DE1950771B2 - Method for setting the resistance value for a sheet resistor - Google Patents

Method for setting the resistance value for a sheet resistor

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DE1950771B2 DE1950771A DE1950771A DE1950771B2 DE 1950771 B2 DE1950771 B2 DE 1950771B2 DE 1950771 A DE1950771 A DE 1950771A DE 1950771 A DE1950771 A DE 1950771A DE 1950771 B2 DE1950771 B2 DE 1950771B2
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Description

unterschiedlich langen Längsseiten zwischen den Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch ge-Anschlußelektroden (13 und 14) ausgebildet wird löst, daß zwischen den Anschlußelektroden innerhalb und daß der erste Einstellschlitz (15) 111 die kür- 65 der Widerstandsschicht zwei Stromwege unterschiedzere Längsseite, der zweite Einstellschlitz (16) licher Länge ausgebildet werden und daß zunächst dagegen in die längere Längsseite des Stufen- im Bereich des kürzeren Stromweges ein dem Grobrechtecks eingearbeitet wird (F i g. c). abgleich des Widerstandswertes dienender ersterLong sides of different lengths between the connection electrodes (13 and 14) that is formed triggers between the terminal electrodes within and that the first adjustment slot (15) 111 differentiates the short 65 of the resistance layer between two current paths Long side, the second adjustment slot (16) Licher length are formed and that first on the other hand, in the longer longitudinal side of the step in the area of the shorter current path in the rough rectangle is incorporated (Fig. c). adjustment of the resistance value serving first

Einstellschlitz und daß dann im Bereich des längeren Stromvveges ein dem Feinabgleich des Widerstandswertes dienender zweiter Einstellschlitz in die Widerstandsschicht eingearbeitet wird.Adjustment slot and that in the area of the longer current path a fine adjustment of the resistance value Serving second adjustment slot is incorporated into the resistance layer.

Durch die erfindungsgemäß vorgesehene Unterteilung der gesamten Widerstandseinstellung in einen ersten Grobeinstellschritt und einen anschließenden Feineinstellschritt wird das gesamte Einstellverfahren nicht nur zu einem genaueren Ergebnis geführt, sondern auch in seinem zeitlichen Ablauf verkürzt, da die Materialabtragung während des Grobabgleichs relativ rasch vorgenommen werden kann, ohne daß die erzielbare Genauigkeit darunter leidet, da die eigentliche Widerstandseinstellung dem anschließenden Feineinstellschritt überlassen bleibt. Außerdem wird die Gesamtmenge an abzutragendem Widerstandsschichtmaterial im Vergleich mit den bisher bekannten Einstellverfahren wesemlich verringert, was naturgemäß auch eine Arbeitserleichterung und Beschleunigung für die Widerstandseinstellung bedeutet. By subdividing the entire resistance setting into one as provided in accordance with the invention The entire setting process is the first coarse adjustment step and a subsequent fine adjustment step not only led to a more precise result, but also shortened its time sequence because the material can be removed relatively quickly during the rough adjustment without the achievable accuracy suffers because the actual resistance setting is the subsequent one Fine adjustment step is left to. In addition, the total amount of resistance layer material to be removed significantly reduced compared to the previously known adjustment methods, which of course also means a lightening of the workload and acceleration for the resistance setting.

Vorteilhafte Weilerbildungen und Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Verfahrens sind in Unteiran-Sprüchen gekennzeichnet.Advantageous hamlets and developments of the method according to the invention are in Unteiran sayings marked.

Für die weitere Erläuterung der Erfindung wird nunmehr auf die Zeichnung Bezug genommen. In dieser zeigtFor the further explanation of the invention, reference is now made to the drawing. In this shows

Fi g. 1 einen Schnitt durch einen in bisher üblicher Weise in seinem Widerstandswert eingestellten Schichtwiderstand entlang der Schnittlinie I-I in F i g. 2,Fi g. 1 shows a section through a previously common Way in its resistance value adjusted sheet resistance along the section line I-I in F i g. 2,

F i g. 2 den Schichtwiderstand nach F i g. 1 in Aufsieht, F i g. 2 the sheet resistance according to FIG. 1 look up,

F i g. 3 eine Aufsicht auf einen Schichtwiderstand gemäß der Erfindung,F i g. 3 shows a plan view of a sheet resistor according to the invention,

F i g. 4 ein Diagramm zur Erläuterung der Abhängigkeit zwischen der Länge eines Einstellschlitzes und dem justierten Wert des Widerstandes eines Schichtwiderstandes undF i g. 4 is a diagram for explaining the relationship between the length of an adjustment slot and the adjusted value of the resistance of a sheet resistor and

F i g. 5 a bis 5 d Aufsichten auf andere Ausführungsbeispiele für einen Schichtwiderstand gemäß der Erfindung.F i g. 5 a to 5 d plan views of other exemplary embodiments for a sheet resistor according to FIG the invention.

