DE19540712A1 - Monolithische, serienverschaltete photovoltaische Module und Verfahren zu deren Herstellung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft monolithische, serienverschaltete photovoltaische Module, die aus porösen Halbleiterschichten als Photoelektroden auf elektrisch leitend beschichtetem, durchsichtigem Substrat, einem Elektronen übertragen­ den Elektrolyten und Gegenelektroden bestehen. Photovoltaische Einzelzellen dieser Art sind bereits beschrieben worden (Journal of the American Chemical Society, Band 115, Jahrgang 1993, Seiten 6382-6390). Danach wird Zinnoxid beschichtetes Glas als elektrisch leitend beschichtetes, durchsichtiges Substrat mit einer porösen Halbleiterschicht aus nanokristallinem Titandioxid als Photo­ elektrode versehen und durch Adsorption eines Farbstoffes für sichtbares Licht sensibilisiert. Der durch Lichtabsorption angeregte Farbstoff injiziert Elektronen in das Titandioxid, die über das leitend beschichtete Substrat in den äußeren Stromkreis gelangen und dort elektrische Arbeit leisten können. Der oxidierte Farbstoff wird durch einen Elektronen übertragenden Elektrolyten reduziert, der die Poren der Photoelektrode und den Zwischenraum bis zur Gegenelektrode ausfüllt. Die Gegenelektrode besteht meist ebenfalls aus Zinnoxid beschichte­ tem Glas, das mit Platin katalytisch aktiviert ist, um die aus dem äußeren Strom­ kreis ankommenden Elektronen auf den Elektrolyten zurück zu übertragen.

Die Herstellung großflächiger Zellen ist bisher mit Schwierigkeiten verbunden, da der Abstand zwischen Photo- und Gegenelektrode aufgrund von Unebenheiten der separaten Substrate schnell zu groß wird (< 20 µm), so daß Ohmsche Verluste und sogar Diffusionsbegrenzung des Photostromes in der Elektrolytschicht auftreten. Zudem reicht die Leitfähigkeit des Substrates nicht aus um die von großflächigen Zellen erzeugten Photoströme abzuleiten. Als Lösung bietet sich die von amorphen Siliziumzellen her bekannte Serien­ schaltung von streifenförmigen Einzelzellen zu Modulen an, bei der die Gegenelektrode einer Zelle mit der Photoelektrode der nächsten Zelle elektrisch verbunden ist (Solar Energy, Band 23, Jahrgang 1979, Seiten 145-147). Bei dem gegenwärtigen Aufbau der farbstoffsensibilisierten photovoltaischen Zelle würde dies jedoch eine elektrisch leitende Brücke erfordern, die vom leitend beschichtetem Substrat durch den Elektrolyten zum anderen Substrat reicht, wobei der Abstand zwischen den Substraten sehr klein (< 20 µm) gehalten werden muß. Abgesehen von Materialproblemen in Gegenwart des korrosiven Elektrolyten ist die Herstellung linienförmiger Kontakte zwischen den aufeinanderliegenden Substraten bei Temperaturen die nicht zur Zerstörung des Farbstoffes führen schwer zu verwirklichen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, den Abstand von Photo- und Gegenelektrode auch bei großflächigen Zellen klein zu halten und mehrere Zellen zu einem photovoltaischen Modul in Serie zu verschalten.

Nach der Erfindung wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß mehrere Photoelektroden auf demselben elektrisch leitend beschichtetem, durchsichtigen Substrat in parallelen Streifen angeordnet sind und, eventuell getrennt durch eine poröse Isolatorschicht, mit porösen Gegenelektroden so beschichtet sind, daß diese die leitende Beschichtung unter der nächsten Photoelektrode kontaktieren. Die poröse Isolatorschicht verhindert einen elektrischen Kurzschluß zwischen Photo- und Gegenelektroden, falls diese einen ohmschen Kontakt miteinander bilden würden. Sie kann gleichzeitig als diffuser Reflektor dienen um von den Photoelektroden hindurchgelassenes Licht in diese zurückzureflektieren. Der Farbstoff läßt sich anschließend durch die porösen Gegenelektroden und Isolatorschichten hindurch auf den Photoelektroden adsorbieren. Die Poren der drei Schichten werden schließlich mit Elektrolyt gefüllt und das Modul mit einer Deckschicht versiegelt. Diese Anordnung ist weiter unten anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert.

