DE19833915A1 - Printing method for printing thin layer structures like color filter masking matrices for liquid crystal displays uses a glass or plastics substrate. - Google Patents

Printing method for printing thin layer structures like color filter masking matrices for liquid crystal displays uses a glass or plastics substrate.

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Abstract

The material for creating the structure is fixed on a printing block (11) on which the structures to be applied are inverse and deep set. The substrate (13) to be printed on is given a soft, flexible coating (14) before printing starts. During printing the printing block is brought into contact with the substrate after putting it in an appropriate position.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Drucken von Dünnschichtstrukturen auf ein im wesentlichen starres Substrat nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens.The invention relates to a method for printing Thin film structures to a substantially rigid Substrate according to the preamble of claim 1 and a Device for performing this method.

Stand der TechnikState of the art

Druckverfahren zum Aufbringen von dünnen Schichten werden beispielsweise bei "passiven" Flüssigkristallanzeigen mit großen Bildpunktstrukturen zur Erzeugung von Farbfiltern eingesetzt.Printing processes for applying thin layers for example with "passive" liquid crystal displays large pixel structures for the generation of color filters used.

Eine Flüssigkristallanzeige besteht im wesentlichen aus zwei planparallelen Substraten (Glassubstrate) mit einem dazwischen angeordneten, als Lichtventil dienendem Flüssigkristallmaterial. Im Gegensatz zu passiven Flüssigkristallanzeigen trägt bei einer aktiven Flüssigkristallanzeige im allgemeinen das in Betrachtungsrichtung hintere Substrat aktive Bauelemente wie z. B. Dünnschichttransistoren. Auf dem vorderen Substrat sind bei farbfähigen Anzeigen Farbfilter aufgebracht, die bei Matrixanzeigen regelmäßig in die Fenster einer Blackmatrix eingebracht sind. Der Hauptzweck der Blackmatrix besteht darin, eine optisch aktive Fläche eindeutig zu definieren.A liquid crystal display essentially consists of two plane-parallel substrates (glass substrates) with a arranged in between, serving as a light valve Liquid crystal material. In contrast to passive Liquid crystal displays contribute to an active Liquid crystal display in general that in Viewing direction rear substrate active components such as e.g. B. thin film transistors. Are on the front substrate for color-capable advertisements, color filters applied, which at  Matrix displays regularly in the windows of a black matrix are introduced. The main purpose of the black matrix is in clearly defining an optically active surface.

Nach heutigem Fertigungsstand werden bei Aktiv-Matrix- adressierten Flüssigkristallbildschirmen mosaikartige Farbfilter in einer Abfolge mehrerer fotolitographischer Prozesse aufgebracht. Hierbei wird zunächst die Blackmatrix erzeugt, in deren Fenster dann in drei aufeinanderfolgenden Prozesschritten die Farbfilter in ihren Primärfarben einge­ bracht werden. Das Farbfiltermaterial besteht häufig aus pigmentierten Farblacken. Bislang lassen sich nur bei den meist aus verhältnismäßig gröberen Strukturen bestehenden passiv-Matrix-Anzeigen die notwendigen Farbfilterstrukturen in einem kostengünstigen Druckverfahren erzeugen. Dabei findet üblicherweise eine Off-Set-Drucktechnik Verwendung. Diese Art der Drucktechnik kann bei den im allgemeinen kleinen Bildpunktgrößen einer Aktiv-Matrix nicht mehr angewandt werden. Denn die Genauigkeit dieser Drucktechnik ist im Hinblick auf Kantenrauigkeit und kleinstmöglich realisierbare Strukturen limitiert. Grundsätzlich lassen sich bessere Auflösungen durch den Einsatz eines Tiefdruckverfahrens erzielen. Aufstarren zu bedruckenden Oberflächen ist im allgemeinen ein Tampon-Tiefdruckverfahren zu verwenden, bei dem der elastische Tampon allerdings zu Verzerrungen der Abbildung führen kann.According to the current state of production, active matrix addressed liquid crystal screens mosaic-like Color filters in a sequence of several photolithographic Processes applied. Here, the black matrix is first generated in their window then in three consecutive Process steps the color filters in their primary colors be brought. The color filter material often consists of pigmented color paints. So far, only the mostly consisting of relatively coarser structures passive matrix displays the necessary color filter structures produce in an inexpensive printing process. Here Usually an off-set printing technique is used. This type of printing technique can be used in general small pixel sizes of an active matrix no longer be applied. Because the accuracy of this printing technique is minimal in terms of edge roughness realizable structures limited. Basically, better resolutions by using a Achieve gravure printing. Staring to be printed Surfaces is generally a tampon gravure process to be used, but with the elastic tampon too Distortion of the figure can result.

