DE19752439C2 - Mikromechanischer Neigungssensor, insbesondere für Kraftfahrzeuge - Google Patents
Mikromechanischer Neigungssensor, insbesondere für KraftfahrzeugeInfo
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Description
Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Neigungssen
sor, insbesondere für Kraftfahrzeuge. Die Neigungsmessung von
Maschinen und anderen Geräten ist aus vielerlei Gründen von
Bedeutung. Zum einen kann die Schieflage einer Maschine zu
Laufschäden führen. Zum anderen kann die Neigung bzw. Schräg
lage eines Fahrzeuges ein Indikator dafür sein, daß dieses
kurz vor dem Umkippen steht. Mit dem Neigungssensor kann auch
der gemessene Füllstand, z. B. von Motor- oder Getriebeöl oder
von Kraftstoff in einem Kraftstofftank korrigiert werden.
Dies ist von besonderer Bedeutung, wenn es sich um einen
thermischen Füllstandssensor handelt, der ungünstig im zu
messenden Reservoir angeordnet ist.
Zur Neigungsmessung sind verschiedene Sensoren bekannt, die
zum Teil derart aufgebaut sind, daß sich eine Flüssigkeit in
einer geschlossenen Kammer bewegt. Mit der Änderung der Lage
der Flüssigkeit in der Kammer ändert sich je nach Ausfüh
rungsform entweder der Widerstand oder die Kapazität zwischen
zwei Elektroden. Die Nachteile derartiger Sensoren bestehen
darin, daß die Zuverlässigkeit des Sensors von der Stabilität
der elektrischen Eigenschaften der Flüssigkeit und der abso
luten Dichtheit der Kammer abhängt. Nachteilig ist ferner,
daß eine externe Auswerteschaltung notwendig ist, die unter
Umständen noch abgeglichen werden muß.
Eine weitere Möglichkeit der Neigungsmessung besteht darin,
die Lage eines Sensors relativ zum Erdmagnetfeld auszuwerten.
Dieses Verfahren hat den Nachteil, daß äußere magnetische
Felder die Messung verfälschen können.
Bekannt sind ferner mikromechanische Drucksensoren. In
"Hydrostatische Füllstandmessung - intelligente SILOMETER er
öffnen neue Einsatzgebiete" von E. Meyer und A. Bächle, mes
sen + steuern, Firmenzeitschrift der internationalen Endress
+ Hauser Gruppe 50/1988, S. 15 ff, ist die Verwendung piezo
resistiver Meßaufnehmer mit Siliziumdruckmeßelementen be
schrieben. Bei einer derartigen piezoresistiven Meßzelle
wirkt der zu messende Druck auf eine Stahlmembran und über
eine mit Silikonöl gefüllte Kammer auf ein Siliziumplättchen.
Auf das Siliziumplättchen wirkt auch von der anderen Seite
der Referenzdruck, der in der Regel der Atmosphärendruck ist.
Das Plättchen besteht aus monokristallinem Silizium. Unter
einseitiger Druckeinwirkung verformt sich das Plättchen ela
stisch und die dabei auftretenden mechanischen Spannungen
sind ein Maß für den aufgebrachten Druck. Die sich durch den
piezoresistiven Effekt ergebende Widerstandsänderung bewirkt
eine proportionale Verstimmung einer vorgesehenen Wider
stands-Meßbrücke, die als Signalgeber dient.
Ein ähnlicher piezoresistiver Drucksensor ist auch aus
"Lexikon Meß- und Automatisierungstechnik", E. Schrüfer
(Hrsg.), VDT-Verlag, Düsseldorf, 1992, Seite 132, bekannt.
Aus der DD 226 067 A1 ist ein Aufnehmer zur Messung der Nei
gung von Flächen gegenüber einer ungeneigten Ebene bekannt.
Ein derartiger Aufnehmer weist vier um 90° versetzt angeord
nete Sensorflächen auf, auf denen über eine Haftschicht ver
bunden eine Masseplatte vorgesehen ist. Bei einer Neigung der
Masseplatte gegenüber der Horizontalen werden die Sensorflä
chen anders belastet. Die Belastung wird in elektrische Si
gnale umgesetzt, welche über eine Brückenschaltung außerhalb
des Aufnehmers ausgewertet werden. Der bekannte Aufnehmer
weist den Nachteil auf, daß er eine Mindestgröße besitzt und
nicht ohne weiteres miniaturisiert werden kann. Ferner ist
eine außerhalb des Aufnehmers vorgesehene Auswerteeinheit
erforderlich, so daß auch in dieser Hinsicht eine Miniaturi
sierung nicht möglich ist.
