven Vorrichtung, insbesondere einer Differentialdrossel gestal tet sein.The lever 25 is provided for the sensitive and precise transmission of the mechanical deflection of the stylus 22 to the measuring system 24 which enables electronic further processing of the mechanical measured variables. This is designed as a rocker and has the two lever arms 26 and 27 . The lever 25 is mounted on the rotary bearing 28 in or on the push button body 12 . At the free end of the front lever arm 26 , which faces the free end 16 of the probe arm 13 , the probe needle 22 is attached. On the other side of the rotary bearing 28 , at the opposite end of the rear lever arm 27 of the lever 25 , the measuring system 24 with the measured value acquisition means 29 containing electronic components is arranged. The measuring system 24 is formed in the embodiment with the optoelectronic Vorrich device 34 , but can also be designed with an inductive device, in particular a differential choke.

Zum Schutz der Tastnadel 22 und des Hebels 25, insbesondere des die Tastnadel 22 tragenden vorderen Hebelarmes 26, vor mechanischen Einflüssen, weist der Tasterkörper 12 das Schutzrohr 30 auf. In diesem sind der vordere Hebelarm 26 des Hebels 25 und zumindest Teile der Tastnadel 22 ge schützt angeordnet.To protect the stylus 22 and the lever 25 , in particular the front lever arm 26 carrying the stylus 22 , from mechanical influences, the stylus body 12 has the protective tube 30 . In this, the front lever arm 26 of the lever 25 and at least parts of the stylus 22 are arranged ge protects.

Die besondere Andordnung und Gestaltung des Kalibrierpro filkörpers 35 geht am besten aus den Fig. 2 und 3 hervor. Der Kalibrierprofilkörper 35 ist als Hohlkörper 37 mit der ovalen Buchse 38 und der im Ausführungsbeispiel einstückig mit dieser verbundenen kreiszylindrischen Buchse 44 ausge bildet. Die Buchse 44 ist auf dem ebenfalls kreiszylin drisch ausgebildeten Lager 46 in einer Spielpassung präzise gelaget. Das Lager 46 ist an dem freiem Ende 31 des Schutz rohres 30 mit diesem fest verbunden. Die ovale Buchse 38 des Kalibrierprofilkörpers 35 weist das Innenprofil 39 auf, welches das Kalibrierprofil 36 enthält. Dieses ist derart ausgebildet, daß es insbesondere die Überprüfung des Tast nadelspitzenradius, des Meßbereichs, der Kennlinienlineari tät und der richtigen Messung der Oberflächenrauheit ermög licht. Zu diesem Zwecke ist der Kalibrierprofilkörper 35 um die Längsachse des Tastarmes 13 bzw. des Lagers 46 drehbar und/oder parallel zur Längsachse des Tastarmes bzw. des Lagers 46 translatorisch verschiebbar auf dem Lager 46 gelagert, wie in den Fig. 2 und 3 jeweils mit Hilfe der Doppelpfeile 49 und 51 angedeutet.The special arrangement and design of the calibration pro filkörpers 35 is best seen in FIGS . 2 and 3. The calibration profile body 35 is formed as a hollow body 37 with the oval socket 38 and in the embodiment integrally connected with this circular cylindrical socket 44 . The bushing 44 is precisely positioned on the bearing 46, which is also designed to be cylindrical, in a clearance fit. The bearing 46 is fixed to the free end 31 of the protective tube 30 with this. The oval socket 38 of the calibration profile body 35 has the inner profile 39 , which contains the calibration profile 36 . This is designed in such a way that it enables in particular the checking of the probe tip radius, the measuring range, the characteristic linearity and the correct measurement of the surface roughness. For this purpose, the calibration profile body 35 is mounted on the bearing 46 so as to be rotatable about the longitudinal axis of the probe arm 13 or the bearing 46 and / or translationally displaceable parallel to the longitudinal axis of the probe arm or the bearing 46 , as in FIGS. 2 and 3, respectively Using the double arrows 49 and 51 indicated.

Die Drehung des Kalibrierprofilkörpers 35 erfolgt mittels eines Zahnrades 47, welches über eine Achse 48 mit einem in den Figuren nicht dargestellten Mikromotor antreibbar gekoppelt ist, der im Tastarm 13 oder im Tasterkörper 12 angeordnet ist.The calibration profile body 35 is rotated by means of a gearwheel 47 , which can be driven via an axis 48 with a micromotor, not shown in the figures, which is arranged in the probe arm 13 or in the probe body 12 .

