DE19512836A1

DE19512836A1 - Workpiece dimension measuring device

Info

Publication number: DE19512836A1
Application number: DE19512836A
Authority: DE
Inventors: Horst Dipl Ing Knaebel
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1994-04-09
Filing date: 1995-04-06
Publication date: 1995-10-12
Also published as: DE9405888U1

Abstract

The device has at least one measurement sensor, mounted in a holder consists of a housing containing a measurement induction coil (14) and a sensor (17) applied to the surface of the workpiece and which acts as a deflection body for the coil. The housing (5), which can be subjected to compressed air, also contains a compensation induction coil (15) which is connected with the measurement coil to form a half bridge. The sensor forms a pneumatically actuated piston which slides within the measurement induction coil into a measurement position or is maintained in a base position on the application of compressed air. It incorporates a sensing pin (18) extending through the housing and of non-magnetic or only weakly magnetic material, and a magnetisable casing (19) mounted on the pin. The casing protrudes into the measurement coil to only a small extent in the base position of the sensing pin.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Über prüfung der Maße eines mechanischen Werkstückes, bestehend aus mindestens einem an einem der Meßaufgabe angepaßten Träger befestigbaren Meßtaster, der aus einem eine Meß- Induktionsspule aufnehmenden Gehäuse und einem sich auf der Meßoberfläche des Werkstückes abstützenden und für die Meß-Induktionsspule als Ablenkkörper wirkenden Tastelement gebildet ist, wobei das bedarfsweise mit Druckluft beauf schlagbares Gehäuse noch eine Kompensations-Induktionsspu le mit Ablenkkörper aufnimmt, die mit der Meß-Induktions spule als sogenannte Halbbrücke geschaltet ist.The invention relates to a device for over checking the dimensions of a mechanical workpiece, existing from at least one adapted to one of the measuring task Carrier attachable probe, which consists of a measuring Induction coil housing and one on supporting the measuring surface of the workpiece and for the Measuring induction coil acting as a deflecting element is formed, the need with compressed air if necessary beatable housing still a compensation induction coil le with deflecting body that takes up with the measuring induction coil is connected as a so-called half-bridge.

Eine derartige Vorrichtung ist aus der DE-OS 40 23 504 so wie aus dem DE-GM 90 15 229 bekannt. Bei diesen bekannten Vorrichtungen ist der Ablenkkörper der eigentlichen Meß- Induktionsspule entweder als Platte, Feder oder Kugel aus gebildet, wobei der Abstand zwischen der Induktionsspule und dem Tastelement die Meßgröße bildet. Bei einer anderen Ausgestaltung kann der Ablenkkörper aus einer Platte oder Feder bestehen, die einen in die Meß-Induktionsspule ein tauchbaren Zapfen mit kreisförmigen Querschnitt besitzt. Durch diese Ausgestaltungen können mit derartigen Meßvor richtungen nur kleine Meßbereiche von ca. =⁺ 0,2 mm bis ⁺ 0,4 mm realisiert werden. Such a device is so from DE-OS 40 23 504 as known from DE-GM 90 15 229. With these known Devices is the deflector of the actual measuring Induction coil either as a plate, spring or ball formed, the distance between the induction coil and the measuring element forms the measured variable. Another one The deflector can be configured from a plate or There are a spring that one into the measuring induction coil submersible pin with circular cross section. By means of these configurations, it is possible with such directions only small measuring ranges from approx. = ⁺ 0.2 mm to ⁺ 0.4 mm can be realized.