Aus der JP 2-107 914 A ist ein miniaturisierter Neigungssensor
bekannt, der eine Siliziumplatte aufweist, welche mit einem
im wesentlichen senkrecht zu ihr verlaufenden Massezapfen
verbunden ist. In der Umgebung des Zapfens sind in der Sili
ziumplatte Dehnmeßstreifen vorgesehen, so daß eine Verdrehung
des Massezapfens gegenüber der Siliziumplatte zu elektrischen
Signalen in den Dehnmeßstreifen führt. Die bekannte Anordnung
hat den Nachteil, daß sie gegenüber äußeren Einflüssen emp
findlich ist, da der Massezapfen leicht beschädigt werden
kann bzw. abbrechen kann. Darüber hinaus erfolgt die Auswer
tung der Signale außerhalb des Neigungssensors.
Aus "Micromechanical inclinometer" von U. Mescheder und S.
Majer, Sensors and Actuators A 60 (1997) 134-138, ist ein mi
kromechanischer Neigungssensor bekannt. Dieser umfaßt eine
Masseplatte, die hängend über vier Kontaktstreifen mit einem
Trägerrahmen verbunden ist. Die Kontaktstreifen weisen piezo
resistive Widerstände auf, so daß eine Neigung der Masseplat
te zu verschiedenen elektrischen Signalen in den Widerständen
führt. Nachteilig an dem bekannten Neigungssensor ist, daß
die frei hängende Masseplatte empfindlich gegenüber mechani
schen Einwirkungen von außen ist, da die piezoresistiven Wi
derstände leicht Schaden nehmen können. Darüber hinaus ist
eine integrierte Auswerteeinheit in dem Neigungssensor nicht
vorgesehen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen mikromechani
schen Neigungssensor so auszugestalten, daß eine Neigung mög
lichst einfach und kostensparend gemessen und ausgewertet
werden kann.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen mikromechani
schen Neigungssensor, insbesondere für Kraftfahrzeuge, ge
löst, der umfaßt eine Trägerplatte, deren Neigung zur Hori
zontalen bestimmt werden soll, mindestens zwei auf der Trä
gerplatte integriert vorgesehene Drucksensoreinheiten zur
Bestimmung von auf die Trägerplatte dort aufgebrachten
Drücken, eine Masseplatte, die mit der Trägerplatte über
jede Drucksensoreinheit verbunden ist und eine Auswerteein
heit zur Ermittlung der Neigung der Trägerplatte aus Ausga
bedaten der Drucksensoreinheiten, wobei die Trägerplatte
eine Grundplatte und eine darauf vorgesehene integrierte
Schaltung aufweist und die Auswerteeinheit in der inte
grierten Schaltung vorgesehen ist.
Da der erfindungsgemäße Neigungssensor keine Flüssigkeit ent
hält, kann es zu keinen Meßfehlern durch Veränderungen der
Flüssigkeit kommen. Auch ist keine Abhängigkeit vom Erdma
gnetfeld und von magnetischen Störfeldern gegeben. Der Nei
gungssensor läßt sich durch integrierte Schaltungstechnik
(z. B. VLSI IC-Technik) miniaturisiert herstellen.
Vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung sind in den abhängi
gen Ansprüchen wiedergegeben.
Weitere Merkmale, Einzelheiten und Vorteile der Erfindung er
geben sich aus der nachfolgenden Beschreibung anhand der
Zeichnungen. Es zeigt
Fig. 1 einen mikromechanischen Neigungssensor im Querschnitt.
Fig. 2 einen mikromechanischen Neigungssensor gemäß Fig. 1 in
vergrößerter Darstellung.
Fig. 3 eine Teil-Draufsicht auf einen Neigungssensor gemäß
Fig. 1,
Fig. 4 eine zweite Ausführungsform eines erfindungsgemäßen
Neigungssensors in Draufsicht, und
Fig. 5 eine Neigungssensoranordnung mit Neigungssensoren ge
mäß Fig. 1 oder Fig. 4.
Fig. 1 zeigt einen mikromechanischen Neigungssensor 1 insbe
sondere für Kraftfahrzeuge. Der Neigungssensor 1 weist eine
Trägerplatte 2 auf, deren Neigung bestimmt werden soll. Auf
der Trägerplatte 2 sind zwei Drucksensoreinheiten 3 inte
griert angeordnet. Die Drucksensoreinheiten 3 sind mit der
Trägerplatte 2 fest verbunden und erlauben die Ermittlung ei
nes Drucks, der von außen auf die Drucksensoreinheiten 3
wirkt.
