DE19733297C2 - Berührungslose optische Dickenmessung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Meßvorrichtung zum Vermessen der Dicke eines Körpers, insbesondere eines flächigen endlos gefertigten Körpers.

Die Erfindung betrifft weiter ein Verfahren zum Vermessen der Dicke eines Körpers, insbesondere eines flächigen endlos gefertigten Körpers.

Eine derartige Meßvorrichtung kommt beispielsweise in der industriellen Fertigung bei der Produktion von flächigen endlos gefertigten Produkten, wie Folien oder Platten zum Einsatz. Zur Überwachung des Herstellungsprozesses besteht dabei der Wunsch, das Produkt während der Produktion bezüglich seiner Dicke zu vermessen.

Hierzu existieren bereits verschiedene Meßverfahren, die im wesentlichen in berührende und berührungslose Meßverfahren eingeteilt werden können. Grundlage der berührenden Meßverfahren sind insbesondere sogenannte kapazitive oder magneto-induktive Meßverfahren, während die berührungslosen Meßverfahren auf radioaktiven Meßverfahren oder Lasertriangulations-Sensoren bzw. auf Luftkissen über das zu vermessende Objekt schwebenden Sensoren basieren. Diese berührungslosen Meßverfahren sind aus ökologischer Sicht nicht unbedenklich, da als Sensormaterial radioaktive Stoffe eingesetzt werden. Zudem ist die Meßgenauigkeit der Verfahren aufgrund der physikalischen Umgebungsbedingungen sowie aufgrund der Materialeigenschaften häufig nicht befriedigend.

Aus DE 37 01 558 A1 eine Vorrichtung zum Bestimmen der Schichtdicke von zu verarbeitendem Gut auf einer Walze eines Walzwerks mittels zweier berührungslos arbeitenden Meßeinrichtungen bekannt. Davon mißt die eine die Entfernung zur Walzenzoberfläche, während die andere die Entfernung der Oberfläche des zu verarbeitenden Gutes mißt.

Aus DE 36 42 377 A1 ist ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Abmessung der Dicke einer folien- oder blattartigen Materialbahn bekannt. Dabei werden Meßköpfe an beiden Seiten der Materialbahn angeordnet, in denen Detektoren zur Messung der Abstände der Meßköpfe von der jeweiligen Oberfläche angeordnet sind.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Meßvorrichtung und ein Verfahren anzugeben, die bzw. das auf einfache Weise exakt und ökologisch unbedenklich eine berührungslose Messung ermöglicht.

Diese Aufgabe wird durch eine Meßvorrichtung und ein Verfahren gemäß den Ansprüchen 1 und 2 sowie 10 und 11 gelöst.

Eine Meßvorrichtung gemäß Anspruch 1 ist insbesondere für eine einseitige Vermessung des Körpers geeignet, d. h. in den Fällen, in denen ein fest definierter Bezugspunkt auf der der zu vermessenden Seite gegenüberliegenden Seite vorgegeben ist. Alternativ löst der Anspruch 2 diese Aufgabe bei einem beidseitig zu vermessenden Körper.