Die Erfindung weist folgende Vorteile auf:

• 1. Nur ein elektrisch leitend beschichtetes, durchsichtiges Substrat ist erforderlich, wodurch die Materialkosten erheblich reduziert werden.
• 2. Photo- und Gegenelektroden sind übereinander auf demselben Substrat angeordnet, so daß ihr Abstand unabhängig von Unebenheiten des Substrates minimal bleibt.
• 3. Die poröse Isolatorschicht dient gleichzeitig als diffuser Reflektor unmittelbar auf den Photoelektroden, welcher von diesen hindurch­ gelassenes Licht zurückreflektiert und so den Wirkungsgrad der photovoltaischen Elemente verbessert.
• 4. Der Elektrolyt bildet keine zusätzliche, freifließende Schicht, sondern ist durch Kapillarkräfte in den porösen Schichten fixiert.
• 5. Die Gegenelektrode hat aufgrund ihrer porösen Beschaffenheit eine vergrößerte Oberfläche, was ihre Aktivität für den Elektronenaustausch mit dem Elektrolyten erhöht.
• 6. Die Serienschaltung mehrerer Zellen ergibt sich durch einfache Über­ lappung der Gegenelektroden mit dem leitend beschichteten Substrat der jeweils anschließenden Photoelektrode.
• 7. Das Streifenmuster der porösen Schichten kann durch herkömmliche Druckverfahren großflächig hergestellt werden. Die porösen Schichten können auch zunächst ganzflächig aufgetragen werden und erst nachträglich in Streifen unterteilt werden.
• 8. Die porösen Schichten können in einem kontinuierlichen Verfahren aufgetragen werden, indem unmittelbar nach Herstellung des Substrates (z. B. Floatglas) und Aufbringen einer elektrisch leitenden, durchsichtigen Schicht nacheinander die porösen Photoelektroden, Isolatorschichten und Gegenelektroden aufgetragen und gleichzeitig oder nachträglich in Streifen unterteilt und wärmebehandelt werden, während das Substrat in Richtung dieser Streifen durch die verschiedenen Produktionsschritte transportiert wird.
• 9. Die poröse Beschaffenheit von Photoelektroden, Isolatorschichten und Gegenelektroden erlaubt es den gegenüber Hitze und Feuchtigkeit empfindlichen Farbstoff und Elektrolyten nach Herstellung aller Schichten und Ausbildung der elektrischen Verbindungen hinzuzufügen.
• 10. Die Deckschicht dient nur zur Versiegelung und elektrischen Isolierung, hat aber keine stromleitende Funktion.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben.

Die Abbildung zeigt einen - nicht maßstäblichen - Querschnitt des photovoltaischen Modules. Die transparente, leitfähige Beschichtung 2 (z. B. Fluor dotiertes Zinnoxid, Zinn dotiertes Indiumoxid) auf dem isolierenden Substrat 1 (z. B. Glas, Kunststoff) wird in parallelen Trennlinien 3 in gewünschtem Abstand (etwa 1 cm) entfernt (z. B. mechanisch, durch Ätzen oder mit einem Laserstrahl) um die Fläche jeder Einzelzelle zu definieren.

Eine Dispersion von nanokristallinem Halbleiterpulver (z. B. Titandioxid) wird (etwa 10 µm dick, z. B. mittels Tiefdruck oder Siebdruck durch eine geeignete Maske) als Photoelektroden 4 so aufgetragen, daß diese etwas über den einen Rand der leitenden Beschichtungen 2 hinausragen, den anderen Rand aber unbedeckt lassen. Die Photoelektroden 4 können auch zunächst ganzflächig aufgetragen werden, z. B. durch "doctor blading", Drucken oder Sprühen, und anschließend in parallele Streifen unterteilt werden, z. B. durch Schreiben mit einem mechanischen Werkzeug oder einem Luft-, Wasser- oder Laserstrahl. Diese Unterteilung in Streifen kann auch nach Aufbringen der Isolatorschichten 5 erfolgen, indem gleichzeitig Schichten 4 und 5 an den entsprechenden Stellen entfernt werden.

