DE1965448A1 - Method and arrangement for recording point holograms - Google Patents

Method and arrangement for recording point holograms

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Erhard Klotz
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    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/32Holograms used as optical elements

Description

PatentanwaltPatent attorney

Anmelder: PhUI1-J Pcftenivarwaifung GmbH.Applicant: PhUI 1 -J Pcftenivarwaifung GmbH.

Akte No. PHD- 1369
Anmeldung vom: "J 9 . DeZ . 1969
File No. PHD- 1369
Registration dated: "J 9. Dec. 1969

PHILIPS PATENTVERWALTUNG GMBH., 2 HAMBURG 1, MÖNCKEBERGSTR.PHILIPS PATENTVERWALTUNG GMBH., 2 HAMBURG 1, MÖNCKEBERGSTR.

"Verfahren und Anordnung zur Aufnahme von Punkthologrammen""Procedure and arrangement for recording point holograms"

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Anordnung zur Aufnahme von Punkthologrammen mit einem durch Verschiebung der Punktlichtquelle und wiederholtes Belichten hergestellten Punkthologramm.The present invention relates to a method and an arrangement for recording point holograms with a point hologram produced by shifting the point light source and repeated exposure.

Ein wichtiges Anwendungsgebiet der Punkthologramme liegt in der Halbleitertechnologie, wo man solche Hologramme zur Abbildung und Bildvervielfachung von IC-Ätzmasken ausnutzen möchte. Diese holographischen Verfahren sind bekannt. Andere Anwendungen liegen auf den Gebieten der optischen Datenverarbeitung, der optischen Datenspeicherung und der Herstellung synthetischer Hologramme.An important area of application for point holograms is in semiconductor technology, where such holograms are used for imaging and take advantage of image multiplication from IC etch masks would like to. These holographic methods are known. Other applications are in the fields of optical data processing, optical data storage and the production of synthetic holograms.

Zur Aufnahme dieser Punkthologramme sind zwei grundsätzliche Verfahren bekannt:Two basic methods are known for recording these point holograms:

a) Von einem Linsenraster wird ein Hologramm aufgenommen. Die Anforderungen der Halbleitertechnologie, großes Auflösungsvermögen und gute Abbildungsqualität, können diese bekannten Linsenraster nicht erfüllen. Mit einer Lochmatrix mit Bohrungen von ca. 1 yum 0, die man in die Brennpunkte dieses Linsenrasters stellt, könnte man die Abbildungsqualität und das Auflösungsvermögen entscheidend verbessern. Wegen der großen Pertigungatoleranz der Linsenraster ist die Herstellung einer solchen identischen Lochmatrix sehr schwierig»a) A hologram is recorded from a lenticular lens. These known lens grids cannot meet the requirements of semiconductor technology, high resolution and good image quality. With a matrix of holes with holes of approx. 1 μm 0, which are placed in the focal points of this lens grid, the image quality and the resolution could be improved decisively. Because of the large manufacturing tolerance of the lens grids, the production of such an identical hole matrix is very difficult »

109827/1341 ~ 2 "109827/1341 ~ 2 "

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Man ist an bestimmte Rasterabstände gebunden. Die Rasterabstände können auch nicht beliebig klein gemacht werden.You are bound to certain grid spacings. The grid spacing cannot be made arbitrarily small will.

b) Bei einer anderen Aufnahmetechnik wird durch schrittweises Verschieben einer Punktlichtquelle und wiederholtes Belichten das Punkthologramm aufgenommen. Bei dieser schrittweisen Aufnahme des Punkthologramms ist eine Strahlnachführung entsprechend der Verschiebung der Punktlichtquelle notwendig. Für diesen Zweck sind Strahlnachführungen mit Lichtleitern bekannt. Die Lichtleiter haben die nachteilige Eigenschaft, daß sie teilweise die räumliche Kohärenz des Laserstrahles zerstören oder zu große Verluste besitzen. Die schrittweise Herstellung des Hologramms hat grundsätzlich den Nachteil, daß die wiederholte Belichtung einen schlechten Hologrammwirkungsgrad zur Folge hat.b) Another recording technique involves moving a point light source step-by-step and repeating Exposing the point hologram recorded. With this step-by-step recording of the point hologram beam tracking is necessary according to the displacement of the point light source. For this Beam tracking with light guides are known for this purpose. The light guides have the disadvantageous property that they partially destroy the spatial coherence of the laser beam or have excessive losses. The step-by-step production of the hologram basically has the disadvantage that the repeated exposure results in poor hologram efficiency.

