DE19618717C1 - Electrical connection means - Google Patents

Electrical connection means

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Hans-Georg Dr Ing Meissner
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Description

Die Erfindung betrifft eine elektrische Verbindungsein richtung zum Verbinden von elektrischen Anschlüssen eines Bauelementes, insbesondere Halbleiter-Bauelements, mit entsprechenden, insbesondere auf einer Leiterplatte an geordneten Anschlußleitungen gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1. The invention relates to an electric Verbindungsein direction for connecting electrical terminals of a component, in particular semiconductor component, with corresponding, and in particular a printed circuit board of ordered connecting lines according to the preamble of claim 1.

Elektrische Verbindungseinrichtungen dieser Art werden insbesondere bei Maschinen zum Testen von Halbleiter-Bau elementen mit integrierten Schaltungen verwendet, um die Funktion dieser elektronischen Bauelemente herstellersei tig zu überprüfen. Electrical connecting devices of this type are in particular in machines for testing semiconductor construction elements used with integrated circuits to the function of these electronic components herstellersei point in checking. Hierbei werden die elektrischen An schlüsse des Bauelementes, beispielsweise die Pins eines IC-Chips, vollautomatisch über die elektrische Verbin dungseinrichtung mit einer mit der eigentlichen Testein richtung verbundenen Leiterplatte kontaktiert (auch DUT- Board oder "Device under test board" genannt). Here, the electric to be connections of the device, for example, pins of an IC chip, fully automatically via the electrical Verbin-making device with a connected with the actual testing equipment direction PCB contacts (also called DUT board or "device under test board").

Moderne Testmaschinen arbeiten mit einem Durchsatz von 3000 Halbleiter-Bauelementen pro Stunde und mehr. Modern testing machines have a throughput of 3000 semiconductor components per hour and more. Dies bedeutet, daß die Positionierung und Kontaktierung der Rauelemente mit den entsprechenden Anschlußleitungen der DUT-Leiterplatte sehr rasch erfolgen muß. This means that the positioning and connection of the Rauelemente with the corresponding leads of the DUT board must be done very quickly. Ferner muß die ser Vorgang mit höchster Präzision durchgeführt werden, da Halbleiter-Bauelemente bis zu mehreren 100 Pins aufweisen können, die entsprechend klein ausgebildet sind und von einander einen Abstand von nur beispielsweise 0,5 bis 1 mm haben. Further, the ser operation with high precision must be performed, since the semiconductor devices can have up to several 100 pins, which are formed correspondingly small and from each other have a distance of only for example 0.5 to 1 mm. Zusätzlich muß der Aufbau der elektrischen Verbin dung innerhalb dieser kurzen Zeit auf absolut zuverlässige Weise erfolgen, da andernfalls ein falsches Testergebnis erzielt und das Bauelement als Ausschuß deklariert werden würde. In addition, the construction of the electrical connections are made to establish a must within this short time in an absolutely reliable manner, otherwise obtained a false test result and the device would be declared as scrap.

Eine elektrische Verbindungseinrichtung gemäß dem Ober begriff des Patentanspruchs 1 ist aus der US-PS 5,069,629 bekannt. An electrical connection device according to the preamble of claim 1 is known from US-PS 5,069,629. Die elektrische Verbindung zwischen den Pins des zu testenden Bauelementes und den entsprechenden Anschluß leitungen der DUT-Leiterplatte erfolgt dort mittels S- förmiger Kontaktstücke, die an beiden Enden an dünnen, zueinander parallel verlaufenden Haltebändern aufgehängt sind. The electrical connection between the pins of the device to be tested and the corresponding connecting leads of the DUT board takes place there by means of S-shaped contact pieces, which are suspended at both ends of thin, mutually parallel holding strips. Mindestens eines dieser Haltebänder ist hierbei als elastomeres, federndes Teil ausgebildet. At least one of these straps is embodied as an elastomeric, resilient member. Werden die Enden der Pins des zu prüfenden Halbleiter-Bauelementes auf die über die Oberseite des Aufnahmeteils hinaus ragenden Enden der Kontaktstücke gedrückt, können sich diese daher fe dernd innerhalb der Schlitze des Aufnahmeteils nach unten bewegen, bis das untere Ende der Kontaktstücke auf den entsprechenden Anschlußleitungen der DUT-Leiterplatte auf liegt und hierdurch die elektrische Verbindung hergestellt ist. The ends of the pins of the to be tested, the semiconductor component is pressed onto the projecting above the upper surface of the receiving part beyond ends of the contact pieces, this therefore fe can horror move within the slots of the receiving part downwardly until the lower end of the contact pieces on the respective connecting lines the DUT board is on, and thereby the electrical connection is made.

Nachteilig ist bei dieser bekannten Ausführung jedoch, daß Kontaktstücke erforderlich sind, deren Anpreßkraft durch die Baugröße beschränkt ist und die dadurch die Längsin duktivität, die Gegeninduktivität (Übersprechung) und die Kopplungskapazität in unerwünschter Weise erhöhen. A disadvantage of this known embodiment, however, that the contact pieces are necessary, whose contact force is limited by the size and the productivity characterized the Längsin, increase the mutual inductance (crosstalk) and the coupling capacity undesirably. Weiter hin können die Kontaktstücke nur einen relativ geringen Hub ausführen. Farther on the contacts can perform only a relatively small stroke. Die elastomeren Bänder haben nur eine ge ringe Lebensdauer und bringen eine schwierige Montage mit sich. The elastomeric bands have only one ge rings life and bring a difficult installation with it. Weiterhin hat sich gezeigt, daß die Relativbewegung der Kontaktstücke auf den entsprechenden Anschlußleitun gen, dh auf den elektrisch leitenden Kontaktflächen der DUT-Leiterplatte, zu einem vorzeitigen Verschleiß und einer frühen Zerstörung der Anschlußleitungen führt. Furthermore, it has been shown that the relative movement of the contact pieces on the respective Anschlußleitun gene that leads to the electrically conductive contact surfaces of the DUT board to premature wear and early destruction of the connection lines.

