DE19719722C2 - Process for producing an elongated high-Tc superconductor - Google Patents

Process for producing an elongated high-Tc superconductor

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Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung eines langgestreckten Supraleiters mit mindestens einer supraleitenden Leiterader, welche ein Supraleitermaterial mit einer metalloxidischen Hoch-Tc-Phase aufweist, die von einem normalleitenden, Ag-haltigen Material umgeben ist, mit welchem Verfahren ein von dem normalleitenden Material umgebenes Leitervorprodukt mit einem Vormaterial des Supraleitermaterials erstellt wird, das mehreren Verformungsschritten und mindestens einer Wärmebehandlung unterzogen wird, wobei in das normalleitende, aus Ag oder einer Ag-Vorlegierung bestehende Material von außen wenigstens eine die Härte des normalleitenden Materials erhöhende Legierungskompenente in zumindest außenliegende Teile dieses normalleitenden Materials eindiffundiert wird. Ein entsprechendes Herstellungsverfahren ist aus der DD 296 179 A5 bekannt. Ein ähnliches Herstellungsverfahren ist aus "IEEE Transactions on Applied Superconducitivity", Vol. 5, No. 2, Juni 1995, Seiten 1145 bis 1149 zu entnehmen.The invention relates to a method for producing an elongated superconductor with at least one superconducting conductor core, which has a superconductor material with a metal oxide high T c phase, which is surrounded by a normally conductive, Ag-containing material, with which method one of which Conductor pre-product surrounded by normally conductive material is created with a primary material of the superconductor material which is subjected to several deformation steps and at least one heat treatment, with at least one alloy component increasing the hardness of the normally conductive material from the outside in the normally conductive material consisting of Ag or an Ag alloy, at least externally Parts of this normal conductive material is diffused. A corresponding manufacturing process is known from DD 296 179 A5. A similar manufacturing process can be found in "IEEE Transactions on Applied Superconducitivity", Vol. 5, No. 2, June 1995, pages 1145 to 1149.

Ferner sind aus der DE 41 13 220 A1 supraleitende Verbundkörper aus oxidkeramischem Supraleitermaterial mit einer äußeren Hülle bekannt, bei der das Füllmaterial zumindest teilweise aus einer oxiddipers gehärteten bzw. härtbaren Silberlegierung besteht, die zur Erhöhung des elektrischen Widerstands mindestens eines der Edelmetallelemente aus der Platingruppe oder Gold enthält. Ein ähnliches Vorgehen ist aus der EP 0 769 819 A1 bekannt.Furthermore, DE 41 13 220 A1 are superconducting Composite body made of oxide ceramic superconductor material with known an outer shell in which the filler at least partially hardened from an oxide dipers or hardenable silver alloy, which is used to increase the electrical resistance of at least one of the Contains precious metal elements from the platinum group or gold. A similar procedure is known from EP 0 769 819 A1.

Es sind supraleitende Metalloxidverbindungen mit hohen Sprungtemperaturen Tc von über 77 K bekannt, die deshalb auch als Hoch-Tc-Supraleitermaterialien oder HTS-Materialien bezeichnet werden und insbesondere eine LN2-Kühltechnik erlauben. Unter solche Metalloxidverbindungen fallen insbesondere Cuprate von speziellen Stoffsystemen wie z. B. der Typen Y-BA-Cu-O oder Bi-Sr-Ca-Cu-O oder (Bi, Pb)-Sr-Ca- Cu-O. Innerhalb einzelner Stoffsysteme können mehrere supraleitende Hoch-Tc-Phasen auftreten, die sich durch die Anzahl der Kupfer-Sauerstoff-Netzebenen bzw. -schichten innerhalb der kristallinen Einheitszelle unterscheiden und die verschiedene Sprungtemperaturen Tc aufweisen.Superconducting metal oxide compounds with high transition temperatures T c of over 77 K are known, which are therefore also referred to as high-T c superconductor materials or HTS materials and in particular allow an LN 2 cooling technology. Such metal oxide compounds include in particular cuprates of special material systems such as B. the types Y-BA-Cu-O or Bi-Sr-Ca-Cu-O or (Bi, Pb) -Sr-Ca-Cu-O. Several superconducting high-T c phases can occur within individual material systems, which differ in the number of copper-oxygen network planes or layers within the crystalline unit cell and which have different transition temperatures T c .

Mit den bekannten HTS-Materialien wird versucht, langgestreckte Supraleiter in Draht- oder Bandform herzustellen. Ein hierfür als geeignet angesehenes Verfahren ist die sogenannte "Pulver-im-Rohr-Technik", die prinzipiell von der Herstellung von Supraleitern mit dem klassischen metallischen Supraleitermaterial Nb3Sn her bekannt ist. Entsprechend die­ ser Technik wird auch zur Herstellung von Leitern aus HTS- Material in eine rohrförmige Umhüllung bzw. in eine Matrix aus einem normalleitenden Material, insbesondere aus Ag oder einer Ag-Legierung, Pulver aus einem Vormaterial des HTS- Materials eingebracht, das im allgemeinen noch nicht oder nur zu einem geringen Teil die gewünschte supraleitende Hoch-Tc- Phase enthält. Der so zu erhaltende Aufbau wird anschließend mittels Verformungsbehandlungen, die gegebenenfalls durch mindestens eine Wärmebehandlung bei erhöhter Temperatur un­ terbrochen sein können, auf die gewünschte Enddimension ge­ bracht. Danach wird das so erhaltene Leitervorprodukt zur Einstellung oder Optimierung seiner supraleitenden Eigen­ schaften bzw. zur Ausbildung der gewünschten Hoch-Tc-Phase mindestens einer Glühbehandlung unterzogen. Diese Glühbehand­ lung wird wenigstens teilweise in einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre bei einer erhöhten Temperatur durchgeführt, die für Materialien aus dem Stoffsystem (Bi, Pb)-Sr-Ca-Cu-O bei einer Glühung an Luft in allgemeinen zwischen 835°C und 840°C und bei reduziertem Sauerstoff-Partialdruck bei etwa 815°C liegt (vgl. z. B. auch "Supercond. Sci. Technol.", Vol. 4, 1991, Seiten 165 bis 171).The known HTS materials attempt to produce elongated superconductors in wire or ribbon form. A method considered suitable for this is the so-called "powder-in-tube technology", which is known in principle from the production of superconductors using the classic metallic superconductor material Nb 3 Sn. Corresponding to this technology, for the production of conductors made of HTS material, powder from a primary material of the HTS material is introduced into a tubular sheath or into a matrix made of a normally conductive material, in particular of Ag or an Ag alloy, which generally does not yet contain the desired superconducting high T c phase or only to a small extent. The structure to be obtained in this way is then brought to the desired final dimension by means of deformation treatments, which may optionally be interrupted by at least one heat treatment at elevated temperature. Thereafter, the conductor intermediate product thus obtained is subjected to at least one annealing treatment in order to adjust or optimize its superconducting properties or to form the desired high T c phase. This annealing treatment is carried out at least partially in an oxygen-containing atmosphere at an elevated temperature, which is the case for materials from the material system (Bi, Pb) -Sr-Ca-Cu-O when annealed in air in general between 835 ° C and 840 ° C and at reduced oxygen partial pressure is about 815 ° C (see, for example, also "Supercond. Sci. Technol.", Vol. 4, 1991, pages 165 to 171).

