DE19847711A1 - Anordnung zur Messung von Strukturen eines Objektes - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zur Messung von Strukturen eines Objektes mittels eines einem Koordinatenmessgerät (22) zugeordneten ein Tastelement (12) und eine Tastverlängerung (14) in Form eines Lichtleiters umfassenden Tasters (10), der von einer Wechselhalterung (16) ausgeht. Um beliebige Strukturen mit einer hohen Messgenauigkeit bestimmen zu können, wobei eine problemlose Justierung sowie ein schnelles Austauschen des Tasters möglich sein soll, wird vorgeschlagen, dass das Koordinatenmessgerät einen Sensor zur optischen Bestimmung des Tastelementes und/oder zumindest einer diesem unmittelbar zugeordneten Zielmarke sowie eine Auswerteeinheit umfasst, mit der aus der Position des optischen Sensors zum Koordinatensystem des Koordinatenmessgerätes und der mittels des optischen Sensors unmittelbar gemessenen Position des Tastelementes bzw. der Zielmarke die Struktur berechnet wird, dass der Sensor mit zumindest dem Tastelement eine gemeinsam verstellbare Einheit bildet und dass der Taster über eine optomechanische Schnittstelle mit einer von der Wechselhalterung ausgehenden Justiereinrichtung verbunden ist, die rotatorisch und translatorisch verstellbar ist.
Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zur Messung von Strukturen eines Objektes
mittels eines einem Koordinatenmessgerät zugeordneten ein Tastelement und eine Tastver
längerung in Form eines Lichtleiters umfassenden Tasters, der von einer Wechselhalterung
ausgeht.
Zur Messung von Strukturen eines Objektes werden Koordinatenmessgeräte mit elektrome
chanisch arbeitenden Tastern verwendet, mit denen auf indirektem Wege die Strukturlage
bestimmt wird, d. h., die Position des Antastelementes (Kugel) wird über einen Taststift
übertragen. Die hierbei auftretenden Verformungen des Taststiftes in Verbindung mit den
wirkenden Reibkräften führen zur Verfälschung der Messergebnisse. Durch die starke
Kraftübertragung kommt es ferner zu Messkräften, die typischerweise größer als 10 mN sind.
Die geometrische Ausgestaltung solcher Tastsysteme beschränkt diese auf Kugeldurchmesser
größer als 0,3 mm. Die dreidimensionale Messung kleiner Strukturen im Bereich von
wenigen Zehntel Millimetern und das Antasten von leicht verformbaren Prüflingen ist somit
problematisch bzw. nicht möglich. Bedingt durch die nicht vollständig bekannten Fehlerein
flüsse durch Verformung durch Taststift und Tastelement sowie die aufgrund z. B. von Stick-
Slip-Effekten unbekannten Antastkräfte entstehen Messunsicherheiten, die typischerweise
größer als 1 µm sind.
Ein entsprechendes mechanisch abtastendes Koordinatenmessgerät ist zum Beispiel der
DE 43 27 250 A1 zu entnehmen. Dabei kann eine visuelle Kontrolle des mechanischen Antast
vorganges mit Hilfe eines Monitors erfolgen, indem der Tastkopf über eine Videokamera
beobachtet wird. Gegebenenfalls kann der von einem magnetischen Wechselhalter ausgehende
Tastkopf in Form eines sogenannten Schwingquarztasters ausgebildet sein, der bei Berührung
mit der Werkstückoberfläche gedämpft wird. Mittels der Videokamera ist es somit möglich,
die Position der Tastkugel relativ zum Werkstück bzw. der dort zu vermessenden Bohrung
auf dem Monitor zu verfolgen und den Antastvorgang beim Eintauchen in die Bohrung
manuell zu beobachten und zu steuern. Das eigentliche Messen erfolgt wiederum elek
tromechanisch, so dass die oben genannten Nachteile erhalten bleiben.
Eine optische Beobachtung eines Tastkopfes bei einem Koordinatenmessgerät ist auch der
DE 35 02 388 A1 zu entnehmen.
Um die genaue Position der Maschinenachsen eines Koordinatenmessgerätes zu bestimmen,
werden nach der DE 43 12 579 A1 zumindest sechs Sensoren an einer Pinole und/oder einem
Messkopf angebracht, um den Abstand zu einer Referenzfläche bestimmen zu können. Auf
das Antasten der Objektgeometrien wird hier nicht weiter eingegangen, sondern ein berüh
rungsloses Verfahren als Ersatz für klassische inkrementelle Wegmesssysteme beschrieben.
