DE19621523A1 - Vorrichtung zur Gewinnung von oberwellenfreien Signalen - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Gewinnung von oberwel­ lenfreien Signalen, die zur Messung von Lageänderungen zweier relativ zu­ einander beweglicher Objekte geeignet ist.

Innerhalb derartiger Vorrichtungen werden die unterschiedlichsten physikali­ schen Abtastprinzipien benutzt. Man unterscheidet zwischen photoelektri­ schen, magnetischen, induktiven und kapazitiven Abtastverfahren. Das Grundprinzip ist jedoch allen Methoden gemeinsam: Eine periodische Meß­ teilung wird abgetastet und das so erzeugte, periodisch amplitudenmodu­ lierte Abtastsignal wird als Meßsignal ausgewertet.

Die Periode der gewonnenen Abtastsignale wird durch die Teilungsperiode oder das Inkrement der Meßteilung des Teilungsträgers bestimmt. Das In­ krement wird bei photoelektrischen Meßeinrichtungen durch die Breiten ei­ nes lichtdurchlässigen Streifens und die Breiten eines lichtundurchlässigen Streifens in Meßrichtung gebildet. Bei der Relativbewegung zwischen der Abtasteinheit und der Meßteilung des Teilungsträgers wird von jedem abge­ tasteten Inkrement ein Zählimpuls abgeleitet, vorzeichenrichtig aufsummiert und die Summe steht als inkrementeller Meßwert zur Verfügung.

Die aus den Meßteilungen der Teilungsträger bei photoelektrischen, ma­ gnetischen, induktiven und kapazitiven Meßeinrichtungen gewonnenen peri­ odischen Analogsignale weisen nunmehr im allgemeinen keinen reinen si­ nusförmigen Verlauf auf, sondern sind beispielsweise infolge von Ungenau­ igkeiten der Meßteilungen oberwellenbehaftet. Derartige Ungenauigkeiten der Meßteilungen werden zum Beispiel durch unterschiedliche Abstände der lichtdurchlässigen und lichtundurchlässigen Streifen oder durch fertigungs­ technisch bedingte Kantenunschärfen dieser Streifen hervorgerufen. Zur Bildung von exakten Positionsmeßwerten innerhalb jeder Teilungsperiode bzw. zur weiteren Erhöhung der Auflösung durch Bildung von Interpolati­ onswerten innerhalb der Teilungsperioden, sollte das derart gewonnene Analogsignal oberwellenfrei sein, also beispielsweise möglichst sinusförmig. Es ergeben sich demzufolge hohe Anforderungen an die Genauigkeit der Meßteilungen.

Zur Eliminierung unerwünschter Oberwellensignalanteile sind nunmehr be­ reits verschiedene Ansätze bekannt.

In der DE 33 05 921 werden spezielle Mittel in Form eines optischen Ab­ tastelementes mit sinusförmig variierender Transmissionscharakteristik vor­ geschlagen, mit denen die Oberwellenanteile minimiert werden können.

Die GB 1 227 942 offenbart, daß es mittels zusätzlicher Aperturen und un­ terschiedlicher gegenseitiger Abstände der Abtastspalte möglich ist, auch den Einfluß von Harmonischen höherer Ordnung zu eliminieren.

In der EP 0 235 750 wird die Beseitigung von Anteilen der Oberwellen dritter Ordnung innerhalb eines magnetischen Meßsystemes beschrieben. Hierzu werden magnetoresistive Sensorelemente paarweise zusammengefaßt, wobei die Abstände innerhalb des Paares sowie zwischen den Paaren im Hinblick auf die Eliminierung der dritten Oberwelle geeignet gewählt werden.

In der EPA 0 250 711 wird zur Erzeugung von Abtastsignalen, die bis zu einer vorbestimmten Bandbreite oberwellenfrei sind vorgeschlagen, eine Detektorsystem in mehrere Teilfelder zu unterteilen. Die einzelnen Detektor­ teilfelder sind hinsichtlich ihrer Breiten und Formen sowie im gegenseitigen Lagebezug zueinander so dimensioniert und über mehrere Teilungsperioden der Meßteilung verteilt angeordnet, daß Oberwellen einer vorbestimmten Bandbreite aus dem Meßsignal eliminiert werden.

