DE19640773A1 - Measurement sensor for flow speeds of liquids and gases - Google Patents

Measurement sensor for flow speeds of liquids and gases

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Abstract

The sensor has a casing (2) and a sensor (1) with a spherical end (3) facing the medium to be measured. Sensor and spherical end are manufactured from a homogeneous material and the end is open only in the direction towards the casing. Electrical measuring elements (6,7) are located inside the spherical end, electrically, but not thermally, insulated from inner wall of the spherical section, one of which (6) is heated electrically. The wall thickness (5) at the edge of the inner section is reduced and the end internal section is in the form of a trough (12).

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Meßfühler, insbesondere zur Erfassung der Strömungsgeschwindigkeit flüssiger, pasteuser oder gasförmiger Medien. Er besitzt einen vorzugsweise metal­ lischen in eine Wandung einschraubbaren Gehäuseteil und weist ein die elektronischen Meßelemente aufnehmenden Sensorteil auf. Mindestens eines der Sensorelemente ist durch einen elek­ trischen Strom beheizt. Es ist elektrisch isoliert aber wärme­ leitend mit der stirnseitigen Innenwandung des Sensorteils ver­ bunden.The invention relates to a sensor, in particular to measure the flow velocity of liquid, paste users or gaseous media. It preferably has a metal and screw into a wall a sensor part receiving the electronic measuring elements on. At least one of the sensor elements is by an elec heated electricity. It is electrically insulated but warm ver conductive with the front inner wall of the sensor part bound.

Der eingangs beschriebene Meßfühler wird in Verbindung mit den in seinem Inneren untergebrachten elektronischen Kompo­ nenten dazu benutzt, die Strömungsgeschwindigkeit flüssiger, pasteuser oder gasförmiger Medien zu erfassen. Zu diesem Zweck wird der Meßfühler in der Weise mit dem Medium in Kontakt gebracht, daß sein Gehäuseteil in eine Wandung ein­ geschraubt wird, die das Meßmedium vom Außenraum trennt und der Sensorteil in dieses Medium, das Meßmedium, eintaucht. Diese Technik ist z. B. in der DE 42 33 284 A1 aufgezeigt.The sensor described at the beginning is used in conjunction with the electronic compo housed inside used to make the flow velocity more fluid, to detect pasteuser or gaseous media. To this The purpose of the sensor is in the way with the medium in Contact brought that his housing part into a wall is screwed, which separates the medium from the outside and the sensor part is immersed in this medium, the measuring medium. This technique is e.g. B. shown in DE 42 33 284 A1.

Es gibt unterschiedliche bekannte Techniken, bei denen die elektrischen Meßelemente im Innenraum eines Meßfühlers stirnseitig eingebracht sind. In der DE 37 13 981 A1 oder der DE 39 43 437 C2 sind die elektrischen Meßelemente elek­ trisch isoliert aber wärmeleitend mit dem stirnseitigen Teil dieses geschlossenen Zylinders verbunden. In der DE 39 33 689 A1 ist ein Meßfühler beschrieben, dessen Sensor­ teil, der in das Meßmedium eintaucht, flach ausgebildet ist. Der Durchmesser des Sensorteils entspricht etwa demjenigen des Gehäuseteils. There are different known techniques in which the electrical measuring elements in the interior of a sensor are introduced at the front. In DE 37 13 981 A1 or DE 39 43 437 C2 are the electrical measuring elements elek trisch insulated but thermally conductive with the front Part of this closed cylinder connected. In the DE 39 33 689 A1 describes a sensor whose sensor part that is immersed in the measuring medium, is flat. The diameter of the sensor part corresponds approximately to that of the housing part.  

In der DE 42 33 284 A1 ist ein Meßfühler beschrieben, dessen Sensorteil kegelstumpfförmig ausgebildet ist, wobei das die Strömung erfassenden Sensorelement im flachen Teil des Kegelstumpfes innerhalb des Meßgehäuses angeordnet ist. Bei dieser Lösung sind keine Maßnahmen getroffen, Druckänderungen des Mediums aufzufangen, oder einen kontinuierlichen Strö­ mungsfluß zu erzeugen.DE 42 33 284 A1 describes a sensor whose Sensor part is frustoconical, the the flow sensing sensor element in the flat part of the Truncated cone is arranged within the measuring housing. At No measures have been taken in this solution, pressure changes of the medium, or a continuous flow generating flow.

Allen diesen bekannten Techniken ist gemeinsam, daß die die Strömung erfassenden Meßelemente in demjenigen Sensorteil angeordnet sind, der flach ausgebildet ist. Die Folge dieser Geometrie ist ein diskontinuierlicher Strömungsverlauf, der je nach Viskosität des Strömungsgeschwindigkeit eine Wirbel­ bildung veranlaßt und damit zu einer Verfälschung des Meß­ ergebnisses führt. Ein besonderer Nachteil der Ausbildung der Sensorteile ist aber, daß bei Druckbelastung solcher Meßfühler mechanische Spannungen auf das Meßelement, das im Innenreich des Meßfühlers auf die Wandung aufgebracht ist, übetragen werden. Besteht dieses Meßelement z. B. aus einer Keramikscheibe, die durch eine Lötverbindung mit der Wandung des Sensorteils fest verbunden ist, so treten mechanische Spannungen zwischen dieser Lötverbindung und der Keramikscheibe auf, die zu einem Bruch oder einer Ablösung dieser Scheibe führen können. Ist das Meßelement nicht angelötet, sondern nur gegen die Flachwandung gepreßt, besteht bei periodischer Wechselbelastung die Gefahr, daß der Wärmekontakt zur Wandung des Sensorteils verloren geht.All these known techniques have in common that the Flow-sensing elements in that sensor part are arranged, which is flat. The consequence of this Geometry is a discontinuous flow that depending on the viscosity of the flow rate a vortex education and thus falsify the measurement results. A particular disadvantage of training the sensor parts is that such under pressure Sensor mechanical stresses on the measuring element is applied to the wall in the interior of the sensor, be carried over. Is this measuring element z. B. from a Ceramic disc through a solder connection to the wall of the sensor part is firmly connected, mechanical occur Tensions between this solder joint and the ceramic disc on, leading to breakage or detachment of this disk being able to lead. If the measuring element is not soldered, but only pressed against the flat wall, exists with periodic Alternating load the risk that the thermal contact to the wall of the sensor part is lost.

