DE19821742C1

DE19821742C1 - Manipulation arrangement, especially for test head for wafer test arrangement

Info

Publication number: DE19821742C1
Application number: DE1998121742
Authority: DE
Inventors: Helmuth Heigl
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1998-05-14
Filing date: 1998-05-14
Publication date: 1999-11-04
Anticipated expiration: 2018-05-15

Abstract

The arrangement has a vertical carrier and a holder for the test head (23) vertically adjustable on the carrier. The test head is rotatable about an essentially horizontal axis with respect to a support (30) for the test head cable loom (26). The support has a supporting body (38) which is mounted on a guide rod (34) to be able to slide and rotate. An endless band (40) associated with the supporting body supports part of the cable loom.

Description

Die Erfindung betrifft eine Handhabungsvorrichtung, insbesondere zur Handhabung eines Testkopfes an einer Waferprüfeinrichtung, mit ei nem Vertikalträger und einer an dem Vertikalträger vertikal verstellba ren Aufnahmeeinrichtung für den Testkopf, die um eine im wesentli chen horizontale Achse bezüglich einer Stützeinrichtung drehbar ist, die einen Kabelstrang des Testkopfs abstützt.The invention relates to a handling device, in particular for Handling a test head on a wafer testing device, with egg nem vertical support and one vertically adjustable on the vertical support ren recording device for the test head, which by an essentially Chen horizontal axis is rotatable with respect to a support device that supports a harness of the test head.

Eine solche Handhabungsvorrichtung ist aus der DE 195 17 330 A1 des Anmelders bekannt. Bei der bekannten Vorrichtung kann der Test kopf in Horizontal- und Vertikalrichtung verstellt werden sowie um die Längsachse verschwenkt werden. Zur Abstützung und Entlastung des mit dem Testkopf verbundenen Kabelstrangs ist eine Stützeinrichtung vorgesehen. Diese weist einen den Kabelstrang aufnehmenden Ring auf, der drehbeweglich an einer Schwinge gelagert ist.Such a handling device is from DE 195 17 330 A1 of the applicant known. In the known device, the test head can be adjusted in the horizontal and vertical direction as well as around the Longitudinal axis are pivoted. To support and relieve the the cable harness connected to the test head is a support device intended. This has a ring receiving the cable harness on which is rotatably mounted on a rocker.

Für den Einsatz an bekannten Waferprüfeinrichtungen ist eine exakte Verstellbarkeit des Testkopfs bezüglich der Waferprüfeinrichtung in allen Richtungen wünschenswert, wobei eine hohe Leichtgängigkeit erforderlich ist. Insbesondere hat es sich herausgestellt, daß im Ver gleich mit der bekannten Vorrichtung weitere Bewegungsmöglichkeiten bestehen sollten. For the use on known wafer testing devices, an exact one is required Adjustability of the test head with respect to the wafer testing device in desirable in all directions, with high ease of movement is required. In particular, it has been found that in ver same possibilities of movement with the known device should exist.

Bei der hochpräzisen Zustellung der Testköpfe werden bisher hochprä zise Antriebseinrichtungen und Gewichtsausgleichseinrichtungen ver wendet, jedoch bildet der zuvor erwähnte Kabelstrang einen Wider stand gegen leichtgängige Verstellung des Testkopfs. Ferner können übermäßige Torsionen oder Verdrillungen des Kabelstrangs zu Kabel brüchen führen, was es in jedem Falle zu vermeiden gilt.The high-precision delivery of the test heads has so far been highly precise zise drive devices and weight balancing devices ver turns, however, the aforementioned cable harness forms a contradiction stood against easy adjustment of the test head. Can also excessive twisting or twisting of the wire harness to wire cause breaks, which must be avoided in any case.

Es ist daher Aufgabe der Erfindung, eine Handhabungsvorrichtung, an zugeben, die eine verbesserte und eine hochpräzise Positionierung und Bewegung des Testkopfs ohne Beeinträchtigung durch den Kabelstrang ermöglicht.It is therefore an object of the invention to provide a handling device admit that improved and highly precise positioning and Movement of the test head without interference from the cable harness enables.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe bei einer Handhabungsvorrich tung dadurch gelöst, daß die Stützeinrichtung mindestens einen Stütz körper aufweist, der an einer zugeordneten Führungsstange in Längs richtung verschiebbar und drehbeweglich gelagert ist, und daß dem Stützkörper ein Endlosband zugeordnet ist, das den Kabelstrang des Testkopfs bereichsweise abstützt. Somit können Torsions-, Rotations- und Längsbewegungen des Kabelstrangs durch die Stützeinrichtung kompensiert werden. Da der Kabelstrang meist keine völlig runde Au ßenkonfiguration aufweist, gewährleistet das Endlosband eine gute Anpassung an den Außenumfang des Kabelstrangs. Durch die Entla stung des Kabelstrangs in allen Richtungen kann die Handhabungsvor richtung bei erhöhtem Freiheitsgrad und bei verbesserter Genauigkeit und Leichtgängigkeit betätigt werden.According to the invention, this object is achieved in a handling device tion solved in that the support device at least one support has body that on an associated guide rod in the longitudinal direction is slidably and rotatably mounted, and that the Support body is assigned an endless belt that the harness of the Supported test head in some areas. Thus torsion, rotation and longitudinal movements of the cable harness through the support device be compensated. Since the cable harness is usually not a completely round Au configuration, the endless belt ensures good Adaptation to the outer circumference of the cable harness. Through the discharge The wiring harness can be adjusted in all directions direction with increased degree of freedom and improved accuracy and smooth operation.