Zum besseren Verständnis der Erfindung soll zunächst die bisher übliche Widerstandseinstellung für einen Schichtwiderstand erläutert v/erden. In den F i g. 1 und 2 ist ein Schichtwiderstand dargestellt, bei dem eine Widerstandsschicht 2 auf der isolieienden Oberfläche eines Halbleiters oder einer isolierenden Unterlage 1 erzeugt ist und Anschlußelektroden 3 und 4 an beiden Enden dei Widerstandsschicht 2 angeschlossen sind. Ein solcher Widerstand wird weithin als Bestandteil einer integrierten Schaltung usw. verwendet.For a better understanding of the invention, the previously common resistance setting for a sheet resistor explained v / ground. In the F i g. 1 and 2 a sheet resistor is shown, in which a resistive layer 2 on the insulating surface of a semiconductor or an insulating Base 1 is produced and connecting electrodes 3 and 4 at both ends of the resistive layer 2 are connected. Such a resistor is widely used as part of an integrated circuit etc. used.

Wenn der ursprüngliche Wert des WiderstandesWhen the original value of the resistance

z. B, auf das Dreifache erhöht werden muß, arbeitet man einen Einstellschlitz 5 mit einer Länge -I3 W ein, wie F i g. 2 zeigt, so daß etwa ein Drittel der Widerstandsbreite W übrigbleibt Nun steigt jedoch die An-Stiegsgeschwindigkeit des jeweils justierten Wider-Standes schnell, wenn die Länge des Einstellsch'itzes 5 die Breite W des Widerstandes fast erreicht, wie die Kurve 41 in F i g. 4 zeigt Dementsprechend wird eine Feinjustierung des Widerstandes äußerst schwierig, wenn die Trennut 5 länger wird.z. B, must be increased threefold, an adjustment slot 5 with a length -I 3 W is incorporated , as shown in FIG. 2 shows, so that about a third of the resistance width W remains. Now, however, the rate of increase of the respectively adjusted resistance increases rapidly when the length of the adjustment slot 5 almost reaches the width W of the resistance, as the curve 41 in F i G. 4 shows. Accordingly, fine adjustment of the resistance becomes extremely difficult as the separating groove 5 becomes longer.

Weiter ist die maximal zulässige Belastung des Widerstandes durch den zulässigen Temperaturanstieg des Widerstandes begrenzt, der von der Wärmeleitfähigkeit der Unterlage, dem Verhältnis der Ef- Next is the maximum permissible load on the resistor due to the permissible temperature rise the resistance, which is limited by the thermal conductivity of the substrate, the ratio of the Ef-

fektivfläche des Widerstands zur Gesamtfläche der Unterlage und der verwendeten Kühleinrichtung abhängt. Wenn daher eine verhältnismäßig große Menge von Widerstandsmaterial an einer eng begrenzten Stelle entfernt wird, um einen großeneffective area of resistance to total area of Underlay and the cooling device used. If, therefore, a relatively large Amount of resistor material is removed in a very limited area to make a large one

Widerstand zu erhalten, wird dort die Effektivfläche des Widerstandes kleiner. Dann ist eine Wärmeabfuhi an dieser Stelle nicht leicht, und die maximal zulässige Leistung sinktTo obtain resistance, the effective area of the resistance becomes smaller there. Then there is a heat dissipation not easy at this point, and the maximum permissible power drops

Es sollen nun Ausführungsbeispiele der Erfindung im einzelnen beschrieben werden.Embodiments of the invention will now be described in detail.

