DE19828231A1 - Process for the deposition of optical layers - Google Patents

Process for the deposition of optical layers

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Description

Die Erfindung betrifft die Abscheidung optischer Schichten von Metall­ oxiden auf Gläser, Keramiken oder Metalle.The invention relates to the deposition of optical layers from metal oxides on glasses, ceramics or metals.

Für die Herstellung optischer Schichten aus flüssigen Vorstufen ist es aus Umweltgründen sowie aus sicherheitstechnischen Aspekten erstrebens­ wert, Systeme einzusetzen, die entflammbare und/oder giftige Lösemittel vermeiden. Bisher eingesetzte Verfahren gehen von metallorganischen Verbindungen aus, die auf dem zu beschichtenden Substrat hydrolysiert und durch Temperaturerhöhung in einen harten und abriebfesten Film eines Metalloxids polykondensiert werden. Bisher eingesetzte Verfahren gehen von Alkoxiden oder Acetylacetonaten aus, die mit Wasser hydroly­ siert werden. Die so entstehenden Beschichtungslösungen enthalten daher Alkohole oder andere organische Lösemittel. Häufig werden zur Verbesserung der Verlaufseigenschaften und der Viskosität zusätzlich organische Lösemittel zugesetzt.It is over for the production of optical layers from liquid precursors Strive for environmental reasons as well as safety-related aspects worth using systems that contain flammable and / or toxic solvents avoid. Previously used processes are based on organometallic Compounds that hydrolyzed on the substrate to be coated and by increasing the temperature in a hard and abrasion-resistant film of a metal oxide are polycondensed. Processes used so far start from alkoxides or acetylacetonates that hydrolyzed with water be settled. The resulting coating solutions contain hence alcohols or other organic solvents. Often become Improvement of flow properties and viscosity additionally added organic solvents.

EP 0 514 973 beschreibt ein Sol-Gelverfahren zur Abscheidung von Anti­ reflexschichten auf Glas, die eine hohe Kratzfestigkeit und eine geringe Empfindlichkeit gegenüber Feuchtigkeit besitzen. Alkoholische Lösungen von Alkoxiden der Elemente Silicium, Aluminium oder Titan werden zu­ sammen mit Wasser unter Zusatz geringer Mengen Salzsäure auf das Substrat gebracht und für 20 min mit einer Wasserdampfatmosphäre in Kontakt gebracht. Während dieser Zeit wird das Substrat von 23°C auf 55°C erwärmt und die erhaltene Schicht für 30 min bei 150°C getrocknet. Die zugesetzte Säure katalysiert die Hydrolyse des Alkoxides und die Er­ wärmung während der Gelbildung führt zu einer besseren Vernetzung des Gels.EP 0 514 973 describes a sol-gel process for the deposition of anti reflective layers on glass that have high scratch resistance and low Have sensitivity to moisture. Alcoholic solutions of alkoxides of the elements silicon, aluminum or titanium become together with water with the addition of small amounts of hydrochloric acid Brought substrate and in for 20 min with a water vapor atmosphere Brought in contact. During this time the substrate will be up from 23 ° C Heated 55 ° C and the resulting layer dried at 150 ° C for 30 min. The added acid catalyzes the hydrolysis of the alkoxide and the Er heating during gel formation leads to better crosslinking of the Gels.

EP 0 597 490 beschreibt ein Verfahren zu Bildung eines Siliciumdioxid­ films auf einem Glassubstrat als Antireflexschicht, indem zwei metallorga­ nische Siliciumverbindungen mit unterschiedlichem Molekulargewicht aus der Gruppe Siliciumalkylate und Siliciumacetylacetonate, die in Isopropyl­ alkohol oder 1-Butanol gelöst sind, auf das Glassubstrat aufgebracht und bei einer relativen Luftfeuchtigkeit von 40 bis 90% hydrolysiert werden. EP 0 597 490 describes a method for forming a silicon dioxide films on a glass substrate as an anti-reflective layer by adding two metal org African silicon compounds with different molecular weights the group of silicon alkylates and silicon acetylacetonates, which is in isopropyl alcohol or 1-butanol are dissolved, applied to the glass substrate and be hydrolyzed at a relative humidity of 40 to 90%.  