Das Endlosband sollte eine geeignete Breite aufweisen, um eine ausrei chende Stützfläche für den meist schweren Kabelstrang bereitzustel len. The endless belt should have a suitable width to allow one to provide the appropriate support surface for the usually heavy cable harness len.

In einer bevorzugten Ausführungsform ist der Stützkörper zylinderför mig ausgebildet mit einer entsprechenden Lagerung, die es ermöglicht, den Stützkörper bezüglich der Führungsstange zu drehen. Diese Drehmöglichkeit ist insbesondere wichtig zur Bewältigung von Torsi ons- und Rotationsbewegungen des Kabelstrangs. Für eine Längsbe wegungsmöglichkeit des Kabelstrangs und ebenfalls zur Kompensation von Längenänderungen ist der Stützkörper bezüglich der Führungs stange verschiebbar gelagert, um eine entsprechende Längsverschie bung des Kabelstrangs zu ermöglichen.In a preferred embodiment, the support body is cylindrical mig trained with an appropriate storage, which makes it possible to rotate the support body with respect to the guide rod. This The ability to turn is particularly important for mastering torsos ons and rotational movements of the cable harness. For a lengthways possibility of movement of the cable harness and also for compensation of changes in length is the support body with respect to the guide rod slidably mounted to a corresponding longitudinal displacement to allow exercise of the cable harness.

Vorteilhaft ist an dem Stützkörper und/oder dem Endlosband eine Füh rungseinrichtung vorgesehen, die eine präzise seitliche Führung des Endlosbands ermöglicht. Beispielsweise kann bei einer walzenartigen Ausgestaltung des Stützkörpers dieser abgeflanschte Enden aufweisen, wodurch der Stützkörper in der Art einer Felge das Endlosband stützt und ein Ablaufen desselben diesbezüglich verhindert. Weiterhin könnte der Kabelstrang mit einer Vertiefung bereitgestellt sein, in welcher dann der Stützkörper oder auch das Endlosband verlaufen könnte.A guide is advantageous on the support body and / or the endless belt tion device provided that precise lateral guidance of the Endless bands enabled. For example, with a roller-like Design of the support body of these flanged ends, whereby the support body in the manner of a rim supports the endless belt and prevents the same from running out in this regard. Could continue the cable harness can be provided with a recess in which then the support body or the endless belt could run.

Bei einer vorteilhaften Ausgestaltung weist die Führungsstange einen Anschlag auf, um die Längsbewegung des Stützkörpers einzuschrän ken.In an advantageous embodiment, the guide rod has one Stop to limit the longitudinal movement of the support body ken.

Vorteilhaft sind zumindest zwei Stützkörper vorgesehen, die in Längs richtung versetzt zueinander angeordnet sind und die jeweils ein End losband aufnehmen. Zusätzlich können optionale weitere Stützkörper vorgesehen sein, um dem Kabelstrang eine erweiterte Abstützung zu verleihen und/oder um das Endlosband umzulenken. At least two support bodies are advantageously provided, which extend in the longitudinal direction direction are offset from each other and each have one end pick up the tape. In addition, optional additional support bodies be provided to provide additional support to the cable harness lend and / or to redirect the endless belt.

Je nach zu stützender Länge des Kabelstranges können selbstver ständlich auch mehrere Stützkörper oder Stützkörperserien in Längs richtung hintereinander geschaltet vorgesehen werden, und zwar mit einer entsprechenden Anzahl an Endlosbändern. Bei einer bevorzugten Ausführungsform sind in Richtung des Kabelstrangs drei Serien von je vier Stützkörpern vorgesehen mit jeweils einem zugeordneten Endlos band.Depending on the length of the cable harness to be supported, self-ver Of course, several support bodies or series of support bodies in the longitudinal direction direction can be provided in series, with a corresponding number of endless belts. In a preferred one Embodiment are three series of each in the direction of the cable harness four support bodies are provided, each with an associated endless tape.

