DE19853756C1 - Machine component positioning device e.g. for precision machine tool, has linear guidance of positioned machine component relative to second machine component provided by linearly adjustable positioning elements - Google Patents

Machine component positioning device e.g. for precision machine tool, has linear guidance of positioned machine component relative to second machine component provided by linearly adjustable positioning elements

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DE19853756C1 DE1998153756 DE19853756A DE19853756C1 DE 19853756 C1 DE19853756 C1 DE 19853756C1 DE 1998153756 DE1998153756 DE 1998153756 DE 19853756 A DE19853756 A DE 19853756A DE 19853756 C1 DE19853756 C1 DE 19853756C1
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Abstract

The positioning device (1) has 3 separate positioning elements (4), acting on the machine component (2) at different points and each exhibiting a linear length variation in a respective working direction. The parallel guidance of the machine component relative to a second machine component is provided by the torsional rigidity of at least 2 of the positioning elements and the limited pivot movement allowed by the pivot mountings for the positioning elements. An Independent claim for a precision machine tool provided with a positioning device is also included.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Positioniervorrichtung für die Positionierung eines ersten Maschinenteils gegenüber einem zweiten Maschinenteil nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1. Weiterhin bezieht sich die Erfindung auf eine Meßvorrichtung für die Positionsbestimmung eines ersten Maschinenteils gegenüber einem zweiten Maschinenteil nach dem Oberbegriff des Anspruchs 2. The invention relates to a positioning device for positioning a first machine part relative to a second machine part according to the preamble of claim 1. Furthermore, the invention relates to a measuring device for determining the position of a first machine part relative to a second machine part according to the preamble of claim 2.

Im Fall der Positioniervorrichtung handelt es sich bei den Ma schinenteilen insbesondere um Teile einer Werkzeugmaschine. In the case of the positioning device is in the Ma schin share particular parts of a machine tool. So kann z. Thus, can. B. das erste Maschinenteil die Halterung für einen Laser oder eine ein Werkzeug tragende Spindel sein, während das zweite Maschinenteil der Rahmen der Werkzeugmaschine oder direkt ein ein Werkstück tragender Tisch ist. B. the first machine part to be the holder for a laser or a tool-carrying spindle, while the second machine part, the frame of the machine tool or directly a workpiece supporting table.

Traditionell werden für die Positionierung eines ersten Ma schinenteils gegenüber einem zweiten Maschinenteil kreuzweise angeordnete und hintereinander geschaltete lineare Positionier einrichtungen verwendet. Traditionally schin partly against a second machine part arranged crosswise for positioning a first Ma and cascaded linear positioning means are used. Die serielle Anordnung der Positionier einrichtungen weist jedoch den Nachteil auf, daß die direkt an dem zweiten Maschinenteil gelagerte Positioniereinrichtung nicht nur das erste Maschinenteil sondern auch noch die ihr nachge schalteten Positioniereinrichtungen positionieren muß. However, the serial arrangement of the positioning devices has the disadvantage that the stored directly on the second machine part positioning even her nachge must position switched positioning not only the first machine part but. Das heißt, die von dieser Positioniereinrichtung zu positionierende Masse ist erheblich größer als die entsprechende Masse bei der letzten Positioniereinrichtung der Reihe, die nur das erste Maschinenteil selbst positionieren muß. That is, to be positioned by this positioning mass is significantly greater than the corresponding mass in the last positioning the series, which has to position only the first machine part itself. Hierdurch ergeben sich recht früh kinematische Grenzen für die Beschleunigung des zweiten Maschinenteils gegenüber dem ersten Maschinenteil. This results in very early kinematic limits for the acceleration of the second machine part relative to the first machine part. Hohe Beschleunigungen des ersten Maschinenteils gegenüber dem zweiten Maschinenteil sind jedoch für verschiedene mit einer Werkzeug maschine durchzuführende Bearbeitungsverfahren evident und auch für die Erreichung kurzer Bearbeitungszeiten von grundsätzlicher Bedeutung. However, high accelerations of the first machine part relative to the second machine part are evident for different machine with a tool machining processes to be performed and also to achieve short processing times of fundamental importance.

Eine Positioniervorrichtung für die Positionierung eines ersten Maschinenteils gegenüber einem zweiten Maschinenteil nach dem Oberbegriff des Anspruch 1 ist aus dem Informationsblatt "Ent wicklung eines Parallelroboters für die Laserbearbeitung" von Dipl.-Ing. A positioning device for positioning a first machine part relative to a second machine part according to the preamble of claim 1 is known from the leaflet "devel opment of a parallel robot for laser processing" von Dipl.-Ing. Christian Soehner (Produktionstechnische Institute auf der EMO, EMO Hannover 10.-17.09.1997, Sonderschau in Halle 8: Forschung und Entwicklung für den Werkzeugmaschinenbau) bekannt. Christian Soehner (Production Technical Institute at the EMO, EMO Hannover 10.-17.09.1997, special show in Hall 8: Research and development for machine tool technology) known. Die Vorrichtung weist drei Positionierelemente auf, die in äquidistanten Punkten an dem zweiten Maschinenteil im Raum verschwenkbar gelagert sind. The device comprises three positioning elements, which are pivotably mounted at equidistant points on the second machine part in space. Die Positionierelemente greifen an drei wiederum äquidistanten Punkten an dem ersten Maschinenteil an, an dem sie ebenfalls im Raum verschwenkbar gelagert sind. The positioning elements engage in turn three equidistant points on the first machine part on to which they are also pivotally mounted in the space. Bei den Positionierelementen kann es sich um Gewindespindel triebe oder Linearmotoren handeln. The positioning may be to gear threaded spindle or linear motors act. Die Führung für das erste Maschinenteil gegenüber dem zweiten Maschinenteil weist ein zweiachsiges Gelenk auf, über das eine Stütze für das erste Maschinenteil an dem zweiten Maschinenteil geführt ist. The guide for the first machine part relative to the second machine part comprises a two-axis joint on the support for the first machine part on the second machine part is guided. Die Stütze ist nicht nur um die beiden Achsen des Gelenks ver schwenkbar, sondern auch in ihrer Haupterstreckungsrichtung durch den Kreuzungspunkt der beiden Achsen verschiebbar. The support is pivotally ver, but displaceably in their main direction of extension by the intersection of the two axes not only about the two axes of the joint. Die Führung beläßt dem starr an der Stütze angeordneten ersten Maschinenteil drei Bewegungsfreiheitsgrade, so daß das erste Maschinenteil mit den drei Positionierelementen an jeden Ort innerhalb eines dreidimensionalen Verfahrbereichs verfahren werden kann. The guide leaves three degrees of freedom to the rigidly arranged on the support the first machine part so that the first machine part with the three positioning elements at each place can be moved within a three-dimensional traversing. Dabei wird jedoch das erste Maschinenteil gegenüber dem zweiten Maschinenteil um die beiden Achsen des zweiachsigen Gelenks verkippt. However, the first machine part relative to the second machine part is tilted around the two axes of the two-axis joint. Dies ist bei der Positionierung eines Werk zeugs oder Laserstrahls unerwünscht und muß daher mit einem ansteuerbaren zweiachsigen Handgelenk kompensiert werden, über das das Werkzeug bzw. eine das Werkzeug tragende Spindel oder der Laser an dem ersten Maschinenteil gelagert ist und mit dem die Parallelführung für das erste Maschinenteil gegenüber dem zweiten Maschinenteil erst komplett ist. This is finished or in the positioning of a work laser beam undesirable and must be compensated for with a controllable two-axis wrist over which the tool or a tool supporting spindle or the laser is mounted on the first machine part and with which the parallel guide for the first machine part relative to the second machine part is just complete. Die Ansteuerung des zweiachsigen Handgelenks zur Kompensation der Verschwenkung des ersten Maschinenteils gegenüber dem zweiten Maschinenteil ist aufwendig. The control of the two-axis wrist for compensating the pivotal movement of the first machine part relative to the second machine part is complicated. Erheblicher mechanischer Aufwand fällt für das zweiachsige Gelenk mit der zusätzlichen Verschiebbarkeit für die Stütze und für das ansteuerbare zweiachsige Handgelenk an dem ersten Maschinenteil an. Considerable mechanical effort is charged for the biaxial hinge with the additional displacement of the support and for the controllable two-axis wrist at the first machine part.