Bündelt man in an sich bekannter Weise mehrere entsprechende Hoch-Tc-Supraleiter oder deren Leitervorprodukte, so kann man auch Leiter mit mehreren supraleitenden Leiteradern, soge­ nannte Mehrkern- oder Multifilamentleiter, erhalten (vgl. auch "IEEE Transactions on Applied Superconducitivity", Vol. 5, No. 2, Juni 1995, Seiten 1259 bis 1261). Insbesondere für AC-Anwendungen kann das Bündel von einzelnen Leiteradern um die gemeinsame Leiterachse verdrillt (getwistet) werden.If one bundles several corresponding high-T c superconductors or their conductor precursors in a manner known per se, then conductors with several superconducting conductor cores, so-called multi-core or multifilament conductors, can also be obtained (cf. also "IEEE Transactions on Applied Superconducitivity", Vol 5, No. 2, June 1995, pages 1259 to 1261). In particular for AC applications, the bundle of individual conductor wires can be twisted around the common conductor axis.

Diese bekannten Multifilamentsupraleiter mit HTS-Material ha­ ben bevorzugt eine Bandform. Um diese Form eines entsprechenden Leiterendproduktes zu erhalten, muß gemäß der eingangs genannten Literaturstelle mindestens ein Walzschritt vorgese­ hen werden. Dabei wird im allgemeinen von einem zunächst zy­ linderförmigen Aufbau ausgegangen mit einer gleichverteilten Anordnung von Leiterkernen über den Querschnitt gesehen. Die­ ser Aufbau wird dann mittels des Walzprozesses in die flache Bandform überführt, um so die für eine hohe Stromtragfähig­ keit notwendige Textur, d. h. eine weitgehend parallele Aus­ richtung der Kristallebenen der supraleitenden Phase, zu er­ reichen. Das Ergebnis ist dann ein Flachleiter mit einem Breiten-zu-Dicken-Verhältnis von beispielsweise 10 oder hö­ her.This well-known multifilament superconductor with HTS material ha ben prefers a band form. To this form of a corresponding  Obtaining the final conductor product must be according to the above cited at least one rolling step will be. It is generally from an initially zy linden-shaped structure based on an evenly distributed Arrangement of conductor cores seen across the cross section. The This structure is then in the flat by means of the rolling process Conveyed from the form of the band so that it can withstand high current necessary texture, d. H. a largely parallel out direction of the crystal planes of the superconducting phase pass. The result is a flat conductor with one Width-to-thickness ratio of, for example, 10 or higher forth.

Es zeigt sich jedoch, daß bei einer derartigen Herstellung eines bandförmigen Multifilamentsupraleiters unter Verwendung von Ag als normalleitendem Material die Weiterverarbeitung des Bandleiters im geglühten Zustand aufgrund der geringen Härte des Ag-Materials äußerst problematisch ist. Bei schon geringster Belastung des Bandleiters neigt nämlich die das supraleitende Material umgebende Ag-Matrix zu einer plasti­ schen Verformung. Dabei können die spröden Leiteradern aus dem keramischen Supraleitermaterial dieser Dehnung nicht fol­ gen und brechen. Darüber hinaus begünstigt eine besonders gu­ te Leitfähigkeit einer Ag-Matrix auftretende Wechselstromver­ luste.However, it turns out that with such a production using a ribbon-shaped multifilament superconductor Further processing of Ag as a normal conductive material of the strip conductor in the annealed condition due to the low Hardness of the Ag material is extremely problematic. By already The lowest load on the strip conductor tends to be that superconducting material surrounding Ag matrix to a plasti deformation. The brittle conductor veins can do not follow the ceramic superconductor material of this expansion and break. In addition, a particularly good th conductivity of an Ag matrix lust.

Solchen Wechselstromverlusten versucht man durch ein Twisten der supraleitenden Leiteradern und durch den Einsatz von Ag- Legierungen, die den elektrischen Widerstand erhöhen, als Ma­ trixmaterial entgegen zu wirken. Die Verwendung von Ag- Legierungen steigert auch die Festigkeit des fertigen Band­ leiters, welcher sich somit besser weiterverarbeiten läßt. Es zeigt sich jedoch, daß der Einsatz von rohrförmigen Hüllen aus Ag-Legierungen zur Herstellung der Leitervorprodukte ge­ mäß der erwähnten Pulver-im-Rohr-Technik die Bildung der Hoch-Tc-Phase derart beeinträchtigt, daß ein deutlicher Ab­ fall der (kritischen) Stromtragfähigkeit zu beobachten ist. Außerdem muß der gesamte Herstellungsprozeß auf die Verwen­ dung des Legierungsmaterials abgestimmt werden. Dies führt zu einer unerwünschten Erhöhung des zeitlichen und apparativen Aufwandes.Such AC losses are attempted to be counteracted by twisting the superconducting conductor wires and by using Ag alloys, which increase the electrical resistance, as a matrix material. The use of Ag alloys also increases the strength of the finished strip conductor, which can therefore be processed better. However, it can be seen that the use of tubular shells made of Ag alloys for the production of the conductor intermediate products according to the powder-in-tube technique mentioned affects the formation of the high T c phase in such a way that a significant drop in the (critical ) Current carrying capacity can be observed. In addition, the entire manufacturing process must be tailored to the use of the alloy material. This leads to an undesirable increase in the time and equipment required.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es deshalb, das Ver­ fahren mit den eingangs genannten Merkmalen dahingehend aus­ zugestalten, daß dieser Aufwand vermindert ist. Insbesondere soll mit dem Verfahren ein Leiterendprodukt hoher kritischer Stromdichte zu erhalten sein, das ohne die Gefahr einer Be­ schädigung seiner mindestens einen supraleitenden Leiterader zu supraleitenden Einrichtungen wie, Kabel oder Magnetwicklun­ gen weiterverarbeitet werden kann. Gegebenenfalls sollen auch die Wechselstromverluste des Leiterendprodukts verhältnismä­ ßig klein sein.The object of the present invention is therefore to Ver go out with the characteristics mentioned above design that this effort is reduced. In particular the process aims to make a conductor end product highly critical Current density can be obtained without the risk of loading damage to his at least one superconducting conductor to superconducting devices such as cables or magnetic coils conditions can be further processed. If necessary, too the AC losses of the conductor end product are relative be extremely small.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst, wird.This object is achieved by the characterizing features of claim 1, becomes.