F i g. 3 ist eine Aufsicht auf einen Schichtwiderstand gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung. In der Figur bezeichnet 11 eine z. B. aus keramischen Stoffen bestehende Unterlage, auf der der Schichtwiderstand angebracht ist, 12 eine von vier Seiten begrenzte Widerstandsschicht, z. B. aus Tantal bzw. einer Legierung aus Nickel und Chrom bzw. Cermet od. dgl., die auf der Untertage durch Drukken, Vakuumniederschlag, Kathodenaufsprühen usw. niedergeschlagen ist und eine schräge Seite 17 hat, so daß ihre Länge in der Strompfadrichtung in einem Teil i'rößer und im anderen Teil kleiner ist 13 und 14 bezeichnen ein Paar von Anschlußelektroden, die so ausgebildet sind, daß ein Teil von ihnen einF i g. 3 is a plan view of a sheet resistor according to an embodiment of the invention. In the figure, 11 denotes a z. B. made of ceramic materials on which the Sheet resistor is attached, 12 a resistive layer delimited by four sides, e.g. B. made of tantalum or an alloy of nickel and chromium or cermet or the like, which are printed on the underground, Vacuum deposition, cathode spray, etc. is deposited and a sloping side 17 so that its length in the direction of the current path is larger in one part and smaller in the other 13 and 14 denote a pair of terminal electrodes which are formed so as to be a part of them

Ende die Widerstandsschicht 12 überlappt. Was ihre Herstellung betrifft, so können entweder die Elektroden 13, 14 oder die Widerstandsschicht 12 als erste erzeugt werden. Dann werden Einstellschlitze 15 und 16 eingearbeitet.End the resistive layer 12 overlaps. As for their manufacture, either the electrodes 13, 14 or the resistance layer 12 are generated first. Then adjustment slots 15 and 16 incorporated.

Bei der Herstellung eines solchen Widerstandes hängen die Anstiegscharakteristiken des Widerstandes je nach der Länge eines Einstellschlitzes von dessen Lage ab, da die Länge des Widerstandes in einem Teil größer und in dem anderen Teil k'einerIn manufacturing such a resistor, the rising characteristics of the resistor depend depending on the length of an adjustment slot from its location, since the length of the resistor in one part bigger and in the other part none

gemacht ist und daher der Widerstand auf der einen Seite groß ist und zur anderen Seite hin kleiner wird. Der Wert des Widerstandes R in dem trapezförmigen Widerstand gemäß F i g. 3 leitet sich angenähert aus folgender Formel ab:is made and therefore the resistance is high on the one hand and becomes smaller on the other side. The value of the resistor R in the trapezoidal resistor shown in FIG. 3 is derived approximately from the following formula:

AW R0 AW R 0

R0 R 0

AWAW

R0 R 0

worin qs den spezifischen Flächenwidersland (Widerstand zwischen den entgegengesetzten Seiten eines quadratischen Stücks der Widerstandsfläche mit der Fläche Eins und der Dicke Eins), Z die Minimallänge eines Widerstands in Stromrichtung, W die senkrecht zur Stromrichtung gemessene Breite eines Widerstandes, AW eine kleine Breite, wenn die Widerstandsbreile W in η Teile geteilt wird, undwhere qs is the specific area contradiction (resistance between the opposite sides of a square piece of the resistor surface with area one and thickness one), Z the minimum length of a resistor in the direction of the current, W the width of a resistor measured perpendicular to the direction of the current, AW a small width, if the resistance width W is divided into η parts, and

—-und Äo
W - and Ao
W.

ρΛ-■ ρΛ - ■

-ρ-Λ-■ bedeuten.- ρ - Λ - ■ mean.

tan Wtan W

Wie sich aus der vorstehenden Formel ergibt, ist es wichtig, den Winkel θ geeignet auszuwählen, und ein Wert im Bereich von 20 bis 70" ist in der Praxis vorzuziehen, d.h. ein Winkel von 110 bis 160° zu der Seite, die den Einstellschlitz 15 kreuzt. Es ist erwünscht, die Einstellschlilze, die in der Widerstands-As can be seen from the above formula, it is important to properly select the angle θ, and a value in the range of 20 to 70 "is practically preferable, that is, an angle of 110 to 160 ° to the side which the adjustment slot 15 It is desirable to adjust the adjustment slips that are in the resistance

5 65 6

schicht anzubringen sind, von beiden Seiten her zwi- Standsschicht 12 angebracht werden, wird der Wider-layer are to be attached, are attached from both sides between the stand layer 12, the resistance

schen den Anschlußelektroden 13 und 14 gemäß standswert zunächst grob justiert, indem man einenbetween the connection electrodes 13 and 14 according to the stand value initially roughly adjusted by one