Aufgabe und Vorteile der ErfindungObject and advantages of the invention

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Drucken von Dünnschichtstrukturen sowie eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens bereit zu stellen, mit welchem sich Dünnschichtstrukturen mit einer ausreichenden Genauigkeit vergleichsweise kostengünstig aufbringen lassen. The invention has for its object a method for Printing thin-film structures and a device for To provide implementation of the procedure with which thin-film structures with sufficient Have accuracy applied comparatively cheaply.  

Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruchs 1 sowie durch den nebengeordneten Anspruch 5 gelöst. In den Unteransprüchen sind vorteilhafte und zweckmäßige Weiterbildungen der Erfindung angegeben.This object is achieved by the features of claim 1 as well solved by the independent claim 5. In the Subclaims are advantageous and expedient Developments of the invention specified.

Die Erfindung geht von einem Verfahren zum Drucken von Dünnschichtstrukturen wie Farbfilter, Abdeckmatrizen für eine Flüssigkristallanzeige oder dergleichen auf ein im wesentlichen starres Substrat, z. B. ein Glassubstrat, Kunststoffsubstrat oder dergleichen, aus. Der Kerngedanke des erfindungsgemäßen Verfahrens liegt nun darin, daß das Verfahren folgende Verfahrensschritte aufweist:
The invention relates to a method for printing thin-film structures such as color filters, masking matrices for a liquid crystal display or the like on a substantially rigid substrate, for. B. a glass substrate, plastic substrate or the like. The main idea of the method according to the invention is that the method has the following method steps:

  • a. Das Material zur Erzeugung der Struktur wird auf ein Druckklischee, z. B. eine geätzte und/oder gravierte Metallplatte, abgerakelt, auf welchem die aufzubringenden Strukturen invers und tiefgelegt vorhanden sind.a. The material used to create the structure is on a Printing cliché, e.g. B. an etched and / or engraved Metal plate, doctored, on which the to be applied Structures are present inverse and deep.
  • b. Das zu bedruckende Substrat wird vor dem Druckvorgang mit einer flexiblen weichen Beschichtung versehen. Als Beschichtung kann vorzugsweise eine weiche Polymidschicht eingesetzt werden.b. The substrate to be printed is printed before printing provided with a flexible soft coating. As Coating can preferably be a soft polyimide layer be used.
  • c. Beim Druckvorgang wird das Klischee nach entsprechender Positionierung von Klischee zu Substrat mit dem Substrat in Kontakt gebracht, so daß das in den tieferliegenden Strukturen eingelagerte Material auf die zu bedruckende Substratoberfläche fließt, um die gewünschte Struktur auszubilden.c. When printing, the cliché changes accordingly Positioning cliché to substrate with the substrate in Brought in contact, so that in the lower Structures stored material on the to be printed Substrate surface flows to the desired structure to train.

Durch diese Drucktechnik lassen sich Strukturen mit hoher Präzision erzeugen. Denn anders wie bei einem Tampondruckverfahren, kommt es beim Druckübertrag zu keiner Kissenverzerrung, da ein direkter Übertrag auf das Substrat ohne einen flexiblen Tampon stattfindet. Vielmehr wird in erfindungsgemäßer Weise der sonst verwendete Tampon durch die auf dem Substrat verbleibende flexible weiche Beschichtung ersetzt. Diese Beschichtung weist jedoch beim Druckvorgang eine wesentlich geringere Deformation auf als ein sonst üblicher Tampon, womit die unerwünschten Abbildungsverzerrungen nicht auftreten.This printing technique allows structures with high Generate precision. Because different from one Pad printing process, there is no pressure transfer Pillow distortion due to a direct transfer to the substrate without a flexible tampon. Rather, in inventive tampon otherwise used by the  flexible soft coating remaining on the substrate replaced. However, this coating shows during the printing process a much smaller deformation than any other usual tampon, with which the unwanted Image distortions do not occur.