In der DE 37 29 073 A1 sind die, die Strömung erfassenden Meß­ elemente, in einem Sensorteil angeordnet, der kugelförmig ausgebildet ist. Auch bei dieser Technik sind keine Maßnahmen getroffen, auf das Sensorsystem einwirkenden Druckspitzen aufzufangen. In DE 37 29 073 A1 are the measuring the flow measuring elements, arranged in a sensor part that is spherical is trained. Also with this technique there are no measures hit, pressure peaks acting on the sensor system to catch up.  

Alle aufgezeigten und auch bekannten Lösungen der eingangs aufgezeigten Meßfühler sehen keine Maßnahmen vor, die temperaturabhängige Wärmefähigkeit der erfaßten Medien während des Meßvorgangs zu erfassen und zu kompensieren.All shown and also known solutions of the beginning The sensors shown do not provide any measures that temperature-dependent thermal capacity of the media recorded to capture and compensate during the measurement process.

Aufgabe der Erfindung ist es, einen Meßfühler anzugeben, der bei unterschiedlichen Medien und Strömungsgeschwindig­ keiten ein gleichmäßiges Strömungsprofil des Mediums an seiner Oberfläche aufweist, dessen von der Strömungsge­ schwindigkeit abgeleitetes elektrisches Signal in seinem Erfassungsbereich streng monoton ist, der insbesondere einen verbesserten Wärmeübergang seines stirnseitig in das Meßmedium eingetauchten Sensorteils hat, dessen Wärmeüber­ gang unabhängig von Anströmungsrichtung und der Viskosität des Meßmediums ist, der mechanisch so ausgebildet ist, daß mechanische Spannungen der Sensorwandung nicht auf das mit dieser Sensorwandung mechanisch verbundene Meßelement ein­ wirken und der eine elektrische Einrichtung besitzt, die die Wärmeleitfähigkeit des Meßmediums erfaßt und kompensiert.The object of the invention is to provide a sensor, that with different media and flow velocity ensure an even flow profile of the medium has its surface, that of the Strömge electrical signal derived in its Detection area is strictly monotonous, in particular an improved heat transfer from his face into that Measuring medium immersed sensor part, the heat transfer regardless of the direction of flow and the viscosity of the measuring medium, which is designed mechanically so that mechanical stresses of the sensor wall not on the this sensor wall a mechanically connected measuring element act and who has an electrical device that the thermal conductivity of the measuring medium is recorded and compensated.

Diese Aufgabe wird nach der Erfindung durch die Merkmale der Ansprüche 1, 2 und 13 gelöst. Durch die kugelförmige Aus­ bildung des Sensorteils wird ein kontinuierliches Strömungs­ profil insbesondere bei kleinen Strömungsgeschwindigkeiten gewährleistet. Für die Erfassung eines größeren Bereiches der Strömungsgeschwindigkeit und die Erzeugung einer streng monotonen Kennlinie der elektrischen Auswertung der Strö­ mungsgeschwindigkeit ist überraschenderweise eine Geometrie des Sensorteils vorteilhaft, die einer negativen Kugelober­ fläche entspricht, d. h. daß sich an die Meßfläche des Sensorteils eine, bezogen auf den Innenraum des Sensors, nach innen gewölbte, kelchförmige Oberfläche des Sensorteils an­ schließt. This object is achieved according to the invention by the features of Claims 1, 2 and 13 solved. Through the spherical Aus Formation of the sensor part becomes a continuous flow profile especially at low flow speeds guaranteed. For the coverage of a larger area the flow rate and generating a strictly monotonous characteristic of the electrical evaluation of the currents Survey speed is surprisingly a geometry of the sensor part advantageous, that of a negative ball top area corresponds to d. H. that the measuring surface of the Sensor part one, based on the interior of the sensor domed, cup-shaped surface of the sensor part closes.  

Hierbei ist die Meßfläche des Sensorteils derjenige Teil seiner Oberfläche, die sich genau in dem Bereich des Sensor­ teils befindet, wo sich die elektrischen Meßelemente in seinem inneren Bereich gegenüberliegend befinden, gerade in dem Bereich, in dem die Meßelemente elektrisch isoliert, aber wärmeleitend mit der Gehäusewandung verbunden sind. Die mechanischen Spannungen, die auf die stirnseitig auf der Innenwandung des Meßfühlers aufgebrachten Meßelemente einwirken können, werden dadurch minimiert, daß die Wandungs­ stärke des Gehäuseteils im Randbereich des Innenteils kleiner ist als in seinem Mittenbereich. Durch diese Maßnahme be­ findet sich oberhalb der Meßelemente ein Meßflächenabschnitt, der nur in seinen Außenbereichen auf der Wandung des Gehäuses abgestützt ist. Diese Ausbildung ist äußerst vorteilhaft und verhindert, daß mechanische Spannungsspitzen im Zentrum des Meßelementes einwirken können. Diese Konstruktion erlaubt eine mechanisch feste Lötverbindung zwischen Innenwandung des Sensorteils und dem Meßelement, das vorzugsweise auf einer als Träger dienenden Keramikscheibe aufgebracht ist. Es ist jedoch auch denkbar, eine angepreßte Kunststoffolie z. B. Polyimid, oder eine durch Passivierung elektrisch isolierende Stahl­ scheibe als Träger zu verwenden.The measuring surface of the sensor part is that part its surface, which is exactly in the area of the sensor partly located where the electrical measuring elements are in located opposite its inner area, just in the area in which the measuring elements are electrically insulated, but are thermally connected to the housing wall. The mechanical stresses on the face measuring elements applied to the inner wall of the sensor can act, are minimized in that the wall Thickness of the housing part in the edge area of the inner part is smaller is as in its middle area. By this measure be there is a measuring surface section above the measuring elements, the only in its outer areas on the wall of the housing is supported. This training is extremely beneficial and prevents mechanical stress peaks in the center of the measuring element can act. This construction allows a mechanical firm solder connection between the inner wall of the sensor part and the measuring element, which is preferably on a carrier serving ceramic disc is applied. However, it is also conceivable, a pressed plastic film z. B. polyimide, or a steel that is electrically insulating by passivation disc to use as a carrier.