Zur Gewinnung oberwellenfreier periodischer Signale wird in der DE 32 39 108 vorgeschlagen, zunächst die Bandbreite des Analogsignals zu ermitteln, um die Anzahl der erforderlichen Abtastelemente zu bestimmen. Die von den Abtastelementen gelieferten periodischen Analogsignale werden zur Ermittlung von Fourierkoeffizienten der Grundwelle des Analogsignals einer Fourieranalyse unterzogen. Die derart gewonnenen Fourierkoeffizienten der Grundwelle werden schließlich als oberwellenfreie periodische Signale zur Bildung von Positionsmeßwerten weiter ausgewertet.

Ein mathematisch äquivalenter, aber ausführungsmäßig unterschiedlicher Ansatz zur Oberwellenfilterung ist aus der DE 34 12 128 als sogenannte arcsin-Abtastung bekannt, bei der das Abtastgitter mehrere Abtastfelder aufweist, die relativ zueinander in Meßrichtung nach einer arcsin-Funktion verteilt sind. Nachteilig ist hierbei, daß die ideale Verteilung der arcsin-Ab­ tastteilung je nach Gesamtzahl der Linien, d. h. je nach Breite des Ab­ tastfensters verschieden ist.

Aus der DE 19 41 731 ist eine photoelektrische Längenmeßeinrichtung of­ fenbart, bei der zur Gewinnung eines oberwellenfreien Analogsignals bei der Abtastung der Meßteilung eines Teilungsträgers eine Frequenzfilterblende mit einem sinusförmigen Durchlässigkeitsverlauf vorgesehen ist, die in das Meßsystem eingebracht wird. Ferner können die vorgeschlagenen Fre­ quenzfilterblenden auch direkt auf die Abtastgitter aufgebracht sein. Es muß innerhalb der vorgeschlagenen Vorrichtung demzufolge eine spezielle Fre­ quenzfilterblende hergestellt und eingebaut werden. Zudem ist diese Meßeinrichtung auf das photoelektrische Durchlichtmeßprinzip beschränkt.

Soll nunmehr eine Meßteilung abgetastet werden, bei der die Größenord­ nung der Teilungsperiode etwa identisch mit den Abmessungen der Detek­ torelemente in Meßrichtung ist, so erweisen sich die vorgeschlagenen An­ sätze zur Eliminierung von Oberwellen nicht als optimal bzw. ungeeignet. Beispielsweise resultiert bei einer Ausgestaltung der Abtastplatte gemäß der DE 33 05 921 eine nicht ausreichende detektorseitige Signalintensität, da nicht die volle Detektorfläche ausgenutzt wird. Die Verwendung einer Ab­ taststruktur mit Abtastfenstern, die gemäß der DE 34 12 128 nach einer arcsin-Funktion verteilt sind, ist lediglich möglich, wenn damit mehrere Tei­ lungsperioden der Meßteilung erfaßt werden können und derart eine Si­ gnalmittelung resultiert.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zur Ge­ winnung oberwellenfreier Signale bei der Abtastung einer periodischen Meßteilung zu schaffen, bei der die Teilungsperiode der Meßteilung etwa in der Größenordnung der Ausdehnung der Detektorelemente in Meßrichtung liegt. Hierzu sollten möglichst keine zusätzlichen Elemente erforderlich sein, eine ausreichende detektorseitige Signalintensität resultieren sowie hinrei­ chende Justiertoleranzen gewährleistet sein.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Vorrichtung mit den Merk­ malen des Anspruches 1 gelöst.

Vorteilhafte Weiterbildungen der erfindungsgemäßen Vorrichtung entnimmt man den aufgeführten Maßnahmen in den abhängigen Ansprüchen.

Die mit der Erfindung erzielten Vorteile bestehen insbesondere darin, daß auf einfache Weise die Gewinnung oberwellenfreier periodischer Signale le­ diglich mit abgewandelten herkömmlichen Mitteln bekannter Positions­ meßeinrichtungen ermöglicht wird, ohne daß zusätzliche Elemente wie Fre­ quenzfilterblenden erforderlich sind. Es müssen demzufolge keine übermä­ ßigen Anforderungen an die Genauigkeit der Teilung gestellt werden. Zu­ dem hat die erfindungsgemäße Vorrichtung einen hohen Wirkungsgrad.