Eine Vorrichtung zum aktiven Positionieren nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 kann grundsätzlich in eine Vorrichtung zur aktiven oder passiven Positionsbestimmung abgewandelt werden, wodurch sich eine Meßvorrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 2 ergibt. An apparatus for actively positioning according to the preamble of claim 1 can in principle be modified in a device for active or passive position determination, whereby a measuring device according to the preamble of claim 2 is obtained. In diesem Zusammenhang ist unter einer aktiven Positionsbestimmung eine Positionsbestimmung mit automatisiertem Anfahren des jeweiligen Meßpunkts und unter einer passiven Positionsbestimmung eine Positionsbestimmung zu verstehen, bei der das erste Maschinenteil per Hand an den jeweiligen Meßpunkt heranzuführen ist. In this context, an active positioning means a positioning location determination with automated start of each measurement point and a passive position determination, in which the first machine part is introduce by hand at each measurement point. Entsprechend weist eine Meßvorrichtung zur passiven Positionsbestimmung statt der Positionierelemente dann Wegmeßelemente auf, während eine Meßvorrichtung zur aktiven Positionsbestimmung sowohl Positio nierelemente als auch Wegmeßelemente oder Positionierelemente besitzt, die auch als Wegmeßelemente dienen. Accordingly, a measuring device for passive position determination of the positioning place then Wegmeßelemente, while a measuring device for determining both active position positio nierelemente and Wegmeßelemente or positioning elements has, which also serve as Wegmeßelemente. Eine Meßvorrichtung zur aktiven Positionsbestimmung weist darüberhinaus noch einen Sensor auf, der detektiert, wann der jeweilige Meßpunkt mit Hilfe der Positionierelemente erreicht ist. A measuring device for active position determination furthermore still has a sensor, which detects when the respective measuring point is achieved by means of the positioning elements.

Eine Positioniervorrichtung für die Positionierung eines ersten Maschinenteils gegenüber einem zweiten Maschinenteil nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 ist auch aus der DE 196 09 072 A1 bekannt. A positioning device for positioning a first machine part relative to a second machine part according to the preamble of claim 1 is also known from DE 196 09 072 A1. Diese Vorrichtung weist ebenfalls drei Positionier elemente auf, die in äquidistanten Punkten jeweils im Raum verschwenkbar sowohl an dem ersten Maschinenteil als auch an dem zweiten Maschinenteil gelagert sind. This device also has three positioning elements on which are mounted pivotably in each case equidistant points in space both on the first machine part and on the second machine part. Die Führung für das erste Maschinenteil gegenüber dem zweiten Maschinenteil weist hier zwei hintereinander geschaltete Führungseinrichtungen auf. The guide for the first machine part relative to the second machine part has two series-connected guide means here. An dem zweiten Maschinenteil ist ein Führungsstück nach Art eines Kreuzschlittens in einer Ebene geführt. On the second machine part is a guide piece in the manner of a cross slide is guided in one plane. Senkrecht zu der Ebene ist eine starr an dem ersten Maschinenteil gelagerte Führungs stange gegenüber dem Führungsstück teleskopierbar. Perpendicular to the plane is a rigidly mounted on the first machine part guide rod relative to the guide piece telescopic. Beide Führungseinrichtungen zusammen bewirken eine Parallelführung für das erste Maschinenteil gegenüber dem zweiten Maschinenteil und wirken rein passiv. Both guide means together produce a parallel guide for the first machine part relative to the second machine part and have a purely passive. Bei größeren Beschleunigungen des zweiten Maschinenteils gegenüber dem ersten Maschinenteil besteht die Gefahr, daß die Führungseinrichtungen aufgrund der großen Momente, die nicht direkt in Richtung der einzelnen Verfahr barkeiten wirken, blockieren. For larger accelerations of the second machine part relative to the first machine part there is a danger that the guide means because of the large moments that act not directly barkeiten in direction of the individual traversing that block.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Positionier vorrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und eine Meßvorrichtung nach dem Oberbegriff des Anspruchs 2 aufzuzeigen, bei denen sich zwischen den beiden Maschinenteilen möglichst wenige Bauteile erstrecken. The invention has the object to provide a positioning device according to the preamble of claim 1 and a measuring device to show according to the preamble of claim 2 in which extend a few components as possible between the two machine parts.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die Positioniervorrich tung mit den Merkmalen des Anspruchs 1 und durch die Meßvorrich tung mit den Merkmalen des Anspruchs 2 gelöst. According to the invention this object is tung by the Positioniervorrich achieved with the features of claim 1 and by the Meßvorrich tung with the features of claim 2. Vorteilhafte Ausgestaltung dieser Vorrichtungen sind in den Unteransprüchen 3 bis 9 dargelegt. Advantageous embodiments of these devices are set forth in the dependent Claims 3 to. 9