Bei geeigneter Auslegung der Auswertungselektronik ist nur ein Meßelement erforderlich, das als temperaturabhängiger Widerstand ausgebildet ist, der periodisch durch einen elek­ trischen Strom beheizt ist, und der abwechselnd die durch die Heizung erzeugte Eigentemperatur und die Temperatur des Meß­ mediums erfaßt. With a suitable design of the evaluation electronics is only a measuring element is required, which as a temperature-dependent Resistance is formed, which is periodically by an elek tric electricity is heated, and the alternately by the Heating generated own temperature and the temperature of the measurement mediums recorded.  

Der Einfluß der unterschiedlichen Wärmeleitfähigkeiten von Medien auf das Meßergebnis des Meßfühlers wird nach der Er­ findung dadurch kompensiert, daß während der Erfassung der Strömungsgeschwindigkeit des Meßmediums durch ein oder mehrere dem Sensorteil eingebrachte Meßelemente gleichzeitig oder in periodischen Intervallen die Wärmeleitfähigkeit des Meßmediums erfaßt wird. Dies geschieht in der Weise, daß eine elektrische Auswertungseinrichtung vorgesehen ist, an die ein oder mehrere Meßelemente des Meßfühlers angeschlossen sind, und die zum Zwecke der Wärmeleitfähigkeitserfassung des Meß­ mediums die Meßelemente periodisch mit einem Strom beauf­ schlagen der von demjenigen abweichen kann der für die Erfassung der Strömungsgeschwindigkeit verwendet ist. Vorzugsweise ist dieser Strom höher als derjenige, der für die kontinuierliche Erfassung der Strömungsgeschwindigkeit verwendet wird. Eine besondere Ausbildung der Erfindung besteht darin, daß ein kontinuierlich ansteigender Strom verwendet wird, wobei die dann auch kontinuierlich ansteigende Wärmeabgabe an das Meßmedium zu einem kontinuierlichen Verlauf der von dem Meß­ element erfaßten Temperatur führt, die sich aus der Mediums­ temperatur und der durch die zusätzliche Heizung des Meß­ elementes erhöhten Temperatur ergibt. Während kontinuierlich ansteigende Ströme vorzugsweise für Meßanordnungen mit zwei Meßelementen geeignet sind, ist ein periodisch ansteigender Strom vorteilhaft, wenn nur ein Meßelement verwendet wird. Bei solchen Anordnungen wird jeweils ein Temperaturwert des Meßelementes erfaßt, wenn der Heizstrom abgeschaltet ist. Die Auswertungselektronik setzt dann die einzelnen Meßpunkte des zugehörigen periodisch ansteigenden Heizstromes zu einer Meß­ funktion zusammen. Die elektrische Auswerteschaltung vergleicht die auf die oben beschriebene Weise erfaßten Meßpunkte oder Meßfunktionen mit abgespeicherten Normwerten und ermittelt auf diese Weise Kennwerte für die Wärmeleitfähigkeit des Mediums, mit dessen Hilfe der jeweils gemessene Wert für die Strömungs­ geschwindigkeit kontinuierlich korrigiert wird.The influence of the different thermal conductivities of Media on the measurement result of the sensor is after the Er compensation compensated by the fact that during the detection of the Flow velocity of the measuring medium through an or several measuring elements introduced into the sensor part at the same time or at periodic intervals the thermal conductivity of the Measuring medium is detected. This is done in such a way that an electrical evaluation device is provided one or more measuring elements of the sensor are connected, and for the purpose of measuring the thermal conductivity mediums periodically apply a current to the measuring elements suggest which can differ from the one for the capture the flow rate is used. Preferably this current is higher than that for continuous Flow velocity detection is used. A special embodiment of the invention is that a continuously increasing current is used, the then continuously increasing heat output to the Measuring medium for a continuous course of the measurement element detected temperature results from the medium temperature and the additional heating of the measuring element increased temperature results. While continuously increasing currents, preferably for measuring arrangements with two Measuring elements are suitable, is a periodically increasing Current advantageous if only one measuring element is used. In such arrangements, a temperature value of the Measuring element detected when the heating current is switched off. The Evaluation electronics then sets the individual measuring points of the associated periodically increasing heating current to a measurement function together. The electrical evaluation circuit compares the measuring points detected in the manner described above or Measurement functions with stored standard values and determined on this way characteristic values for the thermal conductivity of the medium, with the help of which the measured value for the flow speed is continuously corrected.

Die Ausge­ staltung der Erfindung wird in den nachfolgenden Ausführungs­ beispielen näher erläutert. The Ausge staltung the invention is in the following execution examples explained in more detail.  