Vorteilhafterweise ist die Führungsstange über Anschläge montiert, die eine Längsbewegung des Stützkörpers einschränken. Bei einer beson ders bevorzugten Ausführungsform sind Anschlageinrichtungen jeweils benachbart zu einem Stützkörper vorgesehen.The guide rod is advantageously mounted via stops which restrict a longitudinal movement of the support body. With a particular the preferred embodiment are anchor devices each provided adjacent to a support body.

Der Kabelstrang wird vorteilhaft über eine Umlenkeinrichtung umge lenkt, welche in Richtung des Kabelstrangs verschiebbar gelagert ist. Hierbei definiert die Umlenkeinrichtung einen vorbestimmten Krüm mungsradius für den Kabelstrang, wodurch ein übermäßiges Biegen des Kabelstrangs verhindert werden kann, so daß das Auftreten von Kabelbrüchen praktisch ausgeschlossen ist. Der Kabelstrang ist vorteil haft an einer gekrümmten Aufnahmerinne festgelegt, beispielsweise durch Verwendung von Kabelbindern oder dergleichen.The cable harness is advantageously reversed via a deflection device steers which is mounted displaceably in the direction of the cable harness. Here, the deflection device defines a predetermined bend radius for the cable harness, causing excessive bending of the wire harness can be prevented, so that the occurrence of Cable breaks are practically impossible. The harness is an advantage firmly attached to a curved receiving channel, for example by using cable ties or the like.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen nä her erläutert, die in der Zeichnung schematisch dargestellt sind. Dabei zeigen:The invention will be elucidated below on the basis of exemplary embodiments forth explained, which are shown schematically in the drawing. Here demonstrate:

Fig. 1 eine bevorzugte Ausführungsform einer erfindungsgemä ßen Handhabungsvorrichtung in Seitenansicht; Fig. 1 a preferred embodiment of an inventive SEN handling device in side view;

Fig. 2 eine Ansicht in Richtung des Pfeils II gemäß Fig. 1; FIG. 2 is a view in the direction of arrow II according to FIG. 1;

Fig. 3 eine Ansicht in Richtung des Pfeils III gemäß Fig. 2; FIG. 3 is a view in the direction of arrow III according to FIG. 2;

Fig. 4A, 4B und 4C Detailansichten der bevorzugten Ausführungsform gemäß Fig. 1, und FIGS. 4A, 4B and 4C are detail views of the preferred embodiment of FIG. 1, and

Fig. 5A bis 5G verschiedene Anordnungsmöglichkeiten des Stützkörpers und des zugeordneten Endlosbands dar. Fig. 5A to 5G, various arrangement possibilities of the support member and the associated endless belt is.

Fig. 1 zeigt schematisch den Gesamtaufbau einer erfindungsgemäßen Handhabungsvorrichtung 10. Die Handhabungsvorrichtung 10 dient zur Handhabung eines Testkopfs 23 an einer Waferprüfeinrichtung 24. Die Handhabungsvorrichtung 10 weist eine Basis 12 auf, an welcher ein Vertikalträger 14 gelagert ist. Der Vertikalträger 14 läßt sich bezüglich der Basis 12 in Horizontalrichtung verstellen. An dem Vertikalträger 14 ist eine vertikal verstellbare Aufnahmeeinrichtung 20 vorgesehen, die um eine im wesentlichen horizontale Achse drehbar angeordnet ist. Fig. 1 shows schematically the overall structure of a handling device 10 of the invention. The handling device 10 serves for handling a test head 23 on a wafer testing device 24 . The handling device 10 has a base 12 on which a vertical support 14 is mounted. The vertical support 14 can be adjusted with respect to the base 12 in the horizontal direction. Provided on the vertical support 14 is a vertically adjustable receiving device 20 which is arranged so as to be rotatable about an essentially horizontal axis.

Die Aufnahmeeinrichtung 20 weist eine Aufnahmeöffnung 22 für den Testkopf 23 auf, die eine Längsverschiebung des Testkopfs 23 entlang der Achse 50 sowie ein Verschwenken des Testkopfs um eine horizon tale Achse 50, senkrecht zur erstgenannten Achse 50 verlaufend, er möglicht. In der gezeigten Ausführungsform ermöglicht die Aufnahme öffnung 22 eine Längsverschiebung von ±20 mm und eine Verschwen kung von ±0,5°. The receiving device 20 has a receiving opening 22 for the test head 23 , which enables a longitudinal displacement of the test head 23 along the axis 50 and a pivoting of the test head about a horizontal axis 50 , perpendicular to the first-mentioned axis 50 , he. In the embodiment shown, the receiving opening 22 enables a longitudinal displacement of ± 20 mm and a pivoting movement of ± 0.5 °.