Der Erfindung liegt von daher die Aufgabe zugrunde, eine elektrische Verbindungseinrichtung gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 zu schaffen, welche verbesserte elektrische Eigenschaften aufweist, die Kontaktierungs zuverlässigkeit erhöht und bei längerer Lebensdauer höhere Testfrequenzen bei dichterer Bauweise der Kontaktstücke ermöglicht. The invention is therefore based on the object to provide an electrical connection device according to the preamble of claim 1, which has improved electrical properties, reliability increases the Kontaktierungs and prolonged lifetime higher test frequencies allows for more dense construction of the contact pieces.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst. This object is solved by the features of claim 1. Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind in den weiteren Ansprüchen beschrieben. Advantageous embodiments of the invention are described in the further claims.

Bei der erfindungsgemäßen Verbindungseinrichtung ist die Federeinrichtung zwischen den Anschlußleitungen und den beweglichen Kontaktstücken vorgesehen und weist elektrisch leitende Durchgangselemente auf, welche an ihrem einen Ende mit den Anschlußleitungen und an ihrem anderen Ende mit den Kontaktstücken in Druckkontakt sind. In the inventive connecting device the spring means between the leads and the movable contact pieces is provided and electrically comprises conductive via elements which are at their one end with the connecting lines and at its other end with the contact pieces in pressure contact. Weiterhin sind die Kontaktstücke als endseitig drehgelagerte Druck hebel für die Federeinrichtung ausgebildet. Further, the contact pieces are designed as end rotatably mounted pressure lever for said spring means.

Aufgrund der erfindungsgemäßen Ausgestaltung treten nicht mehr die Kontaktstücke selbst mit den entsprechenden An schlußleitungen der DUT-Leiterplatte in Kontakt. Due to the inventive design is no longer the contacts occur even with the appropriate con nection lines of the DUT board into contact. Vielmehr erfolgt die elektrische Verbindung über die elektrisch leitende Federeinrichtung, dh über die elektrisch lei tenden und biegefähigen Durchgangselemente, welche in nerhalb der Federeinrichtung vorgesehen sind. Rather, the electrical connection is via the electrically conductive spring means, that is, which are provided in nerhalb the spring means via the electrically lei Tenden and bendable passage elements. Diese Feder einrichtung liegt auf den Anschlußleitungen der DUT-Lei terplatte auf, so daß mindestens ein elektrisch leitendes Durchgangselement mit einer entsprechenden Anschlußleitung in Kontakt ist. This spring device is supported on the leads of the DUT Lei terplatte, so that at least one electrically conductive passage member with a corresponding connecting line is in contact. Die Kontaktstücke liegen an der gegen überliegenden Seite der Federeinrichtung auf dieser auf, und zwar derart, daß ebenfalls mindestens ein elektrisch leitendes Durchgangselement mit einem Kontaktstück Verbin dung hat. The contact pieces are located on the opposite side of the spring means on this, and in such a way that also at least one electrically conductive passage member with a contact piece Verbin has dung. Werden die Kontaktstücke an ihrem freien Ende, das nach oben über das geschlitzte Aufnahmeteil hinaus ragt, durch das Aufsetzen der Pins des Halbleiter-Bau elements nach unten gedrückt, schwenkt das Kontaktstück an diesem Ende um seine endseitige Schwenkachse herum nach unten, wobei die Federeinrichtung an dieser Stelle zu sammengedrückt wird und das dort angeordnete elektrisch leitende Durchgangselement fest sowohl auf die darunter liegende Anschlußleitung als auch an das Kontaktstück gedrückt wird. If the contact pieces is pressed at its free end which projects upwards beyond the slotted receiving part addition, elements by placing the pins of the semiconductor construction down, the contact piece swivels on this end to its end-side pivot axis downward, wherein the spring means on this point will sammengedrückt and arranged there electrically conductive passage member is pressed firmly both to the underlying connection line and to the contact piece. Hierdurch wird eine sichere elektrische Verbindung geschaffen. In this way, a reliable electrical connection is created. Die Kontaktstücke können aufgrund einer derartigen Ausgestaltung sehr klein und relativ kurz ausgebildet werden, so daß die Längsinduktivität, Kopp lungsinduktivität und die Kopplungskapazität verringert werden können. The contact pieces can be made very small and relatively short due to such a configuration, so that the series inductance, Kopp lungsinduktivität and the coupling capacitance can be reduced. Dies führt gleichzeitig dazu, daß auch bei sehr dichter Bauweise die mögliche Taktfrequenz bedeutend erhöht werden kann, beispielsweise bis zu 5 GHz. This gives rise to the fact that even with very dense construction, the possible clock frequency can be significantly increased, for example up to 5 GHz. Weiterhin wird ein definierter Wellenwiderstand geschaffen. Furthermore, a defined characteristic impedance is provided.

Ein weiterer wesentlicher Vorteil besteht darin, daß die Kontaktstücke nicht mehr auf den Anschlußleitungen der DUT-Leiterplatte reiben, sondern lediglich ein statischer Druckkontakt mit der Federeinrichtung vorhanden ist. Another important advantage is that the contact pieces no longer rub on the leads of the DUT board, but merely a static pressure contact with the spring means is provided. Fer ner kann die Montage der Kontaktstücke auf sehr einfache Weise durchgeführt werden und schadhafte Kontaktstücke können ggf. auch einzeln ausgetauscht werden. Fer ner, the mounting of the contacts are carried out very easily and damaged contacts can be individually replaced if necessary also.

Ein weiterer Vorteil besteht darin, daß die Federwirkung weitgehend unabhängig von der Anordnung der Durchgangs elemente verändert werden kann, indem beispielsweise die Breite der Federeinrichtung nur zu einer Seite hin ver ändert wird. A further advantage is that the spring action can be varied substantially independently of the arrangement of the passageway elements, for example, the width of the spring means varies ver only to one side.