In der US 4,972,597 wird ein Koordinatenmessgerät mit einem Taster beschrieben, dessen
Tasterverlängerung mittels einer Feder in ihrer Position vorgespannt ist. Ein in einem
Gehäuse verlaufender Abschnitt der Tasterverlängerung weist zwei zueinander beabstandete
Licht emittierende Elemente auf, um mittels eines Sensorelementes die Position der
Tasterverlängerung und damit indirekt die eines am äußeren Ende der Tasterverlängerung
angeordneten Tastelementes zu bestimmen.
Die optische Sensorik ersetzt hier ebenfalls die klassischen Wegmesssysteme von elek
tromechanischen Tastsystemen. Der eigentliche Antastvorgang erfolgt wiederum via Kraft
übertragung von Tastelement zum Taststift über Federelemente zum Sensor. Die oben
genannten Probleme mit Durchbiegung und Antastkraft bleiben wiederum erhalten. Es handelt
sich um ein indirektes Verfahren.
Um große Körper wie Flugzeugteile zu vermessen, sind Taststifte mit Lichtquellen bzw.
reflektierenden Zielmarken bekannt, deren Positionen optisch erfasst werden (DE 36 29 689 A1,
DE 26 05 772 A1, DE 40 02 043 C2). Die Taster selbst werden von Hand oder mittels
eines Roboters entlang der Oberfläche des zu messenden Körpers bewegt.
Bei diesem Verfahren wird die Position des Tastelementes stereoskopisch durch Triangulation
oder ähnliches in seiner Lage stimmt. Die Auflösung des Gesamtmesssystems ist somit direkt
durch die Sensorauflösung begrenzt. Der Einsatz solcher Systeme kann somit nur bei relativ
geringen Anforderungen an das Verhältnis zwischen Messbereich und Genauigkeit in Frage
kommen. Praktisch ist er auf das Messen großer Teile beschränkt.
Auch ist es bekannt, mittels eines Mikroskops die Position des Tastelementes anzuvisieren.
Hierbei wird im Durchlichtverfahren gearbeitet, so dass allein Strukturen, wie durchgehende
Bohrungen oder ähnliches bezüglich der Durchmessermaße gemessen werden können.
Aufgrund der visuellen Auswertung im Mikroskop und der getrennten Anordnung von
Tastelement und Beobachtungsoptik ist das Messen komplexerer Strukturen (Abstände von
komplexen Geometrien, Winkel etc.) sowie ein automatisches Messen nicht möglich. Die
Störanfälligkeit ist hierdurch bedingt ebenfalls sehr hoch und führt dazu, dass derartige
Systeme nicht angeboten werden.
Der vorliegenden Erfindung liegt das Problem zu Grunde, eine Vorrichtung der zuvor
genannten Art so weiterzubilden, dass beliebige Strukturen mit einer hohen Messgenauigkeit
bestimmt werden können, wobei eine problemlose Justierung sowie ein schnelles Austauschen
des Tasters möglich sein soll.
Erfindungsgemäß wird das Problem im wesentlichen dadurch gelöst, dass das Koordinaten
messgerät einen Sensor zur optischen Bestimmung des Tastelementes und/oder zumindest
einer diesem unmittelbar zugeordneten Zielmarke sowie eine Auswerteeinheit umfasst, mit
der aus der Position des optischen Sensors zum Koordinatensystem des
Koordinatenmessgerätes und der mittels des optischen Sensors unmittelbar gemessenen
Position des Tastelements bzw. der Zielmarke die Struktur berechnet wird, dass der Sensor
mit zumindest dem Tastelement eine gemeinsam verstellbare Einheit bildet und dass der
Taster über eine optomechanische Schnittstelle mit einer von der Wechselhalterung
ausgehenden Justiereinrichtung verbunden ist, die rotatorisch und translatorisch verstellbar
ist.
Durch die erfindungsgemäße Lehre wird die durch die Berührung des Objekts bedingte
Position des Tastelelementes optisch bestimmt, um unmittelbar aus der Position des Tast
elementes selbst bzw. einer Zielmarke den Verlauf einer Struktur zu messen. Dabei kann die
Auslenkung des Tastelementes durch Verschiebung des Bildes auf einem Sensorfeld eines
elektronischen Bildverarbeitungssystems mit elektronischer Kamera erfasst werden. Auch
besteht die Möglichkeit, die Auslenkung des Tastelementes durch Auswerten einer Kon
trastfunktion des Bildes mittels eines elektronischen Bildverarbeitungssystems zu bestimmen.
Eine weitere Möglichkeit zur Bestimmung der Auslenkung besteht darin, dies aus einer
Größenänderung des Bildes einer Zielmarke zu bestimmen, aus dem der strahlenoptische
Zusammenhang zwischen Objekt-Abstand und Vergrößerung resultiert. Nach einer weiteren
Möglichkeit kann die Auslenkung des Tastelementes durch scheinbare Größenänderung einer
Zielmarke ermittelt werden, die aus dem Kontrastverlust durch Defokussierung resultiert.