Zur Herstellung von Mosaikfarbfiltern für z. B. eine Aktiv-Ma­ trix-adressierte Flüssigkristallanzeige läßt sich dieser Druckvorgang in einfacher Weise für die Primärfarben Rot, Grün und Blau, sofern mit einem additivem Filter gearbeitet wird, wiederholen. Zwischen jeder Druckphase ist lediglich ein kurzer Trocknungsschritt des gerade aufgetragenen Farblacks erforderlich.For the production of mosaic color filters for e.g. B. an active Ma Trix-addressed liquid crystal display can be this Printing process in a simple manner for the primary colors red, Green and blue, if working with an additive filter will repeat. Between each print phase is only a short drying step of the just applied Color lacquer required.

Nach Abschluß des Druckvorgangs ist es dabei günstig, die aufgebrachten Farblacke sowie die vor dem Drucken aufgebrachte Beschichtung, die während des Druckvorgangs weich und flexibel sein soll, auszuhärten, um die Beständigkeit des erzeugten Schichtsystems zu verbessern.After completion of the printing process, it is convenient to applied color varnishes as well as those before printing applied coating during the printing process should be soft and flexible to cure the To improve the durability of the layer system produced.

Der Aushärtschritt kann z. B. thermisch oder durch eine UV-Bestrahlung erfolgen.The curing step can e.g. B. thermally or by a UV radiation take place.

Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren typisch herstellbare Schichtdicken liegen zwischen 2 und 10 µm.Typically producible with the method according to the invention Layer thicknesses are between 2 and 10 µm.

Um den Druckvorgang einfach zu gestalten, ist es besonders vorteilhaft, wenn das zu bedruckende Substrat "Face-Down", d. h. mit der zu bedruckenden Seite nach unten, über dem Klischee positioniert wird.To make the printing process easy, it is special advantageous if the substrate to be printed is "face-down", d. H. with the side to be printed facing down, over the Cliché is positioned.

Für eine möglichst exakte Positionierung von Substrat zu Klischee wird darüber hinaus vorgeschlagen, daß ein Durchbiegen des Substrats durch Anlegen eines Unterdrucks auf der Rückseite des Substrats verhindert wird. For the most exact positioning of the substrate Cliché is also suggested that a Bend the substrate by applying a vacuum the back of the substrate is prevented.  

Zur Erreichung eines homogenen Druckbilds wird darüber hinaus vorgeschlagen, daß beim Druckvorgang während des in Kontakt­ bringens von Klischee und Substrat der Druck auf der Rückseite des Substrats erhöht wird.In addition, to achieve a homogeneous print image suggested that during the printing process in contact bringing the cliché and substrate the pressure on the Back of the substrate is increased.

Eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens umfaßt Mittel zur Fixierung eines zu beschichtenden Substrats sowie Mittel zur Positionierung eines mit Druckmaterial versehenen Druckklischees zu dem zu beschichtenden Substrats und zum in Kontakt bringen von Substrat und Klischee.An apparatus for performing the method comprises Means for fixing a substrate to be coated and Means for positioning a printed material Printing clichés about the substrate to be coated and the Bringing substrate and cliché into contact.

Für eine einfache Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung wird vorgeschlagen, daß die Mittel zur Fixierung für eine Fixierung des Substrats mit der Schichtseite nach unten ausgelegt sind.For a simple embodiment of the invention Device is proposed that the means for fixation for fixing the substrate with the layer side after are laid out below.

Zur Erzielung einer effektiven Halterung des Substrats wird weiterhin vorgeschlagen, daß die Mittel zur Fixierung einen umlaufenden Vakuumkanal umfassen, der das Substrat im Randbereich hält.To achieve an effective mounting of the substrate further suggested that the fixation means a encircling vacuum channel comprising the substrate in the Edge area holds.

In Abhängigkeit davon, ob das Substrat "Face-Down" oder "Face-Up" in der Vorrichtung fixiert und positioniert wird, ist es besonders vorteilhaft, wenn die Mittel zur Positionierung und zum in Kontakt bringen von Substrat und Klischee zum Anlegen eines Unter- oder Überdrucks auf der Rückseite des Substrats ausgelegt sind. Damit läßt sich eine Durchbiegung des Substrats vermeiden, die die genaue Justierung von Substrat zu Klischee beeinträchtigen könnte.Depending on whether the substrate is "face-down" or "Face-Up" is fixed and positioned in the device, it is particularly advantageous if the means for Positioning and contacting substrate and Cliché to create a negative or positive pressure on the Back of the substrate are designed. So that one Avoid deflection of the substrate, which is the exact one Adjustment of substrate to cliché could impair.