F i g. 3 auszubilden, doch können sie auch im Mittel- Einstellschlitz in einer Richtung erzeugt, die dieF i g. 3 to form, but they can also be generated in the central adjustment slot in a direction that the

teil des Widerstandes in einer Richtung, die die Richtung des Stromes auf den Teil zu kreuzt, wo derpart of the resistance in a direction that crosses the direction of the current to the part where the

Stromrichtung kreuzt, hergestellt werden. 5 Abstand zwischen den Leitern kürzer ist, und dannDirection of current crosses, are established. 5 distance between conductors is shorter, and then

F i g. 4 zeigt die Abhängigkeit zwischen dem ju- die Feinjustierung durchführt, indem man einen Einstierten Wert des Widerstandes und der Länge der stellschlitz in einer Richtung auf den Teil an-Einstellschlitze, wenn die Einstellschlitze von beiden bringt, wo der Abstand zwischen den Leitern Seiten der trapezförmigen Widerstandsschicht 12 größer ist.F i g. 4 shows the interdependency between the person who finishes the fine adjustment by making an adjustment Value of the resistance and the length of the adjustment slot in one direction towards the part at adjustment slots, when the adjustment slots of both brings where the distance between the conductors Sides of the trapezoidal resistance layer 12 is larger.

nach F i g. 3 aus hergestellt werden. Dabei trägt die io F i g. 5 zeigt verschiedene Formen von Wider-Breite der Einstellschlitze in der Richtung des Strom- Standsflächen für Schichtwiderstände gemäß der Erflusses kaum zur Widerstandsänderung bei. Die findung, wobei die gleichen Teile wie in F i g. 3 mit Kurve 42 zeigt den Widerstandswert, wenn der Ein- gleichen Bezugsziffern bezeichnet sind. Der in stellschlitz 15 von der Seite des kürzeren Strompfa- F i g. 5 a gezeigte Widerstand ist durch Ansetzen des des Widerstandes aus vorgesehen wird, und die 15 einer der beiden Anschlußelektroden 13 oder 14 an Kurve 43 den Widerstandswert, wenn der Einstell- einem Teil einer Seite und Schaffen eines Widersclilitz 16 von der Seite des längeren Strompfades aus Standspfades mit einem verhältnismäßig niedrigen angebracht wird. In dieser Figur deutet die Steigung Widerstand in dem zwischen den Anschlulielektroder Kurve 42 eine Anstiegsgeschwindigkeit an, die den 13 und 14 unter der gestrichelten Linie abgenahezu proportional zur Länge der Einstellschlitze 20 grenzten Teil erzeugt. F i g. 5 b zeigt einen Widerist, während aus 43 eine geringere Anstiegsgeschwin- stand, bei dem die beiden Enden der Widerstandsdigkeit als aus der Kurve 42 entnehmbar ist, jeden- schicht schräg ausgebildet sind. F i g. 5 c zeigt einen falls bis zu einer relativ großen Länge des Einstell- Widerstand, bei dem ein Ende der Widerstandsschlitzes, schicht in Stufenform gestaltet ist und die Zone zwi-according to FIG. 3 can be made from. The io F i g. 5 shows various forms of cons-width of the adjustment slots in the direction of the current- Stand areas for sheet resistors according to the flow hardly contributes to the change in resistance. The invention, with the same parts as in F i g. 3 with Curve 42 shows the resistance value when the same reference numerals are designated. The in Stellschlitz 15 from the side of the shorter current path F i g. 5 a shown resistance is by attachment of the resistor is provided, and the 15 to one of the two terminal electrodes 13 or 14 Curve 43 shows the resistance value when adjusting part of a page and creating a contradiction 16 from the side of the longer current path from standing path with a relatively low one is attached. In this figure, the slope indicates resistance in the between the connecting electrodes Curve 42 shows a rate of rise which is similar to that of FIGS. 13 and 14 under the dashed line generated proportional to the length of the adjustment slots 20 bordered part. F i g. 5b shows a withist, while from 43 a slower rate of rise, at which the two ends of the resistance than can be seen from the curve 42, each layer is formed obliquely. F i g. 5c shows a if up to a relatively large length of the setting resistor, at which one end of the resistor slot, layer is designed in step form and the zone between

Dementsprechend erhält man beim Justieren des 25 sehen der gestrichelten Linie und der Seite mit demAccordingly, when adjusting the 25 you will see the dashed line and the side with the

