DE19532686A1 - Pneumatic valve with integrated pressure booster - Google Patents

Pneumatic valve with integrated pressure booster

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    • F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
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    • F15C—FLUID-CIRCUIT ELEMENTS PREDOMINANTLY USED FOR COMPUTING OR CONTROL PURPOSES
    • F15C5/00—Manufacture of fluid circuit elements; Manufacture of assemblages of such elements integrated circuits

Abstract

The valve has a chamber (9), which is connected to preferably similar inlet (7) and outlet (12) channels by openings (10,11). The area of the valve opening (10) is smaller than that of the chamber, and the opening is located centrally. A first side of a flexible wall (8) which forms an airtight seal is arranged so that if deflected towards the opening, the latter is covered completely. A pressure chamber (5) is formed between the other side of the wall and the valve housing (17), and is connected to the inlet channel by a nozzle (6) in the housing and a connecting channel (14). It has a sealing nozzle (2) which is arranged centrally on the opposite side from the flexible wall, and whose area is smaller than that of the pressure chamber. This nozzle connects the chamber to an outlet chamber (3), which has an external opening (4) in the housing, and has a rim (13) which projects into the latter chamber.

Description

Die Erfindung betrifft ein Pneumatik-Ventil mit integriertem Druckverstärker.The invention relates to a pneumatic valve with an integrated Pressure booster.

Membranventile mit vielfältigen Konstruktionsmerkmalen, Antriebsmechanismen und Materialien der Membran sind in den unterschiedlichsten Veröffentlichungen zu finden.Diaphragm valves with diverse design features, Drive mechanisms and materials of the membrane are in the to find various publications.

Den Aufbau von Membranventilen beschreiben unter anderem die EP 0 190 414, EP 0 424 676, EP 0 444 007 und EP 0 608 523.The structure of diaphragm valves describes, among other things EP 0 190 414, EP 0 424 676, EP 0 444 007 and EP 0 608 523.

Die EP 0 190 414 Druckmittelbetätigtes Membranventil beschreibt eine besondere Gestaltung der Ventilfläche, die mit einer zusätzlichen Dichtkante ausgerüstet ist.EP 0 190 414 pressure-operated diaphragm valve describes a special design of the valve surface with a additional sealing edge is equipped.

In der EP 0 424 676 Membranventil wird die Membran an einem Druckstück befestigt. Damit muß das Druckstück zur schließenden Öffnung mitgeführt werden, daß die Schaltfrequenz wesentlich verringert. Eine Beeinflussung der notwendigen Anpreßdrücke beim Verschließen des Ventils über den Aufbau selbst ist dabei nicht möglich.In EP 0 424 676 membrane valve, the membrane is on one Pressure piece attached. So that the pressure piece must be closed Opening carried along that the switching frequency is essential decreased. An influence on the necessary contact pressures when closing the valve over the body itself not possible.

Eine ähnliche Lösung ist in der EP 0 608 523 Membranventil mit Schließhubbegrenzung aufgeführt. Diese Lösung dient aber nur einer durch ein Handrad und einer Gewindemutter vorein­ stellbaren Hubbegrenzung im Ventilweg. Die Membran ist bei dieser Lösung wiederum mit dem Schließmechanismus fest ver­ bunden und besitzt damit gleiche Nachteile, wie sie die Lösung der EP 0 424 676 aufweist.A similar solution is in EP 0 608 523 membrane valve listed with closing stroke limitation. But this solution serves only one by a handwheel and a threaded nut adjustable stroke limitation in the valve path. The membrane is at this solution in turn ver with the locking mechanism bound and thus has the same disadvantages as the solution EP 0 424 676.

Die EP 0 444 007 Elektromagnetisch betätigbares Ventil be­ schreibt ein Membranventil, wobei die Membran scheibenförmig ausgebildet ist und eine gehäusefeste Einspannung aufweist. Die Betätigung erfolgt wiederum durch einen beweglichen Kol­ ben, der direkt auf diese Membran wirkt.EP 0 444 007 Electromagnetically actuated valve be writes a diaphragm valve, the diaphragm being disc-shaped is formed and has a housing-fixed clamping. The actuation is again carried out by a movable Kol ben that acts directly on this membrane.