Schließlich sind die Mittel zur Positionierung und zum in Kontakt bringen von Substrat und Klischee zur Erhöhung des Drucks auf der Rückseite des Substrats beim Druckvorgang ausgelegt. After all, the means for positioning and in Bringing substrate and cliché together to increase the Printing on the back of the substrate during the printing process designed.  

Zeichnungendrawings

Ein nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestelltes Ausführungsbeispiel ist in den Zeichnungen dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung unter Angabe weiterer Vorteile und Einzelheiten der Erfindung näher erläutert.A manufactured according to the inventive method Embodiment is shown in the drawings and in the following description with further advantages and details of the invention explained.

Es zeigen:Show it:

Fig. 1a-1d verschiedene Prozeßstadien bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Herstellungsverfahrens anhand eines schematisch dargestellten Klischees mit dazugehörigem "Face-Down" gehaltenen Substrat im Querschnitt und Fig. 1a-1d different process stages in the implementation of the manufacturing method according to the invention using a schematically illustrated cliché with the associated "face-down" substrate in cross section and

Fig. 2a-2i einen Ausschnitt eines Substrats im Querschnitt, in verschiedenen Prozeßstadien bei der Aufbringung von Farbfiltern und einem herkömmlichen fotolitographischen Prozeß. Fig. 2a-2i a section of a substrate in cross section, in different process stages in the application of color filters and a conventional photolithographic process.

Beschreibung der AusführungsbeispieleDescription of the embodiments

Die Fig. 2a-2i zeigen ein Substrat 1 für eine Matrix adressierte Flüssigkristallanzeige, das durch einen herkömmlichen fotolitographischen Prozeß mit einem Mosaikfarbfilter versehen wird. Das Verfahren gliedert sich in folgende Schritte:
 FIGS. 2a-2i show a substrate 1 for a matrix-addressed liquid crystal display that is provided by a conventional photolithographic process with a mosaic color filter. The process is divided into the following steps:

  • a. auf das Substrat wird eine erste fotosensitive Farbschicht 2 (z. B. Rot) aufgeschleudert (Fig. 2a). a. A first photosensitive color layer 2 (e.g. red) is spun onto the substrate ( FIG. 2a).
  • b. Daraufhin wird die fotosensitive Farbschicht 2 mit der entsprechenden Maske 3 belichtet (Fig. 2b).b. The photosensitive ink layer 2 is then exposed with the corresponding mask 3 ( FIG. 2b).
  • c. In einem Entwicklungsprozeß bleiben die belichteten Strukturen 4 stehen (Fig. 2c), wohingegen die unbelichteten entfernt werden. Die verbleibenden Strukturen 4 werden dann getrocknet.c. In a development process, the exposed structures 4 remain ( FIG. 2c), whereas the unexposed ones are removed. The remaining structures 4 are then dried.
  • d. Daraufhin wird eine zweite fotosensitive Farbschicht 5 (z. B. Grün) aufgeschleudert (Fig. 2d), mit einer passenden Maske 6 belichtet (Fig. 2e) und nach einem Entwicklungsschritt (Fig. 2f), bei welchem wiederum die belichteten Strukturen 7 verbleiben, getrocknet.d. Then a second photosensitive color layer 5 (e.g. green) is spun on ( FIG. 2d), exposed with a suitable mask 6 ( FIG. 2e) and after a development step ( FIG. 2f), in which the exposed structures 7 remain , dried.
  • e. Eine dritte Farbschicht (z. B. Blau) wird gemäß den Fig. 2g-2i entsprechend aufgebracht, strukturiert und getrocknet, um schließlich den in Fig. 2i im Querschnitt dargestellten Mosaikfilter zu vervollständigen.e. A third layer of color (e.g. blue) is applied, structured and dried according to FIGS. 2g-2i in order to finally complete the mosaic filter shown in cross-section in FIG. 2i.

Um die Nachteile dieses sehr aufwendigen Prozesses zu vermeiden, können die Farbfilter durch das erfindungsgemäße Verfahren entsprechend den Fig. 1a-1d erzeugt werden.To avoid the disadvantages of this very complex process, the color filters can be produced by the method according to the invention in accordance with FIGS. 1a-1d.