Durch Erwärmen auf eine Temperatur von 100°C wird der erhaltene Sol­ film in einen Gelfilm umgewandelt und anschließend das beschichtete Substrat auf 550°C erhitzt.By heating to a temperature of 100 ° C, the sol obtained film converted into a gel film and then the coated Heated substrate to 550 ° C.

Diese Verfahren haben den Nachteil, daß wegen der Verwendung von Lösungsmitteln und metallorganischen Verbindungen bezüglich Umwelt­ schutz und Explosionsschutz besondere Vorkehrungen getroffen werden müssen, die die Verfahren komplizieren und verteuern.These methods have the disadvantage that because of the use of Environmental solvents and organometallic compounds protection and explosion protection that complicate and make the procedures more expensive.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zu Abscheidung von Metall­ oxidschichten mit optischer Qualität auf Substraten bereitzustellen, das ohne Lösungsmittel und metallorganische Verbindungen ausgeführt werden kann.The object of the invention is a method for the deposition of metal To provide oxide layers with optical quality on substrates, the without solvents and organometallic compounds can be.

Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung gelöst durch ein Verfahren zur Abscheidung optischer Schichten von Metalloxiden auf Gläser, Keramiken oder Metalle, indem
This object is achieved according to the invention by a method for the deposition of optical layers of metal oxides on glasses, ceramics or metals by

  • - das zu beschichtende Substrat einer reinigenden Vorbehandlung unter­ zogen wird,- The substrate to be coated under a cleaning pretreatment is pulled
  • - das wäßrige Sol oder Solgemisch auf das zu beschichtende Substrat aufgebracht wird und- The aqueous sol or sol mixture on the substrate to be coated is applied and
  • - das beschichtete Substrat bei Temperaturen von 100 bis 550°C ge­ tempert wird.- The coated substrate at temperatures of 100 to 550 ° C ge is tempered.

Weiterhin wird diese Aufgabe gelöst durch optisch transparente, reflektivi­ tätsverändernde Schichten von Metalloxiden auf Gläsern, Keramiken oder Metallen mit einer stufenlos einstellbaren Brechzahl von 1,22 bis 2,20.Furthermore, this object is achieved by optically transparent, reflective layers of metal oxides on glasses, ceramics or Metals with a continuously adjustable refractive index from 1.22 to 2.20.

Als Ausgangsmaterial für die Beschichtung der genannten Substrate werden wäßrige Metalloxidsole eingesetzt, die nach dem in US 5 378 400 beschriebenen Elektrolyseverfahren aus wäßrigen Metallsalzlösungen bei 0° bis 15°C erhalten werden. Diese Sole enthalten 0,3 bis 15% Metall­ oxid. Sie sind hochtransparent und enthalten keine Stabilisatoren. Nach diesem Verfahren sind Sole aus Aluminiumoxid, Titandioxid, Zirkonoxid, Hafniumoxid, Nioboxid, Tantaloxid bzw. aus Oxiden von Actiniden oder Lanthaniden herstellbar. As a starting material for the coating of the substrates mentioned aqueous metal oxide sols are used, which according to the in US 5 378 400 described electrolysis process from aqueous metal salt solutions 0 ° to 15 ° C can be obtained. These brines contain 0.3 to 15% metal oxide. They are highly transparent and contain no stabilizers. After this process are brine from aluminum oxide, titanium dioxide, zirconium oxide, Hafnium oxide, niobium oxide, tantalum oxide or from oxides of actinides or Lanthanides can be produced.  

Trotz des unterschiedlichen pH-Wertes der Einzelsole lassen sie sich mit­ einander mischen und in der unten beschriebenen Weise auf die genann­ ten Substrate applizieren. Durch Mischen von Solen mit unterschiedlichen Brechzahlen lassen sich optische Schichten mit Brechzahlen zwischen 1,45 und 2,2 herstellen.Despite the different pH value of the individual brine, they can be used mix and mix in the manner described below Apply th substrates. By mixing brines with different ones Refractive indices can be optical layers with refractive indices between Make 1.45 and 2.2.