Bei den Kameravorrichtungen handelt es sich jeweils um eine Bild- oder Zeilenkamera, welche auf die Oberflächen des zu vermessenden Körpers gerichtet werden. Die Schärfeeinstellung der von den Kameravorrichtungen aufgenommenen Bilder wird von der beispielsweise als Computer ausgebildeten Auswerteeinrichtung überwacht. Dabei erfolgt mittels der Auswerteeinrichtung eine Digitalisierung der Kamerabilder und eine Überprüfung auf deren Schärfe. Eine Scharfstellung des Kamerabildes liegt dann vor, wenn der Brennpunkt der optischen Einheit der Kameravorrichtung auf der Höhe der Oberfläche des zu vermessenden Körpers ist. In Abhängigkeit der ermittelten Schärfe kann die Kameravorrichtung parallel ihrer optischen Achse solange verfahren werden, bis ein Bild mit hinreichender Schärfe erkannt wird. Dabei gilt, daß der Abstand zwischen dem Objektiv der Kameravorrichtung und der Oberfläche des Körpers bei scharfer Einstellung konstant ist. Die Kamerabilder werden bezüglich Ihrer Schärfe derart ausgewertet, daß aus dem Grad der Schärfe auf den Abstand der Kameravorrichtung von der Oberfläche des Körpers geschlossen werden kann. Diese Vorgehensweise ist insbesondere dann anwendbar, wenn die Kameravorrichtungen nicht senkrecht, sondern vielmehr schräg auf die Oberfläche des Körpers gerichtet werden. Anhand der in diesem Fall entsprechend dem jeweils unterschiedlichen Abstand teils mehr oder weniger scharfen Teilbildbereiche kann mittels der Auswertevorrichtung beispielsweise durch Vergleich mit Vergleichbildern der Abstand interpoliert werden. Als weitere Meßgröße wird bei einem Meßsystem mit lediglich einseitig angeordneter Kameravorrichtung der Abstand zwischen der Kameravorrichtung und der der Kameravorrichtung gegenüberligenden Oberfläche bzw. bei einer zweiseitig angeordneten Meßvorrichtung der Abstand zwischen den beiden Kameravorrichtungen benötigt. Dieser wird mit Hilfe eines Abstandssensors ermittelt. Basierend auf den ermittelten Abstandswerten kann dann in einfacher rechnerischer Verknüpfung durch die Auswertevorrichtung die Dicke des Körpers ermittelt werden. Durch Bewegung der Meßvorrichtung oder durch Bewegung des zu vermessenden Körpers kann so die Dicke des zu vermessenden Körpers durch Ermittlung neuer Abstandswerte kontinuierlich vermessen werden.

Eine sichere Erkennung der Oberfläche des Körpers kann dadurch gewährleistet werden, daß die Meßvorrichtung eine Beleuchtungsvorrichtung aufweist, die zur Beleuchtung des Körpers, insbesondere zu einer seitlichen Beleuchtung des Körpers in einem flachen Winkel zwischen 1 und 45° vorgesehen ist, wobei der Winkel zwischen der Oberfläche des Körpers und der Lichtaustrittsrichtung der Beleuchtungsvorrichtung gebildet wird.

Die Sicherheit bei der Detektion der Oberfläche insbesondere eines durchsichtigen Körpers kann dadurch erhöht werden, daß die Kamera ein Vergrößerungsobjektiv aufweist. Besonders vorteilhaft ist es, daß der Körper seitlich in einem flachen Winkel beleuchtet wird.

Eine Ermittlung des Abstandes zwischen der Kameravorrichtung und der gegenüberliegenden Oberfläche des Körpers bzw. zwischen den beiden Kameravorrichtungen kann dadurch erfolgen, daß als Abstandssensor ein induktiver, insbesondere ein magneto-induktiver Abstandssensor mit einer magnetischen Gegenplatte vorgesehen ist.

In den Fällen, in denen eine Abstandsermittung zwischen den auf beiden Seiten des Objektes angeordneten Kameravorrichtungein nicht durch das zu vermessende Objekt hindurch möglich ist, kann zur Ermittlung der Abstands zwischen der Kameravorrichtung und der der Kameravorrichtung gegenüberliegenden Oberfläche des Körpers bzw. zur Ermittlung des Abstands zwischen den Kameravorrichtungen eine Positionsbestimmungsvorrichtung vorgesehen werden, die ausgehend von einer Bezugsposition die jeweilige Stellung der Kameravorrichtung(en) ermittelt.

Eine vorteilhafte Realisierung einer derartigen Positionsbestimmungs­ vorrichtung besteht darin, daß zur Bestimmung der Stellungen der Kameravorrichtungen ein Laserstrahl vorgesehen ist, wobei durch den Laserstrahl die Position der Kameravorrichtungen in senkrechter Richtung auf die Oberfläche der zu vermessenden Körpers ermittel wird.