Aufgabe der Erfindung ist es, die Linsenloch-Matrix mit ihren Nachteilen zu eliminieren. Das wird dadurch gelöst, daß von einem schrittweise aufgenommenen Punkthologramm das reelle Bild des Punktrasters erzeugt wird, die weiterlaufende Wellenfront mit einer neuen Referenzwelle einer in der Ebene der reellen Punkt-Raster-Konstruktion befindlichen Punktlicht-Referenzquelle zur Interferenz gebracht und das Interferenzmuster auf einer Photoplatte aufgezeichnet wird.The object of the invention is to eliminate the lens hole matrix and its disadvantages. This is solved in that the real image of the dot grid is generated by a step-by-step recorded point hologram, the ongoing one Wavefront with a new reference wave one in the plane the real point-grid construction located point light reference source brought to interference and the interference pattern is recorded on a photographic disc.

Bei diesem schrittweise hergestellten Punkthologramm sind für die Aufnahme nur zwei Lochblenden von je ca. 1 /um 0 erforderlich. Das nach der Erfindung hergestellte Hologramm hat bessere Abbildungseigenschaften als herkömmliche Linsenraster, während gegenüber der bisher bekannten schrittweisen Aufnahmetechnik mit ihrem schlechten Wirkungsgrad bei der beschriebenen neuen Aufnahmeart der Wirkungsgrad erheblich ver-With this step-by-step produced point hologram, only two pinhole diaphragms of approx. 1 / um 0 each are required for the recording. The hologram produced according to the invention has better imaging properties than conventional lenticular screens, while compared to the previously known step-by-step recording technique with its poor efficiency in the described new recording type, the efficiency is considerably lower.

109827/1341 " 3 "109827/1341 " 3 "

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bessert wird. Das schrittweise herzustellende Punkthologramm kann sehr leicht und mit guten Abbildungseigenschaften aufgenommen werden, wobei jedes beliebige Rastermaß einstellbar ist. Letzteres ist besonders wichtig, wenn man sogen, synthetische Hologramme aufnehmen will. Die Herstellung einer solchen Lochblende mit einem einzigen Loch bereitet keine Schwierigkeiten, und vor allem haben alle Bildpunkte dieselbe Qualität.is improved. The point hologram to be produced step-by-step can be very easy and with good imaging properties can be recorded, with any pitch can be set. The latter is particularly important when you suck wants to record synthetic holograms. There is no need to manufacture such a pinhole diaphragm with a single hole Difficulties, and most importantly, all pixels are of the same quality.

Die Zeichnung stellt Ausführungsbeispiele der Erfindung dar. Es zeigenThe drawing illustrates exemplary embodiments of the invention. They show

Pig. 1 eine Anordnung zur Aufnahme des Hologramms,Pig. 1 an arrangement for recording the hologram,

Pig. 2 eine Anordnung zur schrittweisen Aufnahme von Punkthologrammen. Pig. 2 shows an arrangement for the step-by-step recording of point holograms.

Der von einem Laser kommende Strahl wird durch einen Strahlenteiler 1 in die Teilstrahlen 2 und 3 zerlegt. Ein aus Reflexionsprismen bestehendes Umlenksystem 4 benötigt man für einen Weglängenabgleich der Teilstrahlen 2 und 3. Mit Teilstrahl 2 wird in bekannter Weise mit Hilfe der Punktlichtquelle 5 und der Abbildungsoptik 6 die konjugiert komplexe Referenzwelle erzeugt, die für die Rekonstruktion des reellen Punktrasters 7 vom Punkthologramm 8 benötigt wird. Hinter diesem Punktraster befindet sich ein optisches Abbildungssystem 9, das die Austrittspupille des Punkthologramms in die Ebene des neu herzustellenden Punkthologramms 10 abbildet. Dadurch wird eine vollständige Informationsübertragung erreicht.The beam coming from a laser is split through a beam splitter 1 split into partial beams 2 and 3. A deflection system 4 consisting of reflection prisms is required for a path length adjustment of the partial beams 2 and 3. With partial beam 2 is in a known manner with the help of the point light source 5 and the imaging optics 6 generate the complex conjugate reference wave that is used for the reconstruction of the Real dot grid 7 from the point hologram 8 is required. An optical imaging system is located behind this point grid 9, which images the exit pupil of the point hologram in the plane of the point hologram 10 to be newly produced. A complete transfer of information is thereby achieved.

Das Abbildungssystem 9 kann zusätzlich so beschaffen sein, daß es die Abbildungsfehler des neu hergestellten Punkthologramms bei der Rekonstruktion differentiell korrigiert.The imaging system 9 can additionally be designed in such a way that it detects the imaging errors of the newly produced point hologram corrected differentially during reconstruction.