Weiterhin kommen als Ausgangsmaterial für die Beschichtung wäßrige Metalloxidsole in Frage, die durch Hydrolyse von metallorganischen Verbindungen, speziell Alkoxiden, durch Ionenaustausch aus Metallsalz­ lösungen, durch Mikroemulsion aus Alkoxiden oder Metallsalzlösungen oder durch Dialyse bzw. Elektrodialyse nach bekannten Verfahren hergestellt werden. Die Partikelgröße der Sole liegt im Bereich von 1 bis 25 nm.Furthermore come aqueous as a starting material for the coating Metal oxide sols in question by hydrolysis of organometallic Compounds, especially alkoxides, by ion exchange from metal salt solutions, by microemulsion from alkoxides or metal salt solutions or by dialysis or electrodialysis according to known methods getting produced. The particle size of the brine is in the range from 1 to 25 nm.

Ein Mikroemulsionsverfahren wird von D. Burgard, R. Nass und H. Schmidt in Proceedings of the 2nd European Conference on Sol-Gel Technology, North Holland Publisher, Amsterdam 1992, Seiten 243-255 beschrieben. M. Neidle und J. Barab beschreiben in J. Amer. Soc. 39 (1917) auf Seite 71ff die Herstellung von Solen durch Dialyse. Elektrodialyseverfahren werden durch Prajapalid M.N. und Talpade, C.R. in lndian Chem. Manuf. 12 (1), Seiten 13-21 (1974) und durch Frolov, Yu. G. in D.I. Mendeleeva 107 (1979), Seiten 31ff beschrieben.A microemulsion process is described by D. Burgard, R. Nass and H. Schmidt in Proceedings of the 2nd European Conference on Sol-Gel Technology, North Holland Publisher, Amsterdam 1992, pages 243-255 described. M. Neidle and J. Barab describe in J. Amer. Soc. 39 (1917) on page 71ff the production of brine by dialysis. Electrodialysis procedures are performed by Prajapalid M.N. and Talpade, C.R. in Indian Chem. Manuf. 12 (1), pages 13-21 (1974) and by Frolov, Yu. G. in D.I. Mendeleeva 107 (1979), pages 31ff.

Die als Ausgangsmaterial verwendeten SiO2-Sole mit Partikelgrößen zwischen 1 bis 50 nm können aus dem Zwischenprodukt des in US 4 775 520 beschriebenen Verfahrens hergestellt werden. Es handelt sich hierbei um SiO2-Partikel, die durch hydrolytische Polykondensation von Tetraalkoxysilan in einem wäßrig-alkoholisch-ammoniakalischem Medium erhalten werden. Das Reaktionsgemisch wird einer Wasser­ dampfdestillation zur Entfernung des Lösungsmittels und des Ammoniaks unterzogen und ist dann als Ausgangsmaterial für die Beschichtung der oben genannten Substrate geeignet.The SiO 2 sols with particle sizes between 1 and 50 nm used as starting material can be produced from the intermediate product of the process described in US Pat. No. 4,775,520. These are SiO 2 particles which are obtained by hydrolytic polycondensation of tetraalkoxysilane in an aqueous-alcoholic-ammoniacal medium. The reaction mixture is subjected to steam distillation to remove the solvent and ammonia and is then suitable as a starting material for the coating of the above-mentioned substrates.

Überraschenderweise wurde gefunden, daß ein geringfügiger Zusatz von bestimmten Tensiden, beispielsweise einer Mischung aus 15-30 Gew.-% anionischen Tensiden, 5-15 Gew.-% nichtionischen Tensiden und weniger als 5 Gew.-% amphoteren Tensiden, zu porösen Schichten führt, deren Brechzahl 1,30 beträgt.Surprisingly, it was found that a slight addition of certain surfactants, for example a mixture of 15-30% by weight anionic surfactants, 5-15% by weight nonionic surfactants and less  than 5% by weight of amphoteric surfactants leads to porous layers whose Refractive index is 1.30.