Fig. 1 zeigt das Gehäuseteil (2) mit einem Einschraubgewinde, einem Schlüsselansatz und dem Sensorteil (1). Der stirnsei­ tige Teil des Sensorteils (1) ist kugelförmig (3) ausgebildet. Der Innenraum des Gehäuseteils (8) ist stirnseitig flach aus­ gebildet (4). Der rotationssymmetrisch ausgebildete Meßfühler hat im Randbereich des Innenteils (4) eine kleinere Wandungs­ stärke (5) als in seinem Mittenbereich. In Fig. 2 ist nur der Sensorteil dargestellt, dessen Innenbereich die elektrischen Meßelemente (6, 7) und deren Anschlüsse (13) eingebracht sind. In Fig. 3 werden die elektrischen Meßwiderstände (6, 7) durch einen Träger (10) der nur in den Randbereichen der Trägerplatte (14) aufliegt, federnd gestützt. In allen Beispielen ist der Sensorteil (1) an seiner dem Meßmedium zugewandten Stirnseite als Kugelteil (3) ausgebildet. Sensorteil (1) und Kugelteil (3) sind aus einem homogenen Werkstoff gefertigt, wobei der Kugel­ teil nur zum Gehäuseteil weisend geöffnet ist. Die elektrischen Meßelemente (6, 7) sind elektrisch isoliert, aber wärmeleitend mit der Innenwandung (4) des Kugelteils (3) verbunden, vorzugs­ weise durch eine metallische Schicht, insbesondere eine Lötver­ bindung. Fig. 1 shows the housing part ( 2 ) with a screw thread, a key attachment and the sensor part ( 1 ). The end part of the sensor part ( 1 ) is spherical (3). The interior of the housing part ( 8 ) is formed from the front flat ( 4 ). The rotationally symmetrical sensor has a smaller wall thickness ( 5 ) in the edge area of the inner part ( 4 ) than in its central area. In Fig. 2 only the sensor part is shown, the inner area of which the electrical measuring elements ( 6 , 7 ) and their connections ( 13 ) are introduced. In Fig. 3, the electrical measuring resistors ( 6 , 7 ) are resiliently supported by a carrier ( 10 ) which rests only in the edge regions of the carrier plate ( 14 ). In all examples, the sensor part ( 1 ) is designed as a spherical part ( 3 ) on its end facing the measuring medium. Sensor part ( 1 ) and spherical part ( 3 ) are made of a homogeneous material, the spherical part being open only pointing towards the housing part. The electrical measuring elements ( 6, 7 ) are electrically insulated, but connected in a heat-conducting manner to the inner wall ( 4 ) of the spherical part ( 3 ), preferably by means of a metallic layer, in particular a solder connection.

Im Innenbereich des Sensorteils (8) ist ein Zylinderteil (11) eingebracht, das in axialer Richtung federt und in Vertiefungen einrastet, die im Innenbereich des Gehäuseteils (2) einbebracht sind. Während in Fig. 1-3 der stirnseitige Innenteil (4) des Kugelteils (3) flach ausgebildet ist, ist in Abb. 4 dieser Innenteil (4) des Kugelteils (3) muldenförmig ausge­ bildet, in der Weise, daß die Mulde zentral am tiefsten ist. Die Mulde ist mit einer wärmeleitfähigen Metallegierung aus­ gefüllt, in diesem speziellen Fall mit einer Lötverbindung. Fig. 5 zeigt eine Meßelementeanordnung die auf einen Träger (14) aufgebracht ist. Die temperaturabhängigen Meßelemente (6, 7) weisen Anschlüsse (13) auf und sind in Dünnfilmtechnik ausgeführt. Je nach Ausbildung der Auswertungselektronik ist das Meßelement (6) zusätzlich beheizt, es ist jedoch ebenso gut möglich, das Meßelement (7) zusätzlich zu heizen oder eines von beiden Meßelementen (6, 7) unbeheizt zu lassen. A cylinder part ( 11 ) is inserted in the interior of the sensor part ( 8 ), which springs in the axial direction and engages in recesses which are introduced in the interior of the housing part ( 2 ). While in Figs. 1-3 of the end-side inner part (4) of the ball part (3) is formed flat, 4 of the inner part (4) in fig. Of the spherical part (3) is trough-shaped out, in such a way that the trough centrally on deepest is. The trough is filled with a thermally conductive metal alloy, in this special case with a soldered connection. Fig. 5 shows a measuring element arrangement which is applied to a carrier ( 14 ). The temperature-dependent measuring elements ( 6 , 7 ) have connections ( 13 ) and are made using thin-film technology. Depending on the design of the evaluation electronics, the measuring element ( 6 ) is additionally heated, but it is equally possible to heat the measuring element ( 7 ) additionally or to leave one of the two measuring elements ( 6 , 7 ) unheated.

In dieser Darstellung sind die temperaturabhängigen Widerstände (6, 7) meanderförmig ausgebildet. Je nach Anwendungsmöglichkeit ist es auch möglich, diese Widerstände kreis- oder spiral­ förmig auszuführen und anstelle des Keramikträgers einen Polyimidträger zu verwenden. Die elektronische Auswertung ist so ausgebildet, daß mindestens ein Meßelement periodisch geheizt ist, wobei in den Heizpausen die Temperatur des Mediums erfaßt wird. Zur Erfassung der Wärmeleitfähigkeit bei strömenden Medien ist es vorteilhaft beide Meßelemente (6, 7) periodisch durch einen Heizstrom zu heizen, wobei die Stromstärke, wie die Periodendauer für jedes Meßelement unterschiedlich sein können.In this illustration, the temperature-dependent resistors ( 6 , 7 ) are meandering. Depending on the application, it is also possible to make these resistors circular or spiral and use a polyimide support instead of the ceramic support. The electronic evaluation is designed in such a way that at least one measuring element is periodically heated, the temperature of the medium being recorded during the heating breaks. To measure the thermal conductivity of flowing media, it is advantageous to periodically heat both measuring elements ( 6 , 7 ) by means of a heating current, the current intensity and the period duration being different for each measuring element.

Fig. 6 zeigt eine geometrische Ausbildung des Sensorteils mit flach ausgebildeter Meßfläche (15) die eine kelchförmige, zum Innenraum des Sensorteils weisenden Einwölbung der Ober­ fläche (17) aufweist, die gleichzeitig zu einer ringförmigen Reduzierung der Wandstärke (17) des Sensorteils führt. Fig. 6 shows a geometric design of the sensor part with a flat measuring surface ( 15 ) which has a goblet-shaped, facing the interior of the sensor part arching the upper surface ( 17 ), which simultaneously leads to an annular reduction in the wall thickness ( 17 ) of the sensor part.