Gemäß einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung des Profilmeßtasters 10 oder gemäß einem alternativen Erfin dungsgedanken ist der ein Feder-Masse-System ausbildende Profilmeßtaster 10 mit geeigneten Dämpfungselementen ausge bildet. Dies kann dadurch geschehen, daß am hinteren Hebel arm 27 des Hebels 25 als passives Dämpfungselement ein kleiner Bolzen oder Flügel 52 angebracht ist, welcher in eine entsprechende Bolzen- bzw. Flügelaufnahme 53 im Ta sterkörper 12 paßt. Wird der Flügel 52 beispielsweise mit Öl benetzt, so erzielt man eine gute Dämpfung, deren Wert über die Größe des Spaltes zwischen dem Flügel 52 und der Flügelaufnahme 53 eingestellt werden kann. Alternativ kann auch ein aktives Dämpfungselement ausgebildet sein, bei spielsweise, unter Verwendung einer elektrorheologischen Flüssigkeit. Legt man in geeigneter Weise an diese ein elektrisches Feld an, so ändert sich ihre Viskosität. Auf diese Weise kann entweder statisch oder dynamisch, über einen Regelkreis mit einer Reglervorrichtung und einem Fühler zur Erfassung der Bewegungen bzw. Schwingungen des Hebels 25, die Dämpfung des Hebels 25 eingestellt werden.According to a particularly advantageous embodiment of the profile probe 10 or according to an alternative idea of the invention, the spring-mass system forming profile probe 10 is formed with suitable damping elements. This can be done in that a small bolt or wing 52 is attached to the rear lever arm 27 of the lever 25 as a passive damping element, which fits into a corresponding bolt or wing receptacle 53 in the body 12 Ta. If the wing 52 is wetted with oil, for example, good damping is achieved, the value of which can be set via the size of the gap between the wing 52 and the wing receptacle 53 . Alternatively, an active damping element can also be formed, for example using an electrorheological fluid. If an electric field is suitably applied to them, their viscosity changes. In this way, the damping of the lever 25 can be set either statically or dynamically, via a control circuit with a regulator device and a sensor for detecting the movements or vibrations of the lever 25 .

Der Profilmeßtaster 10 ist vorzugsweise mit einem in den Figuren nicht gezeigten integrierten Tastnadelabhebemecha nismus ausgebildet. Dieser kann z. B. derart gestaltet sein, daß ein Miniaturelektromotor eine Exzenterscheibe um einen definierten Winkel dreht. Die Exzenterscheibe hebt den Hebelarm 26 des Hebels 25 an, und folglich wird die Tastna del 22 vom Prüfling abgehoben. Diese Möglichkeit ist sehr sinnvoll beim Zurückfahren des Profilmeßtasters 10 zur Schonung der Tastnadel 22. The Profilmeßtaster 10 is preferably formed with an integrated Tastnadelabhebemecha mechanism, not shown in the figures. This can e.g. B. be designed such that a miniature electric motor rotates an eccentric disc by a defined angle. The eccentric disc lifts the lever arm 26 of the lever 25 , and consequently the Tastna del 22 is lifted off the test specimen. This possibility is very useful when retracting the profile probe 10 to protect the stylus 22 .