Vorteilhafterweise besteht die Federeinrichtung aus einem Silikonstreifen, in welchem eine Vielzahl von elektrisch leitenden Durchgangselementen in einer Reihe und in einem vorbestimmten Abstand zueinander eingebettet sind. Advantageously, the spring means consists of a silicone strip, in which a plurality of electrically conductive through elements in a row and in a predetermined distance are embedded to each other. Das Silikon erfüllt hierbei sowohl die Halte- als auch Iso lierfunktion für die elektrisch leitenden Durchgangsele mente. The silicone here meets both the holding and Iso lierfunktion elements for the electrically conductive Durchgangsele.

Eine einfache Zuordnung eines Kontaktstücks zu einer be stimmten Anschlußleitung läßt sich durch eine Ausführungs form erzielen, bei welcher sich die Durchgangselemente senkrecht durch den Kunststoffstreifen hindurch erstrec ken. A simple assignment of a contact piece to be voted connecting cable can be achieved through a form of execution in which the passage elements ken erstrec vertically through the plastic strips through.

Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform weisen die Kon taktstücke einen Lagerschenkel auf, der zumindest im we sentlichen nach oben, dh zu der dem Bauelement zugewand ten Oberfläche der Verbindungseinrichtung hin, von einer Abdeckplatte abgedeckt ist, die am geschlitzten Aufnahme teil lösbar befestigt ist und als oberes Anschlagteil und Lagerteil für die Lagerschenkel dient. According to an advantageous embodiment, the con tact pieces a mounting leg on which sentlichen at least we upward, that is to the component fed wall th surface of the coupling device out is covered by a cover plate which is releasably attached to the slotted receiving portion and as an upper stop member and bearing part for the bearing limb is. Beispielsweise kann die Abdeckplatte an ihrer Unterseite mit einer im Quer schnitt kreisbogenförmigen Nut versehen sein, in welcher die konvexen Kreisbogenabschnitte der Kontaktstücke gleit gelagert sind. For example, the cover plate may be provided on its underside with a cross-section in the circular arc-shaped groove in which the convex circular arc portions of the contact pieces are mounted sliding. Anstelle einer derartigen Nut kann jedoch auch ein entsprechender Rundwulst vorgesehen sein, wobei In diesem Fall die Kontaktstücke entsprechend geformte, konkave Kreisbogenabschnitte am Lagerende aufweisen, die sich an dem Rundwulst abstützen. However, a corresponding Rundwulst may be provided instead of such a groove, the contact pieces correspondingly shaped concave circular arc sections have In this case, at the bearing end, are supported on the Rundwulst. Der Vorteil einer der artigen Abdeckplatte liegt insbesondere in der einfachen Montage der Kontaktstücke, da diese bei entfernter Abdeck platte frei von oben in die entsprechenden Schlitze des Aufnahmeteils eingesetzt werden können und anschließend lediglich noch die Abdeckplatte aufgesetzt und festge schraubt werden muß. The advantage of the cover-like lies particularly in the ease of assembly of the contact pieces, as this plate can be freely inserted from above into the corresponding slots of the receiving part in remote covering and then only have placed the cover and must be screwed Festge. Da in der Abdeckplatte die Drehlage rung für die Kontaktstücke vorgesehen ist, können weiter hin durch Verwenden verschiedener Abdeckplatten auf sehr einfache Weise auch verschiedene Kontaktstücke bei identi schen übrigen Bauteilen verwendet werden, so daß die Ver bindungseinrichtung universell einsetzbar ist. Since the rotational position tion is provided for the contact pieces in the cover plate, various contact pieces at identi rule out other components may further by using various cover plates in a very simple manner be used, so that the Ver inhibiting means is universally applicable.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Zeichnungen beispielshaft näher erläutert. The invention is illustrated by way of example with reference to the drawings. In diesen zeigen: In which:

Fig. 1 eine perspektivische, teilweise aufgebro chene Teilansicht einer ersten Aus führungsform der erfindungsgemäßen Verbin dungseinrichtung, Fig. 1 is a perspective, partially-making device aufgebro chene view of a first form from execution of the invention Verbin,

Fig. 2 einen Längsschnitt durch die Verbindungs einrichtung von Fig. 1 längs der Haupt ebene eines Kontaktstücks in nicht ge drückter Stellung, Fig. 2 is a longitudinal section through the connecting device of FIG. 1 along the main plane of a contact piece in non-ge depressed position,

Fig. 3 einen Längsschnitt entsprechend Fig. 2, wobei das Kontaktstück in niedergedrückter Stellung gezeigt ist, Fig. 3 is a longitudinal section corresponding to FIG. 2, wherein the contact piece is shown in the depressed position,

Fig. 4 eine perspektivische Darstellung des Kon taktstücks der Fig. 1 bis 3 in Alleinstel lung, Fig. 4 is a perspective view of the con tact tee of Figs. 1 to 3 alone lung Stel,

Fig. 5 eine Ausführungsvariante des Kontaktstücks von Fig. 4, Fig. 5 shows a variant of the contact piece of Fig. 4,

Fig. 6 eine perspektivische, verkürzte Darstel lung der Federeinrichtung von Fig. 1, Fig. 6 is a perspective, depicting shortened development of the spring device of Fig. 1,

Fig. 7 einen Längsschnitt durch die Federeinrich tung von Fig. 6, und Fig. 7 is a longitudinal section through the Federeinrich processing of FIG. 6, and

Fig. 8 eine perspektivische Darstellung einer zweiten Ausführungsform der erfindungs gemäßen Verbindungseinrichtung. Fig. 8 is a perspective view of a second embodiment of the connecting device according to Invention.