Der Erfindung liegt dabei die Überlegung zugrunde, daß bis zur Vornahme des erfindungsgemäßen Legierungsschrittes des normalleitenden Materials eine erleichterte Verformung des Leiteraufbaus mit normalleitenden Teilen aus Ag oder einer Ag-Vorlegierung möglich ist, wobei insbesondere ein guter Verbund zwischen dem normalleitenden Material und dem Vorma­ terial des Supraleitermaterials zu gewährleisten ist. Da der Legierungsschritt erst nach einer Glühung zur Ausbildung der Hoch-Tc-Phase erfolgt, ist zudem eine Beeinträchtigung der supraleitenden Eigenschaften des Leiters nicht zu befürchten. Mit den erfindungsgemäßen Maßnahmen ist folglich vorteilhaft ein langgestreckter Supraleiter insbesondere mit Bandform zu erhalten, der gegenüber den bekannten Leitern ei­ ne erhöhte kritische Stromdichte aufweist.The invention is based on the consideration that, until the alloying step of the normally conductive material according to the invention, a simplified deformation of the conductor structure with normally conductive parts made of Ag or an Ag master alloy is possible, in particular a good bond between the normal conductive material and the material of the pre Superconductor material is to be guaranteed. Since the alloying step only takes place after annealing to form the high T c phase, there is also no fear of impairment of the superconducting properties of the conductor. With the measures according to the invention, it is consequently advantageous to obtain an elongated superconductor, in particular with a band shape, which has an increased critical current density compared to the known conductors.

Vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Verfahrens gehen aus den abhängigen Ansprüchen hervor.Advantageous embodiments of the method according to the invention emerge from the dependent claims.

Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnung noch weiter erläutert, in deren einziger Figur schematisch ein Querschnitt durch einen erfindungsgemäß zu legierenden Aufbau eines HTS-Leiters veranschaulicht ist.The invention is described below with reference to the Drawing explained further in the single figure schematically shows a cross section through an inventive alloy structure of an HTS conductor is illustrated.

Ein erfindungsgemäß hergestellter Leiter stellt einen langge­ streckten Verbundkörper in Band- oder Drahtform dar, der ein in ein besonders legiertes Matrixmaterial eingebettetes Hoch- Tc-(HTS)-Material zumindest weitgehend phasenrein enthält. Als HTS-Material sind praktisch alle bekannten Hoch-Tc- Supraleitermaterialien, insbesondere selten-erd-freie Cupra­ te, mit Phasen geeignet, deren Sprungtemperatur Tc über der Verdampfungstemperatur des flüssigen Stickstoffs (LN2) von 77 K liegt. Ein entsprechendes Beispiel ist das HTS-Material vom Grundtyp (Bi, Pb)2Sr2Ca2Cu3Ox, das nachfolgend als Ausfüh­ rungsbeispiel angenommen ist. Zur Herstellung eines entspre­ chenden HTS-Leiters kann vorteilhaft eine an sich bekannte Pulver-im-Rohr-Technik zugrundegelegt werden (vgl. z. B. die DE 44 44 937 A). Hierzu wird ein pulverförmiges Vorproduktma­ terial, das eine Ausbildung der gewünschten supraleitenden Phase ermöglicht, oder das supraleitende Material in ein Hüllrohr eingebracht, dessen Material als Matrixmaterial für das fertige Endprodukt des Supraleiters dient. Für das Hüll­ rohr wählt man vorzugsweise ein Basismaterial, das bei der Leiterherstellung keine unerwünschte Reaktion mit den Kompo­ nenten des HTS-Materials wie mit Sauerstoff eingeht und das sich leicht verformen läßt. Deshalb ist als Basismaterial be­ sonders ein Ag-Material geeignet, das entweder Ag in reiner Form oder in Form einer Vorlegierung mit Ag als Hauptbestand­ teil (d. h. zu mehr als 50 Gew.-% enthält). So ist z. B. reines Ag beispielsweise in Form von kaltverfestigtem Silber oder rekristallisiertem Silber verwendbar. Auch kann pulvermetall­ urgisch hergestelltes Silber vorgesehen werden. Daneben ist auch dispersionsgehärtetes Silber geeignet.A conductor produced according to the invention represents an elongated composite body in tape or wire form which contains a high-T c (HTS) material embedded in a specially alloyed matrix material, at least largely phase-pure. Practically all known high-T c superconductor materials, in particular rare earth-free cupra te, are suitable as HTS material, with phases whose transition temperature T c is above the evaporation temperature of liquid nitrogen (LN 2 ) of 77 K. A corresponding example is the HTS material of the basic type (Bi, Pb) 2 Sr 2 Ca 2 Cu 3 O x , which is assumed below as an exemplary embodiment. A powder-in-tube technique known per se can advantageously be used as the basis for producing a corresponding HTS conductor (cf., for example, DE 44 44 937 A). For this purpose, a powdery Vorproduktma material, which enables the formation of the desired superconducting phase, or the superconducting material is introduced into a cladding tube, the material of which serves as a matrix material for the finished end product of the superconductor. For the cladding tube, one preferably chooses a base material that does not undergo an undesirable reaction with the components of the HTS material such as with oxygen during the manufacture of the conductor and that can be easily deformed. An Ag material which contains either Ag in pure form or in the form of a master alloy with Ag as the main component (ie contains more than 50% by weight) is therefore particularly suitable as the base material. So z. B. pure Ag, for example in the form of work hardened silver or recrystallized silver. Powder-metal silver can also be used. Dispersion-hardened silver is also suitable.