Der Teilstrahl 3 dient zur Beleuchtung einer neu eingeführ-The partial beam 3 is used to illuminate a newly introduced

109827/1341109827/1341

ten Punktlichtreferenzquelle 1.1, die sich in der Ebene der reellen Punktraster-Rekonstruktion befindet. Die Referenzwelle interferiert mit der Wellenfront des Punktrasters. Das Interferenzmuster wird auf einer Photoplatte 10 in an sich bekannter Weise als Amplituden- oder Phasenhologramm aufgezeichnet. Um evtl. durch die linse 9 bedingte Abbildungsfehler zu kompensieren, ist es zweckmäßig, bei der Rekonstruktion diese Linse in der der Aufnahme entsprechenden Position in den Strahlengang einzufügen.th point light reference source 1.1, which is located in the plane of the real point grid reconstruction. The reference wave interferes with the wavefront of the dot matrix. The interference pattern is on a photo plate 10 in itself recorded in a known manner as an amplitude or phase hologram. In order to compensate for any imaging errors caused by the lens 9, it is useful to carry out the reconstruction insert this lens in the position corresponding to the recording in the beam path.

Eine Strahlnachführung mit Umlenkprismen, für die auch Spiegel verwendet werden können, die die schrittweise Aufnahme von Punkthologrammen in einfacher Weise ermöglicht und die Nachteile einer Liehtnachführung mit einem Lichtleiter behebt, wird anhand der Fig. 2 beschrieben.Beam tracking with deflecting prisms, for which mirrors can also be used, which allow the gradual recording of point holograms in a simple way and eliminates the disadvantages of light tracking with a light guide, is described with reference to FIG.

Ein Strahlenteiler 12 zerlegt einen ankommenden kollimierten Laserstrahl in die Teilstrahlen 13 und 14. Die optische Abgleichvorrichtung 15 ist für einen Weglängenabgleich der Teilstrahlen 13 und 14 erforderlich. Der Teilstrahl 13 dient zur Beleuchtung der Referenzpunktlichtquelle 16. Der Teilstrahl wird über den Strahlenteiler und ein festes Umlenkprisma 17 in eine festgelegte Position gelenkt. Die Umlenkprismen 18 und 19 und die Punktlichtquelle 20, bestehend aus einem kurzbrennweitigen Mikroskopobjektiv, in dessen Brennpunkt sich eine kleine Lochblende befindet, sind gemeinsam auf einem Support montiert. Eine seitliche Parallelverschiebung des Laserstrahls erreicht man, indem die Umlenkprismen 18 und gleichzeitig seitlich bewegt werden. Eine Höhenverstellung ist möglich durch eine vom Umlenkprisma 18 getrennte Höhenverstellung von Umlenkprisma 19. Die getrennte Bewegung ist erforderlich, weil die Strahlhöhe von Umlenkprisma 17 festliegt. Mit Umlenkprisma 19 kann weiterhin die Strahlrichtung parallel zum Teilstrahl 13 oder auch jede andere Richtung eingestellt werden. Die aus den Punktlichtquellen 16 und 20A beam splitter 12 splits an incoming collimated laser beam into partial beams 13 and 14. The optical alignment device 15 is required for a path length adjustment of the partial beams 13 and 14. The partial beam 13 is used for Illumination of the reference point light source 16. The partial beam is transmitted via the beam splitter and a fixed deflecting prism 17 steered into a fixed position. The deflecting prisms 18 and 19 and the point light source 20, consisting of a short focal length Microscope objective, in the focal point of which there is a small pinhole, are together on one Support mounted. A lateral parallel displacement of the laser beam is achieved by the deflecting prisms 18 and be moved sideways at the same time. A height adjustment is possible by means of a height adjustment that is separate from the deflecting prism 18 of deflecting prism 19. The separate movement is necessary because the beam height of deflecting prism 17 is fixed. With the deflecting prism 19, the beam direction can continue to be parallel to the partial beam 13 or any other direction can be set. Those from point light sources 16 and 20

10 9 8 2 7/1341 " 5 ~10 9 8 2 7/1341 " 5 ~

19654_4f._19654_4f._

austretenden Kugelwellen werden zur Interferenz gebracht und das Interferenzmuster auf einer Photoplatte 21 aufgezeichnet. Die Vorteile der zweischrittigen Aufnahmetechnik wären mit herkömmlichen Techniken nur bei größerem Aufwand erreichbar.Exiting spherical waves are brought to interference and the interference pattern is recorded on a photo plate 21. The advantages of the two-step recording technique with conventional techniques would only be with greater effort accessible.