Im folgenden wird die Erfindung anhand der in den Figuren dargestellten Ausführungsbeispiele näher beschrieben und erläutert.

Es zeigen:

Fig. 1 ein Ausführungsbeispiel einer einseitig angeordnete Meßvorrichtung zum Messen der Dicke einer Platte,

Fig. 2 ein Ausführungsbeispiel einer beidseitig angeordneten Meßvorrichtung zum Messen der Dicke einer Platte,

Fig. 3 ein weiteres Ausführungsbeispiel einer beidseitig angeordneten Meßvorrichtung zum Messen der Dicke einer Platte mit senkrecht zur Platte angeordneten Kameravorrichtungen,

Fig. 4 ein weiteres Ausführungsbeispiel einer beidseitig angeordneten Meßvorrichtung zum Messen der Dicke einer Platte mit schräg zur Platte angeordneten Kameravorrichtungen,

Fig. 5 ein weiteres Ausführungsbeispiel einer beidseitig angeordneten Meßvorrichtung und einer Positionsbestimmungseinrichtung zur Bestimmung der Position der Kameravorrichtungen und

Fig. 6 ein weiteres Ausführungsbeispiel einer einseitig angeordnete Meßvorrichtung zum Messen der Dicke einer Platte mit senkrecht zur Platte angeordnetem Objektiv und schräg angeordneter Kameravorrichtung.

Fig. 1 zeigt eine einseitig angeordnete Meßvorrichtung zum Messen der Dicke D eines Körpers 1, beispielsweise einer Platte. Die Meßvorrichtung besteht aus einer Kameravorrichtung 2 mit Objektiv 4, aus einem Abstandssensor 5 sowie einer Auswertevorrichtung 6. Darüberhinaus ist eine Beleuchtungsvorrichtung 3 zur seitlichen Beleuchtung des Körpers 1 vorgesehen. Die Meßvorrichtung bestimmt einen Abstand A zwischen dem Kameraobjektiv 4 und der der Kamera 2 zugewandten Seite der Oberfläche des Körpers 1 sowie einen Abstand C' zwischen dem Abstandssensor 5 und der der Kamera 2 abgewandten Seite des Körpers. Zum besseren Verständnis ist in Fig. 1 darüberhinaus ein Achsenkreuz eingezeichnet, das die geometrischen x-, y- und Achsen angibt.

Die Kamera 2, beispielsweise eine Bild- oder Zeilenkamera wird mit dem als Mikroskop wirkenden Vergrößerungsobjektiv 4 senkrecht auf die Oberfläche des zu vermesssenden Körpers 1 gerichtet. Das Vergrößerungsobjektiv dient dazu, daß der Meßfleck möglichst klein wird und so die Oberfläche des Körpers 1 für die Kamera möglichst gut "sichtbar" wird. Durch die Vergrößerung erkennt die Kamera 2 auch bei durchsichtigen Folien oder Platten "Einschlüsse" an der Oberfläche im Herstellungsmaterial des Körpers, die automatisch beim Herstellungsprozess durch Verschmutzung der Oberfläche, durch Umgebungsstaub oder durch feine Kratzer entstehen. Durch die seitliche Beleuchtung durch die Beleuchtungsvorrichtung 3 ist außerdem eher gewährleistet, daß die Kamera 2 eine Struktur auf der Materialoberfläche des Körpers 1 erkennt. Denn ohne seitliche Beleuchtung könnte dies bei einem durchsichtigen Körper und einer senkrechten Belechtung des Körpers 1 bewirken, daß sich die Kamera nicht auf der Oberfläche des Körpers 1 scharfstellt, sondern in tieferen Schichten. Der Meßvorgang selbst kann ausgehend von der in Fig. 1 dargestellten Meßvorrichtung folgendermaßen erfolgen:

Zunächst wird in einem ersten Schritt mittels der Auswerteeinrichtung 6 die Schärfe des Kamerabildes überwacht. Hierzu wird das Kamerabild digitalisiert und auf seine Eigenschaft der Schärfe überprüft. Ziel dieser Schärfeüberwachung ist es, den Abstand A zwischen der Kamera 2 bzw. dem Objektiv 4 der Kamera und der Oberfläche des Körpers 1 zu ermitteln, denn bei scharfer Einstellung ist dieser Abstand A zwischen Objektiv 4 und Körper 1 stets konstant. Für die Einstellung der Schärfe wird das Kamerabild in der Auswerteeinrichtung 6, beispielsweise einem Computer mit geeigneten Mitteln, beispielsweise in Form von Software ausgewertet und aus dem unscharfen Bild, d. h. aus dem Grad der Unschärfe bzw. Schärfe direkt der für eine Korrektur notwendige Weg ermittelt. Dieser Weg wird nun addiert bzw. subtrahiert von einem in der Auswertevorrichtung gespeicherten optimalen Abstand zwischen Objektiv 4 und Oberfläche des Körpers 1. Dieser optimale Abstand liegt dann vor, wenn das Objekt 1 im Brennpunkt des Objektives liegt. Als Ergebnis dieses ersten Schrittes liegt in der Auswertevorrichtung ein Wert für den Abstand A zwischen Kameravorrichtung 2, 4 und Oberfläche des Körpers 1 vor.

In einem zweiten Schritt wird der Abstand C' zwischen der Kameravorrichtung 2, 4 und der der Kamera 2, 4 abgewandten Seite des Körpers ermittelt. Hierzu ist bei dem in Fig. 1 dargestellten Ausfürungsbeispiel an der Kameravorrichtung 2, 4 ein Abstandssensor 5 vorgesehen. Dieser ist beispielsweise als induktiver Abstandssensor ausgebildet und bestimmt ausgehend von einem Bezugspunkt, beispielsweise einem Auflagepunkt der Oberfläche des Körpers 1 durch den Körper 1 hindurch den Abstand zwischen der der Kamera 2, 4 abgewandten Oberfläche des Körpers und der Kameravorrichtung 2, 4. Anstelle eines induktiven Abstandssensors ist es auch möglich, die Position der Kameravorrichtung und die Position des auf der gegenüberliegenden Seite des Körpers durch eine Meßaufnehmer, beispielsweise durch einen Laserstrahl zu vermessen, wie dies im Zusammenhang mit Fig. 5 noch gezeigt und beschrieben ist. Als Ergebnis dieses zweiten Schrittes liegt in jedem Fall in der Auswertevorrichtung ein Wert für den Abstand C' zwischen Kameravorrichtung 2, 4 und gegenüberliegenden Oberfläche des Körpers 1 vor.

Ausgehend von diesen im ersten und zweiten Schritt ermittelten Werten A, C' wird in der Auswerteeinrichtung nach der Formel: D = C' - A die Dicke D des Körpers 1 ermittelt. Die komplette Meßvorrichtung wird nach Abschluß dieser Messung parallel zur Oberfläche des Körpers 1 verschoben und an einer weiteren Stelle unter Durchführung der Schritte 1 bis 3 ein neuer Meßwert bestimmt. Alternativ zur Verschiebung der Meßvorrichtung kann auch der Körper 1 selbst verschoben werden, während die Meßvorrichtung dann nicht bewegt wird. Die in Fig. 1 gezeigte Meßvorrichtung mit lediglich einer Kameravorrichtung 2, 4 auf lediglich einer Seite des Körpers kommt insbesondere in den Fällen zum Einsatz, in denen die Anforderungen bezüglich der Toleranzen der Dicke der Oberfläche lediglich in Bezug auf ein Seite der Oberfläche des Körpers 1 bestehen. Die Teilmeßvorrichtrungen bestehen im wesentlichen aus den bereits im Zusammenhang mit Fig. 1 erläuterten Vorrichtungen. So besteht die erste Teilmeßvorrichtung aus einer ersten Kameravorrichtung 2a mit Objektiv 4a, aus einem Abstandssensor 5 sowie einer Auswertevorrichtung 6. Darüberhinaus ist eine erste Beleuchtungsvorrichtung 3a zur seitlichen Beleuchtung des Körpers 1 von oben vorgesehen. Die erste Teilmeßvorrichtung weist eine zweite Kameravorrichtung 2b mit Objektiv 4b, eine magnetische Gegenplatte 7 sowie eine zweite Beleuchtungsvorrichtung 3b zur seitlichen Beleuchtung des Körpers 1 von unten.