Der Aufbau aus dem Hüllrohr und dem von ihm umschlossenen Kern z. B. aus dem Vorproduktmaterial des HTS-Materials kann anschließend eine Abfolge von mehreren insbesondere quer­ schnittsvermindernden Verformungsschritten und mindestens ei­ ner Wärme-(Glüh-)Behandlung zur Ausbildung der gewünschten supraleitenden Phase unterzogen werden. Für die Verformungs­ schritte kommen alle bekannten Verfahren wie z. B. Strangpres­ sen, Rollen, Walzen, Hämmern und Ziehen in Frage, die auch miteinander kombiniert sein können. Diese mechanischen Be­ handlungen können sowohl bei Raumtemperatur als auch bei er­ höhter Temperatur durchgeführt werden. Nach den mindestens zwei Verformungsschritten liegt dann ein Rohleiter in Form eines Verbundkörpers mit einer dem angestrebten Endprodukt zumindest weitgehend entsprechenden Gestalt, vorzugsweise in Bandform, vor. Dieser Verbundkörper weist jedoch noch nicht die gewünschten supraleitenden Eigenschaften auf. Deshalb er­ folgt noch die mindestens eine Wärme- oder Glühbehandlung, wie vorzugsweise in einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre wie z. B. an Luft durchgeführt wird, um so dem Vorproduktmaterial den für die Ausbildung der gewünschten supraleitenden Phase erforderlichen Sauerstoff über die Ag-haltige Umhüllung bzw. Matrix zur Verfügung zu stellen.The structure of the cladding tube and the one it encloses Core z. B. from the intermediate material of the HTS material then a sequence of several, especially across cutting-reducing deformation steps and at least one ner heat (glow) treatment to form the desired undergo superconducting phase. For the deformation steps come all known methods such. B. Extruded sen, rolling, rolling, hammering and pulling into question, which too can be combined with each other. This mechanical loading actions can take place both at room temperature and at he at a higher temperature. After the least two deformation steps then a raw conductor is in shape a composite body with a target end product at least largely corresponding shape, preferably in Band form, before. However, this composite body does not yet point the desired superconducting properties. That's why he the at least one heat or annealing treatment follows, as preferably in an oxygen-containing atmosphere such as e.g. B. is carried out in air, so the intermediate material for the formation of the desired superconducting phase required oxygen via the Ag-containing coating or To provide matrix.

Das vorstehend beschriebene Verfahren kann nicht nur zur Her­ stellung von Einkernleitern dienen, sondern ist auch, wie für die Figur der Zeichnung angenommen, zur Herstellung von Mehrkernleitern geeignet. Solche Mehrkern- bzw. Multifilamentlei­ ter werden im allgemeinen mittels einer an sich bekannten Bündelungstechnik ausgebildet. Demgemäß ist z. B. eine Bünde­ lung von mehreren Ausgangsprodukten, die jeweils aus einem Hüllrohr und einem darin befindlichen Kern aus dem Vorpro­ duktmaterial bestehen, in einem größeren Hüllrohr aus dem Ma­ trixmaterial möglich. Selbstverständlich können auch vorver­ formte oder gegebenenfalls vorgeglühte Rohleiter in ein sol­ ches Hüllrohr eingebracht werden.The method described above can not only be used for manufacturing position of single core conductors, but is also how for adopted the figure of the drawing, for the production of multi-core conductors  suitable. Such multi-core or multifilament lines ter are generally by means of a known Bundling technology trained. Accordingly, e.g. B. a frets development of several starting products, each consisting of one Cladding tube and a core from the pre-pro duct material exist in a larger cladding tube from the Ma trix material possible. Of course, you can also shaped or, if necessary, preheated tube in a sol ches cladding tube are introduced.

Ein nach einer Abfolge von Preß- und Walzvorgängen zu erhal­ tender, nachfolgend als Bandleiter bezeichneter Rohleiter oder ein anderes Leiterzwischenprodukt eines erfindungsgemäß zu behandelnden bandförmigen Mehrkernleiters geht aus der Fi­ gur der Zeichnung als Querschnitt hervor. Der Bandleiter ist allgemein mit 2 bezeichnet. Seine beispielsweise 19 Leiter­ kerne 3i (mit 1 ≦ i ≦ 19) aus dem Vorprodukt- oder fertigen Supraleitermaterial sind in einer Matrix 4 aus Ag eingebet­ tet. Der Bandleiter 2 hat z. B. die nachfolgend aufgeführten, für Bandformen typischen Abmessungen:
Banddicke D: 100 µm bis 500 µm, vorzugsweise 200 µm bis 350 µm
Bandbreite B: 2 mm bis 6 mm, vorzugsweise 3,5 mm bis 4,5 mm;
Leiterkerndicke d: 10 µm bis 50 µm, vorzugsweise 20 µm bis 35 µm;
Leiterkernbreite b: 30 µm bis 200 µm, vorzugsweise 150 µm bis 180 µm.
A to get after a sequence of pressing and rolling operations, hereinafter referred to as a strip conductor raw conductor or another intermediate conductor of a band-shaped multi-core conductor to be treated according to the invention is shown in the figure of the drawing as a cross section. The band conductor is generally designated 2. Its 19 conductors, for example, 3 i cores (with 1 ≦ i ≦ 19) from the pre-product or finished superconductor material are embedded in a matrix 4 made of Ag. The strip conductor 2 has z. B. the following typical dimensions for strip shapes:
Band thickness D: 100 µm to 500 µm, preferably 200 µm to 350 µm
Band width B: 2 mm to 6 mm, preferably 3.5 mm to 4.5 mm;
Conductor core thickness d: 10 µm to 50 µm, preferably 20 µm to 35 µm;
Conductor core width b: 30 µm to 200 µm, preferably 150 µm to 180 µm.

Die entsprechenden typischen Abmessungen für einen bandförmi­ gen Einkernleiter sind:
50 µm ≦ D ≦ 400 µm, vorzugsweise 100 µm ≦ D ≦ 200 µm;
1,5 mm ≦ B ≦ 5 mm, vorzugsweise 2 mm ≦ B ≦ 3 mm;
10 µm ≦ d ≦ 40 µm, vorzugsweise 20 µm ≦ d ≦ 30 µm;
500 µm ≦ b ≦ 4,5 mm, vorzugsweise 1,5 mm ≦ b ≦ 2,5 mm.
The corresponding typical dimensions for a band-shaped single core conductor are:
50 µm ≦ D ≦ 400 µm, preferably 100 µm ≦ D ≦ 200 µm;
1.5 mm ≦ B ≦ 5 mm, preferably 2 mm ≦ B ≦ 3 mm;
10 µm ≦ d ≦ 40 µm, preferably 20 µm ≦ d ≦ 30 µm;
500 µm ≦ b ≦ 4.5 mm, preferably 1.5 mm ≦ b ≦ 2.5 mm.