Weitere Vorteile und Einzelheiten ergeben sich aus der nachfolgenden Be­ schreibung der vorliegenden Erfindung anhand der Zeichnungen.

Hierbei zeigt

Fig. 1 eine Längenmeßeinrichtung im Querschnitt;

Fig. 2 eine schematische Darstellung der Abtasteinheit ei­ ner photoelektrischen Längenmeßeinrichtung;

Fig. 3 eine mögliche, erfindungsgemäße Ausbildung von Maßstab und Abtastelement;

Fig. 4 ein erfindungsgemäß ausgeführtes Abtastelement mit dem resultierenden Abtastsignal;

Fig. 5 eine schematisierte Darstellung einer möglichen Ausführungsform der Abtasteinheit inklusive der vor­ gesehenen Verschaltung der Detektorelemente.

In Fig. 1 ist ein möglicher Aufbau einer erfindungsgemäß ausgebildeten Längenmeßeinrichtung im Querschnitt dargestellt, deren Gehäuse 1 in Form eines Hohlprofils an einem Bett 2 einer nicht dargestellten Bearbeitungsma­ schine mittels einer Schraubverbindung 3 befestigt ist. An einem Schlitten 4 der Bearbeitungsmaschine ist ein Montagefuß 5 mit einem Mitnehmer 6 in beliebiger Weise befestigt der über eine schneidenförmige Verjüngung 7 durch einen Schlitz 8 in das im übrigen vollkommen geschlossene Gehäuse 1 hineinragt, wobei im Schlitz 8 vorgesehene elastische Dichtlippen 9 ein Eindringen von Verunreinigungen in das Innere des Gehäuses 1 verhindern. An einer Innenfläche des Gehäuses 1 ist ein Maßstab 10 mittels einer ela­ stischen Klebeschicht 11 angebracht, an dem sich eine Abtasteinheit 12 über Rollen 13 abstützt; die Relativbewegung des Schlittens 4 bezüglich des Betts 2 wird vom Mitnehmer 6 auf die Abtasteinheit 12 übertragen.

Selbstverständlich läßt sich die vorliegende Erfindung alternativ zur Ausfüh­ rungsform aus Fig. 1 auch in einer rotatorischen Anordnung realisieren, d. h. beispielsweise in einer Winkelmeßeinrichtung.

Gemäß Fig. 2 sind zur Abtastung einer Meßteilung 14 des Maßstabs 10 in der Abtasteinheit 12 eine Lichtquelle 15, ein Kondensor 16, eine Ab­ tastplatte 17 mit einer Teilung 18 und ein Detektorelement in Form eines Photoelementes 19 angeordnet. Der von der Lichtquelle 15 ausgehende Lichtstrom wird vom Kondensor 16 parallel gerichtet, durchsetzt die Teilun­ gen 14, 18 des Maßstabs 10 und der Abtastplatte 17 und fällt anschließend auf das Photoelement 19. Bei der Relativbewegung der Abtasteinheit 12 mit der Abtastplatte 17 in Meßrichtung X gegenüber dem Maßstab 10 wird der Lichtstrom an den Teilungen 14, 18 moduliert, so daß das Photoelement 19 ein periodisches elektrisches Analogsignal S (X) liefert, das ausgewertet, gezählt und in digitaler Form als Positionsmeßwert weiterverwertet wird.

Das vom Photoelement 19 gelieferte periodische Analogsignal S (X) ist im allgemeinen z. B. aufgrund von Ungenauigkeiten der Teilungen 14, 18 ober­ wellenbehaftet und kann als Funktion des Meßweges X durch eine Fourier­ reihe dargestellt werden.