Allen Lösungen ist eine unmittelbare Kopplung von Membran und Antrieb gemeinsam. Der Antrieb wirkt damit direkt auf den Ventilverschluß. Die Dichtheit wird direkt durch den Anpreßdruck, den der Antrieb ausübt, gewährleistet. Lösungen, in denen das fließende Medium auf den Stellmecha­ nismus wirkt, sind unter anderem in Schriften DE OS 37 03 303 und DE OS 43 00 733 zu finden.All solutions have a direct coupling of the membrane  and drive together. The drive thus acts directly the valve closure. The tightness is directly through the Contact pressure that the drive exerts is guaranteed. Solutions in which the flowing medium on the Stellmecha nism works, among others, in writings DE OS 37 03 303 and DE OS 43 00 733 to find.

In der DE OS 37 03 303 wird ein Schnellschluß-Absperrschieber beschrieben. Ein Kolben, der durch Eigenmedium beaufschlagt wird, das aus der Zuleitung entnommen wird, ist dabei mit einem Absperrorgan in Form eines Schiebers verbunden. Ein selbsttätiges Öffnen ist dabei nach dem Schließvorgang nicht vorgesehen.In DE OS 37 03 303 a quick-closing gate valve described. A piston that is acted upon by its own medium that is taken from the supply line is included a shut-off device connected in the form of a slide. On automatic opening is not after the closing process intended.

In der DE OS 43 00 733 ist ein Ventil veröffentlicht. Ein Ventilteller wird dabei ausschließlich durch den Mediumsdruck entgegen der Strömung des Mediums gegen den Ventilsitz ge­ drückt. Damit erfolgt ein sanftes Schließen des Ventils.A valve is published in DE OS 43 00 733. On The valve disc is only affected by the medium pressure counter to the flow of the medium against the valve seat ge presses. The valve closes gently.

Der im Patentanspruch 1 angegebenen Erfindung liegt das Problem zugrunde, die Schließzeit eines Pneumatik-Ventils bei gleichbleibenden Antriebsbedingungen wesentlich zu ver­ kürzen.The invention specified in claim 1 is Underlying problem, the closing time of a pneumatic valve with ver constant drive conditions shorten.

Dieses Problem wird mit den im Patentanspruch 1 aufgeführten Merkmalen gelöst.This problem is with those listed in claim 1 Features resolved.

Mit der erfindungsgemäßen Anordnung einer Druckkammer erfolgt eine Vergrößerung der Auslenkung des Antriebs auf die Bewegung einer flexiblen Wand als Schließanordnung des Pneumatik-Ventils. Damit kann zum einen die Masse des Antriebs verringert werden, das zu einer Verstärkung der Dynamik des gesamten Pneumatik- Ventils führt. Zum anderen können Antriebe mit kleinen Aus­ lenkungen eingesetzt werden, wobei ebenfalls die Dynamik des gesamten Pneumatik-Ventils gesteigert wird. Ein weiterer Aspekt stellt die Erhöhung des Anpressdruckes der flexiblen Wand durch die Anordnung der Druckkammer auf die Ventilöffnung gegenüber einer Anordnung ohne Druckkammer bei vergleichsweise gleichen Auslenkungen des Antriebs dar. Damit können Medien mit höheren Drücken beeinflußt werden. Begünstigt wird dieses Verhalten zum einen mit der Anordnung einer Düse zur Druckkammer, die mit dem Eingangskanal verbunden ist. Dadurch ergeben sich die gleichen Druckverhältnisse in der Druckkammer und dem Eingangskanal. Während des Schließ­ vorganges des Ventils steigt der Druck im Eingangskanal, wodurch der Druck in der Druckkammer entsprechend steigt und den Schließvorgang unterstützt.With the arrangement of a pressure chamber according to the invention an increase in the deflection of the drive on the movement a flexible wall as the closing arrangement of the pneumatic valve. On the one hand, this allows the mass of the drive to be reduced, that reinforce the dynamics of the entire pneumatic Valve leads. On the other hand, drives with small off Steering are used, also the dynamics  of the entire pneumatic valve is increased. Another aspect is the increase in contact pressure the flexible wall due to the arrangement of the pressure chamber the valve opening compared to an arrangement without a pressure chamber with comparatively equal deflections of the drive. This allows media with higher pressures to be influenced. This behavior is favored on the one hand with the arrangement a nozzle to the pressure chamber connected to the input channel is. This results in the same pressure conditions in the pressure chamber and the input channel. During the closing operation of the valve, the pressure in the inlet channel increases, whereby the pressure in the pressure chamber increases accordingly and supports the closing process.