Die Sole werden mit Konzentrationen von 0,1 bis 20 Gew.-%, bevorzugt 2 bis 10 Gew.-%, bezogen auf die Beschichtungslösung eingesetzt. Die Konzentration ist abhängig von der Art des Beschichtungsverfahrens. Es sind Tauchverfahren oder Schleuderverfahren anwendbar. Außer geringen Mengen an Detergentien oder handelsüblichen Verlaufsmitteln, beispiels­ weise von der Firma Byk-Gardiner, bzw. Komplexbildnern, zum Beispiel Ethylendiamintetraessigsäure oder Zitronensäure, sind keine weiteren Zusätze erforderlich. Die Konzentration an Detergentien und Verlaufs­ mitteln beträgt dabei weniger als 2 Gew.-%, die Konzentrationen an Komplexbildnern weniger als 80 Gew.-%, bezogen auf den Feststoffgehalt der Beschichtungslösung. Bezogen auf die Beschichtungslösung beträgt die Konzentration der Komplexbildnerweniger als 10 Gew.-%.The sols are used in concentrations of 0.1 to 20% by weight, preferably 2 up to 10% by weight, based on the coating solution. The Concentration depends on the type of coating process. It immersion or spin processes are applicable. Except for minor ones Amounts of detergents or commercially available leveling agents, for example example from the company Byk-Gardiner, or complexing agents, for example Ethylenediaminetetraacetic acid or citric acid are no more Additions required. The concentration of detergents and course the mean is less than 2% by weight, the concentrations Complexing agents less than 80 wt .-%, based on the solids content the coating solution. Based on the coating solution the concentration of the complexing agents is less than 10% by weight.

Als Substratmaterialien kommen Gläser, Keramiken und Metalle in Frage. Metalle allerdings mit der Einschränkung, daß die Benetzbarkeit gegeben sein muß und keine Reaktion mit den im Sol vorhandenen Protonen auf­ tritt.Glasses, ceramics and metals come into consideration as substrate materials. Metals, however, with the restriction that the wettability is given must be and no reaction with the protons present in the sol occurs.

Die Substratoberfläche muß einer Vorbehandlung unterzogen werden. Diese Vorbehandlung besteht in einer Reinigung mit Aceton, Ethanol und Wasser oder in einer alkalischen Reinigung beispielsweise mit verdünnter Natronlauge, wobei 1 n NaOH bevorzugt wird. Auch handelsübliche Reini­ gungsbäder, wie zum Beispiel ein RBS-Bad, sind geeignet. Der Reinigungs­ effekt kann durch Einsatz von Ultraschall verstärkt werden.The substrate surface must be subjected to a pretreatment. This pretreatment consists of cleaning with acetone, ethanol and Water or in an alkaline cleaning, for example with diluted Sodium hydroxide solution, 1N NaOH being preferred. Also commercially available Reini Ambient baths, such as an RBS bath, are suitable. The cleaning effect can be enhanced by using ultrasound.

Bevor die Sole in die Beschichtungslösung eingearbeitet werden, können sie gereinigt werden. Ein geeignetes Verfahren ist eine Druckfiltration, wo­ bei Filter mit einer Porengröße von 0,2 bis 2 µm verwendet werden.Before the brine can be incorporated into the coating solution, they are cleaned. A suitable method is pressure filtration, where filters with a pore size of 0.2 to 2 µm can be used.

Geeignete Verfahren zum Aufbringen der Beschichtungslösung auf das Substrat sind Tauchverfahren, Sprühverfahren oder Rotationsbeschich­ tungsverfahren (Spin coating). Suitable methods for applying the coating solution to the The substrate is immersion, spraying or rotary coating process (spin coating).  

Um zu technologisch relevanten Ziehgeschwindigkeiten von ca. 10 cm/min zu gelangen, muß die Solkonzentration in der Beschichtungslösung her­ abgesetzt werden. Bevorzugt wird eine Verdünnung mit 1 n HCl. Die Feststoffkonzentrationen beim Tauchbeschichtungsverfahren werden des­ halb auf 2 Gew.-% bis 5 Gew.-% bezogen auf die Beschichtungslösung eingestellt.In order to achieve technologically relevant drawing speeds of approx. 10 cm / min to get the sol concentration in the coating solution be dropped off; be discontinued; be deducted; be dismissed. Dilution with 1N HCl is preferred. The Solids concentrations in the dip coating process are the half to 2% by weight to 5% by weight based on the coating solution set.

Bei Anwendung des Rotationsbeschichtungsverfahrens wird mit Fest­ stoffkonzentrationen von 2 bis 20 Gew.-% bezogen auf die Beschichtungs­ lösung gearbeitet. Dazu wird die Beschichtungslösung gleichmäßig auf dem Substrat verteilt und anschließend, beispielsweise bei 2000 U/min, die überschüssige Lösung abgeschleudert.When using the spin coating process, it is fixed Concentrations of 2 to 20 wt .-% based on the coating solution worked. To do this, the coating solution is applied evenly distributed to the substrate and then, for example at 2000 rpm, the excess solution is thrown off.