Die erste Teilmeßvorrichtung dient der Bestimmung eines Abstands A zwischen dem ersten Kameraobjektiv 4a und der der ersten Kamera 2a zugewandten Oberfläche des Körpers 1, während mittels der zweiten Teilmeßvorrichtung im wesentlichen ein Abstand B zwischen dem zweiten Kameraobjektiv und der der zweiten Kamera zugewandten Oberfläche des Körpers 1 bestimmt wird. Über den Abstandssensor 5 mit zugehöriger magnetischer Gegenplatte 7 wird ein Abstand C ermittelt, der dem Abstand zwischen dem Objektiv der erste Kameravorrichtung 2a und dem zweiten Objektiv 4b der zweiten Kameravorrichtung 2b entspricht. Gemäß der Formel: D = C - B - A wird in der Auswerteeinrichtung 5 dann die jeweilige Dicke des Körpers 1 bestimmt.

Die Grundfunktionen der Kameravorrichtungen 2a, 2b, der Objektive und der Beleuchtungsvorrichtungen 3a, 3b entspricht bei dem in Fig. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel im wesentlichen den bereits im Zusammenhang mit Fig. 1 erläuterten Funktionen, so daß hierauf verwiesen wird. Die in Fig. 2 dargestellte Meßvorrichtung, die aus den auf beiden Seiten des zu vermessenden Körpers angeordneten nahezu identischen Teilmeßvorrichtungen gebildet wird, ist besonders in den Fällen vorteilhaft, in denen der zu vermessende Körper leicht gebogen ist und/oder auch Bewegungen in z-Richtung machen kann. Ein Meßvorgang läuft bei der in Fig. 2 dargestellte Meßvorrichtung folgendermaßen ab: Die Kamerabilder der ersten 2a und zweiten 2b Kamera werden in der bereits im Zusammenhang mit Fig. 1 beschriebenen Weise mittels der Auswerteeinrichtung 6 bezüglich ihrer Schärfe ausgewertet. In Abhängigkeit der ermittlten Schärfe bzw. Unschärfe werden die Kameravorrichtungen 2a, 2b dann solange verfahren, bis ein Bild mit hinreichender Schärfe erkannt wird. Die Auswerteeinrichtung 6 ermittelt aus dem Grad der Unschärfe den Weg, der für eine Korrektur der Schärfe erforderlich wäre. Grundlage für diese Vorgehensweise ist dabei wieder, daß der Abstand A bzw. B zwischen Objektiv 4a, 4b und zu vemessendem Körper 1 bei scharfer Einstellung konstant ist. Die so ermittelten Abstandswerte A, B werden in der Auswerteeinrichtung zwischengespeichert.

Als nächstes wird über den induktiven Abstandssensor 5 mit der induktiven Gegenplatte 7 der Abstand C zwischen der ersten und der zweiten Kamera 2a, 2b ermittelt. Auch dieser Abstandswert wird in der Auswerteeinrichtung 6 zwischengespeichert und zur Berechung der Dicke D des Körpers 1 verwendet. Der Meßvorgang kann anschließend an weiteren Positionen des Körpers 1 wiederholt werden. Die Meßvorrichtung ist in der Lage in zuverlässiger Weise eine berührungslose Dickenmessung basierend auf einem rein optischen Meßssystem durchzuführen, ohne daß irgendwelche ökologisch bedenklichen Materialien zum Einsatz kommen.