Aus Fig. 1 ist ein Ausschnitt einer elektrischen Verbin dungseinrichtung 1 in der Form eines Kontaktsockels er sichtlich, der auf eine DUT-Leiterplatte 2 aufgesetzt ist. From FIG. 1, a partial electrical connections are is dung device 1 in the form of a contact socket, he arranged, which is placed on a DUT board 2. Oberhalb der elektrischen Verbindungseinrichtung 1 ist ein kleiner Teil eines Halbleiter-Bauelementes 3 mit elek trischen Anschlüssen in Form von Pins 4 ersichtlich, die zum Testen des Halbleiter-Bauelementes 3 in eine vorge schriebene Relativlage bezüglich der elektrischen Verbin dungseinrichtung 1 gebracht werden. Above the electrical connecting device 1 is a small part of a semiconductor device 3 can be seen with elec trical terminals in the form of pins 4, are brought 1, the testing of the semiconductor component 3 in a prescribed relative position dung device with respect to the electrical connections are.

Auf der Oberseite der DUT-Leiterplatte 2 sind Anschlußlei tungen 5 vorgesehen, die aus einer Vielzahl nebeneinander in einer Reihe angeordneten ebenen Leiterbahnen bestehen. On top of the DUT board 2 5 are provided Anschlußlei obligations, which consist of a plurality of adjacently arranged in a row flat conductor tracks. Diese Anschlußleitungen 5 , die in bekannter Weise vonein ander isoliert sind, stehen in nicht näher dargestellter Weise mit einer ebenfalls nicht dargestellten Testmaschine zum Überprüfen der elektrischen Eigenschaften des Halbleiter-Bauelementes 3 in elektrischer Verbindung. This leads 5 which are vonein other isolated in a known manner, are provided in a manner not shown with a, also not shown test machine for testing the electrical properties of the semiconductor component 3 in electrical connection.

Die elektrische Verbindungseinrichtung 1 besteht im we sentlichen aus einem plattenförmigen Aufnahmeteil 6 , in welchem eine Vielzahl von durchgehenden, vertikalen Schlitzen 7 vorgesehen sind. The electrical connecting device 1 consists we sentlichen from a plate-shaped receiving part 6, in which a plurality of through, vertical slots are provided. 7 Die Schlitze 7 weisen alle die gleiche Größe auf und sind in dem in Fig. 1 gezeigten Ausschnitt in einer Reihe parallel nebeneinander angeord net. The slots 7 have all the same size and are parallel in a row in the example shown in Fig. 1 cut adjacent angeord net. Die Schlitze 7 dienen zur beweglichen Aufnahme und Führung von elektrisch leitenden Kontaktstücken 8 und halten diese in einem gegenseitigen seitlichen Abstand, welcher dem Abstand der Pins 4 entspricht. The slots 7 are used for movably receiving and guiding of electrically conductive contact elements 8 and keep it at a reciprocal lateral distance corresponding to the spacing of the pins. 4 Weiterhin sind die Schlitze 7 derart angeordnet, daß sie sich dann, wenn das Aufnahmeteil 6 auf der Leiterplatte 2 aufgesetzt ist, oberhalb der Anschlußleitungen 5 befinden, wobei jeweils ein Schlitz 7 mit einer Anschlußleitung 5 ausgerichtet ist. Further, the slits 7 are arranged such that they, when the receiving part is mounted on the circuit board 2 6, are located above the connecting lines 5, wherein a respective slot 7 is aligned with a connection line. 5 Die Länge der Schlitze 7 ist so bemessen, daß sie sich in ihrer Längsrichtung über das vordere und hintere Ende der Anschlußleitungen 5 hinaus erstrecken. The length of slots 7 is dimensioned such that they extend in their longitudinal direction over the front and rear ends of the leads 5 addition.

Die Schlitze 7 und damit die in diese Schlitze 7 einge setzten Kontaktstücke 8 werden nach oben hin teilweise von einer Abdeckplatte 9 abgedeckt. The slots 7, and thus the translated into these slots 7 into contact pieces 8 are covered at the top part by a cover plate. 9 Diese Abdeckplatte 9 ist in eine entsprechende, an der Oberseite des Aufnahmeteils 6 vorgesehene Vertiefung 10 eingesetzt, so daß die Ober seite der Abdeckplatte 9 mit der übrigen Oberseite des Aufnahmeteils 6 in einer Ebene liegt. This cover plate 9 is inserted into a corresponding, provided on the upper side of the receiving part 6 recess 10, so that the upper side of the cover plate 9 with the rest of the top side of the receiving part 6 in a plane. Die Abdeckplatte 9 und damit die Vertiefung 10 erstreckt sich in Längsrich tung der Schlitze 7 von außen über etwas mehr als die Hälfte der Länge der Schlitze 7 , während der verbleibende, nicht von der Abdeckplatte 9 abgedeckte Teil der Schlitze 7 nach oben und unten offen ist. The cover plate 9 and hence the recess 10 extends in the longitudinal direction by the slits 7 from the outside over slightly more than half the length of the slots 7, while the remaining, not from the cover plate 9 uncovered part of the slots is open 7 up and down , Die Abdeckplatte 9 wird mittels Schrauben 11 mit einem später noch näher beschrie benen Klemmstück 12 verschraubt, welches sich unterhalb der Abdeckplatte 9 an der Unterseite des Aufnahmeteils 6 befindet. The cover plate 9 is screwed by means of screws 11 to a greater detail later beschrie surrounded clamping piece 12 which is located below the cover plate 9 at the bottom of the receiving part. 6