Die Aufnahmeeinrichtung 20 ist über ein Drehlager 19 mit einer Stüt zeinrichtung 30 verbunden, die einen Kabelstrang 26 des Testkopfs 23 abstützt. Die Stützeinrichtung 30 ist höhenverstellbar mit dem Vertikal träger 14 gekoppelt. Hierzu ist die Stützeinrichtung in einem aus Wan dungen 31 gebildeten, geschlossenen Gehäuse aufgenommen, welches in der Darstellung im wesentlichen quaderförmig ist. An gegenüberlie genden Wandungen 31 sind Lineargleitlager 16 vorgesehen, die eine vertikale Bewegung entlang Vertikalschienen 15 ermöglichen. In dem durch die Wandungen 31 gebildeten Gehäuse sind an vier, jeweils paarweise als Anschlag 32 dienenden Lagerböcken vier Führungsstan gen 34 seiten- und höhenversetzt montiert, von denen in der Seiten ansicht lediglich zwei Führungsstangen 34 zu sehen sind. Die Anschlä ge 32 definieren jeweils einen gewissen Bewegungsfreiraum für eine Gleitbewegung von drei Stützkörpern 38 je Führungsstange 34. Die Führungsstangen 34 erstrecken sich entlang Achsen 36, die im we sentlichen parallel zu dem Kabelstrang 26 des Testkopfs 23 verlaufen. An jeweils einem Satz von Stützkörpern 38 ist ein Endlosband 40 auf genommen. Das Endlosband 40 umschlingt teilweise den Kabelstrang 26 und wird über die Stützkörper 38 umgelenkt. Bezüglich der Anord nungsmöglichkeiten von Stützkörper(n) und Endlosband (-bändern) wird auf die Beschreibung zu den Fig. 5A bis 5G verwiesen. Der exakte Verlauf der Endlosbänder 40 und die exakte Positionierung der Stütz körper 38 bei der vorliegenden Ausführungsform kann der Beschrei bung bezüglich Fig. 2 und Fig. 4B entnommen werden.The receiving device 20 is connected via a pivot bearing 19 to a support device 30 which supports a cable harness 26 of the test head 23 . The support device 30 is height-adjustable coupled to the vertical support 14 . For this purpose, the support device is accommodated in a closed housing formed from wall 31 , which is essentially cuboid in the illustration. On opposite walls 31 linear slide bearings 16 are provided, which enable vertical movement along vertical rails 15 . In the housing formed by the walls 31 , four guide rods 34 are mounted on each side and height offset on four bearing blocks, each serving as a stop 32 , of which only two guide rods 34 can be seen in the side view. The stops 32 each define a certain freedom of movement for a sliding movement of three support bodies 38 per guide rod 34 . The guide rods 34 extend along axes 36 which run essentially parallel to the cable harness 26 of the test head 23 . On a set of support bodies 38 , an endless belt 40 is taken on. The endless belt 40 partially wraps around the cable harness 26 and is deflected via the support body 38 . Regarding the arrangement possibilities of support body (s) and endless belt (s), reference is made to the description of FIGS . 5A to 5G. The exact course of the endless belts 40 and the exact positioning of the supporting body 38 in the present embodiment, the Descripti respect to FIG. 2 and FIG. 4B are taken.

An dem der Aufnahmeeinrichtung 20 gegenüberliegenden Ende der Stützeinrichtung 30 ist eine Umlenkeinrichtung 17 vorgesehen, die den heraustretenden Kabelstrang 26 gemäß einem vordefinierten Krüm mungsradius abstützt. Die Umlenkeinrichtung 17 weist eine gekrümm te Aufnahmerinne 17a auf, die über eine Lagereinrichtung 18 längsver schieblich gelagert ist. Der Kabelstrang 26 ist an der Aufnahmerinne 17a über einen Kabelclip gesichert.At which the receiving means 20 the opposite end of the support means 30 is provided a deflection device 17, 26 according to the supports the emergent harness a predefined radius of curvature. The deflection device 17 has a curved receiving groove 17 a, which is mounted in a longitudinally displaceable manner via a bearing device 18 . The cable harness 26 is secured to the receiving groove 17 a via a cable clip.

Aus der in Fig. 2 gezeigten Heckansicht ergibt sich, daß der aus zwei beabstandeten Säulen gebildete Vertikalträger 14 jeweils vertikale Füh rungsschienen 15 aufweist, an welchen die Stützeinrichtung 30 und somit die Aufnahmeeinrichtung 20 höhenverstellbar über ein Linear gleitlager 16 montiert ist. Aus Fig. 2 ergibt sich ferner, daß die Basis 12 eine horizontale Verstellung des Vertikalträgers 14 bezüglich der Basis 12 ermöglicht. Die horizontale Verstellbarkeit des Vertikalträgers 14 mit Bezug auf die Basis 12 wird aus der Heckansicht von Fig. 2 deutlich, und ist durch den Doppelpfeil A angedeutet. In der Heckansicht von Fig. 2 ist die Höhenverstellbarkeit der Aufnahmeeinrichtung 20 durch den Doppelpfeil B angedeutet.From the rear view shown in Fig. 2 it follows that the vertical support 14 formed from two spaced columns has approximately Füh approximately rails 15 on which the support device 30 and thus the receiving device 20 is height-adjustable via a linear slide bearing 16 is mounted. From Fig. 2, it follows further that the base 12 with respect allows a horizontal displacement of the vertical beam 14 of the base 12. The horizontal adjustability of the vertical support 14 with respect to the base 12 is clear from the rear view of FIG. 2, and is indicated by the double arrow A. In the rear view of FIG. 2, the height adjustability of the receiving device 20 is indicated by the double arrow B.