Zur Neu- bzw. Nachkalibrierung oder zur Überprüfung der Kalibrierung wird zuerst die Tastnadel 22 motorisch oder z. B. über einen Magnetaktuator soweit bis in den als Hohl körper 37 ausgebildeten Kalibrierprofilkörper 35 abgehoben, daß eine freie Drehung und/oder Verschiebung des Kalibrier profils 36 unter die Nadelspitze 23 möglich ist. Anschlie ßend wird der Kalibrierprofilkörper 35 mit Hilfe des Zahn rades 47 oder mit Hilfe anderer, geeignet erscheinender Kalibrierprofilkörper-Antriebsmittel, soweit gedreht und/oder verschoben, bis die Öffnung 42 unter der Tastnadel 22 um einen ausreichenden Winkel verdreht und/oder verscho ben ist. Danach wird die Tastnadel 22 wieder abgesenkt, bis sie an dem Innenprofil 39 des Kalibrierprofilkörpers 35 anliegt. Sie befindet sich nun am Anfang einer definierten Abtaststrecke, deren Profilverlauf bekannt ist und die das eigentliche Kalibrierprofil 35 ausbildet. Die ovale Buchse 38 wird nun definiert, d. h. mit konstanter Geschwindigkeit, verschoben und/oder gedreht und dabei das Kalibrierprofil 35 abgetastet und gemessen. Die ermittelten Meßwerte können gegebenenfalls zur Korrektur der Kalibrierkennlinie oder für eine Neu- bzw. Nachkalibrierung verwendet werden. Zu diesem Zwecke weist das Kalibrierprofil 36 mehrere Rillen unterschiedlicher Tiefe und/oder eine Messerschneide auf. Durch Abtasten und Ausmessen dieser Kalibrierelemente kann beispielsweise die Signalverstärkung des Meßsystems 24 und die Unversehrtheit der Nadelspitze 23 kontrolliert werden. Zusätzlich kann das Kalibrierprofil 36 eine Rampe aufwei sen, so daß die Kennlinienlinearität ebenfalls überprüft werden kann. Das Innenprofil 39 bzw. das Kalibrierprofil 36 ist vorteilhafterweise derart ausgebildet, daß bei dem beschriebenen Kalibrier- bzw. Überprüfungsvorgang die Tastnadel 22 symmetrisch um ihre Nullposition ausgelenkt wird. Schließlich wird der Hohlkörper 37 bzw. der Kali brierkörper 35 wieder in seine Ausgangsposition gebracht und die Tastnadel 22 kann durch die Öffnung 42 wieder in die Meßposition überführt werden.To recalibrate or recalibrate or to check the calibration, the stylus 22 is first motorized or z. B. via a magnetic actuator so far in the hollow body 37 formed as a calibration profile body 35 that a free rotation and / or displacement of the calibration profile 36 under the needle tip 23 is possible. Subsequently, the calibration profile body 35 is rotated and / or shifted with the help of the toothed wheel 47 or with the help of other suitable calibration profile body drive means until the opening 42 is rotated by a sufficient angle and / or moved ben beneath the stylus 22 . Then the stylus 22 is lowered again until it rests on the inner profile 39 of the calibration profile body 35 . It is now at the beginning of a defined scanning path, the profile course of which is known and which forms the actual calibration profile 35 . The oval socket 38 is now defined, ie shifted and / or rotated at a constant speed, and the calibration profile 35 is scanned and measured. The measured values determined can, if necessary, be used to correct the calibration characteristic or for recalibration or recalibration. For this purpose, the calibration profile 36 has a plurality of grooves of different depths and / or a knife edge. The signal amplification of the measuring system 24 and the integrity of the needle tip 23 can be checked, for example, by scanning and measuring these calibration elements. In addition, the calibration profile 36 can have a ramp so that the linearity of the characteristic curve can also be checked. The inner profile 39 or the calibration profile 36 is advantageously designed such that the stylus 22 is deflected symmetrically about its zero position in the calibration or checking process described. Finally, the hollow body 37 or the potash brier body 35 is returned to its starting position and the stylus 22 can be transferred through the opening 42 back into the measuring position.

Für den Fall, daß der Profilmeßtaster 10 kein Antriebsmit tel für das Oberflächenprofilmeßmittel, insbesondere keinen Abhebemechanismus für die Tastnadel 22 aufweist und diese folglich nicht zurückgezogen werden kann, sind die Öff nungsränder 43 der Öffnung 42 rampenförmig gestaltet, so daß die ganz heraushängende Tastnadel 22 mit ihrer Nadel spitze 23 bei der Translation und/oder Drehung des Kali brierprofils 36 bzw. des Kalibrierprofilkörpers 35 an den rampenförmig ausgebildeten Öffnungsrändern 43 entlangglei ten kann und folglich nicht beschädigt wird. In the event that the Profilmeßtaster 10 no Antriebsmit tel for the surface profile measuring means, in particular has no lifting mechanism for the stylus 22 and consequently can not be retracted, the opening edges 43 of the opening 42 are designed ramp-shaped so that the probe pin 22 is completely hanging out their needle tip 23 during translation and / or rotation of the calibration profile 36 or the calibration profile body 35 can slide along the ramp-shaped opening edges 43 and consequently is not damaged.