An der Unterseite des Aufnahmeteils 6 ist im Bereich ober halb der Anschlußleitungen 5 eine Aussparung 13 vorgese hen, die quer über alle Schlitze 7 verläuft. At the bottom of the receiving part 6 is in the range above half of the leads 5 a recess 13 vorgese hen, which extends across all slots. 7 In diese Aussparung 13 ist eine Federeinrichtung in Form eines Silikonstreifens 14 eingesetzt, der in den Fig. 6 und 7 näher dargestellt ist. In this recess 13, a spring means is used in the form of a silicone strip 14, which is shown in detail in FIGS. 6 and 7. Der Silikonstreifen 14 besteht aus einem federnden, im Querschnitt rechtwinkeligen Silikon körper 15 , in welchem eine Vielzahl durchgehender, elek trisch leitender Durchgangselemente 16 eingebettet sind. The silicone strip 14 is made of a resilient, rectangular in cross-section silicone body 15 in which a plurality of through, elec trically conductive via elements are embedded sixteenth Die Durchgangselemente 16 bestehen aus feinen Drähten, die parallel zueinander längs des Silikonkörpers in einer Reihe und in sehr geringem Abstand zueinander angeordnet sind. The passage members 16 consist of fine wires arranged parallel to each other longitudinally of the silicon body in a row and in a very short distance to each other. Die Durchgangselemente 16 stehen an der Ober- und Unterseite des Silikonkörpers 15 geringfügig über, dh die Länge der Durchgangselemente 16 ist geringfügig größer als die Höhe des Silikonkörpers 15 . The through elements 16 are provided on the top and bottom of the silicon body 15 slightly above, ie the length of the passage elements 16 is slightly greater than the height of the silicon body 15th Der Silikonkörper 15 dient einerseits zur Halterung und andererseits zur gegen seitigen Isolation der Durchgangselemente 16 . The silicon body 15 serves on the one hand to the bracket and on the other hand for mutual isolation of the elements through sixteenth Ferner ist der Abstand zwischen den Durchgangselementen 16 derart bemessen, daß dann, wenn der Silikonstreifen 14 auf die Anschlußleitungen 5 aufgelegt wird, mindestens ein elek trisch leitendes Durchgangselement 16 mit je einer An schlußleitung 5 in Kontakt ist. Further, the distance between the passage elements 16 is such that when the silicone strip is applied 14 to the connection lines 5, at least one elec trically conductive passage member 16, each with an on-circuit line 5 is in contact.

Der Silikonstreifen 14 liegt nach einer Seite an einer entsprechenden Seitenwand der Aussparung 13 an und wird von seiner gegenüberliegenden Seite her vom Klemmstück 12 gegen diese Seitenwand gedrückt. The silicone strip 14 is located to one side of a respective side wall of the recess 13 and is pushed from its side opposite from the clamping piece 12 against this side wall. Das Klemmstück 12 liegt in einer Aussparung 17 , die sich ebenfalls an der Unter seite des Aufnahmeteils 6 befindet, sich seitlich an die Aussparung 13 anschließt und parallel zu dieser verläuft. The clamping piece 12 is located in a recess 17, which is also located on the lower side of the receiving part 6, adjoins the recess 13 laterally and parallel to this.

Das Klemmstück 12 dient einerseits zur Fixierung des Sili konstreifens 14 in der Aussparung 13 und andererseits zur Übertragung der Kontaktierungskräfte der Kontaktstücke 8 auf das geschlitzte Aufnahmeteil 6 . The clamping piece 12 serves on the one hand for fixing the Sili konstreifens 14 in the recess 13 and on the other hand for transmitting the contacting forces of the contact pieces 8 on the slotted receiving member. 6 Dies erfolgt dadurch, daß das Klemmstück 12 mit der Abdeckplatte 9 über die Schrauben 11 verbunden ist, wobei zwischen diesen Teilen ein horizontaler Abschnitt 18 des geschlitzten Aufnahme teils 6 eingeklemmt wird. This takes place in that the clamping piece being arranged between these parts, a horizontal portion 18 of the slotted receiving part 6 is clamped 12 is connected to the cover plate 9 through the screws 11. Werden die Kontaktstücke 8 , wie später noch näher erläutert wird, durch die Pins 4 des zu testenden Halbleiter-Bauelementes 3 nach unten gedrückt, entsteht im Lagerbereich der Kontaktstücke 8 eine nach oben gerichtete Kraft, welche die Abdeckplatte 9 nach oben vom Aufnahmeteil 6 abzuheben versucht. If the contact pieces 8, will be explained in more detail later, pushed by the pins 4 of the test semiconductor component 3 downwards in the storage area of the contact pieces 8 creates an upward force tending to lift the cover 9 up from the receiving part 6 , Diese nach oben gerichtete Kraft wird über die Schrauben 11 auf das Klemm stück 12 und von dieser auf den horizontalen Abschnitt 18 des geschlitzten Aufnahmeteils 6 übertragen. This upward force will play on the screw 11 to the terminal 12 and transmitted from this to the horizontal portion 18 of the slotted receiving member. 6

Alternativ hierzu ist es auch möglich, das Klemmstück 12 wegzulassen und die Abdeckplatte 9 direkt mit dem Auf nahmeteil 6 oder mit der DUT-Leiterplatte 2 zu verschrau ben. Alternatively, it is also possible to omit the clamping member 12 and the cover plate 9 to ben verschrau directly with the on-receiving member 6 or to the DUT board. 2 Das Klemmstück 12 bietet jedoch eine einfache Fixier möglichkeit für den Silikonstreifen 14 und ermöglicht es weiterhin, verschieden breite Silikonstreifen 14 zu ver wenden, wobei in diesem Fall lediglich Klemmstücke 12 verschiedener Breite verwendet werden müssen. However, the clamp 12 provides a simple fixing possibility for the silicone strip 14 and also makes it possible to apply different ver wide silicone strip 14, in which case only the clamping pieces 12 of different widths to be used.