Eine Änderung des Tastelementes bzw. eine andere Ausge staltung der Tastfläche macht normalerweise eine andere Ausgestaltung der gesamten Vorrichtung erforderlich.A change of the feeler element or another Ausge The design of the touch surface usually makes a different one Design of the entire device required.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrich tung zur Überprüfung der Maße eines mechanischen Werk stückes so auszugestalten, daß bei gleichzeitiger Reduzie rung des Einbauraumes für den Meßtaster der Meßbereich vergrößert wird. Darüber hinaus soll die Vorrichtung, ins besondere aber der an dem Träger befestigbare Meßtaster einfach installierbar, wartungsfreundlich und gegen Ver schmutzungen unempfindlich sein. Das der Meß-Induktions spule zugeordnete und als Ablenkkörper wirkende Tastele ment soll insbesondere leicht auswechselbar sein und ohne Änderung von anderen Teilen der Vorrichtung bzw. des Meß tasters den jeweiligen Meßaufgaben angepaßt werden können. Schließlich soll noch die bei der Meßung bewegte Masse des Meßtasters äußerst gering sein, damit der Meßtaster auch für dynamische Meßaufgaben eingesetzt werden kann.The invention has for its object a Vorrich device for checking the dimensions of a mechanical movement pieces so that with simultaneous reduction of the installation space for the probe the measuring range is enlarged. In addition, the device, ins special but the probe attached to the carrier easy to install, easy to maintain and against ver be insensitive to dirt. That of measurement induction Coil assigned and acting as a deflector ment should in particular be easy to replace and without Change of other parts of the device or the measurement can be adapted to the respective measuring tasks. Finally, the mass of the Probe be extremely low, so the probe too can be used for dynamic measurement tasks.

Zur Lösung dieser Aufgaben wird gemäß der Erfindung bei einer Vorrichtung der eingangs beschriebenen Gattung vor geschlagen, daß das Tastelement als in der Meß-Induktions spule verschiebbarer, pneumatisch beaufschlagbarer Kolben ausgebildet ist, der aus einem sich durch das Gehäuse er streckenden Taststift aus nicht bzw. nur schwach magneti sierbarem Werkstoff und einer auf demselben fest aufge setzten, in der Grundstellung des Taststiftes nur gering fügig in die Meß-Induktionsspule ragenden Hülse aus ma gnetisierbarem Werkstoff besteht.To solve these problems, according to the invention a device of the type described above struck that the probe element as in the measuring induction spool slidable, pneumatically actuated piston is formed, which consists of a through the housing stretching stylus from not or only weakly magneti sizable material and one firmly attached to it set, in the basic position of the stylus only slightly fit into the measuring induction coil from ma gnetizable material.

Durch diese Ausgestaltung ist das Tastelement leicht aus wechselbar und gegebenenfalls auch durch ein anders ausge bildetes Tastelement ersetzbar. Der Meßweg kann jetzt er heblich größer sein und bis zu 10 mm betragen, wobei über den gesamten Meßbereich eine Reproduzierbarkeit von gleich oder kleiner als 0,2 µm erzielt wird. Die bewegbare Masse des Tastelementes ist äußerst gering, so daß derselbe auch für dynamische Meßaufgaben eingesetzt werden kann.With this configuration, the feeler element is easily made interchangeable and possibly different formed probe element replaceable. He can now measure be considerably larger and up to 10 mm, being about reproducibility of the same over the entire measuring range or less than 0.2 µm is achieved. The moveable mass the feeler element is extremely small, so that it is the same can be used for dynamic measurement tasks.

Weitere Merkmale einer Vorrichtung gemäß der Erfindung sind in den Ansprüchen 2-14 offenbart.Further features of a device according to the invention are disclosed in claims 2-14.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand in einer Zeichnung dargestellter Ausführungsbeispiele näher erläutert. Dabei zeigenThe invention is illustrated below in a drawing illustrated embodiments explained in more detail. Here demonstrate

Fig. 1 einen Schnitt durch einen der Meßaufgabe angepaß ten Träger mit einem Meßtaster gemäß der Erfin dung und Fig. 1 shows a section through a measurement task adapted th carrier with a probe according to the inven tion and

Fig. 2 einen besonders ausgestalteten Träger mit nur einen angedeuteten Meßtaster zur Überprüfung der Maße von Bohrungen in ringförmigen Werkstücken. Fig. 2 shows a specially designed carrier with only one indicated probe for checking the dimensions of bores in annular workpieces.