REFERENCE SIGN LIST

1010th

Pofilmeßtaster
Profile probe

1212th

Tasterkörper
Stylus body

1313

Tastarm
Probe arm

1515

Meß- und Kalibrierkopf
Measuring and calibration head

1616

freies Ende von free end of

1313

1818th

Halterung
bracket

2020th

Meßvorrichtung
Measuring device

2222

Tastnadel
Stylus

2323

Nadelspitze
Needle point

2424th

Meßsystem
Measuring system

2525th

Hebel
lever

2626

Hebelarm
Lever arm

2727

Hebelarm
Lever arm

2828

Drehlager
Pivot bearing

2929

Meßwerterfassungsmittel
Measured value acquisition means

3030th

Schutzrohr
Protective tube

3131

freies Ende von free end of

3030th

3434

optoelektronische Vorrichtung
optoelectronic device

3535

Kalibrierprofilkörper
Calibration profile body

3636

Kalibrierprofil
Calibration profile

3737

Hohlkörper
Hollow body

3838

ovale Buchse
oval socket

3939

Innenprofil
Inner profile

4242

Öffnung
opening

4343

Öffnungsrand
Opening edge

4444

kreiszylindrische Buchse
circular cylindrical socket

4646

Lager
camp

4747

Zahnrad
gear

4848

Achse
axis

4949

Doppelpfeil
Double arrow

5151

Doppelpfeil
Double arrow

5252

Flügel
wing

5353

Flügelaufnahme
Wing mount

Claims

1. Profile probe with a probe arm having a probe body and a surface profile measuring means having a measuring device for detecting surface surfaces of test specimens, the profile probe ( 10 ) having a free end ( 16 ) of the probe arm ( 13 ) attached measuring and calibration head ( 15 ) with a Kali brierprofilkörper ( 35 ) which contains a calibrated from the upper surface profile measuring means calibration profile ( 36 ) for calibrating or checking the calibration of the profile probe, the calibration profile ( 36 ) being designed as a bar along the surface profile measuring means, characterized in that the calibration profile ( 36 ) relative to the surface profile measuring means around the longitudinal axis of the probe arm ( 13 ) rotatable and parallel to the longitudinal axis of the probe arm ( 13 ) is designed to be translationally displaceable.

2. Profile probe according to claim 1, characterized in that the calibration profile body ( 35 ) with a hollow body ( 37 ), preferably with an oval socket ( 38 ) is formed.

3. Profile probe according to claim 2, characterized in that the hollow body ( 37 ) has an inner profile ( 39 ) containing the calibration profile ( 36 ).

4. Profile probe according to one of claims 1 to 3, characterized in that the calibration profile ( 36 ) is formed with a ramp for checking the linearity of the characteristic of the profile probe.

5. Profile probe according to one of claims 1 to 4, characterized in that the calibration profile ( 36 ) is formed with grooves of different depths and / or with a knife-edge-like profile to control signal amplification and / or the integrity of the surface profile measuring means.

6. Profile probe according to one of claims 2 to 5, characterized in that the hollow body ( 37 ) has an opening ( 42 ) which allows the surface profile measuring means to pass through in the measuring state.

7. Profile probe according to claim 6, characterized in that the opening ( 42 ) has opening edges ( 43 ) which are designed such that the surface profile measuring means is not damaged during a rotation and / or translational displacement of the hollow body ( 37 ).

8. Profile probe according to claim 7, characterized in that the opening edges ( 43 ) are designed as a ramp.

9. Profile probe according to one of claims 1 to 8, characterized in that the probe arm ( 13 ) is designed as a protective tube ( 30 ) for protecting the measuring device ( 20 ) against me mechanical influences.

10. Profile probe according to one of claims 2 to 9, characterized in that the hollow body ( 37 ) with a circular cylindrical socket ( 44 ) and the probe arm ( 13 ) with a circular cylindrical bearing ( 46 ) are ausgebil det, the inner diameter of the socket ( 44 ) is slightly larger than the outer diameter of the bearing ( 46 ), so that the hollow body ( 37 ) is precisely supported on the bearing ( 46 ) with little play.

11. Profile probe according to one of claims 1 to 10, characterized in that the calibration profile body ( 35 ) is coupled to a calibration profile body drive means.

12. Profile probe according to one of claims 1 to 11, characterized in that at least one sensor for measuring the speed and / or the position of the calibration profile ( 36 ) is provided.

13. Profile probe according to claims 11 and 12, characterized in that the sensor with a Stell device for positioning the calibration profile and / or with a control device for controlling the Speed of the calibration profile is coupled, the coupled to the calibration profile body drive means is.

14. Profile probe according to one of claims 2 to 13, characterized in that the surface profile measuring means is designed to be transferable into the hollow body ( 37 ) by means of a drive means.

15. Profile probe according to one of claims 11 or 14, characterized in that the calibration profile body Drive means and / or the drive means for the Surface profile measuring means with an electric motor, egg an electromagnet, a bimorph or piezo actuator ment are trained.

16. Profile probe according to one of claims 1 to 15, characterized in that the measuring device ( 20 ) with a stylus ( 22 ) and the surface profile measuring means are designed as a needle tip ( 23 ).

17. Profilestaster according to any one of claims 1 to 15, characterized in that the measuring device ( 20 ) with an optical transmitter and receiver and the Oberflä chenprofilmeßmittel are formed with light beams, in particular with laser beams.