Wie aus den Fig. 1 bis 4 ersichtlich, bestehen die Kon taktstücke 8 aus dünnen ebenen Plättchen mit im wesentli chen L-förmiger Gestalt. As shown in FIGS. 1 to 4 can be seen, there are the con tact 8 pieces of thin flat platelets with the wesentli Chen L-shaped form. Die Kontaktstücke 8 weisen einen im wesentlichen geraden, etwas längeren Lagerschenkel 19 und einen etwas kürzeren, nach oben vorstehenden Schenkel 20 auf. The contact pieces 8 have a substantially straight, somewhat longer bearing leg 19 and a somewhat shorter, upwardly projecting leg 20th Der Schenkel 20 befindet sich im montierten Zu stand der Kontaktstücke 8 im durchgehenden, nicht von der Abdeckplatte 9 abgedeckten Teil der Schlitze 7 und steht nach oben über die Oberfläche des Aufnahmeteils 6 hinaus, so daß die Pins 4 auf den oberen Randbereich des Schenkels 20 aufgesetzt werden und diesen um einen vorbestimmten Betrag niederdrücken können. The leg 20 is located in the mounted on the status of the contact pieces 8 in continuous, not from the cover plate 9 covered part of the slots 7 and is upwardly beyond the surface of the receiving part 6, so that the pins 4 mounted on the upper edge region of the leg 20 and may be used to depress these by a predetermined amount. Der Lagerschenkel 19 weist am gegenüberliegenden Ende des Kontaktstücks 8 einen End abschnitt 21 mit einer kreisbogenförmigen Außenkontur auf, wobei der Durchmesser des Endabschnittes 21 größer als die Höhe des übrigen Lagerschenkels 19 ist. The bearing leg 19 has at the opposite end of the contact piece 8 is a end portion 21 having a circular arc-shaped outer contour, wherein the diameter of the end portion 21 is greater than the height of the remaining bearing leg 19 is. Der Endabschnitt 21 steht somit nach oben über den übrigen Lagerschenkel 19 hinaus. The end portion 21 is thus upwardly beyond the other bearing leg 19 also. Dieser kreisbogenförmige Endabschnitt 21 dient zur Drehlagerung der Kontaktstücke 8 innerhalb der Schlitze 7 . This circular arc-shaped end portion 21 serves to rotatably support the contact pieces 8 within the slots. 7

Wie aus den Fig. 1 bis 3 ersichtlich, sind die Kontakt stücke 8 derart innerhalb der Schlitze 7 eingesetzt, daß sie sich quer über den Silikonstreifen 14 erstrecken, wobei der mittlere Bereich des Lagerschenkels 19 mit sei ner Unterseite auf dem Silikonstreifen 14 aufliegt. As can be seen from FIGS. 1 to 3, the contact pieces 8 in such a way within the slots 7 is used to extend transversely across the silicone strip 14, the middle region of the bearing leg 19 rests with is ner base on the silicone strip 14. Die Breite der Kontaktstücke 8 ist so bemessen, daß mindestens ein elektrisch leitendes Durchgangselement 16 mit der Unterseite des Lagerschenkels 19 in Kontakt ist. The width of the contact pieces 8 is dimensioned such that at least one electrically conductive passage member 16 is connected to the underside of the bearing arm 19 in contact. Der Sili konstreifen 14 ist das einzige Bauteil, mit dem die Kon taktstücke 8 nach unten abgestützt werden. The Sili konstreifen 14 is the only component with which the con tact pieces are supported 8 downwards. Weiterhin ist jedes Kontaktstück, wie bereits ausgeführt, im Bereich des kreisbogenförmigen Endabschnittes 21 innerhalb des Auf nahmeteils 6 schwenkgelagert. Further, each contact piece, as already stated, pivotally mounted in the region of the arcuate end portion 21 is within the on-receiving member. 6 Hierzu liegen die Kontakt stücke 8 mit diesem Endabschnitt 21 in einer Nut 22 mit entsprechendem kreisbogenförmigen Querschnitt, welcher an der Unterseite der Abdeckplatte 9 vorgesehen ist. For this purpose, are the contact pieces 8 with this end section 21 in a groove 22 with a corresponding circular arc-shaped cross section which is provided on the underside of the cover. 9 Weiter hin werden die Kontaktstücke in dem in Fig. 2 gezeigten Zustand, in welchem die Kontaktstücke 8 nicht nach unten geschwenkt sind, nach oben im Bereich des Lagerschenkels 19 von der Unterseite der Abdeckplatte 9 abgestützt und in der in Fig. 2 gezeigten horizontalen Stellung gehal ten, da der Silikonstreifen 14 den Lagerschenkel 19 mit Vorspannung gegen die Abdeckplatte 9 drückt. Farther, the contact pieces in the example shown in Fig. 2 state in which the contact pieces are not pivoted 8 downwards, supported by the top of the region of the bearing leg 19 of the underside of the cover plate 9 and retained in the position shown in Fig. 2 horizontal position th, as the silicone strip 14 presses the bearing leg 19 with a preload against the cover plate. 9

Werden die Pins 4 des Halbleiter-Bauelementes 3 auf die dazugehörigen Kontaktstücke 8 aufgesetzt, schwenken, wie aus Fig. 3 ersichtlich, die Kontaktstücke 8 um ihren kreisbogenförmigen Endabschnitt 21 nach unten, wobei der Silikonstreifen 14 zusammengedrückt wird. If the pins 4 of the semiconductor component 3 mounted on the associated contact pieces 8, pivot, as shown in Fig. 3, the contact pieces 8 to its circular arc-shaped end portion 21 downward, the silicone strip 14 is compressed. Hierbei werden die elektrisch leitenden Durchgangselemente 16 verstärkt nach unten auf die Anschlußleitungen 5 und nach oben gegen die Kontaktstücke 8 gepreßt, so daß eine sichere elek trische Verbindung zwischen dem Kontaktstück 8 und der Anschlußleitung 5 geschaffen wird. Here, the electrically conductive passage elements 16 are amplified pressed down on the leads 5 and upwardly against the contact pieces 8, so that a secure elec tric connection between the contact piece 8 and the connecting line 5 is provided. Die Kontaktstücke 8 wirken somit als einseitig gelagerte Schwenk- und Druckhe bel. The contact pieces 8 thus act as a bel cantilevered pivoting and Druckhe. Die bei dieser Schwenkbewegung im Bereich der Nut 22 auftretende, nach oben gerichtete Kraft wird, wie bereits ausgeführt, über die Schrauben 11 und das Klemmstück 12 auf das geschlitzte Aufnahmeteil 6 übertragen. Occurring during this pivoting movement in the region of the groove 22, upward force is, as already stated, via the screws 11 and transfer the clamping piece 12 to the slotted receiving member. 6 Um die Schwenkbewegung der Kontaktstücke 8 nicht zu behindern, ist das Klemmstück 12 etwas niedriger als der Silikon streifen 14 ausgebildet. 8 not to obstruct the pivotal movement of the contact pieces, the clamping piece 12 is slightly lower than the silicone strip 14 is formed.