Aus der Aufsicht gemäß Fig. 3 zeigt sich schließlich wie der Kabel strang 26 in die Stützeinrichtung 30 über die Umlenkeinrichtung 17 eintritt, die Stützeinrichtung 30 durch das Drehlager 19 verläßt und mit dem Testkopf 23 verbunden ist. Das Drehlager 19 ermöglicht eine Ro tation der Aufnahmeeinrichtung 20 und somit des Testkopfs 23.From the view according to Fig. 3 shows finally how the harness 26 occurs in the support device 30 via the deflection device 17, the support means exits through the rotary bearings 19 and 30 is connected to the test head 23. The rotary bearing 19 enables the receiving device 20 and thus the test head 23 to be rotated.

Unter Bezugnahme auf die Fig. 4A bis 4C wird nun im Detail eine Ausführungsform der Stützeinrichtung 30 beschrieben, bei welcher im wesentlichen eine Konfiguration wie in den Fig. 1 bis 3 dargestellt zum Einsatz kommt. In der dargestellten Ausführungsform sind drei Sätze von jeweils vier Stützkörpern 38 und einem zugeordneten End losband 40 an vier Führungsstangen 34 hintereinander vorgesehen. With reference to FIGS. 4A to 4C, an embodiment of the support device 30 will now be described in detail, in which essentially a configuration as shown in FIGS. 1 to 3 is used. In the illustrated embodiment, three sets of four support bodies 38 and an associated end strap 40 are provided on four guide rods 34 one behind the other.

Fig. 4A zeigt eine Entlastung des Kabelstrangs 26 gemäß der oben beschriebenen Ausführungsform der Stützeinrichtung 30 in Seitenan sicht. Die jeweiligen Führungsstangen 34 sind an vier Lagerböcken 32 montiert, die jeweils paarweise als Anschlag für die jeweiligen Stütz körper dienen. Fig. 4A shows a relief of the wire harness 26 according to the embodiment of the support device 30 described in Seitenan view. The respective guide rods 34 are mounted on four bearing blocks 32 , which serve in pairs as a stop for the respective support body.

In der gezeigten Ausführungsform sind jeweils drei Sätze an in einer Ebene angeordneten Stützkörpern 38 vorgesehen, die in einer später beschriebenen Art mit einem zugeordneten Endlosband 40 in Eingriff stehen. Die Endlosbänder 40 weisen jeweils eine gewisse Breite auf, um eine Einschnürung des gestützten Kabelstrangs zu vermeiden. Wie sich aus der Ansicht aus Fig. 4A ergibt, ist jeder Stützkörper 38 mit flanschartigen Endabschnitten 39 ausgebildet, die zur seitlichen Füh rung des Endlosbands 40 dienen. In der Seitenansicht von Fig. 4A ist auch die Umlenkeinrichtung 17 im Detail gezeigt. Die Umlenkeinrich tung 17 legt einen vordefinierten Krümmungsradius fest, welcher das Auftreten von Kabelbrüchen verhindert. Für eine Längsverschiebung des Kabelbündels ist die gekrümmte Aufnahmerinne 17a mit einem Li neargleitlager 18 gekoppelt, die es ermöglicht, den Kabelstrang in hori zontaler Richtung zu versetzen.In the embodiment shown, three sets of support bodies 38 arranged in one plane are provided, which engage with an associated endless belt 40 in a manner described later. The endless belts 40 each have a certain width in order to avoid constriction of the supported cable harness. As can be seen from the view of Fig. 4A, each support body 38 is formed with flange-like end portions 39 which serve for the lateral guidance of the endless belt 40 . The deflection device 17 is also shown in detail in the side view of FIG. 4A. The Umlenkeinrich device 17 defines a predefined radius of curvature, which prevents the occurrence of cable breaks. For a longitudinal displacement of the cable bundle, the curved receiving groove 17 a is coupled to a Li near slide bearing 18 , which makes it possible to move the cable harness in a horizontal direction.