In der Fig. 1 der Zeichnung ist ausschnittsweise eine Vor richtung gezeigt, die zur Ermittlung, insbesondere zur Überprüfung eines Maßes eines nicht dargestellten Werk stückes dient. Diese Vorrichtung besteht aus einem nur an gedeuteten Träger 1, der beispielsweise, wie in Fig. 2 ge zeigt, als Meßdorn ausgebildet ist. Dieser Träger 1 be sitzt in seiner Mantelfläche 2 eine paßfederartige Nut 3.In Fig. 1 of the drawing, a section is shown before direction, which is used to determine, in particular to check a dimension of a workpiece, not shown. This device consists of an interpreted only on the carrier 1, which, for example, as shown in Fig. 2 ge, is designed as a measuring mandrel. This carrier 1 be sits in its lateral surface 2 a feather key groove 3rd

In diese Nut 3 ist nun der eigentliche Meßtaster 4 einge baut. Dieser Meßtaster 4 besteht im dargestellten Ausfüh rungsbeispiel aus einem Gehäuse 5 aus nicht oder nur schwach magnetisierbarem Werkstoff, welches ebenfalls eine paßfederartige Gestalt besitzt und mittels einer Schraube 6 in der Nut 3 des Trägers 1 befestigt werden kann. Das Ge häuse 5 ist bodenseitig durch eine beispielsweise aufge klebte Platte 7 dicht verschlossen. Diese Platte 7 liegt auf dem Boden 3a der Nut 3 auf. Auch die Platte 7 besteht in gleicher Weise wie das Gehäuse 5 aus nicht bzw. nur schwach magnetisierbarem Werkstoff. In diesem Boden 3a münden zwei Kanäle 8, 9 des Trägers 1, denen Bohrungen 10, 11 in der Platte 7 zugeordnet sind.In this groove 3 , the actual probe 4 is now built. This probe 4 consists in the example shown Ausfüh approximately of a housing 5 made of non or only weakly magnetizable material, which also has a feather-like shape and can be fastened by means of a screw 6 in the groove 3 of the carrier 1 . The Ge housing 5 is sealed on the bottom side by a glued plate 7, for example. This plate 7 lies on the bottom 3 a of the groove 3 . The plate 7 , in the same way as the housing 5, is made of non-magnetizable or only weakly magnetizable material. In this floor 3 a two channels 8 , 9 of the carrier 1 open, which holes 10 , 11 are assigned to the plate 7 .

In das paßfederartige und damit längliche Gehäuse 5 des Meßtasters 4 sind in diesem Ausführungsbeispiel zwei Spu lenträger 12, 13 eingesetzt, die sich beiderseits der Schraube 6 befinden und jeweils eine Induktionsspule 14, 15 aufnehmen. Dabei sind die Spulenträger 12, 13 aus magneti sierbarem Werkstoff gebildet. Von den beiden Induktions spulen 14, 15 dient die Induktionsspule 14 als sogenannte Meß-Induktionsspule 14, während die andere Induktionsspu le 15 eine sogenannte Kompensations-Induktionsspule 15 bildet. Jeder Spulenträger 12, 13 ist mit einer Bohrung 16 ausgestattet.In the feather-key and thus elongated housing 5 of the probe 4 , two Spu lträger 12 , 13 are used in this embodiment, which are located on both sides of the screw 6 and each receive an induction coil 14 , 15 . The coil carrier 12 , 13 are made of magnetisable material. Of the two induction coils 14, 15, the induction coil 14 serves as a so-called measuring induction coil 14, while the other Induktionsspu le 15 a so-called compensating induction coil forms 15th Each coil support 12 , 13 is equipped with a bore 16 .