Eine Masseplatte 4 ist mit der Trägerplatte 2 über die Druck
sensoreinheiten 3 verbunden.
Eine Auswerteeinheit nimmt die von der Drucksensoreinheit 3
erzeugten Daten auf und ermittelt die Neigung der Trägerplat
te 2. Unter Neigung wird die relative Lage zum Schwerefeld
der Erde verstanden.
Die Masseplatte 4 besteht aus einer Basisplatte 5, die aus
Silizium gefertigt ist. Auf der Basisplatte 5 ist mit dieser
fest verbunden eine Deckplatte 6 vorgesehen, die aus einem
Material mit einer Dichte, die höher ist als die Dichte des
Materials der Basisplatte, besteht. Als Material für die
Deckplatte kommt ein schwereres Metall in Frage. Dieses wird
durch ein- oder mehrschichtiges Aufdampfen oder durch andere
in der Halbleitertechnik übliche Verfahren, wie z. B. Epita
xie, auf der Basisplatte 5 aufgebracht.
Die Trägerplatte 2 besteht aus einer Grundplatte 7 bzw. Bulk,
auf der eine integrierte Schaltung 8 angeordnet ist. Die
Drucksensoreinheiten 3 sind auf der integrierten Schaltung 8
bzw. benachbart zu dieser vorgesehen.
Die Drucksensoreinheiten 3 umfassen einen in die integrierte
Schaltung 8 eingebetteten, ebenfalls integrierten Drucksensor
9 und einen sich von der Trägerplatte 2 erhebenden Stutzen
10, der sowohl mit der Masseplatte 4 als auch mit der Träger
platte 2 verbunden ist. Die Masseplatte 4 und Trägerplatte 2
sind im wesentlichen parallel zueinander mit einem Zwischen
raum 11 vorgesehen und lediglich über die Stutzen 10 mitein
ander verbunden. Es ist jedoch auch möglich, unterhalb der
Masseplatte 4 an weiteren nicht gezeigten Stellen Überdruck
stützen vorzusehen, die fest auf der Trägerplatte 2 montiert
sind, um bei hohen Drücken die auf die Drucksensoreinheiten 3
wirkenden Kräfte zu begrenzen. Dies ist als Überdruckschutz
bei piezoresitiven Drucksensoren von Vorteil. Die Masse
platte 4 legt sich dabei ab einem bestimmten Druck auf die
Überdruckstützen auf.
Als Drucksensoren 9 werden piezoresistive Druckaufnehmer der
oben beschriebenen Art verwendet. Es können jedoch auch be
liebige andere Drucksensoren verwendet werden, die sich in
die vorgegebene Anordnung integrieren lassen. Ferner ist es
möglich, die Drucksensoren 9 als druckabhängige Kapazitäten
auszugestalten, die vorteilhafterweise in Oberflächen-µ-
Mechanik hergestellt werden, da eine in dieser Technologie
aufgebaute Druckmeßzelle unkritisch auf Überdrücke reagiert,
wobei dann lediglich das Meßsignal auf Endwert geht und keine
Zerstörung der Zelle eintritt. Mit derartigen Drucksensoren 9
ist die Messung negativer Drücke möglich, d. h. wenn auf die
Masseplatte 4 eine Kraft wirkt, deren Normalkomponente bezo
gen auf die durch die Trägerplatte 2 gebildete Ebene von der
Trägerplatte 2 weg in Richtung der Masseplatte 4 wirkt.
Die Auswerteeinheit ist in der integrierten Schaltung 8 vor
gesehen. Ferner sind in dieser gängige, digitale Schnittstel
len, wie CAN, SPI etc. mit integriert. Auch ist eine Schal
tung zum elektrischen Abgleich des Neigungssensors 1 auf der
Schaltung 8 mit integriert. Die Auswerteeinheit nimmt die Si
gnale der verschiedenen Drucksensoreinheiten 3 auf, verarbei
tet diese unter Berücksichtigung des Neigungswinkels der Aus
gangsanordnung und produziert als Ergebnis die Neigung des
Neigungssensors 1 im Raum.
