DE19525669A1 - Multifunctional electron-beam treatment of components - with adjustment of parameters of the beam power and its relative motion for different surface regions of the component - Google Patents

Multifunctional electron-beam treatment of components - with adjustment of parameters of the beam power and its relative motion for different surface regions of the component

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Abstract

The method concerns treatment of components by means of a programmed electron beam which is deflected at high frequency relative to the component surface. At least one line and/or surface and/or point energy transfer field is generated in such a way that at least two regions of the component surface with different technological parameters are produced. This is achieved by control of parameters of the beam power and its motion relative to the component.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum multifunktionalen Elektronenstrahlbehandeln von Teilen, wie Werkstücke, Werkzeuge und Maschinenteile, zur partiellen Erzeugung unterschiedlicher Eigenschaften dieser Teile. Es sind metallische Bauteile beliebiger Geometrie, wie sie vorzugsweise in der Werkzeug- und Verarbeitungsmaschinenindustrie eingesetzt werden oder als Schneidwerkzeuge in der Industrie oder Landwirtschaft Verwendung finden. Das Verfahren wird besonders angewendet, wenn neben der Oberflächenhärte von Bereichen andere Eigenschaften des Teiles, wie die Elastizität, das Vorhandensein von Sollbruchstellen, die Gefügestruktur in partiellen Oberflächenbereichen modifiziert werden sollen.The invention relates to a method for multifunctional Electron beam treatment of parts such as work pieces, tools and Machine parts, for the partial production of different properties of these Parts. There are metallic components of any geometry, as they are preferably in used in the tool and processing machine industry or as Cutting tools are used in industry or agriculture. The The method is particularly used when, in addition to the surface hardness of Areas other properties of the part, such as the elasticity, the presence of predetermined breaking points, the structure in partial surface areas should be modified.

Es ist allgemein bekannt, metallische Bauteile mit konventionellen Verfahren einer Wärmebehandlung auszusetzen, um deren Härte den Einsatzbedingungen anzupassen. Mit diesen konventionellen Wärmebehandlungsverfahren und der damit verbundenen Härtung größerer Volumenbereiche des Bauteils werden oft zwangsläufig außer der in den gewünschten Oberflächenbereichen erzielten Härte auch das Elastizitätsverhalten oder beispielsweise die Verschleißcharakteristik in anderen Bauteilbereichen mit verändert. Diese Veränderungen sind aber stets nur als Nebeneffekt zu betrachten. Diese Verfahren haben den Nachteil, daß die Änderung unterschiedlicher Bauteileigenschaften nicht innerhalb eines Verfahrens steuerbar ist. So ist beispielsweise eine sehr hohe Härte mit einem großen Elastizitätsverlust des Bauteils verbunden.It is generally known to use a conventional method to produce metallic components Expose heat treatment to its hardness the operating conditions adapt. With these conventional heat treatment processes and associated hardening of larger volume areas of the component are often inevitably apart from the hardness achieved in the desired surface areas also the elasticity behavior or, for example, the wear characteristic in other component areas changed. But these changes are always only to be regarded as a side effect. These methods have the disadvantage that the Not changing different component properties within one process is controllable. So for example is a very high hardness with a big one Loss of elasticity of the component connected.

Es ist weiterhin bekannt, metallische Bauteile oder Werkstücke mit Elektronenstrahlen im Oberflächenbereich zu härten. Dazu werden unterschiedliche Verfahren angewendet, die bei einer Vielzahl von Bauteilen das konventionelle Wärmebehandeln ersetzen. Diese sogenannte Oberflächenmodifikation wird mittels eines hochfrequent zweidimensional abgelenkten Elektronenstrahls, dessen Brennfleck in Größe und Geometrie dem Verfahren angepaßt ist, ausgeführt. Dazu wird der Elektronenstrahl senkrecht zur Relativbewegungsrichtung mit einer der Bahnbreite entsprechenden Amplitude und in Relativbewegungsrichtung nach einer Zeitfunktion auf dem Bauteil abgelenkt. Die gesamte innerhalb des Strahleinwirkungsbereiches liegende Werkstückoberfläche fällt mit der max. zulässigen Prozeßtemperatur entsprechenden Isothermen zusammen (DD 2 49 923 B1).It is also known to use metallic components or workpieces Harden electron beams in the surface area. This will be different Process applied that the conventional for a large number of components Replace heat treatment. This so-called surface modification is done by means of of a high-frequency two-dimensionally deflected electron beam, the Focal spot in size and geometry is adapted to the process. To the electron beam is perpendicular to the direction of relative motion with one of the  Web width corresponding amplitude and in the relative movement direction after a Time function on the component distracted. The whole within the Workpiece surface lying in the beam exposure area falls with the max. permissible process temperature together corresponding isotherms (DD 2 49 923 B1).