Die Bohrung 16 des Spulenträgers 12 und die Bohrung 10 der Platte 7 nehmen mit geringem Spiel, jedoch führend, ein als Pneumatikkolben ausgebildetes Tastelement 17 auf, welches innerhalb der Meß-Induktionsspule 14 axial ver schiebbar ist. Dabei ist das Tastelement 17 aus einem Taststift 18 und einer Hülse 19 zusammengesetzt, wobei die Hülse 19 fest mit dem Taststift 18 verbunden ist. Der Taststift 18 besteht aus nicht bzw. nur schwach magneti sierbarem Werkstoff, während die Hülse 19 aus magnetisier barem Werkstoff gebildet ist und in der Grundstellung des Taststiftes 18 nur zum Teil in die Meß-Induktionsspule 14 ragt. In dieser Grundstellung kann das äußere Ende der Hülse 19 beispielsweise an einem Anschlag 8a anliegen. Der Taststift 18 weist im dargestellten Ausführungsbei spiel eine konvex ausgebildete Tastfläche 20 auf. Auch eine spitze oder schneidendartig ausgestaltete Tastfläche 20, die alle nur punktartig an dem zu überprüfenden Werk stück zum Anliegen kommen, sind möglich. Bedarfsweise kann die Tastfläche 20 auch durch besondere Einsätze aus Zir konoxid, Rubin oder Diamant gebildet sein. In Abhängigkeit von der Ausgestaltung der Tastfläche 20 kann es erforder lich sein, den Taststift 18 gegen Drehung zu sichern. Da zu ist es möglich, dem Taststift 18 oder Hülse 19 eine Platte zuzuordnen, die über eine Aussparung an einem Stift geführt wird.The bore 16 of the bobbin 12 and the bore 10 of the plate 7 take with little play, but leading, a formed as a pneumatic piston sensing element 17 , which is axially slidable ver within the measuring induction coil 14 . The feeler element 17 is composed of a feeler pin 18 and a sleeve 19 , the sleeve 19 being firmly connected to the feeler pin 18 . The stylus 18 consists of not or only weakly magnetisable material, while the sleeve 19 is made of magnetizable material and in the basic position of the stylus 18 only partially protrudes into the measuring induction coil 14 . In this basic position, the outer end of the sleeve 19 can rest against a stop 8 a, for example. The stylus 18 has in the illustrated game Ausführungsbei a convex touch 20 . A pointed or cutting-like touch surface 20 , all of which only come to rest on the workpiece to be checked, is possible. If necessary, the touch surface 20 can also be formed by special inserts made of zirconium oxide, ruby or diamond. Depending on the design of the touch surface 20 , it may be necessary to secure the stylus 18 against rotation. Since it is possible to assign the stylus 18 or sleeve 19 to a plate which is guided over a recess on a pin.

Die Hülse 19 weist im gezeichneten Ausführungsbeispiel eine zylindrische Mantelfläche auf. Bedarfsweise kann diese Mantelfläche auch konisch, konkav oder konvex ge staltet sein. Durch eine solche Ausgestaltung des Quer schnittes der Hülse 19 kann die Veränderung der Induktion beim weiteren Eindringen der Hülse 19 in die Meß-Induk tionsspule 14 als Funktion zum Weg beeinflußt und den je weiligen Meßgegebenheiten angepaßt werden. In einem sol chen Fall ist es jedoch erforderlich, der Hülse 19 eine besondere Führungshülse zuzuordnen, die eine ausreichen de Führung des Tastelementes 17 sicherstellt. Durch die Ausgestaltung des Tastelementes 17 als Kolben kann das Tastelement 17 problemlos ausgewechselt und durch ein anderes, ebenfalls kolbenförmiges Tastelement 17 ersetzt werden. The sleeve 19 has a cylindrical outer surface in the illustrated embodiment. If necessary, this lateral surface can also be conical, concave or convex. With such a configuration of the cross section of the sleeve 19 , the change in induction upon further penetration of the sleeve 19 into the measuring induction coil 14 can be influenced as a function of the path and can be adapted to the respective measuring conditions. In such a case, however, it is necessary to assign the sleeve 19 a special guide sleeve, which ensures sufficient de guidance of the probe element 17 . Due to the design of the feeler element 17 as a piston, the feeler element 17 can be easily replaced and replaced by another, also piston-shaped feeler element 17 .