Die applizierten Schichten werden im Verlauf von 90 min auf eine Tempe­ ratur von 100 bis 550°C aufgeheizt und etwa 5 min bei Endtemperatur belassen.The applied layers are applied to a temperature in the course of 90 min heated from 100 to 550 ° C and about 5 min at final temperature leave.

Im Falle der Abscheidung von Titandioxidschichten erfolgt eine Vor­ trocknung der applizierten Schichten bei 20 bis 70°C über eine Zeitraum von 0,5 bis 10 Stunden.In the case of the deposition of titanium dioxide layers, there is a pre drying of the applied layers at 20 to 70 ° C for a period from 0.5 to 10 hours.

Die getemperten Schichten besitzen optische Qualität. Die Schichtdicke kann bei Einmalbeschichtung auf 10 bis 300 nm eingestellt werden. Die Einstellung der Schichtdicke erfolgt durch Variation der Schleuder- bzw. Tauchgeschwindigkeit und durch Änderung der Viskosität und des Fest­ stoffgehaltes der Beschichtungslösung.The annealed layers have optical quality. The layer thickness can be set to 10 to 300 nm for single coating. The The layer thickness is adjusted by varying the centrifugal or Dive speed and by changing the viscosity and the solid content of the coating solution.

Beschichtete Glasplatten lassen sich ohne Schichtabsplitterung schneiden und zeigen Abriebbeständigkeiten nach dem Taber-Abraser Test (DIN 52347) wie die durch Hydrolyse von Alkoxyden hergestellten Metalloxid­ schichten. Die erhaltenen Schichten sind stabil im Salzsprühnebeltest (DIN 50021 - CASS), gegenüber 1000 Stunden Auslagerung bei 85°C und 85% relativer Feuchte und auch stabil gegenüber UV-Bestrahlung (QUV- B-Test, DIN 53384-A). Im Vergleich zu unbeschichtetem Kalk-Natron-Glas wurde bei den beschichteten Proben im QUV-B-Test eine Schutzwirkung gegenüber Solarisationseffekten beobachtet. Coated glass plates can be cut without chipping and show abrasion resistance according to the Taber Abraser Test (DIN 52347) such as the metal oxide produced by hydrolysis of alkoxides layers. The layers obtained are stable in the salt spray test (DIN 50021 - CASS), compared to 1000 hours aging at 85 ° C and 85% relative humidity and also stable against UV radiation (QUV- B test, DIN 53384-A). Compared to uncoated soda-lime glass was a protective effect for the coated samples in the QUV-B test observed against solarization effects.  

Der große Vorteil des Verfahrens besteht darin, daß für die Herstellung der Schichten weder metallorganische Verbindungen noch Lösemittel erfor­ derlich sind. Das bedeutet, daß die benötigten Beschichtungsanlagen nicht explosionsgeschützt sein müssen, was mit einer erheblichen Kostenein­ sparung verbunden ist.The great advantage of the method is that for the production of Layers do not require organometallic compounds or solvents are such. This means that the required coating systems are not must be explosion proof, which is a significant cost saving is connected.

Die nachfolgenden Beispiele sollen die Erfindung näher erläutern, ohne sie jedoch zu beschränken.The following examples are intended to explain the invention in greater detail, without it restrict however.

Beispiel 1example 1

Flachglasplatten (Kalk-Natron-Glas) werden mit einem handelsüblichen Reinigungsbad (RBS-Bad), anschließend mit 1 n NaOH und dann mit de­ mineralisiertem Wasser unter Ultraschall gereinigt.Flat glass plates (soda-lime glass) are made with a commercially available Cleaning bath (RBS bath), then with 1N NaOH and then with de mineralized water cleaned under ultrasound.