Fig. 3 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer beidseitig angeordneten Meßvorrichtung zum Messen der Dicke einer Platte 1 mit senkrecht zur Platte angeordneten Kameravorrichtungen 2a, 4a; 2b, 4b. Dabei werden die bereits im Zusammenhang mit Fig. 2 angegebenen Bezugszeichen verwendet. Darüberhinaus ist bei dem in Fig. 3 gezeigten Ausführungsbeispiel die erste 2a sowie die zweite 2b Kameravorrichtung jeweils über einen Motor 7a, 7b an einer Achse 8a, 8b verschiebbar gelagert.

Die verschiebbare Lagerung der Kameravorrichtungen 2a, 2b dient dazu, die Kameravorrichtungen entsprechend der jeweils ermittelten Schärfe/Unschärfe in Z-Richtung verschieben zu könne, bis eine hinreichende Schärfeeinstellung vorliegt.

Fig. 4 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer beidseitig angeordneten Meßvorrichtung zum Messen der Dicke einer Platte 1 mit schräg zur Platte angeordneten Kameravorrichtungen 2a, 2b. In diesem Fall wertet die Auswerteeinrichtung 6 die von den Kameravorrichtungen derart aus, daß anhand des Grads der Schärfe der Teilbildbereiche der jeweilige Abstand interpoliert wird. Ansonsten wird auf die Ausführungen zu den Fig. 1 bis 3 verwiesen.

Fig. 5 ein weiteres Ausführungsbeispiel einer beidseitig angeordneten Meßvorrichtung mit Positionsbestimmungseinrichtungen 10a, 10b zur Bestimmung der Position der Kameravorrichtungen 2a, 2b. Die Positionsbestimmungseinrichtungen 10a, 10b stellen eine Alternative zu der im Zusammenhang mit den Fig. 1 bis 4 gezeigten induktiven Abstandssensor dar. Die Positionsbestimmungsvorrichtungen 10a, 10b bestehen aus jeweils einem Laser, der jeweils einen Laserstrahl 11a, 11b erzeugt. Der Laserstrahl 11a, 11b trifft auf eine in der Kamera 2a, 2b integrierte Kamera, die die jeweilige Position des Laserstrahls 11a, 11b und damit den jeweiligen Abstand der Kamera 2a, 2b von dem Körper 1 an die Auswerteeinrichtung 5 übermittelt.

Fig. 6 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel einer einseitig angeordneten Meßvorrichtung zum Messen der Dicke einer Platte 1 mit einem senkrecht zur Platte 1 angeordnetem Objektiv 4 und schräg angeordneter Kameravorrichtung 2. Bei diesem Ausführungsbeispiel sieht die Kamera 2 das durch das Objektiv 4 vergrößerte Bild von der Seite. Auch in diesem Fall wertet die Auswerteeinrichtung 6 die von der Kameravorrichtung 2 derart aus, daß anhand des Grads der Schärfe der Teilbildbereiche der jeweilige Abstand interpoliert wird. Ansonsten wird auf die Ausführungen zu den Fig. 1 bis 3 verwiesen. Das in Fig. 6 dargestellte Meßssystem kann auch beidseitig entsprechend den in Fig. 3 und 4 gezeigten Ausführungsbeispielen ausgebildet sein.