Widerstandswertes zunächst einen justierten Wider- Einslellschlitz 15 einen Pfad geringen WiderstandesResistance value first an adjusted Wider-Einlellschlitz 15 a path of low resistance

standswert nahezu gleich dem gewünschten, indem darstellt. F i g. 5 d zeigt einen Widerstand von Paral-stand value almost equal to the desired one by showing. F i g. 5 d shows a resistance of parallel

man zunächst einen kurzen Einstellschlitz 15 von der lelogrammform, bei dem die Lage der Einstellschlitzeone first a short adjustment slot 15 of the lelogrammform, in which the position of the adjustment slots

Seite der kurzen Länge aus durch Sandstrahlen usw. 15 und 16 unsymmetrisch ist. Eine genaue JustierungSide of the short length made by sandblasting etc 15 and 16 is unbalanced. An exact adjustment

anbringt. Dann wird durch Erzeugen eines Einstell- 30 des Widerstandswertes ist bei diesen Widerständenattaches. Then by generating a setting 30 the resistance value ist for these resistors

Schlitzes 16 von der Seite mit großer Länge aus eine aus dem gleichen Grunde möglich, wie beim erstenSlot 16 from the side with great length from one possible for the same reason as with the first

Widerstandsfeinjustierung ausgeführt, um den Ju- Ausführungsbeispiel beschrieben wurde. Bei dem inResistance fine adjustment carried out to the Ju embodiment was described. The in

stierfehler kleiner zu machen. So ist bei diesem Aus- F i g. 5 d gezeigten Widerstand bildet die durch diemake bull mistakes smaller. So is with this Aus F i g. 5 d forms the resistance shown by the

führungsbeispiel eine Feinjustierung des Widerstan- gestrichelten Linien angedeutete Zone einen Pfad ge-management example a fine adjustment of the dashed lines indicated zone a path

des ermöglicht, indem man einen Widerstand mit 35 ringen Widerstandes. Um so einen Zusammenhangmade possible by using a resistor with 35 rings of resistance. For such a connection

Strom wegen unterschiedlicher Länge herstellt und zwischen dem eingestellten Widerstandswert/? undCurrent due to different length and between the set resistance value /? and

darin spezielle Einstellschlitze anbringt. Außerdem der Länge L der Einstellschlitze zu erhalten, wie erit makes special adjustment slots. Also get the length L of the adjustment slots as he did

wird die Justierung der Schlitzlänge beim Trimmen durch die Kurven 42, 43 in F i g. 4 angedeutet ist,the adjustment of the slot length when trimming is illustrated by the curves 42, 43 in FIG. 4 is indicated,

leichter, und die Trimmzeit wird kürzer. muß man die Einstellschlitze 15 und 16 unsymme-lighter, and the trim time becomes shorter. the adjustment slots 15 and 16 must be asymmetrical

Wenn die Einstellschlitze im Mittelteil der Wider- 40 trisch anbringen, wie F i g. 5 d zeigt.If the adjustment slots are located in the middle part of the table, as shown in FIG. 5d shows.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen1 sheet of drawings

Claims (7)

8. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch Patentansprüche: gekennzeichnet, daß die Widcrstandsächicbt (12) als Parallelogramm mit schräg zu den Längssei-8. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the Widcrstandsächicbt (12) as a parallelogram with oblique to the longitudinal side 1. Verfahren zum Einstellen des Widerstands- ten gerichteten und auf ihrer vollen Länge mit wertes für einen Schichtwiderstand mit einer auf 5 den Acschlußelektroden (13 bzw. 14) belegten einer isolierenden Trägerunterlage in Form eines Querseiten ausgebildet wird und daß der erste Streifens mit zwei Längsseiten und zwei mit äu- Ehistellschlitz (15) im Bereich stumpfwinklig aufßeren Anschlußelektroden verbundenen Quersei- einandertreffender Längs- und Querseiten, der ten aufgebrachten Widerstandsschicht, unter Ein- zweite EinsteUschlitz (16) dagegen im Bereich arbeitung von senkrecht zu den Längsseiten der io spitzwinklig aufeinandertreffender Längs- und Widerstandsschicht gerichteten und sich nicht Querseiten in die Widerstandsschicht eingearbeiüber die volle Länge der Querseiten erstrecken- tet wird (F i g. 5 d).1. Procedure for setting the resistance directional and using its full length value for a sheet resistor with one on 5 of the connection electrodes (13 or 14) an insulating support base is formed in the form of a transverse side and that the first Open the strip with two long sides and two with outer slit (15) in the area at an obtuse angle Connection electrodes connected transversely meeting longitudinal and transverse sides, the th applied resistance layer, under a second insertion slot (16), however, in the area working of vertical and Resistive layer directed and not transverse sides worked into the resistive layer the full length of the transverse sides is extended (FIG. 5 d). den Eiustellschlitzen in die Widerstandsschicht,
dadurch gekennzeichnet, daß zwischenthe adjustment slots in the resistance layer,
characterized in that between den Anschlußelektroden (13 und 14) innerhalb 15 the connection electrodes (13 and 14) within 15 der Widerstandsschicht (12) zwei Stromwege
unterschiedlicher Länge ausgebildet werden undthe resistance layer (12) has two current paths
of different lengths and daß zunächst im Bereich des kürzeren Stromwe- Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum ges ein dem Grobabgleich des Widerstandswertes Einstellen des Widerstandswertes für einen Schichtaie:v--nder erster Finstellschlitz (15) und daß 20 widerstand mit einer auf einer isolierenden Trägerdann im Bereich des längeren Stromweges ein unterlage in Form eines Streifens mit zwei Längssei dem Feinabgleich des Widerstandswertes dienen- ten und zwei mit äußeren Anschlußelektroden verder zweiter EinsteUschlitz (16) in die Wider- bundenen Querseiten aufgebrachten Widerstandsstandsschicht eingearbeitet wird. schicht, unter Einarbeitung von senkrecht zu denthat initially in the area of the shorter Stromwe- The invention relates to a method for ges a the rough adjustment of the resistance value setting the resistance value for a shift: v - nder first Finstellschlitz (15) and that 20 withstood with one on an insulating carrier then In the area of the longer current path, a pad in the form of a strip with two longitudinal cords for fine adjustment of the resistance value and two with external connection electrodes verder second EinsteUschlitz (16) in the unbonded transverse sides applied resistive layer is incorporated. layer, incorporating perpendicular to the 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch ge- 25 Längsseiten der Widerstandsschicht gerichteten und kennzeichnet, daß der erste Einstellschlitz (15) sich nicht über die volle Länge der Querseiten ervon der einen Längsseite her. der zweite Einstell- streckenden Einstellschlitzen in die Widerstandsschlitz (16) dagegen von dci anderen Längsseite schicht.2. The method according to claim 1, characterized in that the longitudinal sides of the resistive layer are directed and indicates that the first adjustment slot (15) does not extend over the full length of the transverse sides of it one long side. the second adjustment- stretching adjustment slots into the resistance slot (16) on the other hand from the other long side layer. her in die Widerstandsschicht (12) eingearbeitet Ein bekannter Schichtwiderstand besitzt eineincorporated into the resistance layer (12). A known sheet resistor has a wird. 30 Widerstandsschicht, die spiralig auf einem zylinder-will. 30 resistance layer, which is spiraled on a cylindrical 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch förmigen Isolierkörper aufgewickelt ist und an desgekennzeichnet, daß die Widerstandsschicht (12) sen beiden Enden jeweils mit einer Anschlußelekals Rechteck mit über auf unterschiedlichen Lan- trode verbunden ist. Dabei ist die Widerstandsschicht gen mit den Anschlußelektroden (13 bzw. 14) zur Vermeidung unterschiedlich langer Stromwege verbundenen Querseiten ausgebildet wird und 35 zwischen den Anschlußelektroden in eine Mehrzahl daß der erste Einstellschlitz (15) in die gerade von einzelnen Bändern aufgespalten, die mit gegen-Verbindung der mit den Anschlußelektroden ver- seitigem Abstand und parallel zueinander auf den bundenen Querseitenteile, der zweite Einstell- Isolierkörper aufgewickelt sind und eine entspreschlitz (16) dagegen in die schräge Verbindung chende Anzahl von von einander unabhängigen