DE19522806C2 - Verfahren zur Herstellung eines Mikromembranventils - Google Patents

Verfahren zur Herstellung eines Mikromembranventils

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19752028A1 (de) * 1997-11-24 1999-06-02 Siemens Ag Verfahren zur Justierung des Ventilnadelhubs bei Dosierventilen und Dosierventil mit nach diesem Verfahren justierten Ventilnadelhub
DE19821638A1 (de) * 1998-05-14 1999-11-25 Festo Ag & Co Mikroventil
EP1992469A1 (fr) 2007-05-18 2008-11-19 Forschungszentrum Karlsruhe GmbH Procédé de fabrication d'une membrane dans un cadre
US7753072B2 (en) 2004-07-23 2010-07-13 Afa Controls Llc Valve assemblies including at least three chambers and related methods

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5810325A (en) * 1996-06-25 1998-09-22 Bcam International, Inc. Microvalve
DE19816283A1 (de) * 1998-04-11 1999-10-14 Festo Ag & Co Mengenverstärkereinrichtung für Fluidströme
DE102005062554A1 (de) 2005-12-27 2007-07-05 Robert Bosch Gmbh Mikromechanisches Bauelement mit Kappe mit Verschluss
DE102008054220A1 (de) * 2008-10-31 2010-05-06 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Thermopneumatisches Mikroventil auf Basis von Phasenwechselmaterial
DE102010051743B4 (de) 2010-11-19 2022-09-01 C. Miethke Gmbh & Co. Kg Programmierbares Hydrocephalusventil
DE102013209866B4 (de) * 2013-05-28 2021-11-04 Robert Bosch Gmbh Vorrichtung mit vorgegebener Fluidverdrängung
DE102018124467A1 (de) * 2018-10-04 2020-04-09 Mst Innovation Gmbh Hydraulisches Mikroventil
DE102020115510A1 (de) 2020-06-10 2021-12-16 Bürkert Werke GmbH & Co. KG Ventil und Baugruppe mit einem Ventil

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH606878A5 (fr) * 1975-11-18 1978-11-15 Sulzer Ag
US4824073A (en) * 1986-09-24 1989-04-25 Stanford University Integrated, microminiature electric to fluidic valve
US4858883A (en) * 1987-12-11 1989-08-22 Integrated Fluidics, Inc. Valve with flexible sheet member
DD281444A5 (de) * 1987-12-30 1990-08-08 Dresden Komplette Chemieanlag Druckmittelbetaetigtes membranventil
DE3814150A1 (de) * 1988-04-27 1989-11-09 Draegerwerk Ag Ventilanordnung aus mikrostrukturierten komponenten
US4826131A (en) * 1988-08-22 1989-05-02 Ford Motor Company Electrically controllable valve etched from silicon substrates
DE4139668A1 (de) * 1991-12-02 1993-06-03 Kernforschungsz Karlsruhe Mikroventil und verfahren zu dessen herstellung
US5325880A (en) * 1993-04-19 1994-07-05 Tini Alloy Company Shape memory alloy film actuated microvalve
US5681024A (en) * 1993-05-21 1997-10-28 Fraunhofer-Gesellschaft zur Forderung der angerwanden Forschung e.V. Microvalve

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19752028A1 (de) * 1997-11-24 1999-06-02 Siemens Ag Verfahren zur Justierung des Ventilnadelhubs bei Dosierventilen und Dosierventil mit nach diesem Verfahren justierten Ventilnadelhub
DE19752028C2 (de) * 1997-11-24 1999-09-30 Siemens Ag Verfahren zur Justierung des Ventilnadelhubs bei Dosierventilen und Dosierventil mit nach diesem Verfahren justierten Ventilnadelhub
DE19821638A1 (de) * 1998-05-14 1999-11-25 Festo Ag & Co Mikroventil
DE19821638C2 (de) * 1998-05-14 2000-07-06 Festo Ag & Co Mikroventil
US7753072B2 (en) 2004-07-23 2010-07-13 Afa Controls Llc Valve assemblies including at least three chambers and related methods
US7946308B2 (en) 2004-07-23 2011-05-24 Afa Controls Llc Methods of packaging valve chips and related valve assemblies
EP1992469A1 (fr) 2007-05-18 2008-11-19 Forschungszentrum Karlsruhe GmbH Procédé de fabrication d'une membrane dans un cadre
DE102007023286A1 (de) 2007-05-18 2008-11-20 Forschungszentrum Karlsruhe Gmbh Verfahren zur Herstellung einer Membran in einem Rahmen
DE102007023286B4 (de) * 2007-05-18 2010-11-04 Karlsruher Institut für Technologie Verfahren zur Herstellung einer Membran in einem Rahmen

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EP0834031A1 (fr) 1998-04-08
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DE19522806A1 (de) 1997-01-30
WO1997001054A1 (fr) 1997-01-09

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