Fig. 7 zeigt eine geometrische Ausbildung des Sensorteils mit zylindrisch ausgebildeter Meßfläche (20) bei der die Meß­ elemente im Innenraum des Sensorteils gegenüberliegend auf der Mantelinnenfläche dieses Zylinders aufgebracht sind. Fig. 7 shows a geometric design of the sensor part with a cylindrical measuring surface ( 20 ) in which the measuring elements are applied opposite in the interior of the sensor part on the inner surface of this cylinder.

Fig. 8 zeigt das schematische Auswertungsverfahren, das gleich­ zeitig zur Erfassung der Strömungsgeschwindigkeit und der Wärme­ leitfähigkeit des Meßmediums verwendet wird. Alle Funktionen dieser Anordnung werden durch einen Mikroprozessor (22) mit zu­ gehörigem Speicher (28) gesteuert. Das Meßelement (20) ist an einen Schalter (23) angeschlossen, der während der Temperatur­ meßphase das Signal auf einen AD-Wandler (22) schaltet. Das von diesem AD-Wandler erzeugte Ausgangssignal wird einer elek­ tronischen Auswertung (27) zugeführt, die die Korrektur des Ausgangssignals in Abhängigkeit von der Wärmeleitfähigkeit durch­ führt und dem Ausgang (29) zuführt. Fig. 8 shows the schematic evaluation method, which is used at the same time for detecting the flow rate and the thermal conductivity of the measuring medium. All functions of this arrangement are controlled by a microprocessor ( 22 ) with associated memory ( 28 ). The measuring element ( 20 ) is connected to a switch ( 23 ) which switches the signal to an AD converter ( 22 ) during the temperature measuring phase. The output signal generated by this AD converter is fed to an electronic evaluation ( 27 ) which carries out the correction of the output signal as a function of the thermal conductivity and supplies the output ( 29 ).

Das Meßelement wird periodisch durch den Schalter (23) einem weiteren Schalter (24) zugeführt, der das Meßele­ ment mit einer Strom- oder Spannungsquelle (25) verbindet. Diese Quelle liefert unterschiedliche Strom- oder Spannungs­ werte, und kann auch entsprechend durch den Mikroprozessor (22) generierte sägezahnförmige Verläufe erzeugen. Eine Temperaturbestimmung durch das Meßelement (20) ist auch in der Weise ausführbar, daß das Meßelement (20) durch einen Transistor gebildet ist, dessen Basisstrom, gesteuert durch den Mikroprozessor (22), während der Meßphase zwischen zwei Stromwerten, die sich mindestens um einen Faktor 2 von­ einander unterscheiden, periodisch durch den Schalter (33) umgeschaltet wird und die Differenz der jedem Stromwert zu­ gehörigen Spannung zwischen Basis und Emitter des Tran­ sistors (20) als Maß für die Temperatur verwendet wird. Die an den Schalter (33) angeschlossene, steuerbare Doppel­ stromquelle (25) kann in einer vereinfachten Ausführung auch aus zwei unterschiedlichen Widerständen bestehen, die z. B. bei PNP-Transistoren an eine positive Spannung von 8 V angeschlossen sind. In dieser Betriebsart ist der Schalter (23) ständig auf den Wandler (26) geschaltet, während die steuerbare Stromquelle (25) an den Schalter (33) angeschlossen ist. Fig. 9 zeigt eine Anordnung, die zwei Meßelemente ver­ wendet. Das Meßelement (30) bestimmt die Temperatur des Meß­ mediums, das Meßelement (21) ist ein mit seinem Eigenstrom direkt beheiztes oder mit einem zusätzlichen Widerstand (31) thermisch verbunden, aber elektrisch isoliert, indirekt be­ heiztes Meßelement, das an den Schalter (23) angeschlossen ist. Es bestimmt eine Mischtemperatur, die aus der Mediums­ temperatur und seiner Eigenerwärmungstemperatur besteht. The measuring element is periodically fed through the switch ( 23 ) to a further switch ( 24 ) which connects the measuring element to a current or voltage source ( 25 ). This source supplies different current or voltage values, and can also generate sawtooth-shaped curves generated accordingly by the microprocessor ( 22 ). A temperature determination by the measuring element ( 20 ) can also be carried out in such a way that the measuring element ( 20 ) is formed by a transistor whose base current, controlled by the microprocessor ( 22 ), during the measuring phase between two current values which are at least one Differentiate factor 2 from each other, is switched periodically by the switch ( 33 ) and the difference between the voltage associated with each current value between the base and emitter of the transistor ( 20 ) is used as a measure of the temperature. The controllable double current source ( 25 ) connected to the switch ( 33 ) can, in a simplified version, also consist of two different resistors which, for. B. are connected to a positive voltage of 8 V in PNP transistors. In this operating mode, the switch ( 23 ) is always connected to the converter ( 26 ), while the controllable current source ( 25 ) is connected to the switch ( 33 ). Fig. 9 shows an arrangement which uses two measuring elements ver. The measuring element ( 30 ) determines the temperature of the measuring medium, the measuring element ( 21 ) is a directly heated with its own current or with an additional resistor ( 31 ) thermally connected, but electrically isolated, indirectly heated measuring element, which is connected to the switch ( 23 ) connected. It determines a mixing temperature that consists of the medium temperature and its self-heating temperature.