Eventuell werden die Photoelektroden 4 mit einer Dispersion von feinkörnigem Glas- oder Keramikpulver (z. B. Aluminiumoxid, Siliziumdioxid, Zirkondioxid) als poröser Isolatorschicht 5 überdeckt (etwa 10 µm dick) um Kurzschlüsse zu vermeiden, falls das Material der Gegenelektroden 6 einen ohmschen Kontakt mit den Photoelektroden 4 bildet. Um von den Photoelektroden hindurchgelassenes Licht in diese zurückzureflektieren und so den Wirkungsgrad der photovoltaischen Elemente zu erhöhen sollten die Isolatorschichten 5 Teilchen von hohem Brechungsindex (z. B. die Rutilmodifikation von Titandioxid) und einer für starke Lichtstreuung geeigneten Teilchengröße (Durchmesser um 0,3 µm im Fall von Rutil) enthalten. Um die Haftung und den mechanischen Zusammenhalt der Isolatorschichten 5 zu gewährleisten kann die Zugabe eines Bindemittels, welches bei der Temperatur der Wärmebehandlung (unter 550°C) sintert, erforderlich sein. Im Fall elektrisch schlecht isolierender lichtstreuender Teilchen wie Rutil kann das Bindemittel gleichzeitig als Isolator zwischen diesen Teilchen dienen.

Beispielsweise dient zur Herstellung der Isolatorschichten 5 eine Dispersion von Rutilpulver mit einer mittleren Teilchengröße um 0,3 µm und etwa 10% seines Gewichtes an nanokristallinem Zirkondioxidpulver mit einer Teilchengröße unter 29 nm, das bei Wärmebehandlung unter 550°C sintert und als isolierendes Bindemittel zwischen den Rutilteilchen dient. Statt dessen können die Rutilteilchen auch mit einer dünnen (wenige Nanometer) dicken Schicht eines Isolators (ein niedrigschmelzendes Glas, Siliziumdioxid, Aluminiumdioxid, Boroxid, Zirkondioxid oder eine Kombination derselben) beschichtet werden, der bei Wärmebehandlung unter 550°C sintert.

Die Unterteilung der Isolatorschichten 5 in Streifen kann wie für die Photoelektroden 4 beschrieben durch Tief- oder Siebdruck, oder Schreiben mit einem mechanischen Werkzeug oder einem Luft-, Wasser- oder Laserstrahl erfolgen.

Eine Dispersion von Metallpulver (z. B. ein Platinmetall, Titan, Wolfram, Molybdän, Chrom), elektrisch leitendem Keramikpulver (z. B. Fluor dotiertes Zinnoxid, Zinn dotiertes Indiumoxid), Graphitpulver, Ruß, oder ein elektrisch leitendes Polymer (z. B. Polyanilin, Polypyrrol, Polythiophen), eventuell versehen mit einem katalytischen Belag eines Platinmetalles, wird als Gegenelektrode 6 (je nach gewünschter Leitfähigkeit bis zu mehreren 10 µm dick) so aufgetragen, daß sie die Photoelektroden 4 und Isolatorschichten 5 sowie den unbeschichteten Rand des elektrisch leitenden Streifens 2 der jeweils nächsten Photoelektrode 4 überdecken während auf der anderen Seite eine Lücke 7 freigelassen wird. Hierdurch werden die parallel angeordneten Einzelzellen elektrisch zu einem Modul serienverschaltet.

Graphitpulver hat sich als besonders geeignet zur Herstellung der Gegenelektroden 6 erwiesen, da es sowohl ausreichende elektrische Leitfähigkeit und Hitzebeständigkeit, als auch Korrosionsbeständigkeit und elektrokatalytische Aktivität gegenüber dem Redoxelektrolyten besitzt. Graphitpulver besteht aus plättchenförmigen Kristalliten, die sich nach Auftragen aus einer flüssigen Dispersion und Trocknen bevorzugt in der Ebene der Gegenelektroden 6 anordnen, was eine hohe elektrische Leitfähigkeit in dieser Ebene gewährleistet.

Die katalytische Aktivität der Gegenelektroden 6 für die Reduktion des Redoxelektrolyten ebenso wie die elektrische Leitfähigkeit können durch Zusatz von etwa 20% Ruß zu der Graphitdispersion erheblich verbessert werden. Die höhere katalytische Aktivität ist auf die sehr hohe spezifische Oberfläche von Ruß zurückzuführen, während die Leitfähigkeit durch teilweises Auffüllen von großen Hohlräumen zwischen den Graphitkristalliten mit kleineren Rußaggregaten verbessert wird.