Zum anderen erfolgt eine Druckverstärkung während der Bewegung des Antriebs mit der daran befestigten Membran zur Abdichtdüse durch die Verhältnisse Druckkammer-, Anschlußkammervolumen und Größe der Abdichtdüse.On the other hand, pressure is increased during the movement of the drive with the membrane attached to the sealing nozzle by the ratios of pressure chamber and connection chamber volume and size of the sealing nozzle.

Die Öffnung nach außen in der Auslaßkammer dient dem Druck­ ausgleich des Ventils.The opening to the outside in the outlet chamber is for pressure balancing the valve.

Die universelle Gestaltungsmöglichkeit der Geometrie des Eingangs- und Ausgangskanals erlaubt eine beliebige Anpassung an bestehende oder zu entwickelnde Anlagen.The universal design option for the geometry of the Input and output channels allow any adjustment to existing or to be developed systems.

Ein Schichtaufbau des Gehäuses und damit des gesamten Pneu­ matik-Ventils begünstigt eine Miniaturisierung. Die einzelnen Schichten und damit die Strukturen werden durch fotolitho­ grafische Prozesse und Ätzen hergestellt. Damit können die bekannten Verfahren der Halbleiterherstellung eingesetzt werden.A layer structure of the housing and thus the entire tire matik valve favors miniaturization. The single ones Layers and thus the structures are made by fotolitho graphic processes and etching. So that can known methods of semiconductor production used will.

Mit dieser Anordnung können unter anderem die Zusammen­ setzungen von den Produktionsprozeß bestimmenden Atmosphären in kurzer Zeit verändert werden. Damit ergeben sich besondere Vorteile bei der Herstellung mikroelektronischer oder -mechanischer Bauteile oder Baugruppen. Weiterhin ergeben sich besondere Vorteile bei medizinischen Anwendungen, bei denen Dosierungen eine wesentliche Bedeutung haben. With this arrangement, among other things, the together settlement of atmospheres that determine the production process can be changed in a short time. This results in special Advantages in the manufacture of microelectronic or mechanical components or assemblies. Still result have special advantages in medical applications which dosages are of essential importance.  

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Patent­ ansprüchen 2 bis 9 angegeben.Advantageous embodiments of the invention are in the patent claims 2 to 9 specified.

Das Resultat einer Druckerhöhung in der Druckkammer bei Aus­ lenkung des Antriebes zur Abdichtdüse entsteht durch Annäherung der Membran zum Rand der Abdichtdüse, entsprechend der Weiter­ bildung nach Patentanspruch 2.The result of an increase in pressure in the pressure chamber when off steering of the drive to the sealing nozzle is caused by approach the membrane to the edge of the sealing nozzle, according to the next education according to claim 2.

Die Weiterbildung nach Patentanspruch 3 führt dazu, daß bei Betätigung des Antriebes der daraus resultierende Druck in Richtung der flexiblen Wand und nicht durch die Düse auf den Eingangskanal wirkt.The training according to claim 3 leads to the fact that Actuation of the drive the resulting pressure in Towards the flexible wall and not through the nozzle the input channel works.

Die Patentansprüche 4 und 5 zeigen Weiterbildungen hinsichtlich der Gestaltung der flexiblen Wand auf.Claims 4 and 5 show further developments with regard to the design of the flexible wall.