Dies ist meist dann möglich, wenn allein die Oberflächenhärte des Bauteils in einem definierten Bereich für die Einsetzbarkeit des Bauteils entscheidend ist. Oft ist es aber erforderlich, auch andere spezifische Eigenschaften des Bauteils gezielt zu beeinflussen. Um dies zu erreichen, wurden oft Kombinationen von konventionellen Wärmebehandlungsverfahren mit denen des Elektronenstrahlhärtens eingesetzt. So ist es beispielsweise möglich, Bauteile bis zu einem die gewünschte Elastizität bedingenden Grad konventionell zu härten und danach die besonders verschleißbeanspruchten Oberflächenbereiche mit Elektronenstrahlen auf das Härtemaximum aufzuhärten. Diese Verfahrenskombination hat den Nachteil, daß sie sehr aufwendig ist und die derart vergüteten Teile einen vergrößerten Nacharbeitsaufwand in der Hartbearbeitung erfordern. Dabei ist ein wesentlicher Nachteil darin zu sehen, daß die konventionellen Härteverfahren z. Z. umweltunfreundlich sind oder einen hohen apparativen Aufwand erfordern. Zu diesem kommt noch der Aufwand für den elektronenstrahltechnologischen Prozeß hinzu. Es sind also stets zwei getrennte Prozesse erforderlich. Nachteilig ist auch, daß Maßnahmen erforderlich sind, um die beim konventionellen Härten auftretende Korrosion zu verhindern.This is usually possible if the surface hardness of the component is all in one defined area is decisive for the usability of the component. Often it is but also necessary to specifically target other specific properties of the component influence. To achieve this, combinations of conventional ones have often been used Heat treatment processes used with those of electron beam hardening. So For example, it is possible to build components up to the desired elasticity conditional degree to harden conventionally and then the particular wear-exposed surface areas with electron beams on the Harden maximum hardness. This combination of processes has the disadvantage that it is very expensive and the parts so tempered an enlarged Rework effort in hard machining require. It is an essential one Disadvantage to see that the conventional hardening process such. Z. are environmentally unfriendly or require a lot of equipment. To this also comes with the expense for the electron beam technological process added. So two separate processes are always required. Another disadvantage is that measures are required to deal with the conventional hardening To prevent corrosion.

Eine weitere Lösung zur Herstellung von Teilen mit mehreren Bereichen unterschiedlicher Werkstoffeigeschaften besteht darin, daß diese Teile aus mehreren Teilen in bekannter Weise zusammengesetzt sind und die einzelnen Teile vorher durch bekannte Verfahren und Kombination derselben, wie Induktionshärten und Härten durch Energiestrahlen, behandelt wurden. Hierbei tritt der Nachteil auf, daß zu den technologischen Prozessen noch das Zusammenfügen hinzukommt und oft ein nachträgliches mechanisches Nachbearbeiten erforderlich ist.Another solution for manufacturing parts with multiple areas different material properties is that these parts from several parts are composed in a known manner and the individual parts previously by known methods and combination thereof, such as induction hardening and hardening by energy rays. Here there is the disadvantage that joining is added to the technological processes and Subsequent mechanical reworking is often necessary.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur multifunktionalen Elektronenstrahlbehandlung von Teilen zu schaffen, das allein durch Wahl der Prozeßparameter und der Geometrie der Behandlungszone in verschiedenen Bereichen des Teils unterschiedliche Änderungen der Werkstoffeigenschaften sowohl in der Fläche als auch in der Tiefe steuerbar bewirkt. Es soll möglich sein, auf mehreren geometrisch unterschiedlichen Bereichen der Oberfläche unterschiedliche Werkstoff- und Oberflächeneigenschaften zu erzeugen. Das heißt, es sollen unterschiedliche Gefügestrukturen in unterschiedlicher Tiefe entsprechend dem Einsatzzweck des Teiles in einem vakuumtechnologischen Prozeß mit dem Elektronenstrahl erzeugt werden. Das Verfahren soll auch bei Teilen anwendbar sein, deren Oberflächen bzw. zu behandelnde Bereiche der Oberfläche nicht eben sind. Im Rahmen des gesamten Verfahrens soll auch die Einwirkung des Elektronenstrahls derart möglich sein, daß eine visuell erkennbare Kennzeichnung des Teils möglich ist.The invention has for its object a method for multifunctional To create electron beam treatment of parts by simply selecting the Process parameters and the geometry of the treatment zone in different  Areas of the part different changes in material properties controllable both in terms of area and depth. It should be possible on several geometrically different areas of the surface to produce different material and surface properties. That is, it different structural structures are supposed to correspond to different depths the purpose of the part in a vacuum technological process with the Electron beam are generated. The method should also apply to parts be, the surfaces or areas of the surface to be treated are not even are. The action of the Electron beam so possible that a visually recognizable marking of the part is possible.