Wiederum ist ein Bindemittel für guten mechanischen Zusammenhalt und Haftung der Gegenelektroden 6 erforderlich. So erhält man bei Zusatz von 15% des Gewichtes des Graphitpulvers an nanokristallinem Titandioxid mit einer Teilchengröße unter 20 nm und Sintern unterhalb von 550°C gut haftende, kratzfeste Gegenelektroden 6 mit einem Flächenwiderstand von weniger als 10 Ohm bei einer Dicke von 30 Mikrometern.

Die Unterteilung der Gegenelektroden 6 in Streifen kann wie für die Photoelektroden 4 beschrieben durch Tief- oder Siebdruck, oder Schreiben mit einem mechanischen Werkzeug oder einem Luft-, Wasser- oder Laserstrahl erfolgen.

Die Lücken 7 können mit einem nichtporösen Isolator (z. B. Silikonkautschuk, Glaslot, ein organisches Polymer), der mit der Deckschicht 8 identisch sein kann, ausgefüllt werden, um Querströme durch den Elektrolyten zwischen den Gegenelektroden 6 zu vermeiden. Ein solcher Isolator ist nicht erforderlich wenn später nur die Poren der Schichten 4 bis 6 durch Kapillarität mit Elektrolyt gefüllt werden, so daß die Lücken 7 mit Luft, Stickstoff oder einem anderen Gas gefüllt bleiben.

Die Schichten 4 bis 6 können zu einem beliebigen Zeitpunkt wärmebehandelt werden um unerwünschte Hilfsmittel (z. B. Lösungsmittel) zu entfernen und die elektrischen und mechanischen Eigenschaften durch Sintern zu verbessern.

Das beschichtete Substrat 1 wird in eine Farbstofflösung getaucht um die Photoelektroden 4 zu sensibilisieren. Nach dem Trocknen werden die Poren der Schichten 4 bis 6 durch Kapillarität mit Elektrolyt gefüllt. Anstatt den Farbstoff vorher zu adsorbieren kann dieser auch in der erforderlichen Konzentration dem Elektrolyten zugegeben werden. Das Modul wird durch eine Deckschicht 8 (z. B. Glas, Kunststoff, anodisiertes Aluminium, Lack oder einen anderen Isolator) sowie an den Rändern abgedichtet. Diese Deckschicht 8 kann gleichzeitig dazu dienen die Lücken 7 zwischen den Gegenelektroden 6 auszufüllen. Das Modul wird an der ersten Gegenelektrode 9 und der letzten Photoelektrode 10 der Serienschaltung elektrisch kontaktiert.

Claims (20)

1. Monolithische, serienverschaltete photovoltaische Module bestehend aus mehreren photovoltaischen Elementen, die als parallele Streifen auf einem gemeinsamen durchsichtigen Substrat (1) angeordnet und elektrisch in Serie geschaltet sind, dadurch gekennzeichnet, daß jedes dieser Elemente aus einer porösen Schicht (4) eines polykristallinen Halbleiters als Photoelektrode, einer porösen Schicht (6) eines elektrisch leitenden Materials als Gegenelektrode und einer porösen Zwischenschicht (5) aus elektrisch isolierendem Material besteht und die Poren der genannten Schichten (4, 5, 6) zumindest teilweise mit einem Elektronen übertragenden Elektrolyten gefüllt sind, und eine durchsichtige, elektrisch leitende Beschichtung (2) zwischen dem Substrat (1) und der Photoelektrode (4) jedes Elementes angeordnet ist, welche zwischen den Elementen durch eine Trennlinie (3) unterbrochen ist, und die Gegenelektrode (6) des ersten Elementes mit dem ersten Anschluß (9) des Moduls elektrisch verbunden ist während die Gegenelektroden (6) der anderen Elemente über die Trennlinien (3) hinweg mit der elektrisch leitenden Beschichtung (2) des jeweils vorausgehenden Elementes elektrisch verbunden sind, untereinander jedoch elektrisch voneinander isoliert sind.

2. Module nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die porösen, elektrisch isolierenden Zwischenschichten (5) aus feinen Partikeln von Glas oder einem keramischen Material bestehen.

3. Module nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die porösen Isolatorschichten (5) wenigstens eines der folgenden Metalloxide enthalten: Aluminiumoxid, Siliziumdioxid, Titandioxid, und Zirkondioxid.