Die Realisierung des Pneumatik-Ventils mit einem Schichtaufbau aus Silizium entsprechend den Weiterbildungen der Patentan­ sprüche 7 und 8 begünstigt die Miniaturisierung und die Her­ stellung eines mikromechanischen Bauelements.The realization of the pneumatic valve with a layer structure made of silicon according to the developments of the patent Proverbs 7 and 8 favor the miniaturization and the Her position of a micromechanical component.

Die Weiterbildung nach Patentanspruch 9 beschreibt die Kraft- Weg-Kennlinie des verwendeten Antriebs.The training according to claim 9 describes the force Path characteristic of the drive used.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt. Dieses und ein weiteres wird im folgenden näher beschrieben.An embodiment of the invention is in the drawing shown. This and another will be discussed in more detail below described.

Die Figur zeigt den prinzipiellen Aufbau des Pneumatik-Ventils mit integriertem Druckverstärker in einer Schnittdarstellung.The figure shows the basic structure of the pneumatic valve with integrated pressure booster in a sectional view.

Das Pneumatik-Ventil mit integriertem Druckverstärker ent­ sprechend der Figur wird über den Eingangs- 7 und Auslaßkanal 12 in den zu beeinflussenden Medienstrom plaziert. Sie sind als rohrförmige Stutzen ausgebildet, so daß Schlauchenden über diese geschoben werden. Damit ergibt sich eine sehr einfache Montagemöglichkeit in neu zu konzipierende oder bereits bestehende Anlagen.The pneumatic valve with integrated pressure booster accordingly the figure is placed on the inlet 7 and outlet channel 12 in the media flow to be influenced. They are designed as tubular connecting pieces so that hose ends are pushed over them. This results in a very simple installation option in newly designed or existing systems.

Der Eingangs- 7 und Auslaßkanal 12 sind über die Ventilöffnung 10, die Ventilkammer 9 und die Austrittsöffnung 11 räumlich miteinander verbunden, aber durch eine feste Wand voneinander getrennt.The inlet 7 and outlet channel 12 are spatially connected to one another via the valve opening 10 , the valve chamber 9 and the outlet opening 11 , but are separated from one another by a fixed wall.

Die Ventilöffnung 10 weist eine geringere Grundfläche als die Grundfläche der Ventilkammer 8 auf. Den Abschluß der Ventilkammer 9 bildet eine Seite einer flexiblen Wand 8, die mit dem Gehäuse 17 fest und luftdicht verbunden ist und sich über der mittig angeordneten Ventilöffnung befindet. Bei einer Auslenkung der flexiblen Wand 8 zur Ventilöffnung 10, wird diese vollständig durch dieselbe verschlossen und der Fluß vom Eingangs- 7 zum Auslaßkanal 12 unterbrochen. Die flexible Wand 8 besteht vollständig aus Gummi, einem gummiartigen Material oder einem Schichtverbund aus einem gummiartigen Material und einer profilierten und/oder durchbrochenen Membranfeder mit vorzugsweise einem verfor­ mungssteifen Zentrum. Im zweiten Fall befindet sich das gummiartige Material auf der Seite zur Ventilöffnung 10. Auf der anderen Seite der flexiblen Wand 8 ist eine Druck­ kammer 5 angeordnet, die vorzugsweise eine der Ventilkammer 9 analoge geometrische Grundfläche besitzt. Diese wird durch das Gehäuse 17 seitlich begrenzt. Die Druckkammer 5 besitzt in der Seitenwand des Gehäuses 17 eine Düse 6 in Form einer Bohrung, die über einen sich anschließenden Kanal im Gehäuse 17 mit dem Eingangskanal 7 verbunden ist.The valve opening 10 has a smaller footprint than the footprint of the valve chamber 8 . The end of the valve chamber 9 forms one side of a flexible wall 8 , which is connected to the housing 17 in a fixed and airtight manner and is located above the centrally arranged valve opening. When the flexible wall 8 is deflected to the valve opening 10 , it is completely closed by the same and the flow from the inlet 7 to the outlet channel 12 is interrupted. The flexible wall 8 is made entirely of rubber, a rubber-like material or a layer composite of a rubber-like material and a profiled and / or perforated membrane spring, preferably with a rigid center. In the second case, the rubber-like material is on the side towards the valve opening 10 . On the other side of the flexible wall 8 , a pressure chamber 5 is arranged, which preferably has a geometric base area analogous to the valve chamber 9 . This is laterally limited by the housing 17 . The pressure chamber 5 has in the side wall of the housing 17 a nozzle 6 in the form of a bore which is connected to the inlet channel 7 via a connecting channel in the housing 17 .