Der in Fig. 3 vergrößert dargestellte Maßstab 10 weist die Meßteilung 14 mit einer Teilungsperiode P auf, die zur Hälfte aus einem transparenten Be­ reich P_t und einem opaken Bereich P₀ besteht. Von der Abtasteinheit 12 zur Abtastung der Meßteilung 14 ist in dieser Darstellung nur ein einziges Ab­ tastelement 20 dargestellt. Das Abtastelement 20 umfaßt hierbei die Ab­ tastplatte 17 und das Photoelement 19 aus Fig. 2. Hinsichtlich der Ausfüh­ rung des Abtastelementes 20 existieren verschiedene Möglichkeiten. So kann das Abtastelement 20 eine Abtastplatte 17 mit einer Abtastteilung 18 und dem Photoelement 19 bestehen; alternativ ist es aber auch möglich, das Abtastelement so auszubilden, daß auf dem Photoelement 19 die Ab­ tastteilung 18 direkt aufgeprägt ist. Da demzufolge verschiedene Ausfüh­ rungsvarianten existieren, sei im folgenden lediglich allgemein von einem Abtastelement 20 die Rede.

Das Abtastelement 20 hat in der erfindungsgemäßen Vorrichtung in Meß­ richtung X die Länge einer halben Teilungsperiode P der Meßteilung 14, d. h. das Abtastelement entspricht in seinen Abmessungen insbesondere in Meßrichtung etwa der Größenordnung der Teilungsperiode P der Meßtei­ lung 14.

Selbstverständlich können innerhalb der erfindungsgemäßen Positions­ meßeinrichtung mehrere, derart ausgebildete Abtastelemente 20 in Meß­ richtung X hintereinander vorgesehen sein, was wiederum von der ge­ wünschten Auswertung der Photoelement-Signale abhängt. Hinsichtlich einer derartigen Ausführungsform sowie der zugehörigen Verschaltung sei auf die nachfolgende Fig. 5 verwiesen.

Das Abtastelement 20 besteht aus Teilelementen 21, die transparent aus­ gebildet und durch opake Bereiche 22 voneinander getrennt sind. Die An­ zahl N der transparenten Teilelemente 21 richtet sich nach der gewünschten Qualität der optimalerweise sinusförmigen Signale, d. h. also nach der gefor­ derten Oberwellenfreiheit. Praktisch bedeutet dies, daß ein direkter Zusam­ menhang zwischen der Ordnungszahl der auszufilternden Oberwellen, also somit der Sinusförmigkeit des Signals, und der Anzahl N der transparenten Teilelemente 21 besteht.

Die Breite b_i (i = 1 bis N) der transparenten Teilelemente 21 variiert erfin­ dungsgemäß abhängig von ihrer Lage innerhalb der Teilungsperiode P nach einer Sinus- oder Cosinusfunktion, um die gewünschte Eliminierung von Oberwellenanteilen sicherzustellen. Eine hierzu geeignete Funktion wird nachfolgend noch angegeben.

Fig. 4 zeigt eine vergrößerte Darstellung eines erfindungsgemäß ausge­ führten Abtastelementes 20, und über dem das durch das Abtastelement 20 gewonnene Signal 23 und dessen Einhüllende 24 aufgetragen ist. Das dar­ gestellte Ausführungsbeispiel des Abtastelementes 20 weist in Meßrichtung X hierbei eine Länge auf, die der halben Teilungsperiode P der Meßteilung entspricht. Innerhalb dieses Bereiches sind die Breiten b_i der durchlässigen Teilelemente 21 des Abtastelementes 21 unterschiedlich gewählt.

Die Mitten der Teilelemente 21 sind in der dargestellten Ausführungsform im jeweils gleichen Abstand a zueinander angeordnet, was durch die Bema­ ßungspfeile a deutlich gemacht werden soll.

Wie aus dieser Darstellung ersichtlich ist, ist die Breite b_i (i = 1 bis N) der Teilelemente 21 unterschiedlich, und zwar variiert sie in der dargestellten Ausführungsform nach einer Sinusfunktion in Abhängigkeit von der Lage des einzelnen Teilelements 21 innerhalb der Teilungsperiode P. Von links aus nimmt die Breite b_i demzufolge bis zu einer Maximalbreite zu und wird nach rechts anschließend wieder geringer.

Die Teilelemente 21 müssen nicht wie in der gezeigten Ausführungsform äquidistant zueinander angeordnet sein, sondern ihre gegenseitigen Ab­ stände können sich auch unterscheiden. Fertigungstechnisch erweist sich jedoch ein gleichmäßiger Abstand a zwischen den Mitten der Teilbereiche b_i als vorteilhaft. Auf die Zusammenhänge zwischen der Breite b_i der Teilele­ mente 21 und ihrer Lage bzw. Anordnung innerhalb einer Teilungsperiode P wird später noch detaillierter eingegangen.