Befindet sich die Trägerplatte 2 in der horizontalen Lage, so
ist die Normalkraft, die die Drucksensoren 9 belastet, gleich
der Gewichtskraft der Masseplatte 4. Wird die Trägerplatte 2
geneigt, so teilt sich die Gewichtskraft der Masseplatte 4 in
zwei Komponenten auf. Die Normalkraft, die dabei auf den
Drucksensoren 9 lastet, ändert sich für die beiden Drucksen
soren 9 mit steigendem Neigungswinkel der Trägerplatte 2 ge
genüber der Horizontalen. Wird der gesamte Neigungssensor 1
um 180° gedreht, so werden die Drucksensoren 9 auf Zug bela
stet. Sind die Drucksensoren 9, wie oben beschrieben, als Ka
pazitäten ausgelegt, ist auch dieser Zustand meßbar. Wird das
Differenzsignal der beiden Drucksensoren 9 ausgewertet, so
wird das Meßergebnis vom Umgebungsdruck unabhängig, da dieser
für beide Drucksensoren 9 der gleiche ist. Alterungseffekte
des Neigungssensors 1 werden dadurch minimiert, daß die auf
einer integrierten Schaltung hergestellten Drucksensoren 9
ein nahezu identisches Alterungsverhalten aufweisen, welches
sich zwischen den verschiedenen Drucksensoren 9 aufhebt.
Die Empfindlichkeit des Neigungssensors 1 ist abhängig vom
Neigungswinkel der Trägerplatte 2 gegenüber der Horizontalen.
Für kleine Winkel zur Horizontalen ist die Empfindlichkeit
geringer als für große Winkel. Deshalb kann in einer bevor
zugten Ausführungsform der Neigungssensor 1 geneigt in ein
nicht gezeigtes Gerät eingebaut werden und diese Lage als
Nullneigungslage definiert werden.
Da die Empfindlichkeit des Neigungssensors 1 sowohl von der
Masse der Masseplatte 4 als auch von der Größe der Kraftauf
trittsfläche der Drucksensoren 9 abhängig ist, ist es vor
teilhaft, die Kraftauftrittsfläche der Drucksensoren 9 mög
lichst klein und die Fläche bzw. das Volumen der Masseplatte
4 möglichst groß auszuführen. Wie bereits oben erwähnt kann
die Masse der Masseplatte 4 durch Aufbringen einer Metall
schicht eines Metalls mit hoher spezifischer Dichte weiter
erhöht werden.
Als Material der Basisplatte 5 können andere geeignete Halb
leitermaterialien als Silizium verwendet werden. Bei der Her
stellung eines Neigungssensors 1 kann die gesamte Anordnung
durch IC-Technik miniaturisiert produziert werden.
Gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung sind auf
der Trägerplatte 2 vier Drucksensoreinheiten 3 angeordnet,
die mit einer in Fig. 4 nicht gezeigten Masseplatte 4 verbun
den sind. Die vier Drucksensoreinheiten 3 liegen auf den
Schenkeln zweier sich im wesentlichen senkrecht schneidender
Linien. Besonders vorteilhaft ist die Anordnung der Drucksen
soreinheiten 3 auf den Ecken einer Raute. Durch die vier
Drucksensoreinheiten 3 kann die Neigung der Trägerplatte 2 in
nicht nur einer Richtung, sondern in zwei Richtungen bestimmt
werden. Hierfür müssen die Signale der verschiedenen Druck
sensoreinheiten 3 in der Auswerteeinheit geeignet zueinander
in Bezug gesetzt werden.
Gemäß einer dritten in Fig. 5 gezeigten Ausführungsform weist
eine Neigungssensoranordnung 12 zwei Neigungssensoren 1 auf,
die auf einer Leiterplatte 13 angeordnet sind, die auch als
Hybrid ausgebildet sein kann. Die Neigungssensoren 1 liegen
entlang zweier in der Ebene der Leiterplatte 13 verlaufender
Achsen 14, 15. Die Achsen 14, 15 nehmen in einer bevorzugten
Ausführungsform einen Winkel von 90° zueinander ein. Die Nei
gungssensoren 1 sind entlang der Achsen 14, 15 derart ange
ordnet, daß sie eine Verschwenkung um diese Achsen detektie
ren können. Die Neigungssensoranordnung 12 ermöglicht es, die
Neigung der Anordnung in zwei Ebenen, und damit im Raum zu
bestimmen.
Claims (16)
1. Mikromechanischer Neigungssensor, insbesondere für Kraft
fahrzeuge, umfassend
- a) eine Trägerplatte (2), deren Neigung zur Horizontalen be stimmt werden soll,
- b) mindestens zwei auf der Trägerplatte (2) integriert vorge sehene Drucksensoreinheiten (3) zur Bestimmung von auf die Trägerplatte (2) dort aufgebrachten Drücken,
- c) eine Masseplatte (4), die mit der Trägerplatte (2) über jede Drucksensoreinheit (3) verbunden ist und
- d) eine Auswerteeinheit zur Ermittlung der Neigung der Trä gerplatte (2) aus Ausgabedaten der Drucksensoreinheiten (3), wobei
- e) die Trägerplatte (2) eine Grundplatte (7) und eine darauf vorgesehene integrierte Schaltung (8) aufweist und
- f) die Auswerteeinheit in der integrierten Schaltung (8) vor gesehen ist.