Erfindungsgemäß wird die Aufgabe nach den Merkmalen des Anspruches 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den Ansprüchen 2 bis 4 beschrieben.According to the invention the object is achieved according to the features of claim 1. Advantageous embodiments are described in claims 2 to 4.

Das erfindungsgemäße Verfahren, die multifunktionale Elektronenstrahlbehandlung, ermöglicht es, in einem einzigen elektronenstrahltechnologischen Prozeß ein Teil derart zu behandeln, daß beliebige Bereiche des Teiles mit unterschiedlichen Eigenschaften versehen werden. Es können Bereiche gehärtet werden, um den Verschleiß zu erhöhen, Bereiche aufgeschmolzen werden, um Sollbruchstellen zu erzeugen, es können elastisch federnde Bereiche erzeugt werden, es können aber auch die Teile beliebig gekennzeichnet werden. Mittels der bekannten Ablenk- und Steuermittel als integraler Bestandteil von Elektronenstrahlanlagen ist es möglich, den Elektronenstrahl in seinen Parametern dem jeweiligen Prozeßschritt anzupassen. Die vom Elektronenstrahl zu beaufschlagenden Bereiche können dabei in ihrer Geometrie beliebig ausgebildet sein. Sie können auch von der Ebene abweichen, d. h. konvex oder konkav ausgebildet sein. Entsprechend der Dimension des zu behandelnden Bereiches wird das Energieübertragungsfeld des Elektronenstrahls gebildet. Das Energieübertragungsfeld hat beliebige Form, vorzugsweise ist es rechteckig ausgebildet. Es kann auch der zu härtende Bereich aus mehreren nebeneinander liegenden Bahnen gebildet werden.The method according to the invention, the multifunctional electron beam treatment, enables a part to be made in a single process using electron beam technology to be treated in such a way that any part of the part with different Properties. Areas can be hardened around the To increase wear, areas are melted to break points generate, resilient areas can be created, but it can the parts can also be marked as desired. By means of the known deflection and Control means as an integral part of electron beam systems it is possible the electron beam in its parameters the respective process step adapt. The areas to be struck by the electron beam can thereby be of any geometry. You can also from the plane deviate, d. H. be convex or concave. According to the dimension of the area to be treated is the energy transfer field of the Electron beam formed. The energy transfer field has any shape it is preferably rectangular. It can also be the area to be hardened can be formed from several adjacent tracks.

Eine weitere Ausgestaltung des Verfahrens ist auch darin zu sehen, daß die zu beaufschlagenden Bereiche des Teiles nicht auf einer Seite angeordnet sein müssen. Dazu wird das Teil nach der Beaufschlagung einer Seite mit bekannten Mitteln in der Elektronenstrahlanlage ohne Vakuumunterbrechung während der Dunkeltastung des Elektronenstrahls bewegt.A further embodiment of the method can also be seen in the fact that the acting areas of the part must not be arranged on one side  have to. For this purpose, the part is known after the loading of a page Averaging in the electron beam system without vacuum interruption during the Blanking of the electron beam moves.

Es ist möglich, die Relativbewegung zwischen dem Elektronenstrahl und dem Teil derart auszuführen, daß entweder die Elektronenkanone fest steht oder bewegt wird und/oder der Elektronenstrahl fest steht oder bewegt wird, und/oder daß das Teil während dem Prozeß fest steht oder bewegt wird. Diese Relativbewegung kann auch derart überlagert werden, daß die einzelnen Bewegungsrichtungen zueinander unterschiedlich sind. Das kommt insbesondere dann zur Anwendung, wenn schräg verlaufende Bereich erzeugt oder Kennzeichnungen ausgeführt werden.It is possible to find the relative movement between the electron beam and the part in such a way that either the electron gun is stationary or is moved and / or the electron beam is stationary or moved, and / or that the part is stationary or moved during the process. This relative movement can also be superimposed in such a way that the individual directions of movement to each other are different. This is particularly useful when slanted running area are generated or markings are carried out.