Dabei wird grundsätzlich die Auslenkung senkrecht zur optischen Achse der elektronischen
Kamera bestimmt.
Um das Tastelement bzw. der diesem zugeordneten Zielmarke problemlos zu positionieren
bzw. einen Austausch von Tastern vornehmen zu können, ohne dass ein unerwünschter
Zeitverlust erfolgt, ist vorgesehen, dass der Taster über eine optomechanische Schnittstelle
mit einer Justiereinrichtung der Wechselhalterung verbunden ist, wobei die Justiereinrichtung
selbst zumindest um drei Translations- und zwei Rotationsachsen drehbar ist. Auf diese
Weise ist ein schnelles Justieren des Tasters möglich, so dass nur kurze Kalibrierzeiten
erforderlich sind. Durch die optomechanische Schnittstelle bzw. die des Wechselhalters ist ein
Austausch des Tasters in kurzer Zeit möglich.
Die optomechanische Schnittstelle kann nach einer Weiterbildung der Erfindung eine einen
Zylinder aufnehmende Hülse umfassen, wobei der Taster bzw. dessen Tasterverlängerung von
dem Zylinder aufgenommen ist. Dabei verläuft der Taster bzw. die Tasterverlängerung zu
mindest fluchtend zur zur optischen Achse fernliegenden Stirnfläche des Zylinders bzw.
durchsetzt diese.
Der Stirnfläche zugeordnet ist eine Lichtquelle wie LED, die über die Wechselhalterung
durchsetzende elektrische Einschlüsse mit elektrischer Energie versorgt wird.
Die Wechselhalterung selbst kann magnetisch und/oder mechanisch mit einer Halterung
verbunden sein, die ihrerseits mit dem Sensor eine Einheit bildet und so gemeinsam ver
schwenkt wird, um erfindungsgemäß eine unmittelbare Position zur Messung des Tast
elementes oder der dieser zugeordneten Zielmarke vornehmen zu können, um die Struktur
eines Objektes zu bestimmen.
Weitere Einzelheiten, Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich nicht nur aus den
Ansprüchen, den diesen zu entnehmenden Merkmalen - für sich und/oder in Kombination -,
sondern auch aus der nachfolgenden Beschreibung eines der Zeichnung zu entnehmenden
bevorzugten Ausführungsbeispiels.
Es zeigen:
Fig. 1 eine Prinzipdarstellung einer Anordnung zur Messung von Strukturen eines
Objektes und
Fig. 2 die Anordnung gemäß Fig. 1, teilweise im Schnittpunkt.
In den Figuren ist rein prinzipiell eine Ausführungsform einer Anordnung zur Mesung von
Strukturen eines Objektes mittels eines einem Koordinatenmessgerät zugeordneten Tasters 10
dargestellt. Der Taster 10 umfasst ein Tastelement 12 oder eine diesem zugeordneten
Zielmarke, die von einer das Tastelement 12 endseitig aufnehmenden Tasterverlängerung 14
ausgeht, die ihrerseits als Lichtleiter ausgebildet ist. Somit handelt es sich bei dem Taster 10
um einen faseroptischen Taster.
Der Taster 10 geht von einer Wechselhalterung 16 aus, die ihrerseits magnetisch mit einer
Halterung 20 verbunden ist, die zusammen mit dem Koordinatenmessgerät 22 und mit dem
in diesem vorhandenen optischen Sensor als Einheit verstellbar ist.
Die Wechselhalterung 16 selbst umfasst eine Justiereinrichtung 24, von der aus über eine
optomechanische Schnittstelle 26 der Taster 10 ausgeht. Die optomechanische Schnittstelle
26 umfasst einen Zylinder 28, der von der Tasterverlängerung 14 bis zu dessen zur optischen
Achse 30 fernliegenden Stirnfläche 32 durchsetzt wird. Der Zylinder 28 wird seinerseits von
einer Hülse 34 aufgenommen und in dieser fixiert. Gegenüberliegend zur Stirnfläche 32 ist
eine Lichtquelle in Form einer LED 36 angeordnet, um die Tasterverlängerung 14 in Form
eines Lichtleiters mit Licht zu beaufschlagen, welches zum Tastelement 12 gelangt, um
sodann das Tastelement 12 durch die vorhandene Optik des Koordinatenmessgerätes 22 oder
einem entsprechenden Sensor zu beobachten.
Die Justiereinrichtung 24 ist erfindungsgemäß um drei Translationsachsen xyz und zwei
Rotationsachsen, im Ausführungsbeispiel um die Achsen x und y, drehbar. Hierdurch ergibt
sich die Möglichkeit, den Taster 10 überaus präzise justieren zu können. Durch die optome
chanische Schnittstelle 24 ergibt sich zudem der Vorteil, dass problemlos ein Taster ausge
tauscht bzw. erneuert werden kann.