Bei den neuen Vorrichtungen weist die Parallelführung keine separat an den beiden Maschinenteilen gelagerten Führungs elemente auf. With the new devices, the parallel guidance does not separately mounted on the two machine parts to guide elements. Vielmehr ist die Parallelführung in rein passiver Weise ausgebildet, indem mindestens zwei der Positionier- bzw. Wegmeßelemente um ihre Arbeitsrichtung torsionssteif ausgebildet sind, wobei gleichzeitig ein Schwenklager für eines der torsionssteifen Positionier- bzw. Wegmeßelemente an dem ersten Maschinenteil nur eine Schwenkbewegung um eine senkrecht zu der Grundrichtung und senkrecht zu der Arbeitsrichtung des Posi tionier- bzw. Wegmeßelements verlaufende erste Schwenkachse zuläßt. Rather, the parallel linkage in purely passive manner is formed by at least two of the positioning or Wegmeßelemente formed torsion about their direction of travel, while at the same a pivot bearing for one of the torsionally rigid positioning or Wegmeßelemente on the first machine part only a pivoting movement about an axis perpendicular to the primary direction and tionier- perpendicular to the working direction of the positioning or Wegmeßelements extending first pivot axis permits. Ansonsten ist dieses Schwenklager steif ausgebildet. Otherwise, this pivot bearing is stiff. Alle anderen Schwenklager für die zwei torsionssteifen Positionier- bzw. Wegmeßelemente an dem ersten Maschinenteil und dem zweiten Maschinenteil lassen jeweils nur Schwenkbewegungen um zwei senkrecht zu der Arbeitsrichtung des jeweiligen Positionier- bzw. Wegmeßelements und senkrecht zueinander verlaufende Schwenkachsen zu. All other pivot bearing for the two torsionally rigid positioning or Wegmeßelemente on the first machine part and the second machine part can in each case to only pivot movements around two perpendicular to the working direction of the respective positioning or Wegmeßelements and mutually perpendicular pivot axes. Ansonsten sind auch diese Schwenklager steif ausgebildet. Otherwise, this pivot bearings are stiff. Wenn die beiden torsionssteif ausgebildeten Positionier- bzw. Wegmeßelemente nicht zufällig parallel zueinander ausgerichtet sind, ist durch die Ein schränkungen ihrer Bewegungsfreiheitsgrade bereits sicherge stellt, daß die Grundrichtung des ersten Maschinenteils gegen über dem zweiten Maschinenteil eingehalten wird. If the two torsion-formed positioning or Wegmeßelemente are not randomly oriented parallel to one another, is by the A limitations of its movement degrees of freedom already sicherge provides that the basic direction of the first machine part to be adhered to the second machine part. Wenn eine Möglichkeit besteht, daß die mindestens zwei torsionssteif ausgebildeten Positionier- bzw. Wegmeßelemente parallel oder auch nur annähernd parallel ausgerichtet sind, ist mindestens ein drittes Positionier- bzw. Wegmeßelement torsionssteif auszubilden und bezüglich seiner Arbeitsrichtung torsionssteif an den beiden Maschinenteilen zu lagern. If there is a possibility that the at least two torsionally rigid positioning or formed Wegmeßelemente are parallel or even approximately aligned in parallel, at least one third positioning or position messuring torsionally rigid form and with respect to its working direction Rigidity be stored in the two machine parts.

Jedes lineare Positionier- bzw. Wegmeßelement kann torsionssteif ausgebildet sein, indem zwischen seinen beiden Enden zwei in Reihe angeordnete Schwenkarme vorgesehen werden, die an den Enden und aneinander nur um senkrecht zu der Arbeitsrichtung des Positionier- bzw. Wegmeßelements verlaufende und parallel zueinander ausgerichtete Schwenkachsen verschwenkbar gelagert sind. Each linear positioning or position messuring may be formed torsionally by two series-arranged swivel arms are provided between its two ends, the pivoted at the ends and to each other by only perpendicular to the working direction of the positioning or Wegmeßelements extending and mutually parallel pivot axes are mounted.

Bei dieser Ausführungsform ist vorzugsweise mindestens ein gemeinsames Schwenklager für ein Ende und einen Schwenkarm des jeweiligen torsionssteifen Positionier- bzw. Wegmeßelements vorgesehen. In this embodiment preferably at least one common pivot bearing for one end of a pivot arm and the respective torsionally rigid positioning or Wegmeßelements is provided.

Bevorzugt als lineare Positionierelemente bei der neuen Positio niervorrichtung sind Linearmotoren. Preferred linear positioning in the new positio niervorrichtung are linear motors. Bei elektrischen Linear motoren ist üblicherweise eine Führung zwischen Stator und Läufer vorgesehen, die die starken seitlichen elektromagne tischen Abstoßungskräfte zwischen diesen beiden Bauteilen aufnimmt und die zu einer ausreichenden Torsionssteifigkeit des Linearmotors als Positionierelement führt, wie sie für die Realisation der neuen Positioniervorrichtung völlig ausreichend ist. In linear electric motors, a guide between the stator and rotor is usually provided, which receives the strong lateral electromagnetic tables repulsive forces between these two components and resulting in a sufficient torsional stiffness of the linear motor as positioning element, as it is sufficient for the realization of the new positioning.

Zur Ausbildung der Schwenklager mit zwei Schwenkachsen für die Positionier- bzw. Wegmeßelemente können neben einfachen Achs lagern auch sphärische Lagerschalen mit die Schwenkbewegung gegenüber der Lagerschale auf eine Schwenkachse beschränkenden Mitteln vorgesehen sein. To form the pivot bearing with two swiveling axes for positioning or Wegmeßelemente and spherical bearings with the pivotal movement relative to the bearing shell on a pivot limiting means can store in addition to simple axis may be provided. Zur Realisation beider Schwenkachsen sind dann zwei rechtwinklig ineinander angeordnete Lagerschalen mit derartigen Mitteln vorzusehen. To realize the two pivot axes at right angles two nested cups must then be provided with such means. Es ist aber ohne weiteres möglich, für die zweite Schwenkachse auf andere Formen der Schwenklagerung zurückzugreifen. but it is easily possible to resort to the second pivot axis to other forms of the pivot bearing.

Besonders bevorzugt bei den neuen Vorrichtungen ist die Ausbil dung von Schwenklagern mit zwei Schwenkachsen als kardanische Aufhängungen. Particularly preferred for the new devices, the Ausbil is dung of pivot bearings with two pivot axes as gimbals. Die für kardanische Aufhängungen typischen Teillager, die jeweils eine Schwenkachse definieren, können leicht so weit auseinander angeordnet werden, daß sich für alle anderen Relativbewegungen sehr hohe Steifigkeiten ergeben. The typical part gimbals bearings each define a pivot axis can be arranged easily so far apart that arise for all other relative movements very high stiffness.