Der Schalter (23) ist bei indirekter Heizung nur auf den Widerstand (31) geschaltet, während die Ausgangssignale beider Meßelemente (30, 31) auf den AD-Wandler (26) ge­ führt sind. Bei dem in Fig. 8 und Fig. 9 dargestellten Auswertungsverfahren wird für die Bestimmung der Wärme­ leitfähigkeit des Meßmediums ein höherer Strom aufgeschal­ tet, als er für die Strömungsmessung erforderlich ist. Besonders vorteilhaft erweist sich ein sägezahnförmiger Strom-Spannungsverlauf für die Bestimmung der Wärmeleit­ fähigkeit des Meßmediums. Wird nur ein Meßelement ver­ wendet, wird der sägezahnförmige Signalanstieg periodisch unterbrochen und auf "Null" geschaltet und während dieser stromlosen Phasen die Temperatur des Meßmediums erfaßt. Werden wie in Fig. 9 gezeigt, zwei Meßelemente verwendet, kann bei der Wärmeleitfähigkeitserfassung mit einem kon­ tinuierlichen Sägezahn-Signal gearbeitet werden. In diesem Fall hat der Schalter (24) die Funktion, die Strom- oder Spannungsquelle (25) von der Betriebsart "Strömungserfassung" auf die Betriebsart "Wärmeleitfähigkeitserfassung" umzu­ schalten.The switch ( 23 ) is only connected to the resistor ( 31 ) in indirect heating, while the output signals of both measuring elements ( 30 , 31 ) on the AD converter ( 26 ) leads. In the evaluation method shown in FIG. 8 and FIG. 9, a higher current is switched on for determining the thermal conductivity of the measuring medium than is required for the flow measurement. A sawtooth-shaped current-voltage curve proves particularly advantageous for determining the thermal conductivity of the measuring medium. If only one measuring element is used, the sawtooth-shaped signal rise is interrupted periodically and switched to "zero" and the temperature of the measuring medium is detected during these currentless phases. If, as shown in Fig. 9, two measuring elements are used, a continuous sawtooth signal can be used for thermal conductivity detection. In this case, the switch ( 24 ) has the function of switching the current or voltage source ( 25 ) from the "flow detection" mode to the "thermal conductivity detection" mode.

Claims (19)