Ein wäßriges ZrO2-Sol mit einem Feststoffgehalt von 8,6 Massen-% ZrO2 und einer Viskosität von 2,25 mm2/s (Hersteller: Merck KGaA) wird durch einen 0,2 µm Filter filtriert und ohne weitere Zusätze für die nachfolgend beschriebene Spin-Off-Beschichtung eingesetzt. Die erhaltene Beschich­ tungslösung wird auf dem Substrat gleichmäßig verteilt und der über­ schüssige Anteil bei 2000 U/min abgeschleudert.
Die mit der Beschichtungslösung bedeckte Glasplatte wird bei Raumtem­ peratur in einen Umluftofen gegeben und dieser innerhalb von 90 min auf 500°C aufgeheizt. Nach einer Haltezeit von 5 min bei 500°C wird die be­ schichtete Glasplatte im Ofen abgekühlt. Die so erhaltene Schicht ist voll­ ständig transparent bei einer Schichtdicke von ca. 75 nm und weist visuell keinerlei Fehlstellen auf. Die Schicht hat eine Brechzahl von 2,03 und ist stabil gegenüber Bewitterungstests (85°C/85% rel. Feuchte für 1000 Stunden), Temperatur-Wechseltest (55°C/+ 125°C nach DIN 40046 Blatt 4)L, CASS-Test (96 h) nach DIN 50021 - CASS und QUV-B-Test (500 h, in Anlehnung an DIN 53384-A). Die Abriebfestigkeit (nach DIN 52347) der abgeschiedenen Schicht ist identisch mit der Abriebfestigkeit von Schich­ ten, die durch Hydrolyse von Alkoxiden hergestellt werden.
An aqueous ZrO 2 sol with a solids content of 8.6% by mass of ZrO 2 and a viscosity of 2.25 mm 2 / s (manufacturer: Merck KGaA) is filtered through a 0.2 µm filter and without further additives for the spin-off coating described below. The coating solution obtained is uniformly distributed on the substrate and the excess portion is spun off at 2000 rpm.
The glass plate covered with the coating solution is placed in a convection oven at room temperature and heated to 500 ° C. within 90 minutes. After a holding time of 5 min at 500 ° C, the coated glass plate is cooled in the oven. The layer obtained in this way is completely transparent with a layer thickness of approximately 75 nm and has no visual defects. The layer has a refractive index of 2.03 and is stable against weathering tests (85 ° C / 85% relative humidity for 1000 hours), temperature cycling test (55 ° C / + 125 ° C according to DIN 40046 sheet 4) L, CASS -Test (96 h) according to DIN 50021 - CASS and QUV-B test (500 h, based on DIN 53384-A). The abrasion resistance (according to DIN 52347) of the deposited layer is identical to the abrasion resistance of layers which are produced by hydrolysis of alkoxides.

Beispiel 2Example 2

Mit dem in Beispiel 1 beschriebenen Sol werden Schichten durch Tauch­ beschichtung hergestellt. Um zu technologisch relevanten Ziehgeschwin­ digkeiten von ca. 10 cm/min zu gelangen wird das Sol verdünnt, bevor es durch ein Filter mit einem Porendurchmesser von 0,2 µm druckfiltriert wird. Hierzu werden zu ein Teil Sol zwei Teile 1 n HCl zugegeben und zur Verbesserung der Verlaufseigenschaften 4 Tropfen eines handelsüblichen Spülmittels, zum Beispiel Sunlicht Progress, hinzugefügt. Die Vorbe­ handlung der Flachglasplatten erfolgt wie in Beispiel 1.With the sol described in Example 1, layers are dipped coating made. To technologically relevant drawing speeds 10 cm / min the sol is diluted before it is pressure filtered through a filter with a pore diameter of 0.2 µm. For this purpose, two parts of 1N HCl are added to one part of sol and the Improvement of the flow properties 4 drops of a commercially available Detergent, such as Sunlicht Progress, added. The Vorbe The flat glass plates are handled as in example 1.

Die Beschichtung der Flachglasplatten erfolgt durch Tauchen mit einer Ausziehgeschwindigkeit von 90 mm/min. Die so erhaltenen Beschichtun­ gen werden wie oben beschrieben getempert. Die getemperten Schichten sind transparent und zeigen die gleiche Stabilität wie die in Beispiel 1 be­ schriebenen Schichten. Punktförmige Fehlstellen können durch Zugabe 1,6 Massen-% Acetylaceton verringert werden.The flat glass plates are coated by dipping with a Extraction speed of 90 mm / min. The coating thus obtained conditions are annealed as described above. The annealed layers are transparent and show the same stability as that in Example 1 written layers. Punctiform defects can be added 1.6 mass% acetylacetone can be reduced.