Der Kompensations-Induktionsspule 15 ist ein fest in den Spulenträger 13 eingesetzter Ablenkkörper 21 zugeordnet, der um ein vorgegebenes Maß in die Kompensations-Induk tionsspule 15 ragt. Diese Kompensations-Induktionsspule 15 ist mit der Meß-Induktionsspule 14 als sogenannte Halb brücke geschaltet. Dadurch werden auch Temperaturschwan kungen ausgeglichen, die sich somit nicht auf das Meßer gebnis auswirken können. Bedarfsweise kann der Ablenkkör per 21 noch einen nicht dargestellten Stift aufnehmen, der über ein Gewinde im Ablenkkörper 21 drehbar und axial ver schiebbar ist. Dadurch ist ein sogenannter Nullabgleich möglich. Sobald dieser durchgeführt wurde, wird der axial verschiebbare und nicht gezeichnete Stift mit dem Ablenk körper 21 fest verbunden. Beide Induktionsspulen 14,15 sind in an sich bekannter, nicht dargestellter Weise elek trisch an eine nur angedeutete Kontaktplatte 23 ange schlossen, von der ein mehradriges Kabel 24 über den Ka nal 9 nach außen geführt ist.Of the compensating induction coil 15 is associated with a permanently attached into the coil bobbin 13 baffle 21 which tion coil by a predetermined amount in the compensation Induk 15 projects. This compensation induction coil 15 is connected to the measuring induction coil 14 as a so-called half bridge. This also compensates for temperature fluctuations, which therefore cannot affect the measurement result. If necessary, the deflector 21 can also receive a pin, not shown, which is rotatable and axially slidable ver via a thread in the deflector 21 . This enables a so-called zero adjustment. As soon as this has been carried out, the axially displaceable and not shown pin is firmly connected to the deflecting body 21 . Both induction coils 14,15 are included in a known per se manner not shown elec tric is only indicated on a contact plate 23, from which a multicore cable 24 is guided over the chan nel 9 to the outside.

Dem Meßtaster 4 kann im dargestellten Ausführungsbeispiel über den Kanal 9 Druckluft zugeführt werden, die einerseits mit sogenannter Spülfunktion über den Spalt zwischen der Bohrung 16 und dem Taststift 18 und andererseits über den Spalt zwischen der Hülse 19 und der Bohrung 10 austritt. Dabei wirken diese Spalte als eine Art Drossel, über die Druckluft aus dem Gehäuse 5 entweicht. Der Innendruck im Gehäuse wirkt auf die Ringfläche 19a der Hülse 19 und führt dazu, daß das Tastelement 17 in einer Grund- bzw. Ausgangsstellung gehalten wird, in der die Hülse 19, wie bereits erwähnt, an dem Anschlag 8a anliegt. In dieser La ge des Tastelementes 17 kann dem Träger 1 ein zu messendes Werkstück zugeführt werden. In the exemplary embodiment shown, the measuring probe 4 can be supplied with compressed air via the channel 9 , which on the one hand exits with a so-called flushing function via the gap between the bore 16 and the stylus 18 and on the other hand via the gap between the sleeve 19 and the bore 10 . In this case, these gaps act as a type of throttle, via which compressed air escapes from the housing 5 . The internal pressure in the housing acts on the annular surface 19 a of the sleeve 19 and leads to the fact that the sensing element 17 is held in a basic or initial position in which the sleeve 19 , as already mentioned, bears against the stop 8 a. In this position of the sensing element 17 , the workpiece 1 can be supplied with a workpiece to be measured.