4. Module nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die porösen Isolatorschichten (5) zumindest teilweise aus einer Substanz mit hohem Brechungsindex in Form von Partikeln einer für starke Lichtstreuung geeigneten Teilchengröße bestehen.

5. Module nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß als Substanz von hohem Brechungsindex Titandioxid, als Rutil, mit einer mittleren Teilchengröße um 0,3 Mikrometer verwendet wird.

6. Module nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die porösen Isolatorschichten aus einer Mischung bestehen die vorwiegend die genannte Substanz von hohem Brechungsindex enthält und zusätzlich einen geringeren Anteil von elektrisch isolierendem Material in Form von Partikeln, die so klein sind, daß sie bei einer Temperatur unter 550°C sintern.

7. Module nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß als elektrisch isolierendes Material ein niedrig schmelzendes Glas oder wenigstens eines der folgenden Metalloxide verwendet wird: Aluminiumoxid, Siliziumdioxid, Boroxid, Titandioxid, Zirkondioxid oder eine Kombination von wenigstens zwei dieser Oxide.

8. Module nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest ein Teil der Partikel mit hohem Brechungsindex mit einem Film eines elektrisch isolierenden Materials beschichtet ist, welches bei einer Temperatur unter 550°C sintert.

9. Module nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die porösen Gegenelektroden (6) als elektrisch leitendes Material wenigstens ein Metallpulver, wenigstens ein elektrisch leitendes Keramikpulver, Graphitpulver, Ruß, oder wenigstens ein elektrisch leitendes organisches Polymer, oder eine Mischung davon enthalten.

10. Module nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das genannte Metall der Platingruppe oder wenigstens einem der folgenden Metalle angehört: Titan, Wolfram, Molybdän, Chrom, daß als elektrisch leitendes keramisches Material mit Fluor oder Antimon dotiertes Zinnoxid oder mit Zinn dotiertes Indiumoxid verwendet wird, daß genanntes elektrisch leitendes Polymer ein Polymer auf der Basis von Polyanilin, Polypyrrol oder Polythiophen ist, und daß zumindest die elektrochemisch aktive Oberfläche der porösen Gegenelektroden (6) mit einem katalytischen Belag eines Platinmetalles versehen ist.

11. Module nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die porösen Gegenelektroden (6) eine Mischung von Graphitpulver und Ruß sowie mindestens ein Bindemittel enthalten, das bei einer Temperatur unter 550°C abbindet.

12. Module nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß als Bindemittel Titandioxid mit einer Teilchengröße unter 20 nm verwendet wird.

13. Module nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß die porösen Gegenelektroden (6) aus etwa 65 Gewichtsprozent Graphitpulver, 20 Gewichtsprozent Ruß und 15 Gewichtsprozent Titandioxid bestehen.

14. Ein Verfahren zur Herstellung von Modulen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß es folgende Produktionsschritte beinhaltet:

• a) Beschichtung eines transparenten, elektrisch isolierenden Substrates (1) mit einer Mehrzahl paralleler Streifen (2) eines transparenten, elektrisch leitenden Materials, welche durch kontinuierliche Trennlinien (3) aus unbeschichtetem Substrat (1) voneinander isoliert sind;
• b) Beschichtung jedes der genannten Streifen (2) mit einer porösen Schicht (4) eines Halbleiters;
• c) Beschichtung der genannten porösen Halbleiterschichten (4) mit porösen Schichten (5) eines elektrisch isolierenden Materials, wobei die genannten Schritte a), b) und c) so ausgeführt werden, daß die porösen Schichten (4) und (5) über den einen Rand der leitenden Streifen (2) in die Trennlinien (3) unbeschichteten Substrates (1) hineinreichen, den anderen Rand der leitenden Streifen (2) aber zumindest teilweise freilassen;
• d) Beschichtung der genannten porösen Isolatorschichten (5) mit porösen Gegenelektroden (6) aus elektrisch leitendem Material, so daß diese Gegenelektroden (6) auf einer Seite über die Trennlinien (3) hinausreichen und den freien Rand der benachbarten leitenden Beschichtung (2) kontaktieren, während auf der gegenüberliegenden Seite eine Lücke (7) freibleibt und damit eine Serienschaltung photovoltaischer Elemente entsteht;
• e) Behandlung dieser Serienschaltung mit einer flüssigen Lösung eines sensibilisierenden Farbstoffes, so daß dieser durch die porösen Gegenelektroden (6) und Isolatorschichten (5) in die porösen Halbleiterschichten (4) gelangt;
• f) Entfernung des Lösungsmittels genannter Farbstofflösung, während der sensibilisierende Farbstoff auf den porösen Halbleiterschichten (4) adsorbiert bleibt;
• g) Behandlung der Serienschaltung mit einem Elektrolyten, so daß dieser Elektrolyt in die Poren der genannten porösen Schichten (6, 5 und 4) eindringt; und
• h) elektrische Kontaktierung der Serienschaltung an den beiden äußeren elektrisch leitenden Streifen (9, 10), so daß der erste Kontakt mit der Gegenelektrode (6) des ersten photovoltaischen Elementes elektrisch verbunden ist und der zweite Kontakt (10) mit der Photoelektrode (4) des letzten Elementes, und Versiegelung des so erhaltenen Moduls mit einer elektrisch isolierenden, für Gase und Flüssigkeiten undurchlässigen Deckschicht (8).