Auf der der flexiblen Wand 8 gegenüberliegenden Seite der Druckkammer 5 befindet sich mittig in der Deckplatte eine Abdichtdüse 2, die diese mit einer Auslaßkammer 3 verbindet. Diese Abdichtdüse weist einen in die Auslaßkammer 3 hin­ einragenden Rand 13 auf. Die Öffnung der Düse 6 ist dabei kleiner als die der Abdichtdüse 2.On the opposite side of the pressure chamber 5 from the flexible wall 8 there is a sealing nozzle 2 in the center of the cover plate, which connects it to an outlet chamber 3 . This sealing nozzle has an edge 13 projecting into the outlet chamber 3 . The opening of the nozzle 6 is smaller than that of the sealing nozzle 2 .

Die Auslaßkammer 3 wird durch das Gehäuse 17 und eine Membran 16, die mit dem Gehäuse 17 fest und luftdicht verbunden und an die der Antrieb 1 angekoppelt ist, begrenzt. Weiterhin weist diese eine Öffnung mit einem Auslaßstutzen 15 nach außen auf, so daß bei Öffnung des Pneumatik-Ventils der Druck der Druckkammer 5 nach außen entweichen und sich damit die flexible Wand 8 in den Ausgangszustand begeben kann. Der Abstand zwischen Oberkante des Randes 13 der Abdichtdüse 2 und der Membran ist so zu bemessen, daß bei vollständiger Auslenkung der Membran durch den Antrieb 1 die Abdichtdüse 2 vollständig oder nicht vollständig geschlossen ist. Der Antrieb 1 ist zweckmäßigerweise in das Gehäuse 17 des Pneumatik-Ventils integriert und weist eine lineare, pro­ gressive oder degressive Kraft-Weg-Kennlinie auf.The outlet chamber 3 is delimited by the housing 17 and a membrane 16 which is connected to the housing 17 in a fixed and airtight manner and to which the drive 1 is coupled. Furthermore, this has an opening with an outlet connection 15 to the outside, so that when the pneumatic valve is opened, the pressure of the pressure chamber 5 escapes to the outside and the flexible wall 8 can thus return to the initial state. The distance between the upper edge of the edge 13 of the sealing nozzle 2 and the membrane is to be dimensioned such that when the membrane is completely deflected by the drive 1, the sealing nozzle 2 is completely or not completely closed. The drive 1 is expediently integrated into the housing 17 of the pneumatic valve and has a linear, pro gressive or degressive force-displacement characteristic.

In einem zweiten Ausführungsbeispiel ist das Gehäuse 17 in Schichten aufgebaut. Die einzelnen Schichten bestehen ausIn a second exemplary embodiment, the housing 17 is constructed in layers. The individual layers consist of

  • - Eingangs- 7 und Auslaßkanal 12,- inlet 7 and outlet 12 ,
  • - Ventilkammer 9 mit der Ventilöffnung 10, der Austritts­ öffnung 11 und dem Kanal 14,- Valve chamber 9 with the valve opening 10 , the outlet opening 11 and the channel 14 ,
  • - Druckkammer 5 mit der flexiblen Wand 8 und der Düse 6,Pressure chamber 5 with the flexible wall 8 and the nozzle 6 ,
  • - Auslaßkammer 3 mit der Abdichtdüse 2 und der Öffnung 4 - Outlet chamber 3 with the sealing nozzle 2 and the opening 4th

undand

  • - Antrieb 1 mit der Membran 16, die übereinander angeordnet und miteinander fest verbunden sind.- Drive 1 with the membrane 16 , which are arranged one above the other and firmly connected.