Sobald das Werkstück seine Meßposition eingenommen hat, wird über eine Bohrung 25 dem Kanal 8 Druckluft zugeführt. Diese bewirkt, daß sich der Taststift 18 aus dem Gehäu se 5 nach außen bewegt und mit seiner Tastfläche 20 an der Meßfläche zum Anliegen kommt. Nach durchgeführter Messung wird die Bohrung 25 wieder drucklos gemacht bzw. nach au ßen geöffnet, so daß jetzt der Taststift 18 über die vom Kanal 9 zugeführte Druckluft wieder in seine Grund- bzw. Ausgangslage zurückkehren kann.As soon as the workpiece has reached its measuring position, compressed air is supplied to the channel 8 via a bore 25 . This causes the stylus 18 to move out of the housing 5 and comes to rest with its tactile surface 20 on the measuring surface. After the measurement has been carried out, the bore 25 is depressurized again or opened to the outside, so that the stylus 18 can now return to its basic or initial position via the compressed air supplied by the channel 9 .

In der Fig. 2 der Zeichnung ist ein dornartiger Träger 1 gezeigt, der von einer Grundplatte 26 getragen wird. In dem Träger 1 sind beispielsweise zwei sich diametral ge genüberliegende Meßtaster 4 eingesetzt, von denen jedoch nur ein Gehäuse 5 mit dem Tastelement 17 eingezeichnet ist. Ferner sind hier die Kanäle 8,9 dargestellt, an die Leitungen 27 bzw. 28 für die Zufuhr von Druck- bzw. Spül luft angeschlossen sind. Die Leitung 28 ist dabei direkt mit einer Versorgungsleitung 29 verbunden, während die Leitung 27 über ein einstellbares Drosselventil 30 an die Versorgungsleitung 29 angeschlossen ist. Hinter dem Dros selventil 30 führt eine Leitung 31, die mit der Leitung 27 in Verbindung steht, zu einem Auflager 32 für das zu über prüfende Werkstück.In FIG. 2 of the drawing, a mandrel-like carrier 1 is shown, which is supported by a base plate 26. In the carrier 1 , for example, two diametrically opposed probes 4 are used, of which, however, only one housing 5 is located with the sensing element 17 . Furthermore, the channels 8, 9 are shown here, to which lines 27 and 28 are connected for the supply of pressurized air and air. The line 28 is connected directly to a supply line 29 , while the line 27 is connected to the supply line 29 via an adjustable throttle valve 30 . Behind the throttle valve 30 leads a line 31 , which is connected to the line 27 , to a support 32 for the workpiece to be checked.

In vorteilhafter Weise trägt dabei die Platte 26 drei Auflager 32, die gleichmäßig verteilt auf der Platte 26 angeordnet sind. In jedem Auflager 32 ist eine Austritts öffnung 33 vorgesehen, durch die dann, wenn sich noch kein Werkstück auf dem Auflager 32 befindet, Druckluft austreten kann, die hier als Spülluft wirkt und die die Auflagefläche sauber hält. Über den Druck in der Leitung 28 und damit im Gehäuse 5 wird das Tastelement 17 in sei ner eingezeichneten Grundstellung gehalten. Sobald nun alle Austrittsöffnungen 33 durch ein zu überprüfendes Werkstück geschlossen sind, baut sich in der Leitung 31 und damit in der Leitung 27 ein Druck auf, der dazu führt, daß das Tastelement 17 aus seiner gezeichneten Grundstel lung im Gehäuse 5 in eine sogenannte Meßstellung heraus bewegt wird. Diese Ausgestaltung hat zur Folge, daß dann, wenn sich ein zu überprüfendes Werkstück ordnungsgemäß auf den Auflagern 32 befindet, automatisch ein Meßvorgang durchgeführt wird und daß die Taststifte 18 der Meßtaster 17 zurückgezogen sind wenn das Werkstück aufgelegt wird.The plate 26 advantageously carries three supports 32 which are arranged on the plate 26 in an evenly distributed manner. In each support 32 , an outlet opening 33 is provided through which, when there is no workpiece on the support 32 , compressed air can escape, which acts here as purging air and which keeps the support surface clean. About the pressure in the line 28 and thus in the housing 5 , the push button 17 is held in its ner home position. As soon as all the outlet openings 33 are closed by a workpiece to be checked, a pressure builds up in the line 31 and thus in the line 27 , which leads to the sensing element 17 being moved out of its drawn basic position in the housing 5 into a so-called measuring position is moved. This configuration has the result that when a workpiece to be checked is properly on the supports 32 , a measuring process is carried out automatically and that the stylus 18 of the probe 17 are retracted when the workpiece is placed.