In den bevorzugten Ausführungsformen weisen die neuen Vorrich tungen drei oder vier torsionssteife Positionier- bzw. Wegmeß elemente auf. In preferred embodiments, the new obligations Vorrich three or four torsion positioning or path measuring elements on. Dabei sind die Punkte, in denen die Positionier- bzw. Wegmeßelemente an dem zweiten Maschinenteil gelagert sind, vorzugsweise in einer senkrecht zu der Grundrichtung des ersten Maschinenteils verlaufenden Ebene angeordnet. Here, the points at which the positioning or Wegmeßelemente are mounted on the second machine part, preferably arranged in a direction perpendicular to the primary direction of the first machine part plane.

Um die Grundrichtung des ersten Maschinenteils einzustellen, beispielsweise um einen Winkel zwischen einem an dem ersten Maschinenteil drehantreibbar gelagerten Werkzeug und einem Werkstück einzustellen, kann das zweite Maschinenteil gegenüber einem Maschinenrahmen um eine senkrecht zu der Grundrichtung des ersten Maschinenteils verlaufende Kippachse verkippbar sein. To the primary direction of the first machine part to adjust, for example, adjust an angle between a drivable in rotation mounted on the first machine part tool and a workpiece, the second machine part relative to a machine frame around an axis perpendicular to the primary direction of the first machine part tilting axis may be tilted. Alternativ oder zusätzlich kann das Werkzeug auch gegenüber der Grundrichtung des ersten Maschinenteils verkippbar sein. Alternatively or additionally, the tool can be tilted also with respect to the primary direction of the first machine part.

Besonders interessante Anwendungsformen der neuen Positionier vorrichtung betreffen Präzisionswerkzeugmaschinen, bei denen die Positioniervorrichtung für die Positionierung einer drehantreib baren Spindel mit Werkzeughalter oder eines Lasers gegenüber einem Maschinenrahmen genutzt wird. A particularly interesting application of the new positioning device relating to precision machine tools, in which the positioning device for the positioning of a cash drehantreib spindle with tool holder or of a laser relative to a machine frame is used.

Die Erfindung wird im folgenden anhand von Ausführungsbeispielen der neuen Positioniervorrichtung näher erläutert und beschrie ben. The invention is explained in more detail below with reference to embodiments of the new positioning device and beschrie ben. Eine neue Meßvorrichtung würde einen entsprechenden Aufbau aufweisen, wobei die Positionierelemente als rein passive Weg meßelemente oder als aktive Positionierelemente mit zusätzlicher Wegmeßfunktion ausgebildet wären. A new measuring device would have a corresponding structure, wherein the positioning sensing elements as a purely passive way or were formed as an active positioning elements with additional Wegmeßfunktion. In den Zeichnungen zeigt In the drawings

Fig. 1 eine Ansicht einer ersten Positioniervorrichtung von unten, Fig. 1 is a view of a first positioning device from below,

Fig. 2 ein Schwenklager der Positioniervorrichtung gemäß Fig. 1 in einer Seitenansicht, Fig. 2 is a pivot bearing of the positioning device shown in Fig. 1 in a side view;

Fig. 3 das erste Maschinenteil bei der Positioniervorrichtung gemäß Fig. 1 mit daran angeordneten weiteren Schwenk lagern in einer Seitenansicht, Fig. 3, the first machine part in the positioning apparatus according to Fig. 1, arranged thereon further pivot bearings in a side view;

Fig. 4 eine zweite Ausführungsform der Positioniervorrichtung in einer Ansicht von unten, Fig. 4 shows a second embodiment of the positioning device in a view from below,

Fig. 5 das erste Maschinenteil der Positioniervorrichtung gemäß Fig. 4 in einer Seitenansicht mit den daran angreifenden Schwenklagern und Fig. 5 the first machine part of the positioning device shown in FIG. 4 in a side view with the acting thereon pivots and

Fig. 6 eine weitere Ausführungsform der Positioniervorrich tung. Fig. 6 tung another embodiment of the Positioniervorrich.