Fig. 4B zeigt einen Vertikalschnitt durch die Stützeinrichtung 30. An vier Führungsstangen 34, die im wesentlichen parallel zu dem Kabel strang 26 verlaufen, sind vier Stützkörper 38 vorgesehen. Das Endlos band 40 verläuft von dem oberen linken Stützkörper nach unten, um schließt den Kabelstrang 36 und erreicht ablaufend von dem Kabel strang 26 einen zweiten oberen rechten Stützkörper 38. Von dort wird das Endlosband 40 im wesentlichen senkrecht nach unten geführt zu einem dritten rechts unten angeordneten Stützkörper 38, wo es umge lenkt wird, um im wesentlichen horizontal weiterzuverlaufen zu einem vierten links unten angeordneten Stützkörper 38, von welchem das Endlosband wieder nach oben zu dem ersten Stützkörper 38 geführt wird. In dieser Weise wird der Kabelstrang 26 hängend an dem End losband 40 aufgenommen, wobei durch die unteren beiden Umlenkrol len ein wechselseitiger Eingriff von den Endlosbandabschnitten verhin dert ist. In der Ansicht von Fig. 4A ist auch ein Teil der Umlenkein richtung 17 dargestellt. FIG. 4B shows a vertical section through the support means 30. On four guide rods 34 , which run essentially parallel to the cable strand 26 , four support bodies 38 are provided. The endless belt 40 extends from the upper left support body down to closes the cable harness 36 and reaches the second strand 26 right upper support body 38 running out of the cable. From there, the endless belt 40 is guided essentially vertically downwards to a third support body 38 arranged at the bottom right, where it is deflected in order to continue essentially horizontally to a fourth support body 38 arranged at the bottom left, from which the endless belt again goes up to the first support body 38 is guided. In this way, the cable harness 26 is suspended from the endless belt 40 , wherein the lower two Umlenkrol len a mutual engagement of the endless belt sections is prevented. In the view of Fig. 4A, part of the Umlenkein direction 17 is also shown.

Wie sich aus der Aufsicht von Fig. 4C ergibt, ist der Gesamtaufbau der Stützeinrichtung 30 im wesentlichen symmetrisch zur Achse 50, die sich durch den Kabelstrang 26 mittig erstreckt. In der dargestellten Ausführungsform sind die jeweiligen oberen Führungsstangen 34 für die jeweiligen Stützkörper 38 derart beabstandet, daß bei der Montage das Kabelbündel 26 einfach von oben eingeführt werden kann. Es soll te erwähnt werden, daß bei einer Anordnung der Stützkörper 38, wie teilweise in den nachfolgenden Fig. 5A bis 5G angedeutet, auch eine entsprechend intensivere Führung des Kabelstrangs 26 ermöglicht ist.As can be seen from the top view of FIG. 4C, the overall structure of the support device 30 is essentially symmetrical with the axis 50 , which extends through the cable harness 26 in the center. In the illustrated embodiment, the respective upper guide rods 34 for the respective support body 38 are spaced such that the cable bundle 26 can be easily inserted from above during assembly. It should be mentioned that with an arrangement of the support body 38 , as partially indicated in the following FIGS. 5A to 5G, a correspondingly more intensive routing of the cable harness 26 is also possible.

In den folgenden Darstellungen sind jeweils nur ein Endlosband 40 und jeweils ein Satz an Stützkörpern 38 in prinzipieller Weise dargestellt. Es wird darauf hingewiesen, daß bei allen dargestellten Ausführungsfor men mehrere in Längsrichtung des Kabelstrangs 26 versetzt angeord nete Endlosbänder zum Einsatz kommen können.In the following representations, only one endless belt 40 and one set of support bodies 38 are shown in principle. It is pointed out that in all of the embodiments shown, a plurality of endless belts offset in the longitudinal direction of the cable harness 26 can be used.

Um ein leichtes Austauschen des Kabelstrangs 26 zu ermöglichen, kann das Endlosband 40 so angeordnet sein, daß der Kabelstrang 26 an einer Außenseite des Endlosbands 40 aufgenommen wird. Diese Möglichkeit ist in den Fig. 5A bis 5F dargestellt. Bei diesen Ausge staltungen sind zumindest zwei Stützkörper 38 vorgesehen, die zwi schen sich einen Teil des Endlosbands 40 aufweisen, an dem der Ka belstrang 26 ruhen kann. Im Gegensatz hierzu wird bei der Ausfüh rungsform gemäß Fig. 5G der Kabelstrang 26 von dem Endlosband 40 umschlossen gestützt.In order to enable easy replacement of the cable harness 26 , the endless belt 40 can be arranged such that the cable harness 26 is received on an outside of the endless belt 40 . This possibility is shown in FIGS. 5A to 5F. In these events, at least two supporting bodies 38 are provided, which have a part of the endless belt 40 between which the belt strand 26 can rest. In contrast, in the embodiment shown in FIG. 5G, the cable harness 26 is supported by the endless belt 40 .