Um die Stromtragfähigkeit des in der Figur gezeigten supra­ leitenden Bandleiters 2 mit einer Ag-Matrix oder gegebenen­ falls einer Matrix aus einer Ag-Vorlegierung beizubehalten und trotzdem eine deutlich verbesserte Festigkeit bei einer Handhabung des Leiters und geringere Wechselstromverluste bei einem Leiterbetrieb zu gewährleisten, ist gemäß dem darge­ stellten Ausführungsbeispiel vorgesehen, daß eine Optimierung der Ag-Matrix 4 erst dann vollzogen wird, wenn der Bandleiter 2 den gesamten herkömmlichen Herstellungsprozeß durchlaufen hat. Hierzu wird der Bandleiter 2 mit einer Schicht 5 einer Dicke δ aus speziellen Elementen oder Legierungen beschich­ tet. Diese Beschichtung kann z. B. durch eine Galvanik-Technik oder mittels einer PVD- oder CVD-Technik erfolgen. Auch kann der Bandleiter in anderer Weise z. B. mittels einer entspre­ chenden Atmosphäre beaufschlagt werden. Das Beschichtungsma­ terial wird dann, wie in der Figur durch gepfeilte Linien 6 veranschaulicht sein soll, während einer gezielten Glühung unter Schutzgas oder Vakuum in die Ag-Matrix 4 eindiffun­ diert. Bei dieser Glühung sollten Sauerstoff und Stickstoff mit dem Leiter nicht in Kontakt kommen, falls nicht-edle Me­ talle als Beschichtungsmaterialien vorgesehen sein sollen. Will man edle Metalle als Beschichtungsmaterialien vorsehen, ist die zu wählende Atmosphäre bei der Glühung unkritisch. Die Glühung sollte dabei bei einer Temperatur Tg vorgenommen werden, die deutlich unterhalb der Wärmebehandlungstemperatur zur Ausbildung der Hoch-Tc-Phase liegt, um so die supralei­ tenden Teile des Leiters 2 nicht zu schädigen. Vorteilhaft werden Temperaturen Tg unter 700°C gewählt, wobei auch Glü­ hungen bei verschiedenen Glühtemperaturen möglich sind. Unter diesen Bedingungen wird dann in zumindest außenliegenden Tei­ len der Ag-Matrix in einer Zone der Tiefe te eine entspre­ chende Ag-Legierung gebildet, wodurch die supraleitenden Teile zumindest weitgehend nicht-beeinträchtigt bleiben. Denn bei den vorliegenden Voraussetzungen findet eine Diffusion in erster Linie im Ag-Material der Matrix statt, da die Diffusi­ on aus genetischen Gründen in der Keramik des Supraleiterma­ terials stark unterdrückt ist. Da außerdem die Bildung des supraleitenden Materials bereits vollzogen ist, ist eine Schädigung dieses Materials nicht zu erwarten.In order to maintain the current carrying capacity of the superconducting strip conductor 2 shown in the figure with an Ag matrix or, if appropriate, a matrix made of an Ag pre-alloy, and nevertheless to ensure significantly improved strength when handling the conductor and lower AC losses during conductor operation, the Darge presented embodiment provided that an optimization of the Ag matrix 4 is only carried out when the strip conductor 2 has gone through the entire conventional manufacturing process. For this purpose, the strip conductor 2 is coated with a layer 5 of a thickness δ made of special elements or alloys. This coating can e.g. B. by an electroplating technique or by means of a PVD or CVD technique. The strip conductor can also be used in a different manner, e.g. B. be acted upon by a corre sponding atmosphere. The coating material is then, as is illustrated in the figure by arrowed lines 6 , diffused into the Ag matrix 4 during a specific annealing under protective gas or vacuum. During this annealing, oxygen and nitrogen should not come into contact with the conductor if non-noble metals are to be provided as coating materials. If you want to use noble metals as coating materials, the atmosphere to be selected for the annealing is not critical. The annealing should be carried out at a temperature T g , which is significantly below the heat treatment temperature for the formation of the high T c phase, so as not to damage the superconducting parts of the conductor 2 . Temperatures T g below 700 ° C. are advantageously chosen, with annealing also being possible at different annealing temperatures. Under these conditions, a corresponding Ag alloy is then formed in at least outer parts of the Ag matrix in a zone of depth t e , whereby the superconducting parts remain at least largely unaffected. Because with the present conditions, diffusion primarily takes place in the Ag material of the matrix, since the diffusion on the genetic material in the ceramic of the superconductor material is strongly suppressed. In addition, since the formation of the superconducting material has already taken place, damage to this material is not to be expected.

Um die geforderten Matrix-Eigenschaften zu gewährleisten, müssen Legierungselemente oder Komponenten einlegiert werden, die eine hinreichend hohe Festigkeit bei ausreichender Dukti­ lität und gegebenenfalls auch einen erhöhten elektrischen Wi­ derstand gewährleisten. Aus diesem Grund kommen in erster Li­ nie folgende Elemente X für das Ag-Material in Frage: X = Cd, Hg, In, Sn, Zn, Al, Ga, Mn, Pb, Sb, Au, Pt, Cu, Ge, Pd sowie Legierungen, die diese Elemente enthalten.In order to ensure the required matrix properties, alloy elements or components must be alloyed, which have a sufficiently high strength with sufficient ductility lity and possibly also an increased electrical Wi guarantee the state. For this reason, Li never consider the following elements X for the Ag material: X = Cd, Hg, In, Sn, Zn, Al, Ga, Mn, Pb, Sb, Au, Pt, Cu, Ge, Pd and alloys containing these elements.

Durch die Bildung eines entsprechenden Ag-X-Mischkristalles wird der Widerstand des Matrixmaterials in Abhängigkeit vom Element X sehr deutlich erhöht. Gleichzeitig verändern sich auch vorteilhaft die mechanischen Eigenschaften wie Festig­ keit und Duktilität.Through the formation of a corresponding Ag-X mixed crystal the resistance of the matrix material is dependent on Element X increased very significantly. Change at the same time the mechanical properties such as strength also advantageous ductility and ductility.

Selbstverständlich ist auch eine Eindiffusion mehrere Elemen­ te möglich, die entweder gleichzeitig oder nacheinander zur Eindiffusion gebracht werden. Auch eine Eindiffusion in be­ grenzten Bereichen der Oberfläche des Leiters ist möglich. Die Eindiffusion braucht sich dabei nicht über den ganzen Leiterquerschnitt zu erstrecken, sondern kann auch nur bis zu einer vorgegebenen Tiefe te erfolgen.Of course, a diffusion of several elements is also possible, which are brought to the diffusion either simultaneously or in succession. A diffusion in limited areas of the surface of the conductor is also possible. The diffusion need not extend over the entire conductor cross section, but can also only take place to a predetermined depth t e .