Die in Fig. 1 dargestellte Positioniervorrichtung 1 dient zur Positionierung eines ersten Maschinenteils 2 gegenüber einem zweiten Maschinenteil, an dem Lagerringe 3 ortsfest gelagert sind. The positioning device 1 shown in Fig. 1 is used for positioning a first machine part 2 to a second machine part, are fixedly mounted on the bearing rings 3. Dabei sind hier zwischen den beiden Maschinenteilen drei Positionierelemente 4 angeordnet. Three positioning elements 4 are here disposed between the two machine parts. Bei den Positionierelementen 4 handelt es sich um Linearmotoren 5 , 6 mit Stator 5 und Läufer 6 . With the positioning elements 4 is linear motors 5, 6 with the stator 5 and the rotor. 6 Die Positionierelemente 4 sind durch Relativbewegung des Läufers 6 zu dem Stator 5 in Richtung des Doppelpfeils 7 auf eine lineare Längenänderung zwischen den beiden Maschinenteilen hin ansteuerbar. The positioning elements 4 are driven out by relative movement of the rotor 6 toward the stator 5 in the direction of the double arrow 7 to a linear change in length between the two machine parts. Durch die Längen der drei Positionierelemente 4 wird die Raumlage des ersten Maschinenteils 2 gegenüber dem zweiten Maschinenteil festgelegt. Due to the lengths of the three positioning elements 4, the spatial position of the first machine part 2 is fixed relative to the second machine part. Die Winkelorientierung des ersten Maschinenteils 2 gegenüber dem zweiten Maschinenteil bleibt dabei fest, weil alle drei Positionierelemente 4 torsionssteif ausgebildet und in bestimmter, im folgenden zu erläuternden Weise an den beiden Maschinenteilen gelagert sind. The angular orientation of the first part 2 relative to the second machine part remains fixed thereby, because all three positioning members 4 formed torsionally rigid and are supported in certain in the following manner to be explained at the two machine parts. Die Torsionssteifigkeit der Positionierelemente 4 ergibt sich aus ihrer Ausbildung als Linearmotoren 5 , 6 weil ein üblicher Linearmotor mit einer Führung zwischen dem Stator 5 und dem Läufer 6 versehen ist, die primär zur Aufnahme seitlicher elektromagnetischer Abstoßungskräfte zwischen diesen beiden Bauteilen dient. The torsional rigidity of the positioning elements 4 results from their training as linear motors 5, 6 because a conventional linear motor with a guide between the stator 5 and the rotor 6 is provided, which serves primarily to accommodate lateral electromagnetic repulsion forces between these two components. Die Führung verhindert aber gleichzeitig auch jede Torsion zwischen dem Stator 5 und dem Läufer 6 . However, the guide prevents any twist at the same time between the stator 5 and the rotor. 6 Im Zusammenhang mit den weiteren Figuren wird aber auch auf andere Ausführungsformen der Positionierelemente 4 eingegangen werden, bei denen die Torsionssteifigkeit durch andere Mittel erreicht wird. In connection with the other figures, but will be addressed in other embodiments of the positioning elements 4, in which the torsional rigidity is achieved by other means. Das untere Positionierelement 4 ist in einem Schwenklager 8 um eine einzige Schwenkachse 9 verschwenkbar an dem ersten Maschinenteil 2 gelagert. The lower positioning element 4 is mounted in a pivot bearing 8 about a single pivot axis 9 pivotable on the first machine part. 2 Die Schwenkachse 9 verläuft senkrecht zu der durch den Doppelpfeil 7 angedeuteten Arbeitsrichtung des Positionierelements 4 . The pivot axis 9 perpendicular to the direction indicated by the double arrow 7 the working direction of the positioning member. 4 Die weiteren Positionierelemente 4 , die in Fig. 1 oben wiedergegeben sind, sind in ihren Schwenklagern 10 nicht nur jeweils um eine der Schwenkachse 9 entsprechende Schwenkachse 11 , sondern auch um eine hierzu senkrecht und ebenfalls quer zu der Arbeitsrichtung des jeweiligen Posi tionierelements 4 verlaufende Schwenkachse 12 verschwenkbar gelagert. The other positioning elements 4, which are shown in Fig. 1 above, in their pivot bearings 10 not only to an opening of the pivot axis 9 corresponding pivot axis 11 but also about a perpendicular thereto and also transversely to the working direction of the respective Posi tionierelements 4 extending pivot axis pivotably mounted 12th Für alle Positionierelemente 4 sind an dem zweiten Maschinenteil Schwenklager 13 vorgesehen, die jeweils sowohl eine Verschwenkung um eine parallel zu der jeweiligen Schwenkachse 9 bzw. 11 verlaufende Schwenkachse 14 als auch um eine hierzu senkrecht und quer zu der Arbeitsrichtung des Positionierelements 4 verlaufende Schwenkachse 15 erlauben. For all positioning members 4 pivot bearings 13 are provided on the second machine part, which both allow each pivoting about an axis parallel to the respective pivot axis 9 and 11, respectively extending pivot axis 14 and about an axis extending perpendicular thereto and transverse to the working direction of the positioning member 4 pivot axis 15 , Konkret sind die Schwenklager 13 gemäß Fig. 1 als kardanische Aufhängungen mit zwei zueinander senkrechten Schwenkachsen 14 und 15 für den Stator 5 des jeweiligen Linearmotors 5 , 6 vorgesehen. Specifically, the pivot bearings 13 are provided as shown in FIG. 1 as Gimbals having two mutually perpendicular pivot axes 14 and 15 for the stator 5 of the respective linear motor 5, 6. Dies geht näher aus Fig. 2 hervor, die ein Schwenklager 13 aus der bezüglich des ersten Bauteils 2 rückwärtigen Ansicht zeigt. This is more apparent from Fig. 2 showing a pivot bearing 13 from the respect to the first component 2 rear view. Die Lagerringe 3 erlauben ein Verschwenken eines Zwischenrings 16 um die Achse 14 gegenüber dem zweiten Maschinenteil. The bearing rings 3 allow pivoting of an intermediate ring 16 about the axis 14 relative to the second machine part. Dabei greifen Lagerbolzen 17 von dem Zwischenring 16 in die Lagerringe 3 ein. In this case, the bearing pin 17 engage in the bearing rings 3 of the intermediate ring sixteenth Zu den Lagerbolzen 17 um 90° versetzt sind an den Zwischenring 16 Lagerringe 18 angeordnet, in die Lagerbolzen 19 von dem Stator 5 des jewei ligen Linearmotors 5 , 6 her eingreifen. 16 bearing rings 18 are offset relative to the bearing pin 17 arranged at 90 °, engage in the bearing pin 19 of the stator 5 of the jewei time linear motor 5, 6 forth on the intermediate ring. Die Lagerringe 18 und die Lagerbolzen 19 definieren die Schwenkachse 15 . The bearing rings 18 and the bearing pin 19 defining the pivot axis 15 °. Fig. 1 zeigt das erste Maschinenteil 2 von unten, wobei das erste Maschinen teil 2 eine drehantreibbare Spindel 20 mit einem ein Werkzeug 21 tragenden Halter 22 aufweist. Fig. 1 shows the first machine part 2 from below, wherein the first machine part 2 having a rotationally drivable spindle 20 with a tool 21 bearing holder 22. Das Werkzeug 21 ist mit der Spindel 20 um eine Drehachse 23 antreibbar. The tool 21 can be driven by the spindle 20 about a rotational axis 23rd Die Drehachse 23 markiert eine Grundrichtung des ersten Maschinenteils 2 , die durch die Parallelführung mittels der Positionierelemente 4 beibehalten wird und zu der die Schwenkachsen 12 hier genau parallel und die Schwenkachsen 9 und 11 senkrecht verlaufen. The rotation axis 23 marks a basic direction of the first machine part 2, which is maintained by the parallel guide means of the positioning elements 4 and to which the pivot axes 12 extend in parallel in the right and the pivot axes 9 and 11 perpendicularly. Aus den Fig. 1 und 2 geht hervor, daß die Linearmotoren hochkant angeordnet sind. From Figs. 1 and 2 shows that the linear motors are disposed vertically. Bezüglich der Torsionssteifigkeit der Positio nierelemente 4 ist dies nicht erforderlich. Regarding the torsional rigidity of the positio nierelemente 4 this is not required. Durch die hochkante Anordnung der Linearmotoren 5 , 6 nehmen diese aber in dem von ihnen gemeinsam beanspruchten Ringraum um das erste Maschinen teil 2 möglichst wenig Platz ein. By edgewise arrangement of the linear motors 5, 6 but these take part in commonly claimed by them annulus around the first machine 2 as little space as one.