dieser Querseitenteile eingearbeitet wird 40 Stromwegen zwischen den Anschlußelektroden bil-(F i g. 5 α). den (deutsche Auslegeschrift 1 253 345).3. The method according to claim 1 or 2, characterized in that the insulating body is wound up and is marked on that the resistive layer (12) sen both ends with a connection elekals Rectangle is connected to across on different landrode. Here is the resistance layer gene with the connection electrodes (13 or 14) to avoid current paths of different lengths connected transverse sides is formed and 35 between the terminal electrodes in a plurality that the first adjustment slot (15) split into the straight of individual bands with counter-connection the distance to the side of the connection electrodes and parallel to one another on the bound transverse side parts, the second adjustment insulator are wound up and an entspreschlitz (16), on the other hand, in the inclined connection, the number of mutually independent These transverse side parts are incorporated 40 current paths between the connection electrodes (F i g. 5 α). den (German interpretation 1 253 345). 4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch Bekannt ist weiter ein Schichtwiderstand mit einer gekennzeichnet, daß die Widerstandsschicht (12) Widerstandsschicht, die in Form eines langgestreckals Trapez mit unterschiedlich langen Längsseiten ten Rechtecks auf eine isolierende Trägerunterlage ausgebildet wird und daß der erste Einstellschlitz 45 autgebracht ist. An ihren beiden Schmalseiten ist (15) in die kleinere Längsseite, der zweite Ein- diese Widerstandsschicht mit je einer Anschlußelekstellschlitz (16) dagegen in die größere Längsseite trode verbunden. Von den beiden Längsseiten der des Trapezes eingearbeitet wird (F i g. 3 und 5 b). Widerstandsschicht her ist senkrecht zu diesen4. The method according to claim 1 or 2, characterized is also known a sheet resistor with a characterized in that the resistive layer (12) resistive layer, which is in the form of an elongated Trapezoid with long sides of different lengths of rectangles on an insulating support is formed and that the first adjustment slot 45 is brought. On both of its narrow sides is (15) in the smaller long side, the second one of this resistance layer with one connector each (16), however, connected to the larger long side trode. From the two long sides of the of the trapezoid is incorporated (Fig. 3 and 5 b). The resistance layer is perpendicular to these 5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch ge- Längsseiten in die Widerstandsschicht eine Mehrzahl kennzeichnet, daß die eine Querseite des Trape- 50 von Einstellschlitzen eingearbeitet, zwischen deren zcs senkrecht zu dessen Längsseiten, die andere inneren Enden und der jeweils gegenüberliegenden Querseite dagegen unter einem Winkel zwischen Längsseite der Widerstandsschicht nur ein schmaler 110 und 160° zu den Längsseiten gerichtet wird Bereich der Widerstandsschicht verbleibt, auf dem (F i g. 3). Strom von einer Anschlußelektrode zur anderen5. The method according to claim 4, characterized in that a plurality of longitudinal sides in the resistance layer indicates that the one transverse side of the Trape- 50 of adjustment slots incorporated between them zcs perpendicular to its long sides, the other inner ends and the opposite one in each case On the other hand, the transverse side is only a narrow one at an angle between the long side of the resistance layer 110 and 160 ° to the long sides is the area of the resistance layer remains on which (Fig. 3). Current from one terminal electrode to the other 6. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch ge- 55 durch die Widerstandsschicht fließen kann (britische kennzeichnet, daß beide Querseiten des Trapezes Patentschrift 1 065 164).6. The method of claim 4, characterized in that it can flow through the resistive layer (British indicates that both transverse sides of the trapezoid patent specification 1 065 164). unter gleichen, von 90° verschiedenen Winkeln Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einat the same angles different from 90 ° The object of the invention is to provide a gegen dessen Längsseiten gerichtet werden Verfahren der eingangs erwähnten Art so auszubil-(F i g. 5 b). den, daß sich eine größere Genauigkeit bei der Ein-Against its long sides, methods of the type mentioned at the beginning are to be designed (F i g. 5 b). the fact that a greater accuracy in the entry 7. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch 60 stellung des Widerstandswertes durch Abtragung von gekennzeichnet, daß die Widerstandsschicht (12) Schichtmaterial längs der Einstellschlitze erzielen als Stufenrechteck mit in den einzelnen Stufen läßt.7. The method according to claim 1 or 2, characterized in 60 position of the resistance value by removal of characterized in that the resistive layer (12) achieve sheet material along the adjustment slots as a step rectangle with in the individual steps.
DE19691950771 1968-10-11 1969-10-08 Method for setting the resistance value for a sheet resistor Expired DE1950771C3 (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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DE2944605A1 (en) * 1978-12-01 1980-06-04 Siemens Ag Albis RESISTANCE IN THICK FILM TECHNOLOGY

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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