PATENTANSPRÜCHE:PATENT CLAIMS:

HHJ i) 'A 1 / \*\h 1HHJ i) 'A 1 / \ * \ h 1

Claims (6)

PATENTANSPRÜCHE:PATENT CLAIMS: Verfahren und Anordnung zur Aufnahme von Punkthologrammen mit einem durch Verschiebung der Punktlichtquelle und wiederholtes Belichten hergestellten Punkthologramm, dadurch gekennzeichnet, daß von einem schrittweise aufgenommenen Punkthologramm das reelle Bild des Punktrasters erzeugt wird, die weiterlaufende Wellenfront mit einer neuen Referenzwelle einer in der Ebene der reellen Punktraster-Konstruktion befindlichen Punktlicht-Referenzwelle zur Interferenz gebracht und das Interferenzmuster auf einer Photoplatte aufgezeichnet wird.Method and arrangement for recording point holograms with a by shifting the point light source and repeated exposure produced point hologram, characterized in that from a step-by-step recorded point hologram the real image of the dot matrix is generated, the continuing wave front with a new reference wave brought point light reference wave located in the plane of the real point grid construction to interference and the interference pattern is recorded on a photographic plate. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Aufnahme des Ausgangshologramms für die schrittweise Verschiebung der Punktlichtquelle der beleuchtende koilimierte Laserstrahl über Umlenkelemente nacheinander Ln Richtung der Verschiebekoordinaten gelentt wird, und daß für die Verschiebung In einer Koordinatenrichtung jeweils das in der entsprechenden Ausbreitungsrichtung stehende Umlenke lernent so verschoben wird, daß der auf treffende Strahl verkürzt- oder verlängert wird, und die Positionen der jeweils folgenden Umlenkelemente in bezug auf day bewegte Umlenkelftmerit konstant bleiben.2. The method according to claim 1, characterized in that for recording the output hologram for the step-by-step shift the point light source the illuminating coilimized The laser beam is directed one after the other via deflection elements in the direction of the displacement coordinates, and that for the displacement In one coordinate direction, that in the corresponding one The deflection in the direction of propagation learns to be shifted in this way is that the impinging beam is shortened or lengthened, and the positions of the subsequent deflecting elements Umlenkftmerit was constant in relation to day stay. 3. Anordnung zur Durchführung des Verfahron^ n-ich Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß sich hin to?.1 der Ebene dea reellen Bildes (7) ein optischen A.bbi idungöB.y j te:ii (Q) befindet, day die Aus tr Lttopupille des yunächat Punkbho Logramins (8) in die Ebene des neu a Punkbho Logramms (K)J abbildet,3. Arrangement for carrying out the Verfahron ^ n-I claim I, characterized in that to ?. 1 of the plane of the real image (7) an optical image is located: ii (Q), day the Aus tr Lttopupille of the yunächat Punkbho Logramins (8) in the plane of the new a Punkbho Logram (K) J maps , 4. Anordnung nach Anspruch 3, dadurch gekeimt ei ei daß daa Abbildungssystem (9) so beschaffen Ujt, daß so bei dar Rekonstruktion mit dem neu herden te llben Punittho lograiam (10)4. Arrangement according to claim 3, thereby germinated egg egg that the imaging system (9) is designed in such a way that so at reconstruction with the newly herd te llben Punittho lograiam (10) 10 9 8 2 7/]U1 " 7 ~10 9 8 2 7 /] U1 " 7 ~ 1965U8 - Y- 1965U8 - Y- dessen Abbildungsfehler bei derselben Position wie bei der Aufnahme differentiell korrigiert.its aberration in the same position as in the Image corrected differentially. 5. Anordnung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Punktlichtquelle eine durch den mittels eines Strahlenteilers (12) abgeteilten laserstrahl beleuchtete Lochblende (20) ist und die Umlenkelemente aus Spiegeln oder Prismen (17, 18, 19) bestehen. 5. Arrangement for performing the method according to claim 2, characterized in that the point light source a perforated diaphragm (20) illuminated by the laser beam split off by means of a beam splitter (12) and the deflecting elements consist of mirrors or prisms (17, 18, 19). 6. Anordnung nach Anspruch 3 oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß eine aus Reflexionsprismen bestehende optische Abgleichsvorrichtung (4 bzw. 5) im Strahlengang der konjugierten komplexen Referenzwelle (2 bzw. 13) angeordnet ist.6. Arrangement according to claim 3 or one of the following, characterized in that an optical adjustment device consisting of reflection prisms (4 or 5) is arranged in the beam path of the conjugate complex reference wave (2 or 13). 7/13417/1341
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