Dabei bestehen das Gehäuse 17, die flexible Wand 8 und die Membran 16 aus Silizium.The housing 17 , the flexible wall 8 and the membrane 16 are made of silicon.

Die Schichtfolge kann auch vom Antrieb 1 zu dem Eingangs- 7 und Auslaßkanal 12 realisiert werden, so daß eine Platte sowohl den Eingangs- 7 als auch den Auslaßkanal 12 abschließt.The layer sequence can also be realized from the drive 1 to the inlet 7 and outlet channel 12 , so that a plate closes both the inlet 7 and the outlet channel 12 .

Claims (9)

1. Pneumatik-Ventil mit integriertem Druckverstärker, gekennzeichnet dadurch, daß ein Eingangskanal (7) über eine Ventilöffnung (10) mit einer Ventilkammer (9) und ein vorzugsweise gleichgestalteter Auslaßkanal (12) über eine Austrittsöffnung (11) mit dieser verbunden ist, daß die Grundfläche der Ventilöffnung (10) kleiner als die der Ventilkammer (9) ist und sich die Ventilöffnung in der Mitte befindet, daß sich über der Ventilöffnung (10) eine erste Seite einer flexiblen Wand (8), die die Ventilkammer (9) luftdicht abschließt, so angeordnet ist, daß bei einer Aus­ lenkung der flexiblen Wand (8) zur Ventilöffnung (10) diese vollständig abgedeckt ist, daß die andere Seite der flexiblen Wand (8) und das Gehäuse (17) eine Druckkammer (5) bilden, die zum einen durch eine Düse (6) im Gehäuse (17) und einen daran sich anschließendem Kanal (14) mit dem Eingangskanal (7) verbunden ist und zum anderen auf der der flexiblen Wand (8) gegenüberliegenden Seite eine mittig angeordnete Abdicht­ düse (2) aufweist, daß diese in ihrer Grundfläche kleiner als die Grundfläche der Druckkammer (5) ist und daß durch diese eine Verbindung zwischen der Druckkammer (5) und einer Auslaßkammer (3), die durch eine Zwischenwand des Gehäuses (17) mit der Abdichtdüse (2), dem Gehäuse (17) und einer mit diesem fest verbundener und diese dadurch luftdicht abschließender Membran (16) gebildet wird und die mit dem Antrieb (1) fest zusammengekoppelt ist, besteht, daß die Auslaßkammer (3) nach außen eine Öffnung (4) im Gehäuse (17) aufweist und daß die Abdichtdüse (2) zum Antrieb (1) mit einem in die Auslaßkammer (3) ragenden Rand (13) ausgestattet ist. 1. Pneumatic valve with integrated pressure booster, characterized in that an input channel ( 7 ) via a valve opening ( 10 ) with a valve chamber ( 9 ) and a preferably identical outlet channel ( 12 ) via an outlet opening ( 11 ) is connected to this that the base area of the valve opening ( 10 ) is smaller than that of the valve chamber ( 9 ) and the valve opening is in the middle, that there is a first side of a flexible wall ( 8 ) over the valve opening ( 10 ), which makes the valve chamber ( 9 ) airtight closes, is arranged so that when the flexible wall ( 8 ) is deflected towards the valve opening ( 10 ), this is completely covered, that the other side of the flexible wall ( 8 ) and the housing ( 17 ) form a pressure chamber ( 5 ), which is connected on the one hand by a nozzle ( 6 ) in the housing ( 17 ) and an adjoining duct ( 14 ) to the inlet duct ( 7 ) and on the other hand on the flexible wall ( 8 ) opposite side has a centrally arranged sealing nozzle ( 2 ) that its base is smaller than the base of the pressure chamber ( 5 ) and that through this a connection between the pressure chamber ( 5 ) and an outlet chamber ( 3 ) through an intermediate wall of the housing ( 17 ) with the sealing nozzle ( 2 ), the housing ( 17 ) and a membrane which is firmly connected to the latter and which thereby seals it airtight ( 16 ) and which is firmly coupled to the drive ( 1 ), there is that Outlet chamber ( 3 ) has an opening ( 4 ) to the outside in the housing ( 17 ) and that the sealing nozzle ( 2 ) for the drive ( 1 ) is equipped with an edge ( 13 ) projecting into the outlet chamber ( 3 ). 