Insgesamt läßt das erfindungsgemäße Verfahren keinen elektronenstrahltechnologischen Prozeßschritt, bzw. Teilschritt offen, der nicht in Folge mit anderen Schritten ausübbar ist. Daher auch die Bezeichnung als multifunktionales Elektronenstrahlbehandeln. Das Verfahren ersetzt die getrennte Ausübung mehrerer teilweise konventioneller technologischer Schritte und reduziert dadurch den apparativen und zeitlichen Aufwand erheblich, wobei eine hohe Produktivität gewährleistet ist.Overall, the method according to the invention leaves no one electron beam technological process step, or partial step open, which is not in Consequence can be exercised with other steps. Hence the name as multifunctional electron beam treatment. The procedure replaces the separate one Execution of several partially conventional technological steps and reduced thereby the expenditure of equipment and time considerably, with a high Productivity is guaranteed.

Durch die Anwendung des schnell und in großen Bereichen ablenkbaren Elektronenstrahls ist kaum eine Einschränkung auf die Gestalt des zu behandelnden Teils erforderlich. Die genannten Vorteile begründen die hohe Wirtschaftlichkeit des Verfahrens, das sich letztendlich nicht nur auf die Behandlung einzelner Teile beschränkt, sondern bei Einsatz entsprechender bekannter Vorrichtungen und Manipulatoren, die im wesentlichen im Rezipienten der Elektronenstrahlanlage angeordnet sind, ist das Verfahren auch für die Serienfertigung großer Stückzahlen von außerordentlichem Vorteil.By using the quickly and distractible in large areas Electron beam is hardly a limitation to the shape of the one to be treated Partly required. The advantages mentioned justify the high economic efficiency of the Process that ultimately does not only apply to the treatment of individual parts limited, but using appropriate known devices and Manipulators that are essentially in the recipient of the electron beam system are arranged, the process is also for the series production of large quantities of great advantage.

Anhand eines Ausführungsbeispiels wird die Erfindung näher erläutert. In der zugehörigen Zeichnung ist ein Bauteil dargestellt, welches bedingt durch seinen Einsatzzweck partiell unterschiedliche Eigenschaften aufweist.The invention is explained in more detail using an exemplary embodiment. In the The corresponding drawing shows a component, which due to its Application has partially different properties.

Es handelt sich in diesem Beispiel um ein Schneidwerkzeug. Auf einer Seite befindet sich eine gehärtete Schneide i und auf deren Gegenseite wird das Schneidwerkzeug eingespannt und durch Bohrungen 2 befestigt. Entlang einer Linie 3 ist eine Sollbruchstelle erforderlich, an der bei Schlageinwirkung das Schneidwerkzeug so bricht, daß es noch aus der Einspannung leicht lösbar ist. So sind optimale Einsatzbedingungen gegeben. Das Schneidwerkzeug soll in seinem Grundwerkstoff weich bleiben.In this example it is a cutting tool. There is a hardened cutting edge i on one side and the cutting tool is clamped on the opposite side and fastened by bores 2 . Along a line 3 , a predetermined breaking point is required, at which the cutting tool breaks in the event of impact so that it can still be easily released from the clamping. This ensures optimal operating conditions. The cutting tool should remain soft in its base material.