1. Meßfühler zur Erfassung der Strömungsgeschwindigkeiten von Flüssigkeiten und Gasen mit einem Gehäuseteil (2) und einem Sensorteil (1), bei dem der Sensorteil (1) an seiner dem Meßmedium zugewandten Stirnseite als Kugelteil (3) ausge­ bildet ist und der Sensorteil (1) und der Kugelteil (3) aus einem homogenen Werkstoff gefertigt sind, der Kugelteil (3) nur zum Gehäuseteil weisend geöffnet ist, mit elektrischen Meßelementen (6, 7) die innerhalb des Kugelteils enthalten sind, die elektrisch isoliert, aber wärmeleitend mit der Innenwandung des Kugelteils (3) verbunden sind, wobei mindestens ein Meßelement (6) elektrisch geheizt ist, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Wandstärke (5) am Rand des Innenteils ver­ ringert ist und das stirnseitige Innenteil muldenförmig (12) ausgebildet ist.1. Sensor for detecting the flow velocities of liquids and gases with a housing part ( 2 ) and a sensor part ( 1 ), in which the sensor part ( 1 ) on its end facing the measuring medium is formed as a spherical part ( 3 ) and the sensor part ( 1 ) and the spherical part ( 3 ) are made of a homogeneous material, the spherical part ( 3 ) is open only facing the housing part, with electrical measuring elements ( 6 , 7 ) contained within the spherical part, which are electrically insulated but thermally conductive with the inner wall of the spherical part ( 3 ) are connected, at least one measuring element ( 6 ) being electrically heated, characterized in that the wall thickness ( 5 ) is reduced at the edge of the inner part and the front inner part is trough-shaped ( 12 ). 2. Meßfühler zur Erfassung der Strömungsgeschwindigkeiten von Flüssigkeiten und Gasen mit einem Gehäuseteil (2) und einem Sensorteil (1), wobei der Sensorteil (1) aus einem homogenen Werkstoff gefertigt ist und nur zum Gehäuseteil weisend ge­ öffnet ist, mit innerhalb des Sensorteils (1) eingebrachten Meßelementen (6, 7), die elektrisch isoliert aber wärmeleitend mit dem stirnseitigen Sensorteil (1) verbunden sind, wobei mindestens ein Meßelement (6) elektrisch geheizt ist, mit einer kugelförmigen (9) oder flachen (15) Meßfläche des Sensorteils (1) mit der die elektrischen Meßelemente wärme­ leitend in Kontakt gebracht sind, dadurch gekennzeichnet, daß sich an die Meßfläche (9, 15) des Sensorteils (1) eine nach innen gewölbte, kelchförmige Oberfläche (16) des Sensorteils (1) anschließt. 2. Sensor for detecting the flow velocities of liquids and gases with a housing part ( 2 ) and a sensor part ( 1 ), wherein the sensor part ( 1 ) is made of a homogeneous material and is only open to the housing part pointing, with inside the sensor part ( 1 ) introduced measuring elements ( 6 , 7 ) which are electrically insulated but thermally conductively connected to the front sensor part ( 1 ), at least one measuring element ( 6 ) being electrically heated, with a spherical ( 9 ) or flat ( 15 ) measuring surface of the sensor part ( 1 ) with which the electrical measuring elements are brought into heat-conducting contact, characterized in that an inwardly curved, cup-shaped surface ( 16 ) of the sensor part ( 1 ) adjoins the measuring surface ( 9 , 15 ) of the sensor part ( 1 ). 3. Meßfühler nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrischen Meßelemente (6, 7) temperaturabhängige Widerstände sind.3. Sensor according to claim 1 or 2, characterized in that the electrical measuring elements ( 6 , 7 ) are temperature-dependent resistors. 4. Meßfühler nach einem der Ansprüche 1-3, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die elektrischen Meßelemente (6, 7) auf einem Träger (14) aufgebracht sind, der aus einer Keramikscheibe oder einer Kunststoffolie besteht.4. Sensor according to one of claims 1-3, characterized in that the electrical measuring elements ( 6 , 7 ) are applied to a carrier ( 14 ) which consists of a ceramic disk or a plastic film. 5. Meßfühler nach einem der Ansprüche 1-4, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die elektrischen Meßelemente (6, 7) durch eine wärmeleitende, vorzugsweise metallische Schicht mit dem inneren Kugelteil (1) stirnseitig verbunden sind.5. Sensor according to one of claims 1-4, characterized in that the electrical measuring elements ( 6 , 7 ) are connected at the end face by a heat-conducting, preferably metallic layer with the inner spherical part ( 1 ). 6. Meßfühler nach einem der Ansprüche 1-5, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die elektrischen Meßelemente (6, 7) durch einen ringförmigen Träger (10), der nur an den Randbereichen der Trägerplatte (14) aufliegt, federnd gestützt sind.6. Sensor according to one of claims 1-5, characterized in that the electrical measuring elements ( 6 , 7 ) are resiliently supported by an annular support ( 10 ) which rests only on the edge regions of the support plate ( 14 ). 7. Meßfühler nach einem der Ansprüche 1-6, dadurch gekenn­ zeichnet, daß dem Innenbereich (8) des Gehäuseteils (2) ein einrastendes Zylinderteil (11) eingeführt ist.7. Sensor according to one of claims 1-6, characterized in that the inner region ( 8 ) of the housing part ( 2 ) is inserted a locking cylinder part ( 11 ). 8. Meßfühler nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Zylinderteil (11) in axialer Richtung federnd ist.8. Sensor according to claim 7, characterized in that the cylinder part ( 11 ) is resilient in the axial direction. 9. Meßfühler nach einem der Ansprüche 1-8, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der stirnseitige Innenteil (4) der Meßfläche (9, 15) flach ausgebildet ist. 9. Sensor according to one of claims 1-8, characterized in that the front inner part ( 4 ) of the measuring surface ( 9 , 15 ) is flat. 10. Meßfühler nach einem der Ansprüche 1-9, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der stirnseitige Innenteil (4) der Meßfläche (9, 15) muldenförmig ausgebildet ist, in der Weise, daß die Mulde (12) zentral am tiefsten ist.10. Sensor according to one of claims 1-9, characterized in that the end inner part ( 4 ) of the measuring surface ( 9 , 15 ) is trough-shaped, in such a way that the trough ( 12 ) is centrally deepest. 11. Meßfühler nach einem der Ansprüche 1-10, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Mulde (12) mit einer wärmeleitfähigen Metallegierung, vorzugsweise einer Lötverbindung, versehen ist.11. Sensor according to one of claims 1-10, characterized in that the trough ( 12 ) is provided with a thermally conductive metal alloy, preferably a soldered connection. 12. Meßfühler nach einem der Ansprüche 1-11, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Oberfläche des Innenraumes des Sensorteils (1) so ausgebildet ist, daß sie mit der nach innen gewölbten Oberfläche (17) des Sensorteils einen ringförmigen Ort kleinster Wandungsstärke (17) des Sensorteils bildet.12. Sensor according to one of claims 1-11, characterized in that the surface of the interior of the sensor part ( 1 ) is designed such that it with the inwardly curved surface ( 17 ) of the sensor part an annular location of the smallest wall thickness ( 17 ) of the sensor part. 13. Meßfühler zur Erfassung der Strömungsgeschwindigkeit von Flüssigkeiten und Gasen, mit einem Gehäuseteil (2) und einem Sensorteil (1), wobei der Sensorteil (1) aus einem homogenen Werkstoff gefertigt ist und nur zum Gehäuse weisend geöffnet ist, mit innerhalb des Sensorteils (1) eingebrachten elek­ trischen Meßelementen (6, 7) die elektrisch isoliert, aber wärmeleitend dem stirnseitigen Sensorteil (1) verbunden sind, wobei mindestens ein Meßelement (6) elektrisch beheizt ist, mit einer kugelförmigen (9), flachen (15) oder zylinderförmigen (20) Ausbildung der Meßfläche des Sensorteils (1), die sich genau in dem äußeren Bereich des Sensorteils befindet, wo sich die elektrischen Meßelemente in seinem inneren Bereich gegen­ überliegend befinden, dadurch gekennzeichnet, daß ein oder mehrere elektrisch beheizte, an eine elektrische Auswertungs­ schaltung angeschlossene Meßelemente verwendet sind, die zu­ sätzlich zu der Erfassung der Strömungsgeschwindigkeit des Meßmediums auch die Wärmeleitfähigkeit des Meßmediums bestimmen. 13. Measuring sensor for detecting the flow velocity of liquids and gases, with a housing part ( 2 ) and a sensor part ( 1 ), wherein the sensor part ( 1 ) is made of a homogeneous material and is only open towards the housing, with inside the sensor part ( 1 ) introduced electrical measuring elements ( 6 , 7 ) which are electrically insulated but thermally connected to the front sensor part ( 1 ), at least one measuring element ( 6 ) being electrically heated, with a spherical ( 9 ), flat ( 15 ) or cylindrical ( 20 ) Formation of the measuring surface of the sensor part ( 1 ), which is located precisely in the outer region of the sensor part, where the electrical measuring elements are located opposite in its inner region, characterized in that one or more electrically heated, to an electrical evaluation circuit connected measuring elements are used, in addition to the detection of the flow rate windiness of the measuring medium also determine the thermal conductivity of the measuring medium. 14. Meßfühler nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Bestimmung der Wärmeleitfähigkeit in periodischen Intervallen erfolgt.14. Sensor according to claim 13, characterized in that the Determination of thermal conductivity in periodic intervals he follows. 15. Meßfühler nach einem oder mehreren der Ansprüche 1-14, dadurch gekennzeichnet, daß ein oder mehrere Meßelemente für die Wärmeleitfähigkeitsmessung periodisch mit einem Strom beaufschlagt sind, der von demjenigen Strom abweicht, der für die Erfassung der Strömungsgeschwindigkeit verwendet ist.15. Sensor according to one or more of claims 1-14, characterized in that one or more measuring elements for the thermal conductivity measurement periodically with a current are applied, which deviates from the current that is used for the detection of the flow velocity. 16. Meßfühler nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß der Strom höher ist als derjenige, der für die Strömungsmessung erforderlich ist.16. Sensor according to claim 15, characterized in that the Current is higher than that used for flow measurement is required. 17. Meßfühler nach einem oder mehreren der Ansprüche 13-16, dadurch gekennzeichnet, daß ein sägezahnförmiger Strom für die Wärmeleitfähigkeitsmessung verwendet ist.17. Sensor according to one or more of claims 13-16, characterized in that a sawtooth-shaped current for the Thermal conductivity measurement is used. 18. Meßfühler nach einem oder mehreren der Ansprüche 13-17, dadurch gekennzeichnet, daß der durch ein Meßelement fließende Strom periodisch unterbrochen ist und während der stromlosen Phase die Temperaturen des Meßelementes durch die elektrische Auswerteschaltung bestimmt wird.18. Sensor according to one or more of claims 13-17, characterized in that the flowing through a measuring element Electricity is interrupted periodically and during the de-energized Phase the temperatures of the measuring element by the electrical Evaluation circuit is determined. 19. Meßfühler nach einem oder mehreren der Ansprüche 13-18, dadurch gekennzeichnet, daß zwei beheizte Meßelemente vorhanden sind, die von unterschiedlichen Strömen durchflossen sind.19. Sensor according to one or more of claims 13-18, characterized in that two heated measuring elements are present are through which different currents flow.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2154502A2 (en) * 2008-08-06 2010-02-17 Robert Bosch Gmbh Method of determining the temperature and volume flow of a fluid, circuit arrangement and motor control device
WO2014060187A1 (en) * 2012-10-19 2014-04-24 Endress+Hauser Flowtec Ag Thermal flow rate measurement device