In Fig. 5 ist eine alternative Ausführungsform eines Kon taktstücks 81 ersichtlich. In Fig. 5, an alternative embodiment of a con tact piece 81 is visible. Der wesentliche Unterschied dieses Kontaktstücks 8 ′ zu dem in den Fig. 1 bis 4 ge zeigten Kontaktstück 8 liegt darin, daß der die Schwenk lagerung bewirkende Endabschnitt des Lagerschenkels 19 nicht konvex gekrümmt ist, sondern einen konkaven Kreisbo genausschnitt 23 , dh eine Aussparung mit einer konkav gekrümmten Oberfläche aufweist. The main difference of this contact piece 8 'to the ge in FIGS. 1 to 4 exhibited contact piece 8 is that which is the pivotal mounting causing end portion of the support leg 19 is not curved in a convex, but a concave Kreisbo accurately cut 23, ie a recess with a having concavely curved surface. Diese Kontaktstücke 8 ′ können bei einer nicht gezeigten alternativen Ausführungs form einer elektrischen Verbindungseinrichtung eingesetzt werden, bei welcher auf der Unterseite der Abdeckplatte 9 keine Nut 22 , sondern statt dessen ein vorstehender Wulst mit entsprechend kreisbogenförmiger Außenfläche vorgesehen ist. These contact pieces 8 'may in a not shown alternative execution to be inserted in a form of an electrical connection device, wherein on the underside of the cover plate 9 no groove 22, but instead a protruding bead with a correspondingly arc-shaped outer surface is provided. Das Kontaktstück 8 ′ bietet gegenüber dem Kontaktstück 8 den Vorteil einer kleineren Fläche, wodurch die Längs induktivität, Kopplungsinduktivität und Kopplungskapazität weiter verringert werden kann. The contact piece 8 'provides opposite the contact piece 8 the advantage of a smaller area, whereby the longitudinal inductance, mutual inductance and coupling capacitance can be further reduced.

Bei der in Fig. 8 dargestellten Ausführungsvariante der erfindungsgemäßen Verbindungseinrichtung erstreckt sich das Aufnahmeteil 6 ′ nach derjenigen Seite hin, die in Fig. 8 hinten liegt, lediglich bis zum Ende der Schlitze 7 , während der dahinterliegende Bereich oberhalb der DUT- Leiterplatte 2 freiliegt. In the illustrated in Fig. 8 embodiment of the connecting device according to the invention, the receiving part 6 'extends to the side toward the rear is located in Fig. 8, only to the end of the slots 7, while the lying behind the region above the DUT board 2 is exposed. Dies hat den Vorteil, daß even tuell vorhandener Schmutz nach hinten aus den Schlitzen 7 leicht hinaus fallen kann, der anderweitig die Leichtgän gigkeit der Kontaktstücke 8 innerhalb der Schlitze 7 be einträchtigen könnte. This has the advantage that cutting any existing dirt back out of the slots 7 can easily fall out, which could impair the Leichtgän dependence of the contact pieces 8 inside the slots 7 be otherwise. Im übrigen ist diese Verbindungsein richtung in gleicher Weise wie diejenige von Fig. 1 aufge baut. Otherwise, this Verbindungsein direction is built up in the same manner as that of FIG. 1.

In den Fig. 1 und 8 ist lediglich ein Teil einer Reihe von Schlitzen 7 und Kontaktstücken 8 gezeigt. In FIGS. 1 and 8, a part a number of slits 7 and 8, only contact pieces is shown. Es ist je doch ohne weiteres möglich, nicht nur eine derartige Reihe in der erfindungsgemäßen elektrischen Verbindungseinrich tung vorzusehen, sondern auch mehrere Reihen, wobei diese entsprechend der Anordnung der Pins 4 des zu testenden Halbleiter-Bauelementes 3 angeordnet sind. It is per but readily possible to provide not only such a number in the inventive electrical Verbindungseinrich tung, but also a plurality of rows, which of the test semiconductor component 3 are arranged corresponding to the arrangement of the pins. 4 Beispielsweise ist es möglich, vier derartige, ein geschlossenes Rechteck bildende Reihen vorzusehen, wobei jeder Pin 4 mit einem entsprechenden Kontaktstück 8 , 8 ′ kontaktiert werden kann. For example, it is possible to four such to provide a closed rectangle forming rows, each pin 4 with a corresponding contact piece 8, can be contacted by 8 '.

Claims (9)