Um möglichst viel Strahlungsenergie auf das Detektorelement bzw. Photo­ element zu bekommen, sind die Teilelemente 21 rechteckförmig und quer zur Meßrichtung X wenigstens so lang ausgebildet, daß sie der Breite B der Meßteilung 14 entsprechen. Dies bedeutet eine höhere erzielbare Signalin­ tensität bzw. Lichtausbeute im Vergleich zu bekannten Lösungen, wenn das Abtastelement etwa ein Abtastfenster mit sinusförmiger Kontur umfaßt, wie es z. B. in der erwähnten DE 33 05 921 vorgeschlagen wird. Da bei der Erfindung immer die gesamte Breite der Meßteilung 14 von den Teilungselementen 21 abgetastet wird, ist diesbezüglich immer die maxi­ male Lichtausbeute möglich.

Wie bereits angedeutet ist die erfindungsgemäße Ausgestaltung des Abtast­ elementes besonders vorteilhaft bei Meßeinrichtungen, deren Meßteilung 14 eine Teilungsperiode P aufweist, die in der Größenordnung der Dimensio­ nen bzw. Abmessungen der Empfängerfläche des Photoelementes liegt, beispielsweise in der Größenordnung mehrerer 1/10 mm.

Bei einer vorgesehenen Anzahl N von Teilelementen 21 ergibt sich erfin­ dungsgemäß die Breite b_i (i = 1 . . . N) der einzelnen Teilelemente 21 innerhalb einer Teilungsperiode P gemäß der folgenden Gleichung (1), wobei die Mit­ tenabstände a der Teilelemente 21 entsprechend Gleichung (2) gewählt sind:

b_i = a _* sin (i _* 180°/N - 90°/N) (1)

a = P/(2 _* N) (2)

Wie bereits angedeutet können erfindungsgemäß auch mehrere Abtastele­ mente in Meßrichtung X hintereinander angeordnet werden, die definiert phasenversetzte Teil-Ausgangssignale liefern. Die von den verschiedenen Abtastelementen gelieferten Teil-Ausgangssignale können hierbei in ver­ schiedenster Art und Weise zur Weiterverarbeitung kombiniert werden, was anhand eines Ausführungsbeispiels in Fig. 5 noch detaillierter erläutert wird.

Wenn der gegenseitige Abstand der Teilelemente nicht äquidistant gewählt wird, kann die Filterung beliebiger Oberwellen und sogar der Subharmoni­ schen durch eine spezielle Verteilung der Teilelemente innerhalb einer Tei­ lungsperiode erfolgen.

Die durch die Abtastteilung zu erzielenden Filterwirkung für die Abtastsi­ gnale wird durch eine bestimmte Transmissionsfunktion der Abtastteilung charakterisiert, die durch die auszufilternden Oberwellen bestimmt wird. Die unerwünschten Oberwellen werden dann unterdrückt, wenn ihre zugehöri­ gen Fourierkoeffizienten in der Transmissionsfunktion der Abtastteilung un­ terdrückt bzw. minimiert werden. Um diese Wirkung zu erzielen, werden die Breiten der Teilelemente 21 und ihre Lage innerhalb einer Teilungsperiode nach den erläuterten Gesetzmäßigkeiten aufeinander abgestimmt.

Wie das erläuterte Ausführungsbeispiel der Fig. 4 zeigt ergibt sich bei der erfindungsgemäßen Ausgestaltung der Abtastelemente, d. h. der Breite und Lage der Teilelemente 21 eine resultierende Ausgangssignalform, die im wesentlichen sinusförmig und oberwellenfrei ist. Die Ausgangssignalform entspricht demzufolge etwa der dargestellten Einhüllenden 24 in Fig. 4.