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6208254B1 (en) * 1999-09-15 2001-03-27 Fluid Components Intl Thermal dispersion mass flow rate and liquid level switch/transmitter
DE102009047629A1 (en) * 2009-12-08 2011-06-09 Endress + Hauser Flowtec Ag Measuring sensor for use in thermal flow-measuring device for industrial applications, has thermometers arranged in plane, such that one of thermometers surrounds another thermometer or latter thermometer surrounds former thermometer
DE102012206647B4 (en) * 2012-04-23 2017-08-03 Ifm Electronic Gmbh Measuring instrument for process measuring technology with a cylindrical sensor tip and method for producing the same
DE102013208785B4 (en) * 2013-05-14 2015-11-19 Ifm Electronic Gmbh Thermal flowmeter with a cylindrical sensor tip
WO2017067770A1 (en) * 2015-10-19 2017-04-27 Kriwan Industrie-Elektronik Gmbh Measuring device for recording at least one parameter of a fluid

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3302080A1 (en) * 1983-01-22 1984-07-26 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln THERMAL MASS FLOW METER, ESPECIALLY FOR GASES
DE3502440A1 (en) * 1985-01-25 1986-07-31 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln ARRANGEMENT FOR MEASURING THE HEAT CONDUCTIVITY OF GAS
DE3527868A1 (en) * 1985-08-02 1987-02-12 Schmidt Feintechnik Gmbh METHOD AND MEASURING PROBE FOR PROBING THE LEVEL OF THE MASS CURRENT, THE FLUID TYPE, THE FLUID COMPOSITION OR THE LIKE IN A CONTAINER, PIPE OR THE LIKE CONTAINING ONE OR MORE FLUIDS
DE3729073A1 (en) * 1987-09-01 1989-03-09 Schmidt Feinmech Sensor
DE4017877A1 (en) * 1990-06-02 1991-12-12 Hiss Eckart Flow measurement sensor for wall mounted or in-flow use - has functional elements on tubular body mounted in measurement pin or over measurement body
DE4341238A1 (en) * 1993-12-03 1995-06-08 Merck Patent Gmbh Microbial process for the preparation of dihydroxyacetone

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3302080A1 (en) * 1983-01-22 1984-07-26 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln THERMAL MASS FLOW METER, ESPECIALLY FOR GASES
DE3502440A1 (en) * 1985-01-25 1986-07-31 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln ARRANGEMENT FOR MEASURING THE HEAT CONDUCTIVITY OF GAS
DE3527868A1 (en) * 1985-08-02 1987-02-12 Schmidt Feintechnik Gmbh METHOD AND MEASURING PROBE FOR PROBING THE LEVEL OF THE MASS CURRENT, THE FLUID TYPE, THE FLUID COMPOSITION OR THE LIKE IN A CONTAINER, PIPE OR THE LIKE CONTAINING ONE OR MORE FLUIDS
DE3729073A1 (en) * 1987-09-01 1989-03-09 Schmidt Feinmech Sensor
DE4017877A1 (en) * 1990-06-02 1991-12-12 Hiss Eckart Flow measurement sensor for wall mounted or in-flow use - has functional elements on tubular body mounted in measurement pin or over measurement body
DE4341238A1 (en) * 1993-12-03 1995-06-08 Merck Patent Gmbh Microbial process for the preparation of dihydroxyacetone

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2154502A2 (en) * 2008-08-06 2010-02-17 Robert Bosch Gmbh Method of determining the temperature and volume flow of a fluid, circuit arrangement and motor control device
EP2154502A3 (en) * 2008-08-06 2014-08-06 Robert Bosch Gmbh Method of determining the temperature and volume flow of a fluid, circuit arrangement and motor control device
WO2014060187A1 (en) * 2012-10-19 2014-04-24 Endress+Hauser Flowtec Ag Thermal flow rate measurement device
CN104797941A (en) * 2012-10-19 2015-07-22 恩德斯+豪斯流量技术股份有限公司 Thermal flow rate measurement device
US9696191B2 (en) 2012-10-19 2017-07-04 Endress + Hauser Flowtec Ag Thermal, flow measuring device

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