Aus Fig. 1 geht nur ansatzweise hervor, daß die Schwenklager 13 oberhalb der Schwenklager 8 und 10 angeordnet sind, so daß die Positionierelemente von dem ersten Maschinenteil 2 zu dem zweiten Maschinenteil hin ansteigend ausgerichtet sind. From Fig. 1 shows only partially, that the pivot bearings 13 are arranged above the pivot bearing 8 and 10, so that the positioning elements are aligned from the first machine part 2 toward rising to the second machine part. Eindeutig erkennbar ist dies jedoch an Fig. 3, die einen Blick auf das erste Maschinenteil 2 aus Richtung eines der Schwenk lager 10 zeigt. This is clearly seen, however, in Fig. 3, which shows a view of the first machine part 2 from the direction of the pivot bearing 10. Das Schwenklager 10 ist ausgebildet, indem zwischen zwei Vorsprüngen 24 an dem ersten Maschinenteil 2 ein Schwenkrahmen 25 um die Achse 12 verschwenkbar gelagert ist und indem der jeweilige Läufer 6 in dem Schwenkrahmen 25 um die Achse 11 verschwenkbar gelagert ist. The pivot bearing 10 is formed by a pivoting frame is pivotably mounted about the axis 12 25 between two projections 24 on the first machine part 2 and by the respective rotor is mounted pivotably 6 in the pivot frame 25 around the axis. 11 Es wäre aber auch ohne weiteres möglich, das innere Bauteil in dem Schwenkrahmen 25 ortsfest an dem zweiten Maschinenteil 2 zu lagern und den Stator 6 an den äußeren Bauteilen an dem Schwenkrahmen 25 zu lagern. However, it would also readily possible to mount the inner member in the swing frame 25 fixed on the second machine part 2 and to support the stator 6 to the outer members of the swivel frame 25th Auf die konkrete Ausführungsform der Schwenklager 8 und 10 kommt es im übrigen für die neue Positioniervorrichtung 1 im allge meinen nicht an. It depends on the concrete embodiment of the pivot bearings 8 and 10 in the rest of the new positioning device 1 in general do not mean to.

Gemäß Fig. 4 sind vier Positioniervorrichtungen 4 in Form von Linearmotoren 5 , 6 vorgesehen. According to FIG. 4, four positioning devices 4 in the form of linear motors 5, 6 are provided. Dabei entspricht die Anordnung, außer einer abweichenden Ausbildung der Schwenklager 10 grund sätzlich der Ausführungsform gemäß Fig. 1. Allerdings sind die Schwenklager 13 an den Enden der Positionierelemente 4 zu dem zweiten Maschinenteil hin jeweils nicht dargestellt. The arrangement except for a different construction of the swivel bearing 10 in principle corresponds to the embodiment of FIG. 1. However, the pivot bearings are not shown in each case at the ends 13 of the positioning elements 4 to the second machine part. In gleicher Weise wie in Fig. 1 ist das untere Positionierelement 4 nur um die Schwenkachse in dem Schwenklager 8 gegenüber dem ersten Maschinenteil 2 verschwenkbar gelagert. In the same manner as in Fig. 1 the lower positioning member 4 is supported pivotable only about the pivot axis in the pivot bearing 8 relative to the first machine part 2. Bevor in Zusammenhang mit Fig. 5 auf die Ausbildung der Schwenklager 10 gemäß Fig. 4 näher eingegangen wird, sei noch ergänzend ausgeführt, daß das erste Maschinenteil 2 hier einen einen Laserstrahl 26 abgebenden Laser 27 hält, wobei die Strahlachse 28 der Drehachse 23 gemäß Fig. 1 entspricht. Before discussing in more detail in connection with Fig. 5 to the formation of the pivot bearing 10 of FIG. 4 is, stated further that the first machine part 2 stops here a laser beam 26 emitting laser 27, the beam axis 28 of the rotational axis 23 according to Figure . 1 corresponds.

Die aus der Seitenansicht gemäß Fig. 5 ersichtliche Ausge staltung der Schwenklager 10 umfaßt Lagerschalen 29 , die eine Lagerkugel 30 einschließen. The 5 apparent from the side view according to FIG. Substituted staltung the pivot bearing 10 includes bearing cups 29, including a bearing ball 30. Dabei ist ein um den Umfang der Lagerkugel 30 umlaufender Führungssteg 31 vorgesehen, der in die Lagerschale 29 eingreift und ein Verschwenken der Lagerkugel 30 gegenüber der Lagerschale 29 nur um die Schwenkachse 12 erlaubt. Here, a around the circumference of the bearing ball 30 encircling guide web 31 is provided which engages in the bearing shell 29 and a pivoting of the bearing ball allowed only about the pivot axis 12 relative to the bearing shell 29 30th Die Schwenkbewegung um die Schwenkachse 11 wird durch die schwenkbare Lagerung des Läufers 6 in einem Führungsschlitz 32 in der Lagerkugel 30 realisiert. The pivotal movement about the pivot axis 11 is realized by the pivotable mounting of the rotor 6 in a guide slot 32 in the bearing ball 30th

In der Ausführungsform gemäß Fig. 6 sind verschiedene Abwand lungsmöglichkeiten gegenüber den bisherigen Ausführungsformen skizziert. In the embodiment according to Fig. 6 different settings available Abwand are compared to the previous embodiments outlined. Dabei sind drei Positionierelemente 4 vorgesehen, die jeweils auf Gewindespindeltrieben mit Gewindespindel 33 und angetriebener Mutter 34 basieren. Three positioning elements 4 are provided, each based on the threaded spindle drives with threaded spindle 33 and driven nut 34th Von den Positionierelementen 4 sind dabei nur zwei gegenüber Torsionen versteift. There are only two stiffened against torsion by the positioning fourth Hierzu ist jeweils ein Paar von Schwenkarmen 35 vorgesehen. For this purpose, a pair of pivot arms 35 is provided in each case. Bei dem unteren Positionierelement 4 sind die Schwenkarme 35 einerseits um dieselbe Schwenkachse 9 des Schwenklagers 8 an dem ersten Maschinenteil 2 , andererseits um dieselbe Schwenkachse 14 wie die drehantreibbare Mutter 34 für die Gewindespindel 33 gegen über dem Zwischenring 16 , der hier gegenüber Fig. 1 um 90° verdreht angeordnet ist, und letztlich um eine parallel zu den Schwenkachsen 9 und 14 verlaufenden weitere Schwenkachse 36 aneinander verschwenkbar gelagert. In the lower positioning element 4, the pivot arms 35 are on the one hand about the same pivot axis 9 of the pivot 8 34 for the threaded spindle 33 relative to the intermediate ring 16, which here refer to Fig. 1 in order on the first machine part 2, on the other hand about the same pivot axis 14 as the rotationally drivable nut is arranged turned through 90 °, and ultimately mounted pivotably about an axis parallel to the pivot axes 9 and 14 extending further pivot axis 36 to each other. Dabei sorgt die Art der Lagerung mit jeweils zwei in Richtung der jeweiligen Schwenk achse 9 , 14 bzw. 36 beabstandeten Teillagern für die Torsions steifigkeit des Positionierelements 4 . The type of storage with two each in the direction of the respective pivot axis ensures 9, 14 and 36, respectively spaced part bearings for the torsional rigidity of the positioning member. 4 Bei dem oben rechts in Fig. 6 dargestellten Positionierelement 4 sind die Schwenkarme 35 um die Schwenkachsen 12 und 15 sowie untereinander um eine dazu parallel verlaufende Schwenkachse 37 verschwenkbar gela gert. In the top right in Fig. 6 illustrated positioning member 4, the pivot arms 35 about the pivot axes 12 and 15 and to each other about a pivot axis extending parallel to pivot 37 gela device. Auch hier wäre aber eine schwenkbare Lagerung um die horizontalen Schwenkachsen 11 und 14 möglich, um die gewünschte Torsionssteifigkeit herzustellen. Here, too, however, a pivotable mounting about the horizontal pivot axes 11 and 14 would be possible to produce the desired torsional rigidity. Die Torsionssteifigkeit des verbleibenden dritten Positionierelements 4 ist für die Stabilisierung der Grundrichtung des ersten Maschinenteils 2 entsprechend der Achse 28 des Laserstrahls 26 nicht zwingend erforderlich, solange die torsionssteif ausgebildeten Positio nierelemente nicht vollständig oder auch nur annähernd parallel zueinander ausgerichtet sind. The torsional stiffness of the remaining third positioning member 4 is not absolutely necessary for the stabilization of the primary direction of the first part 2 according to the axis 28 of the laser beam 26, as long as the torsion formed positio nierelemente not completely or even approximately parallel to each other.