2. Mikromechanischer Neigungssensor gemäß Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die Masseplatte (4) ei
ne Basisplatte (5), vorzugsweise aus Silizium, die mit jeder
Drucksensoreinheit (3) verbunden ist, und darauf eine Deck
platte (6) aufweist.
3. Mikromechanischer Neigungssensor gemäß Anspruch 2, da
durch gekennzeichnet, daß die Deckplatte (6) eine
oder mehrere Schichten einer aufgedampften oder
durch Epitaxie aufgetragenen Substanz, insbesondere Metall,
aufweist, deren spezifisches Gewicht größer ist als das der
Substanz der Basisplatte (5).
4. Mikromechanischer Neigungssensor gemäß einem der vorange
henden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß jede
Drucksensoreinheit (3) einen Drucksensor (9), der in der Trä
gerplatte (2) integriert mit dieser verbunden ist, und einen
Stutzen (10), der einerseits mit dem Drucksensor (9) und an
dererseits mit der Masseplatte (4) verbunden ist, aufweist.
5. Mikromechanischer Neigungssensor gemäß Anspruch 4, da
durch gekennzeichnet, daß jeder Drucksensor (9) als
piezoresistiver Druckaufnehmer ausgebildet ist.
6. Mikromechanischer Neigungssensor gemäß den Ansprüchen 4 oder
5, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Drucksensor
(9) als druckabhängige Kapazität ausgestaltet ist.
7. Mikromechanischer Neigungssensor gemäß Anspruch 6, da
durch gekennzeichnet, daß die druckabhängige Kapa
zität in Oberflächen-µ-Mechanik aufgebaut ist.
8. Mikromechanischer Neigungssensor gemäß Anspruch 1, da
durch gekennzeichnet, daß eine gängige, digitale
Schnittstelle mit auf der integrierten Schaltung (8) vorgese
hen ist.
9. Mikromechanischer Neigungssensor gemäß Anspruch 1, da
durch gekennzeichnet, daß eine Schaltung zum elek
trischen Abgleich der Drucksensoren (9) mit auf der inte
grierten Schaltung (8) vorgesehen ist.
10. Mikromechanischer Neigungssensor gemäß einem der vorange
henden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß vier
Drucksensoreinheiten (3) vorgesehen sind.
11. Mikromechanischer Neigungssensor gemäß Anspruch 10, da
durch gekennzeichnet, daß die Drucksensoreinheiten
(3) auf zwei sich im wesentlichen senkrecht schneidender Li
nien angeordnet sind.
12. Mikromechanischer Neigungssensor gemäß einem der vorange
henden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß auf
der Trägerplatte (2) mit dieser verbunden mindestens eine
Überdruckstütze vorgesehen ist, auf der die Masseplatte (4)
bei hohen Drücken abstützbar ist.
13. Neigungssensoranordnung umfassend mindestens zwei Nei
gungssensoren (1) gemäß einem der vorangehenden Ansprüche.
14. Neigungssensoranordnung gemäß Anspruch 13, dadurch
gekennzeichnet, daß die Neigungssensoren (1) derart
angeordnet sind, daß ihre Achsen (14, 15) der Neigungsemp
findlichkeit im wesentlichen senkrecht zueinander verlaufen.
15. Neigungssensoranordnung gemäß Anspruch 13 oder 14, da
durch gekennzeichnet, daß jeder Neigungssensor (1)
auf einer gemeinsamen Leiterplatte (13) oder Hybridschaltung
vorgesehen ist.
16. Neigungssensoranordnung gemäß einem der Ansprüche 13 bis 15, da
durch gekennzeichnet, daß die Neigungssensoren (1)
derart angeordnet sind, daß eine Neigungsmessung in zwei ver
schiedenen Ebenen möglich ist.
Priority Applications (1)
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DE1997152439 DE19752439C2 (de) | 1997-11-26 | 1997-11-26 | Mikromechanischer Neigungssensor, insbesondere für Kraftfahrzeuge |
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DE1997152439 Expired - Fee Related DE19752439C2 (de) | 1997-11-26 | 1997-11-26 | Mikromechanischer Neigungssensor, insbesondere für Kraftfahrzeuge |
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Effective date: 20140603 |