In Fig. 5A sind vier Stützkörper 38 vorgesehen, die als Gleithülsen ausgebildet sind. Die vier Stützkörper 38 sind an vier Führungsschie nen 34 mit jeweiligen Achsen 36 dreh- und gleitbeweglich gelagert. Die Stützkörper 38 sind in der vertikalen Richtung paarweise versetzt und in Horizontalrichtung im wesentlichen um den Durchmesser des Kabelstrangs 26 beabstandet angeordnet. Das Endlosband 40 verläuft von dem oberen linken Stützkörper praktisch senkrecht nach unten, umschließt den Kabelstrang 26 und erreicht ablaufend von dem Kabel strang 26 einen zweiten oberen rechten Stützkörper 38. Von dort wird das Endlosband 40 im wesentlichen senkrecht nach unten geführt zu einem dritten rechts unten angeordneten Stützkörper 38, wo es umge lenkt wird, um im wesentlichen horizontal weiterzuverlaufen zu einem vierten links unten angeordneten Stützkörper 38, von welchem das Endlosband wieder nach oben zu dem ersten Stützkörper 38 geführt wird. In dieser Weise wird der Kabelstrang hängend an dem Endlos band aufgenommen, wobei durch die unteren beiden Umlenkrollen ein wechselseitiger Eingriff von den Endlosbandabschnitten verhindert ist.In Fig. 5A, four support members 38 are provided, which are formed as sliding sleeves. The four support bodies 38 are mounted on four guide rails 34 with respective axes 36 so that they can rotate and slide. The support bodies 38 are offset in pairs in the vertical direction and are spaced apart in the horizontal direction essentially by the diameter of the cable harness 26 . The endless belt 40 runs practically vertically downward from the upper left support body, surrounds the cable harness 26 and reaches a second upper right support body 38 running out of the cable harness 26 . From there, the endless belt 40 is guided essentially vertically downwards to a third support body 38 arranged at the bottom right, where it is deflected to continue essentially horizontally to a fourth support body 38 arranged at the bottom left, from which the endless belt is again directed upwards to the first support body 38 is guided. In this way, the cable harness is received hanging on the endless belt, with the lower two deflection rollers preventing mutual engagement of the endless belt sections.

Hiervon unterscheidet sich die Ausführungsform von Fig. 5B im we sentlichen dadurch, daß der Abstand zwischen dem oberen Paar der Stützkörper 38 reduziert ist, um den Umschlingungsgrad und somit die Führung des Kabelstrangs 26 zu erhöhen. The embodiment of FIG. 5B differs from this in that the distance between the upper pair of support bodies 38 is reduced in order to increase the degree of wrap and thus the routing of the cable harness 26 .

In Fig. 5D wird dieselbe Funktion durch ein zusätzliches Paar an Stützkörpern 38 erreicht, die an weiteren in Vertikalrichtung versetzten Führungsstangen entsprechend gelagert sind.In Fig. 5D, the same function is achieved by an additional pair of supporting bodies 38, which are stored according to another offset in the vertical direction guide bars.

In der in den Fig. 5E und 5F gezeigten Ausführungsformen ist die Anzahl an Stützkörpern 38 je Satz auf drei bzw. zwei reduziert.In the embodiments shown in FIGS. 5E and 5F, the number of support bodies 38 per set is reduced to three and two, respectively.

Bei der Ausführungsform von Fig. 5G ist ein Stützkörper 38 im we sentlichen mittig über dem Kabelstrang 26 drehbar bezüglich einer Achse 36 der Führungsstange 34 gelagert. Die Führungsstange 34 er streckt sich entlang der Achse 36, die im wesentlichen parallel zu dem Kabelstrang 26 verläuft. An dieser Führungsstange 34 ist ein Stützkör per 38 längsverschieblich und drehbar gelagert. Der Stützkörper 38 kann sich somit um die Führungsstange 34 drehen und ist diesbezüg lich ebenfalls längsverschiebbar. Um den Stützkörper 38 ist das End losband 40 gelegt, welches nach Umschließen des Kabelstrangs 26 zum Stützkörper 38 zurückgeführt ist. Beim Auftreten einer Rotations- oder Torsionsbewegung des Kabelstrangs 26 wird diese an das End losband 40 weitergegeben, welches wiederum praktisch reibungsfrei an dem Stützkörper 38 gelagert ist. Beim Auftreten einer Längsver schiebung des Kabelstrangs 26 wird diese Bewegung entsprechend von dem Endlosband 40 und dem Stützkörper 38 mitverfolgt.In the embodiment of FIG. 5G, a support body 38 is mounted rotatably in the middle of the cable harness 26 with respect to an axis 36 of the guide rod 34 . The guide rod 34 he extends along the axis 36 , which is substantially parallel to the wire harness 26 . On this guide rod 34 , a support member 38 is longitudinally displaceable and rotatable. The support body 38 can thus rotate about the guide rod 34 and is also Lich longitudinally displaceable in this regard. To the support body 38 , the End losband 40 is placed, which is returned to the support body 38 after enclosing the wire harness 26 . When a rotational or torsional movement of the cable harness 26 occurs , this is passed on to the end belt 40 , which in turn is mounted on the support body 38 practically without friction. When a longitudinal shift of the cable harness 26 occurs , this movement is followed accordingly by the endless belt 40 and the support body 38 .