Ferner ergibt sich die zusätzliche Möglichkeit, Legierungs­ elemente im äußeren Bereich des Leiters 2 durch Bildung einer zweiten Phase z. B. mittels einer Oxidation (sogenannte "Dispersoid-Bildung") oder Ausscheidungsbildung zur Härte­ steigerung zu nutzen. Es ist auch eine Nitrierung in einer N2-Atmosphäre oder eine Carborierung in einer Kohlenstoffat­ mosphäre möglich, die zu härtenden Dispersoiden führt. So können in der äußeren Randschicht die Legierungselemente zur Härtung dienen, während sie im Bereich der einzelnen supra­ leitenden Leiteradern einen erhöhten Matrixwiderstand erzeu­ gen.Furthermore, there is the additional possibility of alloying elements in the outer region of the conductor 2 by forming a second phase z. B. by means of oxidation (so-called "dispersoid formation") or excretion to increase hardness. It is also possible to nitrate in an N 2 atmosphere or carburize in a carbon atmosphere, which leads to hardening dispersoids. In the outer edge layer, the alloying elements can be used for hardening, while they generate increased matrix resistance in the area of the individual superconducting conductor wires.

Nachfolgend sind einige konkrete Ausführungsbeispiele skiz­ ziert, bei denen ein supraleitender Bandleiter mit einem Querschnitt gemäß der Figur zugrundegelegt ist. Die einzelnen supraleitenden Leiteradern bestanden dabei aus dem HTS- Material (Bi, Pb)2Sr2Ca2Cu3Ox mit der sogenannten 2223-Phase, deren Sprungtemperatur Tc bei etwa 110 K liegt.In the following, some specific exemplary embodiments are outlined, in which a superconducting strip conductor with a cross section according to the figure is used. The individual superconducting conductor wires consisted of the HTS material (Bi, Pb) 2 Sr 2 Ca 2 Cu 3 O x with the so-called 2223 phase, the transition temperature T c of which is about 110 K.

Ausführungsbeispiel 1Embodiment 1

Der supraleitende Ag-Bi2223-Mehrkernbandleiter 2 wird bei­ spielsweise mittels galvanischer Abscheidung mit einer 5 µm dicken Schicht 5 aus AgSn10 überzogen und anschließend un­ ter Argon 20 Stunden lang bei 270°C geglüht, um so die Sn- Komponente des Schichtmaterials in die Ag-Matrix des Band­ leiters 2 einzudiffundieren.The superconducting Ag-Bi2223 multicore ribbon conductor 2 is coated, for example by means of electrodeposition, with a 5 μm thick layer 5 made of AgSn10 and then annealed under argon at 270 ° C. for 20 hours in order to thus transfer the Sn component of the layer material into the Ag Diffuse the matrix of the ribbon conductor 2 .

Ausführungsbeispiel 2Embodiment 2

Der Bandleiter gemäß Ausführungsbeispiel 1 wird beispiels­ weise mittels Schmelztauchens mit einer 5 µm dicken Schicht 5 aus AuGe12 überzogen und anschließend unter Argon 20 Stunden lang bei 300°C geglüht, um so das Au und Ge in die Ag-Matrix 4 des Bandleiters 2 einzudiffundieren. The strip conductor according to exemplary embodiment 1 is coated, for example by means of hot dipping, with a 5 μm thick layer 5 of AuGe12 and then annealed under argon for 20 hours at 300 ° C. in order to diffuse the Au and Ge into the Ag matrix 4 of the strip conductor 2 .

Ausführungsbeispiel 3Embodiment 3

Der Bandleiter gemäß Ausführungsbeispiel 1 wird beispiels­ weise bei 300°C in einer speziellen Gasatmosphäre, die gas­ förmiges Bi-Chlorid enthält, mit Bi beaufschlagt, um so das Bi in die Ag-Matrix 4 des Bandleiters 2 einzudiffundieren. Für die Eindiffusion wird z. B. ein Zeitraum von 10 Stunden vorgesehen.The strip conductor according to exemplary embodiment 1 is acted upon with Bi at 300 ° C. in a special gas atmosphere which contains gaseous Bi chloride, so as to diffuse the Bi into the Ag matrix 4 of the strip conductor 2 . For the diffusion z. B. provided a period of 10 hours.

Ausführungsbeispiel 4Embodiment 4

Bei jedem der Ausführungsbeispiele 1 bis 3 kann zusätzlich durch eine innere Oxidation, z. B. während 10 Stunden bei 600°C an Luftatmosphäre, mit einer 10 bis 25 µm dicken, ge­ härteten Randschicht versehen werden, die Oxide der Elemen­ te X enthält (vgl. auch "Journal of Alloys and Compounds", Vol. 188, 1992, Seiten 268 bis 271). So kann z. B. das gemäß dem Ausführungsbeispiel 1 eindiffundierte X-Element Sn in einer Dispersoid-Bildung in SnO-Partikel überführt werden. Der innere Bereich mit den Leiterkernen 3i und der sie um­ gebenden Ag-Sn-Matrix bleibt davon gänzlich unberührt.In each of the embodiments 1 to 3 can additionally by an internal oxidation, for. B. for 10 hours at 600 ° C in an air atmosphere, with a 10 to 25 microns thick, ge hardened surface layer containing the oxides of the elements X Te (see also "Journal of Alloys and Compounds", Vol. 188, 1992 , Pages 268 to 271). So z. B. the X-element Sn diffused in accordance with embodiment 1 can be converted into SnO particles in a dispersoid formation. The inner area with the conductor cores 3 i and the Ag-Sn matrix surrounding them remains completely unaffected by this.

Ausführungsbeispiel 5Embodiment 5

Die Ausführungsbeispiele 1 und 2 können auch nacheinander ausgeführt werden.The exemplary embodiments 1 and 2 can also be in succession be carried out.