Claims (18)

1. Meßvorrichtung zum Vermessen der Dicke (D) eines Körpers (1), insbesondere eines flächigen endlos gefertigten Körpers (1), mit mindestens einer auf eine erste Oberfläche des Körpers (1) gerichteten Kameravorrichtung (2), und mit einer Auswerteeinrichtung (6) zur Auswertung der Schärfe des von der Kameravorrichtung (2) aufgenommenen Bildes zur Ermittlung des Abstands (A) zwischen der Kameravorrichtung (2) und der ersten Oberfläche des Körpers (1) hieraus, und mit einem Abstandssensor (5) zur Ermittlung des Abstandes (C') zwischen der Kameravorrichtung(2) und einer der Kameravorrichtung (2) abgewandten zweiten Oberfläche des Körpers (1), wobei Mittel vorgesehen sind, die in Abhängigkeit der ermittelten Schärfe des Bildes den zur Einstellung der optimalen Schärfe des Bildes erforderlichen Weg ermitteln.

2. Meßvorrichtung zum Vermessen der Dicke (D) eines Körpers (1), insbesondere eines flächigen endlos gefertigten Körpers (1), mit einer auf eine erste Oberfläche des Körpers (1) gerichteten ersten Kameravorrichtung (2a) und mit einer auf die gegenüberliegende zweite Oberfläche des Körpers (1) gerichteten zweiten Kameravorrichtung (2b), mit einer Auswerteeinrichtung (6) zur Auswertung der jeweiligen Schärfe der von den Kameravorrichtungen (2a, 2b) aufgenommenen Bilder beider Oberflächen des Körpers (1) und zur Ermittlung der Abstände (A, B) zwischen der jeweiligen Kameravorrichtung (2a, 2b) und der zugehörigen Oberfläche hieraus, und mit einem Abstandssensor (5) zur Ermittlung des Abstandes (C) zwischen der ersten (2a) und zweiten (2b) Kameravorrichtung, wobei Mittel vorgesehen sind, die in Abhängigkeit der jeweils ermittelten Schärfe der Bilder den zur Einstellung der jeweils optimalen Schärfe eines Bildes erforderlichen Weg ermitteln.

3. Meßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Abstandssensor (5) ein induktiver, insbesondere ein magneto- induktiver Abstandssensor mit einer magnetischen Gegenplatte (7) vorgesehen ist.

4. Meßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Kameravorrichtung (2, 2a, 2b) insbesondere in senkrechter Richtung zur Oberfläche des zu vermessenden Körpers (1) verschiebbar ist.

5. Meßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßvorrichtung (10) eine Beleuchtungsvorrichtung (3) aufweist, die zur Beleuchtung des Körpers (1), insbesondere zu einer seitlichen Beleuchtung des Körpers (1) in einem flachen Winkel (11) zwischen 1° und 45° vorgesehen ist, wobei dieser Winkel (11) zwischen der Oberfläche des Körpers (1) und der Lichtaustrittsrichtung der Beleuchtungsvorrichtung zu messen ist.

6. Meßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Kamera (2) ein Vergrößerungsobjektiv (4) aufweist.

7. Meßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßvorrichtung Mittel (7a, 7b) zur Verschiebung der Kameravorrichtung(en) (2, 2a, 2b) parallel ihrer optischen Achse aufweist, wobei die Mittel (7a, 7b) in Abhängigkeit der ermittelten Schärfe zum solange andauernden Verfahren der Kameravorrichtung(en) (2, 2a, 2b) vorgesehen sind, bis ein Bild mit hinreichender Schärfe erkannt wird.

8. Meßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß zur Ermittlung der Abstands (C') zwischen der Kameravorrichtung und der der Kameravorrichtung (2) abgewandten Oberfläche des Körpers (1) bzw. zur Ermittlung des Abstands (C) zwischen den Kameravorrichtungen (2a, 2b) eine Positionsbestimmungsvorrichtung (10) vorgesehen ist, die ausgehend von einer Bezugsposition die jeweilige Position der Kameravorrichtung(en) (2, 2a, 2b) ermittelt.

19. Meßvorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß zur Bestimmung der Stellungen der Kameravorrichtungen ein Laserstrahl vorgesehen ist, wobei durch den Laserstrahl die Position der Kameravorrichtungen (2, 2a, 2b) in senkrechter Richtung zur Oberfläche des zu vermessenden Körpers ermittelt wird.