Erfindungsgemäß wird das mechanisch vorbereitete Schneidwerkzeug aus härtbarem Stahl ohne jede vorherige konventionelle Wärmebehandlung programmiert in den Einwirkbereich eines hochfrequent zweidimensional abgelenkten Elektronenstrahls einer bekannten Elektronenstrahlbearbeitungsanlage gebracht. Durch in ihr integrierte an sich bekannte Ablenkmittel wird der Elektronenstrahl derart programmiert, daß sein vorzugsweise rechteckiges Energieübertragungsfeld den Schneidenbereich S bahnförmig beaufschlagt. Die Leistung des Elektronenstrahls ist so eingestellt, daß in diesem Schneidenbereich S eine Härtung in einer Tiefe von 0,4 mm erfolgt. Danach läuft das nunmehr linienförmig ausgebildete Energieübertragungsfeld entlang der Linie 3 mit wesentlich höherer Leistung und führt eine Schmelzbehandlung durch. Das bedeutet, das Material wird aufgeschmolzen. Im folgenden Prozeßschritt wird das Energieübertragungsfeld wieder rechteckig ausgedehnt und die Strahleistung wird verändert. Es wird so der Einspannbereich E im bekannten Mehrspurverfahren streifenförmig in einer Tiefe von 0,3 mm gehärtet. Es entstehen gehärtete Streifen 4.According to the invention, the mechanically prepared cutting tool made of hardenable steel is programmed without any prior conventional heat treatment and brought into the area of action of a high-frequency, two-dimensionally deflected electron beam of a known electron beam processing system. By means of deflection means known per se integrated therein, the electron beam is programmed in such a way that its preferably rectangular energy transfer field acts on the cutting area S in a web-like manner. The power of the electron beam is set so that hardening takes place in this cutting area S at a depth of 0.4 mm. Thereafter, the energy transfer field, which is now in the form of a line, runs along line 3 with significantly higher power and carries out a melt treatment. This means that the material is melted. In the following process step, the energy transfer field is expanded again rectangularly and the beam power is changed. In this way, the clamping area E is hardened in strips in a known multi-track method at a depth of 0.3 mm. Hardened strips 4 are formed .

Die Wahl der Prozeßparameter erfolgt dabei für den ersten Prozeßschritt so, daß eine schneidenseitig harte Oberflächenschicht 5 auf dem weichen tragenden Körper 6 entsteht und die verschleißfeste Schneide 1 auch nach dem Nachschleifen gewährleistet ist. Für den nächsten Prozeßschritt sind die Parameter des Elektronenstrahls so gewählt, daß in der entlang der Linie 3 verlaufenden Schmelzzone 7 ein sprödes Gefüge entsteht. Bei übermäßiger Belastung bricht das Schneidwerkzeug an dieser Stelle. Schließlich werden im dritten Prozeßschritt die Parameter des Elektronenstrahls so gewählt, daß durch das Verhältnis der harten Zonen zu den weichen Zonen ein in der vorgegebenen Belastungsrichtung verbessertes Elastizitätsverhalten erzeugt wird. Der gesamte Prozeß ist in seinem Verlauf derart gestaltet, daß sich die Geometrie des Energieübertragungsfeldes von Schritt zu Schritt ändert und damit auch die Parameter des Elektronenstrahls den zu erzielenden Werkstoffeigenschaften angepaßt werden. Der Übergang der Prozeßparameter erfolgt stufenweise ohne Unterbrechung des Vakuumprozesses. Der Elektronenstrahl wird zwischen den einzelnen Schritten kurzzeitig durch Dunkeltastung nicht wirksam.The process parameters are selected for the first process step in such a way that a hard surface layer 5 on the cutting edge is formed on the soft supporting body 6 and the wear-resistant cutting edge 1 is also guaranteed after regrinding. For the next process step, the parameters of the electron beam are selected so that a brittle structure is formed in the melting zone 7 running along the line 3. With excessive load, the cutting tool breaks at this point. Finally, in the third process step, the parameters of the electron beam are chosen so that the ratio of the hard zones to the soft zones produces an elasticity behavior which is improved in the predetermined loading direction. The entire process is designed in such a way that the geometry of the energy transfer field changes from step to step and thus the parameters of the electron beam are also adapted to the material properties to be achieved. The process parameters are gradually transferred without interrupting the vacuum process. Between the individual steps, the electron beam is briefly inactive due to blanking.

Im Rahmen des Gesamtprozesses ist es ohne besondere Maßnahmen auch möglich, eine Kennzeichnung des Schneidmessers auf seiner Oberfläche, z. B. mit Firmenzeichen oder Teil-Nr., vorzunehmen. Das wäre denkbar zwischen dem Schneidenbereich S und der Sollbruchstelle. In diesem Fall wird die Figur durch den Elektronenstrahl, der dafür ein punktförmiges Energieübertragungsfeld besitzt, erzeugt, d. h. geschrieben. Dabei ist durch die Leistung des Elektronenstrahls während dieser Zeit bestimmt, ob die Oberfläche aufgeschmolzen oder nur erhitzt und thermisch angeätzt wird. Dieser Prozeßschritt ist zwischen beliebigen Prozeßschritten einfügbar.As part of the overall process, it is also without special measures possible to mark the cutting knife on its surface, e.g. B. with Company logo or part number. That would be conceivable between the Cutting area S and the predetermined breaking point. In this case, the figure is replaced by the Electron beam, which has a point-like energy transfer field, generated, d. H. written. This is due to the power of the electron beam during this time determines whether the surface has melted or just heated and is thermally etched. This process step is between any Process steps can be inserted.