2. Pneumatik-Ventil nach Patentanspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß der Antrieb (1) so über dem Rand (13) der Abdichtdüse (2) angeordnet ist, daß bei einer Bewegung der Membran (16) zur Abdichtdüse (2) diese im Umkehrpunkt voll­ ständig oder nicht vollständig geschlossen ist.2. Pneumatic valve according to claim 1, characterized in that the drive ( 1 ) over the edge ( 13 ) of the sealing nozzle ( 2 ) is arranged such that when the membrane ( 16 ) moves to the sealing nozzle ( 2 ), this at the point of reversal is completely closed or not completely closed. 3. Pneumatik-Ventil nach Patentanspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß die Öffnung der Düse (6) kleiner als die Öffnung der Abdichtdüse (2) ist.3. Pneumatic valve according to claim 1, characterized in that the opening of the nozzle ( 6 ) is smaller than the opening of the sealing nozzle ( 2 ). 4. Pneumatik-Ventil nach Patentanspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß die flexible Wand (8) vorzugsweise aus Gummi oder einem gummiartigen Material besteht.4. Pneumatic valve according to claim 1, characterized in that the flexible wall ( 8 ) is preferably made of rubber or a rubber-like material. 5. Pneumatik-Ventil nach Patentanspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß die flexible Wand (8) vorzugsweise aus einem Materialverbund vorzugsweise einer profilierten und/oder durchbrochenen Membranfeder und Gummi besteht.5. Pneumatic valve according to claim 1, characterized in that the flexible wall ( 8 ) preferably consists of a composite material, preferably a profiled and / or perforated membrane spring and rubber. 6. Pneumatik-Ventil insbesondere nach Patentanspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß das Gehäuse (17) einen Schicht­ aufbau aufweist. 6. Pneumatic valve in particular according to claim 1, characterized in that the housing ( 17 ) has a layer structure. 7. Pneumatik-Ventil nach Patentanspruch 6, gekennzeichnet dadurch, daß die Schichten
  • - Eingangs- (7) und Auslaßkanal (12),
  • - Ventilkammer (9) mit der Ventilöffnung (10), der Aus­ trittsöffnung (11) und dem Kanal (14),
  • - Druckkammer (5) mit der flexiblen Wand (8) und der Düse (6),
  • - Auslaßkammer (3) mit der Abdichtdüse (2) und der Öffnung (4) und
  • - Antrieb (1) mit der Membran (16) übereinander angeordnet und miteinander fest verbunden sind.
7. Pneumatic valve according to claim 6, characterized in that the layers
  • - inlet ( 7 ) and outlet ( 12 ),
  • - Valve chamber ( 9 ) with the valve opening ( 10 ), the outlet opening ( 11 ) and the channel ( 14 ),
  • - pressure chamber ( 5 ) with the flexible wall ( 8 ) and the nozzle ( 6 ),
  • - Outlet chamber ( 3 ) with the sealing nozzle ( 2 ) and the opening ( 4 ) and
  • - Drive ( 1 ) with the membrane ( 16 ) arranged one above the other and firmly connected.
8. Pneumatik-Ventil nach Patentanspruch 6, gekennzeichnet dadurch, daß das Gehäuse (17), die flexible Wand (8) und die Membran (16) vorzugsweise aus Silizium bestehen.8. Pneumatic valve according to claim 6, characterized in that the housing ( 17 ), the flexible wall ( 8 ) and the membrane ( 16 ) are preferably made of silicon. 9. Pneumatik-Ventil nach den Patentansprüchen 1 und 6, gekennzeichnet dadurch, daß der Antrieb (1) eine lineare, progressive oder degressive Kraft-Weg-Kennlinie besitzt.9. Pneumatic valve according to claims 1 and 6, characterized in that the drive ( 1 ) has a linear, progressive or degressive force-displacement characteristic.
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