10. Verfahren zum Vermessen der Dicke (D) eines Körpers (1), insbesondere eines flächigen endlos gefertigten Körpers (1), bei dem auf eine erste Oberfläche des Körpers (1) mindestens eine Kameravorrichtung (2) gerichtet wird, und bei dem die Schärfe des von der Kameravorrichtung (2) aufgenommenen Bildes der ersten Oberfläche ausgewertet und hieraus der Abstand (A) zwischen der Kameravorrichtung (2) und der ersten Oberfläche des Körpers (1) ermittelt wird, bei dem der Abstand (C') zwischen der Kameravorrichtung (2) und der der Kameravorrichtung (2) abgewandten zweiten Oberfläche des Körpers (1) ermittelt wird, und bei dem in Abhängigkeit der ermittelten Schärfe des Bildes der zur Einstellung der optimalen Schärfe des Bildes erforderliche Weg ermittelt wird.

11. Verfahren zum Vermessen der Dicke (D) eines Körpers (1), insbesondere eines flächigen endlos gefertigten Körpers (1), bei dem auf eine erste Oberfläche des Körpers (1) eine erste Kameravorrichtung (2a) und auf eine gegenüberliegende zweite Oberfläche des Körpers (1) eine zweite Kameravorrichtung (2b) gerichtet werden, bei dem die jeweilige Schärfe der von den Kameravorrichtungen (2a, 2b) aufgenommenen Bilder ausgewertet und hieraus die Abstände (A, B) zwischen der jeweiligen Kameravorrichtung (2a, 2b) und der zugehörigen Oberfläche ermittelt werden, und bei dem der Abstand (C) zwischen der ersten (2a) und zweiten (2b) Kameravorrichtung ermittelt wird, wobei in Abhängigkeit der jeweils ermittelten Schärfe der Bilder der zur Einstellung der optimalen Schärfe eines Bildes erforderliche Weg ermittelt wird.

12. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand (C) zwischen der ersten (2a) und zweiten (2b) Kameravorrichtunge durch einen induktiven, insbesondere einen magneto- induktiven Abstandssensor mit einer magnetischen Gegenplatte (7) ermittelt wird.

13. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Kameravorrichtung(en) (2, 2a, 2b) insbesonder in senkrechter Richtung zur Oberfläche des zu vermessenden Körpers (1) verschoben werden.

14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß in Abhängigkeit der ermittelten Schärfe die Kameravorrichtung parallel ihrer optischen Achse solange verfahren werden wird, bis ein Bild mit hinreichender Schärfe erkannt wird.

15. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß der zu vermessende Körper (1) durch eine Beleuchtungsvorrichtung (3) beleuchtet wird, insbesondere seitlich in einem flachen Winkel (11) zwischen 1° und 45°, wobei dieser Winkel (11) zwischen einer Oberfläche des Körpers (1) und der Lichtaustrittsrichtung der Beleuchtungsvorrichtung zu messen ist.

16. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Bilder der Kamera (2, 2a, 2b) durch ein Vergrößerungsobjektiv (4) vergrößert werden.

17. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß ausgehend von einer Bezugsposition die jeweilige Position der Kameravorrichtung(en) (2, 2a, 2b) dadurch ermittelt wird, daß der Abstand (C') zwischen der Kameravorrichtung und der der Kameravorrichtung (2) gegenüberliegenden Oberfläche des Körpers (1) bzw. der Abstand (C) zwischen den Kameravorrichtungen (2a, 2b) durch eine Positionsbestimmungsvorrichtung (10) bestimmt wird.

18. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Stellungen der Kameravorrichtungen durch einen Laserstrahl bestimmt werden, wobei durch den Laserstrahl die Position der Kameravorrichtungen (2, 2a, 2b) in senkrechter Richtung zur Oberfläche des zu vermessenden Körpers ermittelt wird.