Die Wechselschnittstelle 38 zwischen Wechselhalter 16 und Halterung 20 wird von den
erforderlichen Versorgungsleitungen durchsetzt, um z. B. die Lichtquelle 36 mit Strom zu
versorgen.
Claims (8)
1. Anordnung zur Messung von Strukturen eines Objektes mittels eines einem Koor
dinatenmessgerät (22) zugeordneten ein Tastelement (12) und eine Tastverlängerung
(14) in Form eines Lichtleiters umfassenden Tasters (10), der von einer Wechselhal
terung (16) ausgeht,
dadurch gekennzeichnet,
dass das Koordinatenmessgerät (22) einen Sensor zur optischen Bestimmung des
Tastelementes (12) und/oder zumindest einer diesem unmittelbar zugeordneten
Zielmarke sowie eine Auswerteeinheit umfasst, mit der aus der Position des optischen
Sensors zum Koordinatensystem des Koordinatenmessgerätes und der mittels des
optischen Sensors unmittelbar gemessenen Position des Tastelementes bzw. die
Struktur berechnet wird, dass der Sensor mit dem Taster eine gemeinsam verstellbare
Einheit bildet und dass der Taster über eine optomechanische Schnittstelle (28, 34)
mit einer Justiereinrichtung (24) der Wechselhalterung (16) verbunden ist, die zu
oder mit der Wechselhalterung rotatorisch und translatorisch verstellbar ist.
2. Anordnung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Justiereinrichtung (24) um drei Translations- und zumindest zwei Rotations
achsen (x, y, z) verstellbar ist.
3. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
dass die optomechanische Schnittstelle einen Zylinder (28) mit diesen aufnehmender
Hülse (34) umfasst, wobei die Tasterverlängerung (14) von dem Zylinder aufgenom
men ist.
4. Anordnung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Tastverlängerung (14) fluchtend zur rückseitigen Stirnfläche (32) des Zylin
ders (28) endet oder diese durchsetzt.
5. Anordnung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
dass der Stirnfläche (32) des Zylinders (28) gegenüberliegend eine Lichtquelle (36)
wie LED zugeordnet ist.
6. Anordnung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
dass der Zylinder (28) in der Hülse (34) verrastbar ist.
7. Anordnung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Wechselhalterung (16) magnetisch und/oder mechanisch mit einer Halterung
(20) verbunden ist, die mit dem Sensor eine Einheit bildet.
8. Anordnung nach zumindest einem der vorhergehenden Ansprüchen,
dadurch gekennzeichnet,
dass die Wechselhalterung (16) mechanisch formschlüssig und/oder mechanisch kraft
schlüssig mit der Halterung (20) verbunden ist.
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19826641B4 (de) * | 1998-06-17 | 2005-09-29 | Mycrona Gesellschaft für innovative Messtechnik mbH | Vorrichtungen und Verfahren im Zusammenhang mit Faser-Meßtastern |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3117795A1 (de) * | 1980-09-01 | 1982-04-15 | Jenoptik Jena Gmbh, Ddr 6900 Jena | "wechseleinrichtung fuer messeinsatztraeger bei tastkoepfen" |
DE4327250A1 (de) * | 1992-09-25 | 1994-03-31 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zur Koordinatenmessung an Werkstücken |
DE29710242U1 (de) * | 1997-06-12 | 1997-08-07 | Trapet, Eugen, Dr., 38176 Wendeburg | Taster zur Messung geometrischer Strukturen |
-
1998
- 1998-10-16 DE DE19847711A patent/DE19847711B4/de not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-05-29 DE DE59910073T patent/DE59910073D1/de not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3117795A1 (de) * | 1980-09-01 | 1982-04-15 | Jenoptik Jena Gmbh, Ddr 6900 Jena | "wechseleinrichtung fuer messeinsatztraeger bei tastkoepfen" |
DE4327250A1 (de) * | 1992-09-25 | 1994-03-31 | Zeiss Carl Fa | Verfahren zur Koordinatenmessung an Werkstücken |
DE29710242U1 (de) * | 1997-06-12 | 1997-08-07 | Trapet, Eugen, Dr., 38176 Wendeburg | Taster zur Messung geometrischer Strukturen |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19826641B4 (de) * | 1998-06-17 | 2005-09-29 | Mycrona Gesellschaft für innovative Messtechnik mbH | Vorrichtungen und Verfahren im Zusammenhang mit Faser-Meßtastern |
Also Published As
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DE19847711B4 (de) | 2004-08-19 |
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