Claims

1. A device for checking the dimensions of a mechanical workpiece, consisting of at least one attachable to a measurement task adapted support Messta ster, which take up a measuring induction coil, the housing and a support on the measuring surface of the workpiece and for the measuring induction coil le is formed as a deflecting probe element, the housing, which can be acted upon with compressed air if necessary, also accommodates a compensation induction coil with a deflecting body which is connected to the measuring induction coil as a so-called half-bridge, characterized in that the sensing element ( 17 ) is used in the measurement -Induction coil ( 14 ) displaceable, pneumatically actuated piston is formed, which consists of a probe pin ( 18 ) extending through the housing ( 5 ) made of non-or only weakly magnetizable material and a firmly placed on the same, in the basic position of the probe pin ( 18 ) only slightly g in the measuring induction coil ( 14 ) projecting sleeve ( 19 ) consists of magnetisable material.

2. Apparatus according to claim 1, characterized in that the stylus ( 18 ) in an existing of magnetizable material coil carrier ( 12 ) and the sleeve ( 19 ) in a non-or only weakly magnetizable material existing part of the housing ( 5 ) ge leads are.

3. Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that the feeler element ( 17 ) is designed to be replaceable.

4. Apparatus according to claim 1 or 2, characterized in that the sleeve ( 19 ) has a cylindrical, conical, concave or convex outer jacket surface, which is assigned a guide sleeve made of non-magnetizable or only weakly magnetizable material.

5. The device according to at least one of claims 1-4, characterized in that the pushbutton element ( 17 ) is guided to form a purge air gap in the housing ( 5 ) and / or in a housing ( 5 ) secured coil carrier ( 12 ).

6. The device according to claim 5, characterized in that the sensing element ( 17 ) is held by the compressed air also used for flushing in its basic position in the hous se ( 5 ).

7. The device according to at least one of claims 1-6, characterized in that the probe element ( 17 ) by an external spring or by a compressed gas, in particular compressed air, is movable into the measuring position.

8. The device according to at least one of claims 1-7, characterized in that the feeler element ( 17 ) or the feeler pin ( 18 ) is assigned a rotation lock.

9. The device according to at least one of claims 1-8, characterized in that the deflector ( 21 ) of the compensation induction coil ( 15 ) is adjustable.

10. The device according to at least one of claims 1-9, characterized in that the housing ( 5 ) is key-like and is fixed by means of a screw ( 6 ) in the carrier ( 1 ).

11. The device according to claim 5, characterized in that the housing ( 5 ) is closed on the back by a plate ( 7 ).

12. The device according to at least one of claims 1-11, characterized in that the carrier ( 1 ) is formed as on a base plate ( 26 ) on an ordered mandrel and that the Grundplat te ( 26 ) at least three pin-like elements ( 32 ) for support of the workpiece.

13. The apparatus according to claim 12, characterized in that each support element ( 32 ) with a channel ( 8 ) un ter the sensing element ( 17 ) in connection Lei device ( 31 ) with a protruding into the bearing surface from flow opening ( 33 ) .

14. The apparatus according to claim 13, characterized in that between the channels ( 8 ) and ( 9 ) there is a connection preferably formed as a throttle.