Claims (5)

1. Verfahren zum multifunktionalen Elektronenstrahlbehandeln von Teilen, indem die zu behandelnden Bereiche des Teils mit einem zweidimensional, hochfrequent abgelenkten Elektronenstrahl relativ zur Oberfläche des Teils programmiert beaufschlagt werden, dadurch gekennzeichnet, daß mit dem Elektronenstrahl mindestens ein linien- und/oder flächen- und/oder punktförmiges Energieübertragungsfeld erzeugt und in mindestens einem Durchlauf über das Teil derart bewegt wird, daß mindestens zwei Bereiche der Oberfläche des Teils, deren Geometrie und/oder Einwirktiefe und/oder deren durch die Einwirkung des Elektronenstrahles zu erzielenden technologischen Eigenschaften unterschiedlich sind, in Folge, im Wechsel oder gleichzeitig von dem Energieübertragungsfeld beaufschlagt werden, daß die Strahlleistung und die Ablenkparameter des Elektronenstrahls den zu erzielenden technologischen Eigenschaften angepaßt werden, daß die Relativbewegung durch die Bewegung des Teils und/oder die Bewegung der den Elektronenstrahl erzeugenden Elektronenkanone und/oder durch die ablenktechnische Verschiebung des Energieübertragungsfeldes innerhalb des möglichen Ablenkfeldes des Elektronenstrahles erzeugt wird, und daß die Bewegung des Teils und eine angepaßte Steuerung der Ablenkparameter des Elektronenstrahls synchronisiert werden.1. A method for the multifunctional electron beam treatment of parts by programming the areas to be treated of the part with a two-dimensional, high-frequency deflected electron beam relative to the surface of the part, characterized in that with the electron beam at least one line and / or area and / or a point-shaped energy transfer field is generated and moved in at least one pass over the part in such a way that at least two areas of the surface of the part, the geometry and / or action depth and / or the technological properties to be achieved by the action of the electron beam, are different, alternately or simultaneously acted upon by the energy transfer field that the beam power and the deflection parameters of the electron beam are adapted to the technological properties to be achieved, that the relative movement by the movement of the part and / or the movement is generated by the electron gun generating the electron beam and / or by the deflection of the energy transfer field within the possible deflection field of the electron beam, and that the movement of the part and an adapted control of the deflection parameters of the electron beam are synchronized. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die einzelnen Verfahrensschritte in beliebiger Folge einzeln und sich wiederholend ausgeführt werden und durch Wahl des Energieübertragungsfeldes und/oder der weiterem Prozeßparameter zum Härten, Umschmelzen und/oder Kennzeichnen von Bereichen der Oberfläche angepaßt werden.2. The method according to claim 1, characterized in that the individual Process steps in any sequence individually and repetitively be carried out and by choosing the energy transfer field and / or the further process parameters for hardening, remelting and / or Marking areas of the surface to be adjusted. 3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei nichtebenen Oberflächen oder Oberflächenbereichen des Teiles der zwangsläufig sich ändernde Arbeitsabstand durch Anpassung der Prozeßparameter ausgeglichen wird. 3. The method according to claim 1, characterized in that at non-levels Surfaces or surface areas of the part that inevitably become changing working distance by adjusting the process parameters is balanced.   4. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Relativbewegung durch Bewegung der den Elektronenstrahl erzeugenden Elektronenkanone und/oder des Energieübertragungsfeldes und/oder des Teiles ausgeführt wird.4. The method according to claim 1 and 2, characterized in that the Relative movement by moving the electron beam generating Electron gun and / or the energy transfer field and / or the Part is executed. 5. Verfahren nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß bei der Beaufschlagung mehrerer Seiten des Teiles der Elektronenstrahl nach der Beaufschlagung einer Seite auf die andere Seite abgelenkt wird oder das Teil mit Vorrichtungen oder Manipulatoren im Rezipienten auf die andere Seite bewegt wird.5. The method according to claim 1 to 3, characterized in that in the Acting on several sides of the part of the electron beam after the Applying one side to the other side is distracted or the part with devices or manipulators in the recipient on the other side is moved.
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