BEZUGSZEICHENLISTE LIST OF REFERENCE NUMBERS

1 1

- Positioniervorrichtung - positioning

2 2

- erstes Maschinenteil - the first machine part

3 3

- Lagerring - bearing ring

4 4

- Positionierelement - positioning

5 5

- Stator - stator

6 6

- Läufer - Runner

5 5

, .

6 6

- Linearmotor - linear motor

7 7

- Doppelpfeil - double arrow

8 8th

- Schwenklager - Swivel bearings

9 9

- Schwenkachse - swiveling axis

10 10

- Schwenklager - Swivel bearings

11 11

- Schwenkachse - swiveling axis

12 12

- Schwenkachse - swiveling axis

13 13

- Schwenklager - Swivel bearings

14 14

- Schwenkachse - swiveling axis

15 15

- Schwenkachse - swiveling axis

16 16

- Zwischenring - intermediate ring

17 17

- Lagerbolzen - bearing bolt

18 18

- Lagerring - bearing ring

19 19

- Lagerbolzen - bearing bolt

20 20

- Spindel - spindle

21 21

- Werkzeug - Tool

22 22

- Halter - holders

23 23

- Drehachse - axis of rotation

24 24

- Vorsprung - Head Start

25 25

- Schwenkrahmen - pivoting frame

26 26

- Laserstrahl - laser

27 27

- Laser - laser

28 28

- Strahlachse - beam axis

29 29

- Lagerschale - bearing shell

30 30

- Lagerkugel - bearing ball

31 31

- Führungssteg - guide web

32 32

- Führungsschlitz - guide slot

33 33

- Gewindespindel - screw

34 34

- Mutter - Mother

33 33

, .

34 34

- Gewindetrieb - screw

35 35

- Schwenkarm - arm

36 36

- Schwenkachse - swiveling axis

37 37

- Schwenkachse - swiveling axis

Claims (10)