Zunächst wird in das schematisch dargestellte mit Öffnungen 10 entsprechen der Farbfilterstruktur für z. B. die Farbe Rot versehene Klischee 11 das rote Farbmaterial 12 mit einem Rakel 13, dessen Rakelrichtung durch einen Pfeil in Fig. 1a angedeutet ist, eingebracht.First, in the illustrated schematically by openings 10 corresponding to the color filter structure for z. B. the color red cliché 11, the red color material 12 with a doctor 13 , the doctor direction of which is indicated by an arrow in Fig. 1a, introduced.

Über dem so befüllten Klischee 11 wird ein Substrat 13 justiert, auf dessen zu beschichtender Unterseite ein weicher flexibler Film 14, z. B. eine Polimidschicht, aufgebracht ist. Das Substrat 13 wird in der "Face-Down-Position" durch geeignete Vakuummittel 15 gehalten. Die Vakuummittel 15 umfassen z. B. eine umlaufende Vakuumnut 16, um das Substrat am Rand zu halten. Darüber hinaus sind die Vakuummittel 15 so ausgestaltet, daß sich bei angesaugtem Substrat 13 eine Kammer 17 ausbildet, deren Druck separat eingestellt werden kann (vergleiche Fig. 1b).A substrate 13 is adjusted over the cliché 11 thus filled, on the underside of which is to be coated a soft, flexible film 14 , e.g. B. a polimide layer is applied. The substrate 13 is held in the "face-down position" by suitable vacuum means 15 . The vacuum means 15 include e.g. B. a circumferential vacuum groove 16 to keep the substrate on the edge. In addition, the vacuum means 15 are designed such that when the substrate 13 is sucked in, a chamber 17 is formed, the pressure of which can be adjusted separately (see FIG. 1b).

Nachdem das Substrat 13 in Bezug auf das Klischee 11 justiert wurde, wird das Klischee mit dem Substrat in Kontakt gebracht (Fig. 1c). Damit das Substrat sicher und gleichmäßig auf dem Klischee 11 aufliegt, wird anstatt einem Unterdruck in der Kaininer 17' der vor dem in Kontakt bringen eine Wölbung des Substrats nach unten verhindern soll, die Kammer 17 nunmehr mit einem Überdruck beaufschlagt. Nachdem das Farbmaterial 12 aus den gefüllten Öffnungen bzw. Nestern 10 sich auf der weichen flexiblen Schicht 14 angelagert hat, kann das Substrat 13 vom Klischee 11 abgehoben werden (Fig. 1d).After the substrate 13 has been adjusted with respect to the plate 11 , the plate is brought into contact with the substrate ( FIG. 1c). So that the substrate rests securely and evenly on the cliché 11 , the chamber 17 is now subjected to an overpressure instead of a negative pressure in the caininer 17 'which is intended to prevent the substrate from curling downwards before being brought into contact. After the colored material 12 from the filled openings or nests 10 has deposited on the soft flexible layer 14 , the substrate 13 can be lifted off the cliché 11 ( FIG. 1d).

Für das Aufdrucken von weiteren Farben, z. B. Grün und Blau, wird dieser soeben beschriebene Druckvorgang in einfacher Weise wiederholt, nachdem die gedruckte Schicht bevorzugt einem Trocknungs- bzw. Aushärtschritt unterzogen wurde.For printing additional colors, e.g. B. green and blue, this printing process just described becomes easier Repeated way after the printed layer is preferred has undergone a drying or curing step.

Vorzugsweise wird jedoch ein fertig gestellter Schichtaufbau einschließlich der weichen flexiblen Schicht 14 nach Abschluß des Druckverfahrens nochmals ausgehärtet, um die Beständigkeit der Schichten zu verbessern. Preferably, however, a finished layer structure including the soft flexible layer 14 is cured again after the printing process has been completed in order to improve the durability of the layers.

BezugszeichenlisteReference list

11

Substrat
Substrate

22nd

farbsensitive Farbschicht
color sensitive color layer

33rd

Maske
mask

44th

belichtete Strukturen
exposed structures

55

fotosensitive Farbschicht
photosensitive color layer

66

Maske
mask

77

belichtete Strukturen
exposed structures

1010th

Öffnung
opening

1111

Klischee
cliche

1212th

Farbmaterial
Color material

1313

Substrat
Substrate

1414

weicher, flexibler Film
soft, flexible film

1515

Vakuummittel
Vacuum medium

1616

Vakuumnut
Vacuum groove

1717th

Kammer
chamber

Claims (9)