Beispiel 3Example 3

Die Reinigung der Flachglasplatten erfolgt wie in Beispiel 1 beschrieben. Als Sol wird ein neutrales SiO2-Sol mit 10 Massen-% Feststoffgehalt (Hersteller: Merck KGaA) eingesetzt. Das Sol wird mit 4 Teilen deminerali­ siertem Wasser verdünnt, durch einen Filter mit 1 um Porendurchmesser druckfiltriert und der pH-Wert mit konzentrierter Salzsäure auf 1,5 einge­ stellt. Zur Verbesserung der Verlaufseigenschaften werden 4 Tropfen eines handelsüblichen Spülmittels auf 100 ml verdünntes Sol zugegeben. Die so erhaltene Beschichtungslösung wurde wie in Beispiel 1 durch Spin- Off-Auftrag auf die vorbehandelten Glasplatten aufgegeben. Alle übrigen Bedingungen entsprechen denen von Beispiel 1. Es werden Beschichtun­ gen gleicher Qualität erhalten. The flat glass plates are cleaned as described in Example 1. A neutral SiO 2 sol with a solids content of 10% by mass (manufacturer: Merck KGaA) is used as the sol. The sol is diluted with 4 parts of demineralized water, pressure filtered through a filter with a 1 μm pore diameter and the pH is adjusted to 1.5 with concentrated hydrochloric acid. To improve the flow properties, 4 drops of a commercially available detergent are added to 100 ml of diluted sol. The coating solution thus obtained was applied to the pretreated glass plates as in Example 1 by spin-off application. All other conditions correspond to those of Example 1. Coatings of the same quality are obtained.

Beispiel 4Example 4

Die in den Beispielen 1 und 3 beschriebenen Sole werden vor einer Druckfiltration in unverdünnter Form miteinander gemischt. Eingestellt werden die molaren Verhältnisse SiO2 : ZrO2 von 0,1; 1 und 10. Die Sole sind in diesen Verhältnissen ohne weiteres mischbar und können direkt für Schleuderbeschichtungen unter den Bedingungen, wie bereits in Beispiel 1 beschrieben, eingesetzt werden. Alle übrigen Bedingungen entsprechen denen von Beispiel 1. Auf diese Weise werden fehlerfreie, transparente Beschichtungen mit Schichtdicken im Bereich von 100 nm erhalten, deren Brechzahl von 1,95 (SiO2/ZrO2-Verhältnis = 10) bis 1,47 (SiO2/ZrO2- Verhältnis = 0,1) variierbar ist.The brines described in Examples 1 and 3 are mixed together in an undiluted form before pressure filtration. The molar ratios SiO 2 : ZrO 2 of 0.1; 1 and 10. The brines are readily miscible in these ratios and can be used directly for spin coating under the conditions as already described in Example 1. All other conditions correspond to those of Example 1. In this way, error-free, transparent coatings with layer thicknesses in the range of 100 nm are obtained, whose refractive index of 1.95 (SiO 2 / ZrO 2 ratio = 10) to 1.47 (SiO 2 / ZrO 2 ratio = 0.1) can be varied.

Beispiel 5Example 5

Die Vorbehandlung der Flachglasplatten erfolgt gemäß Beispiel 1. Als Sol wird ein saures TiO2-Sol mit ca. 12 Massen-% Feststoffgehalt eingesetzt. Das Sol wird mit drei Teilen demineralisiertem Wasser verdünnt. Der Auf­ trag auf die Glasplatten erfolgt mit Spin-Off-Verfahren. Die mit der Be­ schichtungslösung versehenen Glasplatten werden bei 1500 U/min für 60 s geschleudert. Anschließend werden sie über Nacht bei 70°C ge­ trocknet und unter den in Beispiel 1 beschriebenen Bedingungen getem­ pert. Es werden transparente Beschichtungen erhalten.The pretreatment of the flat glass plates is carried out according to Example 1. An acidic TiO 2 sol with a solids content of approximately 12 mass% is used as the sol. The sol is diluted with three parts of demineralized water. The glass plates are applied using a spin-off process. The glass plates provided with the coating solution are spun at 1500 rpm for 60 s. They are then dried overnight at 70 ° C. and tempered under the conditions described in Example 1. Transparent coatings are obtained.