15. Ein Verfahren zur Herstellung von Modulen nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Schritte e), f) und g) vereinigt werden indem der Farbstoff in der erforderlichen Konzentration dem Elektrolyten zugesetzt wird.

16. Ein Verfahren zur Herstellung von Modulen nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß es zusätzlich den folgenden Produktionsschritt beinhaltet:

• i) elektrische Isolierung der porösen Gegenelektroden (6) voneinander durch Ausfüllen der diese trennenden Lücken (7) mit einem für den Elektrolyten undurchlässigen Isolator, wobei dieser Schritt i) mit der letzten Tätigkeit von Schritt h) kombiniert werden kann.

17. Ein Verfahren zur Herstellung von Modulen nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß Schritt g) zur Behandlung der Serienschaltung mit Elektrolyt so ausgeführt wird, daß nur die Poren der porösen Schichten (4, 5, 6) durch Kapillarität mit Elektrolyt gefüllt werden, und daß ein Gas, wie Luft oder Stickstoff, als Isolator in den die Gegenelektroden (6) trennenden Lücken (7) belassen wird.

18. Ein Verfahren zur Herstellung von Modulen nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Schritte b), c) und d) mittels geeigneter Drucktechniken ausgeführt werden um die porösen Schichten (4, 5, und 6) von Halbleiter, Isolator und elektrisch leitendem Material in dem erforderlichen Streifenmuster auf dem Substrat (1) aufzubringen.

19. Ein Verfahren zur Herstellung von Modulen nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Schritte a), b), c) und d) ausgeführt werden indem zuerst die durchsichtige, elektrisch leitende Schicht (2) ganzflächig auf dem Substrat (1) abgeschieden wird, dann diese Schicht (2) an den entsprechenden Stellen entfernt wird um die Trennlinien (3) zu schaffen, dann die porösen Schichten (4 und 5) von Halbleiter und Isolator ganzflächig auf dem so beschichteten Substrat (1) aufgebracht werden, diese Schichten (4 und 5) dann an den entsprechenden Stellen entfernt werden um einen Rand jedes durchsichtigen, elektrisch leitenden Streifens (2) freizulegen, anschließend die poröse Schicht (6) eines elektrisch leitenden Materials ganzflächig auf das so beschichtete Substrat (1) aufgebracht wird und schließlich diese Schicht (6), eventuell zusammen mit den darunterliegenden porösen Schichten (4 und 5) an den entsprechenden Stellen entfernt wird um die Lücken (7) zu schaffen.

20. Ein Verfahren zur Herstellung von Modulen nach Anspruch 18 oder 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Trennlinien (3) und porösen Schichten (4, 5, 6) in einem kontinuierlichen Verfahren hergestellt werden, indem nacheinander die durchsichtige, elektrisch leitende Beschichtung (2) in Streifen unterteilt wird und die porösen Halbleiterschichten (4), Isolatorschichten (5) und Gegenelektroden (6) aufgebracht und gleichzeitig oder anschließend in Streifen unterteilt und wärmebehandelt werden, während das Substrat (1) in Richtung dieser Streifen durch die verschiedenen Produktionsschritte transportiert wird.