Einen Teil einer weiteren Ausführungsform der erfindungsgemäßen Positi­ onsmeßeinrichtung zeigt die schematisierte Darstellung der Fig. 5, insbe­ sondere die Abtasteinheit 55. Die Abtasteinheit 55, die zur Abtastung einer nicht dargestellten Meßteilung verwendet wird, umfaßt hierbei vier separate Abtastplatten bzw. Abtastteilungen 57a-57d. Die vier Abtastteilungen 57a- 57d sind wiederum erfindungsgemäß ausgebildet, d. h. die Breiten der licht­ durchlässigen Teilelemente sind innerhalb einer Teilungsperiode P der Meßteilung variierend ausgeführt, wie vorab erläutert, also beispielsweise mit sinusförmig variierenden Breiten und konstanten Mittenabständen. In der schematisierten Darstellung von Fig. 5 wurden jeweils lediglich drei licht­ durchlässige Teilelemente innerhalb der Abtastteilungen angedeutet. Die Relativanordnung der vier Abtastteilungen 57a-57d zueinander ist hierbei derart gestaltet, daß sich bei der Abtastung einer Meßteilung phasenver­ setzte Ausgangssignale ergeben, die den verschiedenen Abtastteilungen zugeordnet werden können. Der Phasenversatz der Ausgangssignale der verschiedenen Abtastteilungen 57a-57d wird so gewählt, daß die von links aus erste Abtastteilung 57a das 0°-Signal liefert, die zweite das 270°-Signal, die dritte das 90°-Signal und die vierte das 180°-Signal.

Jeder der solchermaßen ausgeführten Abtastteilungen ist ein Photoelement 59a-59d zugeordnet, wobei das zur ersten und vierten Abtastteilung gehö­ rige Photoelement 59a und 59d sowie das der zweiten und dritten Abtasttei­ lung zugeordnete Photoelement 59b und 59c jeweils antiparallel miteinander verschaltet sind. Ausgangsseitig resultieren zwei um 90° phasenversetzte Signale, die aufgrund der erfindungsgemäßen Ausgestaltung der Abtast­ elemente weitgehend oberwellenfrei sind. Die Weiterverarbeitung der beiden Ausgangssignale erfolgt in bekannter Art und Weise.

Claims (6)

1. Vorrichtung zur Gewinnung von oberwellenfreien Signalen, die durch Abtastung einer periodischen Meßteilung mit einer Abtastteilung er­ zeugt werden, wobei durch die Ausgestaltung der Abtastteilung - cha­ rakterisiert durch eine bestimmte Transmissionsfunktion - eine Filter­ wirkung für die Abtastsignale erzeugt wird, die durch eine Menge von zu unterdrückenden Oberwellen bestimmt ist, wobei zur Abtastung ei­ ner Teilungsperiode der Meßteilung mindestens ein Abtastelement vorgesehen ist und das Abtastelement (20) zumindest eine Spur aus mehreren rechteckförmigen Teilelementen (21) aufweist, die in Meß­ richtung (X) innerhalb einer Teilungsperiode (P) der Meßteilung (14) zueinander versetzt sind und deren wirksame Breite (b_i) innerhalb der Teilungsperiode (P) so auf ihre Lage innerhalb der Teilungsperiode (P) abgestimmt ist, daß die zu den zu unterdrückenden Oberwellen gehö­ renden Fourierkoeffizienten der Transmissionsfunktion minimiert wer­ den.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei Teilelemente (21) in Meßrichtung (X) innerhalb einer Teilungsperiode (P) äquidistant zueinander ver­ setzt sind, wobei ihre wirksame Breite (b_i: i = 1 bis N) einem Bruchteil einer Teilungsperiode (P) entspricht und sich in Abhängigkeit von ihrer Lage innerhalb der Teilungsperiode (P) nach einer Sinus- oder Cosi­ nusfunktion bestimmt.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Länge (1) der Teilelemente (21) quer zur Meßrichtung (X) wenigstens der Breite (B) einer Spur (S) der Meßteilung (14) entspricht.

4. Vorrichtung nach Anspruch 2, wobei die N Teilelemente (21) innerhalb einer Teilungsperiode P in Abständen a = P/2N zueinander angeord­ net sind und die Breiten der Teilelemente variierend gemäß b_i = a _* sin (i _* 180°/N - 90°/N) gewählt sind.

5. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei in Meßrichtung vier Abtastele­ mente angeordnet sind, die phasenversetzte Ausgangssignale liefern.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, wobei je zwei der den Abtastelementen zugeordnete Photoelemente antiparallel miteinander verschaltet sind und ausgangsseitig zwei um 90° phasenversetzte Signale zur Weiter­ verarbeitung zur Verfügung stehen.