1. Elektrische Verbindungseinrichtung zum Verbinden von elektrischen Anschlüssen ( 4 ) eines Bauelements, insbeson dere Halbleiter-Bauelements ( 3 ), mit entsprechenden, ins besondere auf einer Leiterplatte ( 2 ) angeordneten An schlußleitungen ( 5 ), mit einem zwischen den elektrischen Anschlüssen ( 4 ) des Bauelements ( 3 ) und den Anschlußlei tungen ( 5 ) vorgesehenen Aufnahmeteil ( 6 , 6 ′) für Kontakt stücke ( 8 , 8 ′), das mit Schlitzen ( 7 ) versehen ist, in nerhalb welcher die Kontaktstücke ( 8 , 8 ′) beweglich ge führt sind, wobei die Kontaktstücke ( 8 , 8 ′) mittels einer Federeinrichtung ( 14 ) abgestützt und durch Druckkontakt mit den elektrischen Anschlüssen ( 4 ) des Bauelementes ( 3 ) in eine eine elektrische Verbindung zu den Anschlußleitun gen ( 5 ) schaffende Kontaktstellung bringbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Federeinrichtung ( 14 ) zwischen den Anschlußleitungen ( 5 ) und den beweglichen Kontaktstücken ( 8 , 8 ′) vorgesehen ist un 1. Electric connecting means for connecting electrical terminals (4) of a component, in particular semiconductor component (3) arranged with respective, in particular on a printed circuit board (2) On-circuit lines (5), with a (between the electric terminals 4 ) of the component (3) and the Anschlußlei obligations (5) provided for receiving part (6, 6 ') for the contact pieces (8, 8'), which is provided with slots (7), in nerhalb which the contact pieces (8, 8 ' ) movable ge leads are, with the contact pieces (8, 8 ') supported by means of a spring device (14) and by pressure contact with the electrical connections (4) of the component (3) in an electrical connection to the Anschlußleitun gen (5) generating contact position can be brought, characterized in that the spring device (14) is provided between the connecting lines (5) and the movable contacts (8, 8 ') un d elektrisch leitende Durchgangs elemente ( 16 ) aufweist, welche an ihrem einen Ende mit den Anschlußleitungen ( 5 ) und an ihrem anderen Ende mit den Kontaktstücken ( 8 , 8 ′) in Druckkontakt sind, und daß die Kontaktstücke ( 8 , 8 ′) als endseitig drehgelagerte Druckhebel für die Federeinrichtung ( 14 ) ausgebildet sind. d electrically conductive passage elements (16) which at its one end with the connecting lines (5) and at its other end with the contact pieces (8, 8 ') into pressure contact, and in that the contact pieces (8, 8') as end rotatably mounted pressure lever for said spring means (14) are formed.
2. Verbindungseinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß die Federeinrichtung ( 14 ) aus einem isolie renden Kunststoffstreifen, insbesondere Silikonstreifen besteht, in welchem eine Vielzahl von elektrisch leitenden Durchgangselementen ( 16 ) in einer Reihe und in einem vorbestimmten Abstand zueinander eingebettet sind. 2. Connecting device according to claim 1, characterized in that the spring means (14) consists of a isolie leaders plastic strips, in particular silicone strip in which a plurality of electrically conductive through-members (16) in a row and in a predetermined distance are embedded to each other.
3. Verbindungseinrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekenn zeichnet, daß sich die Durchgangselemente ( 16 ) senk recht durch die Federeinrichtung ( 14 ) hindurch erstrecken. 3. Connecting device according to claim 2, characterized in that the passage elements (16) extends perpendicular right extend through said spring means (14).
4. Verbindungseinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Kontakt stücke ( 8 , 8 ′) quer zur Längsachse der Federeinrichtung ( 14 ) erstrecken und um eine Schwenkachse schwenkbar sind, die parallel zur Längsachse der Federeinrichtung ( 14 ) liegt. 4. Connecting device according to one of the preceding claims, characterized in that the contact be pieces (8, 8 ') extending transversely to the longitudinal axis of the spring means (14) and are pivotable about a pivot axis that is parallel to the longitudinal axis of the spring means (14).
5. Verbindungseinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehlagerung der Kontaktstücke ( 8 , 8 ′) mittels eines endseitigen konve xen oder konkaven Kreisbogenabschnitts erfolgt. 5. Connecting device according to one of the preceding claims, characterized in that the pivot bearing of the contact pieces (8, 8 ') takes place by means of an end konve xen or concave circular arc section.
6. Verbindungseinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktstücke ( 8 , 8 ′) einen Lagerschenkel ( 19 ) aufweisen, der zumindest im wesentlichen nach oben, dh zu der dem Bauelement ( 3 ) zugewandten Oberfläche der Verbindungseinrichtung ( 1 ) hin, von einer Abdeckplatte ( 9 ) abgedeckt ist, die am ge schlitzten Aufnahmeteil ( 6 , 6 ′) lösbar befestigbar ist und als oberes Anschlagteil und Lagerteil für die Lagerschen kel ( 19 ) dient. 6. Connecting device according to one of the preceding claims, characterized in that the contact pieces (8, 8 ') have a bearing leg (19) having at least essentially upward, that is to the component (3) facing surface of the connection means (1) out of a cover plate (9) is covered, on the slit ge receiving part (6, 6 ') is releasably attachable and as an upper stop member and bearing member for the bearing's angle (19).
7. Verbindungseinrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekenn zeichnet, daß die Abdeckplatte ( 9 ) an ihrer Unterseite mit einer im Querschnitt kreisbogenförmigen Nut ( 22 ) versehen ist, n welcher die konvexen Kreisbogenabschnitte der Kontaktstücke ( 8 ) gleitgelagert sind. 7. Connecting device according to claim 6, characterized in that the cover plate (9) is provided on its underside with a circular arc-shaped in cross-section groove (22), n which the convex circular arc portions of the contact pieces (8) are journalled.
8. Verbindungseinrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekenn zeichnet, daß die Abdeckplatte ( 9 ) an ihrer Unterseite mit einem im Querschnitt eine kreisbogenförmige Außenkontur aufweisenden Wulst versehen ist, an dem die konkaven Kreisbogenausschnitte ( 23 ) der Kontaktstücke ( 8 ′) gleitge lagert sind. 8. A compound according to claim 6, characterized in that the cover plate (9) is provided on its underside with a an arc-shaped outer contour having in cross-section bead on which the concave circular arc cut-outs (23) of the contact pieces (8 ') are gleitge superimposed.
9. Verbindungseinrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktstücke ( 8 , 8 ′) mittels der Federeinrichtung ( 14 ) gegen die Unterseite der Abdeckplatte ( 9 ) vorgespannt sind. 9. Connecting device according to one of claims 6 to 8, characterized in that the contact pieces (8, 8 ') by means of the spring means (14) are biased against the underside of the cover plate (9).
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