1. Verfahren zum Drucken von Dünnschichtstrukturen wie Farbfilter, Abdeckmatrixen für eine Flüssigkristallanzeige oder dergleichen auf ein im wesentlichen starres Substrat, z. B. Glassubstrat, Kunststoffsubstrat oder dergleichen, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte:
  • a. das Material zur Erzeugung der Struktur wird auf ein Druckklischee (11) abgerakelt, auf welchem die aufzubringenden Strukturen (12) invers und tiefgelegt vorhanden sind,
  • b. das zu bedruckende Substrat (11) wird vor dem Druckvorgang mit einer flexiblen weichen Beschichtung (14) versehen,
  • c. beim Druckvorgang wird das Klischee (11) nach einer entsprechenden Positionierung von Klischee (11) zu Substrat (13) mit dem Substrat (13) in Kontakt gebracht.
1. A method for printing thin-film structures such as color filters, masking matrix for a liquid crystal display or the like on a substantially rigid substrate, for. B. glass substrate, plastic substrate or the like, characterized by the following process steps:
  • a. the material for producing the structure is scraped onto a printing block ( 11 ) on which the structures ( 12 ) to be applied are present inversely and deeply,
  • b. the substrate ( 11 ) to be printed is provided with a flexible soft coating ( 14 ) before the printing process,
  • c. during the printing process the printing plate (11) is brought by a corresponding positioning plate (11) to substrate (13) with the substrate (13) in contact.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das zu bedruckende Substrat (13) "Face-Down" über dem Klischee (11) positioniert wird.2. The method according to claim 1, characterized in that the substrate to be printed ( 13 ) "face-down" is positioned over the cliché ( 11 ). 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß ein Durchbiegen des Substrats (13) durch Anlegen eines Unterdrucks auf der Rückseite des Substrats (13) verhindert wird.3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that bending of the substrate ( 13 ) by applying a negative pressure on the back of the substrate ( 13 ) is prevented. 4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß beim Druckvorgang zum in Kontakt bringen von Klischee (11) und Substrat (13) der Druck auf der Rückseite des Substrats (13) erhöht wird. 4. The method according to any one of the preceding claims, characterized in that the pressure on the back of the substrate ( 13 ) is increased during the printing process for bringing the cliché ( 11 ) and substrate ( 13 ) into contact. 5. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1-4, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel (16) zur Fixierung eines zu beschichtenden Substrats (13) vorgesehen sind, und das Mittel (15) zur Positionierung eines mit Druckmaterial (12) versehenen Druckklischees (11) zu dem zu bedruckendem Substrat (13) und zum in Kontakt bringen von Substrat (13) und Klischee (11) vorhanden sind.5. A device for performing the method according to any one of claims 1-4, characterized in that means ( 16 ) for fixing a substrate to be coated ( 13 ) are provided, and the means ( 15 ) for positioning a with printing material ( 12 ) Printing clichés ( 11 ) for the substrate ( 13 ) to be printed and for bringing the substrate ( 13 ) and cliché ( 11 ) into contact are present. 6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Fixierung (16) für eine Fixierung des Substrats (13) mit der Schichtseite nach unten ausgelegt sind.6. The device according to claim 5, characterized in that the means for fixing ( 16 ) for fixing the substrate ( 13 ) are designed with the layer side down. 7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6 dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Fixierung einen umlaufenden Vakuumkanal (16) umfassen, der das Substrat (13) im Randbereich hält.7. The device according to claim 5 or 6, characterized in that the means for fixing comprise a circumferential vacuum channel ( 16 ) which holds the substrate ( 13 ) in the edge region. 8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5-7, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel (15) zur Positionierung zum in Kontakt bringen von Substrat (13) und Klischee (11) für die Verhinderung einer Durchbiegung des Substrats (13) zum Anlegen eines Unterdrucks oder Überdrucks auf der Rückseite des Substrats (13) ausgelegt sind.8. Device according to one of claims 5-7, characterized in that the means ( 15 ) for positioning to bring the substrate ( 13 ) and cliché ( 11 ) for preventing deflection of the substrate ( 13 ) for applying a vacuum or overpressure on the back of the substrate ( 13 ). 9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5-9, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zur Positionierung zum in Kontakt bringen von Substrat (13) und Klischee (11) zur Erhöhung des Drucks auf der Rückseite des Substrats (13) beim Druckvorgang ausgelegt sind.9. Device according to one of claims 5-9, characterized in that the means for positioning for bringing the substrate ( 13 ) and cliché ( 11 ) are designed to increase the pressure on the back of the substrate ( 13 ) during the printing process.
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