Bei den vorstehenden Ausführungsbeispielen wurde davon ausge­ gangen, daß die Eindiffusion der mindestens einen Legierungs­ komponente zu dem Ag-Material der Matrix nach dem letzten Verformungsschritt zur Ausbildung der endgültigen Form des Supraleiters erfolgt. Die erfindungsgemäße Eindiffusion von zusätzlichen Elementen in das Ag-Material der Matrix zur Er­ höhung der Härte des normalleitenden Materials und gegebenen­ falls zu einer damit verbundenen Widerstandserhöhung ist jedoch nicht auf eine Nachbehandlung des hergestellten Supra­ leiters beschränkt, sondern kann auch während des gesamten Herstellungsprozesses vorgenommen werden. So kann an einer beliebigen Stelle während der Leiter-Produktion eine Härtung durchgeführt werden, ohne den Leiter mechanisch zu belasten. Die Widerstandserhöhung durch das erfindungsgemäße Eindiffun­ dieren kann ebenso zu einem beliebigen Zeitpunkt erfolgen. So läßt sich z. B. die zusätzliche Legierungskomponente während einer sogenannten thermo-mechanischen Behandlung eindiffun­ dieren. Eine solche Behandlung setzt sich aus Glüh- und wei­ teren Verformungsschritten zusammen, um die gewünschte supra­ leitenden Hoch-Tc-Phase auszubilden und ein dem Supraleiter­ material eine für eine hohe kritische Stromdichte hinreichen­ de Textur zu erzeugen. Gegebenenfalls kann zwischen den wei­ teren Verformungsschritten der thermo-mechanischen Behandlung eine besondere Wärmebehandlung vorgesehen sein. Auch können die Verformungsschritte bei erhöhter Temperatur erfolgen und/oder mit der Glühbehandlung zur Ausbildung der gewünsch­ ten supraleitenden Phase kombiniert sein. Der Vorteil einer Eindiffusion beispielsweise innerhalb der thermomechanischen Behandlung vor der letzten Glühung die Härtung während dieser Glühung liegt in der erhöhten Festigkeit des fertigen Band­ leiters nach der letzten Glühung. Wenn die Festigkeitsanfor­ derungen schon an den geglühten Leiter gestellt sind, um ge­ gebenenfalls Schädigungen des fertiggeglühten Leiters auszu­ schließen, ist ein entsprechendes Vorgehen besonders vorteil­ haft.In the above exemplary embodiments, it was assumed that the diffusion of the at least one alloy component into the Ag material of the matrix takes place after the last deformation step to form the final shape of the superconductor. The diffusion of additional elements according to the invention into the Ag material of the matrix to increase the hardness of the normally conductive material and, if appropriate, to an associated increase in resistance is, however, not limited to aftertreatment of the manufactured super conductor, but can also be carried out during the entire manufacturing process . This means that hardening can be carried out at any point during the production of the conductor without mechanically stressing the conductor. The increase in resistance due to the diffusion according to the invention can also take place at any time. So z. B. diffuse the additional alloy component during a so-called thermo-mechanical treatment. Such a treatment is composed of annealing and further deformation steps in order to form the desired superconducting high-T c phase and to produce a texture that is sufficient for a high critical current density and the superconductor material. If necessary, a special heat treatment can be provided between the further deformation steps of the thermo-mechanical treatment. The deformation steps can also be carried out at elevated temperature and / or combined with the annealing treatment to form the desired superconducting phase. The advantage of a diffusion, for example within the thermomechanical treatment before the last annealing, the hardening during this annealing lies in the increased strength of the finished strip conductor after the last annealing. If the strength requirements are already placed on the annealed conductor in order to exclude any damage to the finished annealed conductor, a corresponding procedure is particularly advantageous.

Um beispielsweise die Stromtragfähigkeit eines Rein-Silber­ leiters so gut wie möglich zu erhalten und trotzdem eine deutlich verbesserte Festigkeit und geringere Wechselstrom­ verluste zu gewährleisten, kann insbesondere das erfindungs­ gemäße Verfahren derart durchgeführt werden, daß die Optimie­ rung der Matrix teilweise während der thermomechanischen Behandlung und zum Teil erst nach der thermomechanischen Be­ handlung durchgeführt wird.For example, the current carrying capacity of a pure silver leader as good as possible and still get one significantly improved strength and lower alternating current To ensure losses, especially the invention appropriate procedures are carried out such that the optimization Part of the matrix during the thermomechanical treatment  and partly only after the thermomechanical loading action is carried out.

Da im Rahmen einer derartigen thermomechanischen Behandlung im allgemeinen eine Glühung in einer Atmosphäre mit reduzier­ tem Sauerstoffpartialdruck erfolgt, kann eine innere Oxidati­ on von unedlen Elementen auftreten, die dann nicht mehr für eine Erhöhung des Matrix-Widerstandes zur Verfügung stehen. Deshalb ist es vorteilhaft, daß während oder vor der thermo­ mechanischen Behandlung nur eine Veränderung bzw. Erhöhung der Festigkeit erreicht wird. Eine Widerstandssteigerung mit­ tels unedlen Elementen sollte demnach erst nach der thermome­ chanischen Behandlung durch Elementbeaufschlagung und Eindif­ fusion unter Schutzgas oder Vakuum erfolgen. Es ergibt sich somit ein zweigeteilter Prozeß: Härtung durch Beschichtung, Diffusion und Aushärtung während der thermomechanischen Be­ handlung bzw. vor deren letzter Glühung und eine Steigerung des elektrischen Widerstandes nach der thermomechanischen Be­ handlung.As part of such a thermomechanical treatment generally an annealing in an atmosphere with reduced If there is partial oxygen pressure, an internal oxidation can occur on base elements that are no longer for an increase in the matrix resistance are available. It is therefore advantageous that during or before the thermo mechanical treatment only a change or increase the strength is achieved. An increase in resistance with Base elements should therefore only be used after the thermome chanic treatment through element loading and diff fusion under protective gas or vacuum. It follows thus a two-part process: hardening by coating, Diffusion and curing during thermomechanical loading action or before its last glow and an increase the electrical resistance according to the thermomechanical loading action.

Widerstands- und Festigkeitssteigerungen durch edle Legie­ rungselemente wie z. B. Au, Pd, die unter den üblichen Verfah­ rensbedingungen oder thermomechanischen Behandlung keine che­ mische Reaktion eingehen, können auch schon während der Band­ leiterherstellung durchgeführt werden.Resistance and strength increases through noble alloy approximately elements such. B. Au, Pd, which under the usual procedure conditions or thermomechanical treatment can get mixed reaction, even during the band conductor production can be carried out.