  1. 1. Positioniervorrichtung für die Positionierung eines ersten Maschinenteils gegenüber einem zweiten Maschinenteil, wobei mindestens drei Positionierelemente in verschiedenen Punkten an dem zweiten Maschinenteil im Raum verschwenkbar gelagert sind, wobei die Positionierelemente an dem ersten Maschinenteil angreifen und auf eine lineare Längenänderung in einer Arbeits richtung zwischen dem ersten und dem zweiten Maschinenteil ansteuerbar sind und wobei eine Parallelführung für das erste Maschinenteil gegenüber dem zweiten Maschinenteil vorgesehen ist, die eine feste Grundrichtung des ersten Maschinenteils definiert, dadurch gekennzeichnet , daß die Parallelführung keine separat an den beiden Maschinenteilen gelagerten Führungselemente aufweist, sondern ausgebildet ist, indem mindestens zwei der Positionierelemente ( 4 ) um ihre Arbeitsrichtung ( 7 ) torsions steif ausgebildet sind, indem ein Schwenklager ( 8 ) für eines der torsionssteifen Positionierelemente ( 4 ) an dem ers 1. positioning device for positioning a first machine part relative to a second machine part, wherein at least three positioning members are pivotally supported in different points on the second machine part in space, said positioning elements engaging the first machine part and a linear change in length in a working direction between are first and triggered the second machine part, and wherein a parallel guide for the first machine part relative to the second machine part is provided, which defines a fixed basic direction of the first machine part, characterized in that the parallel guide has no separately mounted on the two machine parts guide members, but is formed by at least two of the positioning elements (4) about its direction of work (7) are torsionally stiff by a pivot bearing (8) for one of the torsionally rigid positioning elements (4) on the ers ten Maschinen teil ( 2 ) nur eine Schwenkbewegung um eine senkrecht zu der Grundrichtung ( 23 , 28 ) und senkrecht zu der Arbeitsrichtung ( 7 ) des Positionierelements verlaufende erste Schwenkachse ( 9 ) zuläßt und ansonsten steif ausgebildet ist und indem alle anderen Schwenklager ( 10 , 13 ) für das eine und mindestens ein zweites der torsionssteifen Positionierelemente ( 4 ) an dem ersten Maschinenteil ( 2 ) und dem zweiten Maschinenteil nur Schwenkbewegungen um jeweils zwei senkrecht zu der Arbeitsrichtung ( 7 ) des jeweiligen Positionierelements ( 4 ) und senkrecht zueinander verlaufende Schwenkachsen ( 11 , 12 ; th machine part (2) only a pivoting movement about an axis perpendicular to the primary direction (23, 28) and perpendicular to the working direction (7) of the positioning element extending first pivot axis (9) permitting and is otherwise stiff and by all the other pivot bearings (10, 13) for the one and at least a second of the torsionally rigid positioning elements (4) on the first machine part (2) and the second machine part only pivot movements around two perpendicular (to the working direction 7) of the respective positioning element (4) and extending perpendicular pivot axes ( 11, 12; 14 , 15 ) zulassen und ansonsten steif ausgebildet sind. 14, let 15) and are otherwise stiff.
  2. 2. Meßvorrichtung für die Positionsbestimmung eines ersten Maschinenteils gegenüber einem zweiten Maschinenteil, wobei mindestens drei Wegmeßelemente in verschiedenen Punkten an dem zweiten Maschinenteil im Raum verschwenkbar gelagert sind, wobei die Wegmeßelemente an dem ersten Maschinenteil angreifen und jeweils eine lineare Abstandsänderung in einer Arbeitsrichtung zwischen dem ersten und dem zweiten Maschinenteil registrieren und wobei eine Parallelführung für das erste Maschinenteil gegenüber dem zweiten Maschinenteil vorgesehen ist, die eine feste Grundrichtung des ersten Maschinenteils definiert, dadurch gekennzeichnet, daß die Parallelführung keine separat an den beiden Maschinenteilen gelagerte Führungselemente aufweist, sondern ausgebildet ist, indem mindestens zwei der Wegmeßele mente ( 4 ) um ihre Arbeitsrichtung ( 7 ) torsionssteif ausgebildet sind, indem ein Schwenklager ( 8 ) für eines der torsionssteifen Wegmeßelemente ( 4 ) an dem ersten Maschinenteil ( 2. Measuring device for determining the position of a first machine part relative to a second machine part, wherein at least three Wegmeßelemente are pivotally supported in different points on the second machine part in the space, wherein the Wegmeßelemente engage the first machine part and in each case a linear distance change in a working direction between the first and register the second machine part, and wherein a parallel guide for the first machine part relative to the second machine part is provided, which defines a fixed basic direction of the first machine part, characterized in that the parallel guide has no separately mounted on the two machine parts guide members, but is formed by at least two of Wegmeßele elements (4) about its direction of work (7) are designed torsionally by a pivot bearing (8) for one of the torsion Wegmeßelemente (4) on the first machine part ( 2 ) nur eine Schwenkbewegung um eine senkrecht zu der Grundrichtung ( 23 , 28 ) und senkrecht zu der Arbeitsrichtung ( 7 ) des Wegmeßelements verlaufende erste Schwenkachse ( 9 ) zuläßt und ansonsten steif ausgebildet ist und indem alle anderen Schwenklager ( 10 , 13 ) für das eine und mindestens ein zweites der torsionssteifen Wegmeß elemente ( 4 ) an dem ersten Maschinenteil ( 2 ) und dem zweiten Maschinenteil nur Schwenkbewegungen um jeweils zwei senkrecht zu der Arbeitsrichtung ( 7 ) des jeweiligen Wegmeßelements ( 4 ) und senkrecht zueinander verlaufende Schwenkachsen ( 11 , 12 ; 2) only a pivoting movement about an axis perpendicular (to the primary direction 23, 28) and perpendicular (to the working direction 7) of the Wegmeßelements allows extending first pivot axis (9) and is otherwise rigid design and by all the other pivot bearings (10, 13) for the a and at least a second of the torsion path measuring elements (4) on the first machine part (2) and the second machine part only pivot movements around two perpendicular to the working direction (7) of the respective Wegmeßelements (4) and mutually perpendicular pivot axes (11, 12 ; 14 , 15 ) zulassen und ansonsten steif ausgebildet sind. 14, let 15) and are otherwise stiff.
  3. 3. Meßvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens drei der Wegmeßelemente auch als Positionierelemente ausgebildet sind, die jeweils auf eine lineare Abstandsänderung zwischen dem ersten und dem zweiten Maschinenteil ansteuerbar sind. 3. Measuring device according to claim 2, characterized in that at least three of the Wegmeßelemente are formed as positioning elements that are each controlled to a linear change in distance between the first and the second machine part.
  4. 4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein torsionssteifes Positionier- bzw. Wegmeßelement ( 4 ) zwischen seinen beiden Enden zwei in Reihe angeordnete Schwenkarme ( 35 ) aufweist, die an den Enden und aneinander nur um senkrecht zu der Arbeitsrichtung des Positionier- bzw. Wegmeßelements und parallel zueinander verlaufende Schwenkachsen ( 8 , 14 , 36 ; 12 , 15 , 37 ) schwenkbar gelagert sind. 4. The device comprises according to one of claims 1 to 3, characterized in that at least one torsionally rigid positioning or position messuring (4) between its two ends, two series-arranged swivel arms (35) to each other at the ends and only perpendicular the working direction of the positioning or Wegmeßelements and mutually parallel pivot axes (8, 14, 36; 12, 15, 37) are pivotably mounted.
  5. 5. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Positionierelement ( 4 ) einen Linearmotor ( 5 , 6 ) mit üblicher Führung zwischen Stator ( 5 ) und Läufer ( 6 ) aufweist. Has 5. The apparatus of claim 1 or 3, characterized in that at least one positioning element (4) comprises a linear motor (5, 6) with a conventional guide between the stator (5) and rotor (6).
  6. 6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens ein Schwenklager ( 13 ) mit zwei Schwenkachsen ( 14 , 15 ) als kardanische Aufhängung ausgebildet ist. 6. Device according to one of claims 1 to 5, characterized in that at least one pivot bearing (13) having two pivot axes (14, 15) is designed as a cardanic suspension.
  7. 7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß drei oder vier torsionssteife Positio nierelemente ( 4 ) bzw. Wegmeßelemente vorgesehen sind. 7. Device according to one of claims 1 to 6, characterized in that three or four torsion nierelemente (4) and are provided Wegmeßelemente positio.
  8. 8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Punkte, in denen die Positionierelemente ( 4 ) bzw. Wegmeßelemente an dem zweiten Maschinenteil gelagert sind, in einer senkrecht zu der Grundrichtung ( 23 , 28 ) verlau fenden Ebene liegen. 8. Device according to one of claims 1 to 7, characterized in that the points, in which the positioning elements (4) or Wegmeßelemente mounted on the second machine part, duri fenden in a direction perpendicular to the primary direction (23, 28) plane ,
  9. 9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Maschinenteil gegenüber einem Maschinenrahmen um eine senkrecht zu der Grundrichtung verlau fende Kippachse verkippbar ist. 9. Device according to one of claims 1 to 8, characterized in that the second machine part relative to a machine frame about an axis perpendicular to the primary direction duri Fende tilt axis is tilted.
  10. 10. Präzisionswerkzeugmaschine mit der Positioniervorrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche für die Positionierung einer drehantreibbaren Spindel ( 20 ) mit Werkzeughalter ( 22 ) oder eines Lasers ( 27 ) gegenüber einem Maschinenrahmen. 10. precision machine tool with the positioning device according to any one of the preceding claims for positioning a rotatably driven spindle (20) with the tool holder (22) or a laser (27) relative to a machine frame.
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