Je nach gewünschtem Umschlingungsgrad des Endlosbands 40 um den Kabelstrang 26 herum, können unterschiedliche viele Stützkörper 38 zum Einsatz kommen.Depending on the desired degree of wrap of the endless belt 40 around the cable harness 26 , different numbers of support bodies 38 can be used.

Wie sich aus den vorangegangenen Ausführungen ergibt, beruht die Erfindung im wesentlichen darauf, den Kabelstrang 26 des Testkopfs 23 praktisch reibungsfrei zu lagern, und zwar sowohl bezüglich einer Torsions- oder Rotationsbewegung als auch einer begleitenden oder zusätzlichen Längsverschiebung. Diese Lagerung wird im wesentlichen dadurch erreicht, daß eine auftretende Bewegung über ein oder mehre re Endlosbänder 40 an einen oder mehrere dreh- und gleitfähig gelager te(n) Stützkörper 38 weiterleitet wird.As can be seen from the foregoing, the invention is essentially based on the fact that the cable harness 26 of the test head 23 is supported in a practically frictionless manner, both with regard to a torsional or rotational movement and with an accompanying or additional longitudinal displacement. This storage is essentially achieved in that an occurring movement on one or more re endless belts 40 to one or more rotatable and slidably supported te (n) support body 38 is forwarded.

Zusammenfassend läßt sich feststellen, daß durch die Stützeinrichtung 30 eine Torsion des Kabelstrangs 26, beispielsweise bewirkt durch ei ne Drehung des Testkopfs 23 leicht kompensiert werden kann, da sich der Kabelstrang 26 im wesentlichen reibungsfrei drehen und in Längs richtung verschieben läßt, wodurch eine präzisere Zustellung des Test kopfs 23 ermöglicht wird.In summary, it can be stated that torsion of the cable harness 26 , for example caused by rotation of the test head 23 , can be easily compensated for by the support device 30 , since the cable harness 26 can be rotated essentially smoothly and shifted in the longitudinal direction, as a result of which a more precise delivery the test head 23 is enabled.

Claims

1. handling device ( 10 ), in particular for handling a test head ( 23 ) on a wafer testing device ( 24 ), with a vertical support ( 14 ) and a vertically adjustable receiving device ( 20 ) for the test head ( 23 ) on the vertical support ( 14 ), which can be rotated about an essentially horizontal axis ( 50 ) with respect to a support device ( 30 ) which supports a cable harness ( 26 ) of the test head ( 23 ), characterized in that the support device ( 30 ) has at least one support body ( 38 ), which is mounted on an associated guide rod ( 34 ) in the longitudinal direction and rotatably, and that the support body ( 38 ) is assigned an endless belt ( 40 ) which supports the cable harness ( 26 ) in some areas.

2. Handling device ( 10 ) according to claim 1, characterized in that the support body ( 38 ) is substantially cylindrically shaped.

3. Handling device (10) according to claim 1 or 2, characterized in that the supporting body (38) and / or the endless belt (40) has a guide means (39) for the lateral guidance of the endless belt (40).

4. Handling device ( 10 ) according to one of claims 1 to 3, characterized in that on the guide rod ( 34 ) at least one stop ( 32 ) is provided to limit the movement of the support body ( 38 ) Längenbe.

5. Handling device ( 10 ) according to one of claims 1 to 4, characterized in that at least two support bodies ( 38 ) are provided, which are arranged offset in the longitudinal direction of the guide rod ( 34 ) to each other and which each take up an end belt ( 40 ).

6. Handling device ( 10 ) according to claim 5, characterized in that at least two support bodies ( 38 ) on respective guide rods ( 34 ) are slidably and rotatably mounted, which are provided essentially offset parallel to each other and which an endless belt ( 40th ) assigned.

7. Handling device ( 10 ) according to claim 5 or 6, characterized in that at least two support bodies ( 38 ) are each mounted on a guide rod ( 34 ), each of which an end losband ( 40 ) is assigned.

8. Handling device (10) according to any one of the preceding claims, characterized in that each guide rod (34) are provided at least two stops (32) serving to additionally for mounting the guide bar (34).

9. Handling device ( 10 ) according to any one of the preceding claims, characterized in that the support device is associated with a deflection device ( 17 ) for the cable harness ( 26 ) which is mounted displaceably in the direction of the cable harness ( 26 ).

10. Handling device ( 10 ) according to claim 9, characterized in that the deflection device ( 17 ) for the cable strand ( 26 ) has a curved receiving groove ( 17 a) for the cable strand ( 26 ).