Beispiel 6Example 6

Die Reinigung der Glasplatten erfolgt wie in Beispiel 1 beschrieben. Als Sol wird ein neutrales SiO2-Sol mit 10 Massen-% Feststoffgehalt (Hersteller: Merck KGaA) eingesetzt. Das Sol wird mit 3 Teilen deminerali­ siertem Wasser verdünnt und anschließend mit 2,8 g konzentrierter HCl auf 1000 g verdünntes Sol angesäuert. Für eine Beschichtungslösung zur Herstellung von porösen Schichten werden 0,7 g einer Tensidmischung auf 1000 g Lösung hinzu getropft. Die Tensidmischung besteht aus 20% Natriumdodecylbenzolsulfonat, 10% Natriumkokosfettalkoholethersulfat 3 EO und 5% Dodecylpolyglykolether 7 EO, gelöst in Wasser. The glass plates are cleaned as described in Example 1. A neutral SiO 2 sol with a solids content of 10% by mass (manufacturer: Merck KGaA) is used as the sol. The sol is diluted with 3 parts of demineralized water and then acidified to 2.8 g of dilute sol with 2.8 g of concentrated HCl. For a coating solution for the production of porous layers, 0.7 g of a surfactant mixture is added dropwise to 1000 g of solution. The surfactant mixture consists of 20% sodium dodecylbenzenesulfonate, 10% sodium coconut fatty alcohol ether sulfate 3 EO and 5% dodecyl polyglycol ether 7 EO, dissolved in water.

Die Beschichtung von Flachglasplatten erfolgt durch Tauchen mit einer Ausziehgeschwindigkeit von 90 mm/min. Die so erhaltenen Beschichtun­ gen werden auf 550°C aufgeheizt und nach einer Haltezeit von 15 min im Ofen ungeregelt abgekühlt. Die so erhaltene Schicht weist eine Brechzahl von 1,30 auf und ist stabil gegenüber den in Beispiel 1 aufgeführten Klima­ tests.Flat glass plates are coated by dipping with a Extraction speed of 90 mm / min. The coating thus obtained conditions are heated to 550 ° C and after a holding time of 15 min in Oven cooled down uncontrolled. The layer thus obtained has a refractive index from 1.30 to and is stable with respect to the climate listed in Example 1 Testing.

Claims (4)

1. Verfahren zur Abscheidung optischer Schichten von Metalloxiden auf Gläser, Keramiken oder Metalle, indem
  • - das zu beschichtende Substrat einer reinigenden Vorbehandlung unterzogen wird,
  • - das wäßrige Sol oder Solgemisch auf das zu beschichtende Substrat aufgebracht wird und
  • - das zu beschichtende Substrat bei Temperaturen von 100 bis 550°C getempert wird.
1. Process for the deposition of optical layers of metal oxides on glasses, ceramics or metals by
  • the substrate to be coated is subjected to a cleaning pretreatment,
  • - The aqueous sol or sol mixture is applied to the substrate to be coated and
  • - The substrate to be coated is annealed at temperatures of 100 to 550 ° C.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Tempern eine Vortrocknung der applizierten Schicht bei 20 bis 70°C über einen Zeitraum von 0,5 bis 10 Stunden erfolgt.2. The method according to claim 1, characterized in that before Anneal a predrying of the applied layer at 20 to 70 ° C over a period of 0.5 to 10 hours. 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß dem wäßrigen Sol oder Solgemisch ein Tensidgemisch zugesetzt wird das aus 15-30 Gew.-% anionischen Tensiden, 5-15 Gew.-% nicht­ ionischen Tensiden und weniger als 5% amphoteren Tensiden besteht.3. The method according to claim 1, characterized in that the aqueous sol or sol mixture a surfactant mixture is added that of 15-30% by weight of anionic surfactants, 5-15% by weight not ionic surfactants and less than 5% amphoteric surfactants consists. 4. Optisch transparente, reflektivitätsverändernde Schichten von Metall­ oxiden auf Gläsern, Keramiken oder Metallen mit einer stufenlos einstellbaren Brechzahl von 1,22 bis 2,20.4. Optically transparent, reflectivity-changing layers of metal oxides on glasses, ceramics or metals with a stepless adjustable refractive index from 1.22 to 2.20.
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