Ausführungsbeispiel 6Embodiment 6

Vor einer dritten Glühbehandlung während einer thermomecha­ nischen Behandlung bringt man mittels galvanischer Abschei­ dung eine AgIn10-Beschichtung 5 auf den Bandleiter 2 auf. Es schließt sich nun eine modifizierte Glühung an, da bei etwa 800°C und in einer Sauerstoffatmosphäre das In sofort oxidieren würde und somit nicht eindiffundieren kann und die Sauerstoffdiffusion behindert. Es wird aus diesem Grund zunächst bei 600°C 50 Stunden lang unter Schutzgasatmosphä­ re die Eindiffusion vorgenommen, bevor man die üblichen Reaktionsparameter der Glühbehandlung bei den üblichen Tem­ peraturen und in der üblichen Sauerstoffatmosphäre ein­ stellt. Nachdem die thermomechanische Behandlung abge­ schlossen ist, bringt man gemäß dem vorstehend beschriebe­ nen Verfahren beispielsweise Sb in die Silbermatrix ein, um so den Widerstand deutlich zu steigern.Before a third annealing treatment during a thermomechanical treatment, an AgIn10 coating 5 is applied to the strip conductor 2 by means of galvanic deposition. This is followed by a modified annealing, since at about 800 ° C and in an oxygen atmosphere the In would oxidize immediately and thus cannot diffuse in and hinder oxygen diffusion. For this reason, the diffusion is first carried out at 600 ° C. for 50 hours under a protective gas atmosphere before the usual reaction parameters of the annealing treatment are set at the usual temperatures and in the usual oxygen atmosphere. After the thermomechanical treatment has been completed, Sb is introduced into the silver matrix, for example, in accordance with the method described above, in order to significantly increase the resistance.

Claims (11)

1. Verfahren zur Herstellung eines langgestreckten Supralei­ ters mit mindestens einer supraleitenden Leiterader, welche ein Supraleitermaterial mit einer metalloxidischen Hoch-Tc- Phase aufweist, die von einem normalleitenden Ag-haltigen Ma­ terial umgeben ist, mit welchem Verfahren ein von dem normal­ leitenden Material umgebenes Leitervorprodukt mit einem Vor­ material des Supraleitermaterials erstellt wird, das mehreren Verformungsschritten und mindestens einer Wärmebehandlung un­ terzogen wird, wobei in das normalleitende, aus Ag oder einer Ag-Vorlegierung bestehende Material von außen wenigstens eine die Härte des normalleitenden Materials erhöhende Legierungs­ komponente in zumindest außenliegende Teile dieses normallei­ tenden Materials eindiffundiert wird, dadurch ge­ kennzeichnet, daß nach dem abschließenden Ver­ formungsschritt und/oder nach mindestens einem der vorherge­ henden Verformungsschritte sowie nach der Wärmebehandlung zur Ausbildung der Hoch-Tc-Phase die Eindiffusion der wenigstens einen Legierungskomponente des normalleitenden Materials vor­ genommen wird. 1. A method for producing an elongated Supralei ters with at least one superconducting conductor wire, which has a superconductor material with a metal oxide high-T c - phase, which is surrounded by a normal conductive Ag-containing material, with which method one of the normal conductive material Surrounded preliminary conductor product is created with a pre material of the superconductor material, which is subjected to several deformation steps and at least one heat treatment, wherein in the normally conductive material consisting of Ag or an Ag pre-alloy from the outside at least one alloy component increasing the hardness of the normally conductive material in at least external parts of this normallei tend material is diffused, characterized in that after the final deformation step and / or after at least one of the preceding deformation steps and after the heat treatment to form the high T c phase, the diff fusion of the at least one alloy component of the normal conductive material is made before. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Eindiffusion der wenigstens einen Legierungskomponente bei einer Temperatur vorgenommen wird, die unterhalb einer Wärmebehandlungstemperatur zur Ausbildung der Hoch-Tc-Phase liegt.2. The method according to claim 1, characterized in that the diffusion of the at least one alloy component is carried out at a temperature which is below a heat treatment temperature to form the high-T c phase. 3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Eindiffusion bei einer Temperatur von höchstens 700°C vorgenommen wird.3. The method according to claim 2, characterized records that the diffusion at a temperature of a maximum of 700 ° C. 4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da­ durch gekennzeichnet, daß die Eindiffu­ sion im Vakuum oder unter einer Schutzgasatmosphäre vorgenom­ men wird. 4. The method according to any one of claims 1 to 3, because characterized in that the diffusion sion in a vacuum or under a protective gas atmosphere men will.   5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekenn­ zeichnet, daß eine Schutzgasatmosphäre vorgesehen wird, die zumindest weitgehend frei von Sauerstoff oder Stickstoff ist.5. The method according to claim 4, characterized records that a protective gas atmosphere is provided that is at least largely free of oxygen or Is nitrogen. 6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, da­ durch gekennzeichnet, daß als einzudif­ fundierende Legierungskomponente wenigstens eines der Elemen­ te Cd, Hg, In, Sn, Zn, Al, Ga, Mn, Pb, Sb, Au, Pt, Cu, Ge, Pd oder eine Legierung vorgesehen wird, die zumindest eines die­ ser Elemente enthält.6. The method according to any one of claims 1 to 5, there characterized in that as diffusion founding alloy component of at least one of the elements te Cd, Hg, In, Sn, Zn, Al, Ga, Mn, Pb, Sb, Au, Pt, Cu, Ge, Pd or an alloy is provided which is at least one of the contains elements. 7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, daß die wenig­ stens eine Legierungskomponente in Form einer Schicht (5) auf das normalleitende Material (4) aufgebracht wird.7. The method according to any one of claims 1 to 6, that the least least an alloy component in the form of a layer ( 5 ) is applied to the normally conductive material ( 4 ). 8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Schicht (5) mittels einer Galva­ nik-Technik oder einer PVD-Technik oder CVD-Technik aufge­ bracht wird.8. The method according to claim 7, characterized in that the layer ( 5 ) is brought up by means of a galvanic technology or a PVD technology or CVD technology. 9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6, da­ durch gekennzeichnet, daß die wenig­ stens eine Legierungskomponente in einer diese Komponente enthaltenden Atmosphäre in das normalleitende Material ein­ diffundiert wird.9. The method according to any one of claims 1 to 6, there characterized by that the little least an alloy component in one of these components containing atmosphere in the normal conductive material is diffused. 10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 9, da­ durch gekennzeichnet, daß nach der Ein­ diffusion der wenigstens einen Legierungskomponente in einem äußeren Bereich des legierten normalleitenden Materials die eindiffundierte Legierungskomponente in einer vorbestimmten Gasatmosphäre zu einem das Element der Gasatmosphäre enthal­ tenden Material umgewandelt wird. 10. The method according to any one of claims 1 to 9, there characterized in that after the one diffusion of the at least one alloy component in one outer area of the alloyed normal conducting material diffused alloy component in a predetermined Gas atmosphere to contain the element of the gas atmosphere material is converted.   11. Verfahren nach Anspruch 10, gekennzeichnet durch eine Nitrierung in einer N2-Atmosphäre oder eine Carbo­ rierung in einer Kohlenstoffatmosphäre oder eine Oxidation in einer sauerstoffhaltigen Atmosphäre.11. The method according to claim 10, characterized by a nitration in an N 2 atmosphere or a carbo ration in a carbon atmosphere or an oxidation in an oxygen-containing atmosphere.
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